JP2010065281A - 蒸着マスク張力付与装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】金属製薄板材である蒸着マスクに安定した張力を付与してマスクフレームに固定することのできる蒸着マスク張力付与装置を提供する。
【解決手段】金属製薄板材からなる蒸着マスク1をマスクフレーム2の上に載置し、蒸着マスク1の周縁部をクランパー5によって把持してバネ10による張力を付与する。この状態で、蒸着マスク1をマスクフレーム2に接着等の方法で固定し、有機EL素子等の成膜に使用する。クランパー5は、固定片6と可動片7からなり、少なくとも一方の把持部には、蒸着マスク1に対する摩擦力を向上させるための粗面層8が、タングステンカーバイドなどの高硬度な材質の溶射によって形成される。
【選択図】図2
【解決手段】金属製薄板材からなる蒸着マスク1をマスクフレーム2の上に載置し、蒸着マスク1の周縁部をクランパー5によって把持してバネ10による張力を付与する。この状態で、蒸着マスク1をマスクフレーム2に接着等の方法で固定し、有機EL素子等の成膜に使用する。クランパー5は、固定片6と可動片7からなり、少なくとも一方の把持部には、蒸着マスク1に対する摩擦力を向上させるための粗面層8が、タングステンカーバイドなどの高硬度な材質の溶射によって形成される。
【選択図】図2
Description
本発明は、有機EL表示装置を製造する際に用いる薄板状の蒸着マスクに所定の張力を付与し、額縁状のマスクフレームに固定するための蒸着マスク張力付与装置に関するものである。
従来より有機EL表示装置の発光基板の製造時において、真空蒸着装置中での複数色の塗り分け工程には多数の発光画素に対応した微細穴が配置された薄板形状の金属製の蒸着マスクが用いられている。
蒸着材料が蒸着源から発光基板方向へと飛翔する際に、蒸着マスクの板厚が厚いと、蒸着材料の飛翔方向によっては板厚によって遮られ、発光基板全体に均一に蒸着され難くなる。このため、蒸着マスクは充分薄いほうが好ましい。
蒸着マスクの厚みは、概ね15〜100μm程度と薄いのが一般的であり、従って、蒸着マスクはそれ自身の剛性は弱く、剛性の高い額縁形状のマスクフレームに固定して使用する。
発光基板と蒸着マスクを全体に渡って密着させるには、重力によるたわみやマスク材料の内部応力による変形等々に打ち勝って平面を保つ必要があり、このため、蒸着マスクに適度な張力を付与してマスクフレームに固定する。
また、特許文献1に開示されたように、蒸着マスクの周縁端部を把持して張力を付与するときに使用するクランパーと蒸着マスク間のすべりを防ぎ、確実に所望の張力を得られるように、蒸着マスクの把持部分を粗面にすることが知られている。
特許文献1には、ハーフエッチングなどによって、蒸着マスク周縁部のクランパーに把持される部分に粗面などの滑り止め効果の有るものを作ることが開示されている。
エッチングにより穴を明けて蒸着マスクとして使用する材料としては、熱変化に対する寸法特性が安定している低腺膨張材料であるインバー鋼を用いるのが一般的である。この材料のビッカース硬度は概ね150であり、蒸着マスクを把持するクランパーを一般に広く使われているステンレス鋼であるSUS304で作製した場合、そのビッカース硬度は約170である。従って、この両者が接する面の硬度はクランパー側の方が硬いことになる。
蒸着マスクに粗面などを形成し凸凹を作っても、実際の使用にあたってはクランパーのほうが若干硬いため、一般的に平滑面であるクランパー表面に食い込まず、凸凹は押しつぶされてしまうため、粗面にした効果はあまり得られないこととなる。
また、クランパーは繰り返し使用されるので、その磨耗を嫌ってクランパーの把持面を焼き入れすることも考えられる。
焼き入れ効果が期待できるマルテンサイト系であるSUS420系材料は、焼入れすると、その表面硬度はビッカース硬度475程度となり、上記の現象がさらに顕著になり、蒸着マスク面に設けた粗面の効果は薄くなる傾向があった。
一方、一般的な蒸着マスクの製法としては、薄板金属材をエッチングにより穴を明けて作る方法と並んで、いわゆる電鋳と呼ばれる方法も多用されており、必ずしもエッチング法だけが広く用いられているわけではない。
この電鋳とはメッキを応用した製法であり、その電鋳法で蒸着マスクを作製した場合には、ハーフエッチングなどの方法で粗面を作る工程を、マスク作製ごとに1工程追加しなければならず、コストアップにつながってしまう。
本発明は、金属製薄板材である蒸着マスクに安定した張力を付与してマスクフレームに固定することのできる蒸着マスク張力付与装置を提供することを目的とするものである。
本発明の蒸着マスク張力付与装置は、蒸着マスクに張力を付与してマスクフレームに固定するための蒸着マスク張力付与装置において、マスクフレームを支持する支持部材と、前記マスクフレームの上に載置された蒸着マスクの周縁部を把持して張力を付与する複数のクランパーと、を備え、各クランパーは、前記蒸着マスクを把持する面に粗面を形成するための粗面層をコーティングされており、前記粗面層は、前記蒸着マスクの硬度より高い硬度の材料によって形成されていることを特徴とする。
クランパー側に粗面層をコーティングすることで、蒸着マスクに張力を付与する際のクランパーの摩擦力を増大させることができ、確実に所定の張力を付与することが可能となる。これによって、たわみなどのない状態で、蒸着マスクを額縁形状のマスクフレームに固定することができる。
また、一旦、クランパー側に粗面を作ってしまえば、蒸着マスクに張力を付与する多くの回数に使用できる。従って、蒸着マスクに粗面を形成する場合のように、蒸着マスク作製の度に粗面を形成する工程を追加する必要もない。
本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、蒸着マスク1に張力を付与してマスクフレーム2に固定する工程において、薄板状の蒸着マスク1は、その周縁部をマスクフレーム2の上に載置して支持される。蒸着マスク1の周縁部を把持し、所定の張力を付与するための張力付与装置(蒸着マスク張力付与装置)3は、支持部材である支持台4と、支持台4に支持された複数のクランパー5と、を備える。
図1に示すように、蒸着マスク1に張力を付与してマスクフレーム2に固定する工程において、薄板状の蒸着マスク1は、その周縁部をマスクフレーム2の上に載置して支持される。蒸着マスク1の周縁部を把持し、所定の張力を付与するための張力付与装置(蒸着マスク張力付与装置)3は、支持部材である支持台4と、支持台4に支持された複数のクランパー5と、を備える。
図2に示すように、各クランパー5は、固定片6及び可動片7を有し、可動片7は、蒸着マスク1を把持する面に、粗面を形成するための粗面層8がコーティングされている。
粗面層8は、蒸着マスク1より硬度の高い材質(材料)で形成される。これによって、粗面層8の凸凹は確実に蒸着マスク1の周縁部に食い込むことができ、蒸着マスク1とクランパー5のすべりをなくし確実に所定の張力を付与することが可能となる。
粗面層8の材質としては、WC(タングステンカーバイド)などの、蒸着マスク1よりも高硬度な材料を溶射にてクランパー5の可動片7の把持面に吹き付けて形成されるものである。
蒸着マスク及び粗面層の材料、硬度は以下の通りである。数字はビッカース硬さである。
蒸着マスク(エッチング法、低腺膨張合金)・・・・・・・約150
蒸着マスク(電鋳法、ニッケル系合金)・・・・・・・・・500〜800
粗面層WC(タングステンカーバイド)・・・・・・・1000〜1300
このように、粗面層8の硬さは明らかに蒸着マスク1よりも高いので、クランパー5が相応の力で把持した際には確実に凸凹が蒸着マスク1の表面に食い込むことができ、蒸着マスク1とクランパー5の摩擦力を大幅に増大することが可能となる。
蒸着マスク(電鋳法、ニッケル系合金)・・・・・・・・・500〜800
粗面層WC(タングステンカーバイド)・・・・・・・1000〜1300
このように、粗面層8の硬さは明らかに蒸着マスク1よりも高いので、クランパー5が相応の力で把持した際には確実に凸凹が蒸着マスク1の表面に食い込むことができ、蒸着マスク1とクランパー5の摩擦力を大幅に増大することが可能となる。
溶射は、相当高温な、例えば3000℃以上の高温で溶射材料を溶かして、それを被加工面に吹き付けるのが一般的である。そのため、溶射を薄い板材である蒸着マスクに施こそうとした場合は、その際の熱によって蒸着マスク本体が容易に変形したり、溶解して一部欠損してしまう可能性がある。
これに対して、比較的大きな体積の金属塊から成るクランパーでは、溶射を施した表面にごく近い部分は溶解することもあるが、それを除いては問題となるような程度の変形や溶解などが生じる可能性は小さい。従って、クランパー側に溶射を施すのが好ましい。
図1は、実施例1による蒸着マスク張力付与装置の全体を示す平面図、図2(a)は、図1の装置においてクランパー周辺を示す模式断面図、(b)は(a)の一部分を拡大して示す部分拡大断面図である。
蒸着マスク1は、概ね15〜100μm程度の薄板金属板から成り、多数の微細穴が所定の位置に明けられており、有機EL表示パネル製造工程において真空中で使用可能である。
蒸着マスク1は、低腺膨張合金をエッチングにより形成したもの、もしくは電鋳法によりニッケル合金で作ったものである。
そのビッカース硬度は、低腺膨張合金の場合には約150であり、ニッケル合金で電鋳法により作った場合には500〜800程度である。
蒸着マスク1は、所定の張力を付与された後に固定される額縁形状のマスクフレーム2の上に載置されており、その四方の周縁部を複数のクランパー5によって把持する。
マスクフレーム2は、鉄鋼などの強固な材質から成り、その中央部には有機発光材料の蒸着に支障のない大きさの角穴が明けられている。また、蒸着マスク1に張力が付与され、マスクフレーム2に固定された後も、付与された張力に耐えて蒸着マスク1を支持することが可能な強度を有するものである。
クランパー5は、張力付与装置3の本体の一部である支持台4に設けられたガイド部材9に直動的な移動可能に支持されている。
クランパー5は、固定片6に対して可動片7が回動自在であり、固定片6の端部はバネ10に連結され、バネ10により、蒸着マスク1に張力を付与するための所定の力を得ることが可能である。バネ10の一方の端部に設けられた固定具12は、支持台4に設けたばね掛け部11により固定する。ばね掛け部11には、バネ10の線材太さより大きく、固定具12よりは小さな幅の溝が形成されており、バネ10の取り外しが可能となっている。
クランパー5の固定片6と可動片7は、蝶ボルト13を回すことによって蒸着マスク1を挟み、所望の把持力を得たり、その把持力を解除することができる。
可動片7の蒸着マスク1と接触する面には、粗面を形成するためのWC(タングステンカーバイド)の粗面層8が溶射によりコーティングされている。そのビッカース硬度は、1000〜1300程度である。
図3は、その粗面を測定し、長さ2mmの範囲の面粗さの測定結果を示すグラフである。このグラフから、概ね10〜20μm前後の高さの山が多数存在しているのが判る。
図4は、参考のために、砥粒を高速で被加工面に衝突させ面加工を行う通称ブラスト加工と呼ばれる加工面の面粗さを示すグラフである。具体的に説明すると、WC(タングステンカーバイド)溶射層と粗面の様子を比較するために、100μm程度の大きさの砥粒をステンレス鋼(SUS304)表面に施した面の粗さを測定したものである。
凸凹が形成されているものの、その山の高さは約2〜4μm程度であり、溶射の場合の方がかなり大きな粗さを得ることが可能なことが判る。
本実施例の装置において、蒸着マスク1に張力を付与しようとするときには、まず、バネ10の端部に設けた固定具12をばね掛け部11から外して解除しておき、クランパー5を移動自由な状態にしておく。
次に、支持台4の所定の位置にマスクフレーム2を載置し、その上に蒸着マスク1を載置する。このとき、クランパー5の可動片7は上方へ回動させ解除しておき、蒸着マスク1の周縁部が全部の固定片6の所定位置にも届く位置まで、クランパー5をガイド部材9に沿って移動させておく。
次に、可動片7を下方へ回動させて蒸着マスク1の周縁部に当接させ、蝶ボルト13を回して締め付けると、所望の把持力で蒸着マスク1を把持することができる。
さらに、バネ10の端部の固定具12をばね掛け部11に引っ掛けて、所定の力をバネ10に発生させ、所定の張力を蒸着マスク1に付与する。
前述のように硬度の高い材料を粗面層8に用いているため、粗面層8の凸凹が蒸着マスク1の表面に確実に食い込むことができる。このため、クランパー5と蒸着マスク1とのすべりの発生は無く、蒸着マスク1に十分な平面度を達成できる。
この後に、不図示の電気溶接、あるいはレーザー溶接などの接合手段、もしくは接着剤等により、マスクフレーム2と結合させ、さらに、マスクフレーム2の外側にはみ出た蒸着マスク1の周縁部分を不図示の切断手段で切断して作業は終了する。
なお、本発明の効果を損なわない範囲において、例えば、バネ10や蝶ボルト13などはモーターや圧縮空気を利用した他の動力を発生する手段などに置き換えてもよい。
また、粗面層8の材質は硬度が蒸着マスク1に対して充分に高硬度な材質であり、かつ粗面の凸凹が必要な大きさで形成されるものであれば、いかなる材料を用いてもよい。
実施例1においては、クランパー5に施した粗面層8は、可動片7のみであるが、本実施例では、可動片と固定片の双方に粗面層をコーティングする。
蒸着マスクの表裏両面へ粗面の凸凹を食い込ませることができるので、大判サイズの蒸着マスクなどで、さらに強力な張力を付与したい場合などに有効である。
1 蒸着マスク
2 マスクフレーム
3 張力付与装置
4 支持台
5 クランパー
6 固定片
7 可動片
8 粗面層
9 ガイド部材
10 バネ
2 マスクフレーム
3 張力付与装置
4 支持台
5 クランパー
6 固定片
7 可動片
8 粗面層
9 ガイド部材
10 バネ
Claims (3)
- 蒸着マスクに張力を付与してマスクフレームに固定するための蒸着マスク張力付与装置において、
マスクフレームを支持する支持部材と、
前記マスクフレームの上に載置された蒸着マスクの周縁部を把持して張力を付与する複数のクランパーと、を備え、
各クランパーは、前記蒸着マスクを把持する面に粗面を形成するための粗面層をコーティングされており、
前記粗面層は、前記蒸着マスクの硬度より高い硬度の材料によって形成されていることを特徴とする蒸着マスク張力付与装置。 - 前記粗面層は、溶射によって形成されたことを特徴とする請求項1に記載の蒸着マスク張力付与装置。
- 前記粗面層は、タングステンカーバイドの溶射によって形成されたことを特徴とする請求項2に記載の蒸着マスク張力付与装置。
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