KR101212478B1 - 클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치 - Google Patents

클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 및 프레임으로 구성되는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 클램프유닛은 클램프본체와, 클램프본체를 지지하며 클램프본체의 슬라이딩 왕복 이동을 안내하는 베이스부와, 클램프본체의 일측에 돌출되며 마스크를 파지하는 파지위치 및 마스크를 파지해제 하는 파지해제위치 사이에서 회전 운동되는 한 쌍의 파지부를 갖는 클램핑부와, 클램프본체 내부에 수용되어 클램핑부가 회전 운동되도록 병진운동의 구동력을 발생하는 제1구동부 및 베이스부에 대해 클램프본체가 슬라이딩 왕복 이동되도록 구동력을 발생하는 제2구동부를 갖는 구동부와, 클램핑부와 제1구동부 사이에 배치되어 클램핑부와 구동부를 상호 연결하며 제1구동부의 병진운동의 구동력을 클램핑부가 회전 운동되는 회전 운동력으로 전환하는 구동전환부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 마스크를 파지함과 동시에 인장력을 제공하여 마스크의 자중에 따른 처짐 현상을 방지함으로써, 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Description

클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치{CLAMP UNIT AND APPARATUS FOR MANUFACTURING MASK ASSEMBLY HAVING THE SAME}
본 발명은, 클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 마스크 조립체에 사용되는 마스크의 처짐 현상을 개선할 수 있는 클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치에 관한 것이다.
유기 EL(Electro-luminescence) 소자는 자체 발광형 표시소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트(contrast)가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시소자로서 큰 주목을 받고 있다. 이러한 유기 EL 소자는 기본적으로 투명한 절연기판 상에 소정 패턴으로 형성된 애노드(anode) 전극(+), 애노드 전극 상부에 형성된 유기 발광층 및 유기 발광층의 상부에 형성되는 캐소드(cathode) 전극(-)을 포함한다.
한편, 유기 EL 소자의 제조방법은 투명한 절연기판 상에 ITO(Indium Tin-Oxide)등으로 이루어진 애노드 전극을 성막한다. 그리고, 애노드 전극이 형성된 절연기판 상에 소정의 패턴을 가진 마스크를 밀착시킨 후, 진공증착법과 같은 방법으로 유기 발광층을 형성한다. 다음으로 유기 발광층 상부에 캐소드 전극을 형성한다. 이때, 캐소드 전극의 경우에도 마스크를 이용하여 패터닝할 수 있다. 여기서, 마스크는 개구가 형성되어 있는 금속 박판이 사용되며, 마스크는 프레임에 용접 등의 결합 방식으로 결합하여 마스크 조립체로 사용된다.
그런데, 최근 유기 EL 소자가 대면적화 되면서 공정 대상물인 절연기판 또한 대면적화 되고 , 이에 따라 패터닝을 위한 마스크의 크기도 대면적화 되고 있다. 이렇게 마스크 크기의 대면적화는 프레임과 결합 시, 마스크의 자중에 의해 처짐이 발생하여 유기 발광층 및 캐소드 전극의 정확한 패터닝을 할 수 없다는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 마스크 조립체의 마스크의 처짐을 개선할 수 있는 클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치를 제공하는 것이다.
또한, 마스크의 처짐 개선 시, 요구되는 인장력만을 제공할 수 있는 클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치를 제공하는 것이다.
상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라, 마스크 및 프레임으로 구성되는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛에 있어서, 클램프본체와, 상기 클램프본체를 지지하며 상기 클램프본체의 슬라이딩 왕복 이동을 안내하는 베이스부와, 상기 클램프본체의 일측에 돌출되며 상기 마스크를 파지하는 파지위치 및 상기 마스크를 파지해제 하는 파지해제위치 사이에서 회전 운동되는 한 쌍의 파지부를 갖는 클램핑부와, 상기 클램프본체 내부에 수용되어 상기 클램핑부가 회전 운동되도록 병진운동의 구동력을 발생하는 제1구동부 및 상기 베이스부에 대해 상기 클램프본체가 슬라이딩 왕복 이동되도록 구동력을 발생하는 제2구동부를 갖는 구동부와, 상기 클램핑부와 상기 제1구동부 사이에 배치되어 상기 클램핑부와 상기 제1구동부를 상호 연결하며, 상기 제1구동부의 병진운동의 구동력을 상기 클램핑부가 회전 운동되는 회전 운동력으로 전환하는 구동전환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛에 의해 이루어진다.
여기서, 한 쌍의 상기 파지부 중 적어도 어느 하나의 파지면에 마련되어 상기 마스크와 상기 파지면의 마찰력을 증대시키는 마찰부재를 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 마찰부재는 고무재질을 포함할 수 있다.
상기 클램핑부는 상기 클램프본체에 고정 지지되는 제1파지부와, 상기 제1파지부에 대해 회전 운동되도록 상기 제1파지부에 힌지 결합되어 상기 제1파지부의 파지면과 접촉 및 접촉해제 되는 제2파지부를 포함할 수 있다.
상기 구동부는 유체압에 의해 작동되며, 상기 제1구동부는 상기 구동전달부와 연결되며 병진운동 되는 피스톤 및 상기 피스톤을 수용하여 상기 피스톤에 유체압을 전달하는 실린더를 포함할 수 있다.
상기 구동전환부의 일측은 상기 제2파지부에 연결되고 타측은 상기 피스톤에 연결되는 바 형상의 링크부재인 것이 바람직하다.
바람직하게 상기 구동전환부의 일측과 상기 제2파지부가 연결된 회전축선 및 상기 구동전환부의 타측과 상기 피스톤이 연결된 회전축선은 상기 피스톤의 병진운동에 따라 동일한 회전 방향을 가질 수 있다.
상기 베이스는 상기 클램프본체의 하부면을 지지하며 상기 클램프본체의 슬라이딩 왕복 이동을 안내하는 제1베이스부 및 상기 제1베이스부의 판면에 대해 가로 방향으로 연장된 제2베이스부를 포함하며, 상기 제2구동부는 상기 제2베이스부를 사이에 두고 상기 클램프본체와 이격되는 상기 제2베이스부의 일측면에 결합될 수 있다.
상기 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛은 상기 클램프본체와 상기 제2베이스부 사이에 마련되어 상기 클램프본체를 탄성 바이어스 하는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛은 상기 클램프본체 내부에 배치되고 상기 제2구동부와 연결되어 상기 제2구동부의 작동에 따라 상기 클램프본체에 가해지는 압력을 감지하는 압력감지부를 더 포함할 수 있다.
더불어, 상기 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛은 상기 클램프본체와 상기 제2베이스부 사이에 배치되어 상기 클램프본체의 위치를 감지하는 위치감지부를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 과제의 해결수단은, 본 발명에 따라, 마스크 및 프레임으로 구성되는 마스크 조립체 제조장치에 있어서, 본체와, 상기 본체에 배치되며 상기 마스크를 클램핑 하는 전술한 구성의 클램프유닛과, 상기 클램프유닛에 의해 파지된 상기 마스크와 결합되는 상기 프레임을 지지하는 프레임 지지유닛과, 상기 프레임의 상부면을 따라 이동 가능하도록 마련되어 상기 마스크와 상기 프레임의 얼라인 상태를 감지하는 비젼유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치에 의해서도 이루어진다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
상기 과제의 해결 수단에 따르면, 마스크를 파지함과 동시에 인장력을 제공하여 마스크의 자중에 따른 처짐 현상을 방지함으로써, 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치를 제공한다.
또한, 마스크 처짐 현상의 방지에 따른 제품의 신뢰성을 확보함으로써, 제품 신뢰성을 향상시킨 마스크를 이용하여 우수한 제품을 생산할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 마스크 조립체 제조장치의 개략 구성 블럭도,
도 2는 본 발명에 따른 마스크 조립체 제조장치의 클램프유닛의 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 클램프유닛의 절취 사시도,
도 4는 도 3에 도시된 클램프유닛의 정면도,
도 5는 도 4에 도시된 클램프유닛의 제1구동부의 작동에 의한 작동도,
도 6은 도 4에 도시된 클램프유닛의 제2구동부의 작동에 의한 작동도.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 마스크 조립체 제조장치에 대해 상세히 설명한다.
설명하기에 앞서, 본 발명에 따른 마스크 조립체 제조장치는 유기 EL 소자 제조에 사용되는 것 이외에도 마스크를 사용하는 다양한 표시소자 제조에도 사용될 수 있음을 미리 밝혀둔다.
도 1은 본 발명에 따른 마스크 조립체 제조장치의 개략 구성 블록도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 조립체 제조장치(10)는 본체(100), 클램프유닛(300), 프레임 지지유닛(500), 비젼유닛(700) 및 제어부(900)를 포함한다.
본체(100)는 클램프유닛(300), 프레임 지지유닛(500), 비젼유닛(700) 및 제어부(900)를 수용 또는 지지한다. 프레임 지지유닛(500)은 클램프유닛(300)으로부터 파지되어 이송된 마스크(M)와 결합되는 프레임(미도시)을 지지한다. 비젼유닛(vision unit)(700)은 프레임의 상부면을 따라 이동 가능하게 마련되어 마스크(M)와 프레임의 얼라인(align)을 감지한다. 제어부(900)는 클램프유닛(300), 프레임 지지유닛(500) 및 비젼유닛(700)으로부터 제공된 각각의 신호에 기초하여 클램프유닛(300), 프레임 지지유닛(500) 및 비젼유닛(700)의 작동을 제어한다.
한편, 본 발명의 주요 기술적 구성인 클램프유닛(300)에 대해서는 이하에서 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 마스크 조립체 제조장치의 클램프유닛의 사시도, 도 3은 도 2에 도시된 클램프유닛의 절취 사시도, 그리고 도 4는 도 3에 도시된 클램프유닛의 정면도이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 클램프유닛(300)은 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 클램프본체(310), 베이스부(320), 클램핑부(330), 구동부(350) 및 구동전환부(360)를 포함한다. 또한, 클램프유닛(300)은 탄성부재(370), 압력감지부(380) 및 위치감지부(390)를 더 포함한다. 클램프유닛(300)은 적어도 2개가 상호 대향되도록 마련된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 4개와 같이 클램프유닛(300)은 복수개로 마련되어 마스크(M)에 일정한 인장력을 제공한다.
클램프본체(310)는 클램핑부(330), 후술할 구동부(350)의 제1구동부(352), 구동전환부(360) 및 압력감지부(380)를 수용한다. 본 발명의 클램프본체(310)는 제1브래킷(312), 제2브래킷(314), 제3브래킷(316) 및 가이드부(318)를 포함한다. 클램프본체(310) 각각의 제1브래킷(312), 제2브래킷(314) 및 제3브래킷(316)은 판재로 구성된다. 클램프본체(310)는 베이스부(320)에 지지되며 후술할 구동부(350)의 제2구동부(354)의 구동력에 의해 수평으로 슬라이딩 왕복 이동된다. 즉, 클램프본체(310)는 X축과 -X축 방향을 따라 슬라이딩 왕복 이동된다.
제1브래킷(312)은 상호 대향되게 배치되어, 내부에 구동전환부(360) 등이 수용되는 공간을 형성하도록 한 쌍으로 구성된다. 즉, 한 쌍의 제1브래킷(312)은 클램핑부(330)의 회전축선의 가로 방향인 X축을 기준으로 상호 대향 배치된다.
제2브래킷(314)은 한 쌍의 제1브래킷(312)의 배치 방향의 가로 방향인 Z축을 기준으로 배치된다. 제2브래킷(314)은 클램핑부(330)가 돌출된 제1브래킷(312)의 일측부와 대향된 타측부에 배치된다.
제3브래킷(316)은 한 쌍의 제1브래킷(312) 내부에 배치된다. 제3브래킷(316)은 제2브래킷(314)과 평행을 이루며 일정 간격을 두고 한 쌍의 제1브래킷(312) 내부에 배치된다. 이렇게 제3브래킷(316)은 제2브래킷(314)과 일정 간격을 두고 배치되어 압력감지부(380)가 수용되는 공간을 형성한다.
가이드부(318)는 한 쌍의 제1브래킷(312)의 하부에 각각 마련된다. 가이드부(318)는 후술할 베이스부(320)의 가이드레일(326)과 맞물려서 베이스부(320)에 대해 클램프본체(310)의 왕복 슬라이딩 이동을 안내한다. 여기서, 본 발명의 일 실시 예로서, 가이드부(318)와 가이드레일(326)은 공지된 크로스 롤러(cross roller)가 사용된다.
베이스부(320)는 제1베이스부(322), 제2베이스부(324) 및 가이드레일(326)을 포함한다. 베이스부(320)는 클램프본체(310)를 지지하며 클램프본체(310)의 슬라이딩 왕복 이동을 안내한다. 그리고, 베이스부(320)는 구동부(350)의 제2구동부(354)를 지지한다.
제1베이스부(322)는 클램프본체(310)의 하부면을 지지하며 클램프본체(310)의 슬라이딩 이동을 지지한다. 그리고, 제2베이스부(324)는 클램프본체(310)의 제2브래킷(314)에 인접하는 제1베이스부(322)의 일단부로부터 제1베이스부(322) 판면에 대해 가로 방향으로 연장 형성된다. 즉, 제2베이스부(324)는 제1베이스부(322)와 수직으로 배치되며, 구동부(350)의 제2구동부(354)를 지지한다.
가이드레일(326)은 제1베이스부(322)의 판면에 배치된다. 가이드레일(326)은 클램프본체(310)의 슬라이딩 이동 방향을 따라 한 쌍으로 마련된 가이드부(318)와 맞물리도록 제1베이스부(322)의 양측부에 각각 마련된다.
다음으로 클램핑부(330)는 클램프본체(310)의 일측에 돌출되며 마스크(M)를 파지하는 파지위치 및 마스크(M)를 파지해제 하는 파지해제위치 사이에서 회전 운동된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 클램핑부(330)는 제1파지부(332), 제2파지부(334) 및 클램핑 회전축(336)을 포함한다.
제1파지부(332)는 제1파지부 몸체(332a)와 마스크(M)에 접촉되어 마스크(M)를 파지하는 제1파지면(332b)을 포함한다. 제1파지부(332)의 제1파지부 몸체(332a)는 클램프본체(310)에 고정 지지된다. 즉, 제1파지부(332)는 제1구동부(352)의 구동력에 의해서도 회전 운동되지 않는다.
제2파지부(334)는 제1파지부(332)에 대해 회전 운동되도록 제1파지부(332)에 힌지 결합되어, 제1파지부(332)와 접촉 및 접촉 해제된다. 상세히 설명하자면, 제2파지부(334)는 제1파지부(332)에 대해 마스크(M)를 파지하는 파지위치와 마스크(M)를 파지해제 하는 파지해제위치 사이에서 회전 운동된다. 본 발명의 제2파지부(334)는 제2파지부 몸체(334a), 제2파지면(334b) 및 클램핑 연결부(334c)를 포함한다.
여기서, 제2파지부 몸체(334a)는 제1파지부 몸체(332a)와 대응되게 마련되며, 제1파지면(332b)과 접촉되는 제2파지면(334b)을 형성한다. 그리고, 제2파지부 몸체(334a)의 일측, 즉 제2파지면(334b)이 형성된 타측과 대향된 영역에 구동전환부(360)와 연결되는 클램핑 연결부(334c)가 형성된다.
클램핑 회전축(336)은 제1파지부(332)와 제2파지부(334)가 회전 가능하도록 제1파지부(332)와 제2파지부(334)를 상호 연결하며, Z축과 동일한 회전축선을 갖는다. 클램핑 회전축(336)은 핀과 같은 다양한 공지된 구성이 사용될 수 있다.
마찰부재(340)는 제1파지부(332) 및 제2파지부(334) 중 적어도 어느 하나에 마련된다. 본 발명의 일 실시 예로서, 마찰부재(340)는 제1파지부(332)의 제1파지면(332b)에 일정 간격을 두고 마련된다. 그러나, 마찰부재(340)는 제2파지부(334)의 제2파지면(334b)에 마련될 수도 있고, 제1파지부(332)의 제1파지면(332b) 및 제2파지부(334)의 제2파지면(334b)에 각각 마련될 수도 있다.
마찰부재(340)는 클램핑부(330)의 파지위치에서 클램핑부(330)와 마스크(M) 사이에 마찰력을 증대시킨다. 이렇게 마찰부재(340)가 클램핑부(330)와 마스크(M) 사이의 마찰력을 증대시킴으로써, 클램핑부(330)에 의한 마스크(M)의 파지력은 증대된다. 여기서, 마찰부재(340)는 탄성력이 있는 고무재질이 사용된다. 고무재질로 사용되는 마찰부재(340)는 본 발명의 일 실시 예일 뿐 탄성력과 마찰계수가 높은 플라스틱과 같은 다양한 재질이 사용될 수 있다. 물론, 마찰부재(340)의 전제는 탄성력과 마찰계수가 높아야 한다.
구동부(350)는 제1구동부(352) 및 제2구동부(354)를 포함한다. 구동부(350)는 클램핑부(330)의 회전 운동과 클램프본체(310)의 슬라이딩 왕복 이동이 구현되도록 구동력을 발생한다. 본 발명의 구동부(350)는 구동원으로서 유체압을 사용한다. 특히, 구동부(350)는 유체압 중에서 공기압을 사용한다.
제1구동부(352)는 클램프본체(310) 내부에 수용되어 클램핑부(330)가 회전 운동되도록 구동력을 발생한다. 제1구동부(352)는 클램프본체(310) 내부, 즉 제3브래킷(316)과 파지부들(332,334) 사이의 공간에 배치된다. 제1구동부(352)는 공기압의 구동원에 의해 X축과 -X축을 따라 병진운동 되는 피스톤(352a)과 피스톤(352a)을 수용하며 공기압력을 피스톤(352a)에 제공하는 실린더(352b)를 포함한다.
제2구동부(354)는 베이스부(320)의 제2베이스부(324)의 판면에 배치된다. 제2구동부(354)는 후술할 압력감지부(380)에 연결되며, 클램프본체(310)가 슬라이딩 왕복 이동되도록 구동력을 발생한다. 본 발명의 제2구동부(354)는 유입된 공기압의 누출을 최소화한 다이어프램(diaphragm) 실린더가 사용된다.
다음으로 도 5는 도 4에 도시된 클램프유닛의 제1구동부의 작동에 의한 작동도이고, 도 6은 도 4에 도시된 클램프유닛의 제2구동부의 작동에 의한 작동도이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 구동전환부(360)는 본 발명의 일 실시 예로서 몸체(361), 제1회전축(363) 및 제2회전축(365)을 포함한다. 구동전환부(360)는 클램핑부(330)와 제1구동부(352) 사이에 배치되어 클램핑부(330)와 제1구동부(352)를 상호 연결하며, 제1구동부(352)의 병진운동의 구동력을 클램핑부(330)가 회전 운동되는 회전 운동력으로 전환한다.
여기서, 몸체(361)의 일측은 제2파지부(334)의 클램핑 연결부(334c)에 연결되고 타측은 제1구동부(352)의 피스톤(352a)에 연결되는 바(bar) 형상의 링크부재가 사용된다.
제1회전축(363)은 제1구동부(352)의 피스톤(352a)과 몸체(361)를 상호 연결한다. 제1회전축(363)은 피스톤(352a)의 병진운동에 따라 몸체(361)를 Z축과 동일한 회전축선으로 회전 운동시킨다. 그리고, 제2회전축(365)은 제2파지부(334)의 클램핑 연결부(334c)와 몸체(361)를 상호 연결한다. 제2회전축(365)은 몸체(361)의 회전 운동에 따라 제2파지부(334)를 파지위치와 파지해제위치 사이에서 Z축과 동일한 회전 축선으로 회전 운동 시킨다.
한편, 제1회전축(363)과 제2회전축(365)의 각각의 회전축선의 회전 방향은 동일한 회전 방향을 가진다. 예를 들어 설명하면, 도 3에서 제1회전축(363) 및 제2회전축(365)은 제1구동부(352)의 피스톤(352a)이 -X축 방향으로 전진 운동할 때 제2파지부(334)가 파지위치로 회전 운동되도록 시계 방향으로 회전한다. 반대로 제1회전축(363) 및 제2회전축(365)은 제1구동부(352)의 피스톤(352a)이 X축 방향으로 후진 운동할 때 제2파지부(334)가 파지해제위치로 회전 운동되도록 반시계 방향으로 회전한다. 이와 같이, 제1회전축(363) 및 제2회전축(365)은 동일한 회전 방향으로 회전하면서 피스톤(352a)의 병진운동을 제2파지부(334)에 회전 운동으로 전환한다.
탄성부재(370)는 클램프본체(310)와 제2베이스부(324) 사이에 배치되어 클램프본체(310)를 탄성 바이어스 한다. 예를 들어, 탄성부재(370)는 제2구동부(354)의 구동력에 의해 클램프본체(310)가 제2베이스부(324) 방향인 X축 방향으로 이동될 때 압축되고, 제2구동부(354)에 의한 구동력이 제공되지 않으면 클램프본체(310)를 원위치로 탄성 바이어스 하는 것이다. 본 발명의 일 실시 예로서, 탄성부재(370)는 인장 스프링이 사용된다.
압력감지부(380)는 제2구동부(354)의 작동에 따라 클램프본체(310)에 가해지는 압력을 감지한다. 압력감지부(380)는 클램프본체(310) 내부, 즉 제2브래킷(314)과 제3브래킷(316)의 이격 공간에 수용된다. 그리고, 압력감지부(380)는 제2구동부(354)로부터 제공된 구동력에 따라 제2브래킷(314)과 접촉되어 클램프본체(310)에 구동력을 제공함과 더불어 클램프본체(310)에 가해지는 압력을 감지한다. 이렇게 압력감지부(380)에 의해 감지된 신호는 제어부(900)로 전송되며, 제어부(900)는 감지된 신호에 기초하여 클램프본체(310)에 가해지는 압력에 따른 이동 거리를 산출할 수 있다.
마지막으로 위치감지부(390)는 클램프본체(310)와 베이스부(320)의 제2베이스부(324) 사이에 배치된다. 위치감지부(390)는 클램프본체(310)와 접촉될 때 감지된 신호를 제어부(900)로 전송하며, 제어부(900)는 위치감지부(390)로부터 제공된 신호에 기초하여 제2구동부(354)의 작동을 제어한다. 실질적으로 위치감지부(390)가 클램프본체(310)와 접촉될 때, 제어부(900)는 감지 신호에 기초하여 제2구동부(354)의 작동을 정지시킨다. 이러한 위치감지부(390)의 감지된 신호는 클램프본체(310)의 이동을 저지할 수 있는 용도로 사용된다.
이러한 구성에 대한 본 발명에 따른 마스크 조립체 제조장치(10)의 작동 과정을 이하에서 살펴보면 다음과 같다.
우선, 마스크(M)를 클램프유닛(300)에 클램핑하기 위해 제1구동부(352)를 작동시킨다. 피스톤(352a)은 전진 운동되고 피스톤(352a)에 연결된 구동전환부(360)는 회전 운동된다. 그러면, 구동전환부(360)에 연결된 클램핑부(330)의 제2파지부(334)가 회전 운동되어 파지해제위치에서 파지위치로 회전 운동된다.
다음으로 클램핑부(330)에 파지된 마스크(M)의 처짐을 방지하기 위해 제2구동부(354)를 작동하여 클램프본체(310)를 슬라이딩 이동 시킨다. 이때, 압력감지부(380) 및 위치감지부(390)로부터의 신호에 기초하여 클램프본체(310)의 슬라이딩 이동 거리는 제어된다.
클램프유닛(300)에 파지된 마스크(M)를 프레임 지지유닛(500)의 프레임에 위치시킨 후, 비젼유닛(700)을 통해 마스크(M)와 프레임의 얼라인 상태를 판단한다.
이에, 마스크를 파지함과 동시에 인장력을 제공하여 마스크의 자중에 따른 처짐 현상을 방지함으로써, 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 마스크 처짐 현상의 방지에 따른 제품의 신뢰성을 확보함으로써, 제품 신뢰성을 향상시킨 마스크를 이용하여 우수한 제품을 생산할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 마스크 조립체 제조장치 100 : 본체
300 : 클램프유닛 310 : 클램프본체
320 : 베이스부 322 : 제1베이스부
324 : 제2베이스부 330 : 클램핑부
332 : 제1파지부 334 : 제2파지부
336 : 클램핑 회전축 340 : 마찰부재
350 : 구동부 352 : 제1구동부
354 : 피스톤 356 : 실린더
358 : 제2구동부 360 : 구동전환부
367 : 제1회전축 369 : 제2회전축
370 : 탄성부재 380 : 압력감지부
390 : 위치감지부 500 : 프레임 지지유닛
700 : 비젼유닛

Claims (12)

  1. 마스크 및 프레임으로 구성되는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛에 있어서,
    클램프본체와;
    상기 클램프본체의 하부면을 지지하며, 상기 클램프본체의 슬라이딩 왕복 이동을 안내하는 제1베이스부 및 상기 제1베이스부의 판면에 대해 가로 방향으로 연장된 제2베이스부를 구비한 베이스부와;
    상기 클램프본체와 상기 베이스부의 제2베이스부 사이에 마련되어 상기 클램프본체를 탄성 바이어스하는 탄성부재와;
    상기 클램프본체의 일측에 돌출되며, 상기 마스크를 파지하는 파지위치 및 상기 마스크를 파지해제 하는 파지해제위치 사이에서 회전 운동되는 한 쌍의 파지부를 갖는 클램핑부와;
    상기 클램프본체 내부에 수용되어 상기 클램핑부가 회전 운동되도록 병진운동의 구동력을 발생하는 제1구동부와, 상기 베이스부에 대해 상기 클램프본체가 슬라이딩 왕복 이동되도록 구동력을 발생하는 제2구동부를 갖는 구동부와;
    상기 클램핑부와 상기 제1구동부 사이에 배치되어 상기 클램핑부와 상기 제1구동부를 상호 연결하며, 상기 제1구동부의 병진운동의 구동력을 상기 클램핑부가 회전 운동되는 회전 운동력으로 전환하는 구동전환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    한 쌍의 상기 파지부 중 적어도 어느 하나의 파지면에 마련되어, 상기 마스크와 상기 파지면의 마찰력을 증대시키는 마찰부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 마찰부재는 고무재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑부는,
    상기 클램프본체에 고정 지지되는 제1파지부와;
    상기 제1파지부에 대해 회전 운동되도록 상기 제1파지부에 힌지 결합되어, 상기 제1파지부의 파지면과 접촉 및 접촉해제 되는 제2파지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 구동부는 유체압에 의해 작동되며,
    상기 제1구동부는 상기 구동전환부와 연결되며 병진운동 되는 피스톤 및 상기 피스톤을 수용하여 상기 피스톤에 유체압을 전달하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 구동전환부의 일측은 상기 제2파지부에 연결되고 타측은 상기 피스톤에 연결되는 바 형상의 링크부재인 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 구동전환부의 일측과 상기 제2파지부가 연결된 회전축선 및 상기 구동전환부의 타측과 상기 피스톤이 연결된 회전축선은 상기 피스톤의 병진운동에 따라 동일한 회전 방향을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 베이스는 상기 클램프본체의 하부면을 지지하며 상기 클램프본체의 슬라이딩 왕복 이동을 안내하는 제1베이스부 및 상기 제1베이스부의 판면에 대해 가로 방향으로 연장된 제2베이스부를 포함하며,
    상기 제2구동부는 상기 제2베이스부를 사이에 두고 상기 클램프본체와 이격되는 상기 제2베이스부의 일측면에 결합되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  9. 삭제
  10. 제8항에 있어서,
    상기 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛은,
    상기 클램프본체 내부에 배치되고 상기 제2구동부와 연결되어, 상기 제2구동부의 작동에 따라 상기 클램프본체에 가해지는 압력을 감지하는 압력감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛은,
    상기 클램프본체와 상기 제2베이스부 사이에 배치되어, 상기 클램프본체의 위치를 감지하는 위치감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치용 클램프유닛.
  12. 마스크 및 프레임으로 구성되는 마스크 조립체 제조장치에 있어서,
    본체와;
    상기 본체에 배치되며, 상기 마스크를 클램핑 하는 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 클램프유닛과;
    상기 클램프유닛에 의해 파지된 상기 마스크와 결합되는 상기 프레임을 지지하는 프레임 지지유닛과;
    상기 프레임의 상부면을 따라 이동 가능하도록 마련되어, 상기 마스크와 상기 프레임의 얼라인 상태를 감지하는 비젼유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조장치.
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