JP4609756B2 - 成膜装置のマスク位置合わせ機構および成膜装置 - Google Patents
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Description
またマスク位置合わせ機構を備えた成膜装置を提供することを目的とする。
また前記マスククランプの前記嵌合ピンは、テーパー形状であることを特徴としている。
なおマスククランプに嵌合穴を設け、マスクに嵌合ピンを設けることもできる。
Claims (4)
- 成膜装置内にマスククランプを配設し、前記マスククランプにマスクを載せるときの成膜装置のマスク位置合わせ機構であって、
前記マスククランプは、成膜装置の外側に設けられた回転機構により回転可能とされたマスククランプと、成膜装置に対して位置決めされた第2のマスククランプと、からなり、
前記第2のマスククランプは、前記マスクの縁部に対応して前記マスクの側方から延設された延設部と、前記延設部の先端部に設けられた嵌合ピンとを有し、
前記マスクは、その前記縁部に前記第2のマスククランプの前記嵌合ピンと嵌め合わされる嵌合穴を備えた、
ことを特徴とする成膜装置のマスク位置合わせ機構。 - 前記マスクの前記嵌合穴は、前記マスクの対角する角部に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の成膜装置のマスク位置合わせ機構。
- 前記マスククランプの前記嵌合ピンは、テーパー形状であることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置のマスク位置合わせ機構。
- 成膜材料の蒸発源と、
前記蒸発源に対向して配設され、基板を装着保持するチャックと、
前記チャックに装着保持された前記基板に被せられるマスクと、
前記蒸発源と前記チャックとの間に配設され、前記マスクを保持するマスククランプを有し、このマスククランプを成膜装置の外側に設けられた回転機構により回転可能とされたマスククランプと、成膜装置に対して位置決めされた第2のマスククランプと、により構成し、
前記第2のマスククランプは、前記マスクの縁部に対応して前記マスクの側方から延設された延設部を備え、前記マスクおよび前記延設部には、前記マスクと前記延設部との位置決めをなす嵌合部を設けた、
ことを特徴とする成膜装置。
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