JP2012156179A - 半導体ウエーハブレーキング装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】裏面に金属膜が形成されるとともに、予め形成された分断予定ラインに沿って個々の半導体チップにダイシング加工された半導体ウエーハを、前記金属膜を介して粘着シートに貼着してリング状のフレームにマウントしたワークを固定するフレーム固定手段と、ブレーキング部材と、前記ブレーキング部材を、該ブレーキング部材の中心を前記半導体ウエーハの中心と略一致させるようにして前記粘着シートに押し当てて、前記ブレーキング部材をその中心の回りに回転させる昇降回転機構とを備えたことを特徴とする半導体ウエーハブレーキング装置を提供する。
【選択図】図3
Description
Claims (8)
- 裏面に金属膜が形成されるとともに、予め形成された分断予定ラインに沿って個々のチップにダイシング加工された半導体ウエーハを、前記金属膜を介して粘着シートに貼着してリング状のフレームにマウントしたワークを固定するフレーム固定手段と、
前記半導体ウエーハを前記分断予定ラインにより個々の半導体チップに分割するブレーキング部材と、
前記ブレーキング部材を、該ブレーキング部材の中心を前記半導体ウエーハの中心と略一致させるようにして前記粘着シートに押し当てて、前記ブレーキング部材をその中心の回りに回転させる昇降回転機構と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエーハブレーキング装置。 - 前記ブレーキング部材は、スキージであることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエーハブレーキング装置。
- 前記スキージの長手方向の長さは、少なくとも前記半導体ウエーハの径と略同じであることを特徴とする請求項2に記載の半導体ウエーハブレーキング装置。
- 前記スキージの前記粘着シートに接触する表面は、その前記長手方向に垂直な断面が丸みを有していることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体ウエーハブレーキング装置。
- 前記スキージの前記粘着シートに接触する表面は、前記スキージを回転する際にスティックスリップが発生しないようにコーティングされていることを特徴とする請求項4に記載の半導体ウエーハブレーキング装置。
- 裏面に金属膜が形成されるとともに、予め形成された分断予定ラインに沿って個々のチップにダイシング加工された半導体ウエーハを、前記金属膜を介して粘着シートに貼着してリング状のフレームにマウントしたワークを固定するフレーム固定工程と、
ブレーキング部材を、該ブレーキング部材の中心を前記半導体ウエーハの中心と略一致させるようにして前記粘着シートに押し当てて、前記ブレーキング部材をその中心の回りに回転させることにより、前記半導体ウエーハを前記分断予定ラインにより個々の半導体チップに分割するブレーキング工程と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエーハブレーキング方法。 - 前記ブレーキング部材は、長手方向の長さが少なくとも前記半導体ウエーハの径と略同じスキージであることを特徴とする請求項6に記載の半導体ウエーハブレーキング方法。
- 前記スキージの前記粘着シートに接触する表面は、その前記長手方向に垂直な断面が丸みを有していることを特徴とする請求項7に記載の半導体ウエーハブレーキング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011011809A JP5780445B2 (ja) | 2011-01-24 | 2011-01-24 | 半導体ウエーハブレーキング装置及び方法 |
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JP2012156179A true JP2012156179A (ja) | 2012-08-16 |
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JP2011011809A Active JP5780445B2 (ja) | 2011-01-24 | 2011-01-24 | 半導体ウエーハブレーキング装置及び方法 |
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