KR102631649B1 - 분할인장용접기와 원장인장용접기를 단계별로 운영하여 제작성과 정밀성 및 생산성과 품질을 개선한 8세대용 다중분할 마스크 제조방법 - Google Patents

분할인장용접기와 원장인장용접기를 단계별로 운영하여 제작성과 정밀성 및 생산성과 품질을 개선한 8세대용 다중분할 마스크 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 분할인장용접기와 원장인장용접기를 단계별로 운영하여 제작성과 정밀성 및 생산성과 품질을 개선한 8세대용 다중분할 마스크 제조방법에 관한 것이다.
이에 본 발명의 기술적 요지는 2대의 인장용접기(분할인장용접기와 원장인장용접기)를 선후 각각 배치하여 단계별로 운영하도록 하는 것으로, 이는 설비의 분업화를 통해 제작성과 정밀성 및 생산성과 경제성이 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 한다.
이때, 본 발명의 분할인장용접기는 받침 테이블 상면에 승강용 업다운바(Bar)가 형성되어 이음부 간 용접시 분할된 패턴 마스크 시트를 소폭 들어올려 용접성이 강화되도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 원장인장용접기는 UVW(3D 위치결정좌표)가 적용된 클램프들이 마스크 프레임을 기준으로 4면에 각각 배치되도록 하되, 클램프들은 개별 구동에 따라 서로 상이한 인장력이 부여되도록 형성되고, 특히 원장 마스크 또는 마스크 프레임을 기준으로 4각 모서리 부분 외곽에는 대각 클램프가 더 구비되어 원장 마스크에 대한 처짐량 최소화와 인장력 감소, 프레임과의 들뜸 최소화 및 스펙 안정화와 정밀도가 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

분할인장용접기와 원장인장용접기를 단계별로 운영하여 제작성과 정밀성 및 생산성과 품질을 개선한 8세대용 다중분할 마스크 제조방법{Multi-split mask manufacturing method for 8th generation that improves manufacturability, productivity, economic performance and quality by operating split tension welding machine and master tension welding machine step by step}
본 발명은 2대의 인장용접기(분할인장용접기와 원장인장용접기)를 선후 각각 배치하여 단계별로 운영하도록 하는 것으로, 이는 설비의 분업화를 통해 제작성과 정밀성 및 생산성과 경제성이 크게 향상되도록 하는 분할인장용접기와 원장인장용접기를 단계별로 운영하여 제작성과 정밀성 및 생산성과 품질을 개선한 8세대용 다중분할 마스크 제조방법(일명 WF 시스템/ Wefoms system: 출원인 위폼스 자사의 고유 시스템)것에 관한 것이다.
이에, 본 발명의 분할인장용접기는 얼라인 스테이지 상에 에어포켓이 형성되고, 작업 스테이지 상면에 승강용 업다운바(Bar)가 형성되어 시트 간 이음부 용접시 분할된 패턴 마스크 시트를 소폭 들어올려 용접단 부위 밀착력을 향상시켜 용접성이 크게 강화되도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 원장인장용접기는 UVW(3D 위치결정좌표)가 적용된 클램프들이 포함되면서 마스크 프레임을 기준으로 4면에 각각 배치되도록 하되, 다수의 클램프들은 개별 구동에 따라 서로 상이한 인장력이 부여되도록 함은 물론 특히 원장 마스크 또는 마스크 프레임을 기준으로 4각 모서리 부분 외곽에는 대각 클램프가 더 구비되어 원장 마스크에 대한 인장시 처짐량 최소화를 도모하고 인장력 감소와 함께 프레임과의 들뜸 최소화 및 스펙 안정화와 정밀도가 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 한다.
OLED 제품과 관련하여 유리기판 사이즈가 대형화되고 있는 추세이고, 이를 제조하는 공정에서 메탈 마스크(Metal mask)의 중요도 또한 점점 높아지고 있는 실정이다.
일반적으로 OLED 메탈 마스크(Metal mask)는 인바(Invar36) 소재를 사용하고 있는데, 인바 원자재는 6세대 하프 사이즈(1040mm*코일 권선)까지만 제작 생산된다.
즉, 기존의 인바 원자재는 원래 제작된 사이즈의 한계로 인해 8세대급 메탈 마스크(8세대급 또는 8.6세대 하프급)를 커버하는데 어려움이 따르고 있는 실정이다.
한편, 일부 선행특허(대한민국 등록특허공보 제10-1891242호)에서는 6세대급 사이즈의 패턴 마스크를 이어 붙여 원장 마스크로 제작한 뒤 인장기로 하여금 4면을 인장한 후, 마스크 프레임에 용접 접합함으로서 일련의 증착 마스크를 제조하는 방안이 제안되어 있다.
그러나, 이러한 선행특허의 패턴 마스크(6세대급 사이즈)는 원장으로 만들기 위해 하나의 인장용접장비를 통해 작업을 수행하고 있는 바, 이는 하나의 제품을 완성하기 까지 작업의 정체(생산성 저하)가 야기된다.
또한, 종래에는 인장용 클램프 모듈이 하나의 스테이지에 통체로 설치되어 있어 인장력 제어에 정밀성이 저하됨은 물론 과도한 인장력 발생과 마스크 프레임 과의 접합시 들뜸 발생 그리고 높은 처짐량 등 적지 않은 문제가 계속해서 발생되고 있는 실정이다.
1. 대한민국 등록특허공보 제10-1891242호(2018.08.17. 등록)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 2대의 인장용접기(분할인장용접기와 원장인장용접기)를 선후 각각 배치하여 단계별로 운영하도록 하는 것으로, 이는 설비의 분업화를 통해 제작성과 정밀성 및 생산성과 경제성이 크게 향상되도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이에, 본 발명의 분할인장용접기는 얼라인 스테이지 상에 에어포켓이 형성되고, 작업 스테이지 상면에 승강용 업다운바(Bar)가 형성되어 시트 간 이음부 용접시 분할된 패턴 마스크 시트를 소폭 들어올려 용접단 부위 밀착력을 향상시켜 용접성이 크게 강화되도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 원장인장용접기는 UVW(3D 위치결정좌표)가 적용된 클램프들이 포함되면서 마스크 프레임을 기준으로 4면에 각각 배치되도록 하되, 다수의 클램프들은 개별 구동에 따라 서로 상이한 인장력이 부여되도록 함은 물론 특히 원장 마스크 또는 마스크 프레임을 기준으로 4각 모서리 부분 외곽에는 대각 클램프가 더 구비되어 원장 마스크에 대한 인장시 처짐량 최소화를 도모하고 인장력 감소와 함께 프레임과의 들뜸 최소화 및 스펙 안정화와 정밀도가 크게 향상되도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 8세대급 대면적 사양에 대응하기 위해 패턴 마스크 시트(10)가 설정된 면적에 따라 다수 또는 복수로 분할(2~4분할)되어 준비되도록 하되, 다수 분할된 패턴 마스크 시트(10)는 별도의 선행 '분할인장용접기(100)'를 통해 인장된 후 이음부(11)가 용접되어 원장 마스크(M)로 제작되도록 하는 서버 인장용접 단계(S100)와; 서버 인장용접 단계를 통해 제작된 일체형 원장 마스크(M)가 후속 '원장인장용접기(200)'에 이송된 후 마스크 프레임(20)에 대하여 얼라인키가 맞춤 조정되면서 인장된 뒤 용접되도록 하는 메인 인장용접 단계(S200)가; 구성되어 이루어진다.
이에, 분할인장용접기(100)는 받침 프레임이 안착되는 작업 스테이지(111)가 구비되도록 하되, 작업 스테이지의 4면에는 각각 이송레일(112)이 구비되도록 하는 장비본체(110)와; UVW(3D 위치결정좌표)가 적용된 싱글 클램프(121)과 다발 클램프(122)가 작업 스테이지의 이송레일(112)을 따라 길이방향으로 이송되면서 용접 포인트 마다에 배치되도록 하되, 싱글 클램프(121)과 다발 클램프(122)는 원장 마스크를 기준으로 장변부와 단변부에서 각각 개별 인장력이 부여되도록 하는 클램프 모듈(120)이; 구성되어 이루어진다.
이에, 원장인장용접기(200)는 마스크 프레임(20)을 기준으로 단변부와 장변부 외곽 4면에 각각 배치되면서 원장 마스크(M)의 중심부 선단을 인장하도록 하는 인너 클램프(210)와; 인너 클램프의 양측 외곽에 배치되어 원장 마스크의 4각 코너부를 인장하도록 하는 사이드 클램프(220)와; 원장 마스크의 4각 모서리 부분에 대응되면서 대각선 방향으로 인장하도록 하는 대각 클램프(230)가; 구성되어 이루어진다.
이와 같이, 본 발명은 8세대급 대면적 사양(EL 타입 및 CVD 타입 모두 적용)에 대응할 수 있도록 하되, 2대의 인장용접기(분할인장용접기와 원장인장용접기)를 선후 각각 배치하여 단계별로 운영하도록 하는 것으로, 이는 설비의 분업화를 통해 제작성과 정밀성 및 생산성과 경제성이 크게 향상되도록 하는 효과가 있다.
이에, 본 발명의 분할인장용접기는 얼라인 스테이지 상에 에어포켓이 형성되고, 작업 스테이지 상면에 승강용 업다운바(Bar)가 형성되어 시트 간 이음부 용접시 분할된 패턴 마스크 시트를 소폭 들어올려 용접단 부위 밀착력을 향상시켜 용접성이 크게 강화되도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 원장인장용접기는 UVW(3D 위치결정좌표)가 적용된 클램프들이 포함되면서 마스크 프레임을 기준으로 4면에 각각 배치되도록 하되, 다수의 클램프들은 개별 구동에 따라 서로 상이한 인장력이 부여되도록 함은 물론 특히 원장 마스크 또는 마스크 프레임을 기준으로 4각 모서리 부분 외곽에는 대각 클램프가 더 구비되어 원장 마스크에 대한 인장시 처짐량 최소화를 도모하고 인장력 감소와 함께 프레임과의 들뜸 최소화 및 스펙 안정화와 정밀도가 크게 향상되도록 하는 효과가 있다.
다시 말해, 본 발명의 클램프들은 차등 인장력이 개별 또는 동시에 조절될 수 있도록 하는 바, 이는 부위별 인장 가변성이 확보되고, 구획별로 안정적인 인장이 가능하여 패턴 셀의 스펙 조정 신뢰도가 크게 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 8세대용 다중분할 마스크를 제조하기 위한 분할인장용접기와 원장인장용접기의 일 예시도이다.
도 2 내지 도 10은 본 발명에 따른 분할인장용접기의 사용 예시도이다.
도 11 내지 도 14는 본 발명에 따른 원장인장용접기의 사용 예시도이다.
도 15는 본 발명에 따른 원장인장용접기를 이용하여 원장 마스크에 대하여 인장시 종전 대비 성능이 향상된 것을 나타낸 시물레이션 예시도이다.
다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.
먼저, 도 1 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명은 서버 인장용접 단계(S100)와 메인 인장용접 단계(S200)로 이루어지도록 하되, 각 단계에서는 2대의 인장용접기(분할인장용접기와 원장인장용접기)를 선후 각각 배치하여 단계별로 운영하도록 형성된다.
이에, 서버 인장용접 단계(S100)는 8세대급 대면적 사양에 대응하기 위해 패턴 마스크 시트(10)가 설정된 면적에 따라 다수 또는 복수로 분할(2~4분할)되어 준비되도록 하되, 다수 분할된 패턴 마스크 시트(10)는 별도의 선행 '분할인장용접기(100)'를 통해 인장된 후 이음부(11)가 용접되어 원장 마스크(M)로 제작되도록 형성된다.
이때, 분할인장용접기(100)는 장비본체(110)와 클램프 모듈(120)로 크게 구성된다.
이에, 장비본체(110)는 받침 프레임이 안착되는 작업 스테이지(111)가 구비되도록 하되, 작업 스테이지의 4면에는 각각 이송레일(112)이 구비되도록 형성된다.
이때, 클램프 모듈(120)은 UVW(3D 위치결정좌표)가 적용된 싱글 클램프(121)과 다발 클램프(122)가 작업 스테이지의 이송레일(112)을 따라 길이방향으로 이송되면서 용접 포인트 마다에 배치되도록 하되, 싱글 클램프(121)과 다발 클램프(122)는 원장 마스크를 기준으로 장변부와 단변부에서 각각 개별 인장력이 부여되도록 형성된다.
참고로, 분할인장용접기를 이용한 인장용접방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.
[세로분할식 인장용접방법]
2장 일체화 작업 단계 -> 3장 일체화 작업 단계
먼저, 2장 일체화 작업 단계는 3장으로 다분할된 패턴 마스크 시트의 단변부를 기준으로 싱글 클램프가 1번 시트의 첫번째 이음부 부근을 양쪽에서 인장하면 다발 클램프가 2번 시트의 단변부 선단 전체를 인장하면서 1번 시트와의 이음부 수평면을 맞춘 뒤 용접하면서 'A 시트'를 제작하도록 형성된다.
이때, 1,2번 시트 이음부 아래 작업 스테이지의 상단에는 밀착력 향상용 업다운 바(130)가 형성되어 승강시 1,2번 시트 간 이음부의 소폭 상승을 도모하면서 용접 밀착력을 부여하도록 형성된다.
이후, 3장 일체화 작업 단계는 A 시트가 만들어진 이후 싱글 클램프와 다발 클렘프가 이송레일을 따라 일방향 이동하여 마지막 'B 시트'와 이웃한 2번 시트의 두번째 이음부 부근을 인장하면 다발 클램프가 B 시트의 단변부 선단 전체를 인장하면서 A 시트와의 이음부 수평면을 맞춘 뒤 용접하도록 형성된다.
이때, B 시트 아래 작업 스테이지의 하단에는 밀착력 향상용 업다운 바(130)가 형성되어 A,B 시트 간 이음부의 소폭 상승을 도모하면서 A용접 밀착력을 부여하도록 형성된다.
이에, 3UVW(3D 위치결정좌표)가 적용된 클램프 모듈은 얼라인 스테이지(140) 상면에 장착되는 것으로, 얼라인 스테이지는 에어포켓(150)에 의해 10마이크론 간격 내에서 높낮이가 조절된다. 이는 이음부 수평면 높낮이를 맞추기 위함이다.
[가로분할식 인장용접방법]
- 2장으로 분할된 패턴 마스크 시트의 장변부 인장용접시 세로분할식 인장용접방법의 2장 일체화 작업 단계가 직교된 방향으로 동일하게 적용된다.
이에, 메인 인장용접 단계(S200)는 서버 인장용접 단계를 통해 제작된 일체형 원장 마스크(M)가 후속 '원장인장용접기(200)'에 이송된 후 마스크 프레임(20)에 대하여 얼라인키가 맞춤 조정되면서 인장된 뒤 용접되도록 형성된다.
이때, 원장인장용접기(200)는 인너 클램프(210)와 사이드 클램프(220) 및 대각 클램프(230)로 크게 구성된다.
이에, 인너 클램프(210)는 마스크 프레임(20)을 기준으로 단변부와 장변부 외곽 4면에 각각 배치되면서 원장 마스크(M)의 중심부 선단을 인장하도록 형성된다.
즉, 인너 클램프는 1차 인장을 수행하는 것으로 다수개로 분할된 개별 클램프로서 원장 마스크를 기준으로 단변부와 장변부 양측에 배치되도록 하되, 각각 50kgf의 인장력이 부여되도록 형성된다.
이때, 사이드 클램프(220)는 인너 클램프의 양측 외곽에 배치되어 원장 마스크의 4각 코너부를 인장하도록 형성된다.
즉, 사이드 클램프는 2차 인장을 수행하는 것으로 인너 클램프가 배열된 최외측 단부에 배치되는 것으로, 원장 마스크를 기준으로 4각 코너부에서 100kgf의 인장력이 부여되도록 형성된다.
이에, 대각 클램프(230)는 원장 마스크의 4각 모서리 부분에 대응되면서 대각선 방향으로 인장하도록 형성된다.
즉, 대각 클램프는 3차 인장을 수행하는 것으로 원장 마스크의 4각 모서리 부분을 인장하는 것으로, 100kgf의 인장력이 부여되도록 형성된다.
이러한 대각 클램프는 시트의 뒤틀림 방지 및 인장 스테이지 안착시 처짐량 최소화와 시트 평탄도 정밀화 및 과도한 인장력 감소를 도모하고 프레임과의 들뜸방지 그리고 스펙 안정화 기여하게 된다.
참고로, 본 발명에 따른 원장 마스크는 EL공정과 CVD 공정 모두에 적용이 가능하다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
S100 ... 서버 인장용접 단계 S200 ... 메인 인장용접 단계
10 ... 패턴 마스크 시트 11 ... 이음부
20 ... 마스크 프레임
100 ... 분할인장용접기 110 ... 장비본체
111 ... 작업 스테이지 112 ... 이송레일
120 ... 클램프 모듈 121 ... 싱글 클램프
122 ... 다발 클램프 200 ... 원장인장용접기
210 ... 인너 클램프 220 ... 사이드 클램프
230 ... 대각 클램프

Claims (3)

  1. 8세대급 대면적 사양에 대응하기 위해 패턴 마스크 시트(10)가 설정된 면적에 따라 다수 또는 복수로 분할되어 준비되도록 하되, 다수 분할된 패턴 마스크 시트(10)는 별도의 선행 분할인장용접기(100)를 통해 인장된 후 이음부(11)가 용접되어 원장 마스크(M)로 제작되도록 하는 서버 인장용접 단계(S100)와; 서버 인장용접 단계를 통해 제작된 일체형 원장 마스크(M)가 후속 원장인장용접기(200)에 이송된 후 마스크 프레임(20)에 대하여 얼라인키가 맞춤 조정되면서 인장된 뒤 용접되도록 하는 메인 인장용접 단계(S200)가; 구성되어 이루어진 분할인장용접기와 원장인장용접기를 단계별로 운영하여 제작성과 정밀성 및 생산성과 품질을 개선한 8세대용 다중분할 마스크 제조방법에 있어서,
    분할인장용접기(100)는 받침 프레임(T)이 안착되는 작업 스테이지(111)가 구비되도록 하되, 작업 스테이지의 4면에는 각각 이송레일(112)이 구비되도록 하는 장비본체(110)와; UVW가 적용된 싱글 클램프(121)과 다발 클램프(122)가 작업 스테이지의 이송레일(112)을 따라 길이방향으로 이송되면서 용접 포인트 마다에 배치되도록 하되, 싱글 클램프(121)과 다발 클램프(122)는 원장 마스크를 기준으로 장변부와 단변부에서 각각 개별 인장력이 부여되도록 하는 클램프 모듈(120)이; 구성되어 이루어지고,
    원장인장용접기(200)는 마스크 프레임(20)을 기준으로 단변부와 장변부 외곽 4면에 각각 배치되면서 원장 마스크(M)의 중심부 선단을 인장하도록 하는 인너 클램프(210)와; 인너 클램프의 양측 외곽에 배치되어 원장 마스크의 4각 코너부를 인장하도록 하는 사이드 클램프(220)와; 원장 마스크의 4각 모서리 부분에 대응되면서 대각선 방향으로 인장하도록 하는 대각 클램프(230)가; 구성되어 이루어지며,
    분할인장용접기를 이용한 인장용접방법은 3장으로 다분할된 패턴 마스크 시트의 단변부를 기준으로 싱글 클램프가 1번 시트의 첫번째 이음부 부근을 양쪽에서 인장하면 다발 클램프가 2번 시트의 단변부 선단 전체를 인장하면서 1번 시트와의 이음부 수평면을 맞춘 뒤 용접하면서 A 시트를 제작하도록 하고, 이때, 1,2번 시트 이음부 아래 작업 스테이지의 상단에는 밀착력 향상용 업다운 바(130)가 형성되어 승강시 1,2번 시트 간 이음부의 소폭 상승을 도모하면서 용접 밀착력을 부여하도록 형성되며, 이후, 3장 일체화 작업 단계는 A 시트가 만들어진 이후 싱글 클램프와 다발 클렘프가 이송레일을 따라 일방향 이동하여 B 시트와 이웃한 2번 시트의 두번째 이음부 부근을 인장하면 다발 클램프가 B 시트의 단변부 선단 전체를 인장하면서 A 시트와의 이음부 수평면을 맞춘 뒤 용접하도록 형성되며, 이때 B 시트 아래 작업 스테이지의 하단에는 밀착력 향상용 업다운 바(130)가 형성되어 A,B 시트 간 이음부의 소폭 상승을 도모하면서 용접 밀착력을 부여하도록 하는 것을 특징으로 하는 분할인장용접기와 원장인장용접기를 단계별로 운영하여 제작성과 정밀성 및 생산성과 품질을 개선한 8세대용 다중분할 마스크 제조방법.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101891242B1 (ko) 2018-05-25 2018-08-28 (주)세우인코퍼레이션 Oled el 레이어 증착 또는 cvd 공정 증착시 사용되는 패턴 마스크의 세팅위치 정밀화와 패터닝된 셀의 스펙 정밀화를 위한 투-레이어드 다중 분할식 구조를 갖는 패턴 마스크 장착방법
KR20190026998A (ko) * 2017-09-04 2019-03-14 삼성디스플레이 주식회사 클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치
KR20200097206A (ko) * 2019-02-07 2020-08-18 주식회사 오럼머티리얼 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법
KR102193044B1 (ko) * 2020-07-10 2020-12-18 풍원정밀(주) 금속 마스크 제조 시스템 및 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190026998A (ko) * 2017-09-04 2019-03-14 삼성디스플레이 주식회사 클램핑 장치 및 이를 포함하는 마스크 조립체 제조 장치
KR101891242B1 (ko) 2018-05-25 2018-08-28 (주)세우인코퍼레이션 Oled el 레이어 증착 또는 cvd 공정 증착시 사용되는 패턴 마스크의 세팅위치 정밀화와 패터닝된 셀의 스펙 정밀화를 위한 투-레이어드 다중 분할식 구조를 갖는 패턴 마스크 장착방법
KR20200097206A (ko) * 2019-02-07 2020-08-18 주식회사 오럼머티리얼 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법
KR102193044B1 (ko) * 2020-07-10 2020-12-18 풍원정밀(주) 금속 마스크 제조 시스템 및 방법

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