JP6978877B2 - インプリント装置および物品製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- 基板の上の硬化性組成物に型を接触させる接触処理、該硬化性組成物に硬化用のエネルギーを与えることにより該硬化性組成物を硬化させる硬化処理および該硬化性組成物の硬化物からなるパターンと前記型とを分離する分離処理を含むインプリント処理を行うインプリント装置であって、
前記接触処理および前記分離処理が行われるように前記基板と前記型との相対位置を変更する駆動機構と、
前記パターンと前記型との結合力に逆らって前記分離処理が行われている期間に発生する状態量に基づいて前記分離処理が完了するかどうかを予測し、前記分離処理が完了しないと予測される場合に、前記分離処理が完了するように前記分離処理における前記駆動機構の制御を変更する制御部と、を備え、
前記状態量は、真空吸引によって前記型を保持するための第1真空ラインの圧力、および、真空吸引によって前記基板を保持するための第2真空ラインの圧力のうち少なくとも1つを含む、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記駆動機構は、真空吸引によって前記型を保持する型チャックを更に含み、前記第1真空ラインは、前記型チャックに接続された真空ラインである、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記駆動機構は、前記型を駆動する型駆動機構を含み、前記状態量は、前記型駆動機構が発生する駆動力を含む、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。 - 前記型駆動機構は、前記型を駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータを駆動するドライバとを含み、前記制御部は、前記ドライバに提供される操作量に基づいて前記駆動力を取得する、
ことを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記型駆動機構は、前記型の位置を検出するセンサを含み、前記センサの出力に基づいて前記型の位置をフィードバック制御する、
ことを特徴とする請求項4に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記駆動力を時間で積分して得られる積分値に基づいて、前記分離処理が完了するかどうかを予測する、
ことを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記駆動機構は、前記型に加えられる力を検出するロードセルを含み、
前記制御部は、前記ロードセルからの出力に基づいて前記駆動力を取得する、
ことを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記分離処理が完了しないと予測される場合に、前記型チャックが前記型を真空吸引する力が大きくなるように前記第1真空ラインの圧力の制御を変更する、
ことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。 - 前記駆動機構は、真空吸引によって前記基板を保持する基板チャックを更に含み、前記第2真空ラインは、前記基板チャックに接続された真空ラインである、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記分離処理が完了しないと予測される場合に、前記基板チャックが前記基板を真空吸引する力が大きくなるように前記基板チャックの制御を変更する、
ことを特徴とする請求項9に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記分離処理が完了しないと予測される場合に、前記基板と前記型とを引き離す速度を低下させるように前記駆動機構の制御を変更する、
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記分離処理が完了しないと予測される場合に、前記基板および前記型の少なくとも一方を振動させるように前記駆動機構の制御を変更する、
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記分離処理が完了しないと予測される場合に、前記基板および前記型の少なくとも一方の姿勢を変更するように前記駆動機構の制御を変更する、
ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記駆動機構は、前記型の側面に力を加えることによって前記型を変形させる変形機構を更に含み、
前記制御部は、前記分離処理が完了しないと予測される場合に、前記変形機構が前記型の側面に加える力が大きくなるように前記変形機構の制御を変更する、
ことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 請求項1乃至14のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて基板の上にパターンを形成する工程と、
前記工程において前記パターンが形成された基板の処理を行う工程と、
を含み、前記処理が行われた前記基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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