KR102392000B1 - 클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치 - Google Patents

클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102392000B1
KR102392000B1 KR1020170112533A KR20170112533A KR102392000B1 KR 102392000 B1 KR102392000 B1 KR 102392000B1 KR 1020170112533 A KR1020170112533 A KR 1020170112533A KR 20170112533 A KR20170112533 A KR 20170112533A KR 102392000 B1 KR102392000 B1 KR 102392000B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
axis direction
unit
driving stage
clamping
driving
Prior art date
Application number
KR1020170112533A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20190026998A (ko
Inventor
김명규
정경훈
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020170112533A priority Critical patent/KR102392000B1/ko
Priority to CN201810171097.0A priority patent/CN109423601B/zh
Publication of KR20190026998A publication Critical patent/KR20190026998A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102392000B1 publication Critical patent/KR102392000B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H01L51/56—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L51/0001—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 클램핑 장치는 클램핑 유닛 및 상기 클램핑 유닛을 이동시키는 인장 유닛을 포함하는 클램핑 장치로서, 상기 클램핑 유닛은 베이스 스테이지, 상기 베이스 스테이지 상에 이격되어 배치되는 제1 구동 스테이지 및 제2 구동 스테이지, 상기 제1 구동 스테이지 상에 배치되는 제1 핑거부 및 상기 제2 구동 스테이지 상에 배치되는 제2 핑거부를 포함한다.

Description

클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치{CLAMPING APPARATUS AND APPARATUS FOR MANUFACTURING MASK ASSEMBLY COMPRISING THE SAME}
본 발명은 클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치에 대한 것이다.
일반적인 디스플레이 장치 중 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고, 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다.
한편 유기 발광 표시 장치의 전극들과 발광층을 포함하는 중간층은 여러 가지 방법에 의해 형성될 수 있는데, 이 중 하나의 방법이 증착법이다. 증착법은 형성될 박막의 패턴과 동일한 패턴을 갖는 파인 메탈 마스크를 이용하여 재료를 증발시키는 방식이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 얼라인의 정밀성을 향상시키는 클램핑 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 공정의 효율성을 향상시키는 클램핑 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 얼라인의 정밀성을 향상시키는 마스크 조립체 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 공정의 효율성을 향상시키는 마스크 조립체 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 클램핑 장치는 클램핑 유닛 및 상기 클램핑 유닛을 이동시키는 인장 유닛을 포함하는 클램핑 장치로서, 상기 클램핑 유닛은 베이스 스테이지, 상기 베이스 스테이지 상에 이격되어 배치되는 제1 구동 스테이지 및 제2 구동 스테이지, 상기 제1 구동 스테이지 상에 배치되는 제1 핑거부 및 상기 제2 구동 스테이지 상에 배치되는 제2 핑거부를 포함하되, 상기 제1 구동 스테이지 및 상기 제2 구동 스테이지는 각각 x축 방향, y축 방향 및 z축 방향 중 선택된 어느 하나 이상의 방향으로 이동하거나, 상기 y축 방향으로 연장되는 제1 회전축, 상기 x축 방향으로 연장되는 제2 회전축 및 상기 z축 방향으로 연장되는 제3 회전축 중 선택된 어느 하나 이상의 회전축을 축으로 하여 회전하고, 상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시킨다.
또한, 상기 제1 구동 스테이지의 최소 이동 단위와 상기 인장 유닛의 최소 이동 단위는 서로 상이할 수 있다.
또한, 상기 제1 구동 스테이지의 최소 이동 단위는 0.1 내지 0.2 ㎛이고, 상기 인장 유닛의 최소 이동 단위는 1㎛일 수 있다.
또한, 상기 인장 유닛이 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시키면, 상기 제1 핑거부와 상기 제2 핑거부는 동시에 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동할 수 있다.
또한, 상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 제1 모터, 상기 제1 모터로 부터 제공되는 동력을 전달하는 구동 로드 및 상기 구동 로드와 연결되어 상기 x축 방향으로 이동하는 제1 지지대, 상기 클램핑 유닛을 y축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 제2 모터 및 상기 제2 모터로부터 동력을 제공받아 y축 방향으로 이동하는 제2 지지대를 포함할 수 있다.
또한, 상기 베이스 스테이지 상에 배치되는 제3 구동 스테이지 및 상기 제3 구동 스테이지 상에 배치되는 제3 핑거부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 핑거부의 일측에 배치되는 제1 측면 구동부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 측면 구동부는 압전 물질을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 측면 구동부는 팽창 또는 수축하여 상기 제1 핑거부를 상기 y축 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치는 서로 마주보는 제1 클램핑 장치 및 제2 클램핑 장치를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치로서,
상기 제1 클램핑 장치는 클램핑 유닛 및 상기 클램핑 유닛을 이동시키는 인장 유닛을 포함하되, 상기 클램핑 유닛은 베이스 스테이지, 상기 베이스 스테이지 상에 이격되어 배치되는 제1 구동 스테이지 및 제2 구동 스테이지, 상기 제1 구동 스테이지 상에 배치되는 제1 핑거부 및 상기 제2 구동 스테이지 상에 배치되는 제2 핑거부를 포함하되, 상기 제1 구동 스테이지 및 상기 제2 구동 스테이지는 각각 x축 방향, y축 방향 및 z축 방향 중 선택된 어느 하나 이상의 방향으로 이동하거나, 상기 y축 방향으로 연장되는 제1 회전축, 상기 x축 방향으로 연장되는 제2 회전축 및 상기 z축 방향으로 연장되는 제3 회전축 중 선택된 어느 하나 이상의 회전축을 축으로 하여 회전하고, 상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시킨다.
또한, 상기 제1 클램핑 장치와 상기 제2 클램핑 장치 사이에 분할 마스크가 배치되고, 상기 제1 클램핑 장치와 상기 제2 클램핑 장치는 상기 분할 마스크를 서로 반대방향으로 잡아 당길 수 있다.
또한, 상기 분할 마스크는 일측에 배치되는 제1 손잡이 및 제2 손잡이를 포함하고, 상기 제1 핑거부는 상기 제1 손잡이를 고정하고, 상기 제2 핑거부는 상기 제2 손잡이를 고정할 수 있다.
또한, 상기 제1 클램핑 장치와 상기 제2 클램핑 장치 사이에 원장 마스크가 배치되고, 상기 원장마스크의 코너부에는 사선 방향으로 연장되는 적어도 두 개의 손잡이가 배치되고, 상기 사선 방향으로 연장되는 두 개의 손잡이를 고정하는 제3 클램핑 장치를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 구동 스테이지의 최소 이동 단위와 상기 인장 유닛의 최소 이동 단위는 서로 상이할 수 있다.
또한, 상기 제1 구동 스테이지의 최소 이동 단위는 0.1 내지 0.2 ㎛이고, 상기 인장 유닛의 최소 이동 단위는 1㎛일 수 있다.
또한, 상기 인장 유닛이 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시키면, 상기 제1 핑거부와 상기 제2 핑거부는 동시에 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동할 수 있다.
또한, 상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 제1 모터, 상기 제1 모터로 부터 제공되는 동력을 전달하는 구동 로드 및 상기 구동 로드와 연결되어 상기 x축 방향으로 이동하는 제1 지지대, 상기 클램핑 유닛을 y축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 제2 모터 및 상기 제2 모터로부터 동력을 제공받아 y축 방향으로 이동하는 제2 지지대를 포함할 수 있다.
또한, 상기 베이스 스테이지 상에 배치되는 제3 구동 스테이지 및 상기 제3 구동 스테이지 상에 배치되는 제3 핑거부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 핑거부의 일측에 배치되는 제1 측면 구동부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 측면 구동부는 압전 물질을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
얼라인의 정밀성을 향상시킬 수 있다.
또한, 공정 효율성을 도모할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 마스크 조립체 제조 장치의 부분 평면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 을 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 부분 평면도이다.
도 4는 도 3의 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 부분 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 부분 평면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 부분 평면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이며, 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위해 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 마스크 조립체 제조 장치의 부분 평면도이다. 도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치는 적어도 하나의 클램핑 장치를 포함한다.
일 실시예에서 마스크 조립체 제조 장치는 마스크를 고정하는 적어도 하나의 클램핑 장치를 포함할 수 있다.
도 1은 하나의 분할 마스크(100)의 일측을 제1 클램핑 장치(1001)가 고정하고, 타측을 제2 클램핑 장치(1002)가 고정하는 경우를 예시한다. 제1 클램핑 장치(1001)와 제2 클램핑 장치(1002)는 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 이하에서는 설명의 편의를 위해 제1 클램핑 장치(1001)에 대해 설명하지만, 아래의 제1 클램핑 장치(1001)에 대한 설명은 그대로 제2 클램핑 장치(1002)에 적용될 수 잇다.
일 실시예에서 제1 클램핑 장치(1001)는 클램핑 유닛(CU) 및 인장 유닛(PU)을 포함할 수 있다.
일 실시예에서 클램핑 유닛(CU)은 베이스 스테이지(BS), 제1 구동 스테이지(DS1) 및 제2 구동 스테이지(DS2), 제1 핑거부(F1) 및 제2 핑거부(F2)를 포함할 수 있다.
베이스 스테이지(BS)는 후술하는 구성들이 배치되는 공간을 제공할 수 있다. 베이스 스테이지(BS)의 상면은 수평 방향으로 연장되는 판 형상을 가질 수 있다.
베이스 스테이지(BS) 상에는 제1 구동 스테이지(DS1) 및 제2 구동 스테이지(DS2)가 배치될 수 있다.
제1 구동 스테이지(DS1)와 제2 구동 스테이지(DS2)는 서로 이격되어 배치될 수 있다. 이에 따라 제1 구동 스테이지(DS1)와 제2 구동 스테이지(DS2)는 서로 독립적으로 구동될 수 있다.
제1 구동 스테이지(DS1)와 제2 구동 스테이지(DS2) 상에는 각각 제1 핑거부(F1)와 제2 핑거부(F2)가 배치될 수 있다.
제1 구동 스테이지(DS1)는 제2 구동 스테이지(DS2)는 실질적으로 동일하고, 제1 핑거부(F1)와 제2 핑거부(F2)는 실질적으로 동일할 수 있다. 이에 따라 이하에서는 제1 구동 스테이지(DS1) 및 제1 핑거부(F1)를 중심으로 설명하기로 한다. 본 명세서에서 제1 구동 스테이지(DS1) 및 제1 핑거부(F1)에 대한 설명은 그대로 제2 구동 스테이지(DS2) 및 제2 핑거부(F2)에 적용될 수 있다.
제1 구동 스테이지(DS1)는 후술하는 제1 핑거부(F1)를 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 제1 구동 스테이지(DS1)는 제1 핑거부(F1)를 직선이동시키거나 회전시킬 수 있다.
이하에서는 도 3 및 도 4를 참조하여, 제1 구동 스테이지(DS1)의 동작을 구체적으로 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 부분 평면도이다.
도 4는 도 3의 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 부분 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 구동 스테이지(DS1)는 6가지 방식으로 움직일 수 있다. 이에 따라 제1 구동 스테이지(DS1) 상에 배치되는 제1 핑거부(F1)도 6가지 방식으로 이동할 수 있다.
제1 구동 스테이지(DS1)는 y축 방향으로 직선 운동하거나, (도 3의 ①), x축 방향으로 직선 운동하거나, (도 3의 ②), z축 방향으로 직선 운동할 수 있다. (도 4의 ⑥)
즉, 제1 구동 스테이지(DS1)는 xyz 좌표계에서 선택된 어느 하나의 방향으로 직선 이동할 수 있다.
이에 더하여, 제1 구동 스테이지(DS1)는 적어도 하나의 회전축을 선택하여 회전할 수 있다. 도 3 및 도 4를 참조하면, y축과 나란하게 연장된 제1 회전축(RY), x축과 나란하게 연장된 제2 회전축(RX) 및 z축과 나란하게 연장되는 제3 회전축(RZ)은 제1 구동 스테이지(DS1)를 가로지르며 배치될 수 있다.
제1 구동 스테이지(DS1)는 y축과 나란하게 배치되는 제1 회전축(RY)을 축으로 하여 회전하거나, (도 3의 ③), x축과 나란하게 배치되는 제2 회전축(RX)을 축으로 하여 회전하거나, (도 3의 ④), z축과 나란하게 배치되는 제3 회전축(RZ)을 축으로 하여 회전할 수 있다. (도 4의 ⑤)
이에 따라, 제1 구동 스테이지(DS1)와 연결된 제1 핑거부(F1)도 위에서 설명한 6가지 방식으로 동작할 수 있다. 이와 같이 제1 핑거부(F1)가 다양한 방식으로 동작하는 경우, 뒤에서 설명할 마스크 프레임(200)과 분할 마스크(100)의 접합 시에 얼라인을 정밀하게 맞출 수 있다.
다시 도 2를 참조하면, 일 실시예에서 제1 핑거부(F1)는 클램핑 헤드(H), 받침대(65) 및 클램핑 모터(CM)를 포함할 수 있다.
클램핑 헤드(H)는 받침대(65)와 서로 대향되게 배치될 수 있다. 클램핑 헤드(H)와 받침대(65)는 대상체를 사이에 두고 위아래로 조임으로써, 대상체를 고정할 수 있다.
일 실시예에서 클램핑 헤드(H)는 클램핑 모터(CM)와 연결될 수 있다. 클램핑 모터(CM)는 클램핑 헤드(H)를 x축 양의 방향으로 당기거나, x축 음의 방향으로 밀 수 있다. (도 2 참조)
클램핑 모터(CM)가 클램핑 헤드(H)를 x축 양의 방향으로 당기면, 클램핑 헤드(H)는 받침대(65)를 향해 이동할 수 있다. 이에 따라 클램핑 헤드(H)와 받침대(65)가 가까워질 수 있다. 클램핑 헤드(H)와 받침대(65)가 계속적으로 가까워지면 클램핑 헤드(H)와 받침대(65)는 대상체(도 2에서는 제1 손잡이(51)가 될 것이다)를 물 수 있다. 다시 말하면, 대상체의 상부는 클램핑 헤드(H)에 접촉하고, 하부는 받침대(65)에 접촉할 수 있다. 이에 따라 대상체는 클램핑 헤드(H)와 받침대(65) 사이에서 고정될 수 있다.
클램핑 모터(CM)가 클램핑 헤드(H)를 x축 음의 방향으로 밀면, 클램핑 헤드(H)는 받침대(65)에서 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라 클램핑 헤드(H) 및/또는 받침대(65)는 대상체와 이격될 수 있다. 이 경우, 고정은 해제되며 대상체는 제1 핑거부(F1)로부터 자유롭게 이탈할 수 있다.
다른 실시예에서 클램핑 모터(CM)와 클램핑 헤드(H)의 움직임은 이와 반대일 수 있다. 다시 말하면, 다른 실시예에서 클램핑 모터(CM)가 클램핑 헤드(H)를 x축 양의 방향으로 당기면, 클램핑 헤드(H)가 받침대(65)와 멀어지면서 대상체가 클램핑 헤드(H) 및/또는 받침대(65)와 이격되어 고정이 해제되고, 클램핑 모터(CM)가 클램핑 헤드(H)를 x축 음의 방향으로 밀면, 클램핑 헤드(H)와 받침대(65)가 서로 가까워지면서 대상체를 물어 고정시킬 수 있다.
이어서 클램핑 유닛(CU)과 연결되는 인장 유닛(PU)에 대해 설명하기로 한다.
인장 유닛(PU)은 클램핑 유닛(CU)을 이동시킬 수 있다. 일 실시예에서 인장 유닛(PU)은 로드셀(LC), 제1 모터(XM), 구동 로드(XR), 제1 지지대(XS), 제1 가이드 레일(XG), 제2 모터(YM), 제2 지지대(YS) 및 제2 가이드 레일(YG)을 포함할 수 있다.
제1 모터(XM)는 제1 지지대(XS)를 x축 방향으로 이동시키기 위한 구동력을 제공할 수 있다.
구동 로드(XR)는 제1 모터(XM)와 연결되며, 제1 모터(XM)로부터 제공되는 구동력을 제1 지지대(XS)에 전달할 수 있다. 구체적으로, 구동 로드(XR)는 제1 모터(XM)로부터 제공받는 구동력을 제1 지지대(XS)에 전달할 수 있다. 이에 따라 제1 지지대(XS)는 x축 양의 방향 또는 x축 음의 방향으로 직선 이동할 수 있다.
제1 지지대(XS) 상에는 전술한 클램핑 유닛(CU)이 배치될 수 있다. 즉, 제1 지지대(XS)가 x축 방향으로 이동함에 따라 클램핑 유닛(CU)도 x축 방향으로 이동할 수 있다.
클램핑 유닛(CU)의 제1 구동 스테이지(DS1)도 x축 방향으로 이동하고, 제1 지지대(XS)도 x축 방향으로 이동하지만, 양자의 최소 이동 단위는 서로 상이할 수 있다.
본 명세서에서 최소 이동 단위라 함은 한 번에 움직일 수 있는 최소한의 거리를 의미할 수 있다.
일 실시예에서 제1 지지대(XS)의 최소 이동 단위는 제1 구동 스테이지(DS1)의 최소 이동 단위보다 클 수 있다. 구체적으로, 제1 구동 스테이지(DS1)의 최소 이동 단위는 0.1 내지 0.2 ㎛이고, 제1 지지대(XS)의 최소 이동 단위는 1㎛ 일 수 있다.
제1 지지대(XS)와 제1 구동 스테이지(DS1)의 최소 이동 단위가 상이한 경우, 마스크의 얼라인을 보다 효율적이고 정밀하게 수행할 수 있다. 즉, 최소 이동 단위가 큰 제1 지지대(XS)로 제1 얼라인 작업을 수행하고, 이어서, 제1 구동 스테이지(DS1)로 보다 정밀한 제2 얼라인 작업을 수행함으로써, 전체 얼라인 공정의 효율성 및 정확성이 향상될 수 있다.
일 실시예에서 제1 지지대(XS)의 하부에는 제1 가이드 레일(XG)이 배치될 수 있다. 제1 가이드 레일(XG)은 제2 지지대(YS) 상에 x축 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 지지대(XS)는 제2 지지대(YS) 상에서 가이드 레일을 따라 x축 양의 방향 또는 x축 음의 방향으로 이동할 수 있다.
일 실시예에서 인장 유닛(PU)은 베이스 스테이지(BS)와 연결되는 로드셀(LC)을 더 포함할 수 있다. 로드셀(LC)은 구동 로드(XR)와 베이스 스테이지(BS) 사이에 배치될 수 있다. 로드셀(LC)은 구동 로드(XR)가 가하는 힘, 즉 제1 모터(XM)에 의해 x축 방향으로 가해지는 힘의 크기를 측정할 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 일 실시예에서 제1 클램핑 장치(1001)는 로드셀(LC)에 가해지는 힘을 표시하기 위한 컴퓨터 장치를 더 포함할 수 있다.
제2 모터(YM)는 제2 지지대(YS)를 y축 방향으로 이동시키기 위한 구동력을 제공할 수 있다.
제2 지지대(YS) 상에는 제1 지지대(XS)가 배치되고, 제1 지지대(XS) 상에는 클램핑 유닛(CU)이 배치될 수 있다. 즉 제2 지지대(YS)가 y축 방향으로 이동함에 따라 클램핑 유닛(CU)도 y축 방향으로 이동할 수 있다.
클램핑 유닛(CU)의 제1 구동 스테이지(DS1)도 y축 방향으로 이동하고, 제2 지지대(YS)도 y축 방향으로 이동하지만, 양자의 최소 이동 단위는 서로 상이할 수 있다.
일 실시예에서 제2 지지대(YS)의 최소 이동 단위는 제1 구동 스테이지(DS1)의 최소 이동 단위보다 클 수 있다. 구체적으로, 제1 구동 스테이지(DS1)의 최소 이동 단위는 0.1 내지 0.2 ㎛이고, 제2 지지대(YS)의 최소 이동 단위는 1㎛ 일 수 있다.
제2 지지대(YS)와 제1 구동 스테이지(DS1)의 최소 이동 단위가 상이한 경우, 마스크의 얼라인을 보다 효율적이고 정밀하게 수행할 수 있다. 즉, 최소 이동 단위가 큰 제2 지지대(YS)로 제1 얼라인 작업을 수행하고, 이어서, 제1 구동 스테이지(DS1)로 보다 정밀한 제2 얼라인 작업을 수행함으로써, 전체 얼라인 공정의 정확성이 향상될 수 있다.
베이스 스테이지(BS) 상에 제1 핑거부(F1)와 제2 핑거부(F2)가 배치됨으로 인하여, 인장 유닛(PU)에 의해 베이스 스테이지(BS)가 이동하는 경우, 제1 핑거부(F1)와 제2 핑거부(F2)는 서로 연동되어 움직이게 된다. 즉, 제1 구동 스테이지(DS1) 및 제2 구동 스테이지(DS2)에 의해 제1 핑거부(F1)와 제2 핑거부(F2)가 서로 개별적으로 동작하게 됨과는 달리, 인장 유닛(CU)에 의한 움직임은 서로 연계된다. 다시 말하면, 인장 유닛(CU)이 x축 또는 y축 방향으로 클램핑 유닛(CU)을 이동시키면, 제1 핑거부(F1)와 제2 핑거부(F2)는 동시에 이동하게 된다.
이와 같이 개별 구동과 연계 구동이 병존하는 경우, 공정에 있어 불필요한 이동을 최소화하여 낭비를 막을 수 있다. 또한, 개별 구동으로 정밀하게 얼라인을 맞추고, 연계 구동으로 인장을 수행함으로써, 마스크 조립의 정확성을 향상시킬 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치는 마스크를 고정할 수 있다.
일 실시예에서 마스크 조립체는 마스크 프레임(200)과 분할 마스크(100)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임(200)은 가운데 부분이 비어 있는 사각형 형상을 가질 수 있다. 즉 마스크 프레임(200)은 액자 형상을 가질 수 있다.
일 실시예에서 마스크 프레임(200)은 금속 재질로 이루어질 수 있다. 마스크 프레임(200)은 후술하는 복수의 분할 마스크(100)와 결합될 수 있다.
분할 마스크(100)는 몸체부(101), 몸체부(101) 양측에 배치되는 접합부(102) 및 접합부(102) 외측에 배치되는 적어도 하나의 손잡이(51, 52)를 포함할 수 있다.
몸체부(101)는 일 방향으로 연장되는 바(bar) 형상을 가질 수 있다. 몸체부(101)에는 적어도 하나의 패턴부(111)가 배치될 수 있다. 패턴부(111)는 표시 장치를 제조하는데 필요한 복수의 슬릿 패턴을 포함할 수 있다. 일 실시예에서 복수의 슬릿 패턴은 증착 공정을 위한 슬릿 패턴일 수 있으나, 이에 제한될 필요는 없다.
패턴부(111)는 몸체부(101)의 연장 방향을 따라 복수개 배치될 수 있다.
몸체부(101)의 양측에는 분할 마스크(100)와 마스크 프레임(200)이 접합되는 접합부(102)가 배치될 수 있다. 접합부(102)에서 분할 마스크(100)와 마스크 프레임(200)은 서로 결합될 수 있다.
하나의 마스크 프레임(200)에는 하나 이상의 분할 마스크(100)가 결합될 수 있다. 복수의 분할 마스크(100)는 서로 나란하게 배치되어 마스크 프레임(200)에 결합될 수 있다.
접합부(102)의 외측에는 제1 손잡이(51)와 제2 손잡이(52)가 배치될 수 있다. 제1 손잡이(51)와 제2 손잡이(51)는 단부가 이격된 채로, 서로 나란하게 연장될 수 있다.
일 실시예에서 제1 손잡이(51)는 제1 클램핑 장치(1001)의 제1 핑거부(F1)와 체결되고, 제2 손잡이(52)는 제2 핑거부(F2)와 체결될 수 있다.
분할 마스크(100)가 제1 클램핑 장치(1001)와 제2 클램핑 장치(1002)에 체결된 상태에서, 제1 클램핑 장치(1001)와 제2 클램핑 장치(1002)는 분할 마스크(100)를 서로 당길 수 있다. 다시 말하면, 제1 클램핑 장치(1001)는 x축 양의 방향으로, 제2 클램핑 장치(1002)는 x축 음의 방향으로 분할 마스크(100)를 당길 수 있다. 이에 따라 분할 마스크(100)는 팽팽한 상태로 유지될 수 있다. 또한, 정확하게 얼라인을 맞추기 위해 앞서 말한 와 같이 복수의 구동 스테이지(DS1, DS2)나 인장 유닛(CU)이 제1 핑거부(F1) 및/또는 제2 핑거부(F2)의 위치를 적절히 조정할 수 있다.
일 실시예에서 마스크 프레임(200)과 분할 마스크(100)의 접합은 분할 마스크(100)가 제1 클램핑 장치(1001)와 제2 클램핑 장치(1002)에 의해 당겨진 상태로 진행될 수 있다.
이어서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치에 대해 설명하기로 한다. 이하의 실시예에서 이미 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 번호로서 지칭하며, 중복 설명은 생략하거나 간략화하기로 한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 부분 평면도이다.
도 5를 참조하면, 하나의 클램핑 장치(1003)가 3개 이상의 핑거부를 포함하는 점이 도 1의 실시예와 다른 점이다.
일 실시예에서 하나의 베이스 스테이지(BS1) 상에는 3개 이상의 핑거부가 배치될 수 있다.
도 5는 베이스 스테이지(BS1) 상에 제1 핑거부(F1), 제2 핑거부(F2), 제3 핑거부(F3), 제4 핑거부(F4), 제5 핑거부(F5) 및 제6 핑거부(F6)가 배치되는 경우를 도시하지만, 이는 예시적인 것으로, 핑거부의 개수가 6개로 제한된다는 것을 의미하지 않는다.
제2 핑거부(F2), 제3 핑거부(F3), 제4 핑거부(F4), 제5 핑거부(F5) 및 제6 핑거부(F6)는 앞서 설명한 제1 핑거부(F1)와 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 제2 핑거부(F2), 제3 핑거부(F3), 제4 핑거부(F4), 제5 핑거부(F5) 및 제6 핑거부(F6)를 각각 구동하는 제2 구동 스테이지(DS2), 제3 구동 스테이지(DS3), 제4 구동 스테이지(DS4) 및 제5 구동 스테이지(DS5)는 앞서 설명한 제1 구동 스테이지(DS1)와 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
베이스 스테이지(BS1) 상에 복수의 핑거부가 배치되는 경우에도, 인장 유닛(PU)은 하나일 수 있다. 즉, 이에 따라 제1 핑거부(F1), 제2 핑거부(F2), 제3 핑거부(F3), 제4 핑거부(F4), 제5 핑거부(F5) 및 제6 핑거부(F6)는 하나의 인장 유닛(PU)에 의해 동시에 움직일 수 있다.
이에 의하면 각 핑거부를 개별적으로 제어하여 얼라인을 정밀하게 맞춘 후 인장 공정을 하나의 인장 유닛(PU)으로 수행함으로써, 공정 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 평면도이다.
도 6을 참조하면, 일 실시예에서 마스크 조립체 제조 장치는 제1 핑거부(F1)를 y축 방향으로 이동시키는 측면 구동부(SD1, SD2)를 더 포함할 수 있다. 도 6은 두 개의 측면 구동부, 즉 제1 측면 구동부(SD1)와 제2 측면 구동부(SD2)를 도시하지만, 이는 예시적인 것으로 측면 구동부의 개수가 이에 제한되는 것은 아니다.
즉, 다른 실시예에서 측면 구동부는 단수이거나, 3개 이상일 수 있다.
제1 측면 구동부(SD1)와 제2 측면 구동부(SD2)는 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 아래에서는 제1 측면 구동부(SD1)에 대해 설명하기로 한다. 제1 측면 구동부(SD1)에 대한 설명은 그대로 제2 측면 구동부(SD2)에 적용될 수 있다.
제1 측면 구동부(SD1)는 제1 핑거부(F1)의 측면에 배치될 수 있다. 이에 따라, 제1 측면 구동부(SD1)는 제1 핑거부(F1)의 측면에서 제1 핑거부(F1)를 y축 방향으로 밀거나 당길 수 있다.
일 실시예에서 제1 측면 구동부(SD1)는 압전 물질(piezo electric materials)을 포함할 수 있다. 제1 측면 구동부(SD1)가 압전 물질을 포함하는 경우, 제1 측면 구동부(SD1)에 전압을 걸어주면, 제1 측면 구동부(SD1)는 팽창하거나 수축할 수 있다. 제1 측면 구동부(SD1)가 팽창하면, 제1 측면 구동부(SD1)는 제1 핑거부(F1)를 y축 양의 방향으로 밀고, 제1 측면 구동부(SD1)가 수축하면, 제1 측면 구동부(SD1)는 제1 핑거부(F1)를 y축 음의 방향으로 당길 수 있다.
제1 측면 구동부(SD1)에 의한 제1 핑거부(F1)의 최소 이동 단위는 제1 구동 스테이지(DS1)와 인장 유닛(CU)에 의한 제1 핑거부(F1)의 최소 이동 단위와 상이할 수 있다. 이에 따라, 다양한 최소 이동 단위를 갖는 위치 제어 수단을 구비하고, 상황에 맞춰 적절한 위치 제어 수단을 선택함으로써, 전체적인 공정의 정확성 및 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치의 부분 평면도이다.
도 7을 참조하면, 일 실시예에서 마스크 조립체 제조 장치가 고정하는 마스크는 원장 마스크(300)일 수 있다.
원장 마스크(300)는 평판 형상을 가지며 수평 방향으로 연장될 수 있다.
원장 마스크(300)에는 복수의 패턴부(311)가 형성될 수 있다. 일 실시예에서 패턴부(311)는 복수의 열과 복수의 행을 갖는 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
원장 마스크(300)의 테두리는 네 개의 측부와 네 개의 코너부를 포함할 수 있다.
다시 말하면, 원장 마스크(300)의 테두리는 제1 측부(S1), 제2 측부(S2), 제3 측부(S3) 및 제4 측부(S4)를 포함할 수 있다. 또한, 제1 측부(S1)와 제2 측부(S2) 사이에 배치되는 제1 코너부(C1), 제2 측부(S2)와 제3 측부(S3) 사이에 배치되는 제2 코너부(C2), 제3 측부(S3)와 제4 측부(S4) 사이에 배치되는 제3 코너부(C3) 및 제4 측부(S4)와 제1 측부(S1) 사이에 배치되는 제4 코너부(C4)를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서 제1 측부(S1), 제2 측부(S2), 제3 측부(S3) 및 제4 측부(S4) 상에는 복수의 손잡이(55)가 배치될 수 있다. 복수의 손잡이(55)는 각각 복수의 핑거부와 체결될 수 있다. 일 실시예에서 제1 측부(S1)와 제3 측부(S3)에 배치되는 손잡이(55)는 x축 방향으로 연장되고, 제2 측부(S2)와 제4 측부(S4)에 배치되는 손잡이(55)는 y축 방향으로 연장될 수 있다.
일 실시예에서 제1 코너부(C1)에는 사선 방향으로 연장되는 제1 손잡이(57)와 제2 손잡이(58)가 배치될 수 있다.
제1 코너부(C1)에 배치되는 제1 손잡이(57)와 제2 손잡이(58)는 제2 사분면 상에서 사선 방향으로 연장될 수 있다.
제2 코너부(C2) 내지 제4 코너부(C4)에 형성되는 손잡이는 제1 코너부(C1)에 형성된 손잡이와 마찬가지로 사선 방향으로 연장될 수 있다.
즉, 제2 코너부(C2)에 형성된 손잡이는 제1 사분면 상에서 사선 방향으로 연장되고, 제3 코너부(C3)에 형성된 손잡이는 제4 사분면 상에서 사선 방향으로 연장되고, 제4 코너부(C4)에 형성된 손잡이는 제4 사분면 상에서 사선 방향으로 연장될 수 있다.
제1 측부(S1), 제2 측부(S2), 제3 측부(S3) 및 제4 측부(S4)와 제1 코너부(C1), 제2 코너부(C2), 제3 코너부(C3) 및 제4 코너부(C4)에는 각각 적어도 하나의 클램핑 장치가 배치될 수 있다. 이 클램핑 장치는 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 클램핑 장치와 실질적으로 동일할 수 있다.
제1 측부(S1)에 배치되는 클램핑 장치는 원장 마스크(300)를 x축 음의 방향으로 당기고, 제2 측부(S2)에 배치되는 클램핑 장치는 원장 마스크(300)를 y축 양의 방향으로 당기고, 제3 측부(S3)에 배치되는 클램핑 장치는 원장 마스크(300)를 x축 양의 방향으로 당기고, 제4 측부(S4)에 배치되는 클램핑 장치는 원장 마스크(300)를 y축 음의 방향으로 당길 수 있다.
이에 더하여, 제1 코너부(C1)에 배치되는 클램핑 장치는 원장 마스크(300)를 제2 사분면 방향으로, 제2 코너부(C2)에 배치되는 클램핑 장치는 원장 마스크(300)를 제1 사분면 방향으로, 제3 코너부(C3)에 배치되는 클램핑 장치는 원장 마스크(300)를 제4 사분면 방향으로, 제4 코너부(C4)에 배치되는 클램핑 장치는 원장 마스크(300)를 제3 사분면 방향으로 당길 수 있다.
이에 따라 원장 마스크(300)는 8 개 방향으로 당겨지게 되며, 이에 따라, 공정에서 원장 마스크(300)가 처지는 현상을 방지할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이지 않는 것으로 이해해야 한다.
1001: 제1 클램핑 장치
DS1: 제1 구동 스테이지
CU: 클램핑 유닛
PU: 인장 유닛
F1: 제1 핑거부
F2: 제2 핑거부
200: 마스크 프레임
100: 분할 마스크

Claims (20)

  1. 클램핑 유닛 및 상기 클램핑 유닛을 이동시키는 인장 유닛을 포함하는 클램핑 장치로서,
    상기 클램핑 유닛은 베이스 스테이지;
    상기 베이스 스테이지 상에 상호 이격되어 배치되는 제1 구동 스테이지 및 제2 구동 스테이지;
    상기 제1 구동 스테이지 상에 배치되는 제1 핑거부 및 상기 제2 구동 스테이지 상에 배치되는 제2 핑거부를 포함하되,
    상기 제1 구동 스테이지 및 상기 제2 구동 스테이지는 각각 x축 방향, y축 방향 및 z축 방향 중 선택된 어느 하나 이상의 방향으로 이동하거나, 상기 y축 방향으로 연장되는 제1 회전축, 상기 x축 방향으로 연장되는 제2 회전축 및 상기 z축 방향으로 연장되는 제3 회전축 중 선택된 어느 하나 이상의 회전축을 축으로 하여 회전하도록 구성되고,
    상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시키도록 구성되며,
    상기 제1 핑거부와 상기 제2 핑거부는 상기 제1 구동 스테이지와 상기 제2 구동 스테이지에 의해 각각 개별적으로 동작하도록 개별 구동되고, 상기 인장 유닛이 상기 클램핑 유닛을 이동시키는 동안 동시에 이동하는 클램핑 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 구동 스테이지의 최소 이동 단위와 상기 인장 유닛의 최소 이동 단위는 서로 상이한 클램핑 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 구동 스테이지의 최소 이동 단위는 0.1 내지 0.2 ㎛이고, 상기 인장 유닛의 최소 이동 단위는 1㎛ 인 클램핑 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 인장 유닛이 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시키면, 상기 제1 핑거부와 상기 제2 핑거부는 동시에 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동하는 클램핑 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 제1 모터, 상기 제1 모터로부터 제공되는 동력을 전달하는 구동 로드 및 상기 구동 로드와 연결되어 상기 x축 방향으로 이동하는 제1 지지대, 상기 클램핑 유닛을 상기 y축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 제2 모터 및 상기 제2 모터로부터 동력을 제공받아 상기 y축 방향으로 이동하는 제2 지지대를 포함하는 클램핑 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 스테이지 상에 배치되는 제3 구동 스테이지 및 상기 제3 구동 스테이지 상에 배치되는 제3 핑거부를 더 포함하는 클램핑 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 핑거부의 일측에 배치되는 제1 측면 구동부를 더 포함하는 클램핑 장치.
  8. 클램핑 유닛 및 상기 클램핑 유닛을 이동시키는 인장 유닛을 포함하는 클램핑 장치로서,
    상기 클램핑 유닛은 베이스 스테이지;
    상기 베이스 스테이지 상에 상호 이격되어 배치되는 제1 구동 스테이지 및 제2 구동 스테이지;
    상기 제1 구동 스테이지 상에 배치되는 제1 핑거부 및 상기 제2 구동 스테이지 상에 배치되는 제2 핑거부; 및
    상기 제1 핑거부의 일측에 배치되는 제1 측면 구동부를 포함하되,
    상기 제1 구동 스테이지 및 상기 제2 구동 스테이지는 각각 x축 방향, y축 방향 및 z축 방향 중 선택된 어느 하나 이상의 방향으로 이동하거나, 상기 y축 방향으로 연장되는 제1 회전축, 상기 x축 방향으로 연장되는 제2 회전축 및 상기 z축 방향으로 연장되는 제3 회전축 중 선택된 어느 하나 이상의 회전축을 축으로 하여 회전하도록 구성되고,
    상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시키도록 구성되며,
    상기 제1 측면 구동부는 압전 물질을 포함하는 클램핑 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 측면 구동부는 팽창 또는 수축하여 상기 제1 핑거부를 상기 y축 방향으로 이동시키는 클램핑 장치.
  10. 서로 마주보는 제1 클램핑 장치 및 제2 클램핑 장치를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치로서,
    상기 제1 클램핑 장치는 클램핑 유닛 및 상기 클램핑 유닛을 이동시키는 인장 유닛을 포함하되, 상기 클램핑 유닛은 베이스 스테이지;
    상기 베이스 스테이지 상에 상호 이격되어 배치되는 제1 구동 스테이지 및 제2 구동 스테이지;
    상기 제1 구동 스테이지 상에 배치되는 제1 핑거부 및 상기 제2 구동 스테이지 상에 배치되는 제2 핑거부를 포함하되,
    상기 제1 구동 스테이지 및 상기 제2 구동 스테이지는 각각 x축 방향, y축 방향 및 z축 방향 중 선택된 어느 하나 이상의 방향으로 이동하거나, 상기 y축 방향으로 연장되는 제1 회전축, 상기 x축 방향으로 연장되는 제2 회전축 및 상기 z축 방향으로 연장되는 제3 회전축 중 선택된 어느 하나 이상의 회전축을 축으로 하여 회전하도록 구성되고,
    상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시키도록 구성되며,
    상기 제1 핑거부와 상기 제2 핑거부는 상기 제1 구동 스테이지와 상기 제2 구동 스테이지에 의해 각각 개별적으로 동작하도록 개별 구동되고, 상기 인장 유닛이 상기 클램핑 유닛을 이동시키는 동안 동시에 이동하는 마스크 조립체 제조 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 클램핑 장치와 상기 제2 클램핑 장치 사이에 분할 마스크가 배치되고, 상기 제1 클램핑 장치와 상기 제2 클램핑 장치는 상기 분할 마스크를 서로 반대방향으로 잡아 당기는 마스크 조립체 제조 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 분할 마스크는 일측에 배치되는 제1 손잡이 및 제2 손잡이를 포함하고, 상기 제1 핑거부는 상기 제1 손잡이를 고정하고, 상기 제2 핑거부는 상기 제2 손잡이를 고정하는 마스크 조립체 제조 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 제1 클램핑 장치와 상기 제2 클램핑 장치 사이에 원장 마스크가 배치되고, 상기 원장마스크의 코너부에는 사선 방향으로 연장되는 적어도 두 개의 손잡이가 배치되고, 상기 사선 방향으로 연장되는 두 개의 손잡이를 고정하는 제3 클램핑 장치를 더 포함하는 마스크 조립체 제조 장치.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 제1 구동 스테이지의 최소 이동 단위와 상기 인장 유닛의 최소 이동 단위는 서로 상이한 마스크 조립체 제조 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제1 구동 스테이지의 최소 이동 단위는 0.1 내지 0.2 ㎛이고, 상기 인장 유닛의 최소 이동 단위는 1㎛ 인 마스크 조립체 제조 장치.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 인장 유닛이 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시키면, 상기 제1 핑거부와 상기 제2 핑거부는 동시에 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동하는 마스크 조립체 제조 장치.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 제1 모터, 상기 제1 모터로 부터 제공되는 동력을 전달하는 구동 로드 및 상기 구동 로드와 연결되어 상기 x축 방향으로 이동하는 제1 지지대, 상기 클램핑 유닛을 y축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 제2 모터 및 상기 제2 모터로부터 동력을 제공받아 y축 방향으로 이동하는 제2 지지대를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치.
  18. 제10항에 있어서,
    상기 베이스 스테이지 상에 배치되는 제3 구동 스테이지 및 상기 제3 구동 스테이지 상에 배치되는 제3 핑거부를 더 포함하는 마스크 조립체 제조 장치.
  19. 제10항에 있어서,
    상기 제1 핑거부의 일측에 배치되는 제1 측면 구동부를 더 포함하는 마스크 조립체 제조 장치.
  20. 서로 마주보는 제1 클램핑 장치 및 제2 클램핑 장치를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치로서,
    상기 제1 클램핑 장치는 클램핑 유닛 및 상기 클램핑 유닛을 이동시키는 인장 유닛을 포함하되, 상기 클램핑 유닛은 베이스 스테이지;
    상기 베이스 스테이지 상에 상호 이격되어 배치되는 제1 구동 스테이지 및 제2 구동 스테이지;
    상기 제1 구동 스테이지 상에 배치되는 제1 핑거부 및 상기 제2 구동 스테이지 상에 배치되는 제2 핑거부; 및
    상기 제1 핑거부의 일측에 배치되는 제1 측면 구동부를 포함하되,
    상기 제1 구동 스테이지 및 상기 제2 구동 스테이지는 각각 x축 방향, y축 방향 및 z축 방향 중 선택된 어느 하나 이상의 방향으로 이동하거나, 상기 y축 방향으로 연장되는 제1 회전축, 상기 x축 방향으로 연장되는 제2 회전축 및 상기 z축 방향으로 연장되는 제3 회전축 중 선택된 어느 하나 이상의 회전축을 축으로 하여 회전하도록 구성되고,
    상기 인장 유닛은 상기 클램핑 유닛을 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향으로 이동시키도록 구성되며,
    상기 제1 측면 구동부는 압전 물질을 포함하는 마스크 조립체 제조 장치.
KR1020170112533A 2017-09-04 2017-09-04 클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치 KR102392000B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170112533A KR102392000B1 (ko) 2017-09-04 2017-09-04 클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치
CN201810171097.0A CN109423601B (zh) 2017-09-04 2018-03-01 夹持装置及包括其的掩模组件制造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170112533A KR102392000B1 (ko) 2017-09-04 2017-09-04 클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190026998A KR20190026998A (ko) 2019-03-14
KR102392000B1 true KR102392000B1 (ko) 2022-04-28

Family

ID=65514427

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170112533A KR102392000B1 (ko) 2017-09-04 2017-09-04 클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR102392000B1 (ko)
CN (1) CN109423601B (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102640238B1 (ko) * 2023-07-31 2024-02-23 (주)템스코 고성능 텐션 그리퍼 유니트와 패턴센싱 오토무빙(엔코더)기반의 피치 조절 유니트를 이용한 oled 메탈 마스크 인장 시스템
KR102640242B1 (ko) * 2023-07-31 2024-02-23 (주)템스코 Oled 메탈 마스크용 대각 그리퍼

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110172667B (zh) * 2019-06-20 2021-06-01 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种应用于溅镀设备中的夹持装置和溅镀设备
KR102631649B1 (ko) * 2023-04-27 2024-02-02 위폼스 주식회사 분할인장용접기와 원장인장용접기를 단계별로 운영하여 제작성과 정밀성 및 생산성과 품질을 개선한 8세대용 다중분할 마스크 제조방법

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4656886B2 (ja) * 2004-07-23 2011-03-23 大日本印刷株式会社 金属薄板の枠貼り方法及び装置
JP4606114B2 (ja) * 2004-10-15 2011-01-05 大日本印刷株式会社 メタルマスク位置アラインメント方法及び装置
KR101212478B1 (ko) * 2011-04-05 2012-12-14 주식회사 케이피에스 클램프유닛 및 이를 갖는 마스크 조립체 제조장치
KR20120123918A (ko) * 2011-05-02 2012-11-12 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
KR101598554B1 (ko) * 2014-08-20 2016-02-29 주식회사 힘스 인장클램프 어셈블리
KR102366569B1 (ko) * 2015-07-01 2022-02-25 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 인장 용접 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102640238B1 (ko) * 2023-07-31 2024-02-23 (주)템스코 고성능 텐션 그리퍼 유니트와 패턴센싱 오토무빙(엔코더)기반의 피치 조절 유니트를 이용한 oled 메탈 마스크 인장 시스템
KR102640242B1 (ko) * 2023-07-31 2024-02-23 (주)템스코 Oled 메탈 마스크용 대각 그리퍼

Also Published As

Publication number Publication date
CN109423601A (zh) 2019-03-05
CN109423601B (zh) 2022-07-05
KR20190026998A (ko) 2019-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102392000B1 (ko) 클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치
JP7383377B2 (ja) フルサイズマスク組立体とその製造方法
CN107833594B (zh) 一种用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构
US10151424B2 (en) Apparatus for supporting flexible display panel
KR102100446B1 (ko) 박막 증착용 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
TWI466811B (zh) Adhesive and holding method for sheet-like workpieces and adhesive holding device for sheet-like workpieces and manufacturing system
JP2005268760A (ja) ステージ装置｛ｓｔａｇｅａｐｐａｒａｔｕｓ｝
EP3667649B1 (en) Tiled display and method of assembling the same
KR20150101911A (ko) 스테이지 얼라이너 구조
US20190372002A1 (en) Manufacturing method for mask sheet, vapor deposition mask, and display panel
CN102311220A (zh) 激光束辐射装置和包括激光束辐射装置的基板密封装置
JP6087707B2 (ja) テープ拡張装置
KR20100025290A (ko) 디스펜서 및 이를 이용한 실런트 등의 도포 방법
JP5809892B2 (ja) マスクユニット
CN109526212A (zh) 超声波接合用工具及超声波接合装置
US20170084472A1 (en) Manipulator
KR102227479B1 (ko) 마그넷 플레이트 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법
KR20100117237A (ko) 편광판 부착장치
KR101190052B1 (ko) 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 스테이지
KR20140036910A (ko) 필름 부착장치 및 그것을 이용한 필름 부착방법
KR102319347B1 (ko) 대면적 마스터 웨이퍼, 대면적 마스터 웨이퍼의 제조 방법 및 대면적 마스터웨이퍼를 이용한 광학 소자 제조 방법
KR102466835B1 (ko) 풀 사이즈 마스크 조립체와 그 제조방법
KR101906250B1 (ko) 평탄조절 블록이 구비된 패널 스테이지
KR20220049082A (ko) 타일 조립형 표시 장치, 그 제조를 위한 표시 패널 정렬 장치 및 제조 방법
KR20150123097A (ko) 양방향 도광판 가공장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant