CN108796436A - 夹具组件、张网机及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本公开涉及液晶显示技术领域。本公开实施例提供了一种夹具组件和一种张网机及其使用方法。在一个实施例中，一种夹具组件至少包括第一夹具单元。该第一夹具单元包括：用于在第一方向上对目标片材施加拉伸力的第一粗调夹具构件，和用于在第一方向和第二方向中的至少一个方向上对目标片材施加拉伸力的第一精调夹具构件。这里，第一方向和第二方向彼此相交并限定目标片材所在的平面。第一精调夹具构件设置在第一粗调夹具构件内部，并且第一精调夹具构件相对于第一粗调夹具构件能够沿第一方向和第二方向中的至少一个方向移动。

Description

夹具组件、张网机及其使用方法

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其地涉及一种夹具组件和一种张网机及其使用方法。

背景技术

显示技术中，蒸镀工艺中采用精细金属掩膜(Fine Metal Mask，FMM)将有机材料蒸镀到基板的规定位置。精细金属掩膜的平坦性直接影响蒸镀的效果。采用张网设备来执行对作为掩膜原材料的片材(sheet)的拉伸。在采用现有张网设备中的夹具对片材进行拉伸时，由于夹具设计简单且调整能力有限(例如施力方向单一)，无法有效缓解FMM上在张网拉伸过程中形成的褶皱，从而影响蒸镀的效果，进而导致显示装置的混色，不利于显示器件的良率。

发明内容

本公开的目的旨在解决现有技术中存在的上述问题和缺陷的至少一个方面。

本公开的至少一个目的在于提供一种夹具组件，其能够提供改善的拉伸效果以有效缓解被拉伸的目标片材上的褶皱。

本公开的另一个目的在于提供一种张网机，其上设置的夹具组件能够提供改善的拉伸效果以有效缓解张网机上被拉伸的目标片材上的褶皱。

本公开的又一个目的在于提供一种张网机的使用方法，通过张网机上设置的夹具组件能够提供改善的拉伸效果以有效缓解被拉伸的目标片材上的褶皱。

根据本公开的一个方面，提供了一种夹具组件，包括：多个第一夹具单元。每个第一夹具单元包括：第一粗调夹具构件，用于在第一方向上对目标片材施加拉伸力；和至少一个第一精调夹具构件(，用于在第一方向和第二方向中的至少一个方向上对目标片材施加拉伸力，其中，第一方向和第二方向彼此相交并限定目标片材所在的平面。第一精调夹具构件设置在第一粗调夹具构件内部，并且第一精调夹具构件相对于第一粗调夹具构件能够沿第一方向和第二方向中的至少一个方向移动。

在至少一个实施例中，第一夹具单元还可以包括：沿着第一方向设置的第一导轨；沿着第二方向设置的第二导轨；和设置在第二导轨上、并且在第三方向上可移动的施压元件，其中，第三方向垂直于第一方向和第二方向限定的、目标片材所在的平面；其中，第二导轨被构造成在第一方向上能够相对于第一导轨进行移动；其中，第一精调夹具构件被构造成沿第一方向能够在第一导轨上进行移动、以及沿第二方向能够在第二导轨上进行移动，从而调节第一精调夹具构件在第一方向和第二方向上施加的拉伸力，并且，第一精调夹具构件还被构造成沿第三方向上能够在施压元件的作用下进行移动，以夹持目标片材。

在至少一个实施例中，第一导轨和第二导轨限定一轨道平面，轨道平面平行于目标片材所在的平面。

在至少一个实施例中，夹具组件还可以包括：独立于第一夹具单元设置的、用于沿第二方向对目标片材施加拉伸力的多个第二夹具单元。

在至少一个实施例中，第一方向和第二方向可以彼此垂直。

在至少一个实施例中，目标片材可以为精细金属掩膜。

根据本公开的另一个方面，提供了一种张网机，包括：用于承载目标片材的载台；和设置在载台上、用于拉伸目标片材、如任一前述实施例所述的夹具组件。

在至少一个实施例中，在载台沿第一方向的两端分别设置有彼此独立的多个第一夹具单元。

在至少一个实施例中，多个第二夹具单元分别设置在载台沿第二方向的两端，第二夹具单元用于夹持目标片材并对目标片材在第二方向上施加拉伸力。

在至少一个实施例中，目标片材包括未刻蚀区，夹具组件设置在载台上的对应于未刻蚀区的区域。

根据本公开的又一个方面，提供了一种如任一前述实施例所述的张网机的使用方法，该方法包括：

采用第一粗调夹具构件夹持目标片材并对目标片材在第一方向上施加拉伸力；以及

采用第一精调夹具构件夹持目标片材并对目标片材在第一方向和第二方向的至少一个方向上施加拉伸力。

在至少一个实施例中，张网机中的夹具组件还包括分别设置在载台沿第二方向上的两端的第二夹具单元，而该方法可以包括：采用第二夹具单元夹持目标片材并对目标片材在第二方向上施加拉伸力。

在至少一个实施例中，该方法还可以包括：在采用第一粗调夹具构件施加拉伸力之后、采用第一精调夹具构件施加拉伸力之前，释放一部分第一粗调夹具构件对目标片材所施加的拉伸力。

本公开实施例提供的夹具组件、张网机及其使用方法，通过在第一夹具单元中的第一粗调夹具构件内部设置第一精调夹具构件，在使第一粗调夹具构件能够在第一方向上对目标片材进行拉伸的基础上，使第一精调夹具构件能够在彼此相交(例如彼此垂直)的第一和第二方向上对目标片材进行拉伸，从而有效缓解被拉伸的目标片材上的褶皱。当目标片材为显示领域中的掩膜板时，本公开实施例提供的夹具组件、张网机及其使用方法，能够有效缓解掩膜板上的褶皱，从而降低混色，提高显示器件的良率。

此外，本公开实施例提供的夹具组件、张网机及其使用方法，通过将第一精调夹具构件设置在第一夹具单元中的第一粗调夹具构件内部，降低夹具组件的空间占有率，有利于间距的调节。

通过下文中参照附图对本公开所作的描述，本公开的其它目的和优点将显而易见，并可帮助对本公开有全面的理解。

附图说明

图1是根据本公开一个实施例所述的夹具组件的平面结构示意图，其中该夹具组件被布置在一目标片材上的周边位置处；

图2是图1所示的夹具组件中位于同一端的两个第一夹具单元的结构示意图，其中目标片材在这两个第一夹具单元之间形成有褶皱；

图3是图2中左侧第一夹具单元的放大结构示意图；

图4是图1所示的夹具组件中的一个第一夹具单元的立体结构透视图；

图5是根据本公开一个实施例所述的张网机的平面结构示意图，其中该张网机上放置有一目标片材；和

图6是根据本公开一个实施例所述的张网机的使用方法的流程图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对相关技术中的技术方案和本公开的技术方案作进一步具体的说明。在说明书中，相同或相似的附图标号指示相同或相似的部件。下述参照附图对本公开实施例的说明旨在对本公开的总体发明构思进行解释，而不应当理解为对本公开的一种限制。

另外，在下面的详细描述中，为便于解释，阐述了许多具体的细节以提供对本公开实施例的全面理解。然而明显地，一个或多个实施例在没有这些具体细节的情况下也可以被实施。在其他情况下，公知的结构和装置以图示的方式体现以简化附图。

本公开实施例涉及显示技术领域中掩膜板的制造，尤其涉及掩膜板制造过程中所需的张网机和夹具组件，以及张网机的使用方法。

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示装置包括被动式有机电激发光二极管(PMOLED)和有源矩阵有机发光二极体(AMOLED)两种，其中AMOLED的实现方式包括：由低温多晶硅(Low Temperature Poly Silicon，简称LTPS)背板和通过精细金属掩膜(FMM)形成的OLED发光层构成；以及，由氧化物(Oxide)背板、白色OLED背光(WOLED)和彩膜结构构成。前者主要适用于小尺寸面板，多用于移动显示装置和手机；后者主要适用于大尺寸面板，多用于Monitor和电视等。具体地，在前者中，通过蒸镀方式将OLED的材料按照预定程序蒸镀到LTPS背板上，其利用FMM上的图形，在LTPS背板上形成红绿蓝发光器件。

发明人发现，相关技术中，使用张网设备对FMM进行张网拉伸的过程中，由于夹具设计简单且调整能力有限(例如施力方向单一、调整不够精细等)，无法有效缓解FMM上在张网拉伸过程中形成的褶皱，从而影响蒸镀的效果，进而导致显示装置的混色，不利于提升显示器件的良率。

根据本公开的发明构思，提供了一种夹具组件。该夹具组件至少包括第一夹具单元。该第一夹具单元包括：用于在第一方向上对目标片材施加拉伸力的第一粗调夹具构件，和用于在第一方向和第二方向中的至少一个方向上对目标片材施加拉伸力的第一精调夹具构件。这里，第一方向和第二方向彼此相交并限定目标片材所在的平面。第一精调夹具构件设置在第一粗调夹具构件内部，并且第一精调夹具构件相对于第一粗调夹具构件能够沿第一方向和第二方向中的至少一个方向移动。

同时，根据本公开的发明构思，提供了一种张网机。该张网机包括：用于承载目标片材的载台，和设置在载台上且用于拉伸目标片材的夹具组件。这里的夹具组件可以是如前所述的夹具组件。

同时，根据本公开的发明构思，还提供了一种如前所述的张网机的使用方法。该使用方法包括：采用第一粗调夹具构件夹持目标片材并对目标片材在第一方向上施加拉伸力；以及，采用第一精调夹具构件夹持目标片材并对目标片材在第一方向和第二方向中的至少一个方向上施加拉伸力。

请参见图1至图4，图1是根据本公开一个实施例所述的夹具组件的平面结构示意图，其中该夹具组件100被布置在一目标片材T上的周边位置处；图2是图1所示的夹具组件中位于目标片材T的同一端的两个第一夹具单元110的结构示意图，其中目标片材T在这两个第一夹具单元之间形成有褶皱W；图3是图2中左侧第一夹具单元110的放大结构示意图；图4是图1所示的夹具组件中的第一夹具单元110的立体结构透视图。如图1至图4所示，本公开提供了一种夹具组件100。该夹具组件100包括多对第一夹具单元110和多对第二夹具单元120。这里，将位于目标片材T的相对端的大致对应位置处的两个夹具单元称为一对夹具单元，例如，图1中位于目标片材T的沿第一方向X的相对端的大致对应位置(例如同处于纸面上侧)处的两个夹具单元110称为一对第一夹具单元110；而图1中位于目标片材T的沿第二方向Y的相对端的大致对应位置(例如同处于纸面左侧)处的两个第二夹具单元120称为一对第二夹具单元120。具体地，每个第一夹具单元110包括：用于在第一方向X上对目标片材T施加拉伸力的第一粗调夹具构件111，和用于在第一方向X和第二方向Y中的至少一个方向上对目标片材T施加拉伸力的第一精调夹具构件112。每个第二夹具单元120用于沿第二方向Y对目标片材T施加拉伸力。这里，第一方向X和第二方向Y限定目标片材T所在的平面。第一精调夹具构件112设置在第一粗调夹具构件111内部，并且第一精调夹具构件112相对于第一粗调夹具构件111能够移动。在一个具体实施例中，第一方向X和第二方向Y可以彼此垂直。

需要说明的是，为了清楚的说明和解释本公开实施例提供的夹具组件中的各个部件之间的位置关系和配合关系，图1至图4所示的实施例中，夹具组件100中的各个部件被分别布置在一目标片材T上的周边位置处，以对该目标片材T施加拉伸力。

如图1所示的实施例中，夹具组件100包括两对第一夹具单元110和两对第二夹具单元120。如图1所示，两对第一夹具单元110分别布置在目标片材T沿第一方向X的两端。每对第一夹具单元110位于目标片材T的沿第一方向X的相对端的大致对应位置。换言之，如图1所示，每对第一夹具单元110中的一个位于目标片材T的沿第一方向X的一端，而另一个位于目标片材T的沿第一方向X的相对端，并且这两个第一夹具单元110大致对齐，用于对目标片材T沿第一方向X施加拉伸力，用以在沿第一方向X拉伸目标片材T的同时调整来缓解目标片材T上的褶皱。

与此同时，位于目标片材T沿第一方向X的同一端处，多个第一夹具单元110彼此间隔地布置。在如图1所示的实施例中，位于目标片材T沿第一方向X的同一端(以图1中的右端为例)处，布置有两个彼此间隔开的第一夹具单元。换言之，在图1所示的实施例中，位于目标片材T沿第一方向X的左端存在两个第一夹具单元110，同时位于目标片材T沿第一方向X的右端同样存在两个第一夹具单元110。根据本公开实施例，如图1至图3所示，每个第一夹具单元110包括一个第一粗调夹具构件111。第一粗调夹具构件111用于在第一方向X上对目标片材T施加拉伸力。

具体地，每对第一夹具单元110中的第一粗调夹具构件111通过两者之间的相对移位(即调节一对第一夹具单元110在第一方向X上的距离)来对目标片材T沿第一方向X施加拉伸力，以缓解目标片材T上的褶皱状态。

如图1至图3所示，每个第一夹具单元110还包括设置在单个第一粗调夹具构件111内部的两个第一精调夹具构件112，并且每个第一精调夹具构件112相对于第一粗调夹具构件111能够沿第一方向X和/或第二方向Y移动，实现第一精调夹具构件112在第一方向X和/或第二方向Y上对目标片材T施加拉伸力。也就是说，为了实现第一精调夹具构件112在第一方向X和第二方向Y上均能对目标片材T施加拉伸力，第一精调夹具构件112以在第一粗调夹具构件111内部沿第一方向X和第二方向Y均可移动地的构造方式没置在第一粗调夹具构件111内部。

图4是本公开实施例所提供的夹具组件中的第一夹具单元的立体结构透视图，为了便于解释和说明，图4中不仅以透视的形式显示了第一夹具单元中位于第一粗调夹具构件111内部的第一精调夹具构件112的构造的一个实施方式，还显示了该第一夹具单元与目标片材T的位置关系。同时，为了清楚的目的，图4中仅显示了位于目标片材T上方的一个第一粗调夹具构件111，并且该第一粗调夹具构件内仅显示一个第一精调夹具构件112。

如图4所示，这种构造可以通过第一夹具单元110中所包括的以下部件之间的配合来实现。在第一粗调夹具构件111内部，具有沿着第一方向X设置的第一导轨113，沿着第二方向Y设置的第二导轨114，以及设置在第二导轨114上且在第三方向Z上可移动的施压元件115，这里，第三方向Z垂直于第一方向X和第二方向Y限定的目标片材T所在的平面，其中，第一精调夹具构件112通过施压元件115连接到第二导轨114上。在该实施方式中，第一导轨113和第二导轨114限定一轨道平面GP，轨道平面GP平行于目标片材T所在的平面。而且，在如图4所示的构造中，第二导轨114可以被构造成在第一导轨113所在的方向(即第一方向X)上能够相对于第一导轨113进行移动，施压元件115可以被构造成在第二导轨114所在的方向(即第二方向Y)上能够相对于第二导轨114进行移动。这样，通过施压元件115连接到第二导轨114的第一精调夹具构件112可以移动到由第一导轨113和第二导轨114共同限定的(即第一方向X和第二方向Y共同限定的)轨道平面GP内的任何位置，从而实现了第一精调夹具构件112在第一粗调夹具构件111内部在轨道平面GP上沿第一方向X和第二方向Y的任意移动。

此外，如前所述，第一精调夹具构件112通过施压元件115连接到第二导轨114上。根据本公开一些实施例，施压元件115可以采用气缸施压的方式在第三方向Z上移动的气动元件，以使得第一精调夹具构件112能够在第三方向Z上进行移动，从而实现第一精调夹具构件在第三方向Z上对目标片材T的夹持。这样，第一精调夹具构件112在能够实现对目标片材T的夹持的同时，还能够对目标片材T沿第一方向X和第二方向Y进行拉伸，以有效缓解目标片材T的褶皱。

当然，在本公开的另一些实施例中，施压元件115也可以是采用其他合适的方式(例如液压驱动方式)在第三方向Z上移动。

当然，在本公开的可替换实施例中，施压元件可以设置在第一导轨和第二导轨中的任一个上。第一导轨和第二导轨中的任一个可以被构造成在第一导轨和第二导轨中的另一个所在的方向上能够相对于第一导轨和第二导轨中的另一个进行移动。

此外，根据本公开实施例，再回到图1，夹具组件100中，两对第二夹具单元120分别布置在目标片材T沿第二方向Y的两端。每对第二夹具单元120位于目标片材T的沿第二方向Y的相对端的大致对应位置。换言之，如图1所示，每对第二夹具单元120中的一个位于目标片材T的沿第二方向Y的一端，而另一个位于目标片材T的沿第二方向Y的相对端，并且这两个第二夹具单元120大致对齐，并且用于对目标片材T沿第二方向Y施加拉伸力以缓解目标片材T上的褶皱。在一些实施例中，位于目标片材T沿第二方向Y的两端的每对第二夹具单元120可以布置在靠近目标片材T沿第一方向X的端侧处。因为这些沿第一方向X的端侧处属于容易产生褶皱的未刻蚀区T1(如图5所示)，因此，根据本公开实施例提供的夹具组件，不仅沿第一方向X布置第一夹具单元110，而且沿第二方向Y布置第二夹具单元120，以进一步缓解目标片材T上未刻蚀区的褶皱。

本公开实施例提供的夹具组件，通过在第一夹具单元中的第一粗调夹具构件内部设置第一精调夹具构件，在使第一粗调夹具构件能够在第一方向上对目标片材进行拉伸的基础上，使第一精调夹具构件能够在彼此相交(例如彼此垂直)的第一和第二方向中的至少一个方向上对目标片材进行拉伸，从而有效缓解被拉伸的目标片材上的褶皱。此外，通过将第一精调夹具构件设置在第一夹具单元中的第一粗调夹具构件内部，降低夹具组件的空间占有率，有利于间距的调节。当目标片材为显示领域中的精细金属掩膜时，本公开实施例提供的夹具组件，能够有效缓解掩膜板上的褶皱，从而降低混色，提高显示器件的良率。

与此同时，本公开实施例还提供了一种张网机。图5是根据本公开一个实施例所述的张网机的平面结构示意图，其中该张网机200上放置有一目标片材T。如图5所示，一种张网机200，包括：用于承载目标片材T的载台210，和设置在载台210上且用于拉伸目标片材T的夹具组件100。这里，夹具组件100可以是上面描述的根据本公开任一实施例所述的夹具组件。如图5所示，在载台210沿第一方向X的两端分别设置有多对彼此独立的第一夹具单元110，这些对第一夹具单元110的位于目标片材T沿第一方向X的同一端的多个第一夹具单元110彼此间隔地布置。而在载台210沿第二方向Y的两端分别设置有多对彼此独立的第二夹具单元120。关于第一夹具单元110和第二夹具单元120的构造和它们之间的配合关系以及它们与目标片材T之间的位置关系和配合关系以及所达到的效果等，已经在上文中关于夹具组件的各种实施例中进行了充分的阐述和说明，因而可以参考上述内容，在此不再累述。

根据本公开实施例，通过在张网机200采用前述夹具组件100，当目标片材T为显示领域中的精细金属掩膜时，夹具组件100可以设置在张网机载台210周围的对应于精细金属掩膜的未刻蚀区的区域处，在执行张网拉伸时可以有效缓解掩膜板上的褶皱，从而降低混色，提高显示器件的良率。

下面将结合图5和图6以及前面描述过的图2至图4描述根据本公开一个实施例所述的张网机的使用方法。图5是根据本公开一个实施例所述的张网机的平面结构示意图，图6是根据本公开一个实施例所述的张网机的使用方法的流程图，同时图2至图4也分别结合对张网机中所采用的夹具组件中的一个第一夹具单元与目标片材之间的配合关系说明了该使用方法的部分步骤。

根据本公开实施例，如前述实施例所描述的张网机的使用方法至少包括如下步骤：

步骤S10：将目标片材T放置在张网机200的载台210上。

步骤S20：采用第一夹具单元110中的第一粗调夹具构件111夹持目标片材T并对目标片材T在第一方向X上施加拉伸力；以及

步骤S30：采用第一夹具单元110中的第一精调夹具构件112夹持目标片材T并对目标片材T在第一方向X和第二方向Y中的至少一个方向上施加拉伸力。

步骤S40：采用第二夹具单元120夹持目标片材T并对目标片材T在第二方向Y上施加拉伸力。

在上述步骤S20中，通过调节设置在载台210沿第一方向X的两端第一粗调夹具构件111以在第一方向X上夹持和拉伸目标片材T，完成粗调动作，以达到初步缓解目标片材T上的褶皱的状态。在步骤20中，第一精调夹具构件112不参与操作。

在执行上述步骤S30之前，已经完成并固定第一粗调夹具构件111的操作。在上述步骤S30中，通过外部设备确定目标片材T上未被缓解的褶皱的位置和规格(例如，如图2所示，确定在两个第一夹具单元110之间目标片材T上仍然存在一个褶皱W)。然后，根据外部设备的测算结果，启动第一夹具单元110相应的第一精调夹具构件的调节操作，示例性地，如图3所示，位于目标片材T上方的第一夹具单元110中左侧的第一精调夹具构件112B不被移动，该第一夹具单元110中右侧的第一精调夹具构件112A朝向右下方移动至虚线框的位置。这里，第一精调夹具构件112A朝向右下方的运动可以视为第一精调夹具构件112A对目标片材T进行夹持且实施精调拉伸的综合。也就是说，在第一精调夹具构件112A朝向右下方运动的过程中，第一精调夹具构件112A首先沿第三方向Z移动以对目标片材T进行夹持，随后沿第一方向X和第二方向Y移动以对目标片材T实施精调拉伸。与此同时，如图3所示，位于目标片材T下方的第一夹具单元中左侧的第一精调夹具构件112B’亦不被移动，该第一夹具单元中右侧的第一精调夹具构件112A’朝向右上方移动至虚线框的位置。这样，通过位于目标片材T上方和下方的两个第一精调夹具构件112A、112A’的位置调整，以实现第一精调夹具构件对目标片材T的夹持和精调拉伸。当然，如有需要，也可以同时对位于目标片材T上方和下方的另外两个第二精调夹具构件112B、112B’进行相应的位置调整，以实现对目标片材T的夹持和精调拉伸。

以图3中的第一精调夹具构件112A的位置调整为例，第一精调夹具构件112A的具体移动调整可参见图4所示的第一夹具单元110的立体构造。如图4所示，第一精调夹具构件112在第一方向X上的移动可以通过第二导轨114相对于第一导轨113在第一方向X上的往复运动来实现，第一精调夹具构件112在第二方向Y上的移动可以通过施压元件115相对于第二导轨114在第二方向Y上的往复运动来实现，而第一精调夹具构件112在第三方向Z上的移动可以通过第一精调夹具构件112相对于施压元件115在第三方向Z上的往复运动来实现。由此可知，第一夹具单元110的上述立体构造实现了第一精调夹具构件112沿第一方向X、第二方向Y和第三方向Z的可移动性，其中，第一精调夹具构件112沿第三方向Z的移动实现了其对目标片材T的夹持，而第一精调夹具构件112沿第一方向X和第二方向Y的移动实现其能够对目标片材T沿第一方向X和第二方向Y进行拉伸，以有效缓解目标片材T的褶皱。

在上述步骤S40中，通过调节设置在载台210沿第二方向Y的两端第二夹具单元120以在第二方向Y上夹持和拉伸目标片材T，以进一步缓解目标片材T上(尤其是未刻蚀区)的褶皱。

根据本公开实施例，如前述实施例所描述的张网机的使用方法，在上述步骤S20之后、执行上述步骤S30之前，还可以包括如下步骤：

步骤S21：释放第一粗调夹具构件111对目标片材T所施加的一部分拉伸力。

为了不对目标片材T造成损坏，在第一粗调夹具构件111完成对目标片材T的拉伸之后，释放第一粗调夹具构件111对目标片材T所施加的一部分拉伸力，以便于第一精调夹具构件112对目标片材T施加拉伸力。在第一精调夹具构件112完成对目标片材T的拉伸之后，在重新调整第一粗调夹具构件111对目标片材T的拉伸，以取得最佳拉伸和去褶皱效果。

可见，本公开实施例提供的张网机及其使用方法，通过在设置在张网机上的夹具组件中的第一粗调夹具构件内部设置第一精调夹具构件，在使第一粗调夹具构件能够在第一方向上对目标片材进行拉伸的基础上，使第一精调夹具构件能够在彼此相交(例如彼此垂直)的第一和第二方向中的至少一个方向上对目标片材进行拉伸，从而有效缓解被拉伸的目标片材上的褶皱。当目标片材为显示领域中的掩膜板时，本公开实施例提供的张网机及其使用方法，能够有效缓解掩膜板上的褶皱，从而降低混色，提高显示器件的良率。

虽然本公开构思的一些实施例已被显示和说明，本领域普通技术人员将理解，在不背离本公开构思的原则和精神的情况下，可对这些实施例做出改变，本公开的范围以权利要求和它们的等同物限定。

Claims (13)

1.一种夹具组件(100)，包括：

多个第一夹具单元(110)，每个所述第一夹具单元包括：

第一粗调夹具构件(111)，用于在第一方向(X)上对目标片材(T)施加拉伸力；和

至少一个第一精调夹具构件(112)，用于在所述第一方向和第二方向(Y)中的至少一个方向上对所述目标片材施加拉伸力，其中，所述第一方向和所述第二方向彼此相交并限定所述目标片材所在的平面；

其中，所述第一精调夹具构件设置在所述第一粗调夹具构件内部，并且所述第一精调夹具构件相对于所述第一粗调夹具构件能够沿所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向移动。

2.如权利要求1所述的夹具组件，其中，所述第一夹具单元还包括：

沿着所述第一方向设置的第一导轨(113)；

沿着所述第二方向设置的第二导轨(114)；和

设置在所述第二导轨上、并且在第三方向(Z)上可移动的施压元件(115)，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向限定的、所述目标片材所在的所述平面；

其中，所述第二导轨被构造成在所述第一方向上能够相对于所述第一导轨进行移动；

其中，所述第一精调夹具构件被构造成沿所述第一方向能够在第一导轨上进行移动、以及沿所述第二方向能够在所述第二导轨上进行移动，从而调节所述第一精调夹具构件在所述第一方向和所述第二方向上施加的拉伸力，并且，所述第一精调夹具构件还被构造成沿所述第三方向上能够在所述施压元件的作用下进行移动，以夹持所述目标片材。

3.如权利要求2所述的夹具组件，其中，所述第一导轨和所述第二导轨限定一轨道平面(GP)，所述轨道平面平行于所述目标片材所在的所述平面。

4.如权利要求1所述的夹具组件，其中，所述夹具组件还包括：

独立于所述第一夹具单元设置的、用于沿所述第二方向对所述目标片材施加拉伸力的多个第二夹具单元(120)。

5.如权利要求1至4中任一所述的夹具组件，其中，所述第一方向和所述第二方向彼此垂直。

6.如权利要求1至4中任一所述的夹具组件，其中，所述目标片材为精细金属掩膜。

7.一种张网机(200)，包括：

用于承载目标片材的载台(210)；和

设置在所述载台上、用于拉伸所述目标片材、如权利要求1至6中任一所述的夹具组件。

8.如权利要求7所述的张网机，其中，在所述载台沿所述第一方向的两端分别设置有彼此独立的多个所述第一夹具单元。

9.如权利要求7所述的张网机，其中，多个第二夹具单元分别设置在所述载台沿所述第二方向的两端，所述第二夹具单元用于夹持所述目标片材并对所述目标片材在所述第二方向上施加拉伸力。

10.如权利要求7所述的张网机，其中，所述目标片材包括未刻蚀区(T1)，所述夹具组件设置在所述载台上的对应于所述未刻蚀区的区域。

11.一种如权利要求7所述的张网机的使用方法，所述方法包括：

采用所述第一粗调夹具构件夹持所述目标片材并对所述目标片材在所述第一方向上施加拉伸力；以及

采用第一精调夹具构件夹持所述目标片材并对所述目标片材在所述第一方向和所述第二方向的至少一个方向上施加拉伸力。

12.如权利要求11所述的方法，其中，所述张网机中，所述夹具组件还包括分别设置在所述载台沿所述第二方向上的两端的第二夹具单元，所述方法包括：

采用所述第二夹具单元夹持所述目标片材并对所述目标片材在所述第二方向上施加拉伸力。

13.如权利要求11所述的方法，在采用所述第一粗调夹具构件施加拉伸力之后、采用所述第一精调夹具构件施加拉伸力之前，释放一部分所述第一粗调夹具构件对所述目标片材所施加的拉伸力。