JP6049774B2 - 薄膜蒸着装置及び有機発光ディスプレイ装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光表示装置の製造方法及びこれを利用して製造された有機発光表示装置に係り、詳細には、大型基板量産工程に容易に適用でき、製造収率が向上した薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光表示装置の製造方法及びこれを利用して製造された有機発光表示装置に関する。

ディスプレイ装置の中で、有機発光ディスプレイ装置は視野角が広くてコントラストが優れているだけでなく応答速度が速いという長所を持っており、次世代ディスプレイ装置として注目されている。

一般的に、有機発光ディスプレイ装置は、アノードとカソードとから注入される正孔と電子とが発光層で再結合して発光する原理で色相を具現できるように、アノードとカソードとの間に発光層を挿入した積層型構造を持っている。しかし、このような構造では高効率発光を得難いため、それぞれの電極と発光層との間に電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層及び正孔注入層などの中間層を選択的に追加挿入して使用している。

しかし、発光層及び中間層などの有機薄膜の微細パターンを形成することは、実質的に非常に困難であり、前記層によって赤色、緑色及び青色の発光効率が変わるため、従来の薄膜蒸着装置では大面積（５Ｇ以上のマザーガラス）に対するパターニングが不可能であって、満足すべきレベルの駆動電圧、電流密度、輝度、色純度、発光効率及び寿命などを持つ大型有機発光ディスプレイ装置を製造できないところ、その改善が急務となっている。

一方、有機発光ディスプレイ装置は、互いに対向する第１電極及び第２電極の間に発光層及びこれを含む中間層を備える。この時、前記電極及び中間層はいろいろな方法で形成できるが、そのうち一つの方法が蒸着である。蒸着方法を利用して有機発光ディスプレイ装置を製作するためには、薄膜などが形成される基板面に、形成される薄膜などのパターンと同じパターンを持つファインメタルマスク（Ｆｉｎｅ Ｍｅｔａｌ Ｍａｓｋ：ＦＭＭ）を密着させ、かつ薄膜などの材料を蒸着して所定パターンの薄膜を形成する。

本発明は、製造が容易であり、大型基板の量産工程に容易に適用でき、製造収率及び蒸着効率が向上した薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光表示装置の製造方法及びこれを利用して製造された有機発光表示装置を提供することを目的とする。

本発明は、基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、前記薄膜蒸着装置は複数の薄膜蒸着アセンブリーを備え、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーのそれぞれは、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向して配され、前記第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に前記第１方向に沿って配されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備え、前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定距離ほど離隔して形成され、前記薄膜蒸着装置と前記基板とは、いずれか一方が他方に対して相対的に移動自在に形成され、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、少なくとも赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料又は補助層材料が備えられることを特徴とする薄膜蒸着装置を提供する。

他の側面による本発明は、基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、前記薄膜蒸着装置は複数の薄膜蒸着アセンブリーを備え、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーのそれぞれは、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向して配され、前記第１方向に対して垂直な第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートとを備え、前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して前記第１方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリットシートは一体に形成され、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、少なくとも赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料又は補助層材料が備えられることを特徴とする薄膜蒸着装置を提供する。

本発明において、前記薄膜蒸着アセンブリーは少なくとも５つ備えられ、前記少なくとも５つの薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源にはそれぞれ、青色発光層材料、補助層材料、緑色発光層材料、補助層材料及び赤色発光層材料が順に備えられる。

本発明において、前記薄膜蒸着アセンブリーは少なくとも５つ備えられ、前記少なくとも５つの薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源にはそれぞれ、青色発光層材料、補助層材料、赤色発光層材料、補助層材料及び緑色発光層材料が順に備えられる。

本発明において、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられた各蒸着物質が順に前記基板上に蒸着される。

本発明において、前記薄膜蒸着装置と前記基板とは、前記基板で前記蒸着物質が蒸着される面と平行な面に沿って、いずれか一方が他方に対して相対的に移動する。

本発明において、前記各薄膜蒸着アセンブリーの前記パターニングスリットシートは、前記基板より小さく形成される。

本発明において、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源は、各蒸着源毎に蒸着温度が制御可能に備えられる。

本発明において、前記各薄膜蒸着アセンブリーの前記遮断板アセンブリーは、前記蒸着源から放射される前記蒸着物質の放射経路をガイドする。

本発明において、前記複数の遮断板のそれぞれは、前記第１方向と実質的に垂直な第２方向に形成されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る。

本発明において、前記遮断板アセンブリーは、複数の第１遮断板を備える第１遮断板アセンブリーと、複数の第２遮断板を備える第２遮断板アセンブリーと、を備える。

本発明において、前記複数の第１遮断板及び前記複数の第２遮断板のそれぞれは、前記第１方向と実質的に垂直な第２方向に形成されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る。

本発明において、前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとは、連結部材により結合されて一体に形成される。

ここで、前記連結部材は、前記蒸着物質の移動経路をガイドする。

ここで、前記連結部材は、前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を外部から密閉するように形成される。

本発明において、前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定距離ほど離隔して形成される。
本発明において、前記基板が前記薄膜蒸着装置に対して前記第１方向に沿って移動しつつ、前記基板上に前記蒸着物質が連続的に蒸着される。

本発明において、前記複数の蒸着源ノズルは、所定角度チルトされるように形成される。

ここで、前記複数の蒸着源ノズルは、前記第１方向に沿って形成された２列の蒸着源ノズルを備え、前記２列の蒸着源ノズルは互いに対向する方向にチルトされている。

ここで、前記複数の蒸着源ノズルは、前記第１方向に沿って形成された２列の蒸着源ノズルを備え、前記２列の蒸着源ノズルのうち第１側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリットシートの第２側端部に向かうように配され、前記２列の蒸着源ノズルのうち第２側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリットシートの第１側端部に向かうように配される。

さらに他の側面による本発明は、基板上に薄膜を形成する薄膜蒸着装置を利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、前記基板を前記薄膜蒸着装置に対して所定距離ほど離隔して配する段階と、前記薄膜蒸着装置と前記基板のうちいずれか一方を他方に対して相対的に移動させつつ、前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質を前記基板上に蒸着する段階と、を含み、前記薄膜蒸着装置は、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向して配され、前記第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に前記第１方向に沿って配されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備える薄膜蒸着アセンブリーを複数備え、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、少なくとも赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料又は補助層材料が備えられることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。

さらに他の側面による本発明は、基板上に薄膜を形成する薄膜蒸着装置を利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、前記基板を前記薄膜蒸着装置に対して所定距離ほど離隔して配する段階と、前記薄膜蒸着装置と前記基板のうちいずれか一方を他方に対して相対的に移動させつつ、前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質を前記基板上に蒸着する段階と、を含み、前記薄膜蒸着装置は、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向して配され、前記第１方向に対して垂直な第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、を備える薄膜蒸着アセンブリーを複数備え、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、少なくとも赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料又は補助層材料が備えられることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。

本発明において、前記蒸着物質を前記基板上に蒸着する段階は、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーに備えられた青色発光層材料、補助層材料、緑色発光層材料、補助層材料及び赤色発光層材料を順に前記基板上に蒸着する段階を含む。

本発明において、前記蒸着物質を前記基板上に蒸着する段階は、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーに備えられた青色発光層材料、補助層材料、赤色発光層材料、補助層材料及び緑色発光層材料を順に前記基板上に蒸着する段階を含む。

本発明において、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられた各蒸着物質が順に前記基板上に蒸着される。

本発明において、前記蒸着物質を前記基板上に蒸着する段階は、前記複数の薄膜蒸着アセンブリー毎に蒸着温度を制御する段階をさらに含む。

さらに他の側面による本発明は、前述したいずれか一つの方法によって製造された有機発光ディスプレイ装置を提供する。

さらに他の側面による本発明は、複数の画素を備える有機発光ディスプレイ装置において、前記各画素は、それぞれ青色、緑色及び赤色の光を放出する発光層が形成される副画素を一方向に沿って順に備え、前記緑色副画素には緑色補助層がさらに形成され、前記赤色副画素には赤色補助層がさらに形成され、前記青色発光層と前記緑色発光層との間に前記緑色補助層が介在され、前記緑色発光層と前記赤色発光層との間に前記赤色補助層が介在されることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置を提供する。

本発明において、前記青色発光層の一端部上に前記緑色補助層の一端部がオーバーラップされて形成され、前記緑色補助層上に前記緑色発光層が形成される。

本発明において、前記緑色発光層の一端部上に前記赤色補助層の一端部がオーバーラップされて形成され、前記赤色補助層上に前記赤色発光層が形成される。

本発明において、前記青色発光層と前記緑色発光層及び前記緑色発光層と前記赤色発光層は、互いに接触しない。

本発明において、前記有機発光ディスプレイ装置は、基板と、互いに対向する第１電極と第２電極と、をさらに備え、前記青色、緑色及び赤色発光層、前記緑色補助層及び前記赤色補助層は、前記第１電極と前記第２電極との間に形成される。

本発明において、前記緑色補助層の厚さと前記赤色補助層の厚さとは、互いに異なる。

さらに他の側面による本発明は、複数の画素を備える有機発光ディスプレイ装置において、前記各画素は、それぞれ青色、赤色及び緑色の光を放出する発光層が形成される副画素を一方向に沿って順に備え、前記赤色副画素には赤色補助層がさらに形成され、前記緑色副画素には緑色補助層がさらに形成され、前記青色発光層と前記赤色発光層との間に前記赤色補助層が介在され、前記赤色発光層と前記緑色発光層との間に前記緑色補助層が介在されることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置を提供する。

本発明において、前記青色発光層の一端部上に前記赤色補助層の一端部がオーバーラップされて形成され、前記赤色補助層上に前記赤色発光層が形成される。

本発明において、前記赤色発光層の一端部上に前記緑色補助層の一端部がオーバーラップされて形成され、前記緑色補助層上に前記緑色発光層が形成される。

本発明において、前記青色発光層と前記赤色発光層、及び前記赤色発光層と前記緑色発光層は、互いに接触しない。

本発明において、前記有機発光ディスプレイ装置は、基板と、互いに対向する第１電極と第２電極とをさらに備え、前記青色、赤色及び緑色発光層、前記赤色補助層及び前記緑色補助層は、前記第１電極と前記第２電極との間に形成される。

本発明において、前記緑色補助層の厚さと前記赤色補助層の厚さとは、互いに異なる。

本発明の薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光表示装置の製造方法及びこれを利用して製造された有機発光表示装置によれば、製造が容易であり、大型基板の量産工程に容易に適用でき、製造収率及び蒸着効率が向上する効果を得ることができる。

本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に図示した斜視図である。 図１の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な側面図である。 図１の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な平面図である。 本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着装置を概略的に図示した斜視図である。 図４の薄膜蒸着装置により製造された有機発光ディスプレイ装置のうち、一画素を図示した断面図である。 図４の薄膜蒸着装置により製造された有機発光ディスプレイ装置のうち、一画素を図示した断面図である。 本発明の第２実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に図示した斜視図である。 本発明の第３実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に図示した斜視図である。 図７の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な側面図である。 図７の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な平面図である。 本発明の他の一実施形態による薄膜蒸着アセンブリーを示す図面である。 本発明による薄膜蒸着アセンブリーで蒸着源ノズルをチルトさせていない場合における、基板に蒸着された蒸着膜の分布形態を概略的に示す図面である。 本発明による薄膜蒸着アセンブリーで蒸着源ノズルをチルトさせた場合における、基板に蒸着された蒸着膜の分布形態を概略的に示す図面である。 本発明の一実施形態に関する薄膜蒸着装置を概略的に図示したシステム構成図である。 図１３の変更例を図示した図面である。 図１３の静電チャックの一例を図示した概略図である。

以下、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法について詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に図示した斜視図であり、図２は、図１の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な側面図であり、図３は、図１の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な平面図である。

図１ないし図３を参照すれば、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、蒸着源１１０、蒸着源ノズル部１２０、遮断板アセンブリー１３０及びパターニングスリットシート１５０を備える。

ここで、図１ないし図３には説明の便宜のためにチャンバを図示していないが、図１ないし図３のあらゆる構成は、適切な真空度が維持されるチャンバ内に配されることが望ましい。これは、蒸着物質の直進性を確保するためである。

詳細には、蒸着源１１０から放出された蒸着物質１１５を、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリットシート１５０を通過させて基板６００に所望のパターンに蒸着させるためには、基本的にチャンバ（図示せず）の内部はＦＭＭ蒸着方法と同じ高真空状態を維持せねばならない。また、遮断板１３１及びパターニングスリットシート１５０の温度が蒸着源の１１０温度より十分に低くなければならない（約１００゜以下）。なぜなら、遮断板１３１の温度を十分に低くすることで初めて、遮断板１３１に衝突した蒸着物質１１５が再び蒸発する現象を防止でき、パターニングスリットシート１５０の温度を十分に低くすることで初めて、温度によるパターニングスリットシート１５０の熱膨張問題を最小化できるためである。この時、遮断板アセンブリー１３０は高温の蒸着源１１０に向けられており、蒸着源１１０に近いところは最大１６７℃ほど温度が上昇するため、必要な場合に部分冷却装置がさらに備えられうる。このために、遮断板アセンブリー１３０には冷却部材が形成されうる。

かかるチャンバ（図示せず）内には被蒸着体である基板６００が配される。前記基板６００は、平板表示装置用基板になりうるが、複数の平板表示装置を形成できるマザーガラスのような大面積基板が適用されうる。

ここで、本発明の第１実施形態では、基板６００が薄膜蒸着アセンブリー１００に対して相対的に移動しつつ蒸着が進むことを一特徴とする。

詳細には、既存のＦＭＭ蒸着方法では、ＦＭＭサイズが基板サイズと同一に形成されねばならない。したがって、基板サイズが増大するほどＦＭＭも大型化せねばならず、したがって、ＦＭＭ製作が容易ではなく、ＦＭＭを引っ張って精密なパターンにアラインすることも容易ではないという問題点があった。

かかる問題点を解決するために、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、薄膜蒸着アセンブリー１００と基板６００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着が行われることを一特徴とする。言い換えれば、薄膜蒸着アセンブリー１００と対向するように配された基板６００がＹ軸方向に沿って移動しつつ、連続的に蒸着を行うようになる。すなわち、基板６００が図１の矢印Ａ方向に移動しつつスキャニング方式で蒸着が行われる。ここで、図面には、基板６００がチャンバ（図示せず）内でＹ軸方向に移動しつつ蒸着が行われると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されず、基板６００は固定されており、薄膜蒸着アセンブリー１００自体がＹ軸方向に移動しつつ蒸着を行うことも可能であるといえる。

したがって、本発明の薄膜蒸着アセンブリー１００では、従来のＦＭＭに比べてはるかに小さくパターニングスリットシート１５０を設けることができる。すなわち、本発明の薄膜蒸着アセンブリー１００の場合、基板６００がＹ軸方向に沿って移動しつつ連続的に、すなわち、スキャニング方式で蒸着を行うため、パターニングスリットシート１５０のＸ軸方向及びＹ軸方向の長さは、基板６００の長さよりはるかに小さく形成されうる。このように、従来のＦＭＭに比べてはるかに小さくパターニングスリットシート１５０を設けることができるため、本発明のパターニングスリットシート１５０はその製造が容易である。すなわち、パターニングスリットシート１５０のエッチング作業や、その後の精密引っ張り及び溶接作業、移動及び洗浄作業などのあらゆる工程で、小サイズのパターニングスリットシート１５０がＦＭＭ蒸着方法に比べて有利である。また、これはディスプレイ装置が大型化するほどさらに有利になる。

このように、薄膜蒸着アセンブリー１００と基板６００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着が行われるためには、薄膜蒸着アセンブリー１００と基板６００とが所定間隔をおいて離隔することが望ましい。これについては、後述する。

一方、チャンバ内で前記基板６００と対向する側には、蒸着物質１１５が収納及び加熱される蒸着源１１０が配される。前記蒸着源１１０内に収納されている蒸着物質１１５が気化することによって基板６００に蒸着が行われる。

詳細には、蒸着源１１０は、その内部に蒸着物質１１５が満たされる坩堝１１１と、坩堝１１１を加熱させて坩堝１１１の内部に満たされた蒸着物質１１５を坩堝１１１の一側、詳細には、蒸着源ノズル部１２０側に蒸発させるためのヒータ１１２と、を備える。

蒸着源１１０の一側、詳細には、蒸着源１１０から基板６００に向かう側には蒸着源ノズル部１２０が配される。そして、蒸着源ノズル部１２０には、Ｘ軸方向に沿って複数の蒸着源ノズル１２１が形成される。ここで、前記複数の蒸着源ノズル１２１は等間隔で形成されうる。蒸着源１１０内で気化した蒸着物質１１５は、このような蒸着源ノズル部１２０を通過して被蒸着体である基板６００側に向かう。

蒸着源ノズル部１２０の一側には遮断板アセンブリー１３０が備えられる。前記遮断板アセンブリー１３０は、複数の遮断板１３１と、遮断板１３１の外側に備えられる遮断板フレーム１３２とを備える。前記複数の遮断板１３１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に備えられうる。ここで、前記複数の遮断板１３１は等間隔で形成されうる。また、それぞれの遮断板１３１は、図面において、ＹＺ平面と平行に、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。このように配された複数の遮断板１３１は、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリットシート１５０との間の空間を複数の蒸着空間Ｓに区切る役割を行う。すなわち、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、前記遮断板１３１によって、蒸着物質が噴射されるそれぞれの蒸着源ノズル１２１毎に蒸着空間Ｓが分離されることを一特徴とする。

ここで、それぞれの遮断板１３１は、互いに隣接している蒸着源ノズル１２１の間に配されうる。これは、言い換えれば、互いに隣接している遮断板１３１の間に一つの蒸着源ノズル１２１が配されるとみてもよい。望ましくは、蒸着源ノズル１２１は、互いに隣接している遮断板１３１の間の中央に位置できる。このように、遮断板１３１が蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリットシート１５０との間の空間を複数の蒸着空間Ｓに区切ることによって、一つの蒸着源ノズル１２１から排出される蒸着物質は、他の蒸着源ノズル１２１から排出された蒸着物質と混合されず、パターニングスリット１５１を通過して基板６００に蒸着される。言い換えれば、遮断板１３１は、蒸着源ノズル１２１を通じて排出される蒸着物質が分散されずに直進性を維持するように、蒸着物質のＺ軸方向の移動経路をガイドする役割を行う。

このように、遮断板１３１を備えて蒸着物質の直進性を確保することによって、基板に形成される陰影（ｓｈａｄｏｗ）のサイズを大幅に縮めることができ、したがって、薄膜蒸着アセンブリー１００と基板６００とを所定間隔をおいて離隔させることが可能になる。これについては、後述する。

一方、前記複数の遮断板１３１の外側には遮断板フレーム１３２がさらに備えられうる。遮断板フレーム１３２は、複数の遮断板１３１の上下面にそれぞれ備えられて、複数の遮断板１３１の位置を支持すると同時に、蒸着源ノズル１２１を通じて排出される蒸着物質が分散されないように蒸着物質のＹ軸方向の移動経路をガイドする役割を行う。

一方、図面には、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリー１３０とが所定間隔をおいて離隔しているように図示されているが、本発明の思想はこれに制限されるものではない。すなわち、蒸着源１１０から発散される熱が遮断板アセンブリー１３０に伝導されることを防止するために、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリー１３０とを所定間隔をおいて離隔させて形成してもよく、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリー１３０との間に適切な断熱手段が備えられる場合、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリー１３０とが結合して接触してもよい。

一方、前記遮断板アセンブリー１３０は、薄膜蒸着アセンブリー１００から分離自在に形成されうる。詳細には、従来のＦＭＭ蒸着方法は蒸着効率が低いという問題点があった。ここで蒸着効率とは、蒸着源から気化した材料のうち実際に基板に蒸着された材料の比率を意味するものであって、従来のＦＭＭ蒸着方法での蒸着効率は約３２％ほどである。しかも、従来のＦＭＭ蒸着方法では、蒸着に使われていない約６８％ほどの有機物が蒸着器内部のあちこちに蒸着されるため、そのリサイクルが容易ではないという問題点があった。

このような問題点を解決するために、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー１００では、遮断板アセンブリー１３０を利用して蒸着空間を外部空間から分離したので、基板６００に蒸着されていない蒸着物質は、ほぼ遮断板アセンブリー１３０内に蒸着される。したがって、遮断板アセンブリー１３０を薄膜蒸着アセンブリー１００から分離自在に形成して、長時間蒸着後に遮断板アセンブリー１３０に蒸着物質が多く溜まれば、遮断板アセンブリー１３０を分離して別途の蒸着物質リサイクル装置に入れて蒸着物質を回収できる。このような構成を通じて、蒸着物質リサイクル率を高めることによって蒸着効率が向上し、かつコストダウン効果を得ることができる。

一方、蒸着源１１０と基板６００との間にはパターニングスリットシート１５０及びフレーム１５５がさらに備えられる。フレーム１５５は窓枠状に形成され、その内側にパターニングスリットシート１５０が結合される。そして、パターニングスリットシート１５０にはＸ軸方向に沿って複数のパターニングスリット１５１が形成される。蒸着源１１０内で気化した蒸着物質１１５は、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリットシート１５０を通過して被蒸着体である基板６００側に向かう。この時、前記パターニングスリットシート１５０は、従来のＦＭＭ、特に、ストライプタイプのマスクの製造方法と同じ方法であるエッチングを通じて製作されうる。

一方、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、蒸着源ノズル１２１の総数よりパターニングスリット１５１の総数がさらに多く形成される。また、互いに隣接している２つの遮断板１３１の間に配された蒸着源ノズル１２１の数よりパターニングスリット１５１の数がさらに多く形成される。

すなわち、互いに隣接している２つの遮断板１３１の間には一つの蒸着源ノズル１２１が配されうる。同時に、互いに隣接している２つの遮断板１３１の間には複数のパターニングスリット１５１が配されうる。そして、互いに隣接している２つの遮断板１３１によって蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリットシート１５０との間の空間が区切られて、それぞれの蒸着源ノズル１２１毎に蒸着空間Ｓが分離される。したがって、一つの蒸着源ノズル１２１から放射された蒸着物質は、ほぼ同じ蒸着空間Ｓにあるパターニングスリット１５１を通過して基板６００に蒸着される。

一方、前述した遮断板アセンブリー１３０とパターニングスリットシート１５０とは、互いに所定間隔をおいて離隔して形成され、遮断板アセンブリー１３０とパターニングスリットシート１５０とは、連結部材１３５によって互いに連結されうる。詳細には、高温状態の蒸着源１１０により遮断板アセンブリー１３０の温度は最大１００℃以上上昇するため、上昇した遮断板アセンブリー１３０の温度がパターニングスリットシート１５０に伝導されないように、遮断板アセンブリー１３０とパターニングスリットシート１５０とを所定間隔をおいて離隔させる。

前述したように、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、基板６００に対して相対的に移動しつつ蒸着を行い、このように薄膜蒸着アセンブリー１００が基板６００に対して相対的に移動するために、パターニングスリットシート１５０は基板６００から所定間隔をおいて離隔するように形成される。そして、パターニングスリットシート１５０と基板６００とを離隔させる場合に発生する陰影問題を解決するために、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリットシート１５０との間に遮断板１３１を備えて蒸着物質の直進性を確保することによって、基板に形成される陰影のサイズを大幅に縮小させる。

詳細には、従来のＦＭＭ蒸着方法では、基板に陰影が生じないようにするために基板にマスクを密着させて蒸着工程を進めた。しかし、このように基板にマスクを密着させる場合、基板とマスクとの接触による不良問題が発生するという問題点があった。また、マスクを基板に対して移動させることができないため、マスクが基板と同じサイズに形成されねばならない。したがって、ディスプレイ装置が大型化するにつれてマスクのサイズも大きくならねばならないが、このような大型マスクを形成し難いという問題点があった。

このような問題点を解決するために、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー１００では、パターニングスリットシート１５０が被蒸着体である基板６００と所定間隔をおいて離隔するように配させる。これは、遮断板１３１を備えて、基板６００に生成される陰影が小さくなることによって実現可能になる。

このような本発明によってマスクを基板より小さく形成した後、マスクを基板に対して移動させつつ蒸着を行えることで、マスク製作が容易になる効果を得ることができる。また、基板とマスクとの接触による不良を防止する効果を得ることができる。また、基板とマスクとを密着させる工程に要する時間が不要になるため、製造速度が向上する効果を得ることができる。また、遮断板１３１を備えることによって、基板６００に生成される陰影が小さくなり、したがって、パターニングスリットシート１５０を基板６００から離隔させることができる。

図４は、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着装置を概略的に図示した斜視図である。

図４を参照すれば、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着装置は、図１ないし図３で説明した薄膜蒸着アセンブリーが複数備えられることを一特徴とする。言い換えれば、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着装置は、青色発光層材料Ｂ、緑色補助層材料Ｇ’、緑色発光層材料Ｇ、赤色補助層材料Ｒ’、赤色発光層材料Ｒが順に蒸着されるマルチ蒸着源を備えることを一特徴とする。

詳細には、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着装置は、第１薄膜蒸着アセンブリー１００、第２薄膜蒸着アセンブリー２００、第３薄膜蒸着アセンブリー３００、第４薄膜蒸着アセンブリー４００及び第５薄膜蒸着アセンブリー５００を備える。このような第１薄膜蒸着アセンブリー１００、第２薄膜蒸着アセンブリー２００、第３薄膜蒸着アセンブリー３００、第４薄膜蒸着アセンブリー４００及び第５薄膜蒸着アセンブリー５００それぞれの構成は、図１ないし図３で説明した薄膜蒸着アセンブリーと同一であるので、ここではその詳細な説明は省略する。

ここで、第１薄膜蒸着アセンブリー１００、第２薄膜蒸着アセンブリー２００、第３薄膜蒸着アセンブリー３００、第４薄膜蒸着アセンブリー４００及び第５薄膜蒸着アセンブリー５００の蒸着源には、相異なる蒸着物質が備えられうる。

例えば、第１薄膜蒸着アセンブリー１００には、青色発光層の材料になる蒸着物質Ｂが備えられ、第２薄膜蒸着アセンブリー２００には緑色補助層の材料になる蒸着物質Ｇ’が備えられ、第３薄膜蒸着アセンブリー３００には緑色発光層の材料になる蒸着物質Ｇが備えられ、第４薄膜蒸着アセンブリー４００には赤色補助層の材料になる蒸着物質Ｒ’が備えられ、第５薄膜蒸着アセンブリー５００には赤色発光層の材料になる蒸着物質Ｒが備えられうる。

または、図面には図示されていないが、第１薄膜蒸着アセンブリー１００には青色発光層の材料になる蒸着物質Ｂが備えられ、第２薄膜蒸着アセンブリー２００には赤色補助層の材料になる蒸着物質Ｒ’が備えられ、第３薄膜蒸着アセンブリー３００には赤色発光層の材料になる蒸着物質Ｒが備えられ、第４薄膜蒸着アセンブリー４００には緑色補助層の材料になる蒸着物質Ｇ’が備えられ、第５薄膜蒸着アセンブリー５００には緑色発光層の材料になる蒸着物質Ｇが備えられうる。

このような構成によって、青色発光層（図５Ａの６２Ｂ参照）と緑色発光層（図５Ａの６２Ｇ参照）との間に緑色補助層（図５Ａの６２Ｇ’参照）が配され、緑色発光層（図５Ａの６２Ｇ参照）と赤色発光層（図５Ａの６２Ｒ参照）との間に赤色補助層（図５Ａの６２Ｒ’参照）が配されうる。または、図５Ｂに図示されたように、青色発光層と赤色発光層との間に赤色補助層が配され、緑色発光層と赤色発光層との間に緑色補助層が配されうる。すなわち、互いに隣接した発光層の間に中間層が介在されることで、互いに重畳している発光層が直接接触しなくなる。これについては、図５Ａ及び図５Ｂで詳細に説明する。

ここで、補助層の材料になる蒸着物質Ｒ’、Ｇ’と、赤色発光層の材料になる蒸着物質Ｒと、緑色発光層の材料になる蒸着物質Ｇと、青色発光層の材料になる蒸着物質Ｂは、互いに気化する温度が相異なりうるので、前記第１薄膜蒸着アセンブリー１００の蒸着源１１０の温度と、前記第２薄膜蒸着アセンブリー２００の蒸着源２１０の温度と、前記第３薄膜蒸着アセンブリー３００の蒸着源３１０の温度と、前記第４薄膜蒸着アセンブリー４００の蒸着源４１０の温度と、前記第５薄膜蒸着アセンブリー５００の蒸着源５１０の温度とが互いに異なって設定されることもできるといえる。

一方、図面には薄膜蒸着アセンブリーが５つ備えられると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されるものではない。すなわち、本発明の第１実施形態に関する薄膜蒸着装置は薄膜蒸着アセンブリーを複数備えることができ、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーそれぞれに相異なる物質を備えることができる。

このように、複数の薄膜蒸着アセンブリーを備えて、複数の薄膜層を一度に形成可能にすることで、製造収率及び蒸着効率が向上する効果を得ることができる。また、製造工程が簡単になってコストダウンの効果を得ることができる。

かかる構成の薄膜蒸着装置を利用して、有機発光ディスプレイ装置の発光層を備える有機膜（図５Ａ及び図５Ｂの６２参照）を製造できる。ここで、有機発光ディスプレイ装置を製造する方法は、基板６００が薄膜蒸着装置に対して所定距離ほど離隔して配する段階、及び薄膜蒸着装置と基板のうちいずれか一方を他方に対して相対的に移動させつつ前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質を基板に蒸着する段階を含む。

これをさらに詳細に説明すれば、次の通りである。

まず、基板６００が薄膜蒸着装置に対して所定距離ほど離隔して配される。前述したように、本発明の薄膜蒸着装置は、基板６００より小さく形成されて製造の容易なパターニングスリットシート１５０を備えるために、薄膜蒸着装置と基板６００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着が行われることを一特徴とする。言い換えれば、薄膜蒸着装置と対向するように配された基板６００がＹ軸方向に沿って移動しつつ、連続的に蒸着が行われる。すなわち、基板６００が図４の矢印Ｂ方向に移動しつつ、スキャニング方式で蒸着が行われる。そして、薄膜蒸着装置と基板６００とが互いに相対的に移動するためには、薄膜蒸着装置と基板６００とが所定間隔をおいて離隔せねばならない。したがって、基板６００は、チャンバ（図示せず）内で薄膜蒸着装置と所定距離ほど離隔して配される。

次いで、薄膜蒸着装置と基板６００のうちいずれか一方が他方に対して相対的に移動しつつ、薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質が基板に蒸着される。前述したように、本発明の薄膜蒸着装置は、基板６００より小さく形成されて製造の容易なパターニングスリットシート１５０を備えるために、薄膜蒸着装置と基板６００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着が行われる。図１などには、薄膜蒸着装置が固定されている状態で基板６００が図面のＹ軸方向に移動すると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されず、基板が固定されている状態で薄膜蒸着装置が全体的に移動することも可能であるといえる。

ここで、本発明の第１実施形態に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法は、青色発光層材料Ｂ、緑色補助層材料Ｇ’、緑色発光層材料Ｇ、赤色補助層材料Ｒ’、赤色発光層材料Ｒが順に蒸着されるマルチ蒸着源で、複数の有機層が一度に蒸着されることを一特徴とする。すなわち、薄膜蒸着アセンブリーを複数備えることによって、一つのマルチソースで青色発光層（図５Ａ及び図５Ｂの６２Ｂ参照）、緑色補助層（図５Ａ及び図５Ｂの６２Ｇ’参照）、緑色発光層（図５Ａ及び図５Ｂの６２Ｇ参照）、赤色補助層（図５Ａ及び図５Ｂの６２Ｒ’参照）、赤色発光層（図５Ａ及び図５Ｂの６２Ｒ参照）を一度に蒸着できるようになり、したがって、有機発光ディスプレイ装置の生産時間が画期的に短縮すると同時に、備えられねばならないチャンバ数が減少することによって、設備コストも顕著に低減する効果を得ることができる。

このような薄膜蒸着装置を利用して後述する有機発光ディスプレイ装置の有機膜６２などが形成され、これ以外にも、前記薄膜蒸着装置は有機ＴＦＴの有機膜または無機膜などの蒸着にも使用でき、その他に多様な素材の成膜工程に適用できる。

以下では、図４の薄膜蒸着装置により製造された有機発光ディスプレイ装置について詳細に説明する。

図５Ａ及び図５Ｂは、図４の薄膜蒸着装置により製造された有機発光ディスプレイ装置のうち、一画素を図示した断面図である。

図５Ａ及び図５Ｂに図示されたように、ガラス材またはプラスチック材の基板５０上にバッファ層５１が形成されており、この上に薄膜トランジスタＴＦＴと、有機電界発光素子ＯＬＥＤとが形成される。

基板５０上のバッファ層５１上に所定パターンの活性層５２が備えられる。活性層５２の上部にはゲート絶縁膜５３が備えられ、ゲート絶縁膜５３の上部の所定領域にはゲート電極５４が形成される。ゲート電極５４は、薄膜トランジスタのオン／オフ信号を印加するゲートライン（図示せず）と連結されている。ゲート電極５４の上部には層間絶縁膜５５が形成され、コンタクトホールを通じてソース／ドレイン電極５６、５７がそれぞれ活性層５２のソース／ドレイン領域５２ｂ、５２ｃに接するように形成される。ソース／ドレイン電極５６、５７の上部には、ＳｉＯ_２、ＳｉＮｘなどからなるパッシベーション膜５８が形成され、パッシベーション膜５８の上部にはアクリル、ポリイミド、ＢＣＢ（Ｂｅｎｚｏｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ）などの有機物質で平坦化膜５９が形成されている。平坦化膜５９の上部に有機電界発光素子ＯＬＥＤのアノード電極になる第１電極６１が形成され、これを覆うように有機物で画素定義膜（Ｐｉｘｅｌ Ｄｅｆｉｎｅ Ｌａｙｅｒ）６０が形成される。画素定義膜６０に所定の開口を形成した後、画素定義膜６０の上部及び開口が形成されて、外部に露出された第１電極６１の上部に有機層６２を形成する。有機層６２は、発光層を含むものになる。本発明は必ずしもこのような構造に限定されるものではなく、多様な有機発光ディスプレイ装置の構造がそのまま適用できるということはいうまでもない。

有機電界発光素子ＯＬＥＤは、電流のフローによって赤、緑、青色の光を発光して所定の画像情報を表示するものであって、薄膜トランジスタのドレイン電極５６に連結されて、これからプラス電源を供給される第１電極６１と、全体画素を覆うように備えられてマイナス電源を供給する第２電極６３、及びこれら第１電極６１と第２電極６３との間に配されて発光する有機層６２とで構成される。

第１電極６１と第２電極６３とは有機層６２により互いに絶縁されており、有機層６２に逆極性の電圧を加えて有機層６２で発光を行わせる。

有機層６２は低分子または高分子有機膜が使われうるが、低分子有機膜を使用する場合、ホール注入層（ＨＩＬ：Ｈｏｌｅ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）、ホール輸送層（ＨＴＬ：Ｈｏｌｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ｌａｙｅｒ）、発光層（ＥＭＬ：Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）、電子輸送層（ＥＴＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ｌａｙｅｒ）、電子注入層（ＥＩＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）などが単一あるいは複合の構造で積層されて形成され、使用可能な有機材料も銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）、Ｎ，Ｎ−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−ベンジジン（ＮＰＢ）、トリス−８−ヒドロキシキノリノラト−アルミニウム（Ａｌｑ３）などをはじめとして多様に適用できる。これら低分子有機膜は真空蒸着の方法で形成される。

高分子有機膜の場合には、通常、ホール輸送層（ＨＴＬ）及び発光層（ＥＭＬ）で構成された構造を持つことができ、この時、ホール輸送層としてＰＥＤＯＴを使用し、発光層としてＰＰＶ（Ｐｏｌｙ−Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌｅｎｅ）系及びポリフルオレン系などの高分子有機物質を使用し、これをスクリーン印刷やインクジェット印刷方法などで形成できる。

このような有機膜は必ずしもこれに限定されるものではなく、多様な実施形態が適用できるということはいうまでもない。

第１電極６１はアノード電極の機能を行い、第２電極６３はカソード電極の機能を行うが、もちろん、これら第１電極６１と第２電極６３との極性は逆になってもよい。

第１電極６１は、透明電極または反射型電極として備えられうるが、透明電極として使われる時には、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ_２Ｏ_３で備えられ、反射型電極として使われる時には、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ及びこれらの化合物で反射膜を形成した後、その上にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ_２Ｏ_３を形成できる。

一方、第２電極６３も透明電極または反射型電極として備えられうるが、透明電極として使われる時には、第２電極６３がカソード電極として使われるので、仕事関数の小さな金属、すなわち、Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ、及びこれらの化合物が有機層６２の方向に向かうように蒸着した後、その上にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ_２Ｏ_３などの透明電極形成用物質で補助電極層やバス電極ラインを形成できる。そして、反射型電極として使われる時には、前記Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ、及びこれらの化合物を全面蒸着して形成する。

このような有機発光ディスプレイ装置で、発光層を備える有機層６２などは、詳述する薄膜蒸着装置（図１の１００参照）によって形成されうる。

詳細には、有機層６２は発光層６２Ｒ、６２Ｇ、６２Ｂと補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’とを備えることができる。使われた物質によって、前記発光層６２Ｒ、６２Ｇ、６２Ｂは、赤色、緑色または青色の光を放出できる。一方、補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’は、前述したホール輸送層（ＨＴＬ：Ｈｏｌｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ｌａｙｅｒ）と同じ材質で形成され、補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’を備える中間層の厚さが、赤色、緑色及び青色の光を放出する副画素で相異なる厚さを持つように形成される。これをさらに詳細に説明すれば、次の通りである。

前記第１電極６１と第２電極６３のうち、いずれか一方は反射型電極であり、他方は半透明電極または透明電極である。したがって、素子駆動時に前記第１電極６１と第２電極６３との間に共振現象が起きる。これにより、有機発光ディスプレイ装置の駆動時、前記第１電極６１と第２電極６３との間の発光層６２Ｒ、６２Ｇ、６２Ｂで発生した光が、前記第１電極６１と第２電極６３との間で共振しつつ有機発光ディスプレイ装置の外部に取出されるので、発光輝度及び発光効率が増大しうる。このような共振構造を形成するために、本発明の第１実施形態による有機発光ディスプレイ装置は、補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’を備える中間層の厚さが、赤色、緑色及び青色の光を放出する副画素で相異なる厚さを持つように形成されうる。すなわち、第１電極６１と第２電極６３との間に備えられた有機層のうち、補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’が発光層の発光カラー毎に最適化された厚さを持つことによって、優れた駆動電圧、電流密度、発光輝度、色純度、発光効率及び寿命特性などを持つことができる。

ところが、従来の有機発光ディスプレイ装置では、このような第１電極６１の上部に補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’がまず形成された後、その上に赤色発光層６２Ｒ、緑色発光層６２Ｇ、青色発光層６２Ｂが順に形成されることが一般的であった。ところが、本発明のように基板とパターニングスリットシートとが離隔している場合、基板に少なからず陰影が発生しうるという問題点があった。このように陰影が発生して隣接する発光層が互いに混合される場合、発光効率が低下し、駆動電圧が上昇するなどの問題点が発生した。

すなわち、下記の表１から分かるように、重畳領域のない標準状態での青色発光層６２Ｂの外部量子効率が６．２９％であるのに対し、青色発光層６２Ｂに赤色発光層６２Ｒまたは緑色発光層Ｇがわずか１％のみ重畳する場合であっても、外部量子効率はそれぞれ１．５３％、２．７６％に急激に減少することが分かる。

このような問題点を解決するために、本発明の一実施形態による有機発光ディスプレイ装置は、一画素内でサブピクセルが青色（Ｂ）、緑色（Ｇ）、赤色（Ｒ）順に配され、青色発光層６２Ｂの一端部上に緑色補助層６２Ｇ’及び緑色発光層６２Ｇの一端部がオーバーラップされ、緑色発光層６２Ｇの他端部上に赤色補助層６２Ｒ’及び赤色発光層６２Ｒの一端部がオーバーラップされるように形成されることを一特徴とする。

前述したように、第１薄膜蒸着アセンブリー（図４の１００参照）には青色発光層６２Ｂの材料になる蒸着物質が備えられ、第２薄膜蒸着アセンブリー（図４の２００参照）には緑色補助層６２Ｇ’の材料になる蒸着物質が備えられ、第３薄膜蒸着アセンブリー（図４の３００参照）には緑色発光層６２Ｇの材料になる蒸着物質が備えられ、第４薄膜蒸着アセンブリー（図４の４００参照）には赤色補助層６２Ｒ’の材料になる蒸着物質が備えられ、第５薄膜蒸着アセンブリー（図４の５００参照）には赤色発光層６２Ｒの材料になる蒸着物質が備えられうる。

この場合、最初に青色発光層６２Ｂが蒸着され、次いで、緑色補助層６２Ｇ’が蒸着される。この時、青色発光層６２Ｂの右側端部と、緑色補助層６２Ｇ’の左側端部とがある程度重なりつつ、青色発光層６２Ｂの右側端部上に緑色補助層６２Ｇ’の左側端部が蒸着される。次いで、緑色補助層６２Ｇ’の上部に緑色発光層６２Ｇが蒸着される。すなわち、青色発光層６２Ｂと緑色発光層６２Ｇとの間に緑色補助層６２Ｇ’が介在されることで、互いに隣接した青色発光層６２Ｂと緑色発光層６２Ｇとが直接接触しなくなる。

次いで、赤色補助層６２Ｒ’が蒸着される。この時、緑色発光層６２Ｇの右側端部と、赤色補助層６２Ｒ’の左側端部とがある程度重なりつつ、緑色発光層６２Ｇの右側端部上に赤色補助層６２Ｒ’の左側端部が蒸着される。次いで、赤色補助層６２Ｒ’の上部に赤色発光層６２Ｒが蒸着される。すなわち、緑色発光層６２Ｇと赤色発光層６２Ｒとの間に赤色補助層６２Ｒ’が介在されることで、互いに隣接した緑色発光層Ｇと赤色発光層Ｒとが直接接触しなくなる。

すなわち、下記の表２から分かるように、重畳領域のない標準状態での青色発光層６２Ｂの外部量子効率が６．２９％であり、赤色補助層Ｒ’と赤色発光層６２Ｒとが１％重畳する場合の外部量子効率は５．７８％であり、緑色補助層Ｇ’と緑色発光層６２Ｇとが１％重畳する場合の外部量子効率は５．４２％であり、互いに隣接した発光層の間に中間層が介在されていない表１と比較して発光層の発光効率が大きく向上し、混色現象が消え、色座標改善効果が生じることが分かる。

一方、図面には図示されていないが、第１薄膜蒸着アセンブリーには青色発光層の材料になる蒸着物質が備えられ、第２薄膜蒸着アセンブリーには赤色補助層の材料になる蒸着物質が備えられ、第３薄膜蒸着アセンブリーには赤色発光層の材料になる蒸着物質が備えられ、第４薄膜蒸着アセンブリーには緑色補助層の材料になる蒸着物質が備えられ、第５薄膜蒸着アセンブリーには緑色発光層の材料になる蒸着物質が備えられうる。

この場合、最初に青色発光層が蒸着され、次いで、赤色補助層が蒸着される。この時、青色発光層の右側端部と、赤色補助層の左側端部とがある程度重畳しつつ、青色発光層の右側端部上に赤色補助層の左側端部が蒸着される。次いで、赤色補助層の上部に赤色発光層が蒸着される。すなわち、青色発光層と赤色発光層との間に赤色補助層が介在されることで、互いに隣接した青色発光層と赤色発光層とが直接接触しなくなる。

次いで、緑色補助層が蒸着される。この時、赤色発光層の右側端部と、緑色補助層の左側端部とがある程度重畳しつつ、赤色発光層の右側端部上に緑色補助層の左側端部が蒸着される。次いで、緑色補助層の上部に緑色発光層が蒸着される。すなわち、赤色発光層と緑色発光層との間に緑色補助層が介在されることで、互いに隣接した赤色発光層と緑色発光層とが直接接触しなくなる。

かかる本発明によって、隣接発光層との重畳領域の発生による効率低下及び混色影響が最小化する効果を得ることができる。

（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に図示した斜視図である。

図６を参照すれば、本発明の第２実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー７００は、蒸着源７１０、蒸着源ノズル部７２０、第１遮断板アセンブリー７３０、第２遮断板アセンブリー７４０、パターニングスリットシート７５０及び基板６００を備える。

ここで、図６には説明の便宜のためにチャンバを図示していないが、図６のあらゆる構成は、適切な真空度が維持されるチャンバ内に配されることが望ましい。これは、蒸着物質の直進性を確保するためである。

このようなチャンバ（図示せず）内には被蒸着体である基板６００が配される。そして、チャンバ（図示せず）内で基板６００と対向する側には、蒸着物質７１５が収納及び加熱される蒸着源７１０が配される。蒸着源７１０は、坩堝７１１と、ヒータ７１２とを備える。

蒸着源７１０の一側、詳細には、蒸着源７１０から基板６００に向かう側には蒸着源ノズル部７２０が配される。そして、蒸着源ノズル部７２０には、Ｘ軸方向に沿って複数の蒸着源ノズル７２１が形成される。

蒸着源ノズル部７２０の一側には第１遮断板アセンブリー７３０が備えられる。前記第１遮断板アセンブリー７３０は、複数の第１遮断板７３１と、第１遮断板７３１の外側に備えられる第１遮断板フレーム７３２とを備える。

第１遮断板アセンブリー７３０の一側には第２遮断板アセンブリー７４０が備えられる。前記第２遮断板アセンブリー７４０は、複数の第２遮断板７４１と、第２遮断板７４１の外側に備えられる第２遮断板フレーム７４２とを備える。

そして、蒸着源７１０と基板６００との間には、パターニングスリットシート７５０及びフレーム７５５がさらに備えられる。フレーム７５５は窓枠のような格子状に形成され、その内側にパターニングスリットシート７５０が結合される。そして、パターニングスリットシート７５０には、Ｘ軸方向に沿って複数のパターニングスリット７５１が形成される。

ここで、本発明の第２実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー７００は、遮断板アセンブリーが第１遮断板アセンブリー７３０と第２遮断板アセンブリー７４０とに分離されていることを一特徴とする。

詳細には、前記複数の第１遮断板７３１はＸ軸方向に沿って互いに平行に備えられうる。そして、前記複数の第１遮断板７３１は等間隔で形成されうる。また、それぞれの第１遮断板７３１は、図面からみてＹＺ平面と平行に、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。

また、前記複数の第２遮断板７４１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に備えられうる。そして、前記複数の第２遮断板７４１は等間隔で形成されうる。また、それぞれの第２遮断板７４１は、図面からみた時にＹＺ平面と平行に、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。

このように配された複数の第１遮断板７３１及び第２遮断板７４１は、蒸着源ノズル部７２０とパターニングスリットシート７５０との間の空間を区切る役割を行う。ここで、本発明の第２実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー７００は、前記第１遮断板７３１及び第２遮断板７４１によって、蒸着物質が噴射されるそれぞれの蒸着源ノズル７２１毎に蒸着空間が分離されることを一特徴とする。

ここで、それぞれの第２遮断板７４１は、それぞれの第１遮断板７３１と一対一対応するように配されうる。言い換えれば、それぞれの第２遮断板７４１は、それぞれの第１遮断板７３１とアラインされて互いに平行に配されうる。すなわち、互いに対応する第１遮断板７３１と第２遮断板７４１とは互いに同じ平面上に位置する。このように、互いに平行に配された第１遮断板７３１と第２遮断板７４１とによって、蒸着源ノズル部７２０と後述するパターニングスリットシート７５０との間の空間が区切られることによって、一つの蒸着源ノズル７２１から排出される蒸着物質は、他の蒸着源ノズル７２１から排出された蒸着物質と混合されず、パターニングスリット７５１を通過して基板６００に蒸着される。言い換えれば、第１遮断板７３１及び第２遮断板７４１は、蒸着源ノズル７２１を通じて排出される蒸着物質が分散されないように蒸着物質のＺ軸方向の移動経路をガイドする役割を行う。

図面には、第１遮断板７３１のＸ軸方向の幅と第２遮断板７４１のＸ軸方向の幅とが同一であるように図示されているが、本発明の思想はこれに制限されるものではない。すなわち、パターニングスリットシート７５０との精密なアラインが求められる第２遮断板７４１は相対的に薄く形成される一方、精密なアラインが求められない第１遮断板７３１は相対的に厚く形成されて、その製造を容易にすることも可能であるといえる。

一方、図面には図示されていないが、本発明の第２実施形態に関する薄膜蒸着装置には薄膜蒸着アセンブリーが複数備えられうる。すなわち、本発明の第２実施形態に関する薄膜蒸着装置は、青色発光層材料Ｂ、緑色補助層材料Ｇ’、緑色発光層材料Ｇ、赤色補助層材料Ｒ’、赤色発光層材料Ｒが順に蒸着されるマルチ蒸着源を備えることもできる。そして、基板６００は、図６の矢印Ｃ方向に移動しつつスキャニング方式で蒸着が行われる。このような複数の薄膜蒸着アセンブリーについては第１実施形態で詳細に記述したので、本実施形態ではその詳細な説明は省略する。

（第３実施形態）
図７は、本発明の第３実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に図示した斜視図であり、図８は、図７の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な側面図であり、図９は、図７の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な平面図である。

図７、図８及び図９を参照すれば、本発明の第３実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー１１００は、蒸着源１１１０、蒸着源ノズル部１１２０及びパターニングスリットシート１１５０を備える。

ここで、図７、図８及び図９には、説明の便宜のためにチャンバを図示していないが、図７ないし図９のあらゆる構成は、適切な真空度が維持されるチャンバ内に配されることが望ましい。これは、蒸着物質の直進性を確保するためである。

かかるチャンバ（図示せず）内には被蒸着体である基板６００が配される。そして、チャンバ（図示せず）内で基板６００と対向する側には、蒸着物質１１１５が収納及び加熱される蒸着源１１１０が配される。蒸着源１１１０は、坩堝１１１１と、ヒータ１１１２とを備える。

蒸着源１１１０の一側、詳細には、蒸着源１１１０から基板６００に向かう側には蒸着源ノズル部１１２０が配される。そして、蒸着源ノズル部１１２０には、Ｙ軸方向、すなわち、基板６００のスキャン方向に沿って複数の蒸着源ノズル１１２１が形成される。ここで、前記複数の蒸着源ノズル１１２１は等間隔で形成できる。蒸着源１１１０内で気化した蒸着物質１１１５は、このような蒸着源ノズル部１１２０を通過して被蒸着体である基板６００側に向かうようになる。このように、蒸着源ノズル部１１２０上にＹ軸方向、すなわち、基板６００のスキャン方向に沿って複数の蒸着源ノズル１１２１が形成される場合、パターニングスリットシート１１５０のそれぞれのパターニングスリット１１５１を通過する蒸着物質により形成されるパターンのサイズは、蒸着源ノズル１１２１一つのサイズのみに影響を受けるので（すなわち、Ｘ軸方向には蒸着源ノズル１１２１が一つのみ存在するので）、陰影が発生しなくなる。また、複数の蒸着源ノズル１１２１がスキャン方向に存在するので、個別蒸着源ノズル間のフラックス差が発生しても、その差が相殺されて蒸着均一度が一定に維持される効果を得ることができる。

一方、蒸着源１１１０と基板６００との間には、パターニングスリットシート１１５０及びフレーム１１５５がさらに備えられる。フレーム１１５５は、窓枠状に形成され、その内側にパターニングスリットシート１１５０が結合される。そして、パターニングスリットシート１１５０には、Ｘ軸方向に沿って複数のパターニングスリット１１５１が形成される。蒸着源１１１０内で気化した蒸着物質１１１５は、蒸着源ノズル部１１２０及びパターニングスリットシート１１５０を通過して被蒸着体である基板６００側に向かうようになる。この時、前記パターニングスリットシート１１５０は、従来のＦＭＭ、特に、ストライプタイプのマスクの製造方法と同じ方法であるエッチングを通じて製作されうる。

一方、前述した蒸着源１１１０（及びこれと結合された蒸着源ノズル部１１２０）とパターニングスリットシート１１５０とは互いに所定間隔をおいて離隔するように形成され、蒸着源１１１０（及びこれと結合された蒸着源ノズル部１１２０）とパターニングスリットシート１１５０とは、連結部材１１３５によって互いに連結されうる。すなわち、蒸着源１１１０、蒸着源ノズル部１１２０及びパターニングスリットシート１１５０が連結部材１１３５により連結されて互いに一体に形成されうる。ここで、連結部材１１３５は、蒸着源ノズル１１２１を通じて排出される蒸着物質が分散されないように蒸着物質の移動経路をガイドできる。図面には、連結部材１１３５が蒸着源１１１０、蒸着源ノズル部１１２０及びパターニングスリットシート１１５０の左右方向のみに形成されて、蒸着物質のＸ軸方向のみをガイドすると図示されているが、これは、図示の便宜のためのものであって、本発明の思想はこれに制限されず、連結部材１１３５がボックス形態の密閉型に形成されて蒸着物質のＸ軸方向及びＹ軸方向移動を同時にガイドしてもよい。

前述したように、本発明の一実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー１１００は、基板６００に対して相対的に移動しつつ蒸着を行い、このように薄膜蒸着アセンブリー１１００が基板６００に対して相対的に移動するために、パターニングスリットシート１１５０は基板６００から所定間隔をおいて離隔するように形成される。

このような本発明によってマスクを基板より小さく形成した後、マスクを基板に対して移動させつつ蒸着を行えることで、マスク製作が容易になる効果を得ることができる。また、基板とマスクとの接触による不良を防止する効果を得ることができる。また、基板とマスクとを密着させる工程に要する時間が不要になるため、製造速度が向上する効果を得ることができる。

一方、図面には図示されていないが、本発明の第３実施形態に関する薄膜蒸着装置には薄膜蒸着アセンブリーが複数備えられうる。すなわち、本発明の第３実施形態に関する薄膜蒸着装置は、青色発光層材料Ｂ、緑色補助層材料Ｇ’、緑色発光層材料Ｇ、赤色補助層材料Ｒ’、赤色発光層材料Ｒが順に蒸着されるマルチ蒸着源を備えてもよい。そして、基板６００は、図７の矢印Ａ方向に移動しつつスキャニング方式で蒸着が行われる。このような複数の薄膜蒸着アセンブリーについては第１実施形態で詳細に記述したので、本実施形態ではその詳細な説明は省略する。

（第４実施形態）
図１０は、本発明の第４実施形態による薄膜蒸着アセンブリーを示す図面である。図面を参照すれば、本発明の第４実施形態による薄膜蒸着アセンブリーは、蒸着源１２１０、蒸着源ノズル部１２２０及びパターニングスリットシート１２５０を備える。ここで、蒸着源１２１０は、その内部に蒸着物質１２１５が満たされる坩堝１２１１と、坩堝１２１１を加熱させて坩堝１２１１の内部に満たされた蒸着物質１２１５を蒸着源ノズル部１２２０側に蒸発させるためのヒータ１２１２とを備える。一方、蒸着源１２１０の一側には蒸着源ノズル部１２２０が配され、蒸着源ノズル部１２２０にはＹ軸方向に沿って複数の蒸着源ノズル１２２１が形成される。一方、蒸着源１２１０と基板６００との間にはパターニングスリットシート１２５０及びフレーム１２５５がさらに備えられ、パターニングスリットシート１２５０にはＸ軸方向に沿って複数のパターニングスリット１２５１が形成される。そして、蒸着源１２１０及び蒸着源ノズル部１２２０とパターニングスリットシート１２５０とは、連結部材１２３５によって結合される。

本実施形態では、蒸着源ノズル部１２２０に形成された複数の蒸着源ノズル１２２１が所定角度チルトされて配されるという点で、前述した実施形態と区別される。詳細には、蒸着源ノズル１２２１は、２列の蒸着源ノズル１２２１ａ、１２２１ｂで形成され、前記２列の蒸着源ノズル１２２１ａ、１２２１ｂは互いに交互に配される。この時、蒸着源ノズル１２２１ａ、１２２１ｂは、ＸＺ平面上で所定角度チルトされて形成されうる。

ここで、第１列の蒸着源ノズル１２２１ａは、第２列の蒸着源ノズル１２２１ｂに対向するようにチルトされ、第２列の蒸着源ノズル１２２１ｂは、第１列の蒸着源ノズル１２２１ａに対向するようにチルトされうる。言い換えれば、左側列に配された蒸着源ノズル１２２１ａは、パターニングスリットシート１２５０の右側端部に向かうように配され、右側列に配された蒸着源ノズル１２２１ｂは、パターニングスリットシート１２５０の左側端部に向かうように配されうる。

図１１は、本発明による薄膜蒸着アセンブリーで蒸着源ノズルをチルトさせていない場合における、基板に蒸着された蒸着膜の分布形態を概略的に示す図面であり、図１２は、本発明による薄膜蒸着アセンブリーで蒸着源ノズルをチルトさせた場合における、基板に蒸着された蒸着膜の分布形態を概略的に示す図面である。図１１と図１２とを比較すれば、蒸着源ノズルをチルトさせた時に基板の両端部に成膜される蒸着膜の厚さが相対的に増大して、蒸着膜の均一度が上昇するということが分かる。

このような構成によって、基板の中央と終端部分での成膜厚さ差が低減して、全体的な蒸着物質の厚さが均一になるように蒸着量を制御でき、さらには、材料利用効率が向上する効果を得ることができる。

以下、図４に示した複数の薄膜蒸着アセンブリーを備える薄膜蒸着装置の全体的なシステム構成について詳細に説明する。

図１３は、本発明の一実施形態に関する薄膜蒸着装置を概略的に図示したシステム構成図であり、図１４は、図１３の変形例を図示したものである。図１５は、静電チャック８００の一例を示す概略面である。

図１３を参照すれば、本発明の一実施形態による薄膜蒸着装置は、ローディング部９１０、蒸着部９３０、アンローディング部９２０、第１循環部８１０及び第２循環部８２０を備える。

ローディング部９１０は、第１ラック９１２と、導入ロボット９１４と、導入室９１６と、第１反転室９１８とを備えることができる。

第１ラック９１２には蒸着が行われる前の基板６００が多く積載されており、導入ロボット９１４は、前記第１ラック９１２から基板６００を捉えて第２循環部８２０から移送されてきた静電チャック８００に基板６００を載置した後、基板６００が付着された静電チャック８００を導入室９１６に移す。

導入室９１６に隣接して第１反転室９１８が備えられ、第１反転室９１８に位置した第１反転ロボット９１９が静電チャック８００を反転させて、静電チャック８００を蒸着部９３０の第１循環部８１０に装着する。

静電チャック８００は、図１５から分かるように、セラミックからなる本体８０１の内部に電圧が印加される電極８０２が埋め立てられたものであって、この電極８０２に高電圧が印加されることによって本体８０１の表面に基板６００を付着させることである。

図１３からみれば、導入ロボット９１４は、静電チャック８００の上面に基板６００を載せ、この状態で静電チャック８００は導入室９１６に移送され、第１反転ロボット９１９が静電チャック８００を反転させることによって、蒸着部９３０では基板６００が下方を向くように位置する。

アンローディング部９２０の構成は、前述したローディング部９１０の構成と逆に構成される。すなわち、蒸着部９３０を経た基板６００及び静電チャック８００を、第２反転室９２８で第２反転ロボット９２９が反転させて搬出室９２６に移送し、搬出ロボット９２４が搬出室９２６から基板６００及び静電チャック８００を取り出した後、基板６００を静電チャック８００から分離して第２ラック９２２に積載する。基板６００と分離された静電チャック８００は、第２循環部８２０を通じてローディング部９１０に回送される。

しかし、本発明は必ずしもこれに限定されるものではなく、基板６００が静電チャック８００に最初に固定される時から静電チャック８００の下面に基板６００を固定させて、そのまま蒸着部９３０に移送させてもよい。この場合、例えば、第１反転室９１８及び第１反転ロボット９１９と第２反転室９２８及び第２反転ロボット９２９は必要なくなる。

蒸着部９３０は少なくとも一つの蒸着用チャンバを備える。図１による本発明の望ましい一実施形態によれば、前記蒸着部９３０は第１チャンバ９３１を備え、この第１チャンバ９３１内に複数の薄膜蒸着アセンブリー１００、２００、３００、４００が配される。図１３に図示された本発明の望ましい一実施形態によれば、前記第１チャンバ９３１内に第１薄膜蒸着アセンブリー１００、第２薄膜蒸着アセンブリー２００、第３薄膜蒸着アセンブリー３００及び第４薄膜蒸着アセンブリー４００の４つの薄膜蒸着アセンブリーが設けられているが、その数は蒸着物質及び蒸着条件によって可変できる。前記第１チャンバ９３１は、蒸着が進む間は真空に維持される。

また、図１４による本発明の他の一実施形態によれば、前記蒸着部９３０は互いに連係した第１チャンバ９３１及び第２チャンバ９３２を備え、第１チャンバ９３１には第１、２薄膜蒸着アセンブリー１００、２００が、第２チャンバ９３２には第３、４薄膜蒸着アセンブリー３００、４００が配されうる。この時、チャンバの数が追加されうるということは言うまでもない。

一方、図１３による本発明の望ましい一実施形態によれば、前記基板６００が固定された静電チャック８００は、第１循環部８１０により少なくとも蒸着部９３０に、望ましくは、前記ローディング部９１０、蒸着部９３０及びアンローディング部９２０に順次移動し、前記アンローディング部９２０で基板６００と分離された静電チャック８００は、第２循環部８２０により前記ローディング部９１０に戻される。

前記第１循環部８１０は、前記蒸着部９３０を通過する時に前記第１チャンバ９３１を貫通するように備えられ、前記第２循環部８２０は、静電チャックが移送されるように備えられる。

本発明は、図面に図示された実施形態を参考までに説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならばこれより多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は特許請求の範囲の技術的思想によって定められねばならない。

本発明は、有機発光ディスプレイ装置関連の技術分野に好適に用いられる。

１００ 薄膜蒸着アセンブリー
１１０ 蒸着源
１２０ 蒸着源ノズル部
１３０ 遮断板アセンブリー
１５０ パターニングスリットシート

Claims (21)

1. 基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、
   前記薄膜蒸着装置は複数の薄膜蒸着アセンブリーを備え、
   前記複数の薄膜蒸着アセンブリーのそれぞれは、
   蒸着物質を放射する蒸着源と、
   前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、
   前記蒸着源ノズル部と対向して配され、前記第１方向に対して垂直な第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、を備え、
   前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して前記第１方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、
   前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリットシートは一体に形成され、
   前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、少なくとも赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料又は補助層材料が備えられ、
   前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源のうち、赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料のうちいずれか一つが備えられた二つの蒸着源の間に、補助層材料が備えられた少なくとも一つの蒸着源が配されることを特徴とする薄膜蒸着装置。
2. 前記薄膜蒸着アセンブリーは少なくとも５つ備えられ、前記少なくとも５つの薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源にはそれぞれ、青色発光層材料、補助層材料、緑色発光層材料、補助層材料及び赤色発光層材料が順に備えられることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
3. 前記薄膜蒸着アセンブリーは少なくとも５つ備えられ、前記少なくとも５つの薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源にはそれぞれ、青色発光層材料、補助層材料、赤色発光層材料、補助層材料及び緑色発光層材料が順に備えられることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
4. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられた各蒸着物質が順に前記基板上に蒸着されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
5. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられた蒸着物質は、少なくとも二つの発光層材料の間に一つの補助層材料を介在して前記基板上に蒸着されることを特徴とする請求項４に記載の薄膜蒸着装置。
6. 前記基板は、前記蒸着物質が蒸着される面と平行な前記第１方向に沿って移動することを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
7. 前記各薄膜蒸着アセンブリーの前記パターニングスリットシートは、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
8. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源は、各蒸着源毎に蒸着温度が制御可能に備えられることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
9. 前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとは、連結部材により結合されて一体に形成されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
10. 前記連結部材は、前記蒸着物質の移動経路をガイドすることを特徴とする請求項９に記載の薄膜蒸着装置。
11. 前記連結部材は、前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を外部から密閉するように形成されることを特徴とする請求項９に記載の薄膜蒸着装置。
12. 前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定距離で離隔して形成されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
13. 前記基板が前記薄膜蒸着装置に対して前記第１方向に沿って移動しつつ、前記基板上に前記蒸着物質が連続的に蒸着されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
14. 前記複数の蒸着源ノズルは、所定角度チルトされるように形成されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
15. 前記複数の蒸着源ノズルは、前記第１方向に沿って形成された２列の蒸着源ノズルを備え、前記２列の蒸着源ノズルは互いに対向する方向にチルトされていることを特徴とする請求項１４に記載の薄膜蒸着装置。
16. 前記複数の蒸着源ノズルは、前記第１方向に沿って形成された２列の蒸着源ノズルを備え、
    前記２列の蒸着源ノズルのうち第１側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリットシートの第２側端部に向かうように配され、
    前記２列の蒸着源ノズルのうち第２側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリットシートの第１側端部に向かうように配されることを特徴とする請求項１４に記載の薄膜蒸着装置。
17. 基板上に薄膜を形成する薄膜蒸着装置を利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、
    前記基板を前記薄膜蒸着装置に対して所定距離で離隔して配する段階と、
    前記薄膜蒸着装置と前記基板のうちいずれか一方を他方に対して相対的に移動させつつ、前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質を前記基板上に蒸着する段階と、を含み、
    前記薄膜蒸着装置は、
    蒸着物質を放射する蒸着源と、
    前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、
    前記蒸着源ノズル部と対向して配され、前記第１方向に対して垂直な第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、を備える薄膜蒸着アセンブリーを複数備え、
    前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、少なくとも赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料又は補助層材料が備えられ、
    前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源のうち、赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料のうちいずれか一つが備えられた二つの蒸着源の間に、補助層材料が備えられた少なくとも一つの蒸着源が配されることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
18. 前記蒸着物質を前記基板上に蒸着する段階は、
    前記複数の薄膜蒸着アセンブリーに備えられた青色発光層材料、補助層材料、緑色発光層材料、補助層材料及び赤色発光層材料を順に前記基板上に蒸着する段階を含む請求項１７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
19. 前記蒸着物質を前記基板上に蒸着する段階は、
    前記複数の薄膜蒸着アセンブリーに備えられた青色発光層材料、補助層材料、赤色発光層材料、補助層材料及び緑色発光層材料を順に前記基板上に蒸着する段階を含む請求項１７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
20. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられた各蒸着物質を順に前記基板上に蒸着することを特徴とする請求項１７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
21. 前記蒸着物質を前記基板上に蒸着する段階は、
    前記複数の薄膜蒸着アセンブリー毎に蒸着温度を制御する段階をさらに含む請求項１７に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。

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