CN103545240A - 夹具 - Google Patents

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Abstract

一种夹具,配置成夹持被支承的单元掩模的端部并且张力施加至该单元掩模,该夹具包括夹具主体和旋转接触部分,其中该旋转接触部分由夹具主体可旋转地支承并且与单元掩模的端部直接接触。

Description

夹具
技术领域
本公开大体上涉及夹具。更具体地,本公开大体上涉及在有机发光层的沉积中使用的向单元掩模施加张力的夹具。
背景技术
作为显示图像的显示装置,有机发光二极管(OLED)显示器近年来受到公众的关注。
为了制造OLED显示器,应当形成具有特定图案的电极、有机发光层等。用于形成电极和有机发光层等的方法可以应用到使用掩模组件的沉积方法中。
更具体地说,OLED显示器包括像素和有机发光二极管,其中像素是在衬底上显示图像的基本单元并且成矩阵式排列,有机发光二极管具有顺序形成的阳极(第一电极)和阴极(第二电极),用于每个像素的每个发射诸如红色、绿色、以及蓝色等光的有机发光层放置在这两者之间。
发明内容
本公开的实施方式针对夹持被支承的单元掩模的端部并且张力被施加至该单元掩模的夹具,该夹具包括夹具主体和旋转接触部分,其中旋转接触部分由夹具主体可旋转地支承并且直接与单元掩模的端部接触。
夹具主体和旋转接触部分之一可以包括凹进的第二部分,夹具主体和旋转接触部分中的另一个可以包括插入该凹进的第二部分的旋转轴。
该夹具还可以包括设置在凹进的第二部分与旋转轴之间的轴承。
弹性恢复力可以产生在旋转接触部分与夹具主体之间。
该夹具还可以包括连接旋转接触部分和夹具主体并且产生弹性恢复力的复位弹簧。
该夹具还可以包括设置在旋转接触部分与夹具主体之间并且限制旋转接触部分的旋转的止动装置,当旋转接触部分与单元掩模的端部接触时,该止动装置能够从旋转接触部分与夹具主体之间移动到夹具主体中。
旋转接触部分可以包括第一子旋转接触部分和第二子旋转接触部分,其中第一子旋转接触部分与单元掩模的端部的底侧接触,第二子旋转接触部分与单元掩模的端部的上侧接触。夹具主体可以包括设置在单元掩模的端部的底侧中的一对第一钳和设置在单元掩模的端部的上侧中的一对第二钳,第一钳包括凹进的第一沟槽并且第一子旋转接触部分位于第一沟槽中,第二钳在第一钳的方向上可旋转,并且第二钳包括第二子旋转接触部分所处的凹进的第二沟槽。
该夹具还可以包括第一止动装置和第二止动装置,该第一止动装置设置在第一子旋转接触部分与第一钳之间以限制第一子旋转接触部分的旋转,当第一子旋转接触部分与单元掩模的端部接触时,第一止动装置能够从第一子旋转接触部分与第一钳之间移动到第一钳中,该第二止动装置设置在第二子旋转接触部分与第二钳之间以限制第二子旋转接触部分的旋转,当第二子旋转接触部分与单元掩模的端部接触时,第二止动装置能够从第二子旋转接触部分与第二钳之间移动到第二钳中。
第一钳还可以包括第一凸起侧,该第一凸起侧设置在与和单元掩模的端部接触的第一子旋转接触部分的第一接触侧对准的虚拟线上。第二钳还可以包括第二凸起侧,第二凸起侧设置在与和第二掩模的端部接触的第二子旋转接触部分的第二接触侧对准的虚拟线上。第一止动装置可以包括第一止动装置主体和第一弹簧,该第一止动装置主体从第一子旋转接触部分与第一钳之间以弯曲的方式延伸到第一钳中并且穿过第一凸起侧,第一弹簧位于第一钳中并且在第一止动装置主体与第一钳之间产生弹性恢复力。第二止动装置可以包括第二止动装置主体和第二弹簧,该第二止动装置主体从第二子旋转接触部分与第二钳之间以弯曲的方式延伸到第二钳中并且穿过第二凸起侧,该第二弹簧设置在第二钳中并且在第二止动装置主体与第二钳之间产生弹性恢复力。
第一止动装置可以包括第三止动装置主体和第三弹簧,该第三主体从第一子旋转接触部分与第一钳之间以弯曲的方式延伸到第一钳中,然后以朝第一钳的外侧弯曲的方式凸起,该第三弹簧设置第一钳中并且在第三主体与第一钳之间产生弹性恢复力。第二止动装置可以包括第四止动装置主体和第四弹簧,该第四止动装置主体从第二子旋转接触部分与第二钳之间延伸到第二钳中,然后以朝第二钳的外侧弯曲的方式凸起并且与第三止动装置主体交叠,该第四弹簧设置第二钳中并且在第四止动装置主体与第二钳之间产生弹性恢复力。第一钳还可以包括在第二钳的方向上凸起的凸起件。第二钳还可以包括能够由凸起件升起的重物、从重物延伸并且由第二钳支承的杠杆轴、以及包括从杠杆轴延伸至第四止动装置的钩的杠杆臂。
附图说明
图1是使用根据示例性实施方式的夹具制造的掩模组件的立体图;
图2示出使用根据示例性实施方式的夹具施加有张力的单元掩模;
图3是图2所示的根据示例性实施方式的夹具的剖视图;
图4是图3中的“A”的俯视平面图;
图5是根据另一示例性实施方式的夹具的剖视图;
图6是图5中的“B”的俯视平面图;
图7是根据另一示例性实施方式的夹具的剖视图;
图8是根据另一示例性实施方式的夹具的剖视图。
具体实施方式
在下文中将参照示出本发明的示例性实施方式的附图更加全面地描述各种实施方式。本文中描述的实施方式可以以各种不同的方式进行修改,并且所有的这些实施方式都不背离本发明的精神或范围。
因此,附图和说明书本质上应认为是说明性的而非限制性的。在整个说明书中,相同的附图标记表示相同的元件。
另外,具有由相同的附图标记表示的相同的部件的配置将代表性地在各种示例性实施方式中的一个中进行描述,而与该示例性实施方式不同的其他部件将在随后的示例性实施方式进行描述。
此外,为了便于理解和描述方便起见,随意地示出了附图中的每一个组件的尺寸和厚度。
另外,除非明确地相反地说明,术语“包括(comprise)”及其变型如“包括(comprises)”或“包括(comprising)”应理解为是指包括所述元件而非排出任何其他元件。此外,应当理解当元件如层、膜、区域、或基底被认为是“位于”另一元件上时,其可以直接位于另一元件上或者还可以存在插入的元件。
在下文中,将参照图1至图4描述根据示例性实施方式的夹具。
图1是使用根据示例性实施方式的夹具制造的掩模组件的立体图。
如图1所示,使用根据示例性实施方式的夹具制造的掩模组件包括多个单元掩模10和框架20。
图2示出使用根据示例性实施方式的夹具施加有张力的单元掩模。
如图1和图2所示,每个单元掩模10形成为在第一方向,即长度方向上延伸的带的形状,并且当使用根据示例性实施方式的夹具1000在第一方向上对单元掩模10施加张力时,单元掩模10的两端10a由框架20支承。单元掩模10设有多个,并且该多个单元掩模10沿第二方向,即与第一方向相交的宽度方向相互邻近地设置。单元掩模10的两端10a可形成为中间区域呈凹形的马蹄铁的形状,但是其他形状也是可能的。单元掩模10的两端10a可以形成为平的。
每个单元掩模10包括图案11。
在每个单元掩模10中,图案11沿第一方向设置。图案单元11可以对应于单个有机发光二极管(OLED)显示器,并且在这种情况下,形成数个OLED显示器的多个图案可以同时形成在母基板中,在该母基板中,OLED显示器将使用单元掩模10通过单个过程制造。图案单元11设置在单元掩模10中,对应于形成OLED显示器的图案的沉积区。图案单元11具有穿过单元掩模10的开放图案,该开放图案是形成待穿过图案单元11在母基板中形成的OLED显示器的图案。图案单元11包括多个条型缝。
框架20固定并支承在第一方向上施加有张力的多个单元掩模10的每个的两端10a。固定至框架20的单元掩模10由框架20支承,并且单元掩模10处于在第一方向上施加有张力的状态下,因此沿第一方向,即单元掩模10的延伸方向产生收缩力。框架20可以由具有高强度的金属材料,如不锈钢形成,以防止由于单元掩模10的收缩力的变形。
图3是根据示例性实施方式的夹具的剖视图。
如图3所示,根据示例性实施方式的夹具1000通过夹持单元掩模10的端部10a向第一方向拉拽单元掩模10。在张力施加至框架20的状态下,夹具1000夹持被支承的单元掩模10的端部10a。
夹具1000包括旋转接触部分100、夹具主体200、以及轴承300。
旋转接触部分100由夹具主体200可旋转地支承,并且通过夹具主体200与单元掩模10的端部10a直接接触以直接按压单元掩模10的端部10a。旋转接触部分100包括第一子旋转接触部分110和第二子旋转接触部分120。
第一子旋转接触部分110与单元掩模10的端部10a的底表面接触,并且包括形成为对应于夹具主体200的凹进的第一部分111。
第二子旋转接触部分120与单元掩模10的端部10a的上表面接触,并且包括形成为对应于夹具主体200的凹进的第二部分121。
夹具主体200通过夹持单元掩模10的端部10a按压单元掩模10的端部10a。夹具主体200包括一对第一钳210和一对第二钳220。
第一钳210设置在单元掩模10的端部10a的底侧。第一钳210包括第一沟槽211和第一旋转轴212。
第一沟槽211对应于单元掩模10的端部10a从第一钳210的表面凹进,并且第一子旋转接触部分110设置在第一沟槽211中。
第一旋转轴212从第一沟槽211朝向第一子旋转接触部分110凸起,并且插入形成在第一子旋转接触部分110中的凹进的第一部分111。
第二钳220设置在单元掩模10的端部10a上侧从而能够朝向第一钳210的方向旋转。第二钳220包括第二沟槽221和第二旋转轴222。
第二沟槽221对应于单元掩模10的端部10a从第二钳220的表面凹进。第二子旋转接触部分120设置在第二沟槽221中。
第二旋转轴222从第二沟槽221朝向第二子旋转接触部分120凸起,并且插入形成在第二子旋转接触部分120中的凹进的第二部分121。
轴承300设置在凹进的第一部分111与第一旋转轴212之间和凹进的第二部分121与第二旋转轴222之间,并且第一子旋转接触部分110和第二子旋转接触部分120各自与第一钳210和第二钳220接合,从而第一子接触部分110和第二子旋转接触部分可旋转。
在根据该示例性实施方式的夹具1000中,凹进的第一部分111和凹进的第二部分121形成在旋转接触部分100中,并且第一旋转轴212和第二旋转轴222形成在夹具主体200中。然而,在其他实施方式中,凹进的第一部分和凹进的第二部分可以形成在夹具主体中并且第一旋转轴和第二旋转轴可以形成在旋转接触部分中。
图4是图3中的“A”的俯视平面图。
如图3和图4的(a)所示,当夹具1000被拉至第一方向并且旋转接触部分100与单元掩模10的端部10a接触时,由于沿单元掩模10的长度方向(即,第一方向)施加的张力,可能在单元掩模10长度方向或宽度方向上产生波状物。在这种情况下,如图4的(b)所示,当施加至单元掩模10的张力的方向改变成使产生在单元掩模10中的波状物平滑时,由夹具主体200直接施加至单元掩模10的张力方向没有改变,但是由与夹具主体200可旋转地支承并与单元掩模10直接接触的旋转接触部分100间接施加至单元掩模10的张力方向改变。因此,施加至整个单元掩模10的张力差异最小化从而使得由夹具1000施加的张力导致的在单元掩模10的长度方向或宽度方向上产生的波状物可以被抑制。
在根据该实施方式的夹具1000中,由夹具主体200可旋转地支承的旋转接触部分100直接与单元掩模10的端部10a接触。因此,虽然施加至单元掩模10的张力的方向改变成使在单元掩模10中产生的波状物平滑,但是施加至整个单元掩模10的张力差异最小从而使得由夹具1000施加的张力所导致的在单元掩模10的长度方向或宽度方向上产生的波状物可以被抑制。
在下文中,将参照图5和图6描述根据另一示例性实施方式的夹具。
在下文中,将对与之前的示例性实施方式不同的具体部分进行描述。
另外,在该示例性实施方式中,为了更好的理解和便于描述,相同的组成元件由与之前的示例性实施方式相同的附图标记表示。
图5是根据该示例性实施方式的夹具的剖视图。
如图5所示,根据该实施方式的夹具1002包括旋转接触部分100、夹具主体200、轴承300、以及复位弹簧400。
复位弹簧400连接旋转接触部分100与夹具主体200以使得在旋转接触部分100与夹具主体200之间产生弹性恢复力。
复位弹簧400包括第一子复位弹簧410和第二子复位弹簧420。
第一子复位弹簧410设于第一沟槽211中,并且连接第一子旋转接触部分110与一对第一钳210。当弹性恢复力产生在第一子旋转接触部分110与第一钳210之间且第一钳210因此与单元掩模10分离时,第一子复位弹簧410使第一子旋转接触部分110恢复到其初始位置。当第一子旋转接触部分110与单元掩模10分离时,在第一子旋转接触部分110恢复到初始位置后另一单元掩模被夹持时,第一子复位弹簧410抑制第一子旋转接触部分110的干扰。
图6是图5中的“B”的俯视平面图。
更详细地,如图6的(a)所示,当第一子旋转接触部分110与单元掩模10分离并且第一子旋转接触部分110相对于第一钳210旋转时,如图6的(b)所示弹性恢复力由第一子复位弹簧410产生从而使得第一子旋转接触部分110恢复到其初始位置。
第二子复位弹簧420设于第二沟槽221中,并且连接第二子旋转接触部分120与一对第二钳220。第二子复位弹簧420在第二子旋转接触部分120与第二钳220之间产生弹性恢复力从而当第二钳220与单元掩模10分离时第二子旋转接触部分120可以恢复至其初始位置。当第二子旋转接触部分120与单元掩模10分离时,第二子复位弹簧420使第二子旋转接触部分120恢复至其初始位置以抑制当另一单元掩模被夹持时第二子旋转接触部分120的干扰。
如上所述,在根据该示例性实施方式的夹具1002中,当由夹具主体200可旋转地支承的旋转接触部分100与单元掩模10的端部10a分离时,旋转接触部分100恢复至其初始位置,以使得旋转接触部分100的干扰可以被抑制,从而提高由夹具1002进行的夹持过程的可靠性。
在下文中,将参照图7描述根据另一示例性实施方式的夹具。
在下文中,将对与之前的示例性实施方式不同的特定部分进行描述。另外,在该示例性实施方式中,为了更好的理解和便于描述,相同的组成元件由与之前的示例性实施方式相同的附图标记表示。
图7是根据该示例性实施方式的夹具的剖视图。
如图7的(a)所示,根据该示例性实施方式的夹具1003包括旋转接触部分100、夹具主体200、轴承300、第一止动装置500以及第二止动装置600。
第一止动装置500设置在第一子旋转接触部分110与一对第一钳210之间以限制第一子旋转接触部分110的旋转,并且当第一子旋转接触部分110与单元掩模10的端部10a接触时,第一止动装置500从第一子旋转接触部分110与第一钳210之间移动到第一钳中。
第一止动装置500包括第一止动装置主体510和第一弹簧520。
第一止动装置主体510从第一子旋转接触部分110,即第一沟槽211的内侧与第一钳210之间以弯曲的方式延伸到第一钳210中,然后穿过第一钳210的第一凸起侧210a。第一钳210的第一凸起侧210a设置在与第一子旋转接触部分110与单元掩模10的端部10a接触的第一接触侧110a对准的虚拟线L上。
第一弹簧520设置在第一钳210中,并且在第一止动装置主体510与第一钳210之间产生弹性恢复力。
第二止动装置600设于第二子旋转接触部分120与一对第二钳220之间以限制第二子旋转接触部分120的旋转。当第二子旋转接触部分120与单元掩模10的端部10a接触时,第二止动装置600从第二子旋转接触部分120与第二钳220之间移动到第二钳220中。
第二止动装置600包括第二止动装置主体610和第二弹簧620。
第二止动装置主体610从第二子旋转接触部分120,即第二沟槽221的内侧与第二钳220之间以弯曲的方式延伸到第二钳中,并且穿过第二钳220的第二凸起侧220a。第二钳220的第二凸起侧220a设置在与第二子旋转接触部分120接触单位掩模10的端部10a的第二接触侧120a对准的虚拟线L'上。
第二弹簧620设于第二钳220中,并且在第二止动装置主体610与第二钳220之间产生弹性恢复力。
如图7的(b)所示,在根据该示例性实施方式的夹具1003中,第一子旋转接触部分的第一接触侧110a和第二子旋转接触部分120的第二接触侧120a分别与单元掩模10接触,分别穿过第一接触侧110a和第二接触侧120a的第一止动装置主体510和第二止动装置主体610分别由第二凸起侧220a和第一凸起侧210a按压。因此,分别地,第一止动装置500从第一子旋转接触部分110与第一钳210之间移动到第一钳210中,并且第二止动装置600从第二子旋转接触部分120与第二钳220之间移动到第二钳220中。
当第一子旋转接触部分110和第二子旋转接触部分120分别与单元掩模10分离时,通过第一弹簧520和第二弹簧620的每个的弹性恢复力使第一弹簧520和第二弹簧620分别在第一子旋转接触部分110与第一钳210之间和在第二子旋转接触部分120与第二钳220之间移动,以防止第一子旋转接触部分110和第二子旋转接触部分120的旋转。
如上所述,在根据该示例性实施方式的夹具1003中,当旋转接触部分100与单元掩模10的端部10a分离时,由夹具主体200可旋转支承的旋转接触部分100的旋转可以由第一止动装置500和第二止动装置600抑制。因此,只要旋转接触部分100不与单元掩模10的端部10a接触,旋转接触部分100的不期望的旋转可以被防止。从而,可以提高由夹具1003进行的夹持过程的可靠性。
在下文中,将参照图8描述根据另一示例性实施方式的夹具。
在下文中,将对与之前的示例性实施方式不同的特定部分进行描述。另外,在该示例性实施方式中,为了更好的理解和便于描述,相同的组成元件由与之前的示例性实施方式相同的附图标记表示。
图8是根据该示例性实施方式的夹具的剖视图。
如图8的(a)所示,根据该示例性实施方式的夹具1004包括旋转接触部分100、夹具主体200、轴承300、第一止动装置500以及第二止动装置600。
第一止动装置500设置在第一子旋转接触部分110与一对第一钳210之间以限制第一子旋转接触部分110的旋转。当第一子旋转接触部分110与单元掩模10的端部10a接触时,第一止动装置500从第一子旋转接触部分110与第一钳210之间移动到第一钳210中。
第一止动装置500包括第三止动装置主体530和第三弹簧540。
第三止动装置主体530从第一子旋转接触部分110,即第一沟槽211的内侧与第一钳210之间延伸到第一钳210中,然后以朝向第一钳210的外侧弯曲的方式凸起。
第三弹簧540设于第一钳210中,并且在第三止动装置主体530与第一钳210之间产生弹性恢复力。
第二止动装置600设置在第二子旋转接触部分120与一对第二钳220之间以限制第二子旋转接触部分120的旋转。当第二子旋转接触部分120与单元掩模10的端部10a接触时,第二止动装置600从第二子旋转接触部分120与第二钳220之间移动到第二钳220中。
第二止动装置600包括第四止动装置主体630和第四弹簧640。
第四止动装置主体630从第二子旋转接触部分120,即第二沟槽221的内侧与第二钳220之间延伸到第二钳220中,并且以朝向第二钳220的外侧弯曲的方式凸起。第四止动装置主体630凸起成与第三止动装置主体530交叠。
第四弹簧640设置在第二钳220中,并且在第四止动装置主体630与第二钳220之间产生弹性恢复力。
第一钳210还包括朝向第二钳220的方向凸起的凸起件210b,并且第二钳220还包括对应于凸起件210b并且由凸起件210b提升的重物225a、从重物225a延伸并由第二钳220支承的杠杆轴225b,杠杆臂225具有从第四止动装置主体630延伸至杠杆轴225b的钩225c。
如图8的(b)所示,在根据该示例性实施方式的夹具1004中,当第一子旋转接触部分110和第二子旋转接触部分120分别与单元掩模10接触时,凸起件210b使重物225a升高并且杠杆臂225根据重物225a的升高相对于杠杆轴225b旋转,从而钩225a使第四止动装置主体630朝向凸起部分210b的方向移动。当第四止动装置主体630朝向凸起部分210b的方向移动时,与第四止动装置主体630交叠的第三止动装置主体530也朝向凸出件210b的方向移动。因此,分别地,第一止动装置500从第一子旋转接触部分110与第一钳210之间移动到第一钳210中,并且第二止动装置600从第二子旋转接触部分120与第二钳220之间移动到第二钳220中。
当第一子旋转接触部分110和第二子旋转接触部分120分别与单元掩模10分离时,凸出件210b与重物225a分离,因此重物225a由于其重量而下落,杠杆臂225由于重物225a的下落而相对于杠杆轴225b旋转,从而使得钩225c朝向第二钳220的方向移动。在这种情况下,分别地,第一止动装置500通过弹性恢复力移回第一子旋转接触部分110与第一钳210之间,第二止动装置600通过弹性恢复力移回第二子旋转接触部分120与第二钳220之间,以防止第一子旋转接触部分110和第二子旋转接触部分120的旋转。
如上所述,在根据该示例性实施方式的夹具1004中,当由夹具主体200可旋转地支承的旋转接触部分100与单元掩模10的端部10a分离时,旋转接触部分100的旋转被抑制。因此,如果旋转接触部分100不与单元掩模10的端部10a接触,旋转接触部分100的不期望的旋转便可以被防止,从而提高了由夹具1004进行的夹持过程的可靠性。
通过总结和回顾,形成有机发光层的有机材料非常容易被湿气和氧气等损坏,因而在形成有机发光层的过程中和在形成有机发光层之后,有机材料应该完全与湿气隔离。因此,可能难以使用一般的光刻工艺来执行图案化。相反,有机发光层和第二电极等可以使用这样的掩模来形成,其中,该掩模上形成的用于穿过沉积材料的图案开口仅穿过对应于每个图案的部分。
最近,包括一种框架的掩模组件已经被使用,该框架包括开口部分和成带状的多个单元掩模,其中单元掩模的两端固定至框架,与开口部分对应。在这种掩模组件中,单元掩模由框架支承并且张力在长度方向上施加至单元掩模。因此,单元掩模使用夹具拉拽,然后由框架支承。
然而,当单元掩模使用夹具拉拽时,由于由夹具在长度方向上施加至单元掩模的张力,不期望的波状物可能会沿单元掩模的宽度方向出现在单元掩模中。
相反,本公开的实施方式可以提供这样的夹具,该夹具可以抑制由于在长度方向上施加至单元掩模的张力而在单元掩模的宽度方向上出现波状物的发生。
虽然已经结合目前认为是可实施的示例性实施方式描述了本公开,但是应该理解本发明并不限于所公开的实施方式,而相反地旨在涵盖包括在所附权利要求的精神和范围内的各种修改和等同布置。

Claims (10)

1.一种夹具,所述夹具夹持被支承的单元掩模的端部并且张力施加至所述单元掩模,所述夹具包括:
夹具主体;以及
旋转接触部分,由所述夹具主体可旋转地支承并且与所述单元掩模的端部直接接触。
2.根据权利要求1所述的夹具,其中所述夹具主体和所述旋转接触部分之一包括凹进的第二部分,所述夹具主体和所述旋转接触部分中的另一个包括插入所述凹进的第二部分的旋转轴。
3.根据权利要求3所述的夹具,还包括设置在所述凹进的第二部分与所述旋转轴之间的轴承。
4.根据权利要求1所述的夹具,其中在所述旋转接触部分与所述夹具主体之间产生弹性恢复力。
5.根据权利要求4所述的夹具,还包括复位弹簧,所述复位弹簧连接所述旋转接触部分与所述夹具主体并且产生所述弹性恢复力。
6.根据权利要求1所述的夹具,还包括止动装置,所述止动装置设置在所述旋转接触部分与所述夹具主体之间并且限制所述旋转接触部分的旋转,并且当所述旋转接触部分与所述单元掩模的端部接触时,所述止动装置能够从所述旋转接触部分与所述夹具主体之间移动到所述夹具主体中。
7.根据权利要求1所述的夹具,其中:
所述旋转接触部分包括:
第一子旋转接触部分,与所述单元掩模的端部的底侧接触;以及第二子旋转接触部分,与所述单元掩模的端部的上侧接触,
所述夹具主体包括:
一对第一钳,设置在所述单元掩模的端部的底侧并包括凹进的第一沟槽,所述第一子旋转接触部分位于所述凹进的第一沟槽中;以及
一对第二钳,设置在所述单元掩模的端部的上侧从而使得所述第二钳在朝向所述第一钳的方向上能够旋转,所述第二钳包括凹进的第二沟槽,所述第二子旋转接触部分位于所述凹进的第二沟槽中。
8.根据权利要求7所述的夹具,还包括:
第一止动装置,设置在所述第一子旋转接触部分与所述第一钳之间以限制所述第一子旋转接触部分的旋转,并且当所述第一子旋转接触部分与所述单元掩模的端部接触时,所述第一止动装置能够从所述第一子旋转接触部分与所述第一钳之间移动到所述第一钳中;以及
第二止动装置,设置在所述第二子旋转接触部分与所述第二钳之间以限制所述第二子旋转接触部分的旋转,并且当所述第二子旋转接触部分与所述单元掩模的端部接触时,所述第二止动装置能够从所述第二子旋转接触部分与所述第二钳之间移动到所述第二钳中。
9.根据权利要求8所述的夹具,其中:
所述第一钳还包括第一凸起侧,所述第一凸起侧设置在与所述第一子旋转接触部分与所述单元掩模的端部接触的第一接触侧对准的虚拟线上,
所述第二钳还包括第二凸起侧,所述第二凸起侧设置在与所述第二子旋转接触部分与所述单元掩模的端部接触的第二接触侧对准的虚拟线上,
所述第一止动装置包括:
第一止动装置主体,从所述第一子旋转接触部分与所述第一钳之间以弯曲的方式延伸到所述第一钳中并且穿过所述第一凸起侧;以及
第一弹簧,位于所述第一钳中并且在所述第一止动装置主体与所述第一钳之间产生弹性恢复力,
所述第二止动装置包括:
第二止动装置主体,从所述第二子旋转接触部分与所述第二钳之间以弯曲的方式延伸到所述第二钳中并且穿过所述第二凸起侧;以及
第二弹簧,设置在所述第二钳中并在所述第二止动装置主体与所述第二钳之间产生弹性恢复力。
10.根据权利要求8所述的夹具,其中:
所述第一止动装置包括:
第三止动装置主体,从所述第一子旋转接触部分与所述第一钳之间延伸到所述第一钳中,然后以朝向所述第一钳的外侧弯曲的方式凸起;以及
第三弹簧,设置在所述第一钳中并在所述第三止动装置主体与所述第一钳之间产生弹性恢复力,
所述第二止动装置包括:
第四止动装置主体,从所述第二子旋转接触部分与所述第二钳之间延伸到所述第二钳中,然后以朝向所述第二钳的外侧弯曲的方式凸起并与所述第三止动装置主体交叠;以及
第四弹簧,设置在所述第二钳中并在所述第四止动装置主体与所述第二钳之间产生弹性恢复力,
第一钳还包括在所述第二钳的方向上凸起的凸起件,
所述第二钳还包括能够由所述凸起件提升的重物、从所述重物延伸并由所述第二钳支承的杠杆轴、以及包括从所述杠杆轴延伸至所述第四止动装置的钩的杠杆臂。
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