KR100676177B1 - 유기전계발광표시소자의 제조장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크와;상기 마스크 주변에 위치하여 상기 마스크를 클램핑(clamping)하기 위한 다수의 글리퍼와;상기 마스크를 스트레칭 시키기 위한 동력을 상기 글리퍼에 공급하기 위한 동력공급부와;상기 각각의 글리퍼와 마스크 사이에서 각각 4개 이상 위치하여 상기 글리퍼로 공급된 동력을 상기 마스크에 전달하는 동일한 크기의 조우(jaw)를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 마스크는적색, 녹색 및 청색 중 적어도 어느 하나를 구현하는 발광영역 중 적어도 어느 하나를 선택적으로 노출시키는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 각각의 글리퍼에 대응되는 4개 이상의 조우는 서로 일직선 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 각각의 글리퍼에 대응되는 4개 이상의 조우는 서로 지그재그 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 각각의 글리퍼에 대응되는 4개 이상의 조우는 랜덤하게 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치.
- 제 3 항 내지 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 각 글리퍼에 대응되는 4개 이상의 조우는 서로 등간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치.
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