CN103205681B - 对位辅助板 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种对位辅助板，用于掩模板与掩模框架之间的间接对位。具体地，这种对位辅助板的尺寸与掩模板的尺寸相同，且包括至少两个对位孔和至少两个挂孔。对位辅助板的对位孔与掩模板的对位孔的相对位置相同，且其直径与掩模框架上相对应位置处的对位孔的直径相同。对位辅助板的尺寸大于掩模框架的尺寸，对位辅助板的挂孔能与基台上的挂钩配合以将对位辅助板固定在基台上。并且，对位辅助板的对位孔的直径大于相对应的掩模板对位孔的直径。

Description

对位辅助板

技术领域

本发明涉及一种对位辅助板，这种对位辅助板具体应用于掩模组件的间接对位过程。

背景技术

有机电致发光元件（OLED）因其视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率高及自备发光等特点，备受关注，并被视为使下一代的平面显示器新兴应用技术。

在制造有机电致发光元件的真空蒸镀装置方面，在底部设置盛放有机材料的坩埚，在坩埚的外面设置使用有机材料加热、蒸发的加热器。在蒸镀装置中，设置与坩埚相对配置的夹头以及包夹玻璃基板的绝缘部件而使该基板安装保持在夹头的底面的基板夹具。夹头是用于维持玻璃基板为平面状的平板，在基板夹中设置升降机构，并在升降机构上设有夹具，通过夹具固定掩模框架，使其相对于基板的位置偏差控制在一定范围内，具有局限性。升降夹具，使掩模组件靠近基板。

而且在制造有机发光元件时，在基板上，每10um宽度的像素必须将红、绿、蓝的发光部并列，各像素的位置精度必须为±5um的程度；又由于蒸镀过程中，温度不断升高，受板材受热膨胀的影响，掩模组件会相对于基板产生位置偏差，因此对真空蒸镀装置掩模的位置精度要求很高。

掩模组件上蒸镀设备时是通过掩模板上的对位点与基板进行对位，由于掩模框架的位置调试范围存在局限性，掩模板又焊接在掩模框架上，使得仅仅通过掩模板对位点与基板进行对位无法满足位置精度要求，因此必须保证掩模板与掩模框架的位置偏差也要控制在一定范围内。

在掩模板与掩模框架进行对位时，一般采用在掩模板03及掩模框架02上分别制作Mark（对位点）A、B的方法，通过CCD对A、B的位置图像进行捕捉，如图1所示，使A、B二者中心重合，完成二者的对位。

由于掩模组件上蒸镀设备时是通过掩模板03上的对位点A与基板进行对位，为了避免掩模框架02上的Mark点B对掩模板03上的Mark点产生遮挡，就要求掩模板03上的Mark点A的直径要小于掩模框架02上的Mark点B的直径，这样才能保证蒸镀对位时掩模板03上的Mark点A完全为通孔，对比度明显，从而使得掩模板03与基板的对位精度高。

然而，在掩模板与掩模框架进行对位时，通过CCD对A、B进行位置图形捕捉，CCD视角自上而下，首先捕捉到A的位置图像，如果B的直径大于A的直径，CCD较难捕捉到B的位置图像，这样就给掩模板03与掩模框架02的对位带来了难度，以致影响掩模板与掩模框架的对位精度。

发明内容

本发明旨在提供一种能够在掩模板对位点的直径小于掩模框架对位点的直径的情况下确保掩模板与掩模框架准确对位的对位辅助板。

为解决上述技术问题，本发明公开了一种对位辅助板。这种对位辅助板可用于掩模板与掩模框架之间的间接对位，其尺寸与掩模板的尺寸相同，且其包括至少两个对位孔和至少两个挂孔。其中，对位辅助板的对位孔与掩模板的对位孔的相对位置相同，且其直径与掩模框架上相对应位置处的对位孔的直径相同。其中，对位辅助板的尺寸大于掩模框架的尺寸，使得对位辅助板的挂孔能与基台上的挂钩配合以将对位辅助板固定在基台上。并且其中，对位辅助板的对位孔的直径大于相对应的掩模板对位孔的直径。

本发明的这种对位辅助板确保了当掩模板的Mark点A的直径小于掩模框架的Mark点B的直径时掩模板能够与掩模框架准确对位。

附图说明

图1示出掩模板与掩模框架直接对位时两者的对位孔（mark）的示意图,其中A-掩模板上的对位孔

B-掩模框架的对位孔；

图2示出掩模组件在基台上直接对位的一个示意图，其中

01-对位基台

02-掩模框架

03-掩模板

04A-掩模板对位孔

05A-掩模板对位孔

06～08-微调销钉；

图3示出根据本发明一个实施例的对位辅助板在基台上与掩模框架间接对位的示意图，其中

01-对位基台

02-掩模框架

04A₁-对位板对位孔

05A₁-对位板对位孔

06～08-微调销钉

11-对位辅助板；

图4示出根据本发明一个实施例的掩模组件间接对位的对位孔的示意图，其中A₁-对位辅助板对位孔

B-掩模框架对位孔

L-对位辅助板对位孔与掩模框架对位孔的位置偏差；

图5示出根据本发明一个实施例的对位辅助板的示意图，其中

04A₁-对位辅助板对位孔

05A₁-对位辅助板对位孔

111～114挂孔；以及

图6示出根据本发明一个实施例的间接对位的示意图，其中01-对位基台

04A₁-对位辅助板对位孔

05A₁-对位辅助板对位孔

11-对位辅助板

111～114挂孔

121-挂钩。

具体实施方式

以下将讨论本发明的各个较佳实施例。但本领域技术人员应当理解，此处的详细说明并不作为对本发明保护范围的限制，本发明还可通过以下各实施例的变型或其它等同方式得以实现。

本发明涉及一种用于掩模板与掩模框架的间接对位的对位辅助板。在本发明的一个实施例中，这种对位辅助板的尺寸可与所要对位的掩模板的尺寸相同，且对位辅助板Mark点A₁与所要对位的掩模板的Mark点A在板面上的相对位置也可相同。在其它实施例中，对位辅助板的其他特征也可与掩模板相同，例如对位辅助板可具有与所要对位的掩模板尺寸、位置以及形状相同的挂孔。与掩模板不同的是，对位辅助板不具有满足蒸镀要求的开口图形。另外，对位辅助板的Mark点A₁的直径大于相对应的掩模板Mark点A的直径，但是对位辅助板Mark点A₁与所要对位的掩模框架的Mark点B直径是相同的，以利于掩模框架与对位板的位置对位。在一个示例中，对位辅助板Mark点A₁的直径为2～3mm，优选为2.5mm。

对位辅助板的板面包括对位Mark点和挂孔。对位Mark点至少有两个，例如Mark点04A₁和05A₁。在一个示例中，这些对位Mark点可处于对位辅助板的对角位置。挂孔至少有两个。由于对位辅助板的尺寸大于掩模框架的尺寸，当对位辅助板放置在基台上时其挂孔与基台上的挂钩配合，以将对位辅助板固定在基台上。挂孔的形状可以是圆形、方形、半圆形中的一种。

使用根据本发明一个实施例的对位辅助板，进行掩模板与掩模框架的间接对位的方法如下：

S1、如图5所示将掩模框架水平放置在对位基台01上，并将掩模框架紧贴对位销钉06～08放置，即与这些对位销钉对齐；

S2、将对位板11水平放置在掩模框架02上且使两者紧贴，使对位板11与对位基台01相对固定，并使对位板与掩模框架两者相应的Mark点相对应；

S3、通过CCD自上而下捕捉对位板11及掩模框架02上Mark点的位置图像，并通过图形测量对位板Mark点A₁与掩模框架Mark点B的相对位置偏差L；

S4、调整对位基台上的对位销钉06～08的位置，以对与对位销钉贴紧的掩模框架进行微调，使得对位板Mark点A₁与掩模框架Mark点B的相对位置偏差L≤15μm；

S5、当掩模框架02与对位板11的Mark点的相对位置偏差L≤15μm后，将对位板从对位基台上取下，再将掩模板03水平放置在掩模框架02上且使之固定在对位基台01上；以及

S6、通过CCD自上而下捕捉掩模板Mark点A与掩模框架的Mark点B的位置图像，检测Mark点A是否被掩模框架的Mark点B的边缘所遮挡，若被遮挡则重复步骤S2～S6，直至Mark点A完全为通孔。

其中，如果在对掩模框架进行微调之前L≤15μm，则不需进行步骤S4，而是直接进行后续步骤；如果微调一次无法做到L≤15μm，则需重复步骤S4直至达到L≤15μm。

通过本发明的这种对位辅助板，确保了在掩模板的Mark点A直径小于掩模框架的Mark点B直径的同时，使掩模板能够与掩模框架准确对位。

Claims (5)

1.一种对位辅助板，用于掩模板与掩模框架之间的间接对位，其特征在于，对位辅助板的尺寸与掩模板的尺寸相同，且对位辅助板包括至少两个对位孔以及至少两个挂孔，

其中，对位辅助板的对位孔与掩模板的对位孔的相对位置相同，且其直径与掩模框架上相对应位置处的对位孔的直径相同，

其中，对位辅助板的尺寸大于掩模框架的尺寸，使得对位辅助板的挂孔能与基台上的挂钩配合以将对位辅助板固定在基台上，

并且其中，对位辅助板的对位孔的直径大于相对应的掩模板对位孔的直径。

2.如权利要求1所述的对位辅助板，其特征在于，对位辅助板的对位孔位于对位辅助板的对角位置。

3.如权利要求1所述的对位辅助板，其特征在于，对位辅助板的对位孔的直径为2～3mm。

4.如权利要求1所述的对位辅助板，其特征在于，对位辅助板的挂孔是圆形或方形或半圆形形状。

5.如权利要求1所述的对位辅助板，其特征在于，对位辅助板的挂孔与掩模板挂孔的尺寸、位置以及形状相同。