KR102396294B1

KR102396294B1 - 클램핑 장치

Info

Publication number: KR102396294B1
Application number: KR1020150144825A
Authority: KR
Inventors: 한정원
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2015-10-16
Filing date: 2015-10-16
Publication date: 2022-05-11
Also published as: KR20170045440A; US10195628B2; US20170106391A1

Abstract

본 발명의 일 실시예는 클램핑 프레임부와, 클램핑 프레임부 상에 설치되는 제1 가이드부와, 제1 가이드부에 선형 운동 가능하도록 설치되어 상기 클램핑 프레임부와의 거리가 가변하여 마스크 시트를 클램핑하는 클램핑부와, 클램핑부와 연결되어 클램핑부를 선형 운동시키는 선형 구동부와, 클램핑 프레임부 및 클램핑부 중 적어도 하나에 설치되어 마스크 시트에 인가되는 압력을 감지하는 압력센서를 포함하는 클램핑 장치를 개시한다.

Description

클램핑 장치{Clamping apparatus}

본 발명의 실시예들은 클램핑 장치에 관한 것이다.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시부를 포함한다. 최근, 표시부를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.

이러한 표시부를 형성하기 위하여 다양한 증착 장치가 사용될 수 있다. 이때, 이러한 증착 장치에서는 마스크 프레임 조립체가 사용될 수 있다. 마스크 프레임 조립체는 일반적으로 프레임 상에 마스크 시트를 배치한 상태에서 마스크 시트를 인장시킨 상태로 프레임에 고정함으로써 제조할 수 있다. 이때, 마스크 시트를 인장시키기 위하여 다양한 장치들이 개발되고 있다.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 실시예들의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 실시예들의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

하지만, 마스크 시트의 인장 시 마스크 시트의 양단에 불균일한 압력이 가해짐으로 인해 마스크 시트가 변형되거나 파손되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 실시예들은 상기 문제점을 해결하기 위한 클램핑 장치를 제공한다.

본 실시예에 있어서, 클램핑 프레임부와 클램핑부 사이에 배치되어 클램핑부에 복원력을 제공하는 탄성부를 더 포함할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 제1 가이드부는 클램핑부에 삽입되어 클램핑부의 이동을 가이드하는 선형 가이드부와 선형 가이드부로부터 돌출되도록 형성되어 탄성부의 위치를 고정시키는 고정부를 포함할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 클램핑부는 제1 가이드부가 삽입되어 제1 가이드부를 따라 선형 운동하는 이동블록과, 클램핑 프레임부에 대향하도록 배치되어 이동블록의 단부에 설치되는 클램핑 블록을 포함할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 선형 구동부는 클램핑부와 접촉하는 가압부와, 가압부와 연결되며, 제1 가이드부에 회동 가능하도록 연결되는 연결링크와, 연결링크와 연결되어 연결링크를 운동시키는 회전링크와, 회전링크와 연결되며, 클램핑 프레임부 상에서 선형 운동하는 선형이동블록과, 선형이동블록과 연결되어 선형이동블록을 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 클램핑 프레임부에 설치되며, 선형이동블록의 운동을 가이드하는 제2 가이드부를 더 포함할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 연결링크는 적어도 한번 절곡되도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 회전링크는, 선형이동블록과 연결되는 댐퍼가이드링크와, 댐퍼가이드링크 및 연결링크와 연결되는 이동링크와, 댐퍼가이드링크와 이동링크 사이에 설치되는 연결탄성부를 포함할 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

상기와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 마스크 시트에 인가되는 클램핑 압력을 실시간으로 모니터링하여, 마스크 시트에 인가되는 압력을 제어함으로써 마스크 시트의 변형 및 파손을 방지할 수 있는 클램핑 장치를 구현할 수 있다.

물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1에 나타난 클램핑 장치가 설치된 마스크 프레임 조립체 제조 장치를 나타내는 개념도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예를 따른 클램핑 장치를 나타내는 단면도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타내는 단면도이고, 도 2는 도 1에 나타난 클램핑 장치가 설치된 마스크 프레임 조립체 제조 장치를 나타내는 개념도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 클램핑 장치(100)는 클램핑 프레임부(110), 제1 가이드부(120), 클램핑부(130), 탄성부(140), 선형구동부(150) 및 제2 가이드부(160)를 포함할 수 있다.

클램핑 프레임부(110)는 클램핑 프레임(111) 및 클램핑 프레임(111)의 단부에 설치되는 안착부(112)를 포함할 수 있다. 안착부(112)는 클램핑부(130)의 단부에 대향하도록 설치되어 마스크 시트(S)를 클램핑할 수 있다.

이러한 안착부(112)에는 압력센서(113)가 설치될 수 있다. 압력센서(113)는 클램핑부(130)의 단부에 대향하는 안착부(112)의 일면에 설치될 수 있다. 도 1은 압력센서(113)가 안착부(112)에 형성된 홈에 매설된 모습을 나타내나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 압력센서(113)는 안착부(112) 상의 전체적인 표면 상에 안착된 형태로 설치될 수도 있다.

압력센서(113)는 마스크 시트(S)를 클램핑하는 경우 마스크 시트(S)에 인가되는 압력을 감지할 수 있다. 구체적으로, 압력센서(113)를 통해 마스크 시트(S)에 인가되는 압력을 실시간으로 감지할 수 있으며, 마스크 시트(S)에 과도한 압력이 인가되는 경우 즉시 클램핑을 중단할 수 있어 안정적인 클램핑이 가능하다.

또한, 압력센서(113)를 이용하여 마스크 시트(S)에 인가되는 압력의 분포를 균일하게 유지하도록 후술할 구동부(155)를 제어할 수 있다. 이렇게 압력센서(113)를 통하여 마스크 시트(S)에 균일한 압력을 인가하게 되면, 안착부(112)나 후술할 클램핑블록(132)에 의해 마스크 시트(S)가 파손되거나 찍히는 문제를 해결할 수 있으며, 국부적으로 마스크 시트(S)의 일부분이 변형되는 것도 방지할 수 있다. 이렇게 마스크 시트(S)의 변형을 줄이게 되면, 이후 마스크 시트(S) 상에 증착 패턴을 정밀하게 가공할 수 있으며, 더 나아가 표시 장치 기판에 증착 물질을 정밀하고 균일하게 증착할 수 있어 표시 장치 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

제1 가이드부(120)는 클램핑 프레임(111) 상에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때, 제1 가이드부(120)는 클램핑부(130)에 삽입되어 클램핑부(130)의 이동을 가이드하는 제1 선형가이드부(121)를 포함할 수 있다. 제1 선형가이드부(121)는 클램핌 프레임(111)으로부터 높이 방향(또는 도 1의 Z축 방향)으로 형성될 수 있다.

또한, 제1 가이드부(120)는 제1 선형가이드부(121)로부터 돌출되도록 형성되어 탄성부(140)의 위치를 고정시키는 고정부(122)를 포함할 수 있다. 이때, 고정부(122)는 제1 선형가이드부(121)으로부터 안착부(112) 측으로 클램핑 프레임(111)의 길이 방향으로 돌출될 수 있다.

클램핑부(130)는 제1 가이드부(120)가 삽입되어 제1 가이드부(120)의 일부를 따라 선형 운동할 수 있다. 이때, 클램핑부(130)는 제1 선형가이드부(121)가 삽입되어 제1 선형가이드부(121)를 따라 선형 운동하는 이동블록(131)을 포함할 수 있다. 이동블록(131)에는 제1 선형가이드부(121)가 삽입되는 제1 삽입홀(131a)이 형성될 수 있으며, 탄성부(140)의 일부가 삽입되도록 제1 삽입홈(122a)과 대향하도록 형성되는 제2 삽입홈(131b)이 형성될 수 있다.

클램핑부(130)는 이동블록(131)에 결합하는 클램핑블록(132)을 포함할 수 있다. 이때, 클램핑블록(132)은 안착부(112)와 대향하도록 배치될 수 있으며, 이동블록(131)에 핀 등을 통하여 결합될 수 있다.

탄성부(140)는 이동블록(131)과 고정부(122) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 탄성부(140)는 이동블록(131)의 운동 시 이동블록(130에 복원력을 제공할 수 있다. 이러한 탄성부(140)는 고무, 실리콘, 금속과 같은 탄성재질로 형성될 수 있으며, 스프링, 바, 형태 등으로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 탄성부(140)가 금속 재질의 압축스프링인 경우를 중심으로 상세하게 설명하기로 한다.

선형구동부(150)는 가압부(151), 연결링크(152), 회전링크(153), 선형이동블록(154) 및 구동부(155)를 포함할 수 있다.

가압부(151)는 구동부(155)의 운동에 따라서 운동함으로써 클램핑부(130)를 가력할 수 있다. 이때, 가압부(151)는 연결링크(152)에 회전 가능하도록 설치됨으로써 이동블록(131)과 면접촉을 유지할 수 있다.

연결링크(152)는 제1 가이드부(120)의 단부에 회전 가능하도록 설치될 수 있다. 이때, 연결링크(152)는 제1 가이드부(120)에 단부가 아닌 부분이 회전 가능하도록 설치될 수 있다.

연결링크(152)는 적어도 한번 절곡되도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 연결링크(152)는 제1 가이드부(120)와 연결된 연결링크(152) 부분에서 이동블록(131)이 연결된 연결링크(152) 부분까지는 평행하게 형성될 수 있으며, 제1 가이드부(120)와 연결된 연결링크(152) 부분에서 회전링크(153)와 연결된 연결링크(152) 부분까지 경사지게 형성될 수 있다. 특히, 제1 가이드부(120)와 연결된 연결링크(152) 부분에서 회전링크(153)와 연결된 연결링크(152) 부분까지는 도 1의 Z축 방향으로 상승하도록 형성될 수 있다.

연결링크(152)에는 제1 가이드부(120)가 삽입되도록 제2 삽입홀(152a)이 형성될 수 있다. 이때, 제2 삽입홀(152a)에는 제1 가이드부(120)의 단부가 삽입될 수 있으며, 연결링크(152)의 일부는 제1 가이드부(120)를 감싸도록 배치되어 제1 가이드부(120)의 끝단에 회전 가능하도록 설치될 수 있다.

제1 가이드부(120)와 연결된 연결링크(152) 부분에서 이동블록(131)이 연결된 연결링크(152) 부분까지의 거리는 제1 가이드부(120)와 연결된 연결링크(152) 부분에서 회전링크(153)와 연결된 연결링크(152) 부분까지의 거리보다 작게 형성될 수 있다.

회전링크(153)는 댐퍼가이드링크(153a), 이동링크(153b) 및 연결탄성부(153c)를 포함할 수 있다. 이때, 댐퍼가이드링크(153a)는 선형이동블록(154)에 회전 가능하도록 연결될 수 있다. 특히 댐퍼가이드링크(153a)는 제2 가이드부(160)의 내부에 삽입될 수 있다.

이동링크(153b)는 댐퍼가이드링크(153a) 및 연결링크(152)와 연결될 수 있다. 이때, 이동링크(153b)와 댐퍼가이드링크(153a) 사이에는 연결탄성부(153c)가 설치될 수 있다. 연결탄성부(153c)는 상기에서 설명한 탄성부(140)와 동일 또는 유사하므로 이하에서는 상세한 설명은 생략하기로 한다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 연결탄성부(153c)가 고리 형태로 형성되어 이동링크(153b)와 댐퍼가이드링크(153a)가 연결되는 부분에 삽입되도록 설치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

선형이동블록(154)은 이동링크(153b)에 연결될 수 있다. 이때, 선형이동블록(154)은 클램핑 프레임(111)에 설치된 제2 가이드부(160)에 설치될 수 있다. 구체적으로, 제2 가이드부(160)는 서로 마주보는 두개의 플레이트로 형성될 수 있다. 이때, 서로 마주보는 플레이트 내부에는 이동링크(153b)의 끝단이 삽입될 수 있다.

또한, 제2 가이드부(160)의 외면에는 선형이동블록(154)이 감싸도록 설치될 수 있다. 이러한 경우 제2 가이드부(160)의 표면에는 선형이동블록(154)과 이동링크(153b)를 연결시키는 핀이 삽입되어 가이드되는 가이드홀(160a)이 형성될 수 있다. 따라서 상기와 같은 핀은 가이드홀(160a)을 통하여 선형이동블록(154)과 이동링크(153b)를 연결할 수 있으며, 선형이동블록(154)의 운동을 이동링크(153b)에 전달할 수 있다.

구동부(155)는 선형이동블록(154)에 연결되는 스크류가이드브라켓(155a)과, 스크류가이드브라켓(155a)과 연결되는 스크류(155b), 스크류(155b)와 연결되어 스크류(155b)를 회전시키는 모터(155c)를 포함할 수 있다. 이때, 모터(155c)는 클램핑 프레임(111)에 설치되는 모터고정부(175)에 고정되도록 설치될 수 있다.

한편, 상기와 같은 클램핑 장치(100)는 마스크 조립체의 제조 장치(10)에 설치될 수 있다. 이때, 마스크 조립체의 제조 장치(10)는 챔버(1), 용접부(2), 지지부(3), 클램핑 장치(100), 비젼부(4) 및 제어부(5)를 포함할 수 있다.

상기와 같은 마스크 조립체의 제조 장치(10)의 작동을 간략히 살펴보면, 마스크 프레임(F)을 지지부(3)에 안착한 후 마스크 시트(S)를 클램핑 장치(100)에 클램핑할 수 있다. 이때, 마스크 시트(S)는 클램핑 장치(100)에 클램핑된 후 길이 방향으로 인장될 수 있다.

상기와 같이 인장된 후 용접부(2)가 마스크 시트(S)와 마스크 프레임(F)을 용접하여 결합할 수 있다. 이후 마스크 시트(S)의 일부를 절단하여 마스크 조립체(M)를 제조할 수 있다.

상기와 같은 작업이 진행되는 동안 비젼부(4)는 마스크 시트(S)와 마스크 프레임(F)의 위치를 감지하여 마스크 시트(S) 및 마스크 프레임(F) 중 적어도 하나의 위치를 정렬시킬 수 있다. 또한, 비젼부(4)는 용접의 위치 등을 촬영하여 용접이 정확히 이루어졌는지 여부 등을 확인할 수 있다.

제어부(5)는 마스크 조립체의 제조 장치(10)의 각 구성요소들을 제어할 수 있다. 이때, 제어부(5)는 클램핑 장치(100)에 별도로 구비될 수 있으며, 다른 실시예로써 마스크 조립체의 제조 장치(10)에 별도로 구비되는 것도 가능하다. 또한, 제어부(5)는 복수개 구비되어 클램핑 장치(100) 및 마스크 조립체의 제조 장치(10)에 각각 구비되어 각 구성요소를 개별적으로 제어하는 것도 가능하다.

한편, 이하에서는 마스크 시트(S)를 클램핑하는 방법에 대해서 상세히 설명하기로 한다.

우선, 마스크 시트(S)가 준비되는 경우 마스크 시트(S)의 일단을 클램핑부(130)와 클램핑 프레임부(110) 사이에 배치할 수 있다.

마스크 시트(S)의 배치가 완료되면, 구동부(155)가 작동하여 선형이동블록(154)을 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 모터(155c)가 작동하면 스크류(155b)를 회전시켜 스크류가이드브라켓(155a)이 움직일 수 있다. 이때, 스크류가이드브라켓(155a)은 도 1의 X축 방향으로 이동할 수 있으며, 선형이동블록(154)은 제2 가이드부(160)를 따라서 스크류가이드브라켓(155a)과 같은 방향으로 이동할 수 있다.

상기와 같이 선형이동블록(154)이 이동하면, 선형이동블록(154)은 댐퍼가이드링크(153a)를 이동시키면서 회전시킬 수 있다. 또한, 댐퍼가이드링크(153a)와 연결된 이동링크(153b)도 댐퍼가이드링크(153a)와 함께 이동하면서 회전시킬 수 있다. 이때, 선형이동블록(154)으로부터 이동링크(153b)의 끝단까지의 수직 거리는 점점 커질 수 있다. 따라서 댐퍼가이드링크(153a)가 회전하는 경우 연결링크(152)를 반시계 방향으로 회전시킬 수 있다.

연결링크(152)가 상기와 같이 회전하는 경우 가압부(151)는 이동블록(131)을 도 1의 하측방향으로 가력할 수 있다. 이때, 이동블록(131)은 클램핑 프레임(111)과 가까워질 수 있으며, 클램핑블록(132)과 안착부(112)는 서로 가까워짐으로써 마스크 시트(S)를 클램핑할 수 있다.

특히, 상기와 같은 경우 이동블록(131)은 선형가이드부(121)를 따라서 도 1의 Z축 방향의 반대 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 이동블록(131)은 선형가이드부(121)를 따라서 도 1의 하측 방향으로 이동할 수 있다.

한편, 상기와 같은 작업이 완료된 후 상기에서 설명한 바와 같이 마스크 시트(S)를 마스크 프레임(F)에 용접한 후 마스크 시트(S)의 클램핑을 해제할 수 있다.

구체적으로, 제어부(5)는 제1 구동부(155)를 상기와 반대로 작동하도록 제어할 수 있다. 모터(155c)가 상기와 반대로 회전하는 경우 스크류(155b)가 회전하여 스크류가이드브라켓(155a)을 이동시킬 수 있다. 이때, 스크류가이드브라켓(155a)은 도 1의 X축 방향과 반대 방향(또는 도 1의 오른쪽에서 왼쪽 방향)으로 이동할 수 있다.

이러한 경우, 회전링크(153)는 상기와 반대로 이동하면서 회전할 수 있으며, 연결링크(152)도 상기와 반대로 도 1의 시계 방향으로 회전할 수 있다. 이때, 가압부(151)에서 이동블록(131)에 가하던 힘이 제거될 수 있으며, 탄성부(140)는 압축된 상태에서 이동블록(131)을 가력할 수 있다. 또한, 이동블록(131)은 선형가이드부(121)를 따라서 도 1의 Z축 방향(또는 도 1의 상측 방향)으로 이동할 수 있다. 따라서 클램핑블록(132)은 안착부(112)와 이격됨으로써 마스크 시트(S)의 클램핑을 해제할 수 있다.

상기와 같은 클램핑 장치(100)는 클램핑블록(132)을 장치의 수직 방향으로 선형 운동시킴으로써 마스크 시트(S)의 클램핑 시 클램핑블록(132)과 마스크 시트(S)의 면접촉을 통하여 마스크 시트(S)가 변형되는 것을 최소화할 수 있다.

클램핑 장치(100)는 마스크 시트(S)의 클램핑 작동과 인장력을 가하는 작동을 하는 장치들을 수직으로 배열함으로써 클램핑 장치(100)의 설치 공간을 최소화할 수 있다.

클램핑 장치(100)는 마스크 시트(S)의 클램핑 시 연결링크(152)의 회전 중심으로부터 양단까지의 거리를 서로 상이하게 형성하여 지렛대 원리를 적용함으로써 적은 힘으로도 마스크 시트(S)의 클램핑이 가능하다. 특히, 클램핑 장치(100)는 구동부(155)에서 적은 에너지를 소모하여 마스크 시트(S)의 클램핑이 가능하다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 따른 클램핑 장치를 나타내는 단면도이다.

도 3을 참조하면, 클램핑 장치(200)는 클램핑 프레임부(210), 제1 가이드부(220), 클램핑부(230), 탄성부(240), 선형구동부(250) 및 제2 가이드부(260)를 포함할 수 있다.

도 3에 나타난 클램핑 장치(200)의 클램핑 프레임부(210)와 클램핑부(230)는 도 1에 나타난 클램핑 장치(100)의 클램핑 프레임부(110)와 클램핑부(130)와 구별되며, 나머지 다른 구성요소들은 모두 동일하다. 따라서, 이하에서는 도 3에 나타난 클램핑 프레임부(210)와 클램핑부(230)에 대해서만 구체적으로 설명하고, 나머지 구성요소들에 대해서는 생략하거나 약술하도록 한다.

클램핑 프레임부(210)는 클램핑 프레임(211) 및 클램핑 프레임(211)의 단부에 설치되는 안착부(212)를 포함할 수 있다. 안착부(112)는 클램핑부(230)의 단부에 대향하도록 설치되어 마스크 시트(S)를 클램핑할 수 있다.

클램핑부(230)는 제1 가이드부(220)가 삽입되어 제1 가이드부(220)의 일부를 따라 선형 운동할 수 있다. 이때, 클램핑부(230)는 제1 선형가이드부(221)가 삽입되어 제1 선형가이드부(221)를 따라 선형 운동하는 이동블록(231)을 포함할 수 있다. 이동블록(231)에는 제1 선형가이드부(221)가 삽입되는 제1 삽입홀(231a)이 형성될 수 있으며, 탄성부(240)의 일부가 삽입되도록 제1 삽입홈(222a)과 대향하도록 형성되는 제2 삽입홈(231b)이 형성될 수 있다.

클램핑부(230)는 이동블록(231)에 결합하는 클램핑블록(232)을 포함할 수 있다. 이때, 클램핑블록(232)은 안착부(212)와 대향하도록 배치될 수 있으며, 이동블록(231)에 핀 등을 통하여 결합될 수 있다.

이러한 클램핑블록(232)에는 압력센서(233)가 설치될 수 있다. 압력센서(233)는 클램핑 프레임부(210)의 단부에 대향하는 클램핑블록(232)의 일면에 설치될 수 있다. 도 3은 압력센서(233)가 클램핑블록(232)에 형성된 홈에 매설된 모습을 나타내나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 압력센서(233)는 클램핑블록(132) 상의 전체적인 표면 상에 안착된 형태로 설치될 수도 있다.

압력센서(233)는 마스크 시트(S)를 클램핑하는 경우 마스크 시트(S)에 인가되는 압력을 감지할 수 있다. 구체적으로, 압력센서(233)를 통해 마스크 시트(S)에 인가되는 압력을 실시간으로 감지할 수 있으며, 마스크 시트(S)에 과도한 압력이 인가되는 경우 즉시 클램핑을 중단할 수 있어 안정적인 클램핑이 가능하다.

또한, 압력센서(233)를 이용하여 마스크 시트(S)에 인가되는 압력의 분포를 균일하게 유지하도록 구동부(255)를 제어할 수 있다. 이렇게 압력센서(233)를 통하여 마스크 시트(S)에 균일한 압력을 인가하게 되면, 안착부(212)나 클램핑블록(232)에 의해 마스크 시트(S)가 파손되거나 찍히는 문제를 해결할 수 있으며, 국부적으로 마스크 시트(S)의 일부분이 변형되는 것도 방지할 수 있다. 이렇게 마스크 시트(S)의 변형을 줄이게 되면, 이후 마스크 시트(S) 상에 증착 패턴을 정밀하게 가공할 수 있으며, 더 나아가 표시 장치 기판에 증착 물질을 정밀하고 균일하게 증착할 수 있어 표시 장치 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

한편, 압력센서(113)(233)는 도 1과 도 3에 나타난 바와 같이 클램핑 프레임부(110)나 클램핑부(230) 중 하나에 설치될 수 있을 뿐만 아니라, 클램핑 프레임부(110)(210)와 클램핑부(130)(230) 양측에 동시에 설치될 수도 있다.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

10: 마스크 조립체의 제조 장치
100, 200: 클램핑 장치
110, 210: 클램핑 프레임부
120, 220: 제1 가이드부
130, 230: 클램핑부
140, 240: 탄성부
150, 250: 선형구동부
160, 260: 제2 가이드부

Claims

클램핑 프레임부;
상기 클램핑 프레임부 상에 설치되는 제1 가이드부;
상기 제1 가이드부에 선형 운동 가능하도록 설치되어 상기 클램핑 프레임부와의 거리가 가변하여 마스크 시트를 클램핑하는 클램핑부;
상기 클램핑부와 연결되어 상기 클램핑부를 선형 운동시키는 선형 구동부; 및
상기 클램핑 프레임부 및 상기 클램핑부 중 적어도 하나에 설치되어 상기 마스크 시트에 인가되는 압력을 감지하는 압력센서;를 포함하되,
상기 클램핑 프레임부와 상기 클램핑부 사이에는 상기 클램핑부에 복원력을 제공하는 탄성부가 더 배치된, 클램핑 장치.
삭제
제1 항에 있어서,
상기 제1 가이드부는,
상기 클램핑부에 삽입되어 상기 클램핑부의 이동을 가이드하는 선형 가이드부와,
상기 선형 가이드부로부터 돌출되도록 형성되어 상기 탄성부의 위치를 고정시키는 고정부를 포함하는 클램핑 장치.
제1 항에 있어서,
상기 클램핑부는,
상기 제1 가이드부가 삽입되어 상기 제1 가이드부를 따라 선형 운동하는 이동블록과,
상기 클램핑 프레임부에 대향하도록 배치되어 상기 이동블록의 단부에 설치되는 클램핑 블록을 포함하는, 클램핑 장치.
제1 항에 있어서,
상기 선형 구동부는,
상기 클램핑부와 접촉하는 가압부와,
상기 가압부와 연결되며, 상기 제1 가이드부에 회동 가능하도록 연결되는 연결링크와,
상기 연결링크와 연결되어 상기 연결링크를 운동시키는 회전링크와,
상기 회전링크와 연결되며, 상기 클램핑 프레임부 상에서 선형 운동하는 선형이동블록과,
상기 선형이동블록과 연결되어 상기 선형이동블록을 이동시키는 구동부를 포함하는, 클램핑 장치.
제5 항에 있어서,
상기 클램핑 프레임부에 설치되며, 상기 선형이동블록의 운동을 가이드하는 제2 가이드부를 더 포함하는, 클램핑 장치.
제5 항에 있어서,
상기 연결링크는 적어도 한번 절곡되도록 형성되는, 클램핑 장치.
제5 항에 있어서,
상기 회전링크는,
상기 선형이동블록과 연결되는 댐퍼가이드링크와,
상기 댐퍼가이드링크 및 상기 연결링크와 연결되는 이동링크와,
상기 댐퍼가이드링크와 상기 이동링크 사이에 설치되는 연결탄성부를 포함하는, 클램핑 장치.