JP5088369B2 - インプリント方法 - Google Patents
インプリント方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5088369B2 JP5088369B2 JP2009515121A JP2009515121A JP5088369B2 JP 5088369 B2 JP5088369 B2 JP 5088369B2 JP 2009515121 A JP2009515121 A JP 2009515121A JP 2009515121 A JP2009515121 A JP 2009515121A JP 5088369 B2 JP5088369 B2 JP 5088369B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- molded body
- holding member
- pattern
- imprint method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 50
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 20
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 20
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 208000031872 Body Remains Diseases 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C37/00—Component parts, details, accessories or auxiliary operations, not covered by group B29C33/00 or B29C35/00
- B29C37/0003—Discharging moulded articles from the mould
- B29C37/0007—Discharging moulded articles from the mould using means operable from outside the mould for moving between mould parts, e.g. robots
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C37/00—Component parts, details, accessories or auxiliary operations, not covered by group B29C33/00 or B29C35/00
- B29C37/0003—Discharging moulded articles from the mould
- B29C37/0014—Discharging moulded articles from the mould by flexibly or permanently deforming undercut portions of the articles
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/263—Preparing and using a stamper, e.g. pressing or injection molding substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2017/00—Carriers for sound or information
- B29L2017/001—Carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records
- B29L2017/003—Records or discs
- B29L2017/005—CD''s, DVD''s
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
Description
前記被成形体の転写領域外を保持部材によって保持し、
前記保持部材が前記型表面から離間する方向へ前記型と前記保持部材とを相対的に移動させることにより、前記被成形体を前記型表面から剥離させるものであり、
前記保持部材の前記型に対する相対的な移動の軌跡は、前記型表面に付着している前記被成形体を保持した位置から、前記被成形体を前記型から剥離させる方向であり、且つ、前記被成形体に転写されたパターンを経由して前記被成形体を保持した位置の対向側に向かい、
前記保持部材は、前記被成形体との接触部に粘着材を備え、該粘着材の粘着力によって前記被成形体における前記型との当接面の反対面を保持することを特徴とするインプリント方法である。
前記力センサの測定結果に基づいて前記保持部材を前記型表面から離間する方向へ相対的に移動させる移動速度を決定することを特徴とする請求の範囲第1項〜第5項のいずれかに記載のインプリント方法である。
11:パターン
2:被成形体
21:転写領域外
211:端部領域
22:端部
23:溝部
24:壁部
3:基台
4:保持部材
5:力センサ
6:摘み片
7:保持部材
8:保持部材
81:長尺テープ
811:テープロール
82:繰り出しローラ
83:支持部材
831:上端
Claims (8)
- 表面にパターンが形成された型と樹脂製の薄板状の被成形体とを相対的に移動させることにより前記被成形体の表面に前記型を押し付け、前記型表面のパターンを前記被成形体の表面に転写した後、前記型表面に付着したままの状態の前記被成形体を離型させるインプリント方法であって、
前記被成形体の転写領域外を保持部材によって保持し、
前記保持部材が前記型表面から離間する方向へ前記型と前記保持部材とを相対的に移動させることにより、前記被成形体を前記型表面から剥離させるものであり、
前記保持部材の前記型に対する相対的な移動の軌跡は、前記型表面に付着している前記被成形体を保持した位置から、前記被成形体を前記型から剥離させる方向であり、且つ、前記被成形体に転写されたパターンを経由して前記被成形体を保持した位置の対向側に向かい、
前記保持部材は、前記被成形体との接触部に粘着材を備え、該粘着材の粘着力によって前記被成形体における前記型との当接面の反対面を保持することを特徴とするインプリント方法。 - 前記パターンは、一方向に沿う方向性を有する溝状であり、
前記保持部材は、前記被成形体に転写される前記パターンの転写領域外であって、前記一方向に沿う端部領域を保持することを特徴とする請求の範囲第1項記載のインプリント方法。 - 前記保持部材は、前記被成形体に転写される前記パターンの転写領域外であって、前記一方向において前記パターンを挟んで両側に位置する端部領域の少なくとも一部を保持することを特徴とする請求の範囲第2項記載のインプリント方法。
- 前記パターンの断面形状のアスペクト比が3以上であることを特徴とする請求の範囲第2項または第3項記載のインプリント方法。
- 前記粘着材は長尺テープの表面に備えられ、前記保持部材は、前記長尺テープの裏面を支持する支持部材を有することを特徴とする請求の範囲第1項〜第4項のいずれかに記載のインプリント方法。
- 前記保持部材を前記型表面から離間する方向へ相対的に移動させる移動速度が一定であることを特徴とする請求の範囲第1項〜第5項のいずれかに記載のインプリント方法。
- 前記保持部材によって前記被成形体を前記型から剥離させる際の抵抗力を力センサにより測定し、
前記力センサの測定結果に基づいて前記保持部材を前記型表面から離間する方向へ相対的に移動させる移動速度を決定することを特徴とする請求の範囲第1項〜第5項のいずれかに記載のインプリント方法。 - 前記被成形体の最大外径が、5mm以上であることを特徴とする請求の範囲第1項〜第7項のいずれかに記載のインプリント方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009515121A JP5088369B2 (ja) | 2007-05-18 | 2008-04-28 | インプリント方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007133464 | 2007-05-18 | ||
JP2007133464 | 2007-05-18 | ||
PCT/JP2008/058180 WO2008142958A1 (ja) | 2007-05-18 | 2008-04-28 | インプリント方法 |
JP2009515121A JP5088369B2 (ja) | 2007-05-18 | 2008-04-28 | インプリント方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008142958A1 JPWO2008142958A1 (ja) | 2010-08-05 |
JP5088369B2 true JP5088369B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=40031674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009515121A Active JP5088369B2 (ja) | 2007-05-18 | 2008-04-28 | インプリント方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5088369B2 (ja) |
WO (1) | WO2008142958A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11472212B2 (en) | 2016-09-05 | 2022-10-18 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Device and method for embossing micro- and/or nanostructures |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5328495B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
KR101656352B1 (ko) * | 2009-11-24 | 2016-09-12 | 주식회사 디엠에스 | 스템프 분리장치 |
CN102905875B (zh) * | 2010-05-28 | 2015-09-16 | 东丽株式会社 | 具有微细表面结构的膜的制造方法和制造装置 |
JP5171900B2 (ja) * | 2010-08-04 | 2013-03-27 | 株式会社日本製鋼所 | 剥離治具本体、剥離治具及び剥離方法 |
JP6076946B2 (ja) * | 2014-08-04 | 2017-02-08 | 大日本印刷株式会社 | ローラーインプリント用モールドとインプリント方法およびワイヤーグリッド偏光子とその製造方法 |
JP2017034276A (ja) * | 2016-10-20 | 2017-02-09 | 大日本印刷株式会社 | インプリント用モールドとインプリント方法 |
JP6978877B2 (ja) * | 2017-09-04 | 2021-12-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0379314A (ja) * | 1989-08-22 | 1991-04-04 | Omron Corp | 光学部品の製造方法および光学部品製造用金型 |
JPH04320823A (ja) * | 1991-04-19 | 1992-11-11 | Toshin Seiko:Kk | 成形品の食い付き力モニタリング装置とそれを用いた成形加工機 |
JPH0780865A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-28 | Tosoh Corp | 光学用樹脂薄膜の剥離方法及びその剥離用枠状体 |
JPH07227858A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-08-29 | Shinano Polymer Kk | 弾性成形体の脱型方法 |
JP2002172626A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-18 | Dainippon Printing Co Ltd | レンズシートの剥離方法及び剥離装置 |
JP2003181855A (ja) * | 2001-12-17 | 2003-07-02 | Toppan Printing Co Ltd | フレネルレンズの製造方法及びこの製造装置 |
JP2007083626A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Ricoh Co Ltd | 微細構造転写装置 |
-
2008
- 2008-04-28 JP JP2009515121A patent/JP5088369B2/ja active Active
- 2008-04-28 WO PCT/JP2008/058180 patent/WO2008142958A1/ja active Application Filing
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0379314A (ja) * | 1989-08-22 | 1991-04-04 | Omron Corp | 光学部品の製造方法および光学部品製造用金型 |
JPH04320823A (ja) * | 1991-04-19 | 1992-11-11 | Toshin Seiko:Kk | 成形品の食い付き力モニタリング装置とそれを用いた成形加工機 |
JPH0780865A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-28 | Tosoh Corp | 光学用樹脂薄膜の剥離方法及びその剥離用枠状体 |
JPH07227858A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-08-29 | Shinano Polymer Kk | 弾性成形体の脱型方法 |
JP2002172626A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-18 | Dainippon Printing Co Ltd | レンズシートの剥離方法及び剥離装置 |
JP2003181855A (ja) * | 2001-12-17 | 2003-07-02 | Toppan Printing Co Ltd | フレネルレンズの製造方法及びこの製造装置 |
JP2007083626A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Ricoh Co Ltd | 微細構造転写装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11472212B2 (en) | 2016-09-05 | 2022-10-18 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Device and method for embossing micro- and/or nanostructures |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008142958A1 (ja) | 2008-11-27 |
JPWO2008142958A1 (ja) | 2010-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5088369B2 (ja) | インプリント方法 | |
JP5039145B2 (ja) | シートを基板に適用するための方法及び装置 | |
US20090273119A1 (en) | Imprint Method and Imprint Apparatus | |
JP5238164B2 (ja) | パターン形成方法 | |
KR101627575B1 (ko) | 미세 요철 패턴의 형성 방법 및 형성 장치, 전사용 기판의 제조 방법, 및 전사용 기판 | |
WO2006026993A9 (en) | A flexible nano-imprint stamp | |
JP5499668B2 (ja) | インプリント用モールドおよび該モールドを用いたパターン形成方法 | |
WO2007029845A2 (en) | Method and device for manufacturing structure having pattern, and method for manufacturing mold | |
TWI785929B (zh) | 壓印微米及/或奈米結構之裝置及方法 | |
JP5002207B2 (ja) | パターンを有する構造体の製造方法 | |
US20210101316A1 (en) | Nanoimprinting by using soft mold and resist spreading | |
KR20060128886A (ko) | 나노임프린트를 이용하는 패턴 형성 방법 및 상기 방법을실행하는 장치 | |
JPWO2018008326A1 (ja) | モールド、インプリント装置及びインプリント方法 | |
JP6671010B2 (ja) | インプリント方法およびインプリント装置 | |
IL181718A (en) | Flexible nano-imprint stamp | |
JP2011005773A (ja) | インプリント用スタンパおよびインプリント装置 | |
JP6019953B2 (ja) | 凸状構造体の製造方法及び製造システム | |
JP5747670B2 (ja) | 成形部材およびその製造方法 | |
JP4983394B2 (ja) | インプリント装置 | |
Merino et al. | The use of automatic demolding in nanoimprint lithography processes | |
JP7507958B2 (ja) | ナノインプリントスタンプ | |
JP2006212779A (ja) | ロール版、及び凹凸形状形成装置 | |
KR101334120B1 (ko) | 임프린트 리소그래피용 스탬프 및 제작방법 | |
Youn et al. | Replication of nano/micro quartz mold by hot embossing and its application to borosilicate glass embossing | |
JP2007261252A (ja) | 凹凸パターン形成方法および情報記録媒体製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101213 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120515 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120717 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120814 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120827 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5088369 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |