KR102111020B1 - 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착 장치에 관한 것으로, 챔버, 상기 챔버 내에 배치되고 기판이 장착되는 스테이지, 상기 기판과 대향하도록 배치되고 증착 물질을 상기 기판 방향으로 분사하는 노즐부 및 상기 노즐부를 에워싸고, 상기 기판에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하는 포집부;를 포함하고, 상기 포집부는, 상기 여분의 증착 물질을 포집하는 포집면과 포집된 상기 여분의 증착 물질을 상기 챔버 외부로 전송하는 포집 배관을 포함한다. 이에 의해, 증착 공정 중, 증착 물질의 손실을 최소화할 수 있다.

Description

증착 장치{Deposition apparatus}
본 발명은 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증착 물질의 손실을 최소화하는 증착 장치에 관한 것이다.
근래에 표시 장치는 휴대가 가능한 박형의 평판 표시 장치로 대체되는 추세이다. 평판 표시 장치 중에서도 유기 발광 표시 장치는 자발광형 표시 장치로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가져서 차세대 디스플레이 장치로 주목을 받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 중간층, 제1 전극 및 제2 전극을 구비한다. 중간층은 유기 발광층을 구비하고, 제1 전극 및 제2 전극에 전압을 인가하면 유기 발광층에서 가시광선을 발생하게 된다.
유기 발광층은 진공으로 유지되는 챔버 내에서 기판 상에 EL(Electroluminescence) 증착 물질을 증착함으로써 형성한다. 보다 구체적으로, EL 증착 재료원으로부터 EL 증착 가스가 기화하고, 기화된 EL 증착 가스가 기판 상에 부착되어 유기 발광층을 형성한다.
그러나, 기화된 EL 증착 가스의 대부분은 챔버 바닥에 쌓이고, 또한 일부는 챔버를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌프 쪽으로 빨려들어간다. 챔버 바닥에 쌓인 유기층은 챔버 내부를 세정시 모두 폐기 처분되며, 진공 펌프 쪽으로 빨려들어간 증착 물질 역시 버려지게 되는바, 증착 물질이 필요 이상으로 소모될 수 있다.
본 발명의 목적은, 증착 물질의 손실을 최소화할 수 있는 증착 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기상 증착 장치는, 챔버, 상기 챔버 내에 배치되고 기판이 장착되는 스테이지, 상기 기판과 대향하도록 배치되고 증착 물질을 상기 기판 방향으로 분사하는 노즐부 및 상기 노즐부를 에워싸고, 상기 기판에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하는 포집부;를 포함하고, 상기 포집부는, 상기 여분의 증착 물질을 포집하는 포집면과 포집된 상기 여분의 증착 물질을 상기 챔버 외부로 전송하는 포집 배관을 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 포집면은 상기 포집 배관으로부터 상기 기판방향으로 갈수록 수평 단면적이 증가한다.
본 발명에 있어서, 상기 포집면은 중앙이 오목한 형상 또는 테이퍼 형상을 가질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 노즐부는, 상기 증착 물질을 분사하는 노즐과 상기 노즐로 상기 증착 물질을 공급하는 노즐 배관을 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 노즐은 상기 포집면의 상단과 하단 사이에 위치한다.
본 발명에 있어서, 상기 노즐배관은 상기 포집배관의 내부에 위치한다.
본 발명에 있어서, 상기 챔버 외부에 배치되고, 상기 노즐 배관과 연결되어 상기 증착 물질을 공급하는 기화 장치를 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 챔버 외부에 배치되고, 상기 포집 배관과 연결되어 포집된 상기 여분의 증착 물질을 저장하는 저장 탱크를 포함하며, 상기 저장 탱크에 저장된 상기 여분의 증착 물질은 상기 기화 장치로 재 공급된다.
본 발명에 있어서, 제2 기판을 수용하는 제2 챔버 및 상기 제2 기판 방향으로 상기 증착 물질을 분사하는 제2 노즐부와 연결된 제2 기화 장치를 더 포함하고, 상기 제2 기화 장치는 상기 제2 챔버 외부에 배치되며, 상기 저장 탱크는 상기 제2 기화 장치로 상기 여분의 증착 물질을 공급한다.
본 발명에 있어서, 상기 제2 기판에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하는 제2 포집부를 더 포함하고, 제2 포집부에서 포집한 상기 여분의 증착 물질은 상기 저장 탱크로 저장된다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 기상 증착 장치는, 적어도 두 개의 증착부 및 상기 적어도 두 개의 증착부와 연결된 하나의 저장 탱크를 포함하고, 상기 적어도 두 개의 증착부 각각은, 챔버, 상기 챔버 내에 배치되고 기판이 장착되는 스테이지, 상기 기판과 대향하도록 배치되고 증착 물질을 상기 기판 방향으로 분사하는 노즐부 및 상기 노즐부를 에워싸고, 상기 기판에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하는 포집부를 포함하고, 상기 포집부는, 상기 여분의 증착 물질을 포집하는 포집면과 포집된 상기 여분의 증착 물질을 상기 저장 탱크로 전송하는 포집 배관을 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 적어도 두 개의 증착부 각각은, 상기 챔버 외부에 배치되고, 상기 노즐부로 상기 증착 물질을 공급하는 기화 장치를 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 저장 탱크는 저장된 상기 여분의 증착 물질을 상기 적어도 두 개의 증착부 각각에 포함된 상기 기화 장치로 공급한다.
본 발명에 있어서, 상기 노즐부는 일단이 상기 기화 장치와 연결된 노즐 배관과, 상기 노즐 배관의 타단에 형성되어 상기 증착 물질을 분사하는 노즐을 포함한다.
본 발명에 있어서, 노즐배관은 상기 포집배관의 내부에 위치한다.
본 발명에 있어서, 상기 노즐 배관에는 셔터가 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 포집면은 상기 포집 배관으로부터 상기 기판방향으로 갈수록 수평 단면적이 증가한다.
본 발명에 있어서, 상기 포집면은 중앙이 오목한 형상 또는 테이퍼 형상을 가질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 포집면, 노즐 배관의 외면 및 포집 배관의 내면은 소수성 또는 친수성 처리될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 적어도 두 개의 증착부 각각은, 상기 스테이지를 이동하도록 상기 스테이지와 연결된 구동부를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 증착 공정 중에 증착 물질의 손실을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 도이다.
도 2는 도 1의 증착 장치의 변형예를 도시한 도이다.
도 3은 도 1의 증착 장치의 다른 변형예를 도시한 도이다.
도 4는 도 3의 P부분을 확대한 확대도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도면들에 도시된 본 발명에 관한 실시 예들을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(10)는 챔버(100), 챔버(100) 내에 배치되고 기판(1)이 장착되는 스테이지(110), 기판(1)과 대향하도록 배치되고 증착 물질을 기판(1) 방향으로 분사하는 노즐부(200) 및 노즐부(200)를 에워싸고, 기판(1)에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하는 포집부(300)를 포함한다.
또한, 챔버(100) 외부에 배치되어 증착 물질을 공급하는 기화 장치(230)와, 챔버(100) 외부에 배치되고 포집부(300)에서 포집된 여분의 증착 물질을 저장하는 저장 탱크(330)를 포함한다.
챔버(100)는 증착 공정이 수행되는 공간을 제공하며, 도면에 도시하지는 않았으나, 외부로부터 챔버(100) 내로의 기판(1)의 이동 또는 이와는 반대의 이동을 할 수 있도록 하나 이상의 출입구를 구비한다. 또한, 챔버(100)의 내부를 원하는 압력 상태로 유지하도록 챔버(100)에는 진공 펌프(130)가 연결될 수 있다.
챔버(100) 내에는 스테이지(110)가 배치된다. 스테이지(110)의 일면에는 기판(1)이 장착되며, 스테이지(110)에 기판(1)을 장착한 후에는, 기판(1)을 고정하도록 고정 수단(미도시)이 사용될 수 있다.
고정 수단(미도시)은 클램프, 압력 수단, 접착물질 또는 기타 다양한 종류일 수 있다. 또한, 기판(1)의 일측에는 증착시 패터닝을 위한 개구가 형성된 증착 마스크(114)가 배치될 수 있다.
구동부(120)는 스테이지(110)와 연결되어 스테이지(110)를 제1 방향(화살표 M1 방향) 또는 이와 반대인 제2 방향(화살표 M2 방향)으로 이동시킨다. 스테이지(110)가 이동함으로써, 스테이지(110)의 일면에 장착된 기판(1)도 함께 이동하며, 노즐부(200)는 기판(1) 일면 전체에 증착 물질을 분사할 수 있다.
노즐부(200)는 증착 물질을 기판(1) 방향으로 분사한다. 구체적으로, 노즐부(200)는 노즐(210)과 노즐(210)로 증착 물질을 공급하는 노즐 배관(220)을 포함한다.
노즐(210)은 기화된 상태의 증착 물질을 분사하기 위한 노즐구(미도시)와, 노즐구(미도시)의 외주변에 형성되어 분사되는 증착 물질의 분사각도를 조절하기 위한 안내부(미도시)를 포함할 수 있다.
노즐구(미도시)는 기화된 상태의 증착 물질의 분사속도를 증가시키기 위해 노즐 배관(220)의 직경보다 작게 형성될 수 있으며, 안내부(미도시)는 노즐구(미도시)를 중심으로 방사상으로 형성되되, 기판(1)쪽으로 갈수록 수평 단면적이 증가되는 형태를 가질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 노즐구(미도시)는 기판(1)의 일측 방향을 따라 길게 형성될 수 있고, 안내부(미도시)는 노즐구(미도시)의 외주부에 형성됨에 따라 안내부(미도시) 역시 기판(1)의 일측 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
한편, 노즐 배관(220)의 일측에는 기화 장치(230)가 연결된다. 기화 장치(230)는 챔버(100)의 외부에 배치된다.
기화 장치(230)는, 예를 들어, 증착 재료가 수용되는 도가니(미도시)와 도가니(미도시)의 주변에 증착 재료를 가열하기 위한 히터(미도시) 등의 가열 수단이 배치된 증착 소스일 수 있다. 또는, 도면에는 도시되지 않았으나, 기화 장치(230)는 외부의 재료 공급 장치(미도시)로부터 액상의 증착 재료를 공급 받고, 이를 기화시킬 수 있다.
이와 같이, 기화 장치(230)에서 기화된 증착 물질은, 기화 장치(230)와 일단이 연결된 노즐 배관(220)을 경유하여, 노즐 배관(220)의 타단에 형성된 노즐(210)을 통해 기판(1) 쪽을 분사된다. 다만, 기판(1) 쪽으로 분사된 증착 물질의 일부는 도면에서 점선으로 표시한 바와 같이, 중력에 의해 챔버(100)의 하부로 가라 앉는다.
포집부(300)는 기판(1)에 증착 되지 않고, 챔버(100)의 하부로 가라 앉는 여분의 증착 물질을 포집한다. 포집부(300)는 노즐부(200)를 에워싸며, 여분의 증착 물질을 포집하는 포집면(310)과 포집된 증착 물질을 챔버(100) 외부로 전송하는 포집 배관(320)을 포함한다.
포집면(310)은 포집 배관(320)으로부터 기판(1) 쪽으로 갈수록 수평 단면적이 증가하는 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 포집면(310)은 중앙이 오목한 형상일 수 있다. 따라서, 포집면(310)은 효과적으로 여분의 증착 물질을 포집하고, 한 곳으로 모을 수 있다.
포집 배관(320)은 챔버(100)의 외부에 배치된 저장 탱크(330)와 연결되어, 포집면(310)에서 포집한 여분의 증착 물질을 저장 탱크(330)로 운송한다. 또한, 도면에 도시하지는 않았으나, 효과적인 포집을 위해 포집 배관(320) 내에는 모터(미도시) 등에 의해 발생한 흡입력이 작용될 수 있다.
한편, 기판(1)에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질의 효과적인 포집을 위해 포집부(300)는 노즐부(200)를 에워싸도록 형성되는바, 포집 배관(320) 역시 노즐 배관(220)의 일부를 에워싸도록 형성될 수 있다. 즉, 노즐 배관(220)은 포집 배관(320) 내부에 위치하며 되며, 노즐 배관(220)과 포집 배관(320)이 중첩되는 부분에서는 포집된 여분의 증착 물질을 노즐 배관(220)과 포집 배관(320) 사이의 공간을 통해 저장 탱크(330)로 이동한다.
또한, 기판(1)에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질의 효과적인 포집을 위해 노즐(210)은 포집면(310)의 상단과 하단 사이에 위치하는 것이 바람직하다.
예를 들어, 노즐(210)의 위치가 너무 높으면 기판(1)에 증착되지 않은 여분의 증착 물질 중 포집면(310)의 상단을 넘어가는 량이 증가할 수 있으며, 반면에 노즐(210)의 위치가 너무 낮으면 분사된 증착 물질이 바로 포집 배관(320) 내의 흡입력에 의해 포집 배관(320)으로 유입될 수 있는바, 노즐(210)과 포집면(310) 간의 상대적인 위치는 증착 물질의 분사 압력, 포집 배관(320) 내에 형성된 흡입력 등을 고려하여 결정될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 저장탱크(330)와 기화 장치(230)는 운송 배관(140)에 의해 서로 연결된다. 따라서, 저장 탱크(330)에 저장된 여분의 증착 물질은 기화 장치(230)로 재 공급될 수 있다.
한편, 운송 배관(140)에는 밸브(142)가 형성되어 재 공급되는 여분의 증착 물질의 양을 조절할 수 있으며, 펌프(미도시)가 형성되어 기화 장치(230)로부터 저장탱크(330)로 증착 물질이 이동하는 것을 방지할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 기판(1)에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 효율적으로 수집하여 재 공급함으로써, 증착시 발생하는 증착 물질의 손실을 최소화할 수 있다.
도 2는 도 1의 증착 장치의 변형예를 도시한 도이다.
도 2의 증착 장치(20)는 제1 증착부(A), 제2 증착부(B) 및 제1 증착부(A)와 제2 증착부(B)에 연결된 저장 탱크(330)를 포함한다.
제1 증착부(A)와 제2 증착부(B) 각각은, 챔버(100), 챔버(100) 내에 배치되고 기판(1)이 장착되는 스테이지(110), 기판(1)과 대향하도록 배치되고 증착 물질을 기판(1) 방향으로 분사하는 노즐부(200) 및 노즐부(200)를 에워싸고, 기판(1)에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하는 포집부(300)를 포함한다. 챔버(100), 노즐부(200) 및 포집부(300)는 도 1에서 도시하고 설명한 바와 동일하므로, 이에 대하여 다시 구체적으로 설명하지 않는다.
챔버(100)에는, 챔버(100)의 내부를 원하는 압력 상태로 유지하도록, 진공 펌프(130)가 연결될 수 있으며, 챔버(100) 내에는 기판(1)이 장착되는 스테이지(110)가 배치될 수 있다. 또한, 스테이지(110)를 이동 시키는 구동부(120)와, 기판(1)의 일측에는 증착시 패터닝을 위한 개구가 형성된 증착 마스크(114)가 배치될 수 있다.
노즐부(200)는 기판(1) 쪽으로 증착 물질을 분사하고, 챔버(100) 외측에 배치된 기화 장치(230)로부터 증착 물질을 공급받는다.
포집부(300)는 기판(1)에 증착되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하여, 챔버(100) 외측에 배치된 저장탱크(330)로 전송한다.
즉, 제1 증착부(A)와 제2 증착부(B)에서 포집된 여분의 증착 물질은 하나의 저장 탱크(330)에 저장된다. 또한, 저장탱크(330)는 두 개의 운송 배관(140)에 의해 두 개의 증착부(A,B)에 각각 포함된 기화 장치(230)에 연결되어, 저장된 증착 물질을 재 공급할 수 있다. 따라서, 증착 공정의 진행시, 증착 물질의 손실을 최소화할 수 있다.
한편, 저장탱크(330)에서 두 개의 증착부(A,B)에 각각 포함된 기화 장치(230)로 증착 물질을 재 공급할 때는, 어느 한쪽의 기화 장치(230)에 우선적으로 증착 물질을 공급할 수 있다.
예를 들어, 제1 증착부(A)의 기화 장치(230)에 수용된 증착 재료의 양이 제2 증착부(B)의 기화 장치(230)에 수용된 증착 재료의 양 보다 적을 때에는, 제1 증착부(A)의 기화 장치(230)에 우선적으로 증착 물질을 재 공급할 수 있다. 이에 따라, 제1 증착부(A)와 제2 증착부(B)의 공정 속도가 동일하게 유지되며, 증착 장치(20)의 전체 수율이 향상될 수 있다.
한편, 도 2에는 두 개의 증착부(A, B)가 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정하지 않는다. 즉, 세 개 이상의 증착부가 형성될 수 있으며, 다만, 세 개 이상의 증착부가 형성되더라도, 각 증착부에서 포집된 여분의 증착 물질은 하나의 저장 탱크로 저장되고, 저장 탱크는 각 증착부로 저장된 증착 물질을 재 공급할 수 있다.
도 3은 도 1의 증착 장치의 다른 변형예를 도시한 도이며, 도 4는 도 3의 P부분을 확대한 확대도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 증착 장치(30)는, 챔버(100), 챔버(100) 내에 배치되고 기판(1)이 장착되는 스테이지(110), 기판(1)과 대향하도록 배치되고 증착 물질을 기판(1) 방향으로 분사하는 노즐부(200) 및 노즐부(200)를 에워싸고, 기판(1)에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하는 포집부(304)를 포함한다.
스테이지(110)에는 기판(1)이 장착되고, 구동부(120)는 스테이지(110)를 이동시킨다. 또한, 기판(1)의 일측에는 증착시 패터닝을 위한 개구가 형성된 증착 마스크(114)가 배치될 수 있으며, 챔버(100)에는, 챔버(100)의 내부를 원하는 압력 상태로 유지하도록, 진공 펌프(130)가 연결될 수 있다.
노즐부(200)는 증착 물질을 기판(1) 방향으로 분사하는 노즐(210)과 노즐(210)로 증착 물질을 공급하는 노즐 배관(220)을 포함한다. 노즐 배관(220)은 챔버(100) 외부에 위치하는 기화 장치(230)와 연결된다.
한편, 노즐 배관(220)에는 셔터(222)가 형성될 수 있다. 셔터(222)는, 예를들어, 노즐 배관(220)의 내측면에 일단이 회동 가능하게 결합된 형태일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 구성을 가질 수 있다.
셔터(222)는 노즐 배관(220)을 통과하는 증착 물질의 양을 조절하거나, 증착 공정이 이루어 지지 않는 상태, 예를 들어, 챔버(100) 내로 기판(1)이 이송되는 상태에서 챔버(100) 내로 증착 물질이 분사되는 것을 방지한다. 따라서, 증착 물질의 손실을 더욱 감소시킬 수 있다.
포집부(304)는 여분의 증착 물질을 포집하는 포집면(312)과 포집된 증착 물질을 챔버(100) 외부로 전송하는 포집 배관(322)을 포함한다. 포집 배관(322)은 챔버(100) 외부에 배치된 저장 탱크(330)와 연결되고, 저장 탱크(330)에는 포집부(304)에서 포집한 여분의 증착 물질이 저장된다.
한편, 포집부(304)는 여분의 증착물질의 효과적인 포집을 위해 노즐부(200)를 에워싸도록 형성된다.
구체적으로, 포집면(312)은 포집 배관(322)으로부터 기판(1) 쪽으로 갈수록 수평 단면적이 증가하는 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 포집면(312)은 도면에 도시된 바와 같이 일정한 기울기를 가지는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 또한, 포집 배관(322)은 노즐 배관(220)을 감싸도록 형성된다.
즉, 노즐(210)로부터 분사된 증착 물질 중 중력에 의해 챔버(100)의 하부로 떨어지는 여분의 증착 물질은 포집면(312)에서 수집되어, 노즐 배관(220)과 포집 배관(322) 사이의 공간을 통해 저장 탱크(330)로 이동하게 된다.
따라서, 여분의 증착 물질이 직접적으로 접촉하게 되는 포집면(312), 노즐 배관(220)의 외면 및 포집 배관(322)의 내면은, 증착 물질의 성질에 따라 소수성 또는 친수성 처리됨으로써, 저장 탱크(330)로의 이동 중에 증착 물질이 응집되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 적어도 노즐 배관(220)과 포집 배관(322)은 일정 온도 이상 유지되도록 함으로써, 기화 상태로 수집되는 여분의 증착 물질이 저장 탱크(330)로의 이동 중에 증착되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
한편, 저장 탱크(330)는 운송 배관(140)에 의해 기화 장치(230)와 연결되며, 저장 탱크(330)에 저장된 증착 물질은 기화 장치(230)로 재 공급됨으로써, 증착 공정 중에 발생하는 증착 물질의 손실을 최소화할 수 있다.
상기 도면들에 도시된 구성요소들은 설명의 편의상 확대 또는 축소되어 표시될 수 있으므로, 도면에 도시된 구성요소들의 크기나 형상에 본 발명이 구속되는 것은 아니며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 기판 10, 20, 30: 증착 장치
100: 챔버 110: 스테이지
114: 마스크 120: 구동부
130: 진공 펌프 140: 운송 배관
142: 밸브 200: 노즐부
210: 노즐 220: 노즐 배관
222: 셔터 230: 기화 장치
300, 304: 포집부 310, 312: 포집면
320, 322: 포집 배관

Claims (20)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내에 배치되고 기판이 장착되는 스테이지;
    상기 기판과 대향하도록 배치되고 증착 물질을 상기 기판 방향으로 분사하는 노즐부;
    상기 기판에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하도록 상기 노즐부를 에워싸는 포집면과, 상기 포집면에 의해 포집된 상기 여분의 증착 물질을 상기 챔버 외부로 전송하는 포집 배관을 포함하는 포집부;
    상기 챔버 외부에 배치되고, 상기 증착 물질을 상기 노즐부로 공급하는 기화 장치; 및
    상기 챔버 외부에 배치되고, 상기 포집 배관과 연결되어 포집된 상기 여분의 증착 물질을 저장하는 저장 탱크;를 포함하고,
    상기 저장 탱크와 상기 기화 장치는 운송 배관에 의해 서로 연결되고, 상기 저장 탱크에 저장된 상기 여분의 증착 물질은 상기 운송 배관을 통해 상기 기화 장치로 재 공급되는 증착 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 포집면은 상기 포집 배관으로부터 상기 기판방향으로 갈수록 수평 단면적이 증가하는 증착 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 포집면은 중앙이 오목한 형상 또는 테이퍼 형상을 가지는 증착 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 노즐부는, 상기 증착 물질을 분사하는 노즐과 상기 노즐로 상기 증착 물질을 공급하는 노즐 배관을 포함하는 증착 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 포집면의 상단과 하단 사이에 위치하는 증착 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 노즐배관은 상기 포집배관의 내부에 위치하는 증착장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 기화 장치는 상기 노즐 배관과 연결되어 상기 증착 물질을 공급하는 증착 장치.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    제2 기판을 수용하는 제2 챔버; 및 상기 제2 기판 방향으로 상기 증착 물질을 분사하는 제2 노즐부와 연결된 제2 기화 장치;를 더 포함하고,
    상기 제2 기화 장치는 상기 제2 챔버 외부에 배치되며, 상기 저장 탱크는 상기 제2 기화 장치로 상기 여분의 증착 물질을 공급하는 증착 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 기판에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하는 제2 포집부;를 더 포함하고,
    상기 제2 포집부에서 포집한 상기 여분의 증착 물질은 상기 저장 탱크로 저장되는 증착 장치.
  11. 적어도 두 개의 증착부; 및
    상기 적어도 두 개의 증착부와 연결된 하나의 저장 탱크를 포함하고,
    상기 적어도 두 개의 증착부 각각은,
    챔버;
    상기 챔버 내에 배치되고 기판이 장착되는 스테이지;
    상기 기판과 대향하도록 배치되고 증착 물질을 상기 기판 방향으로 분사하는 노즐부;
    상기 기판에 증착 되지 않은 여분의 증착 물질을 포집하도록 상기 노즐부를 에워싸는 포집면과, 상기 포집면에 의해 포집된 상기 여분의 증착 물질을 상기 챔버 외부로 전송하는 포집 배관을 포함하는 포집부; 및
    상기 챔버 외부에 배치되고, 상기 증착 물질을 상기 노즐부로 공급하며 운송 배관에 의해 상기 저장 탱크와 연결된 기화 장치; 를 포함하고,
    상기 저장 탱크는 저장된 상기 여분의 증착 물질을 상기 운송 배관을 통해 상기 적어도 두 개의 증착부 각각에 포함된 상기 기화 장치로 공급하는 증착 장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 제11항에 있어서,
    상기 노즐부는 일단이 상기 기화 장치와 연결된 노즐 배관과, 상기 노즐 배관의 타단에 형성되어 상기 증착 물질을 분사하는 노즐을 포함하는 증착 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 노즐배관은 상기 포집배관의 내부에 위치하는 증착장치.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 노즐 배관에는 셔터가 형성된 증착장치.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 포집면은 상기 포집 배관으로부터 상기 기판방향으로 갈수록 수평 단면적이 증가하는 증착 장치.
  18. 제16 항에 있어서,
    상기 포집면은 중앙이 오목한 형상 또는 테이퍼 형상을 가지는 증착 장치.
  19. 제14 항에 있어서,
    상기 포집면, 상기 노즐 배관의 외면 및 상기 포집 배관의 내면은 소수성 또는 친수성 처리된 증착 장치.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 적어도 두 개의 증착부 각각은, 상기 스테이지를 이동하도록 상기 스테이지와 연결된 구동부를 더 포함하는 증착 장치.
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