JP5677827B2 - 薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれにより製造された有機発光ディスプレイ装置 - Google Patents

Description

本発明は、薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれにより製造された有機発光ディスプレイ装置に関し、さらに詳細には、大型基板の量産工程に容易に適用でき、歩留まりを向上できる薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれにより製造された有機発光ディスプレイ装置に関する。

ディスプレイ装置のうち、有機発光ディスプレイ装置は、視野角が広くてコントラストが優れているだけでなく応答速度が速いという長所を持っているので、次世代ディスプレイ装置として注目されている。

一般的に、有機発光ディスプレイ装置は、アノード及びカソードから注入される正孔及び電子が発光層で再結合して発光するという原理により色相を具現化できるように、アノードとカソードとの間に発光層を挿入した積層型構造を有している。しかし、かかる構造では高効率発光を得難いため、それぞれの電極と発光層との間に電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層及び正孔注入層などの中間層を選択的に追加挿入して使用している。

しかし、発光層及び中間層などの有機薄膜の微細パターンを形成することは実質的に非常に困難であり、さらに前記層によって赤色、緑色、青色の発光効率が変わるため、従来の薄膜蒸着装置では、大面積（５Ｇ以上）のマザーガラスに対するパターニングが不可能であり、満足すべきレベルの駆動電圧、電流密度、輝度、色純度、発光効率及び寿命などを持つ大型有機発光ディスプレイ装置を製造できず、その改善が至急に望まれている。

一方、有機発光ディスプレイ装置は、互いに対向する第１電極と第２電極との間に発光層及びこれを含む中間層を備える。この時、前記電極及び中間層はいろいろな方法で形成できる。そのうち一つの方法が、蒸着である。蒸着方法を利用して有機発光ディスプレイ装置を製作するためには、薄膜などが形成される基板面に、形成される薄膜などのパターンと同じパターンを持つファインメタルマスク（fine metal mask：ＦＭＭ）を密着させ、薄膜などの材料を蒸着して所定パターンの薄膜を形成する。

本発明は製造が容易であり、大型基板の量産工程に容易に適用でき、歩留まり及び蒸着効率を向上できる薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれにより製造された有機発光ディスプレイ装置を提供することを目的とする。

本発明は、基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に前記第１方向に沿って配されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備え、前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定距離ほど離隔して形成され、前記薄膜蒸着装置と前記基板とは、いずれか一側が他側に対して相対的に移動自在に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置を提供する。

本発明において、前記パターニングスリットは、第１長さを持つ第１パターニングスリットと、前記第１長さと異なる第２長さを持つ第２パターニングスリットとを備える。

ここで、前記第１パターニングスリットと前記第２パターニングスリットとは、互いに交互に配されうる。

また、前記第１パターニングスリットは、赤色副画素領域に対応するように形成され、前記第２パターニングスリットは、緑色副画素領域に対応するように形成され、前記第１パターニングスリットの長さが、前記第２パターニングスリットの長さより長く形成される。

また、前記パターニングスリットシート上で、青色副画素領域に対応する領域にはパターニングスリットが形成されていない。

本発明において、前記各パターニングスリットの長さによって、前記基板上に蒸着される各蒸着物質の蒸着量が制御される。

本発明において、前記蒸着源から放射された蒸着物質は、前記基板上の赤色副画素領域と緑色副画素領域とに同時に蒸着される。

ここで、前記赤色副画素領域に蒸着された蒸着物質の厚さは、前記緑色副画素領域に蒸着された蒸着物質の厚さより厚く形成される。

本発明において、前記複数の遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直な第２方向に形成されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切る。

本発明において、前記複数の遮断板は、等間隔で配される。

本発明において、前記遮断板アセンブリーは、複数の第１遮断板を備える第１遮断板アセンブリーと、複数の第２遮断板を備える第２遮断板アセンブリーと、を備える。

ここで、前記複数の第１遮断板及び前記複数の第２遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直な第２方向に形成されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切る。

また、前記複数の第１遮断板及び前記複数の第２遮断板それぞれは、互いに対応するように配される。

また、前記互いに対応する第１遮断板及び第２遮断板は、実質的に同じ平面上に位置するように配される。

本発明において、前記薄膜蒸着装置は、複数の薄膜蒸着アセンブリーを備え、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーそれぞれは、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部、前記パターニングスリットシート及び前記遮断板アセンブリーを備える。

ここで、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、別個の蒸着物質がそれぞれ備えられる。

また、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられた各蒸着物質が、同時に前記基板上に蒸着される。

また、前記薄膜蒸着アセンブリーは少なくとも４つが備えられ、前記少なくとも４つの薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられる蒸着物質は、それぞれ補助層材料、赤色発光層材料、緑色発光層材料及び青色発光層材料である。

さらにまた、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源は、各蒸着源別に蒸着温度を制御できるように備えられる。

本発明において、前記基板が前記薄膜蒸着装置に対して相対的に移動しつつ、前記基板上に前記薄膜蒸着装置の蒸着物質が連続的に蒸着される。

本発明において、前記薄膜蒸着装置と前記基板とは、前記基板で前記蒸着物質が蒸着される面と平行な面に沿って、いずれか一側が他側に対して相対的に移動する。

本発明において、前記各薄膜蒸着アセンブリーの前記パターニングスリットシートは、前記基板より小さく形成される。

本発明において、前記遮断板アセンブリーは、前記蒸着源から放射される前記蒸着物質の放射経路をガイドする。

他の側面による本発明は、基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第１方向に対して垂直な第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、を備え、前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して前記第１方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリットシートは、一体に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置を提供する。

ここで、前記パターニングスリットは、第１長さを持つ第１パターニングスリットと、前記第１長さと異なる第２長さを持つ第２パターニングスリットと、を備える。

また、前記第１パターニングスリットと前記第２パターニングスリットとは、互いに交互に配される。

また、前記第１パターニングスリットは、赤色副画素領域に対応するように形成され、前記第２パターニングスリットは、緑色副画素領域に対応するように形成され、前記第１パターニングスリットの長さは、前記第２パターニングスリットの長さより長く形成される。

さらにまた、前記パターニングスリットシート上で、青色副画素領域に対応する領域にはパターニングスリットが形成されていない。

本発明において、前記各パターニングスリットの長さによって、前記基板上に蒸着される各蒸着物質の蒸着量が制御される。

本発明において、前記蒸着源から放射された蒸着物質は、前記基板上の赤色副画素領域と緑色副画素領域とに同時に蒸着される。

ここで、前記赤色副画素領域に蒸着された蒸着物質の厚さは、前記緑色副画素領域に蒸着された蒸着物質の厚さより厚く形成される。

本発明において、前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとは、連結部材により結合されて一体に形成される。

ここで、前記連結部材は、前記蒸着物質の移動経路をガイドする。

また、前記連結部材は、前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を外部から密閉するように形成される。

本発明において、前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定距離ほど離隔して形成される。

本発明において、前記基板は、前記薄膜蒸着装置に対して前記第１方向に沿って移動しつつ、前記基板上に前記蒸着物質が連続的に蒸着される。

本発明において、前記薄膜蒸着装置の前記パターニングスリットシートは、前記基板より小さく形成される。

本発明において、前記薄膜蒸着装置は、複数の薄膜蒸着アセンブリーを備え、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーそれぞれは、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部、前記パターニングスリットシート及び前記遮断板アセンブリーを備える。

ここで、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、別個の蒸着物質がそれぞれ備えられる。

また、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられた各蒸着物質は、同時に前記基板上に蒸着される。

また、前記薄膜蒸着アセンブリーは少なくとも４つが備えられ、前記少なくとも４つの薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられる蒸着物質はそれぞれ、補助層材料、赤色発光層材料、緑色発光層材料及び青色発光層材料である。

また、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源は、各蒸着源別に蒸着温度が制御可能に備えられる。

さらに他の側面による本発明は、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配されて第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向するように配されて、前記第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に、前記第１方向に沿って配されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備える薄膜蒸着装置を、チャックに固定された被蒸着用基板と離隔して配し、蒸着が進められる間に、前記薄膜蒸着装置と前記チャックに固定された基板とが互いに相対的に移動することによって、基板に対する蒸着が行われることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。

さらに他の側面による本発明は、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配されて、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向するように配されて、前記第１方向に対して垂直な第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、を備える薄膜蒸着装置を、チャックに固定された被蒸着用基板と離隔して配して、蒸着が進められる間に、前記薄膜蒸着装置と前記チャックに固定された基板とが互いに相対的に移動することによって、基板に対する蒸着が行われることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。

ここで、前記蒸着物質は有機物を含み、前記薄膜蒸着装置によって、赤色、緑色及び青色の光を放出する副画素で相異なる厚さを持つ補助層が形成される。

本発明はまた、前記のような方法によって製造された有機発光ディスプレイ装置を提供する。

本発明の薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれにより製造された有機発光ディスプレイ装置によれば、製造が容易であり、大型基板の量産工程に容易に適用でき、歩留まり及び蒸着効率が向上する。

本発明の一実施形態に関する薄膜蒸着装置によって製造された有機発光ディスプレイ装置の平面図である。 図１の有機発光ディスプレイ装置のうち、一画素を示した断面図である。 本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に示した斜視図である。 図３の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な側面図である。 図３の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な平面図である。 本発明の第１実施例による薄膜蒸着装置のパターニングスリットシートを示した平面図である。 本発明の第１実施例による薄膜蒸着装置のパターニングスリットシートを示した平面図である。 本発明の第１実施例による薄膜蒸着装置のパターニングスリットシートを示した平面図である。 本発明の第１実施例による薄膜蒸着装置のパターニングスリットシートを示した平面図である。 本発明の第１実施例による薄膜蒸着装置のパターニングスリットシートを示した平面図である。 本発明の第２実施例に関する薄膜蒸着装置を概略的に示した斜視図である。 本発明の第３実施例に関する薄膜蒸着装置を概略的に示した斜視図である。 本発明の第４実施例に関する薄膜蒸着装置を概略的に示した斜視図である。 図９の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な側面図である。 図９の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な平面図である。 本発明の第５実施例に関する薄膜蒸着装置を概略的に示した斜視図である。

以下、添付した図面を参照して、本発明による望ましい実施形態を詳細に説明する。

図１は、本発明の一実施形態に関する薄膜蒸着装置によって製造された有機発光ディスプレイ装置の平面図である。

図１を参照すれば、有機発光ディスプレイ装置は、画素領域３０と、画素領域３０のエッジの回路領域４０とで構成される。画素領域３０は、複数の画素を備え、各画素は、所定の画像を具現するように発光する発光部を備える。

本発明の一実施形態によれば、発光部は、有機電界発光素子をそれぞれ備えた複数の副画素で形成されている。フルカラー有機発光ディスプレイ装置の場合には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の副画素がライン状、モザイク状、格子状などの多様なパターンで配列されて画素を構成する。フルカラー平板表示装置ではないモノカラー平板表示装置でもよい。

そして、回路領域４０は、画素領域３０に入力される画像信号などを制御する。かかる有機発光ディスプレイ装置において、画素領域３０と回路領域４０とには、それぞれ少なくとも一つ以上の薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：以下、ＴＦＴ）が設けられうる。

画素領域３０に設けられるＴＦＴには、ゲートラインの信号によって発光素子にデータ信号を伝達して、その動作を制御するスイッチング用ＴＦＴと、データ信号によって有機電界発光素子に所定の電流が流れるように駆動させる駆動用ＴＦＴなどの画素部ＴＦＴとがある。そして、回路領域４０に設けられるＴＦＴには、所定の回路を具現化するように備えられた回路部ＴＦＴがある。

もちろん、このようなＴＦＴの数及び配置は、ディスプレイの特性及び駆動方法などによって多様な数が存在でき、その配置方法も多様に存在するということはいうまでもない。

図２は、図１の有機発光ディスプレイ装置のうち、一画素を示した断面図である。

図２に示したように、ガラス材またはプラスチック材の基板５０上にバッファ層５１が形成されており、この上にＴＦＴと、有機電界ＯＬＥＤとが形成される。

基板５０のバッファ層５１上に所定パターンの活性層５２が備えられる。活性層５２の上部にはゲート絶縁膜５３が備えられ、ゲート絶縁膜５３の上部の所定領域にはゲート電極５４が形成される。ゲート電極５４は、ＴＦＴのオン／オフ信号を印加するゲートライン（図示せず）と連結されている。ゲート電極５４の上部には層間絶縁膜５５が形成され、コンタクトホールを通じてソース／ドレイン電極５６、５７が、それぞれ活性層５２のソース／ドレイン領域５２ｂ、５２ｃに接するように形成される。ソース／ドレイン電極５６、５７の上部には、ＳｉＯ_２、ＳｉＮ_ｘなどからなるパッシベーション膜５８が形成され、パッシベーション膜５８の上部には、アクリル、ポリイミド、ＢＣＢ（Benzocyclobutene）などの有機物質で平坦化膜５９が形成されている。平坦化膜５９の上部に、有機電界ＯＬＥＤのアノード電極になる第１電極６１が形成され、これを覆うように有機物で画素定義膜（Pixel Define Layer）６０が形成される。画素定義膜６０に所定の開口を形成した後、画素定義膜６０の上部及び開口が形成されて外部に露出された第１電極６１の上部に有機層６２を形成する。有機層６２は発光層を備えることになる。本発明は必ずしもこのような構造に限定されるものではなく、多様な有機発光ディスプレイ装置の構造がそのまま適用されうるということはいうまでもない。

有機電界ＯＬＥＤは、電流のフローによって、赤、緑、青色の光を発光して所定の画像情報を表示するものであって、ＴＦＴのドレイン電極５６に連結されて、これからプラス（＋）電源を供給される第１電極６１と、全体画素を覆うように備えられてマイナス（−）電源を供給する第２電極６３、及びこれら第１電極６１と第２電極６３との間に配されて発光する有機層６２で構成される。

第１電極６１と第２電極６３とは、有機層６２により互いに絶縁されており、有機層６２に相異なる極性の電圧を加えて有機層６２で発光が行われるようにする。

有機層６２は、低分子または高分子有機膜が使われうるが、低分子有機膜を使用する場合、ホール注入層（ＨＩＬ：Hole Injection Layer）、ホール輸送層（ＨＴＬ：Hole Transport Layer）、発光層（ＥＭＬ：Emission Layer）、電子輸送層（ＥＴＬ：Electron Transport Layer）、電子注入層（ＥＩＬ：Electron Injection Layer）などが単一あるいは複合の構造で積層されて形成され、使用可能な有機材料も、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ：copper phthalocyanine）、Ｎ，Ｎ−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−ベンジジン（ＮＰＢ）、トリス−８−ヒドロキシキノリンアルミニウム（Ａｌｑ３）などをはじめとして多様に適用できる。これら低分子有機膜は、真空蒸着の方法で形成される。

高分子有機膜の場合には、ホール輸送層（ＨＴＬ）及び発光層（ＥＭＬ）で備えられた構造を持つことができ、この時、ホール輸送層としてＰＥＤＯＴを使用し、発光層としてＰＰＶ（Ｐｏｌｙ−Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌｅｎｅ）系及びポリフルオレン系などの高分子有機物質を使用し、これをスクリーン印刷やインクジェット印刷方法などで形成できる。

かかる有機膜は必ずしもこれに限定されるものではなく、多様な実施形態が適用されうるということはいうまでもない。

第１電極６１はアノード電極の機能を果たし、第２電極６３はカソード電極の機能を果たすが、もちろん、これら第１電極６１と第２電極６３との極性は逆になってもよい。

第１電極６１は、透明電極または反射型電極で備えられうるが、透明電極として使われる時には、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ_２Ｏ_３で備えられ、反射型電極として使われる時には、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ、及びこれらの化合物などで反射膜を形成した後、その上にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ_２Ｏ_３を形成できる。

一方、第２電極６３も透明電極または反射型電極で備えられうるが、透明電極として使われる時には、第２電極６３がカソード電極として使われるので、仕事関数の小さな金属、すなわち、Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ、及びこれらの化合物が有機層６２の方向に向かうように蒸着した後、その上にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ_２Ｏ_３などの透明電極形成用物質で補助電極層やバス電極ラインを形成できる。そして、反射型電極として使われる時には、前記のＬｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ、及びこれらの化合物を全面蒸着して形成する。

このような有機発光ディスプレイ装置で、発光層を備える有機層６２などは、後述する薄膜蒸着装置（図３の１００参照）によって形成されうる。

さらに詳細には、有機層６２は、発光層６２Ｒ、６２Ｇ、６２Ｂと補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’とを備えることができる。使われた物質によって、前記発光層６２Ｒ、６２Ｇ、６２Ｂは、赤色、緑色または青色の光を放出できる。一方、補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’は、前述したホール輸送層（ＨＴＬ）と同じ材質で形成されうる。

一方、前記第１電極６１と第２電極６３のうち、いずれか一つは反射型電極であり、他の一つは半透明電極または透明電極である。したがって、素子駆動時、前記第１電極６１と第２電極６３との間に共振現象を起こすことができる。これにより、有機発光ディスプレイ装置の駆動時、前記第１電極６１と第２電極６３との間の発光層６２Ｒ、６２Ｇ、６２Ｂで発生した光が、前記第１電極６１と第２電極６３との間で共振しつつ有機発光ディスプレイ装置の外部に取り出されるので、発光輝度及び発光効率を増大できる。

ここで、本発明の第１実施例による有機発光ディスプレイ装置は、補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’を備える中間層の厚さが、赤色、緑色及び青色の光を放出する副画素で相異なる厚さを持つように形成されることを一特徴とする。

さらに詳細には、赤色の光を放出する副画素で、前記補助層６２Ｒ’の厚さは１６００Åないし２２００Åでありうる。前記補助層６２Ｒ’の厚さが１６００Å未満であるか、または２２００Åを超過する場合、赤色発光層６２Ｒの共振効果に適した正孔注入特性及び正孔伝達特性を持つことができなくなるので色純度が不良になり、効率が低下しうる。また、前記補助層６２Ｒ’の厚さが２２００Åを超過する場合、駆動電圧が上昇してしまう。

一方、緑色の光を放出する副画素で、前記補助層６２Ｇ’の厚さは１０００Åないし１２００Åでありうる。前記補助層６２Ｇ’の厚さが１０００Å未満であるか、または１２００Åを超過する場合、緑色発光層６２Ｇの共振効果に適した正孔注入特性及び正孔伝達特性を持てなくなるので色純度が不良になり、効率が低下する。また、前記補助層６２Ｇ’の厚さが１２００Åを超過する場合、駆動電圧が上昇してしまう。

このような本発明の一実施形態に関する有機発光ディスプレイ装置によって、素子駆動時、第１電極と第２電極との間に共振現象が発生しうるが、この時、第１電極と第２電極との間に備えられた有機層のうち補助層６２Ｒ’、６２Ｇ’は、発光層の発光カラー別に前述したような厚さを備えるので、優れた駆動電圧、電流密度、発光輝度、色純度、発光効率及び寿命特性などを持つことができる。

ここで、赤色の光を放出する副画素の補助層６２Ｒ’と、緑色の光を放出する副画素の補助層６２Ｇ’とは、本発明の一実施形態に関する薄膜蒸着装置によってただ一回の工程だけで形成されうる。次に、これについて詳細に説明する。

［第１実施例］
以下、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法について詳細に説明する。

図３は、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に示した斜視図であり、図４は、図３の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な側面図であり、図５は、図３の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な平面図である。

図３、図４及び図５を参照すれば、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、蒸着源１１０、蒸着源ノズル部１２０、遮断板アセンブリー１３０及びパターニングスリットシート１５０を備える。

ここで、図３、図４及び図５には、説明の便宜のためにチャンバーを図示していないが、図３ないし図５のあらゆる構成は、適切な真空度が維持されるチャンバー内に配されることが望ましい。これは蒸着物質の直進性を確保するためである。

さらに詳細に、蒸着源１１０から放出された蒸着物質１１５を、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリットシート１５０を通過して基板６００に所望のパターンで蒸着させるためには、基本的にチャンバー（図示せず）の内部は、ＦＭＭ蒸着方法と同じ高真空状態を維持せねばならない。また遮断板１３１及びパターニングスリットシート１５０の温度が、蒸着源１１０の温度より十分に低くなければならない（約１００℃以下）。なぜなら、遮断板１３１の温度が十分に低くて初めて、遮断板１３１に衝突した蒸着物質１１５が再び蒸発する現象を防止でき、パターニングスリットシート１５０の温度が十分に低くて初めて、温度によるパターニングスリットシート１５０の熱膨張問題を最小化できるためである。この時、遮断板アセンブリー１３０は高温の蒸着源１１０に向かっており、蒸着源１１０と近いところは最大１６７℃ほど上昇するため、必要な場合、部分冷却装置がさらに備えられうる。このために、遮断板アセンブリー１３０には冷却部材が形成されうる。

このようなチャンバー（図示せず）内には被蒸着体である基板６００が配される。前記基板６００は平板表示装置用基板になりうるが、複数の平板表示装置を形成できるマザーガラスのような大面積基板が適用されうる。

ここで、本発明の第１実施例では、基板６００が薄膜蒸着アセンブリー１００に対して相対的に移動しつつ蒸着が行われることを一特徴とする。

さらに詳細には、既存ＦＭＭ蒸着方法では、ＦＭＭサイズが基板サイズと同一に形成されねばならない。したがって、基板サイズが増大するほどＦＭＭも大型化せねばならず、したがって、ＦＭＭ製作が容易でなく、ＦＭＭを引っ張って精密なパターンで整列し難いという問題点があった。

かかる問題点を解決するために、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、薄膜蒸着アセンブリー１００と基板６００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着が行われることを一特徴とする。言い換えれば、薄膜蒸着アセンブリー１００と対向するように配された基板６００が、Ｙ軸方向に沿って移動しつつ連続的に蒸着を行う。すなわち、基板６００が図３の矢印Ａ方向に移動しつつスキャニング方式で蒸着が行われることである。ここで、図面には、基板６００がチャンバー（図示せず）内でＹ軸方向に移動しつつ蒸着が行われると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されず、基板６００は固定されており、薄膜蒸着アセンブリー１００自体がＹ軸方向に移動しつつ蒸着を行うこともできるといえる。

したがって、本発明の薄膜蒸着アセンブリー１００では、従来のＦＭＭに比べて非常に小さくパターニングスリットシート１５０を設けることができる。すなわち、本発明の薄膜蒸着アセンブリー１００の場合、基板６００がＹ軸方向に沿って移動しつつ連続的に、すなわち、スキャニング方式で蒸着を行うため、パターニングスリットシート１５０のＸ軸方向及びＹ軸方向の長さは基板６００の長さより非常に小さく形成されうる。このように、従来のＦＭＭに比べて非常に小さくパターニングスリットシート１５０を設けることができるため、本発明のパターニングスリットシート１５０はその製造が容易である。すなわち、パターニングスリットシート１５０のエッチング作業や、その以後の精密引っ張り及び溶接作業、移動及び洗浄作業などのあらゆる工程で、小サイズのパターニングスリットシート１５０がＦＭＭ蒸着方法に比べて有利である。また、これは、ディスプレイ装置が大型化するほどさらに有利になる。

このように、薄膜蒸着アセンブリー１００と基板６００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着が行われるためには、薄膜蒸着アセンブリー１００と基板６００とが一定ほど離隔することが望ましい。これについては、後述する。

一方、チャンバー内で前記基板６００と対向する側には、蒸着物質１１５が収納及び加熱される蒸着源１１０が配される。前記蒸着源１１０内に収納されている蒸着物質１１５が気化するにつれて基板６００に蒸着が行われる。

さらに詳細には、蒸着源１１０は、その内部に蒸着物質１１５が充填される坩堝１１１と、坩堝１１１を加熱させて坩堝１１１の内部に充填された蒸着物質１１５を坩堝１１１の一側、さらに詳細には、蒸着源ノズル部１２０側に蒸発させるためのヒーター１１２とを備える。

蒸着源１１０の一側、さらに詳細には、蒸着源１１０から基板６００に向かう側には蒸着源ノズル部１２０が配される。そして、蒸着源ノズル部１２０には、Ｘ軸方向に沿って複数の蒸着源ノズル１２１が形成される。ここで、前記複数の蒸着源ノズル１２１は等間隔で形成されうる。蒸着源１１０内で気化した蒸着物質１１５は、このような蒸着源ノズル部１２０を通過して被蒸着体である基板６００側に向かうようになる。

蒸着源ノズル部１２０の一側には遮断板アセンブリー１３０が備えられる。前記遮断板アセンブリー１３０は、複数の遮断板１３１と、遮断板１３１の外側に備えられる遮断板フレーム１３２とを備える。前記複数の遮断板１３１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に備えられうる。ここで、前記複数の遮断板１３１は等間隔で形成されうる。また、それぞれの遮断板１３１は、図面から見た時、ＹＺ平面と平行になるように、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。このように配された複数の遮断板１３１は、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリットシート１５０との間の空間を複数の蒸着空間Ｓで区切る役割を行う。すなわち、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、前記遮断板１３１によって、蒸着物質が噴射されるそれぞれの蒸着源ノズル１２１別に蒸着空間Ｓが分離されることを一特徴とする。

ここで、それぞれの遮断板１３１は、互いに隣接している蒸着源ノズル１２１の間に配されうる。これは、言い換えれば、互いに隣接している遮断板１３１の間に一つの蒸着源ノズル１２１が配されるともいえる。望ましくは、蒸着源ノズル１２１は、互いに隣接している遮断板１３１間の正中央に位置できる。このように、遮断板１３１が、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリットシート１５０との間の空間を複数の蒸着空間Ｓで区切ることによって、一つの蒸着源ノズル１２１から排出される蒸着物質は、他の蒸着源ノズル１２１から排出された蒸着物質と混合されずに、パターニングスリット１５１を通過して基板６００に蒸着されることになる。言い換えれば、遮断板１３１は、蒸着源ノズル１２１を通じて排出される蒸着物質が分散されずに直進性を維持するように、蒸着物質のＺ軸方向の移動経路をガイドする役割を果たす。

このように、遮断板１３１を備えて蒸着物質の直進性を確保することによって、基板に形成される陰影のサイズを大幅に縮めることができ、したがって、薄膜蒸着アセンブリー１００と基板６００とを一定ほど離隔させることが可能になる。これについては、後述する。

一方、前記複数の遮断板１３１の外側には遮断板フレーム１３２がさらに備えられうる。遮断板フレーム１３２は、複数の遮断板１３１の上下面にそれぞれ備えられて、複数の遮断板１３１の位置を支持すると同時に、蒸着源ノズル１２１を通じて排出される蒸着物質が分散されないように、蒸着物質のＹ軸方向の移動経路をガイドする役割を果たす。

一方、図面には、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリー１３０とが一定ほど離隔されているものとして図示されているが、本発明の思想はこれに制限されない。すなわち、蒸着源１１０から発散される熱が遮断板アセンブリー１３０に伝導されることを防止するために、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリー１３０とを一定ほど離隔させて形成してもよく、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリー１３０との間に適切な断熱手段が備えられる場合、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリー１３０とが結合して接触してもよい。

一方、前記遮断板アセンブリー１３０は、薄膜蒸着アセンブリー１００から分離可能に形成されうる。さらに詳細には、従来のＦＭＭ蒸着方法は、蒸着効率が低いという問題点が存在した。ここで蒸着効率とは、蒸着源から気化した材料のうち実際に基板に蒸着された材料の比率を意味するものであって、従来のＦＭＭ蒸着方法での蒸着効率は約３２％ほどである。しかも、従来のＦＭＭ蒸着方法では、蒸着に使われていない約６８％ほどの有機物が蒸着器内部のあちこちに蒸着されるため、そのリサイクルが容易でないという問題点が存在した。

かかる問題点を解決するために、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー１００では、遮断板アセンブリー１３０を利用して蒸着空間を外部空間と分離したので、基板６００に蒸着されていない蒸着物質は、ほぼ遮断板アセンブリー１３０内に蒸着される。したがって、遮断板アセンブリー１３０を薄膜蒸着アセンブリー１００から分離可能に形成して、長時間蒸着後に遮断板アセンブリー１３０に蒸着物質が多く溜まれば、遮断板アセンブリー１３０を分離して別途の蒸着物質リサイクル装置に入れて蒸着物質を回収できる。このような構成を通じて、蒸着物質リサイクル率を高めることによって、蒸着効率が向上してコストダウンの効果を得ることができる。

一方、蒸着源１１０と基板６００との間には、パターニングスリットシート１５０及びフレーム１５５がさらに備えられる。フレーム１５５は概略窓枠状に形成され、その内側にパターニングスリットシート１５０が結合される。そして、パターニングスリットシート１５０には、Ｘ軸方向に沿って複数のパターニングスリット１５１が形成される。蒸着源１１０内で気化した蒸着物質１１５は、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリットシート１５０を通過して被蒸着体である基板６００側に向かうようになる。この時、前記パターニングスリットシート１５０は、従来のＦＭＭ、特にストライプタイプのマスクの製造方法と同じ方法であるエッチングを通じて製作されうる。

ここで、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、パターニングスリット１５１の長さが互いに異なって形成されることを一特徴とする。これについては、図６で詳細に説明する。

一方、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、蒸着源ノズル１２１の総数よりパターニングスリット１５１の総数がさらに多く形成される。また、互いに隣接している２つの遮断板１３１の間に配された蒸着源ノズル１２１の数より、パターニングスリット１５１の数がさらに多く形成される。

すなわち、互いに隣接している２つの遮断板１３１の間には一つの蒸着源ノズル１２１が配されうる。同時に、互いに隣接している２つの遮断板１３１の間には複数のパターニングスリット１５１が配されうる。そして、互いに隣接している２つの遮断板１３１によって、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリットシート１５０との間の空間が区切られて、それぞれの蒸着源ノズル１２１別に蒸着空間Ｓが分離される。したがって、一つの蒸着源ノズル１２１から放射された蒸着物質は、大部分同じ蒸着空間Ｓにあるパターニングスリット１５１を通過して基板６００に蒸着されるようになる。

一方、前述した遮断板アセンブリー１３０とパターニングスリットシート１５０とは、互いに一定ほど離隔して形成され、或いは遮断板アセンブリー１３０とパターニングスリットシート１５０とは、連結部材１３５によって互いに連結されうる。さらに詳細には、高温状態の蒸着源１１０により遮断板アセンブリー１３０の温度は最大１００℃以上に上昇するため、上昇した遮断板アセンブリー１３０の温度がパターニングスリットシート１５０に伝導されないように、遮断板アセンブリー１３０とパターニングスリットシート１５０とを一定ほど離隔させてもよい。

前述したように、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー１００は、基板６００に対して相対的に移動しつつ蒸着を行う。このように薄膜蒸着アセンブリー１００が基板６００に対して相対的に移動するために、パターニングスリットシート１５０は基板６００から一定ほど離隔して形成される。そして、パターニングスリットシート１５０と基板６００とを離隔させる場合に発生する陰影問題を解決するために、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリットシート１５０との間に遮断板１３１を備えて蒸着物質の直進性を確保することによって、基板に形成される陰影のサイズを大幅に縮めることができる。

さらに詳細には、従来のＦＭＭ蒸着方法では、基板に陰影が生じないようにするために、基板にマスクを密着させて蒸着工程を進めた。しかし、このように基板にマスクを密着させる場合、基板とマスクとの接触による欠陥が発生するという問題点があった。また、マスクを基板に対して移動させられないため、マスクが基板と同じサイズで形成されねばならない。したがって、ディスプレイ装置が大型化するにつれてマスクのサイズも大きくならねばならないが、このような大型マスクを形成し難いという問題点があった。

このような問題点を解決するために、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー１００では、パターニングスリットシート１５０が、被蒸着体である基板６００と所定間隔をおいて離隔して配されるようにする。これは、遮断板１３１を備えて、基板６００に生成される陰影が小さくなることによって実現可能になる。

このような本発明によってマスクを基板より小さく形成した後、マスクを基板に対して移動させつつ蒸着を行えるようになることで、マスク製作が容易になる効果を得ることができる。また、基板とマスクとの接触による欠陥を防止する効果を得ることができる。また、工程で基板とマスクとを密着させる時間が不要になるため、製造速度が向上する効果を得ることができる。また、遮断板１３１を備えることによって、基板６００に生成される陰影が小さくなり、したがって、パターニングスリットシート１５０を基板６００から離隔させることができる。

以下、本発明の第１実施例による薄膜蒸着アセンブリーのパターニングスリットシートについて詳細に説明する。

図６は、本発明の第１実施例による薄膜蒸着アセンブリーのパターニングスリットシートを示した平面図である。図６を参照すれば、本発明の第１実施例に関する薄膜蒸着アセンブリーは、パターニングスリット１５１の長さが互いに異なって形成されることを一特徴とする。

前述したように、本発明の第１実施例による有機発光ディスプレイ装置は、補助層（図２の６２Ｒ’、６２Ｇ’参照）を備える中間層の厚さが、赤色、緑色及び青色の光を放出する副画素で相異なる厚さを持つように形成される。この時、前記各副画素の厚さは、補助層（図２の６２Ｒ’、６２Ｇ’参照）を調節することによって制御できる。すなわち、赤色の光を放出する副画素の補助層（図２の６２Ｒ’参照）を最も厚く形成し、緑色の光を放出する副画素の補助層（図２の６２Ｇ’参照）はこれより薄く形成し、青色の光を放出する副画素の補助層はこれよりより薄く形成するか、または全く形成しない。

ところが、既存のＦＭＭ蒸着方法では、一回に１層のみ積層できるため、赤色副画素の補助層（図２の６２Ｒ’参照）と緑色副画素の補助層（図２の６２Ｇ’参照）とを、別途の工程を通じて蒸着することが一般的であった。

しかし、赤色副画素の補助層（図２の６２Ｒ’参照）と緑色副画素の補助層（図２の６２Ｇ’参照）とは、互いに同じ材質からなり、ただし、その蒸着位置と蒸着厚さのみ異なるため、本発明の第１実施例による薄膜蒸着アセンブリーは、赤色副画素領域と緑色副画素領域と青色副画素領域とのパターニングスリット１５１の長さを互いに異なって形成して、赤色副画素の補助層（図２の６２Ｒ’参照）と緑色副画素の補助層（図２の６２Ｇ’参照）とを一回に形成することを一特徴とする。

すなわち、パターニングスリット１５１は、第１パターニングスリット１５１ａと第２パターニングスリット１５１ｂとを備える。ここで、第１パターニングスリット１５１ａは、赤色副画素領域に対応するように形成され、第２パターニングスリット１５１ｂは、緑色副画素領域に対応するように形成される。すなわち、パターニングスリット１５１を通過した蒸着物質のみ基板６００に蒸着されるので、パターニングスリット１５１のサイズが大きいほど、基板６００に蒸着される有機膜の厚さが厚くなる。したがって、厚さが最も厚くすべき赤色副画素の補助層（図２の６２Ｒ’参照）を形成するための第１パターニングスリット１５１ａの長さが最も長く、これより厚さが薄くすべき緑色副画素の補助層（図２の６２Ｇ’参照）を形成するための第２パターニングスリット１５１ｂの長さは、第１パターニングスリット１５１ａの長さより短く、青色副画素に対応する領域にはパターニングスリットが形成されないことである。ここで、図面には、青色副画素領域に対応する部分にはパターニングスリットが形成されていないと図示されているが、本発明の思想はこれに制限されず、青色副画素領域にも補助層が形成されねばならない場合、これに該当するようにパターニングスリットが形成されることもある。

このようにパターニングスリットの長さを差等化して、蒸着物質が多く蒸着される部分は、パターニングスリットの長さを長くして蒸着物質を多く通過させ、蒸着物質が少なく蒸着される部分は、パターニングスリットの長さを短くして蒸着物質を少なく通過させて、一回に２枚の膜を同時に成膜させることで、薄膜蒸着アセンブリーの数を低減させることができ、製品の製造時間を短縮でき、製品の製造装備が簡単になる効果を得ることができる。

図６Ｂは、図６Ａのパターニングスリットシートの一変形例を示した平面図である。図６Ｂに図示されたように、相異なる長さの第１パターニングスリット１５１ｃと第２パターニングスリット１５１ｄとが一体に形成されてもよい。この場合、パターニングスリットシート１５１’の製造がさらに容易になる効果を得ることができる。

一方、有機層（図２の６２参照）の厚さは、有機発光素子の構造を最適化する過程で変更されうる。したがって、各補助層（図２の６２Ｒ’、６２Ｇ’参照）の厚さも変更されうる。ここで、各補助層（図２の６２Ｒ’、６２Ｇ’参照）の厚さが変更される度に、パターニングスリットシートを新たに製作せねばならないという面倒さを回避するために、図６Ｃに図示されたように、遮蔽板１５２をさらに備えることができる。すなわち、パターニングスリットシート１５１’の一部を遮蔽できる遮蔽板１５２を備えて、この遮蔽板１５２の面積を調節することによって、別途のパターニングスリットシートを製作しなくても補助層（図２の６２Ｒ’、６２Ｇ’参照）の厚さを調節できる。

一方、図６Ｂに図示されたようにパターニングスリットシート１５１’が形成される場合、パターニングスリットシート１５１’の上下部が非対称形状に形成されるため、パターニングスリットシート１５１’の製作が容易ではない。これを解決するために、図６Ｄに図示されたように、第１パターニングスリット１５１ｅの中央部分に第２パターニングスリット１５１ｆが位置するようにパターニングスリットシート１５１”を形成してもよい。

さらに、パターニングスリットシート１５１’の引っ張り時に発生する変形を最小化するために、図６Ｅに図示されたように、第１パターニングスリット１５１ｇの中央部分に第２パターニングスリット１５１ｈが位置するが、第２パターニングスリット１５１ｈの両端部を傾斜するように形成して、パターニングスリットシート１５１’’’を形成してもよい。

［第２実施例］
図７は、本発明の第２実施例に関する薄膜蒸着装置を概略的に示した斜視図である。

図７を参照すれば、本発明の第２実施例に関する薄膜蒸着装置は、図３ないし図６で説明した薄膜蒸着アセンブリーを複数備えることを一特徴とする。言い換えれば、本発明の第２実施例に関する薄膜蒸着装置は、補助層Ｒ’、Ｇ’材料、赤色発光層Ｒ材料、緑色発光層Ｇ材料、青色発光層Ｂ材料を一度に放射できるマルチ蒸着源（multi source）を備えることを一特徴とする。

さらに詳細には、本発明の第２実施例に関する薄膜蒸着装置は、第１薄膜蒸着アセンブリー１００、第２薄膜蒸着アセンブリー２００、第３薄膜蒸着アセンブリー３００及び第４薄膜蒸着アセンブリー４００を備える。このような第１薄膜蒸着アセンブリー１００、第２薄膜蒸着アセンブリー２００、第３薄膜蒸着アセンブリー３００及び第４薄膜蒸着アセンブリー４００それぞれの構成は、図３ないし図６で説明した薄膜蒸着アセンブリーと同一であるので、ここではその詳細な説明は省略する。

ここで、第１薄膜蒸着アセンブリー１００、第２薄膜蒸着アセンブリー２００、第３薄膜蒸着アセンブリー３００及び第４薄膜蒸着アセンブリー４００の蒸着源には、相異なる蒸着物質が備えられうる。例えば、第１薄膜蒸着アセンブリー１００には補助層Ｒ’、Ｇ’の材料になる蒸着物質が備えられ、第２薄膜蒸着アセンブリー２００には赤色発光層Ｒの材料になる蒸着物質が備えられ、第３薄膜蒸着アセンブリー３００には緑色発光層Ｇの材料になる蒸着物質が備えられ、第４薄膜蒸着アセンブリー４００には青色発光層Ｂの材料になる蒸着物質が備えられうる。

すなわち、従来の有機発光ディスプレイ装置の製造方法では、各色相別に別途のチャンバーとマスクとを備えることが一般的であったが、本発明の第２実施例に関する薄膜蒸着装置を利用すれば、一つのマルチソースで補助層Ｒ’、Ｇ’、赤色発光層Ｒ、緑色発光層Ｇ及び青色発光層Ｂを一度に蒸着できる。したがって、有機発光ディスプレイ装置の生産時間が画期的に短縮すると同時に、備えられるべきチャンバー数が減少することによって、コストも顕著に低減す効果を得ることができる。

この場合、第１薄膜蒸着アセンブリー１００のパターニングスリットシート１５０は、前述したように相異なる長さを持つ第１パターニングスリット１５１ａと第２パターニングスリット１５１ｂとを備える。ここで第１パターニングスリット１５１ａは、赤色副画素領域に対応するように形成され、第２パターニングスリット１５１ｂは、緑色副画素領域に対応するように形成される。

また、第２薄膜蒸着アセンブリー２００、第３薄膜蒸着アセンブリー３００及び第４薄膜蒸着アセンブリー４００のパターニングスリットシート２５０、３５０、４５０は、互いに一定ほどオフセットされて配されることによって、その蒸着領域を重畳させないことができる。言い換えれば、第２薄膜蒸着アセンブリー２００が赤色発光層Ｒの蒸着を担当し、第３薄膜蒸着アセンブリー３００が緑色発光層Ｇの蒸着を担当し、第４薄膜蒸着アセンブリー４００が青色発光層Ｂの蒸着を担当する場合、第２薄膜蒸着アセンブリー２００のパターニングスリット２５１と、第３薄膜蒸着アセンブリー３００のパターニングスリット３５１と、第４薄膜蒸着アセンブリー４００のパターニングスリット４５１とが互いに同一線上に位置しないように配されることによって、基板上の相異なる領域に、それぞれ赤色発光層Ｒ、緑色発光層Ｇ、青色発光層Ｂを形成させることができる。

ここで、補助層Ｒ’、Ｇ’の材料になる蒸着物質と、赤色発光層Ｒの材料になる蒸着物質と、緑色発光層Ｇの材料になる蒸着物質と、青色発光層Ｂの材料になる蒸着物質とは、互いに気化する温度が相異なるので、前記第１薄膜蒸着アセンブリー１００の蒸着源１１０の温度と、前記第２薄膜蒸着アセンブリー２００の蒸着源２１０の温度と、前記第３薄膜蒸着アセンブリー３００の蒸着源３１０の温度と、前記第４薄膜蒸着アセンブリー４００の蒸着源４１０の温度とが相異なるように設定されることも可能であるといえる。

一方、図面には、薄膜蒸着アセンブリーが４つ備えられるように図示されているが、本発明の思想はこれに制限されない。すなわち、本発明の第２実施例に関する薄膜蒸着装置は薄膜蒸着アセンブリーを複数備えることができ、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーそれぞれに相異なる物質を備えることができる。

このように、複数の薄膜蒸着アセンブリーを備えて、複数の薄膜層を一度に形成可能にすることによって、歩留まり及び蒸着効率が向上する効果を得ることができる。また、製造工程が簡単になってコストダウン効果を得ることができる。

このような構成の薄膜蒸着装置を利用して有機発光ディスプレイ装置の発光層を備える有機膜（図２の６２参照）を製造できる。ここで、有機発光ディスプレイ装置を製造する方法は、基板６００が薄膜蒸着装置に対して所定距離ほど離隔して配される段階、及び薄膜蒸着装置と基板のうちいずれか一側が他側に対して相対的に移動しつつ前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質が基板に蒸着される段階を含む。

これをさらに詳細に説明すれば、次の通りである。

まず、基板６００が薄膜蒸着装置に対して所定距離ほど離隔するように配される。前述したように、本発明の薄膜蒸着装置は、基板６００より小さく形成されて製造の容易なパターニングスリットシート１５０を備えるために、薄膜蒸着装置と基板６００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着が行われることを一特徴とする。言い換えれば、薄膜蒸着装置と対向するように配された基板６００がＹ軸方向に沿って移動しつつ、連続的に蒸着が行われる。すなわち、基板６００が図７の矢印Ｂ方向に移動しつつ、スキャニング方式で蒸着が行われることである。そして、薄膜蒸着装置と基板６００とが互いに相対的に移動するためには、薄膜蒸着装置と基板６００とが一定ほど離隔せねばならない。したがって、基板６００は、チャンバー（図示せず）内で薄膜蒸着装置と所定距離ほど離隔するように配される。

次いで、薄膜蒸着装置と基板６００のうちいずれか一側が他側に対して相対的に移動しつつ、薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質が基板に蒸着される。前述したように、本発明の薄膜蒸着装置は基板６００より小さく形成されて、製造の容易なパターニングスリットシート１５０を備えるために、薄膜蒸着装置と基板６００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着が行われる。図７などには、薄膜蒸着装置が固定されている状態で基板６００が図面のＹ軸方向に移動すると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されず、基板が固定されている状態で薄膜蒸着装置が全体的に移動することも可能であるといえる。

ここで、本発明の第２実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法は、補助層Ｒ’、Ｇ’材料、赤色発光層Ｒ材料、緑色発光層Ｇ材料、青色発光層Ｂ材料が一度に放射されるマルチ蒸着源を備えて、複数の有機層が一度に蒸着されることを一特徴とする。すなわち、薄膜蒸着アセンブリーを複数備えることによって、一つのマルチソースで補助層Ｒ’、Ｇ’、赤色発光層Ｒ、緑色発光層Ｇ及び青色発光層Ｂを一度に蒸着できるようになり、したがって、有機発光ディスプレイ装置の生産時間が画期的に短縮すると同時に、備えられるべきチャンバー数が減少することによって、コストも顕著に低減する効果を得ることができる。

［第３実施例］
図８は、本発明の第３実施例に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に示した斜視図である。

図８を参照すれば、本発明の第３実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー５００は、蒸着源５１０、蒸着源ノズル部５２０、第１遮断板アセンブリー５３０、第２遮断板アセンブリー５４０、パターニングスリットシート５５０及び基板６００を備える。

ここで、図８には、説明の便宜のためにチャンバーを図示していないが、図８のあらゆる構成は、適切な真空度が維持されるチャンバー内に配されることが望ましい。これは、蒸着物質の直進性を確保するためである。

このようなチャンバー（図示せず）内には被蒸着体である基板６００が配される。そして、チャンバー（図示せず）内で基板６００と対向する側には、蒸着物質５１５が収納及び加熱される蒸着源５１０が配される。蒸着源５１０は坩堝５１１と、ヒーター５１２とを備える。

蒸着源５１０の一側、さらに詳細には、蒸着源５１０から基板６００に向かう側には蒸着源ノズル部５２０が配される。そして、蒸着源ノズル部５２０には、Ｘ軸方向に沿って複数の蒸着源ノズル５２１が形成される。

蒸着源ノズル部５２０の一側には第１遮断板アセンブリー５３０が備えられる。前記第１遮断板アセンブリー５３０は、複数の第１遮断板５３１と、第１遮断板５３１の外側に備えられる第１遮断板フレーム５３２とを備える。

第１遮断板アセンブリー５３０の一側には第２遮断板アセンブリー５４０が備えられる。前記第２遮断板アセンブリー５４０は、複数の第２遮断板５４１と、第２遮断板５４１の外側に備えられる第２遮断板フレーム５４２とを備える。

そして、蒸着源５１０と基板６００との間には、パターニングスリットシート５５０及びフレーム５５５がさらに備えられる。フレーム５５５は概略窓枠状のような格子形態に形成され、その内側にパターニングスリットシート５５０が結合される。そして、パターニングスリットシート５５０には、Ｘ軸方向に沿って複数のパターニングスリット５５１が形成される。

ここで、本発明の第３実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー５００は、遮断板アセンブリーが第１遮断板アセンブリー５３０と第２遮断板アセンブリー５４０とに分離されていることを一特徴とする。

さらに詳細には、前記複数の第１遮断板５３１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に備えられうる。そして、前記複数の第１遮断板５３１は等間隔で形成されうる。また、それぞれの第１遮断板５３１は、図面から見た時、ＹＺ平面と平行になるように、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。

また、前記複数の第２遮断板５４１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に備えられうる。そして、前記複数の第２遮断板５４１は等間隔で形成されうる。また、それぞれの第２遮断板５４１は、図面から見た時、ＹＺ平面と平行になるように、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。

このように配された複数の第１遮断板５３１及び第２遮断板５４１は、蒸着源ノズル部５２０とパターニングスリットシート５５０との間の空間を区切る役割を行う。ここで、本発明の第３実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー５００は、前記第１遮断板５３１及び第２遮断板５４１によって、蒸着物質が噴射されるそれぞれの蒸着源ノズル５２１別に蒸着空間が分離されることを一特徴とする。

ここで、それぞれの第２遮断板５４１は、それぞれの第１遮断板５３１と一対一対応するように配されうる。言い換えれば、それぞれの第２遮断板５４１は、それぞれの第１遮断板５３１と整列されて互いに平行に配されうる。すなわち、互いに対応する第１遮断板５３１と第２遮断板５４１とは、互いに同じ平面上に位置する。このように、互いに平行に配された第１遮断板５３１及び第２遮断板５４１によって、蒸着源ノズル部５２０と後述するパターニングスリットシート５５０との間の空間が区切られることによって、一つの蒸着源ノズル５２１から排出される蒸着物質は、他の蒸着源ノズル５２１から排出された蒸着物質と混合されず、パターニングスリット５５１を通過して基板６００に蒸着される。言い換えれば、第１遮断板５３１及び第２遮断板５４１は、蒸着源ノズル５２１を通じて排出される蒸着物質が分散されないように、蒸着物質のＺ軸方向の移動経路をガイドする役割を果たす。

図面には、第１遮断板５３１のＸ軸方向の幅と第２遮断板５４１のＸ軸方向の幅とが同一であると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されない。すなわち、パターニングスリットシート５５０との精密な整列が要求される第２遮断板５４１は相対的に薄く形成される一方、精密な整列が要求されない第１遮断板５３１は相対的に厚く形成されて、その製造を容易にすることも可能であるといえる。

一方、図面には図示されていないが、本発明に第３実施例に関する薄膜蒸着装置には、薄膜蒸着アセンブリーが複数備えられうる。すなわち、本発明の第３実施例に関する薄膜蒸着装置は、補助層Ｒ’、Ｇ’材料、赤色発光層Ｒ材料、緑色発光層Ｇ材料、青色発光層Ｂ材料が一度に放射されるマルチ蒸着源を備えることもできる。そして、基板６００は、図８の矢印Ｃ方向に移動しつつスキャニング方式で蒸着が行われる。このような複数の薄膜蒸着アセンブリーについては第２実施例で詳細に記述したので、本実施形態ではその詳細な説明は省略する。

［第４実施例］
図９は、本発明の第４実施例に関する薄膜蒸着アセンブリーを概略的に示した斜視図であり、図１０は、図９の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な側面図であり、図１１は、図９の薄膜蒸着アセンブリーの概略的な平面図である。

図９、図１０及び図１１を参照すれば、本発明の第４実施例に関する薄膜蒸着アセンブリー７００は、蒸着源７１０、蒸着源ノズル部７２０及びパターニングスリットシート７５０を備える。

ここで、図９、図１０及び図１１には、説明の便宜のためにチャンバーを図示していないが、図９ないし図１１のあらゆる構成は、適切な真空度が維持されるチャンバー内に配されることが望ましい。これは、蒸着物質の直進性を確保するためである。

このようなチャンバー（図示せず）内には被蒸着体である基板６００が配される。そして、チャンバー（図示せず）内で基板６００と対向する側には、蒸着物質７１５が収納及び加熱される蒸着源７１０が配される。蒸着源７１０は坩堝７１１と、ヒーター７１２とを備える。

蒸着源７１０の一側、さらに詳細には、蒸着源７１０から基板６００に向かう側には蒸着源ノズル部７２０が配される。そして、蒸着源ノズル部７２０には、Ｙ軸方向、すなわち、基板６００のスキャン方向に沿って複数の蒸着源ノズル７２１が形成される。ここで、前記複数の蒸着源ノズル７２１は等間隔で形成されうる。蒸着源７１０内で気化した蒸着物質７１５は、このような蒸着源ノズル部７２０を通過して被蒸着体である基板６００側に向かう。このように、蒸着源ノズル部７２０上にＹ軸方向、すなわち、基板６００のスキャン方向に沿って複数の蒸着源ノズル７２１が形成する場合、パターニングスリットシート７５０のそれぞれのパターニングスリット７５１を通過する蒸着物質により形成されるパターンのサイズは、蒸着源ノズル７２１の一つのサイズのみに影響されるので（すなわち、Ｘ軸方向には蒸着源ノズル７２１が一つしか存在していないので）、陰影が発生しなくなる。また、複数の蒸着源ノズル７２１がスキャン方向に存在するので、個別蒸着源ノズル間のフラックス（ｆｌｕｘ）差が発生しても、その差が相殺されて蒸着均一度が一定に維持される効果を得ることができる。

一方、蒸着源７１０と基板６００との間には、パターニングスリットシート７５０及びフレーム７５５がさらに備えられる。フレーム７５５は、概略窓枠状に形成され、その内側にパターニングスリットシート７５０が結合される。そして、パターニングスリットシート７５０には、Ｘ軸方向に沿って複数のパターニングスリット７５１が形成される。蒸着源７１０内で気化した蒸着物質７１５は、蒸着源ノズル部７２０及びパターニングスリットシート７５０を通過して、被蒸着体である基板６００側に向かう。この時、前記パターニングスリットシート７５０は、従来のＦＭＭ、特にストライプタイプのマスクの製造方法と同じ方法であるエッチングを通じて製作されうる。

ここで、本発明の第４実施例に関する薄膜蒸着アセンブリーは、パターニングスリット７５１の長さを互いに異なって形成して、赤色副画素の補助層（図２の６２Ｒ’参照）と緑色副画素の補助層（図２の６２Ｇ’参照）とを一度に形成することを一特徴とする。すなわち、パターニングスリット７５１は、第１パターニングスリット７５１ａと第２パターニングスリット７５１ｂとを備える。ここで、第１パターニングスリット７５１ａは、赤色副画素領域に対応するように形成され、第２パターニングスリット７５１ｂは、緑色副画素領域に対応するように形成される。ここで、厚さが最も厚くすべき赤色副画素の補助層（図２の６２Ｒ’参照）を形成するための第１パターニングスリット７５１ａの長さが最も長く、これより厚さが薄くすべき緑色副画素の補助層（図２の６２Ｇ’参照）を形成するための第２パターニングスリット７５１ｂの長さは、第１パターニングスリット７５１ａの長さより短く、青色副画素に対応する領域にはパターニングスリットが形成されていない。このようなパターニングスリット７５１については第１実施例で詳細に説明したので、ここでは、その詳細な説明は省略する。

一方、前述した蒸着源７１０（及びこれと結合された蒸着源ノズル部７２０）とパターニングスリットシート７５０とは、互いに一定ほど離隔して形成され、蒸着源７１０（及びこれと結合された蒸着源ノズル部７２０）とパターニングスリットシート７５０とは、連結部材７３５によって互いに連結されうる。すなわち、蒸着源７１０、蒸着源ノズル部７２０及びパターニングスリットシート７５０が、連結部材７３５により連結されて互いに一体に形成されうる。ここで連結部材７３５は、蒸着源ノズル７２１を通じて排出される蒸着物質が分散されないように、蒸着物質の移動経路をガイドできる。図面には、連結部材７３５が蒸着源７１０、蒸着源ノズル部７２０及びパターニングスリットシート７５０の左右方向のみに形成されて、蒸着物質のＸ軸方向のみをガイドすると図示されているが、これは図示の便宜のためのものであって、本発明の思想はこれに制限されず、連結部材７３５がボックス形態の密閉型に形成されて、蒸着物質のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を同時にガイドすることもできる。

前述したように、本発明の一実施形態に関する薄膜蒸着アセンブリー７００は、基板６００に対して相対的に移動しつつ蒸着を行い、このように薄膜蒸着アセンブリー７００が基板６００に対して相対的に移動するために、パターニングスリットシート７５０は、基板６００から一定ほど離隔して形成される。

このような本発明によってマスクを基板より小さく形成した後、マスクを基板に対して移動させつつ蒸着を行えるようになって、マスク製作が容易になる効果を得ることができる。また、基板とマスクとの接触による不良を防止する効果を得ることができる。また、工程で基板とマスクとを密着させる時間が不要になるため、製造速度が向上する効果を得ることができる。

［第５実施例］
図１２は、本発明の第５実施例に関する薄膜蒸着装置を概略的に示した斜視図である。

図１２を参照すれば、本発明の第５実施例に関する薄膜蒸着装置は、図９ないし図１１で説明した薄膜蒸着アセンブリーが複数備えられることを一特徴とする。言い換えれば、本発明の第５実施例に関する薄膜蒸着装置は、補助層Ｒ’、Ｇ’材料、赤色発光層Ｒ材料、緑色発光層Ｇ材料、青色発光層Ｂ材料が一度に放射されるマルチ蒸着源を備えることを一特徴とする。

さらに詳細には、本発明の第５実施例に関する薄膜蒸着装置は、第１薄膜蒸着アセンブリー７００、第２薄膜蒸着アセンブリー８００、第３薄膜蒸着アセンブリー９００及び第４薄膜蒸着アセンブリー１０００を備える。このような第１薄膜蒸着アセンブリー７００、第２薄膜蒸着アセンブリー８００、第３薄膜蒸着アセンブリー９００及び第４薄膜蒸着アセンブリー１０００それぞれの構成は、図９ないし図１１で説明した薄膜蒸着アセンブリーと同一であるので、ここではその詳細な説明は省略する。

ここで、第１薄膜蒸着アセンブリー７００、第２薄膜蒸着アセンブリー８００、第３薄膜蒸着アセンブリー９００及び第４薄膜蒸着アセンブリー１０００の蒸着源には、相異なる蒸着物質が備えられうる。例えば、第１薄膜蒸着アセンブリー７００には、補助層Ｒ’、Ｇ’の材料になる蒸着物質が備えられ、第２薄膜蒸着アセンブリー８００には、赤色発光層Ｒの材料になる蒸着物質が備えられ、第３薄膜蒸着アセンブリー９００には、緑色発光層Ｇの材料になる蒸着物質が備えられ、第４薄膜蒸着アセンブリー１０００には、青色発光層Ｂの材料になる蒸着物質が備えられうる。

すなわち、従来の有機発光ディスプレイ装置の製造方法では、各色相別に別途のチャンバーとマスクとを備えることが一般的であったが、本発明の第５実施例に関する薄膜蒸着装置を利用すれば、一つのマルチソースで、補助層Ｒ’、Ｇ’、赤色発光層Ｒ、緑色発光層Ｇ及び青色発光層Ｂを一度に蒸着できる。したがって、有機発光ディスプレイ装置の生産時間が画期的に短縮すると同時に、備えられねばならないチャンバー数が減少することによって、コストも顕著に低減する効果を得ることができる。

この場合、第１薄膜蒸着アセンブリー７００のパターニングスリットシート７５０は、前述したように相異なる長さを持つ第１パターニングスリット７５１ａと第２パターニングスリット７５１ｂとを備える。ここで、第１パターニングスリット７５１ａは、赤色副画素領域に対応するように形成され、第２パターニングスリット７５１ｂは、緑色副画素領域に対応するように形成される。

また、第２薄膜蒸着アセンブリー８００、第３薄膜蒸着アセンブリー９００及び第４薄膜蒸着アセンブリー１０００のパターニングスリットシート８５０、９５０、１０５０は、互いに一定ほどオフセットされて配されることによって、その蒸着領域を重畳させないことができる。言い換えれば、第２薄膜蒸着アセンブリー８００が赤色発光層Ｒの蒸着を担当し、第３薄膜蒸着アセンブリー９００が緑色発光層Ｇの蒸着を担当し、第４薄膜蒸着アセンブリー１０００が青色発光層Ｂの蒸着を担当する場合、第２薄膜蒸着アセンブリー８００のパターニングスリット８５１と、第３薄膜蒸着アセンブリー９００のパターニングスリット９５１と、第４薄膜蒸着アセンブリー１０００のパターニングスリット１０５１とが、互いに同一線上に位置しないように配されることによって、基板上の相異なる領域にそれぞれ赤色発光層Ｒ、緑色発光層Ｇ、青色発光層Ｂを形成させることができる。

ここで、補助層Ｒ’、Ｇ’の材料になる蒸着物質と、赤色発光層Ｒの材料になる蒸着物質と、緑色発光層Ｇの材料になる蒸着物質と、青色発光層Ｂの材料になる蒸着物質とは、互いに気化する温度が相異なりうるので、前記第１薄膜蒸着アセンブリー７００の蒸着源７１０の温度と、前記第２薄膜蒸着アセンブリー８００の蒸着源８１０の温度と、前記第３薄膜蒸着アセンブリー９００の蒸着源９１０の温度と、前記第４薄膜蒸着アセンブリー１０００の蒸着源１０１０の温度とを、相異なるように設定することも可能であるといえる。

一方、図面には、薄膜蒸着アセンブリーが４つ備えられると図示されているが、本発明の思想はこれに制限されない。すなわち、本発明の第５実施例に関する薄膜蒸着装置は薄膜蒸着アセンブリーを複数備えることができ、前記複数の薄膜蒸着アセンブリーそれぞれに相異なる物質を備えることができる。

このように、複数の薄膜蒸着アセンブリーを備えて、複数の薄膜層を一度に形成可能にすることによって、歩留まり及び蒸着効率が向上する効果を得ることができる。また、製造工程が簡単になってコストダウン効果を得ることができる。

本発明は図面に図示された実施形態を参考までに説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって定められねばならない。

本発明は、大型基板の量産工程に容易に適用できる。

１００、７００ 薄膜蒸着装置
１１０、７１０ 蒸着源
１２０、７２０ 蒸着源ノズル部
１３０ 遮断板アセンブリー
１３１ 遮断板
１３２ 遮断板フレーム
１５０、７５０ パターニングスリットシート
１５１、７５１ パターニングスリット
１５５、７５５ フレーム
６００ 基板

Claims (46)

1. 基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、
   蒸着物質を放射する蒸着源と、
   前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、
   前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、
   前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に前記第１方向に沿って配されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備え、
   前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定距離ほど離隔して形成され、
   前記薄膜蒸着装置と前記基板とは、いずれか一側が他側に対して相対的に移動自在に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置。
2. 前記パターニングスリットは、第１長さを持つ第１パターニングスリットと、前記第１長さと異なる第２長さを持つ第２パターニングスリットとを備えることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
3. 前記第１パターニングスリットと前記第２パターニングスリットとは、互いに交互に配されることを特徴とする請求項２に記載の薄膜蒸着装置。
4. 前記第１パターニングスリットは、赤色副画素領域に対応するように形成され、前記第２パターニングスリットは、緑色副画素領域に対応するように形成され、前記第１パターニングスリットの長さが、前記第２パターニングスリットの長さより長く形成されることを特徴とする請求項２に記載の薄膜蒸着装置。
5. 前記パターニングスリットシート上で、青色副画素領域に対応する領域にはパターニングスリットが形成されていないことを特徴とする請求項４に記載の薄膜蒸着装置。
6. 前記各パターニングスリットの長さによって、前記基板上に蒸着される各蒸着物質の蒸着量が制御されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
7. 前記蒸着源から放射された蒸着物質は、前記基板上の赤色副画素領域と緑色副画素領域とに同時に蒸着されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
8. 前記赤色副画素領域に蒸着された蒸着物質の厚さは、前記緑色副画素領域に蒸着された蒸着物質の厚さより厚く形成されることを特徴とする請求項７に記載の薄膜蒸着装置。
9. 前記複数の遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直な第２方向に形成されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切ることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
10. 前記複数の遮断板は、等間隔で配されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
11. 前記遮断板アセンブリーは、複数の第１遮断板を備える第１遮断板アセンブリーと、複数の第２遮断板を備える第２遮断板アセンブリーと、を備えることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
12. 前記複数の第１遮断板及び前記複数の第２遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直な第２方向に形成されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切ることを特徴とする請求項１１に記載の薄膜蒸着装置。
13. 前記複数の第１遮断板及び前記複数の第２遮断板それぞれは、互いに対応するように配されることを特徴とする請求項１１に記載の薄膜蒸着装置。
14. 前記互いに対応する第１遮断板及び第２遮断板は、実質的に同じ平面上に位置するように配されることを特徴とする請求項１３に記載の薄膜蒸着装置。
15. 前記薄膜蒸着装置は、複数の薄膜蒸着アセンブリーを備え、
    前記複数の薄膜蒸着アセンブリーそれぞれは、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部、前記パターニングスリットシート及び前記遮断板アセンブリーを備えることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
16. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、別個の蒸着物質がそれぞれ備えられることを特徴とする請求項１５に記載の薄膜蒸着装置。
17. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられた各蒸着物質が、同時に前記基板上に蒸着されることを特徴とする請求項１５に記載の薄膜蒸着装置。
18. 前記薄膜蒸着アセンブリーは少なくとも４つが備えられ、前記少なくとも４つの薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられる蒸着物質は、それぞれ補助層材料、赤色発光層材料、緑色発光層材料及び青色発光層材料であることを特徴とする請求項１５に記載の薄膜蒸着装置。
19. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源は、各蒸着源別に蒸着温度を制御できるように備えられることを特徴とする請求項１５に記載の薄膜蒸着装置。
20. 前記基板が前記薄膜蒸着装置に対して相対的に移動しつつ、前記基板上に前記薄膜蒸着装置の蒸着物質が連続的に蒸着されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
21. 前記薄膜蒸着装置と前記基板とは、前記基板で前記蒸着物質が蒸着される面と平行な面に沿って、いずれか一側が他側に対して相対的に移動することを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
22. 前記各薄膜蒸着アセンブリーの前記パターニングスリットシートは、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項１５に記載の薄膜蒸着装置。
23. 前記遮断板アセンブリーは、前記蒸着源から放射される前記蒸着物質の放射経路をガイドすることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
24. 基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、
    蒸着物質を放射する蒸着源と、
    前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、
    前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第１方向に対して垂直な第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、を備え、
    前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して前記第１方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、
    前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリットシートは、一体に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置。
25. 前記パターニングスリットは、第１長さを持つ第１パターニングスリットと、前記第１長さと異なる第２長さを持つ第２パターニングスリットと、を備えることを特徴とする請求項２４に記載の薄膜蒸着装置。
26. 前記第１パターニングスリットと前記第２パターニングスリットとは、互いに交互に配されることを特徴とする請求項２５に記載の薄膜蒸着装置。
27. 前記第１パターニングスリットは、赤色副画素領域に対応するように形成され、前記第２パターニングスリットは、緑色副画素領域に対応するように形成され、前記第１パターニングスリットの長さは、前記第２パターニングスリットの長さより長く形成されることを特徴とする請求項２５に記載の薄膜蒸着装置。
28. 前記パターニングスリットシート上で、青色副画素領域に対応する領域にはパターニングスリットが形成されていないことを特徴とする請求項２７に記載の薄膜蒸着装置。
29. 前記各パターニングスリットの長さによって、前記基板上に蒸着される各蒸着物質の蒸着量が制御されることを特徴とする請求項２４に記載の薄膜蒸着装置。
30. 前記蒸着源から放射された蒸着物質は、前記基板上の赤色副画素領域と緑色副画素領域とに同時に蒸着されることを特徴とする請求項２４に記載の薄膜蒸着装置。
31. 前記赤色副画素領域に蒸着された蒸着物質の厚さは、前記緑色副画素領域に蒸着された蒸着物質の厚さより厚く形成されることを特徴とする請求項３０に記載の薄膜蒸着装置。
32. 前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとは、連結部材により結合されて一体に形成されることを特徴とする請求項２４に記載の薄膜蒸着装置。
33. 前記連結部材は、前記蒸着物質の移動経路をガイドすることを特徴とする請求項３２に記載の薄膜蒸着装置。
34. 前記連結部材は、前記蒸着源及び前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を外部から密閉するように形成されることを特徴とする請求項３２に記載の薄膜蒸着装置。
35. 前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定距離ほど離隔して形成されることを特徴とする請求項２４に記載の薄膜蒸着装置。
36. 前記基板は、前記薄膜蒸着装置に対して前記第１方向に沿って移動しつつ、前記基板上に前記蒸着物質が連続的に蒸着されることを特徴とする請求項２４に記載の薄膜蒸着装置。
37. 前記薄膜蒸着装置の前記パターニングスリットシートは、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項２４に記載の薄膜蒸着装置。
38. 前記薄膜蒸着装置は、複数の薄膜蒸着アセンブリーを備え、
    前記複数の薄膜蒸着アセンブリーそれぞれは、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部、前記パターニングスリットシートを備えることを特徴とする請求項２４に記載の薄膜蒸着装置。
39. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源には、別個の蒸着物質がそれぞれ備えられることを特徴とする請求項３８に記載の薄膜蒸着装置。
40. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられた各蒸着物質は、同時に前記基板上に蒸着されることを特徴とする請求項３８に記載の薄膜蒸着装置。
41. 前記薄膜蒸着アセンブリーは少なくとも４つが備えられ、前記少なくとも４つの薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源に備えられる蒸着物質はそれぞれ、補助層材料、赤色発光層材料、緑色発光層材料及び青色発光層材料であることを特徴とする請求項３８に記載の薄膜蒸着装置。
42. 前記複数の薄膜蒸着アセンブリーの各蒸着源は、各蒸着源別に蒸着温度が制御可能に備えられることを特徴とする請求項３８に記載の薄膜蒸着装置。
43. 蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配されて第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向するように配されて、前記第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に、前記第１方向に沿って配されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備える薄膜蒸着装置を、
    チャックに固定された被蒸着用基板と離隔して配して、蒸着が進められる間に、前記薄膜蒸着装置と前記チャックに固定された基板とが互いに相対的に移動することによって、基板に対する蒸着が行われることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
44. 蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配されて、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向するように配されて、前記第１方向に対して垂直な第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、を備える薄膜蒸着装置を、
    チャックに固定された被蒸着用基板と離隔して配して、蒸着が進められる間に、前記薄膜蒸着装置と前記チャックに固定された基板とが互いに相対的に移動することによって、基板に対する蒸着が行われることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
45. 前記蒸着物質は有機物を含み、前記薄膜蒸着装置によって、赤色、緑色及び青色の光を放出する副画素で相異なる厚さを持つ補助層が形成されることを特徴とする請求項４３または４４のうちいずれか１項に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
46. 請求項４３または請求項４４によって製造された有機発光ディスプレイ装置。

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