KR102351815B1 - 기판 인계 장치 및 기판 인계 방법 - Google Patents

기판 인계 장치 및 기판 인계 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 특히, 기판 인계 장치 및 기판 인계 방법에 관한 것이다. 해당 기판 인계 장치는 운송스테이지, 작업스테이지 및 이동식 에어플로팅 스테이지를 포함하되, 운송스테이지는 수평면 내에서 기판을 운송하기 위한 것이고; 작업스테이지는 운송스테이지의 하류에 설치되고, 운송스테이지에 의해 운송되는 기판을 전달받으며, 기판의 운송방향은 작업스테이지의 에어플로팅 가이드레일의 연장방향에 수직되고; 이동식 에어플로팅 스테이지는 작업위치 및 비 작업위치를 가지며, 작업위치는 상기 운송스테이지와 상기 작업스테이지 사이에 위치하고, 비 작업위치는 운송스테이지와 작업스테이지의 상방 또는 측방에 위치하며, 이동식 에어플로팅 스테이지는 작업위치와 비 작업위치 사이에서 이동하도록 배치되고, 작업위치에 있을 경우, 운송스테이지와 작업스테이지 사이의 기판을 지지할 수 있도록 배치된다.

Description

기판 인계 장치 및 기판 인계 방법{SUBSTRATE TAKING OVER DEVICE AND SUBSTRATE TAKING OVER METHOD}
본 발명은 포토리소그래피 설비 기술분야에 관한 것으로서, 특히 기판 인계 장치 및 기판 인계 방법에 관한 것이다.
OLED 스크린은 유기전계 자체발광 다이오드로 제조된 스크린이다. 동시에 자체발광 유기 발광다이오드를 구비하므로, 백라이트가 수요되지 않으며, 명암비가 높고, 두께가 얇으며, 시야각이 넓고, 반응속도가 빠르며, 플렉시블 기판에 사용될 수 있고, 사용 온도범위가 넓으며, 구조 및 제조 과정이 간단한 우수한 특성들은, 차세대의 평판형 디스플레이 신흥 응용기술로 인정되었다.
OLED 소자의 제조 공정에는, 진공 증착 단계가 존재한다. 현재 진공 증착기 크기가 제한되어, 증착된 기판 크기는 과도하게 클 수 없으므로, 기판을 전체 플레이트에서 하프 플레이트로 개선해야 한다. 하프 플레이트(half-plate)는 원래 전체 플레이트의 길이 크기 방향에서 전체 플레이트 하나를 두 개로 나눈 것이다.
종래 기술에서는 기판 인계 장치를 개시하였고, 그의 작업스테이지 구조는 도 1에서 도시된 바와 같이, 에어플로팅 가이드레일(1'), 행잉프레임(2'), 행잉프레임 브라켓(3'), 플레이트 탑재 스테이지(4')를 포함한다. 해당 장치는 승하강 에어플로팅 스테이지를 사용하여, 플레이트 탑재 스테이지의 스캔방향(즉 도 1에서의 Y방향)에서 플레이트를 로딩하는데, 해당 방안은 전체 플레이트의 인계에만 적용된다. 해당 방안을 사용하여 두 개의 하프 플레이트를 운송하면, 흡착부재의 이동행정이 과도하게 길게 되어, 인계 과정이 불안정하고 행잉프레임(2')을 변형해야 하므로, 비용이 높아지며, 하나의 하프 플레이트를 운송하면, 생산율이 배로 낮아지게 된다.
따라서, 인계 안정성과 생산율을 보장하면서, 하프 플레이트의 인계를 구현하기 위해, 새로운 기판 인계 장치 및 기판 인계 방법을 제공하는 것이 시급하다.
본 발명의 목적은 인계 안정성과 생산율을 보장하면서, 하프 플레이트의 인계를 구현할 수 있는 기판 인계 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 아래의 기술방안을 사용하였다.
기판 인계 장치는,
수평면 내에서 기판을 운송하도록 배치되는 운송스테이지;
상기 운송스테이지의 하류에 설치되고, 상기 운송스테이지에 의해 운송되는 상기 기판을 전달받도록 배치되는 작업스테이지-상기 기판의 운송방향은 상기 작업스테이지의 에어플로팅 가이드레일의 연장방향에 수직됨-;
작업위치 및 비 작업위치를 가지며, 상기 작업위치는 상기 운송스테이지와 상기 작업스테이지 사이에 위치하고, 상기 비 작업위치는 상기 운송스테이지와 상기 작업스테이지의 상방 또는 측방에 위치하며, 상기 작업위치와 상기 비 작업위치 사이에서 이동하도록 배치되고, 상기 작업위치에 있을 경우, 상기 운송스테이지와 상기 작업스테이지 사이의 상기 기판을 지지할 수 있도록 배치되는 이동식 에어플로팅 스테이지; 를 포함한다.
일 실시예에서, 상기 운송스테이지는,
제 1 베이스;
상기 제 1 베이스에 수평 이동 가능하게 설치되는 수평방향 전송부재;
상기 수평방향 전송부재에 설치되어 상기 기판을 흡착하도록 배치되는 복수 개의 흡착부재;
상기 제 1 베이스에 고정 설치되어 상기 기판을 서스펜션 지지하도록 배치되는 지지 에어플로팅 스테이지; 를 포함한다.
일 실시예에서, 상기 작업스테이지는,
제 2 베이스;
상기 제 2 베이스에 고정 설치되는 복수 개의 상기 에어플로팅 가이드레일;
상기 복수 개의 에어플로팅 가이드레일에 이동 가능하게 설치되는 지지이동부재;
상기 지지이동부재에 설치되는 복수 개의 플레이트 탑재 스테이지; 를 포함한다.
일 실시예에서, 복수 개의 상기 에어플로팅 가이드레일은 상기 제 2 베이스에 간격을 두고 부설되고, 제 2 베이스(21) 양측의 상기 에어플로팅 가이드레일에는 y방향 슬라이딩 블럭이 각각 슬라이딩하도록 설치되며, 상기 지지이동부재는 상기 y방향 슬라이딩 블럭에 고정 설치된다.
일 실시예에서, 상기 이동식 에어플로팅 스테이지는 이동베이스 및 상기 이동베이스에 고정되는 에어플로팅 블럭을 포함한다.
일 실시예에서, 상기 지지 에어플로팅 스테이지, 에어플로팅 블럭, 플레이트 탑재 스테이지 및 지지이동부재에는 각각 상기 기판의 전송방향에 평행되는 복수 개의 요홈이 설치되어, 상기 흡착부재를 수용한다.
일 실시예에서, 각각의 상기 흡착부재는 각각 두 개의 흡입판 그룹을 포함하되, 각각의 상기 흡입판 그룹은 각각 상기 기판을 흡착하기 위한 복수 개의 흡입판을 포함한다.
일 실시예에서, 상기 작업스테이지에는 상기 기판을 위치 조정하도록 배치되는 위치 조정부재가 설치된다.
일 실시예에서, 상기 조정부재는,
상기 플레이트 탑재 스테이지의 모서리측에 설치되어, 상기 기판을 시계방향 또는 시계반대방향으로 회전시키는 회전모터;
두 개의 인접한 상기 플레이트 탑재 스테이지 사이마다 설치되고, 상기 회전모터가 설치되어 있는 일단으로부터 멀어지도록 위치하며, 상기 기판이 시계반대방향 또는 시계방향으로 회전할 수 있도록 구동하는 리니어모터; 를 포함한다.
일 실시예에서, 상기 조정부재는 상기 플레이트 탑재 스테이지의 중심측에 설치되어, 상기 기판을 시계방향 및 시계반대방향으로 회전시키는 회전모터를 포함한다.
일 실시예에서, 상기 이동식 에어플로팅 스테이지는 수평 또는 수직으로 상기 작업위치로 이동한다.
본 발명의 다른 목적은 하프 플레이트의 인계를 구현할 수 있는 기판 인계 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 아래와 같은 기술방안을 사용하였다.
상기와 같은 기판 인계 장치를 사용한 기판 인계 방법은 아래와 같은 단계를 포함한다.
단계(S1): 이동식 에어플로팅 스테이지가 비 작업위치에 있고, 작업스테이지를 기판 인계위치로 이동시켜 인계를 대기하며;
단계(S2): 기판을 운송스테이지에 놓고;
단계(S3): 지지 에어플로팅 스테이지는 기판이 상기 운송스테이지 상에 서스펜션되도록 하고, 흡착부재가 상기 기판을 흡착하며;
단계(S4): 상기 이동식 에어플로팅 스테이지를 작업위치로 이동시켜 에어플로팅을 시작하고;
단계(S5): 상기 흡착부재가 상기 기판이 상기 작업스테이지에 완전히 운송될 때까지 상기 기판을 상기 작업스테이지의 방향으로 이동시키며;
단계(S6): 상기 이동식 에어플로팅 스테이지를 상기 비 작업위치로 되돌아가게 하고;
단계(S7): 상기 작업스테이지에 설치된 상기 기판을 위치 조정한다.
일 실시예에서, 단계(S7)에서 상기 작업스테이지(2)에 설치된 상기 기판을 위치 조정하는 단계는, 회전모터와 리니어모터가 번갈아 힘을 제공하여 상기 기판을 소정 위치로 조정 및/또는 상기 회전모터가 단독으로 상기 기판을 위치 조정하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예에서 제공한 기판 인계 장치는 운송스테이지, 작업스테이지 및 이동식 에어플로팅 스테이지를 포함하되, 운송스테이지는 수평면 내에서 기판을 운송하기 위한 것이고; 작업스테이지는 운송스테이지의 하류에 설치되고, 운송스테이지에 의해 운송되는 기판을 전달받으며, 기판의 운송방향은 작업스테이지의 에어플로팅 가이드레일의 연장방향에 수직되며; 이동식 에어플로팅 스테이지는 작업위치와 비 작업위치를 가지며, 작업위치는 운송스테이지와 작업스테이지 사이에 위치하고, 비 작업위치는 운송스테이지와 작업스테이지의 상방 또는 측방에 위치하며, 이동식 에어플로팅 스테이지는 작업위치와 비 작업위치 사이에서 이동하고, 상기 작업위치에 있을 경우, 운송스테이지와 작업스테이지 사이의 기판을 지지할 수 있도록 배치된다. 해당 기판 인계 장치는 에어플로팅 가이드레일의 연장방향에 수직되는 방향에서 기판의 전송과 인계를 구현할 수 있고, 해당 방향에서 행잉프레임 등 부재에 의한 막힘 구속을 받지 않아, 해당 인계 장치의 범용성과 호환성을 향상시키며; 해당 기판 인계 장치가 인계 안정성과 생산율을 확보하면서 여러 개의 하프 플레이트를 동시에 인계하므로, 인계시간을 절약하고, 호환성 및 기판 인계효율을 향상시키며, 기판 인계 전, 후 이동식 에어플로팅 스테이지가 피하게 됨으로써, 생산 안전성을 보장한다.
본 발명의 실시예에서 제공한 기판 인계 방법은 상기 기판 인계 장치에 응용되어, 여러 개의 하프 플레이트를 동시에 인계하므로, 인계시간을 절약하고, 호환성과 기판 인계효율을 향상시킨다.
도 1은 종래의 기술에서 제공한 기판 인계 장치의 작업스테이지의 구조개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에서 제공한 기판 인계 장치의 구조개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1에서 제공한 기판 인계 장치의 작업위치와 비 작업위치의 배치개략도이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1에서 제공한 기판 인계 장치의 작업위치와 비 작업위치의 다른 배치개략도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 1에서 제공한 기판 인계 장치의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 1에서 제공한 에어플로팅 블록의 측면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예 1에서 제공한 조정부재의 배치개략도이다.
도 8은 본 발명의 실시예 1에서 제공한 조정부재의 다른 배치개략도이다.
도 9는 본 발명의 실시예 2에서 제공한 기판 인계 방법의 흐름도이다.
이하, 도면과 실시형태를 결합하여 본 발명의 기술방안을 추가로 설명하도록 한다. 여기서 기술한 구제적인 실시형태는 본 발명을 해석하기 위한 것일 뿐, 본 발명을 한정하는 것이 아님을 이해할 수 있을 것이다. 이외, 추가로 설명할 필요가 있는 것은, 기술의 편의를 위해, 도면에서는 전체가 아닌 본 발명과 관련한 부분만 도시하였다.
실시예 1
본 실시예는 에어플로팅 가이드레일의 연장방향에 수직되는 방향에서 기판의 전송과 인계를 구현하고, 해당 방향에서 행잉프레임 등 부재에 의한 막힘 구속을 받지 않아, 해당 인계 장치의 범용성과 호환성을 향상시키며; 인계 안정성과 생산율을 보장하면서, 여러 개의 하프 플레이트를 동시에 인계할 수 있으므로, 인계시간을 절약하고, 호환성 및 기판 인계효율을 향상시키는 기판 인계 장치를 제공한다. 본 실시형태에서는 두 개의 하프 플레이트 인계를 예로 들어 설명하도록 한다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 제공한 기판 인계 장치는 운송스테이지(1), 작업스테이지(2) 및 이동식 에어플로팅 스테이지(3)를 포함한다. 여기서, 운송스테이지(1)는 기판을 흡착 지지하여 수평면 내에서 기판을 운송함으로써, 작업스테이지(2)로 해당 기판을 인계할 수 있다. 작업스테이지(2)는 운송스테이지(1)의 하류에 설치되고, 운송스테이지에 의해 운송되는 기판을 전달받으며, 기판의 운송방향은 작업스테이지(2)의 에어플로팅 가이드레일(22)의 연장방향에 수직된다. 작업스테이지(2)에는 복수 개의 플레이트 탑재 스테이지(24)가 설치되되, 플레이트 탑재 스테이지(24)는 개수가 기판의 개수와 같고, 복수 개의 기판을 지지하고 고정하기 위한 것이다. 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 운송스테이지(1)과 작업스테이지(2) 사이에 설치되고, 인계 과정에서 기판을 보조 지지하기 위한 것이다. 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 작업위치(4) 및 비 작업위치(5)를 가지며, 작업위치(4)는 운송스테이지(1)와 작업스테이지(2) 사이에 위치하고, 비 작업위치(5)는 운송스테이지(1)와 작업스테이지(2)의 상방 또는 측방에 위치하며, 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 작업위치(4)와 비 작업위치(5) 사이에서 이동하고, 작업위치(4)에 있을 경우, 운송스테이지(1)과 작업스테이지(2) 사이의 기판을 지지할 수 있도록 배치된다.
일 실시예에서, 운송스테이지(1)는 제 1 베이스(11), 수평방향 전송부재(12), 복수 개의 흡착부재(13) 및 지지 에어플로팅 스테이지(14)을 포함한다. 여기서, 수평방향 전송부재(12)는 제 1 베이스(11)에 수평 이동 가능하게 설치되며, 흡착부재(13)는 수평방향 전송부재(12)에 설치되어 기판을 흡착하기 위한 것이다. 지지 에어플로팅 스테이지(14)는 제 1 베이스(11)에 고정 설치되어 기판을 서스펜션 지지하기 위한 것이다. 기판 인계가 진행될 때 기판을 운송스테이지(1)에 놓고, 흡착부재(13)가 기판을 흡착하며, 지지 에어플로팅 스테이지(14)에 압축공기를 통과시켜 에어막을 형성하게 함으로써 기판에 대한 서스펜션 지지를 구현한다.
작업스테이지(2)는 제 2 베이스(21), 복수 개의 에어플로팅 가이드레일(22), 지지이동부재(23) 및 상기 복수 개의 플레이트 탑재 스테이지(24)를 포함한다. 여기서, 에어플로팅 가이드레일(22)은 제 2 베이스(21)에 고정 설치되고, 지지이동부재(23)는 에어플로팅 가이드레일(22)에 이동 가능하게 설치되며, 복수 개의 플레이트 탑재 스테이지(24)는 노광 스캔방향을 따라 지지이동부재(23)에 나란히 설치된다. 기판 인계가 완성된 후, 기판은 플레이트 탑재 스테이지(24)에서 추후의 노광 공정을 진행한다.
상기 복수 개의 에어플로팅 가이드레일(22)은 제 2 베이스(21)에 간격을 두고 부설되고, 양측의 에어플로팅 가이드레일(22)에는 하나의 y방향 슬라이딩 블럭(25)이 각각 슬라이딩하도록 설치되며, 지지이동부재(23)는 y방향 슬라이딩 블럭(25)에 고정 설치되어 에어플로팅 가이드레일(22)을 따라 슬라이딩될 수 있다. 기판 인계를 진행해야 하는 경우, 지지이동부재(23)는 플레이트 탑재 스테이지(24)을 인계위치로 이동시켜 대기하도록 한다.
본 실시예에서, 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 이동베이스(31) 및 이동베이스(31)에 고정되는 에어플로팅 블록(32)을 포함한다. 이동베이스(31)는 에어플로팅 블록(32)을 수평 이동 가능하게 작업위치(4)에 진입하거나 작업위치(4)에서 퇴장하도록 한다. 기판을 인계할 경우, 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 먼저 비 작업위치(5)에 있으므로, 작업스테이지(2)의 완충 제어가 불가능할 때 이동식 에어플로팅 스테이지(3)에 부딪히는 것을 방지하고; 작업스테이지(2)가 인계위치에 도착한 후, 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 작업위치(4)로 수평 이동하며, 그 후 기판의 인계를 진행하게 된다. 이로써 기판 인계 전, 후 이동식 에어플로팅 스테이지(3)가 피하게 되므로, 생산 안전성을 보장할 수 있다. 기판의 인계가 진행될 때, 에어플로팅 블록(32)에 압축공기를 통과시켜 에어막을 형성함으로써 기판에 대한 서스펜션 지지를 구현한다.
본 실시예의 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 작업위치(4)로 수평 또는 수직으로 이동한다. 예시적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 작업위치(4)와 비 작업위치(5)는 모두 동일한 수평면에 설치될 수 있고, 앞뒤로 인접되게 설치되는데, 이 경우, 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 앞뒤로 이동하는 방식을 사용하여 수평으로 작업위치(4)에 진입하거나 작업위치(4)에서 퇴장한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 작업위치(4)와 비 작업위치(5)는 동일한 수직 평면에 설치될 수도 있는데, 이 경우, 호이스팅(Hoisting) 방식을 사용하여 이동식 에어플로팅 스테이지(3)가 수직면에서 상하로 승하강하는 방식으로 작업위치(4)에 진입하거나 작업위치(4)에서 퇴장한다. 예시적으로, 작업위치(4)가 제 2 베이스(21)에 설치될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 지지 에어플로팅 스테이지(14), 에어플로팅 블록(32), 플레이트 탑재 스테이지(24) 및 지지이동부재(23)에는 각각 기판의 전송방향에 평행되는 복수 개의 요홈이 설치되어 있으며, 요홈은 흡착부재(13)를 수용하기 위한 것이다. 일 실시예에서, 인접하는 요홈 사이의 간격은 같으므로, 안정적으로 기판을 흡착 및 전송할 수 있다. 도 6은 에어플로팅 블록(32)의 측면도이다.
본 실시예에서, 지지이동부재(23)에는 제 1 플레이트 탑재 스테이지(241)와 제 2 플레이트 탑재 스테이지(242)가 나란히 설치되어 있다. 상응하게, 운송스테이지(1)에는 두 개의 흡착부재(13)가 설치되어 있으며, 각각의 흡착부재(13)는 대응되게 하나의 기판을 흡착하여, 해당 기판을 상응한 플레이트 탑재 스테이지(24)에 운송함으로써, 두 개의 하프 플레이트를 동시에 인계한다. 예시적으로, 각각의 흡착부재(13)는 각각 두 개의 흡입판 그룹을 포함하되, 각각의 흡입판 그룹은 각각 기판을 흡착하기 위한 복수 개의 흡입판을 포함한다. 이와 같이, 운송스테이지(1)의 수평방향 전송부재(12)에는 네 개의 흡입판 그룹이 설치되어 있으며, 상응하게, 지지 에어플로팅 스테이지(14), 에어플로팅 블록(32), 플레이트 탑재 스테이지(24) 및 지지이동부재(23)에는 각각 네 개의 상기 요홈이 설치되어 있고, 흡입판은 기판을 흡착하여 기판이 요홈을 따라 직선으로 이동하도록 한다.
본 실시예에서 제공한 기판 인계 장치는 조정부재 및 검측부재(도면에 도시되지 않음)를 더 포함하되, 조정부재와 검측부재는 각각 작업스테이지(2)에 설치되고, 기판의 Rz편향각을 조정 및 검측하기 위한 것이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 조정부재는 복수 개의 회전모터(6) 및 리니어모터(7)를 포함할 수 있는데, 리니어모터(7)의 개수는 회전모터(6)의 개수보다 한 개 적다. 예시적으로, 회전모터(6)는 플레이트 탑재 스테이지(24)와 일일히 대응되게 설치되고, 플레이트 탑재 스테이지(24)의 모서리측에 설치되며, 본 실시예에서, 두 개의 회전모터(6)는 각각 제 1 플레이트 탑재 스테이지(241)와 제 2 플레이트 탑재 스테이지(242)의 모서리측에 설치된다. 회전모터(6)에는 흡입판이 설치되어 있음으로써, 기판을 흡착하여 기판을 시계방향 또는 시계반대방향으로 단방향 회전시킨다. 리니어모터(7)는 두 개의 인접한 플레이트 탑재 스테이지(24) 사이마다 설치되고, 회전모터(6)가 설치되어 있는 일단으로부터 멀어지도록 위치하며, 본 실시예에서, 리니어모터(7)는 제 1 플레이트 탑재 스테이지(241)와 제 2 플레이트 탑재 스테이지(242) 사이에 설치되고, 회전모터(6)가 설치되어 있는 일측으로부터 멀어지도록 위치하며, 리니어모터(7)는 기판이 시계반대방향 또는 시계방향으로 회전할 수 있도록 구동한다. 기판을 조정할 경우, 먼저 검측부재로 작업스테이지(2)에 설치된 기판의 위치와 자태를 검측하고, 미리 설정된 위치와 편차가 존재하게 되면 리니어모터(7)와 회전모터(6)를 통해 번갈아 힘을 제공하여 기판을 소정 위치로 조정한다. 예시적으로, 도 7의 좌측의 기판을 예로 들면, 조정할 때, 회전모터(6)가 먼저 힘을 제공하여 기판을 시계반대방향으로 회전시키고, 검측부재가 기판이 이미 소정 위치로 조정되었음을 검측하게 되면, 조정을 종료하며, 만약 검측부재가 기판이 과도하게 조정(즉 시계반대방향으로의 회전각도가 너무 큼)되었음을 검측하게 되면, 리니어모터(7)가 왼쪽으로 힘을 제공하여 기판을 시계방향으로 회전시키며, 상기 과정은 검측부재가 기판이 소정 위치로 조정되었음을 검측할 때까지 반복적으로 번갈아 진행된다.
상기 조정 방안에 있어서, 어느 하나의 회전모터(6)가 작동할 때 기판이 파손되는지 여부를 검증하기 위해, 시뮬레이션 검증을 진행하였고, 시뮬레이션 결과(임의의 특정 조건하에서)는 아래와 같이 나타났다: 최대 응력 조건하에서 기판의 응력 최대 값은 22.25Mpa이므로, 유리 기판의 응력요구(유리 기판의 허용 응력은 약 70Mpa)를 만족시킨다.
일 실시예에서, 도 8에 도시된 바와 같이, 조정부재는 플레이트 탑재 스테이지의 중심측에 설치되는 복수 개의 회전모터(6)를 포함할 수 있으며, 본 실시예에서, 두 개의 회전모터(6)는 각각 제 1 플레이트 탑재 스테이지(241)와 제 2 플레이트 탑재 스테이지(242)의 중심측에 설치되고, 회전모터(6)는 기판을 시계방향 및 시계반대방향으로 양방향 회전시킨다. 기판의 위치를 조정할 때, 각각의 회전모터(6)가 기판을 회전시키기만 하면 된다.
본 실시예에서, 제 1 플레이트 탑재 스테이지(241) 및 제 2 플레이트 탑재 스테이지(242)를 설치하여, 두 개의 하프 플레이트를 동시에 인계할 수 있을 뿐만 아니라, 제 1 기판이 노광하는 동시에, 제 2 기판을 위치 조정할 수 있음으로써, 조정시간을 절약하고 생산율을 향상시킨다.
실시예 2
본 실시예는 상기 실시예의 기판 인계 장치를 사용한 기판 인계 방법을 제공하며, 도 9에 도시된 바와 같이, 아래와 같은 단계를 포함한다.
단계(S1): 이동식 에어플로팅 스테이지(3)가 비 작업위치(5)에 있고, 작업스테이지(2)를 기판 인계위치로 이동시켜 인계를 대기하며;
단계(S2): 기판을 운송스테이지(1)에 놓고;
단계(S3): 지지 에어플로팅 스테이지(14)가 기판이 운송스테이지(1) 상에 서스펜션되도록 하고; 흡착부재(13)가 기판을 흡착하며;
단계(S4): 이동식 에어플로팅 스테이지(3)를 작업위치(4)로 이동하여 에어플로팅을 시작하고;
단계(S5): 흡착부재(13)가 기판이 작업스테이지(2)에 완전히 운송될 때까지 기판을 작업스테이지(2) 방향으로 이동시키며;
단계(S6): 이동식 에어플로팅 스테이지(3)를 비 작업위치(5)로 되돌아가게 하고;
단계(S7): 작업스테이지(2)에 설치된 기판을 위치 조정한다.
단계(S3)는 지지 에어플로팅 스테이지(14)가 에어플로팅을 시작하는 단계를 더 포함한다. 지지 에어플로팅 스테이지(14)가 에어플로팅을 시작하는 것과 단계(S4)에서 이동식 에어플로팅 스테이지(3)가 에어플로팅을 시작하는 것은 모두 압축공기를 통과시켜 구현할 수 있고, 압축공기를 통과시킨 후, 에어막을 생성하며, 에어막은 기판을 서스펜션 지지할 수 있다.
단계(S5)와 단계(S6) 사이에는 흡착부재(13)가 기판을 릴리즈하고 운송스테이지(1)로 되돌아가는 단계가 더 포함된다.
단계(S7)에서 기판을 위치 조정하는 단계는, 먼저 검측부재로 작업스테이지(2)에 설치된 기판의 위치와 자태를 검측하고, 미리 설정된 위치와 편차(여기서 편차는 주로 기판의 Rz편향각을 의미함)가 존재하게 되면 회전모터(6)와 리니어모터(7)가 번갈아 힘을 제공하여 기판을 알맞는 위치로 조정하는 단계를 포함한다. 예시적으로, 회전모터(6)가 먼저 힘을 제공하여 기판을 시계반대방향으로 회전시키고, 검측부재가 기판이 이미 적절한 위치로 조정되었음을 검측하게 되면, 조정을 종료하며, 만약 검측부재가 기판이 과도하게 조정(즉 시계반대방향 회전각도가 너무 큼)되었음을 검측하게 되면, 리니어모터(7)가 왼쪽으로 힘을 제공하여 기판을 시계방향으로 회전시키며, 상기 과정은 검측부재가 기판이 적절한 위치로 조정되었음을 검측할 때까지 반복적으로 번갈아 진행된다.
본 실시예는 다른 조정 방법을 더 제공하며, 즉 각 기판에는 하나의 회전모터(6)가 대응되게 설치되어 있고, 회전모터(6)는 단독으로 기판을 위치 조정할 수 있다. 예시적으로, 회전모터(6)는 기판을 시계방향 및 시계반대방향으로 양방향 회전시키며, 기판을 위치 조정할 때, 각각의 회전모터(6)는 검측부재가 기판이 적절한 위치로 조정되었음을 검측할 때까지 기판을 회전시킨다.
상기 두 가지 기판의 조정 방법은 단독으로 사용할 수 있고, 동시에 사용할 수도 있으며, 본 실시예에서는 구체적으로 한정하지 않는다.
분명한 것은, 본 발명의 실시예는 단지 본 발명의 예시를 명확하게 설명하기 위한 것일 뿐, 본 발명의 실시예에 대한 한정이 아니다. 본 분야의 당업자라면, 상기 설명의 기초상 기타 상이한 형태의 변화와 변경을 진행할 수도 있다. 여기서 모든 실시형태에 대해서는 일일히 열거할 수 없으며 열거할 필요도 없다. 본 발명의 사상 및 원칙 내에서 진행된 임의의 수정, 균등한 대체 및 개선 등은 모두 본 발명의 청구항의 보호범위 내에 포함된다.
1'-에어플로팅 가이드레일; 2'-행잉프레임; 3'-행잉프레임 브라켓; 4'-플레이트 탑재 스테이지;
1-운송스테이지; 11-제 1 베이스; 12-수평방향 전송부재; 13-흡착부재; 14-지지 에어플로팅 스테이지;
2-작업스테이지; 21-제 2 베이스; 22-에어플로팅 가이드레일; 23-지지이동부재; 24-플레이트 탑재 스테이지; 241-제 1 플레이트 탑재 스테이지; 242-제 2 플레이트 탑재 스테이지; 25-y방향 슬라이딩 블럭;
3-이동식 에어플로팅 스테이지; 31-이동베이스; 32-에어플로팅 블록;
4-작업위치; 5-비 작업위치; 6-회전모터; 7-리니어모터.

Claims (13)

  1. 수평면 내에서 기판을 운송하도록 배치되는 운송스테이지(1);
    상기 운송스테이지(1)의 하류에 설치되고, 상기 운송스테이지(1)에 의해 운송되는 상기 기판을 전달받도록 배치되는 작업스테이지(2)-상기 기판의 운송방향은 상기 작업스테이지(2)의 에어플로팅 가이드레일(22)의 연장방향에 수직됨-;
    작업위치(4) 및 비 작업위치(5)를 가지며, 상기 작업위치(4)는 상기 운송스테이지(1)와 상기 작업스테이지(2) 사이에 위치하고, 상기 비 작업위치(5)는 상기 운송스테이지(1)와 상기 작업스테이지(2)의 상방 또는 측방에 위치하며, 상기 작업위치(4)와 상기 비 작업위치(5) 사이에서 이동하도록 배치되고, 상기 작업위치(4)에 있을 경우, 상기 운송스테이지(1)와 상기 작업스테이지(2) 사이의 상기 기판을 지지하도록 배치되는 이동식 에어플로팅 스테이지(3);
    상기 작업스테이지(2)는,
    제 2 베이스(21);
    상기 제 2 베이스(21)에 고정 설치되는 복수 개의 상기 에어플로팅 가이드레일(22);
    상기 복수 개의 에어플로팅 가이드레일(22)에 이동 가능하게 설치되는 지지이동부재(23); 및
    상기 지지이동부재(23)에 설치되는 복수 개의 플레이트 탑재 스테이지(24); 를 포함하고,
    복수 개의 상기 에어플로팅 가이드레일(22)은 상기 제 2 베이스(21)에 간격을 두고 부설되고, 제 2 베이스(21) 양측의 상기 에어플로팅 가이드레일(22)에는 y방향 슬라이딩 블럭(25)이 각각 슬라이딩하도록 설치되며, 상기 지지이동부재(23)는 상기 y방향 슬라이딩 블럭(25)에 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 인계 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 운송스테이지(1)는,
    제 1 베이스(11);
    상기 제 1 베이스(11)에 수평 이동 가능하게 설치되는 수평방향 전송부재(12);
    상기 수평방향 전송부재(12)에 설치되어 상기 기판을 흡착하도록 배치되는 복수 개의 흡착부재(13); 및
    상기 제 1 베이스(11)에 고정 설치되어 상기 기판을 서스펜션 지지하도록 배치되는 지지 에어플로팅 스테이지(14); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 인계 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 이동베이스(31) 및 상기 이동베이스(31)에 고정되는 에어플로팅 블럭(32)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 인계 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 지지 에어플로팅 스테이지(14), 에어플로팅 블록(32), 플레이트 탑재 스테이지(24) 및 지지이동부재(23)에는 각각 상기 기판의 전송방향에 평행되는 복수 개의 요홈이 설치되어, 상기 흡착부재(13)를 수용하는 것을 특징으로 하는 기판 인계 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    각각의 상기 흡착부재(13)는 각각 두 개의 흡입판 그룹을 포함하되, 각각의 상기 흡입판 그룹은 각각 상기 기판을 흡착하기 위한 복수 개의 흡입판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 인계 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 작업스테이지(2)에는 상기 기판을 위치 조정하도록 배치되는 위치 조정부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 인계 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 조정부재는,
    상기 플레이트 탑재 스테이지(24)의 모서리 측에 설치되어, 상기 기판을 시계방향 또는 시계반대방향으로 회전시키는 회전모터(6);
    두 개의 인접한 상기 플레이트 탑재 스테이지(24) 사이마다 설치되고, 상기 회전모터(6)가 설치되어 있는 일단과 멀어지도록 위치하며, 상기 기판이 시계반대방향 또는 시계방향으로 회전하도록 구동하는 리니어모터(7); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 인계 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 조정부재는, 상기 플레이트 탑재 스테이지(24)의 중심측에 설치되어 상기 기판을 시계방향 및 시계반대방향으로 회전시키는 회전모터(6)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 인계 장치.
  9. 제 1 항 있어서,
    상기 이동식 에어플로팅 스테이지(3)는 수평 또는 수직으로 상기 작업위치(4)로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 인계 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 임의의 한 항에 따른 상기 기판 인계 장치를 사용한 기판 인계 방법에 있어서,
    이동식 에어플로팅 스테이지(3)가 비 작업위치(5)에 있고, 작업스테이지(2)를 기판 인계위치로 이동시켜 인계를 대기하는 단계;
    기판을 운송스테이지(1)에 놓는 단계;
    지지 에어플로팅 스테이지(14)는 상기 기판이 상기 운송스테이지(1) 상에 서스펜션되도록 하고, 흡착부재(13)가 상기 기판을 흡착하는 단계;
    상기 이동식 에어플로팅 스테이지(3)를 작업위치(4)로 이동하여 에어플로팅을 시작하는 단계;
    상기 흡착부재(13)가 상기 기판이 상기 작업스테이지(2)에 완전히 운송될 때까지 상기 기판을 상기 작업스테이지(2)의 방향으로 이동시키는 단계;
    상기 이동식 에어플로팅 스테이지(3)를 상기 비 작업위치(5)로 되돌아가게 하는 단계;
    상기 작업스테이지(2)에 설치된 상기 기판을 위치 조정하는 단계; 를 포함하는 기판 인계 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 작업스테이지(2)에 설치된 상기 기판을 위치 조정하는 단계는,
    회전모터(6)와 리니어모터(7)가 번갈아 힘을 제공하여 상기 기판을 소정 위치로 조정 및/또는 상기 회전모터(6)가 단독으로 상기 기판을 위치 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 인계 방법.
  12. 삭제
  13. 삭제
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