JP5839556B2 - 成膜方法 - Google Patents
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本実施の形態では、本発明の一態様に係る成膜装置について説明する。本発明の一態様は、物理気相成長法で成膜を行うことができる成膜装置であり、本実施の形態では、物理気相成長法である真空蒸着装置を例に説明する。また、当該真空蒸着装置の構成を一部変更又は追加することで他の物理気相成長法の成膜装置とすることができるため、本発明の一態様に係る成膜装置は、分子線蒸着装置、イオンプレーティング装置、イオンビーム蒸着装置、又はスパッタリング装置を含むものである。
図1は、本発明の一態様に係る成膜装置100の上面模式図である。成膜装置100は、基板を保持しておくロードロック室101と、搬送機構111が設けられた搬送室103と、基板に薄膜を形成するための処理室105と、を備えている。ロードロック室101と搬送室103の間には開閉可能なゲート107が設けられており、ロードロック室101と搬送室103はゲート107で連結されている。搬送室103と処理室105の間には開閉可能なゲート109が設けられており、搬送室103と処理室105はゲート109で連結されている。
次に、処理室105の詳細について説明する。図2(A)は、図1に示した処理室105の一点鎖線A−Bにおける断面模式図である。図2(B)は、処理室105に設けられた防着板115の一点鎖線A−Bにおける断面模式図である。
次に、本発明の一態様に係る成膜方法について説明する。当該成膜方法は、成膜装置100を用いて実施することができ、フェイスダウン方式で行うものとする。
本実施の形態では、本発明の一態様に係る成膜装置及び成膜方法において、実施の形態1とは異なる構成を有する成膜装置及び成膜方法について説明する。
そこで、実施の形態1で用いた符号を本実施の形態でも用い、実施の形態1とは異なる構成の詳細について説明する。
以下、本実施の形態で説明する成膜装置の処理室について説明する。図3(A)は、処理室105の断面模式図である。図3(A)の断面模式図は、実施の形態1と同様に、図1に示した一点鎖線A−B間を示している。
次に、本実施の形態で説明する成膜装置を用いた成膜方法について説明する。当該成膜方法は、実施の形態1で説明した成膜方法と比較して、意図的に防着板を加熱する点、又は、意図的に防着板を冷却する点が異なる。
本実施の形態では、先の実施の形態で説明した成膜装置の処理室を、少なくとも有する本発明の一態様に係る製造装置について説明する。また、本実施の形態では、当該製造装置を用いて、発光性の有機化合物を含む層を有する積層体(EL層)を有する発光素子が設けられた発光装置を作製する工程についても説明する。なお、当該発光装置の一態様には表示装置や照明装置などを含む。
101 ロードロック室
103 搬送室
105 処理室
107 ゲート
109 ゲート
111 搬送機構
115 防着板
117 開閉扉
119 処理室壁
121 基板
123 基板支持手段
125 マスク
127 マスク支持手段
129 シャッター
133 容器
139 成膜材料設置部
141 ヒータ
143 ヒータコントローラ
145 台座
147 ガス供給手段
149 真空排気手段
151 熱伝導性を有する領域
153 酸化物を有する領域
155 温度制御部材
157 ヒータ
158 ヒータコントローラ
159 冷却管
160 冷却装置
200 製造装置
201 基板投入室
202 第1の電極
203 搬送室
204 基板
205 加熱処理室
207 第1成膜室
208 発光素子
209 受渡室
210 正孔注入層
211 第2成膜室
212 正孔輸送層
213 第3成膜室
214 発光性の有機化合物を含む層
215 第4成膜室
216 電子輸送層
217 第5成膜室
218 電子注入層
219 搬送室
220 第2の電極
221 受渡室
223 成膜室
225 成膜室
227 成膜室
229 成膜室
231 搬送室
233 受渡室
235 対向基板投入室
237 シール形成室
239 基板待機室
241 貼り合わせ室
243 硬化処理室
245 基板取出室
247 搬送機構
249 搬送室
259 EL層
260 搬送機構
401 第1の基板
402 画素部
403 信号線駆動回路
404 走査線駆動回路
405 シール材
406 第2の基板
415 電極
416 配線
418a FPC
418b FPC
419 異方性導電層
420 入力端子
Claims (3)
- 被形成面を囲む領域に、酸化物を含む表面を有する防着板を配設し、
前記被形成面にアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む材料を堆積させ、
前記防着板に被着した前記アルカリ金属又は前記アルカリ土類金属を含む材料を、前記酸化物を含む領域に含まれる酸素と反応させ、前記アルカリ金属又は前記アルカリ土類金属を含む酸化物に変化させる成膜方法であって、
前記防着板は、板状のアルミニウムを陽極酸化したものからなり、
前記酸化物は、前記防着板が有する金属又は合金と酸素の化合物であることを特徴とする成膜方法。 - 被形成面を囲む領域に、酸化物を含む表面を有する防着板を配設し、
前記被形成面にアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む材料を堆積させ、
前記防着板を冷却しながら、前記防着板に被着した前記アルカリ金属又は前記アルカリ土類金属を含む材料を、前記酸化物を含む領域に含まれる酸素と反応させ、前記アルカリ金属又は前記アルカリ土類金属を含む酸化物に変化させる成膜方法であって、
前記防着板は、板状のアルミニウムを陽極酸化したものからなり、
前記酸化物は、前記防着板が有する金属又は合金と酸素の化合物であることを特徴とする成膜方法。 - 被形成面を囲む領域に、酸化物を含む表面を有する防着板を配設し、
前記被形成面にアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む材料を堆積させ、
前記防着板を加熱しながら、前記防着板に被着した前記アルカリ金属又は前記アルカリ土類金属を含む材料を、前記酸化物を含む領域に含まれる酸素と反応させ、前記アルカリ金属又は前記アルカリ土類金属を含む酸化物に変化させる成膜方法であって、
前記防着板は、板状のアルミニウムを陽極酸化したものからなり、
前記酸化物は、前記防着板が有する金属又は合金と酸素の化合物であることを特徴とする成膜方法。
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