KR101318229B1 - 발광 표시장치의 제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크 프레임에 마스크를 용접하지 않고 마스크의 처짐을 방지할 수 있도록 한 발광 표시장치의 제조장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 증착물질이 저장된 용기와; 상기 용기 상에 배치되는 기판과; 상기 용기와 상기 기판 사이에 배치되어 상기 증착물질이 상기 기판에 증착되도록 선택적으로 통과시키는 마스크와; 상기 마스크의 가장자리에 접속되는 복수의 클램프와; 상기 각 클램프에 접속된 복수의 케이블과; 상기 케이블을 지지하는 지지 프레임; 및 상기 지지 프레임에 지지된 상기 각 케이블을 잡아당겨 상기 마스크의 처짐을 방지하는 복수의 모터를 포함하여 구성된다.
이러한 구성에 의하여 본 발명은 마스크 지지 프레임에 마스크를 용접하는 공정을 줄여 공정의 효율을 높이고, 마스크의 처짐을 방지하여 발광 표시패널에서 발생하는 혼색 불량 발생을 최소화할 수 있다.
마스크, 처짐, 클램프, 유기막 증착

Description

발광 표시장치의 제조장치{APPARATUS FOR FABRICATING LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE}
도 1은 종래의 마스크를 지지 프레임을 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치가 마스크에 설치된 것을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 발광 표시장치의 제조장치에 적용되는 클램프를 확대하여 나타낸 도면.
도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 발광 표시장치의 제조장치를 이용한 증착과정을 나타낸 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 >
10 : 클램프 20 : 마스크
20a : 클램핑 영역 20b : 패턴 형성부
30 : 지지 프레임 40 : 모터
50 : 개구부 60 : 기판
70 : 케이블 80 : 투명전극
90 : 용기 100 : 증착물질
110 : 스크류
본 발명은 마스크 프레임에 마스크를 용접하지 않고 마스크의 처짐을 방지할 수 있도록 한 발광 표시장치의 제조장치에 관한 것이다.
최근 다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 다양한 표시 장치들 중 종이와 같이 박막화가 가능한 발광 표시장치(Light Emitting Display Device)가 주목받고 있다. 발광 표시장치는 전극 사이의 얇은 발광층을 이용한 자발광 소자로 액정 표시장치와 비교하여 저소비전력, 박형, 자발광 등의 장점을 갖고 있다.
이러한, 발광 표시장치의 기판은 점점 대형화되면서 대형 마스크를 사용하게 되는데, 이때, 사용되는 대형 마스크는 한장의 마스크로 형성할 수 없기 때문에 두장 이상의 마스크를 서로 연결시키기 위해 용접하는 방식을 사용하고 있다.
또한, 도 1을 참조하면, 상기와 같이 연결된 마스크(1)는 마스크 공정을 진행하기 위해 다시 마스크 프레임(2)에 용접되는 공정을 거치게 된다.
그러나, 대형화된 마스크를 용접하여 사용하는 방식은 마스크가 용접된 마스크 프레임 외곽 부위에서는 팽팽하게 당겨지지만, 마스크의 중앙 부위는 중력의 방향으로 처짐 현상이 발생한다. 또한, 마스크와 마스크가 연결되는 용접부위(3)에서는 마스크 재료의 특성에 의해 마스크가 변형되는 문제점이 발생하게 된다.
따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 마스크 프레임에 용접하지 않고 대형 마스크의 처짐을 방지할 수 있도록 한 발광 표시장치의 제조장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 본 발명의 발광 표시장치의 제조장치는 증착물질이 저장된 용기와; 상기 용기 상에 배치되는 기판과; 상기 용기와 상기 기판 사이에 배치되어 상기 증착물질이 상기 기판에 증착되도록 선택적으로 통과시키는 마스크와; 상기 마스크의 가장자리에 접속되는 복수의 클램프와; 상기 각 클램프에 접속된 복수의 케이블과; 상기 케이블을 지지하는 지지 프레임과; 및 상기 지지 프레임에 지지된 상기 각 케이블을 잡아당겨 상기 마스크의 처짐을 방지하는 복수의 모터를 포함하여 구성된다.
상기 마스크는 상기 증착물질이 통과하는 복수의 개구부와; 상기 마스크의 가장자리에 형성된 클램핑 영역을 포함하여 구성되는 것을 특징한다.
상기 복수의 클램프 각각은 상기 마스크의 각 변의 더미영역에 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 클램프 각각은 스크류에 의해 상기 마스크의 각 변의 더미영역에 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 지지 프레임은 상기 마스크의 형태에 대응되는 개구부와; 상기 각 케이블을 지지하는 지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 발광 표시장치의 제조장치를 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 증착물질(100)이 저장된 용기(90)와; 용기(90) 상에 배치되는 기판(60)과; 용기(90)와 기판(60) 사이에 배치되어 증착물질(100)이 기판(60)에 증착되도록 선택적으로 통과시키는 마스크(20)와; 마스크(20)의 가장자리에 접속되는 복수의 클램프(10)와; 각 클램프(10)에 접속된 복수의 케이블(70)과; 케이블(70)을 지지하는 지지 프레임(30)과; 및 지지 프레임(30)에 지지된 각 케이블(70)을 잡아당겨 마스크(20)의 처짐을 방지하는 복수의 모터(40)를 포함하여 구성된다.
용기(90)는 마스크(20) 하부에 각각의 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 증착물질(100)이 수용된 복수개의 용기(90)가 소정간격 이격되어 순차적으로 설치될 수 있다. 이러한, 각각의 용기(90)는 상부쪽에 개구부가 있으며, 이 개구부를 통해 용기(90)에 수용된 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 증착물질(100)이 증착하게 된다.
또한, 용기(90)는 도시하지 않은 저항들로 감싸이게 된다. 이때, 저항은 외부로부터 전압을 공급받아 용기(90)에 수용된 증착물질(100)을 가열시켜 승화시킨다.
기판(60)에는 전자 빔 증착, 스퍼터링 증착, 화학 반응법 등에 의해 투명전극(80)이 형성된다. 이때, 투명전극(80)은 산화 주석, 산화 아연, 산화 인듐, 산화 주석인듐(Indium Tin Oxide; ITO) 등으로 형성될 수 있다.
마스크(20)는 지지 프레임(30) 내부에 위치하고, 마스크 패턴(20a)과 클램핑 영역(20b)으로 형성된다. 이때, 마스크(20)는 이를 위해 스테인레스 철, 구리 합금, 니켈 합금, 알루미늄 합금 등의 금속 재료, 공지된 수지 재료, 폴리비닐계, 폴리이미드계, 폴리스티렌계, 아크릴계, 노르볼락계, 실리콘계 등의 폴리머에 감광성을 부여한 감광성 수지 등의 재료로 제작된다.
마스크 패턴(20a)은 증착물질이 통과하는 복수의 개구부(50)로 형성된다. 이때, 마스크 패턴(20a)은 투명전극(80) 상에 일정한 패턴인 개구부(50)를 통해 증착물질(100)이 증착되도록 하는 역할을 한다.
클램핑 영역(20b)은 마스크(20)의 외곽에 형성되어 복수의 클램프(10)가 클램핑 된다.
클램프(10) 각각은 마스크(20)의 장변과 단변에 형성된 클램핑 영역(20b)을 일정 간격으로 클램핑한다. 여기서, 복수의 클램프(10) 각각은 도 4에 도시된 바와 같이, 마스크(20)의 두께에 대응되도록 "U"자 형태를 갖는다. 이러한 복수의 클램프(10) 각각은 스크류(110)에 의해 마스크(20)의 클램핑 영역(20b)에 설치한다.
케이블(70)은 클램프(10)와 모터(40) 사이에 설치되어 모터(40)에서 발생된 동력을 마스크(20)에 설치된 클램프(10)에 전달하도록 형성된다.
지지 프레임(30)은 마스크(20)의 형태에 대응되는 개구부와 케이블(70)을 지지하는 지지부로 구성된다. 이때, 지지 프레임(30)의 재질은 통상 스테인레스, 강철, 알루미늄과 같은 금속 및 금속의 합금이나, 폴리카보네이트 등과 같은 기능성 폴리머 등을 상용할 수 있으나, 열 변형이 적은 니켈 합금(Invar)을 사용하면 더 좋다.
복수의 모터(40)는 마스크(20)의 중앙부가 처지지 않도록 클램프(10)에 연결된 케이블(70)을 잡아당기기 위한 동력을 발생하도록 형성된다. 이때, 복수의 모터(40)는 마스크(20)를 클램핑하고 있는 복수의 클램프(10) 각각에 연결된 케이블(70)을 잡아당김으로써 마스크(20)의 처짐을 방지할 수 있다.
도 5a 내지 도 5b를 참조하여 마스크 처짐 방지 장치가 마스크를 잡아당기고 증착물질이 증착되는 과정을 나타낸 도면이다.
먼저, 도 5a를 참조하면, 기판(60)에 대향되어 중앙부가 중력의 방향으로 쳐저 있는 대형화된 마스크(20)를 마스크(20)의 형태에 대응되는 지지 프레임(30)의 개구부에 정렬한다.
이어, 클램프(10)는 정렬된 마스크(20)의 클램핑 영역(20b)에 클램핑한다.
이어, 모터(40)는 클램프(10)와 연결된 케이블(70)에 동력을 전달하여 도 5b에서와 같이, 기판(60)과 평행하도록 마스크(20)를 잡아당긴다.
이어, 마스크(20) 하부에 설치에서 증착물질(100)을 담고있는 용기(90)는 용기(90)를 감싸고 있는 저항에 의해 가열되게 된다. 이때, 용기(90)에 수용된 증착물질(100)은 상온에서는 증발되지 않고 일정한 온도 대략 200℃에서 증발한다.
이어, 저항에 의해 가열된 용기(90)에서 증발되는 증착물질(100)은 분자 또는 원자 상태로 증발된다. 따라서, 기판(60)과 용기(90) 사이에 설치된 마스크(20)의 개구부(50)를 통과한 증착물질(100)만이 상대적으로 온도가 낮은 기판(60)의 투명전극(80) 상에 증착된다.
따라서, 마스크의 처짐을 방지하기 위해 종래의 마스크 프레임에 마스크를 용접했던 방식에서 용접하는 공정을 줄여 공정의 효율을 높일 수 있다.
또한, 대형화된 마스크의 처짐을 방지하여 발광 표시패널에서 발생하는 혼색 불량 발생을 최소화할 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 마스크 프레임에 마스크를 용접하는 공정을 줄여 공정의 효율을 높이고, 마스크의 처짐을 방지하여 발광 표시패널에서 발생하는 혼색 불량 발생을 최소화할 수 있다.

Claims (5)

  1. 증착물질이 저장된 용기와;
    상기 용기 상에 배치되는 기판과;
    상기 증착물질이 상기 기판에 증착되도록 상기 용기와 상기 기판 사이에 배치되고, 상기 증착물질이 통과하는 복수의 개구부가 형성된 마스크 패턴과, 상기 마스크의 가장자리에 형성된 클램핑 영역을 포함하는 마스크와;
    상기 마스크의 가장자리에 접속되는 복수의 클램프와,
    상기 각 클램프에 접속된 복수의 케이블과,
    상기 케이블을 지지하고, 상기 마스크의 형태에 대응되는 개구부와, 상기 각 케이블을 지지하는 지지부를 포함하는 지지 프레임; 및
    상기 지지 프레임에 지지된 상기 각 케이블을 잡아당겨 상기 마스크의 처짐을 방지하는 복수의 모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 클램프 각각은 상기 마스크의 각 변의 클램핑 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 클램프 각각은 스크류에 의해 상기 마스크의 각 변의 클램핑 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.
  5. 삭제
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