JP5171900B2 - 剥離治具本体、剥離治具及び剥離方法 - Google Patents
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Landscapes
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Description
11 本体枠
12 昇降台
15 保持部
151 支柱
155 自在継手
16 真空パッド
18 ポート
20 アクチュエータ
23 ピストン
25 水平アクチュエータ
255 弾性部材
257 当板
28、28A、28B ポート
35 噴射部
36 ノズル
38 ポート
41 制御部
43A〜43C ポート
45A〜45D 電磁弁
46 真空用圧力スイッチ
47 減圧弁
50 上金型
60 被成形体
Claims (11)
- 微細構造を有するスタンパが設けられた一対の上金型及び下金型を有するプレス式の微細構造転写成形装置により、前記微細構造が転写成形された被成形体をこれが付着したスタンパ、上金型又は下金型から剥離する剥離治具本体であって、
前記被成形体の開放面側の縁部を保持固定する保持手段と、
前記保持手段の前記被成形体を保持固定する保持部を前記スタンパ、上金型又は下金型に対して垂直方向に上下動させるアクチュエータと、
前記被成形体の縁部に空気を吹き付ける空気噴射手段と、
前記保持手段、アクチュエータ及び空気噴射手段の作動を制御する制御手段と、を有する剥離治具本体。 - 保持手段は、保持部と、その保持部の端部に設けられた真空パッドに連通する真空ポンプと、その真空ポンプから前記真空パッドに至る配管内の圧力が所定圧で作動する真空用圧力スイッチと、を有することを特徴とする請求項1に記載の剥離治具本体。
- 空気噴射手段は、保持部の近辺にある被成形体の縁部に空気を吹き付けることができるようになっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の剥離治具本体。
- 空気噴射手段は、被成形体がスタンパ、上金型又は下金型から次第に剥離される際に、その被成形体とこれが付着しているスタンパ、上金型又は下金型の境界部分に空気を吹き付けることができるようになっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の剥離治具本体。
- アクチュエータは、その負荷力を調整する負荷制御手段を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一に記載の剥離治具本体。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の剥離治具本体と、その剥離治具本体を待機位置と剥離作業位置の間を移動させる移動手段と、前記剥離治具本体の移動を制御する移動制御手段と、を有する剥離治具。
- 微細構造を有するスタンパが設けられた一対の上金型及び下金型を有するプレス式の微細構造転写成形装置により、前記微細構造が転写成形された被成形体をこれが付着したスタンパ、上金型又は下金型の付着基体から剥離する剥離方法であって、
先ず、被成形体の開放面側の縁部を保持固定したうえで、その保持固定部分の近辺の縁部及び付着基体に向けて空気を噴射し、
その空気噴射の所定時間経過後、被成形体の保持固定部分を付着基体から垂直方向に引き離し始め、
次に、被成形体が付着基体から次第に剥離され始めると、被成形体と付着基体との境界部分に空気を噴射しつつ、被成形体の保持固定部分を付着基体から垂直方向に次第に引き離して被成形体を付着基体から剥離する剥離方法。 - 被成形体の保持固定部分を付着基体から垂直方向に引き離し始める空気噴射の所定経過時間は、被成形体の保持固定部分の近辺の縁部が付着基体から剥離し始めるときであることを特徴とする請求項7に記載の剥離方法。
- 被成形体の縁部の保持固定は、先ず保持固定する被成形体の縁部近辺に空気噴射を行った後に当該縁部を真空吸着することにより行うことを特徴とする請求項7又は8に記載の剥離方法。
- 微細構造を有するスタンパが設けられた一対の上金型及び下金型を有するプレス式の微細構造転写成形装置により、前記微細構造が転写成形された被成形体をこれが付着したスタンパ、上金型又は下金型から剥離する剥離治具本体であって、
前記被成形体の開放面側の縁部を保持固定する保持手段と、
前記保持手段の前記被成形体を保持固定する保持部を、前記スタンパ、上金型又は下金型に対して垂直方向に上下動させる垂直アクチュエータ及び前記被成形体に対して水平移動させる水平アクチュエータと、
前記被成形体の縁部に空気を吹き付ける空気噴射手段と、
前記保持手段、垂直アクチュエータ、水平アクチュエータ及び空気噴射手段の作動を制御する制御手段と、を有し、
前記保持部は、真空パッドと、その真空パッドを保持する支柱と、その支柱に対し前記真空パッドを揺動させる自在継手と、を有する剥離治具本体。 - 水平アクチュエータは、一端が支柱に固着された弾性部材と、垂直アクチュエータの作動に従って上下動する当板とを有し、
前記弾性部材の他端が前記当板に当接し又は離脱することにより、保持部を被成形体に対して水平移動させるものであることを特徴とする請求項10に記載の剥離治具本体。
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