JP4366226B2 - 有機elパネルの製造方法、有機elパネルの成膜装置 - Google Patents
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Description
当該第2の材料容器からの放出状態が規定状態になった後に当該第2の材料容器の放出流路を開放すると共に該放出流路から分岐した前記逃がし流路を遮断することを特徴とする有機ELパネルの成膜装置。
第1電極31,第2電極32は、一方が陰極側、他方が陽極側に設定される。陽極側は陰極側より仕事関数の高い材料で構成され、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)等の金属膜やITO、IZO等の酸化金属膜等の透明導電膜が用いられる。逆に陰極側は陽極側より仕事関数の低い材料で構成され、アルカリ金属(Li,Na,K,Rb,Cs)、アルカリ土類金属(Be,Mg,Ca,Sr,Ba)、希土類金属等、仕事関数の低い金属、その化合物、又はそれらを含む合金、ドープされたポリアニリンやドープされたポリフェニレンビニレン等の非晶質半導体、Cr2O3、NiO、Mn2O5等の酸化物を使用できる。また、第1電極31,第2電極32ともに透明な材料により構成した場合には、光の放出側と反対の電極側に反射膜を設けた構成にすることもできる。
有機材料層33は、少なくとも有機EL発光機能層を含む単層又は多層の有機化合物材料層からなるが、層構成はどのように形成されていても良い。一般には、図4に示すように、陽極側から陰極側に向けて、正孔輸送層33A、発光層33B、電子輸送層33Cを積層させたものを用いることができるが、発光層33B、正孔輸送層33A、電子輸送層33Cはそれぞれ1層だけでなく複数層積層して設けても良く、正孔輸送層33A、電子輸送層33Cについてはどちらかの層を省略しても、両方の層を省略しても構わない。また、正孔注入層、電子注入層等の有機材料層を用途に応じて挿入することも可能である。正孔輸送層33A、発光層33B、電子輸送層33Cは従来の使用されている材料(高分子材料、低分子材料を問わない)を適宜選択して採用できる。
有機ELパネル100において、有機EL素子30を気密に封止するための封止部材40としては、金属製,ガラス製,プラスチック製等による板状部材又は容器状部材を用いることができる。ガラス製の封止基板にプレス成形,エッチング,ブラスト処理等の加工によって封止用凹部(一段掘り込み、二段掘り込みを問わない)を形成したものを用いることもできるし、或いは平板ガラスを使用してガラス(プラスチックでも良い)製のスペーサにより基板20との間に封止空間Mを形成することもできる。
接着層41を形成する接着剤は、熱硬化型,化学硬化型(2液混合),光(紫外線)硬化型等を使用することができ、材料としてアクリル樹脂,エポキシ樹脂,ポリエステル,ポリオレフィン等を用いることができる。特には、加熱処理を要さず即硬化性の高い紫外線硬化型のエポキシ樹脂製接着剤の使用が好ましい。
乾燥手段42は、ゼオライト,シリカゲル,カーボン,カーボンナノチューブ等の物理的乾燥剤、アルカリ金属酸化物,金属ハロゲン化物,過酸化塩素等の化学的乾燥剤、有機金属錯体をトルエン,キシレン,脂肪族有機溶剤等の石油系溶媒に溶解した乾燥剤、乾燥剤粒子を透明性を有するポリエチレン,ポリイソプレン,ポリビニルシンナエート等のバインダに分散させた乾燥剤により形成することができる。
本発明の実施形態に係る有機ELパネル100としては、本発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の設計変更が可能である。例えば、有機EL素子30の発光形態は、前述した実施例のように基板20側から光を取り出すボトムエミッション方式でも、基板20とは逆側から光を取り出すトップエミッション方式でも構わない。また、有機ELパネル100は単色表示であっても複数色表示であっても良く、複数色表示を実現するためには、塗り分け方式を含むことは勿論のこと、白色や青色等の単色の発光機能層にカラーフィルタや蛍光材料による色変換層を組み合わせた方式(CF方式、CCM方式)、単色の発光機能層の発光エリアに電磁波を照射する等して複数発光を実現する方式(フォトブリーチング方式)、2色以上の単位表示領域を縦に積層し一つの単位表示領域を形成した方式(SOLED(transparent Stacked OLED)方式)等を採用することができる。
2 成膜室
3 基板
3A 被成膜面
4a,4b 検出器(検出手段)
5 制御部(制御手段)
10 成膜源
11 放出口
12 材料収容部
12A,12A1,12A2 材料容器
13 加熱装置(加熱手段)
14,141,142 放出流路
15,151,152 逃がし流路
14P,15P 検出口
16 成膜材料捕集手段
V1,V2,V3,V4 流通規制バルブ(流通規制手段)
Claims (5)
- 第1電極と第2電極との間に有機発光機能層を含む有機材料層を挟持して基板上に有機EL素子を形成した有機ELパネルの製造方法であって、
室内を真空又は減圧状態にした成膜室と、
前記成膜室内に配置され、前記基板の被成膜面に対向して成膜材料を放出する放出口と、前記成膜室の外に配置され、前記成膜材料が収容される取り外し又は交換可能な複数の材料容器を備えた材料収容部と、前記材料容器内の成膜材料を加熱する加熱手段と、前記材料容器毎に複数流路設けられ、該複数の放出流路が共通の前記放出口に気密に連通する放出流路と、該放出流路から分岐して前記放出口に向かう成膜材料を他方向に導く逃がし流路とを備えると共に、少なくとも前記放出流路の前記分岐より下流側及び前記逃がし流路に、成膜材料の流通を遮断・開放又は可変調整する流通規制手段を設けた成膜源と、
を備えた成膜装置を利用して、
前記第1又は第2電極若しくは前記有機材料層を形成する少なくとも1種類の成膜材料を、前記基板上に成膜し、
前記材料収容部における第1の材料容器の前記放出流路を遮断するのに先立って、
前記材料収容部における第2の材料容器に対する加熱を開始させ、当該第2の材料容器からの放出状態が規定状態になるまで当該第2の材料容器の放出流路を遮断すると共に該放出流路から分岐した逃がし流路を開放し、
当該第2の材料容器からの放出状態が規定状態になった後に当該第2の材料容器の放出流路を開放すると共に該放出流路から分岐した前記逃がし流路を遮断する
ことを特徴とする有機ELパネルの製造方法。 - 前記第2の材料容器の放出流路開放後に、前記第1の材料容器の放出流路から分岐した逃がし流路を開放し、前記第1の材料容器の放出流路を遮断する
ことを特徴とする請求項1に記載された有機ELパネルの製造方法。 - 前記基板の被成膜面と前記放出口との対向を避けて、前記第1の材料容器の逃がし流路開放から前記第2の材料容器の放出流路開放の切り替えを行う
ことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載された有機ELパネルの製造方法。 - 前記逃がし流路の末端に成膜材料捕集手段を設置し、該逃がし流路を経由した成膜材料を捕集する
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載された有機ELパネルの製造方法。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の有機ELパネルの製造方法に用いる有機ELパネルの成膜装置であって、
室内を真空又は減圧状態にした成膜室と、
前記成膜室内に配置され、前記基板の被成膜面に対向して成膜材料を放出する放出口と、前記成膜室の外に配置され、前記成膜材料が収容される取り外し又は交換可能な複数の材料容器を備えた材料収容部と、前記材料容器内の成膜材料を加熱する加熱手段と、前記材料容器毎に複数流路設けられ、該複数の放出流路が共通の前記放出口に気密に連通する放出流路と、該放出流路から分岐して前記放出口に向かう成膜材料を他方向に導く逃がし流路とを備えると共に、少なくとも前記放出流路の前記分岐より下流側及び前記逃がし流路に、成膜材料の流通を遮断・開放又は可変調整する流通規制手段を設けた成膜源と、
を備え、
第1電極と第2電極との間に有機発光機能層を含む有機材料層を挟持して基板上に有機
EL素子を形成した有機ELパネルの前記第1又は第2電極若しくは前記有機材料層を形
成する少なくとも1種類の成膜材料を、前記基板上に成膜し、
前記材料収容部における第1の材料容器の前記放出流路を遮断するのに先立って、
前記材料収容部における第2の材料容器に対する加熱を開始させ、当該第2の材料容器からの放出状態が規定状態になるまで当該第2の材料容器の放出流路を遮断すると共に該放出流路から分岐した逃がし流路を開放し、
当該第2の材料容器からの放出状態が規定状態になった後に当該第2の材料容器の放出流路を開放すると共に該放出流路から分岐した前記逃がし流路を遮断する
ことを特徴とする有機ELパネルの成膜装置。
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