KR102004421B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 기판 처리 장치는, 척킹 모듈을 포함하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 척킹 모듈은, 기판의 일면이 노출되도록 상기 기판의 가장자리를 파지하는 클램핑부; 상기 클램핑부를 수평 방향으로 구동하는 수평 구동부; 및 상기 클램핑부를 수직 방향으로 구동하는 수직 구동부를 포함하되, 상기 클램핑부는, 서로 분리된 제1 클램핑부 및 제2 클램핑부; 및 상기 제1 클램핑부와 상기 제2 클램핑부 사이에 위치하여 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함한다.

Description

기판 처리 장치{APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}
본 발명의 실시예들은 기판 처리 장치에 관한 것이다.
표시 장치 등을 제조함에 있어서 기판과 필름을 합착(lamination)하는 공정이 필요하다. 상기 합착 공정은 기판 처리 장치 내에서 척킹 모듈이 상기 기판을 척킹(chucking)한 상태에서 수행하게 된다. 상기 척킹 모듈의 예로서, 진공척, 정전척 등이 이용되고 있다.
상기 기판을 척킹하는 방식으로는 척킹 모듈이 하부에 위치하여 상기 척킹 모듈 상에 기판을 놓고 처리하는 하부 척킹 방식과, 척킹 모듈이 상부에 위치하고 상기 척킹 모듈 아래에 기판이 배치되는 상부 척킹 방식이 있다. 상부 척킹 방식에서는 기판의 피처리면이 아래를 향하게 되고, 하부에 배치된 필름을 가압하여 상기 합착 공정이 이루어진다.
그런데, 곡면 형태의 기판의 경우, 종래의 척킹 모듈로는 상기 기판을 안정적으로 파지하지 못해 합착 공정을 진행하기 어려운 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 곡면 형태의 기판에 대해 보다 안정적인 상부 척킹이 가능한 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 의한 기판 처리 장치는, 척킹 모듈을 포함하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 척킹 모듈은, 기판의 일면이 노출되도록 상기 기판의 가장자리를 파지하는 클램핑부; 상기 클램핑부를 수평 방향으로 구동하는 수평 구동부; 및 상기 클램핑부를 수직 방향으로 구동하는 수직 구동부를 포함하되, 상기 클램핑부는, 서로 분리된 제1 클램핑부 및 제2 클램핑부; 및 상기 제1 클램핑부와 상기 제2 클램핑부 사이에 위치하여 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함한다.
일 실시예에서, 상기 척킹 모듈은, 상기 기판을 중심으로 서로 반대하는 방향에 배치된 제1 척킹 모듈과 제2 척킹 모듈을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 척킹 모듈의 클램핑부는 상기 기판의 일 단부를 파지하도록 구동되고, 상기 제2 척킹 모듈의 클램핑부는 상기 기판의 상기 일 단부에 반대하는 타 단부를 파지하도록 구동될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 클램핑부는 상기 수평 구동부에 결합되며, 상기 제2 클램핑부는 상기 탄성부재에 의해 상기 기판 측으로 전진되도록 탄성가압될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 클램핑부는 상기 기판의 형상에 대응하여 적어도 일부의 곡면을 가질 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 클램핑부는 정전기력을 이용해 상기 기판을 흡착 고정할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 클램핑부는, 상기 제2 클램핑부의 상기 기판과 접하는 측면에 배치되는 마찰 패드를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 탄성부재는 코일 스프링, 판형 스프링, 유압 실린더 및 공압 실린더 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 기판의 상기 일면에 반대하는 타면의 일부 영역을 흡착 고정하는 진공 석션부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 수평 구동부는, 서로 분리된 제1 수평 브라켓과 제2 수평 브라켓; 및 상기 제1 수평 브라켓과 상기 제2 수평 브라켓 사이에 위치하여 수평 방향으로 왕복운동하는 수평 실린더를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 수직 구동부는, 서로 분리된 제1 수직 브라켓과 제2 수직 브라켓; 및 상기 제1 수직 브라켓과 상기 제2 수직 브라켓 사이에 위치하여 수직 방향으로 왕복운동하는 수직 실린더를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 척킹 모듈과 함께 상기 기판을 지지하는 고정부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 기판은 곡면을 갖는 윈도우 패널을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 기판은 돔(dome) 형상일 수 있다.
일 실시예에서, 상부 챔버; 상기 상부 챔버 내에 구비되고, 상기 기판의 일면이 상기 상부 챔버의 개방면을 향하도록 상기 척킹 모듈이 구비된 상부 스테이지; 상기 상부 챔버에 대향하는 하부 챔버; 상기 하부 챔버 내에 구비되는 하부 스테이지; 및 상기 하부 스테이지 상에 구비된 압착 패드를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 압착 패드 상에 제공된 필름과 상기 기판을 얼라인하기 위한 비전 모듈을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 상부 챔버 및 상기 하부 챔버 중 어느 하나에 연결되어 진공 상태를 만들기 위한 진공 모듈을 더 포함할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 탄성부재를 포함하는 클램핑부를 이용해 기판을 파지함으로써, 곡면 형태의 기판에 대해 보다 안정적인 상부 척킹이 가능하도록 한다.
추가적으로, 정전기력 또는 진공 석션을 이용해 상기 기판을 흡착함으로써, 척킹 모듈의 고정 지지력을 증가시킬 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 나타낸 도면들이다.
도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 구성도이다.
도 2a, 도 2b, 도 2c는 도 1c의 척킹 모듈의 실시예들을 평면 상에 나타낸 도면들이다.
도 3a는 도 2b의 척킹 모듈의 사시도이고, 도 3b는 척킹 모듈의 측면도이다.
도 3c는 도 3a의 클램핑부의 부분 확대도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, 본 명세서에 있어서, 어느 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 상(on)에 형성되었다고 할 경우, 상기 형성된 방향은 상부 방향만 한정되지 않으며 측면이나 하부 방향으로 형성된 것을 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 나타낸 도면들이고, 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 구성도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판(WIN)은 곡면을 갖는 윈도우 패널일 수 있다. 상기 기판(WIN)은 돔(dome) 형상의 원형 윈도우 패널일 수 있다. 상기 기판(WIN)은 스마트 워치(smart watch) 등과 같은 웨어러블 장치(wearable device)에 채용될 수 있다.
상기 기판(WIN)은 유리, 수지(resin) 등과 같은 절연성 재료로 이루어질 수 있으며, 단층 구조 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 상기 기판(WIN)은 표시 패널을 제조하기 위한 기판, 또는 웨이퍼와 같은 반도체 장치를 제조하기 위한 반도체 기판일 수 있다.
도 1c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 상기 기판(WIN)과 필름(미도시)을 합착(lamination)하는 공정을 수행할 수 있다. 상기 필름은 가요성(flexibility)을 갖는 터치 스크린 패널 또는 디스플레이 패널일 수 있다.
상기 기판 처리 장치는 상부 챔버(CB1), 하부 챔버(CB2), 상부 스테이지(ST1), 하부 스테이지(ST2), 척킹 모듈(CM) 및 압착 패드(PAD)를 포함할 수 있다.
상기 상부 챔버(CB1)와 상기 하부 챔버(CB2)는 상기 기판(WIN)과 상기 필름의 합착 공정을 진행하기 위한 공간을 제공한다. 상기 상부 챔버(CB1)와 상기 하부 챔버(CB2)는 개방하는 일면이 서로 마주보도록 배치된다. 상기 상부 챔버(CB1) 내에는 상기 기판(WIN)이 위치하고, 상기 하부 챔버(CB2) 내에는 상기 필름이 위치하는 구조를 갖는다. 즉, 상기 기판(WIN)의 피처리면이 아래를 향하게 지지한 상태에서 상기 합착 공정이 이루어지는 상부 척킹(chucking) 구조를 갖는다. 상기 상부 챔버(CB1)와 상기 하부 챔버(CB2)가 분리된 상태에서 상기 기판(WIN)과 상기 필름이 제공되며, 상기 상부 챔버(CB1)와 상기 하부 챔버(CB2)가 결합된 상태에서 상기 합착 공정이 수행된다.
상기 상부 챔버(CB1)와 상기 하부 챔버(CB2)는 알루미늄, 스테인리스, 구리와 같은 금속 물질로 제작될 수 있다. 상기 상부 챔버(CB1)와 상기 하부 챔버(CB2)의 전체 또는 일부는 석영, 세라믹과 같은 전기적 절연 물질로 제작될 수 있다. 상기 상부 챔버(CB1)와 상기 하부 챔버(CB2)의 구조는 상기 합착 공정을 진행하기 적합한 구조 예를 들어, 원형 구조나 사각형 구조 그리고 이외에도 어떠한 형태의 구조를 가질 수 있다.
상기 상부 스테이지(ST1)는 상기 상부 챔버(CB1) 내측에 구비되며, 상기 하부 스테이지(ST2)는 상기 하부 챔버(CB2) 내측에 구비된다. 상기 척킹 모듈(CM)은 상기 상부 스테이지(ST1) 상에 제공되며, 상기 기판(WIN)의 피처리면이 상기 하부 챔버를 향하도록 상기 기판(WIN)을 지지한다. 상기 압착 패드(PAD)는 상기 하부 스테이지(ST2) 상에 구비되며, 상기 기판(WIN)과 중첩되는 위치에 상기 필름이 안착된다.
또한, 상기 기판 처리 장치는 상기 하부 챔버(CB2)를 지지하는 프레임(FRM), 상기 하부 스테이지(ST2)를 상기 상부 스테이지(ST1) 측으로 밀착 가압하여 상기 합착 공정을 진행하는 챔버 구동부(CD), 상기 필름과 상기 기판(WIN)을 얼라인(align)하기 위한 비전 모듈(VM), 및 상기 하부 챔버(CB2)에 연결되어 진공 상태를 만들기 위한 진공 모듈(VPM)을 더 포함할 수 있다.
상기 챔버 구동부(CD)는 상기 하부 스테이지(ST2)를 지지하는 한쌍의 승하강 부재(CD1)와, 상기 승하강 부재(CD1)의 승하강을 위한 동력을 제공하는 구동 실린더부(CD2)를 포함할 수 있다. 상기 구동 실린더부(CD2)는 공압 또는 유압 실린더로 구성되어 상기 공압 또는 유압 실린더의 수축 또는 신장에 의해 상기 하부 스테이지(ST2)를 상하로 구동할 수 있다. 상기 구동부(140)는 상기 척킹 유닛(130)의 상하, 전후, 좌우 구동을 위한 다양한 변형예를 가질 수 있다.
상기 비전 모듈(VM)은 좌우 양측에 위치하면서 상기 기판(WIN)의 정렬 상태를 감지하는 상부 비전 시스템(VS1), 상기 필름의 정렬 상태를 감지하는 하부 비전 시스템(VS2), 및 상기 상부 비전 시스템(VS1)과 상기 하부 비전 시스템(VS2)을 구동하는 비전 모듈 구동부(VD)를 포함한다.
상기 상부 비전 시스템(VS1)과 상기 하부 비전 시스템(VS2)은 CCD(charge-coupled device) 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 중 어느 하나를 이미지 센서로 사용하는 카메라로 구성될 수 있다. 상기 비전 모듈 구동부(VD)는 상기 프레임(FRM)에 고정되며, 상기 상부 비전 시스템(VS1)과 상기 하부 비전 시스템(VS2)을 상기 상부 챔버(CB1)와 상기 하부 챔버(CB2) 사이로 전진시키거나 후퇴시킬 수 있도록 구성될 수 잇다.
상기 진공 모듈(VPM)은 상기 하부 챔버(CB2)의 밑면에 연결되는 진공 파이프(VP1)와, 상기 진공 파이프(VP1)를 통해 공기를 빨아들이는 진공 펌프(VP2)를 포함할 수 있다.
도 2a, 도 2b, 도 2c는 도 1c의 척킹 모듈의 실시예들을 평면 상에 나타낸 도면들이다.
도 2a를 참조하면, 본 실시예의 기판 처리 장치는 하나의 제1 척킹 모듈(CM1)과, 상기 기판(WIN)의 일부를 지지하는 고정부(FU)를 포함한다. 상기 기판(WIN)의 일단부는 상기 제1 척킹 모듈(CM1)에 의해 지지되며, 상기 기판(WIN)의 타단부는 상기 고정부(FU)에 의해 지지된다.
도 2b를 참조하면, 본 실시예의 척킹 모듈은 상기 기판(WIN)을 중심으로 서로 반대하는 방향에 배치된 제1 척킹 모듈(CM1)과 제2 척킹 모듈(CM2)을 포함한다. 상기 제1 척킹 모듈(CM1)과 상기 제2 척킹 모듈(CM2)은 실질적으로 동일한 구조일 수 있다. 상기 제1 척킹 모듈(CM1)의 클램핑부는 상기 기판(WIN)의 일 단부를 파지하도록 구동되고, 상기 제2 척킹 모듈(CM2)의 클램핑부는 상기 기판(WIN)의 상기 일 단부에 반대하는 타 단부를 파지하도록 구동된다.
도 2c를 참조하면, 본 실시예의 척킹 모듈은 상기 기판(WIN)을 중심으로 상측에 배치된 제1 척킹 모듈(CM1), 하측에 배치된 제2 척킹 모듈(CM2), 좌측에 배치된 제3 척킹 모듈(CM3), 우측에 배치된 제4 척킹 모듈(CM4)을 포함한다. 상기 제1 내지 제4 척킹 모듈(CM1, CM2, CM3, CM4)은 실질적으로 동일한 구조일 수 있다. 상기 제1 내지 제4 척킹 모듈(CM1, CM2, CM3, CM4) 각각의 클램핑부는 상기 기판(WIN)의 가장자리 네 부위를 각각 파지하도록 구동된다.
도 3a는 도 2b의 척킹 모듈의 사시도이고, 도 3b는 척킹 모듈의 측면도이며, 도 3c는 도 3a의 클램핑부의 부분 확대도이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 상기 기판(WIN)을 중심으로 서로 반대하는 방향에 배치된 제1 척킹 모듈(CM1)과 제2 척킹 모듈(CM2)을 포함한다. 상기 제1 척킹 모듈(CM1)과 상기 제2 척킹 모듈(CM2)은 실질적으로 동일한 구조이므로, 이하 상기 제1 척킹 모듈(CM1)에 관하여 설명하기로 한다.
상기 제1 척킹 모듈(CM1)은 수직 구동부(10a), 수평 구동부(20a) 및 클램핑부(30a)를 포함한다.
상기 수직 구동부(10a)는 상기 클램핑부(30a)를 수직 방향(Z 방향)으로 구동한다. 상기 수직 구동부(10a)는 서로 분리된 제1 수직 브라켓(ZBK1)과 제2 수직 브라켓(ZBK2), 및 상기 제1 수직 브라켓(ZBK1)과 상기 제2 수직 브라켓(ZBK2) 사이에 위치하여 수직 방향으로 왕복운동하는 수직 실린더(ZCD)를 포함한다.
상기 제1 수직 브라켓(ZBK1)은 상기 상부 스테이지(ST1) 내부 또는 상기 상부 스테이지(ST1)에 고정 결합되며, 상기 제1 수직 브라켓(ZBK1)의 일면에는 상기 고정 결합을 위한 결합공(FH)이 형성될 수 있다. 상기 수직 실린더(ZCD)는 공압 또는 유압 실린더로 구성되어 상기 공압 또는 유압 실린더의 수축 또는 신장에 의해 상기 제2 수직 브라켓(ZBK2)을 상하로 승하강시킬 수 있다.
상기 수평 구동부(20a)는 상기 클램핑부(30a)를 수평 방향(X방향)으로 구동한다. 상기 수평 구동부(20a)는 서로 분리된 제1 수평 브라켓(XBK1)과 제2 수평 브라켓(XBK2); 및 상기 제1 수평 브라켓(XBK1)과 상기 제2 수평 브라켓(XBK2) 사이에 위치하여 수평 방향으로 왕복운동하는 수평 실린더(XCD)를 포함한다.
상기 제1 수평 브라켓(XBK1)은 상기 제2 수직 브라켓(ZBK2)에 고정 결합되어 상기 제2 수직 브라켓(ZBK2)이 수직 방향으로 이동하면 함께 이동한다. 상기 수평 실린더(XCD)는 공압 또는 유압 실린더로 구성되어 상기 공압 또는 유압 실린더의 수축 또는 신장에 의해 상기 제1 수평 브라켓(XBK1)을 수평 방향으로 전진 또는 후진시킬 수 있다.
상기 클램핑부(30a)는 상기 기판(WIN)의 일면이 하방으로 노출되도록 상기 기판(WIN)의 가장자리를 파지한다. 상기 클램핑부(30a)는 서로 분리된 제1 클램핑부(CLP1) 및 제2 클램핑부(CLP2)와, 상기 제1 클램핑부(CLP1) 및 상기 제2 클램핑부(CLP2) 사이에 위치하여 탄성력을 제공하는 탄성부재(SPR)를 포함한다.
상기 제1 클램핑부(CLP1)는 상기 제2 수평 브라켓(XBK2)에 고정 결합되어 상기 제2 수평 브라켓(XBK2)이 수평 방향으로 이동하면 함께 이동한다. 상기 탄성부재(SPR)는 코일 스프링, 판형 스프링, 유압 실린더 및 공압 실린더 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 상기 탄성부재(SPR)는 한 쌍의 코일 스프링을 예시하고 있으나, 상기 탄성부재(SPR)의 개수, 형상 및 위치는 예시적이며 다양하게 변경될 수 있다.
상기 제2 클램핑부(CLP2)는 상기 탄성부재(SPR)에 의해 상기 기판(WIN) 측으로 전진되도록 탄성가압된다. 상기 제1 척킹 모듈(CM1)의 클램핑부(30a)와 상기 제2 척킹 모듈(CM2)의 클램핑부(30b)가 상기 기판(WIN)의 양 측면에 소정의 압력을 가하면 기계적인 힘에 의해 상기 기판(WIN)이 클램핑된다. 상기 탄성부재(SPR)에 의하여, 상기 기판(WIN)이 불규칙적인 모양을 가지고 있다 하더라도 균일하고 완만한 압력이 가해지도록 하여 안정적인 클램핑이 가능해진다.
상기 제1 클램핑부(CLP1)와 상기 제2 클램핑부(CLP2)는 레진(resin) 재질일 수 있다. 상기 제2 클램핑부(CLP2)는 상기 기판(WIN)의 형상에 대응하는 곡면을 가질 수 있다. 상기 제2 클램핑부(CLP2)는 상기 기판(WIN)의 형상, 두께 및 크기에 따라 다양한 형태 및 구조를 가질 수 있다.
상기 제2 클램핑부(CLP2)는 정전기력을 이용해 상기 기판(WIN)을 흡착 고정할 수 있다. 정전기력을 이용한 척킹 방식으로 Uni-polar, Bi-polar, Tri-polar 타입 중 어느 하나가 적용될 수 있다.
상기 기판 처리 장치는 상기 기판(WIN)의 상기 일면에 반대하는 타면의 일부 영역을 흡착 고정하는 진공 석션부(SUC)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 상기 진공 석션부(SUC)는 상기 기판(WIN)의 상면 중앙 영역을 흡착 고정하고 있으나, 상기 진공 석션부(SUC)의 개수와 흡착 위치는 변형될 수 있다. 상기 진공 석션부(SUC)에 의하여, 상기 기판(WIN)에 대한 고정 지지력이 증가될 수 있다.
도 3c를 참조하면, 상기 클램핑부(30a)는 상기 제2 클램핑부(CLP2)의 상기 기판(WIN)과 접하는 측면에 배치되는 마찰 패드(FPD)를 더 포함할 수 있다. 상기 마찰 패드(FPD)는 실리콘 재질일 수 있다. 상기 마찰 패드(FPD)에 의하여, 상기 기판(WIN)에 대한 고정 지지력이 증가될 수 있다.
상기 기판(WIN)이 기판 스테이지(WST)에 안착된 상태에서, 상기 제1 척킹 모듈(CM1)과 상기 제2 척킹 모듈(CM2)이 서로 반대하는 방향에서 접근하여 상기 기판(WIN)를 파지하도록 구동된다. 이때, 상기 진공 석션부(SUC)가 상기 기판(WIN)의 일부를 흡착 고정할 수 있다. 상기 기판(WIN)이 클램핑된 상태에서, 상기 제1 척킹 모듈(CM1)과 상기 제2 척킹 모듈(CM2)이 상기 기판(WIN)을 수직 방향으로 들어올리도록 구동된다. 상기 기판(WIN)이 적절하게 위치하면, 합착 공정이 시작된다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 탄성부재를 포함하는 클램핑부를 이용해 기판을 파지함으로써, 곡면 형태의 기판에 대해 보다 안정적인 상부 척킹이 가능하도록 한다.
추가적으로, 정전기력 또는 진공 석션을 이용해 상기 기판을 흡착함으로써, 척킹 모듈의 고정 지지력을 증가시킬 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 변형예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
CB1: 상부 챔버 CB2: 하부 챔버
ST1: 상부 스테이지 ST2: 하부 스테이지
CM: 척킹 모듈 PAD: 압착 패드
FRM: 프레임 CD: 챔버 구동부
VM: 비전 모듈 VPM: 진공 모듈
10a: 수직 구동부 20a: 수평 구동부
30a: 클램핑부 WIN: 기판
CLP1: 제1 클램핑부 CLP2: 제2 클램핑부
SPR: 탄성부재 SUC: 진공 석션부
FPD: 마찰 패드

Claims (17)

  1. 척킹 모듈을 포함하는 기판 처리 장치에 있어서,
    상기 척킹 모듈은,
    기판의 일면이 노출되도록 상기 기판의 가장자리를 파지하는 클램핑부;
    상기 클램핑부를 수평 방향으로 구동하는 수평 구동부; 및
    상기 클램핑부를 수직 방향으로 구동하는 수직 구동부를 포함하되,
    상기 클램핑부는,
    상기 기판의 가장자리를 파지하는 제2 클램핑부;
    상기 제2 클램핑부를 상기 기판 측으로 탄성가압하는 탄성부재; 및
    상기 탄성부재와 상기 수평 구동부 사이에 배치된 제1 클램핑부를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 척킹 모듈은,
    상기 기판을 중심으로 서로 반대하는 방향에 배치된 제1 척킹 모듈과 제2 척킹 모듈을 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 척킹 모듈의 클램핑부는 상기 기판의 일 단부를 파지하도록 구동되고,
    상기 제2 척킹 모듈의 클램핑부는 상기 기판의 상기 일 단부에 반대하는 타 단부를 파지하도록 구동되는 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 클램핑부는 상기 수평 구동부에 결합되며,
    상기 제2 클램핑부는 상기 탄성부재에 의해 상기 기판 측으로 전진되도록 탄성가압되는 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 클램핑부는 상기 기판의 형상에 대응하여 적어도 일부의 곡면을 갖는 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 클램핑부는 정전기력을 이용해 상기 기판을 흡착 고정하는 기판 처리 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램핑부는,
    상기 제2 클램핑부의 상기 기판과 접하는 측면에 배치되는 마찰 패드를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성부재는 코일 스프링, 판형 스프링, 유압 실린더 및 공압 실린더 중 적어도 하나를 포함하는 기판 처리 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 상기 일면에 반대하는 타면의 일부 영역을 흡착 고정하는 진공 석션부를 포함하는 기판 처리 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 수평 구동부는,
    서로 분리된 제1 수평 브라켓과 제2 수평 브라켓; 및
    상기 제1 수평 브라켓과 상기 제2 수평 브라켓 사이에 위치하여 수평 방향으로 왕복운동하는 수평 실린더를 포함하는 기판 처리 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 수직 구동부는,
    서로 분리된 제1 수직 브라켓과 제2 수직 브라켓; 및
    상기 제1 수직 브라켓과 상기 제2 수직 브라켓 사이에 위치하여 수직 방향으로 왕복운동하는 수직 실린더를 포함하는 기판 처리 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 척킹 모듈과 함께 상기 기판을 지지하는 고정부를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 곡면을 갖는 윈도우 패널을 포함하는 기판 처리 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 돔(dome) 형상인 기판 처리 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상부 챔버;
    상기 상부 챔버 내에 구비되고, 상기 기판의 일면이 상기 상부 챔버의 개방면을 향하도록 상기 척킹 모듈이 구비된 상부 스테이지;
    상기 상부 챔버에 대향하는 하부 챔버;
    상기 하부 챔버 내에 구비되는 하부 스테이지; 및
    상기 하부 스테이지 상에 구비된 압착 패드를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 압착 패드 상에 제공된 필름과 상기 기판을 얼라인하기 위한 비전 모듈을 더 포함하는 기판 처리 장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 상부 챔버 및 상기 하부 챔버 중 어느 하나에 연결되어 진공 상태를 만들기 위한 진공 모듈을 더 포함하는 기판 처리 장치.

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