JP5328727B2 - 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法に係り、詳細には、大型基板の量産工程に容易に適用され、製造収率が向上した薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法に関する。

ディスプレイ装置のうち、有機発光ディスプレイ装置は、視野角が広く、かつコントラストにすぐれるだけではなく、応答速度が速いという長所を有しており、次世代ディスプレイ装置として注目を集めている。

一般的に、有機発光ディスプレイ装置は、それぞれアノードとカソードとから注入される正孔と電子とが発光層で再結合して発光する原理で、色相を具現できるように、アノードとカソードとの間に発光層を挿入した積層型構造である。しかし、このような構造では、高効率発光を得難いために、それぞれの電極と発光層との間に、電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層及び正孔注入層のような中間層を選択的に追加挿入して使用している。

しかし、発光層及び中間層などの有機薄膜の微細パターンを形成することが実質的に非常に困難であり、前記層によって、赤色、緑色及び青色の発光効率が異なるために、従来の薄膜蒸着装置では、大面積（５Ｇ以上のマザーガラス（mother-glass））に対するパターニングが不可能であり、満足すべきレベルの駆動電圧、電流密度、輝度、色純度、発光効率及び寿命などを有する大型有機発光ディスプレイ装置を製造できないところ、この改善が至急に求められている。

一方、有機発光ディスプレイ装置は、互いに対向した第１電極及び第２電極間に、発光層及びこれを含む中間層を具備する。このとき、前記電極及び中間層は、さまざまな方法で形成されうるが、そのうちの１つの方法が蒸着である。蒸着方法を利用して有機発光ディスプレイ装置を製作するためには、薄膜などが形成される基板面に、形成される薄膜などのパターンと同じパターンを有するファインメタルマスク（ＦＭＭ：fine metal mask）を密着させ、薄膜などの材料を蒸着して所定パターンの薄膜を形成する。

本発明は、製造が容易であり、大型基板の量産工程に容易に適用され、製造収率及び蒸着効率が向上し、蒸着物質のリサイクルが容易である薄膜蒸着装置、及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、前記薄膜蒸着装置は、複数個の薄膜蒸着アセンブリを含み、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリそれぞれは、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第１方向に沿って複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートと、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間に、前記第１方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画する複数枚の遮断板を具備する遮断板アセンブリとを含み、前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定距離離隔されるように形成され、前記薄膜蒸着装置と前記基板は、いずれか一側が他側に対して、相対的に移動自在に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置を提供する。

本発明において、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各蒸着源には、別個の蒸着物質がそれぞれ備わりうる。
本発明において、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各蒸着源に備わった各蒸着物質が同時に前記基板上に蒸着されうる。

本発明において、前記薄膜蒸着アセンブリは、少なくとも３個が備わり、前記少なくとも３個の薄膜蒸着アセンブリの各蒸着源に備わる蒸着物質は、それぞれ、赤色発光層の材料、緑色発光層の材料及び青色発光層の材料でありうる。
本発明において、前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して相対的に移動しつつ、前記基板上に、前記各薄膜蒸着アセンブリの各蒸着物質が連続的に蒸着されうる。

本発明において、前記薄膜蒸着装置と前記基板は、前記基板で前記蒸着物質が蒸着される面と平行する面に沿って、いずれか一側が他側に対して、相対的に移動可能である。
本発明において、前記各薄膜蒸着アセンブリの前記パターニングスリット・シートは、前記基板より小さく形成されうる。
本発明において、前記遮断板アセンブリは、前記蒸着源から放射される前記蒸着物質の放射経路をガイドできる。

本発明において、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各蒸着源は、各蒸着源別に蒸着温度が制御可能なように備わりうる。
本発明において、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各パターニングスリット・シートのパターニングスリットは、互いに所定程度オフセット（offset）されて形成されうる。
本発明において、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各パターニングスリット・シートが一体に形成されうる。

ここで、前記一体に形成されたパターニングスリット・シートには、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリそれぞれに対応する複数行のパターニングスリットが形成され、前記各行のパターニングスリットは、互いに所定程度オフセットされて形成されうる。
本発明において、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各パターニングスリットは、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリ別に互いに異なる長さを有するように形成されうる。
ここで、前記各パターニングスリットの長さによって、前記基板上に蒸着される各蒸着物質の蒸着量が制御されうる。

本発明において、前記複数枚の遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直である第２方向に形成され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画できる。
本発明において、前記複数枚の遮断板は、等間隔に配されうる。
本発明において、前記遮断板アセンブリは、複数個の第１遮断板を具備する第１遮断板アセンブリと、複数個の第２遮断板を具備する第２遮断板アセンブリとを含むことができる。

ここで、前記複数個の第１遮断板及び前記複数個の第２遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直である第２方向に形成され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画できる。
ここで、前記複数個の第１遮断板及び前記複数個の第２遮断板それぞれは、互いに対応するように配されうる。
ここで、前記互いに対応する第１遮断板及び第２遮断板は、実質的に同じ平面上に位置するように配されうる。

他の側面についての本発明は、基板上に薄膜を形成する薄膜蒸着装置を利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して所定距離離隔されるように配される段階と、前記薄膜蒸着装置と前記基板とのうちいずれか一側が他側に対して相対的に移動しつつ、前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質が、前記基板上に蒸着される段階とを含み、前記薄膜蒸着装置は、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第１方向に沿って複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートと、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間に、前記第１方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画する複数枚の遮断板を具備する遮断板アセンブリとを含む薄膜蒸着アセンブリを具備することを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。

本発明において、前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して相対的に移動しつつ、前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質が、前記基板上に連続的に蒸着されうる。
本発明において、前記薄膜蒸着装置は、それぞれ別個の蒸着物質を放射する複数個の前記薄膜蒸着アセンブリを含むことができる。

ここで、前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリから放射される各蒸着物質が同時に前記基板上に蒸着される段階を含むことができる。
ここで、前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリに備わった赤色発光層の材料、緑色発光層の材料及び青色発光層の材料が同時に前記基板上に蒸着される段階を含むことができる。

ここで、前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリ別に蒸着温度を制御する段階をさらに含むことができる。
ここで、前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリ別に、前記蒸着物質の蒸着量を制御する段階をさらに含むことができる。

本発明の薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法によれば、製造が容易であり、大型基板の量産工程に容易に適用され、製造収率及び蒸着効率が向上し、蒸着物質のリサイクルが容易になるという効果を得ることができる。

本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着装置によって製造された有機発光ディスプレイ装置の平面図である。 図１の有機発光ディスプレイ装置のうち、一副画素を図示した断面図である。 本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリを概略的に図示した斜視図である。 図３の薄膜蒸着アセンブリの概略的な側面図である。 図３の薄膜蒸着アセンブリの概略的な平面図である。 本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリで、蒸着物質が蒸着されている状態を概略的に示す図面である。 図６Ａのように、遮断板によって蒸着空間が分離された状態で発生する陰影を示す図面である。 蒸着空間が分離されていない状態で発生する陰影を示す図面である。 本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置を概略的に図示した斜視図である。 本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置の第１変形例を概略的に図示した斜視図である。 本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置の第２変形例を概略的に図示した斜視図である。 本発明のさらに他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置を概略的に図示した斜視図である。

以下、添付された図面を参照しつつ、本発明による望ましい実施形態について詳細に説明すれば、次の通りである。
図１は、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着装置によって製造された有機発光ディスプレイ装置の平面図である。

図１を参照すれば、有機発光ディスプレイ装置は、画素領域３０と、画素領域３０のエッジにある回路領域４０とから構成される。画素領域３０は、複数個の画素（pixel）で備わり、各画素は、所定の画像を具現するように発光する発光部を含む。
本発明の一実施形態によれば、該発光部は、有機電界発光素子をそれぞれ具備した複数個の副画素（sub-pixel）からなっている。フルカラーの有機発光ディスプレイ装置の場合には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の副画素がライン状、モザイク状、格子状などの多様なパターンで配列されて画素を構成し、プルカラー平板表示装置ではない、モノカラー平板表示装置でも差し支えない。

そして、回路領域４０は、画素領域３０に入力される画像信号などを制御する。このような有機発光ディスプレイ装置において、画素領域３０と回路領域４０とには、それぞれ少なくとも一つ以上の薄膜トランジスタが設置されうる。
画素領域３０に設置される薄膜トランジスタとしては、ゲートラインの信号によって発光素子にデータ信号を伝達し、その動作を制御するスイッチング用薄膜トランジスタや、データ信号によって有機電界発光素子に所定の電流が流れるように駆動させる駆動用薄膜トランジスタのような画素部薄膜トランジスタがある。そして、回路領域４０に設置される薄膜トランジスタとしては、所定の回路を具現するように備わった回路部薄膜トランジスタがある。

かような薄膜トランジスタの数や配置は、ディスプレイの特性及び駆動方法などによって多様な数が存在し、その配置方法も多様に存在しうることは言うまでもない。
図２は、図１の有機発光ディスプレイ装置で、一副画素を図示した断面図である。
図２に図示されているように、ガラス材またはプラスチック材の基板５０上に、バッファ層５１が形成されており、この上に、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）と、有機電界発光素子（ＯＬＥＤ）が形成される。

基板５０のバッファ層５１上に、所定パターンの活性層５２が備わる。活性層５２は、チャネル領域５２ａと、ソース／ドレイン領域５２ｂ，５２ｃとからなる。活性層５２の上部には、ゲート絶縁膜５３が備わり、ゲート絶縁膜５３上部の所定領域には、ゲート電極５４が形成される。ゲート電極５４は、薄膜トランジスタのオン／オフ信号を印加するゲートライン（図示せず）と連結されている。ゲート電極５４の上部には、層間絶縁膜５５が形成され、コンタクトホールを介して、ソース／ドレイン電極５６，５７が、それぞれ活性層５２のソース／ドレイン領域５２ｂ，５２ｃに接するように形成される。ソース／ドレイン電極５６，５７の上部には、ＳｉＯ_２、ＳｉＮ_ｘなどからなるパッシベーション膜５８が形成され、パッシベーション膜５８の上部には、アクリル、ポリイミド、ベンゾクロロブテン（ＢＣＢ）のような有機物質で、平坦化膜５９が形成されている。平坦化膜５９の上部に、有機電界発光素子（ＯＬＥＤ）のアノード電極になる画素電極６１が形成され、これを覆うように、有機物で画素定義膜（pixel define layer）６０が形成される。画素定義膜６０に所定の開口を形成した後、画素定義膜６０の上部、及び開口が形成されて外部に露出された画素電極６１の上部に、有機膜６２を形成する。有機膜６２は、発光層を含んだものでありうる。本発明は、必ずしもかかる構造に限定されるものではなく、多様な有機発光ディスプレイ装置の構造が、そのまま適用されうることは言うまでもない。

有機電界発光素子（ＯＬＥＤ）は、電流のフローによって、赤色、緑色、青色の光を発光して所定の画像情報を表示するものであり、薄膜トランジスタのドレイン電極５７に連結され、ここからプラス電源を供給される画素電極６１、全体画素を覆うように備わり、マイナス電源を供給する対向電極６３、及びそれら画素電極６１と対向電極６３との間に配されて発光する有機膜６２から構成される。

画素電極６１と対向電極６３は、その間に有機膜６２が介在しており、有機膜６２に、互いに異なる極性の電圧を加え、有機膜６２で発光が起こさせる。
有機膜６２は、低分子または高分子の有機膜が使われるが、低分子有機膜を使用する場合、ホール注入層（ＨＩＬ：hole injection layer）、ホール輸送層（ＨＴＬ：hole transport layer）、発光層（ＥＭＬ：emission layer）、電子輸送層（ＥＴＬ：electron transport layer）、電子注入層（ＥＩＬ：electron injection layer）などが、単一あるいは複合の構造で積層されて形成され、使用可能な有機材料も、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）、Ｎ，Ｎ−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ,Ｎ’−ジフェニル−ベンジジン（ＮＰＢ）、トリス−８−ヒドロキシキノリンアルミニウム（Ａｌｑ３）などを始めとして、多様に適用可能である。これた低分子有機膜は、真空蒸着の方法で形成される。

高分子有機膜の場合には、おおむねホール輸送層（ＨＴＬ）及び発光層（ＥＭＬ）で備わった構造を有することができ、このとき、ホール輸送層としてポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）／ポリ（４−スチレンスルホネート）（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を使用し、発光層としてポリフェニレンビニレン（ＰＰＶ）系やポリフルオレン系の高分子有機物質を使用し、これをスクリーン印刷やインクジェット印刷の方法で形成できる。
かかる有機膜は、必ずしもこれらに限定されるものではなく、多様な実施形態が適用されうることは言うまでもない。

画素電極６１は、アノード電極の機能を行い、対向電極６３は、カソード電極の機能を行うが、それら画素電極６１と対向電極６３との極性は、反対になっても差し支えのないことは言うまでもない。
画素電極６１は、透明電極または反射型電極として備わりうるが、透明電極として使われるときには、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、ＺｎＯまたはＩｎ_２Ｏ_３で備わり、反射型電極として使われるときには、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ及びそれらの化合物で反射膜を形成した後、その上に、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ_２Ｏ_３を形成できる。

一方、対向電極６３も、透明電極または反射型電極で備わりうるが、透明電極として使われるときには、対向電極６３がカソード電極として使われるので、仕事関数が小さい金属、すなわち、Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ及びそれらの化合物が有機膜６２の方向に向くように蒸着した後、その上に、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ_２Ｏ_３のような透明電極形成用の物質で、補助電極層やバス電極ラインを形成できる。そして、反射型電極として使われるときには、前記Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ及びそれらの化合物を全面蒸着して形成する。

かかる有機発光ディスプレイ装置で、発光層を含む有機膜６２は、後述する薄膜蒸着装置１００（図３）によって形成されうる。

以下、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法について詳細に説明する。
図３は、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリを概略的に図示した斜視図であり、図４は、図３の薄膜蒸着アセンブリの概略的な側面図であり、図５は、図３の薄膜蒸着アセンブリの概略的な平面図である。

図３、図４及び図５を参照すれば、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ１００は、蒸着源１１０、蒸着源ノズル部１２０、遮断板アセンブリ１３０及びパターニングスリット・シート１５０を含む。
ここで、図３、図４及び図５には、説明の便宜のためにチャンバを図示していないが、図３ないし図５のあらゆる構成は、適切な真空度が維持されるチャンバ内に配されることが望ましい。これは、蒸着物質の直進性を確保するためである。

詳細には、蒸着源１１０から放出された蒸着物質１１５が、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリット・シート１５０を通過し、基板４００に所望のパターンで蒸着されるようにしようとするなら、基本的にチャンバ（図示せず）内部は、ＦＭＭ（fine metal mask）蒸着方法と同じ高真空状態を維持しなければならない。また、遮断板１３１及びパターニングスリット・シート１５０の温度が、蒸着源１１０の温度より十分に低くなければならない（約１００゜以下）。なぜならば、遮断板１３１の温度が十分に低くなって初めて、遮断板１３１に衝突した蒸着物質１１５が再び蒸発する現象を防止でき、パターニングスリット・シート１５０の温度が十分に低くてこそ、温度によるパターニングスリット・シート１５０の熱膨張問題を最小化できるからである。このとき、遮断板アセンブリ１３０は、高温の蒸着源１１０を向いており、蒸着源１１０と近いところは、最大１６７゜ほどに温度が上昇するために、必要な場合、部分冷却装置がさらに備わりうる。このために、遮断板アセンブリ１３０には、冷却部材が形成されうる。

かようなチャンバ（図示せず）内には、被蒸着体である基板４００が配される。前記基板４００は、平板表示装置用基板になりうるが、多数の平板表示装置を形成できるマザーガラス（mother glass）のような大面積基板が適用されうる。
ここで、本発明の一実施形態では、基板４００が薄膜蒸着アセンブリ１００に対して、相対的に移動しつつ蒸着が進められることを１つの特徴とする。

詳細には、既存のＦＭＭ蒸着方法では、ＦＭＭサイズが基板サイズと同一に形成されねばならない。従って、基板サイズが大きくなるほど、ＦＭＭも大型化してしまい、従って、ＦＭＭ製作が容易ではなく、ＦＭＭを引っ張って精密なパターンにアライン（align）するのも、容易ではないという問題点が存在した。

かかる問題点を解決するために、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ１００は、薄膜蒸着アセンブリ１００と基板４００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着がなされることを１つの特徴とする。言い換えれば、薄膜蒸着アセンブリ１００と対向するように配された基板４００がＹ軸方向に沿って移動しつつ、連続的に蒸着が行われるのである。すなわち、基板４００が、図３の矢印Ａ方向に移動しつつ、スキャニング（scanning）方式で蒸着が行われるのである。ここで、図面には、基板４００がチャンバ（図示せず）内でＹ軸方向に移動しつつ蒸着がなされると図示されているが、本発明の思想は、これに制限されるものではなく、基板４００は固定されており、薄膜蒸着アセンブリ１００自体がＹ軸方向に移動しつつ、蒸着を行うことも可能であると言える。

従って、本発明の薄膜蒸着アセンブリ１００では、従来のＦＭＭに比べて、はるかに小さくパターニングスリット・シート１５０を作ることができる。すなわち、本発明の薄膜蒸着アセンブリ１００の場合、基板４００がＹ軸方向に沿って移動しつつ、連続的に、すなわち、スキャニング方式で蒸着を行うために、パターニングスリット・シート１５０のＸ軸方向及びＹ軸方向の長さは、基板４００の長さよりはるかに小さく形成できるのである。このように、従来のＦＭＭに比べて、はるかに小さくパターニングスリット・シート１５０を作ることができるために、本発明のパターニングスリット・シート１５０は、その製造が容易である。すなわち、パターニングスリット・シート１５０のエッチング作業や、その後の精密引っ張り及び溶接作業、移動及び洗浄作業などのあらゆる工程で、小サイズのパターニングスリット・シート１５０が、ＦＭＭ蒸着方法に比べて有利である。また、これは、ディスプレイ装置が大型化するほど、さらに有利になる。

このように、薄膜蒸着アセンブリ１００と基板４００とが互いに相対的に移動しつつ、蒸着がなされるためには、薄膜蒸着アセンブリ１００と基板４００とが一定程度離隔されるということが望ましい。これについては、後ほど詳述する。
一方、チャンバ内で、前記基板４００と対向する側には、蒸着物質１１５が収納及び加熱される蒸着源１１０が配される。前記蒸着源１１０内に収納されている蒸着物質１１５が気化されることによって、基板４００に蒸着がなされる。

詳細には、蒸着源１１０は、その内部に蒸着物質１１５が充填されるルツボ１１１と、ルツボ１１１を加熱させ、ルツボ１１１内部に充填された蒸着物質１１５をルツボ１１１の一側、詳細には、蒸着源ノズル部１２０側に蒸発させるためのヒータ１１２とを含む。
蒸着源１１０の一側、詳細には、蒸着源１１０から基板４００に向かう側には、蒸着源ノズル部１２０が配される。そして、蒸着源ノズル部１２０には、Ｘ軸方向に沿って複数個の蒸着源ノズル１２１が形成される。ここで、前記複数個の蒸着源ノズル１２１は、等間隔に形成されうる。蒸着源１１０内で気化された蒸着物質１１５は、かかる蒸着源ノズル部１２０を通過し、被蒸着体である基板４００側に向かうのである。

蒸着源ノズル部１２０の一側には、遮断板アセンブリ１３０が備わる。前記遮断板アセンブリ１３０は、複数枚の遮断板１３１と、遮断板１３１の外側に備わる遮断板フレーム１３２とを含む。前記複数枚の遮断板１３１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に備わりうる。ここで、前記複数枚の遮断板１３１は、等間隔に形成されうる。また、それぞれの遮断板１３１は、図面で見たとき、ＹＺ平面と平行に、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。このように配された複数枚の遮断板１３１は、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリット・シート１５０との間の空間を複数個の蒸着空間Ｓ（図５）に区画する役割を行う。すなわち、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ１００は、前記遮断板１３１によって、蒸着物質が噴射されるそれぞれの蒸着源ノズル１２１別に、蒸着空間Ｓが分離されることを１つの特徴とする。

ここで、それぞれの遮断板１３１は、互いに隣接している蒸着源ノズル１２１間に配されうる。これは言い換えれば、互いに隣接している遮断板１３１間に、１つの蒸着源ノズル１２１が配されると見ることもできる。望ましくは、蒸着源ノズル１２１は、互いに隣接している遮断板１３１間の真ん中に位置できる。このように、遮断板１３１が、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリット・シート１５０との間の空間を、複数個の蒸着空間Ｓに区画することによって、１つの蒸着源ノズル１２１から排出される蒸着物質は、他の蒸着源ノズル１２１から排出された蒸着物質と混合されずに、パターニングスリット１５１を通過し、基板４００に蒸着されるのである。言い換えれば、遮断板１３１は、蒸着源ノズル１２１を介して排出される蒸着物質を分散せせずに直進性を維持するように、蒸着物質のＸ軸方向の移動経路をガイドする役割を行う。

このように、遮断板１３１を具備して蒸着物質の直進性を確保することによって、基板に形成される陰影（shadow）のサイズを大幅に縮めることができ、従って、薄膜蒸着アセンブリ１００と基板４００とを一定程度離隔させることが可能になる。これについては、後ほど詳述する。

一方、前記複数枚の遮断板１３１の外側には、遮断板フレーム１３２がさらに備わりうる。遮断板フレーム１３２は、複数枚の遮断板１３１の上下面にそれぞれ備わり、複数枚の遮断板１３１の位置を支持すると同時に、蒸着源ノズル１２１を介して排出される蒸着物質を分散させないように、蒸着物質のＹ軸方向の移動経路をガイドする役割を行う。

一方、図面には、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリ１３０とが一定程度離隔されていると図示されているが、本発明の思想は、これに制限されるものではない。すなわち、蒸着源１１０から発散される熱が、遮断板アセンブリ１３０に伝導されることを防止するために、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリ１３０とを一定程度離隔させて形成することも可能であり、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリ１３０との間に、適切な断熱手段が備わる場合、蒸着源ノズル部１２０と遮断板アセンブリ１３０とを結合して接触させることも可能である。

一方、前記遮断板アセンブリ１３０は、薄膜蒸着アセンブリ１００から分離自在に形成されうる。詳細には、従来のＦＭＭ蒸着方法は、蒸着効率が低いという問題点が存在していた。ここで、蒸着効率とは、蒸着源から気化された材料のうち、実際に基板に蒸着された材料の比率を意味するものであり、従来のＦＭＭ蒸着方法での蒸着効率は、ほぼ３２％ほどである。しかも、従来のＦＭＭ蒸着方法では、蒸着に使われなかった６８％ほどの有機物が、蒸着器内部のところどころに蒸着されるために、そのリサイクルが容易ではないという問題点が存在した。

かかる問題点を解決するために、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ１００では、遮断板アセンブリ１３０を利用して蒸着空間を外部空間と分離したので、基板４００に蒸着されなかった蒸着物質は、ほとんど遮断板アセンブリ１３０内に蒸着される。従って、遮断板アセンブリ１３０を薄膜蒸着アセンブリ１００から分離自在に形成し、長時間の蒸着後、遮断板アセンブリ１３０に蒸着物質が多くたまれば、遮断板アセンブリ１３０を分離し、別途の蒸着物質リサイクル装置に入れて蒸着物質を回収できる。かかる構成を介して、蒸着物質リサイクル率を高めることによって蒸着効率が向上し、製造コストが節減されるという効果を得ることができる。

一方、蒸着源１１０と基板４００との間には、パターニングスリット・シート１５０及びフレーム１５５がさらに備わる。フレーム１５５は、ほぼ窓枠のような形態によって形成され、その内側に、パターニングスリット・シート１５０が結合される。そして、パターニングスリット・シート１５０には、Ｘ軸方向に沿って複数個のパターニングスリット１５１が形成される。蒸着源１１０内で気化された蒸着物質１１５は、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリット・シート１５０を通過し、被蒸着体である基板４００側に向かうのである。このとき、前記パターニングスリット・シート１５０は、従来のＦＭＭ、特に、ストライプタイプ（stripe type）マスクの製造方法と同じ方法であるエッチングを介して製作されうる。

ここで、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ１００は、蒸着源ノズル１２１の総個数より、パターニングスリット１５１の総個数がさらに多く形成される。また、互いに隣接している２枚の遮断板１３１間に配された蒸着源ノズル１２１の個数より、パターニングスリット１５１の個数がさらに多く形成される。

すなわち、互いに隣接している２枚の遮断板１３１間には、１つの蒸着源ノズル１２１が配されうる。同時に、互いに隣接している２枚の遮断板１３１間には、複数個のパターニングスリット１５１が配されうる。そして、互いに隣接している２枚の遮断板１３１によって、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリット・シート１５０との間の空間が区画され、それぞれの蒸着源ノズル１２１別に、蒸着空間Ｓが分離される。従って、１つの蒸着源ノズル１２１から放射された蒸着物質は、ほぼ同じ蒸着空間Ｓにあるパターニングスリット１５１を通過し、基板４００に蒸着されるのである。

一方、前述の遮断板アセンブリ１３０とパターニングスリット・シート１５０は、互いに一定程度離隔されるように形成され、遮断板アセンブリ１３０とパターニングスリット・シート１５０は、連結部材１３５によって、互いに連結されうる。詳細には、高温状態の蒸着源１１０によって、遮断板アセンブリ１３０の温度は、最大１００°以上に上昇するために、上昇した遮断板アセンブリ１３０の温度が、パターニングスリット・シート１５０に伝導されないように、遮断板アセンブリ１３０とパターニングスリット・シート１５０とを一定程度離隔させるのである。

前述のように、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ１００は、基板４００に対して相対的に移動しつつ蒸着を行い、このように、薄膜蒸着アセンブリ１００が基板４００に対して相対的に移動するために、パターニングスリット・シート１５０は、基板４００から一定程度離隔されるように形成される。そして、パターニングスリット・シート１５０と基板４００とを離隔させる場合に発生する陰影問題を解決するために、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリット・シート１５０との間に遮断板１３１を具備し、蒸着物質の直進性を確保することによって、基板に形成される陰影のサイズを大幅に縮められるのである。

詳細には、従来のＦＭＭ蒸着方法では、基板に陰影を生じさせないために、基板にマスクを密着させて蒸着工程を進めた。しかし、このように、基板にマスクを密着させる場合、基板とマスクとの接触による不良問題が発生するという問題点が存在した。また、マスクを基板に対して移動させられないために、マスクが基板と同じサイズに形成されねばならない。従って、ディスプレイ装置が大型化されることによって、マスクのサイズも大きくなってしまうが、かかる大型マスクを形成することが容易ではないという問題点が存在した。

かかる問題点を解決するために、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ１００では、パターニングスリット・シート１５０を、被蒸着体である基板４００と所定間隔をおいて離隔させて配するのである。これは、遮断板１３１を具備し、基板４００に生成される陰影を小さくすることによって、実現可能にするのである。

かかる本発明によって、マスクを基板より小さく形成した後、マスクを基板に対して移動させつつ蒸着を行うことにより、マスク製作が容易になるという効果を得ることができる。また、基板とマスクとの接触による不良を防止するという効果を得ることができる。また、工程で、基板とマスクとを密着させる時間が不要となるために、製造速度が速まるという効果を得ることができる。

以下、遮断板を具備した場合とそうではない場合とで形成される陰影のサイズについて詳細に比較する。
図６Ａは、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリで、蒸着物質が蒸着されている状態を概略的に示す図面であり、図６Ｂは、図６Ａのように、遮断板によって蒸着空間が分離された状態で発生する陰影を示す図面であり、図６Ｃは、蒸着空間が分離されていない状態で発生する陰影を示す図面である。

図６Ａを参照すれば、蒸着源１１０で気化された蒸着物質は、蒸着源ノズル部１２０及びパターニングスリット・シート１５０を通過し、基板４００に蒸着される。このとき、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリット・シート１５０との間の空間は、遮断板１３１によって、複数個の蒸着空間Ｓに区画されているので、遮断板１３１によって、蒸着源ノズル部１２０のそれぞれの蒸着源ノズル１２１から出てきた蒸着物質は、他の蒸着源ノズル１２１から出てきた蒸着物質と混合しない。

蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリット・シート１５０との間の空間が、遮断板アセンブリ１３０によって区画されている場合、図６Ａ及び図６Ｂに図示されているように、基板４００に生成される陰影領域の幅ＳＨ_１は、次の数式１によって決定される。

［数１］
ＳＨ_１＝ｓ＊ｄ_ｓ／ｈ
ここで、ｓは、パターニングスリット・シートと基板との間の距離であり、ｄ_ｓは、蒸着源ノズルの幅であり、ｈは、蒸着源とパターニングスリット・シートとの間の距離である。

一方、蒸着源ノズル部とパターニングスリット・シートとの間の空間が遮断板によって区画されてない場合、図６Ｃに図示されているように、蒸着物質は、図６Ｂでよりも広い範囲の多様な角度でパターニングスリット・シートを通過する。すなわち、この場合、パターニングスリットの真向かいにある蒸着源ノズルから放射された蒸着物質だけではなく、他の蒸着源ノズルから放射された蒸着物質までパターニングスリットを介して、基板４００に蒸着されるので、基板４００に形成された陰影領域の幅ＳＨ_２は、遮断板を具備した場合に比べて、はるかに大きくなる。このとき、基板４００に生成される陰影領域の幅ＳＨ_２は、次の数式２によって決定される。

［数２］
ＳＨ_２＝ｓ＊２ｄ_ｎ／ｈ
ここで、ｓは、パターニングスリット・シートと基板との間の距離であり、ｄ_ｎは、隣接する蒸着源ノズル１２１間の間隔であり、ｈは、蒸着源とパターニングスリット・シートとの間の距離である。

前記数式１と数式２とを比較したとき、ｄ_ｓ（蒸着源ノズルの幅）よりｄ_ｎ（隣接する蒸着ノズル間の間隔）が数〜数十倍以上はるかに大きく形成されるので、蒸着源ノズル部１２０とパターニングスリット・シート１５０との間の空間が遮断板１３１によって区画されている場合、陰影がはるかに小さく形成されることが分かる。ここで、基板４００に生成される陰影領域の幅ＳＨ_２を縮めるためには、（１）蒸着ノズル１２１が設けられる間隔を縮めるか（ｄ_ｎ減少）、（２）パターニングスリット・シート１５０と基板４００との間の間隔を縮めるか（ｓ減少）、（３）蒸着源１１０とパターニングスリット・シート１５０との距離を大きくせねばならない（ｈ増加）。

これからも分かるように、遮断板１３１を具備することによって、基板４００に生成される陰影が小さくなり、従ってパターニングスリット・シート１５０を基板４００から離隔されることが可能なのである。
図７は、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置を概略的に図示した斜視図である。

図７を参照すれば、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置は、図３ないし図６Ｃで説明した薄膜蒸着アセンブリが複数個備わることを１つの特徴とする。言い換えれば、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置は、赤色発光層（Ｒ）材料、緑色発光層（Ｇ）材料、青色発光層（Ｂ）の材料が一度に放射されるマルチ蒸着源（multi source）を具備することを１つの特徴とする。

詳細には、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置は、第１薄膜蒸着アセンブリ１００、第２薄膜蒸着アセンブリ２００及び第３薄膜蒸着アセンブリ３００を含む。かかる第１薄膜蒸着アセンブリ１００、第２薄膜蒸着アセンブリ２００及び第３薄膜蒸着アセンブリ３００それぞれの構成は、図３ないし図６Ｃで説明した薄膜蒸着アセンブリと同一なので、ここではその詳細な説明は省略する。

ここで、第１薄膜蒸着アセンブリ１００、第２薄膜蒸着アセンブリ２００及び第３薄膜蒸着アセンブリ３００の蒸着源には、互いに異なる蒸着物質が備わりうる。例えば、第１薄膜蒸着アセンブリ１００には、赤色発光層（Ｒ）の材料になる蒸着物質が備わり、第２薄膜蒸着アセンブリ２００には、緑色発光層（Ｇ）の材料になる蒸着物質が備わり、第３薄膜蒸着アセンブリ３００には、青色発光層（Ｂ）の材料になる蒸着物質が備わりうる。

すなわち、従来の有機発光ディスプレイ装置の製造方法では、各色相別に別途のチャンバとマスクとを具備することが一般的であったが、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着装置を利用すれば、１つのマルチソースで、赤色発光層（Ｒ）、緑色発光層（Ｇ）及び青色発光層（Ｂ）を一度に蒸着できるのである。従って、有機発光ディスプレイ装置の生産時間が画期的に短縮されると同時に、備わるべきチャンバ数が減少することによって、設備コストもまた、顕著に節減するという効果を得ることができる。

この場合、図面には詳細に図示されていないが、第１薄膜蒸着アセンブリ１００、第２薄膜蒸着アセンブリ２００及び第３薄膜蒸着アセンブリ３００のパターニングスリット・シート１５０，２５０，３５０は、互いに一定程度オフセット（offset）されて配されることによって、その蒸着領域が重畳しないようにすることができる。言い換えれば、第１薄膜蒸着アセンブリ１００が、赤色発光層（Ｒ）の蒸着を担当し、第２薄膜蒸着アセンブリ２００が、緑色発光層（Ｇ）の蒸着を担当し、第３薄膜蒸着アセンブリ３００が、青色発光層（Ｂ）の蒸着を担当する場合、第１薄膜蒸着アセンブリ１００のパターニングスリット１５１と、第２薄膜蒸着アセンブリ２００のパターニングスリット２５１と、第３薄膜蒸着アセンブリ３００のパターニングスリット３５１とが互いに同一線上に位置しないように配することによって、基板上の互いに異なる領域に、それぞれ赤色発光層（Ｒ）、緑色発光層（Ｇ）、青色発光層（Ｂ）を形成することができる。

ここで、赤色発光層（Ｒ）の材料になる蒸着物質と、緑色発光層（Ｇ）の材料になる蒸着物質と、青色発光層（Ｂ）の材料になる蒸着物質は、互いに気化する温度が異なるので、前記第１薄膜蒸着アセンブリ１００の蒸着源１１０の温度と、前記第２薄膜蒸着アセンブリ２００の蒸着源２１０の温度と、前記第３薄膜蒸着アセンブリ３００の蒸着源３１０の温度とが互いに異なるように設定することも可能である。

一方、図面には薄膜蒸着アセンブリが３つ備わると図示されているが、本発明の思想は、これに制限されるものではない。すなわち、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置は、薄膜蒸着アセンブリを多数個具備でき、前記多数個の薄膜蒸着アセンブリそれぞれに、互いに異なる物質を具備できる。例えば、薄膜蒸着アセンブリを５個具備し、それぞれの薄膜蒸着アセンブリに、赤色発光層（Ｒ）、緑色発光層（Ｇ）、青色発光層（Ｂ）、及び赤色発光層の補助層（Ｒ’）並びに緑色発光層の補助層（Ｇ’）を具備できる。

このように、複数個の薄膜蒸着アセンブリを具備し、多数個の薄膜層を一度に形成できるようにすることによって、製造収率及び蒸着効率が向上するという効果を得ることができる。また、製造工程が簡単になり、製造コストが節減されるという効果を得ることができる。

かかる構成の薄膜蒸着装置を利用し、有機発光ディスプレイ装置の発光層を含む有機膜６２（図２）を製造できる。ここで、有機発光ディスプレイ装置を製造する方法は、基板４００が薄膜蒸着装置に対して、所定距離離隔されるように配される段階、及び薄膜蒸着装置と基板とのうちいずれか一側が、他側に対して相対的に移動しつつ、前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質が基板に蒸着される段階を含む。
これについてさらに詳細に説明すれば、次の通りである。

まず、基板４００が薄膜蒸着装置に対して所定距離離隔されるように配される。前述のように、本発明の薄膜蒸着装置は、基板４００より小さく形成され、製造が容易なパターニングスリット・シート１５０を具備するために、薄膜蒸着装置と基板４００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着がなされることを１つの特徴とする。言い換えれば、薄膜蒸着装置と対向するように配された基板４００が、Ｙ軸方向に沿って移動しつつ、連続的に蒸着が行われる。すなわち、基板４００が、図７の矢印Ｂ方向に移動しつつ、スキャニング方式で蒸着が行われるのである。そして、薄膜蒸着装置と基板４００とが互いに相対的に移動するためには、薄膜蒸着装置と基板４００とが一定程度離隔されていなければならない。従って、基板４００は、チャンバ（図示せず）内で、薄膜蒸着装置と所定距離離隔されるように配される。

次に、薄膜蒸着装置と基板４００とのうちいずれか一側が、他側に対して相対的に移動しつつ薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質が基板に蒸着される。前述のように、本発明の薄膜蒸着装置は、基板４００より小さく形成され、製造が容易なパターニングスリット・シート１５０を具備するために、薄膜蒸着装置と基板４００とが互いに相対的に移動しつつ蒸着がなされる。図７などには、薄膜蒸着装置が固定されている状態で、基板４００が図面のＹ軸方向に移動すると図示されているが、本発明の思想は、これらに制限されるものではなく、基板が固定されている状態で、薄膜蒸着装置が全体的に移動することも可能である。

ここで、本発明の一実施形態に係わる有機発光ディスプレイ装置の製造方法は、赤色発光層（Ｒ）材料、緑色発光層（Ｇ）材料、青色発光層（Ｂ）材料が一度に放射されるマルチ蒸着源を具備し、複数個の有機層が一度に蒸着されることを１つの特徴とする。すなわち、薄膜蒸着アセンブリを複数個具備することによって、１つのマルチソースで、赤色発光層（Ｒ）、緑色発光層（Ｇ）及び青色発光層（Ｂ）を一度に蒸着でき、従って、有機発光ディスプレイ装置の生産時間が画期的に短縮されると同時に、備わるべきチャンバ数が減少することによって、設備コストもまた、顕著に節減されるという効果を得ることができる。

図８は、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置の第１変形例を概略的に図示した斜視図である。本発明の他の実施形態の第１変形例は、他の部分はオリジナル実施形態と同一であり、パターニングスリット・シートの構成が特徴的に変わる。従って、本変形例では、オリジナル実施形態と同じ引用符号を使用する構成要素については、その詳細な説明を省略する。
図８を参照すれば、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置の第１変形例は、複数個の薄膜蒸着アセンブリのパターニングスリット・シートが一体に形成されることを１つの特徴とする。

詳細には、第１薄膜蒸着アセンブリ１００と、第２薄膜蒸着アセンブリ２００と、第３薄膜蒸着アセンブリ３００は、１つのパターニングスリット・シート１５０’を共有するように形成される。そして、パターニングスリット・シート１５０’で、第１薄膜蒸着アセンブリ１００に対応する領域には、パターニングスリット１５１’が形成され、第２薄膜蒸着アセンブリ２００に対応する領域には、パターニングスリット２５１’が形成され、第３薄膜蒸着アセンブリ３００に対応する領域には、パターニングスリット３５１’が形成される。

前記それぞれのパターニングスリット１５１’，２５１’，３５１’は、互いに一定程度オフセットされて配されることによって、その蒸着領域が重畳しないようにすることができる。言い換えれば、第１薄膜蒸着アセンブリ１００が、赤色発光層（Ｒ）の蒸着を担当し、第２薄膜蒸着アセンブリ２００が、緑色発光層（Ｇ）の蒸着を担当し、第３薄膜蒸着アセンブリ３００が、青色発光層（Ｂ）の蒸着を担当する場合、第１薄膜蒸着アセンブリ１００に対応する領域のパターニングスリット１５１’と、第２薄膜蒸着アセンブリ２００に対応する領域のパターニングスリット２５１と、第３薄膜蒸着アセンブリ３００に対応する領域のパターニングスリット３５１’とが互いに同一線上に位置しないように配されることによって、基板上の互いに異なる領域に、それぞれ赤色発光層（Ｒ）、緑色発光層（Ｇ）、青色発光層（Ｂ）を形成させることができる。

かかる構成を介して、ただ一度の精密アラインのみで、それぞれの薄膜蒸着アセンブリとパターニングスリット・シートとを正確に所望の位置に配するという効果を得ることができる。
図９は、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置の第２変形例を概略的に図示した斜視図である。

図９を参照すれば、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置の第２変形例は、複数個の薄膜蒸着アセンブリのパターニングスリット・シートのパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されることを１つの特徴とする。
詳細には、本発明の一実施形態に係わる有機発光ディスプレイ装置は、発光層を含む有機膜の厚さが、赤色、緑色及び青色の光を放出する副画素で、互いに異なる厚さを有するように形成されうる。詳細には、赤色の光を放出する副画素で、有機膜の厚さは、１,６００Åないし２,２００Åでありうる。一方、緑色の光を放出する副画素で、有機膜の厚さは、１,０００Åないし１,２００Åでありうる。最後に、青色の光を放出する副画素で、有機膜の厚さは、１００Åないし５００Åでありうる。それぞれの有機膜の厚さが前述の範囲の下限以下であるか、または上限以上である場合、発光層の共振効果に適した正孔注入特性及び正孔伝達特性を有することができないので、色純度が不良になり、効率が低下しうる。また、それぞれの有機膜の厚さが、前述の範囲の上限以上である場合、駆動電圧が上昇しうる。

従って、本発明の一実施形態に係わる有機発光ディスプレイ装置は、各発光層の厚さが互いに異なるように形成されることが望ましい。このように、各発光層の厚さを互いに異なるように形成するために、それぞれの薄膜蒸着アセンブリの温度を制御する方法を想定できるが、これは、その制御範囲が狭小であるという問題点が存在する。従って、本発明の他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置の第２変形例では、それぞれの薄膜蒸着アセンブリのパターニングスリット・シートのパターニングスリット長を互いに異なって形成する方法で、各発光層の厚さを互いに異なるように形成することを１つの特徴とする。

前述のように、赤色の光を放出する副画素で有機膜の最適厚は、１,６００Åないし２,２００Åであり、緑色の光を放出する副画素で有機膜の最適厚は、１,０００Åないし１,２００Åであり、青色の光を放出する副画素で有機膜の最適厚は、１００Åないし５００Åである。従って、赤色発光層を蒸着する第１薄膜蒸着アセンブリ１００での蒸着量が最も多く、青色発光層を蒸着する第３薄膜蒸着アセンブリ３００での蒸着量が最も少なくなければならない。このように、それぞれの薄膜蒸着アセンブリ別に、蒸着量を異ならせるために、本発明では、それぞれの薄膜蒸着アセンブリのパターニングスリット長を調節することを特徴とする。すなわち、赤色発光層を蒸着する第１薄膜蒸着アセンブリ１００のパターニングスリット１５１”の長さを最も長くし、緑色発光層を蒸着する第２薄膜蒸着アセンブリ２００のパターニングスリット２５１”の長さは、第１薄膜蒸着アセンブリ１００のパターニングスリット１５１”の長さより所定程度短く形成し、青色発光層を蒸着する第３薄膜蒸着アセンブリ３００のパターニングスリット３５１”の長さは、第２薄膜蒸着アセンブリ２００のパターニングスリット２５１”の長さより所定程度短く形成するのである。

このように、パターニングスリット長を調整することによって、パターニングスリット・シートを通過し、基板方向に入射する蒸着物質の量自体を制御することが可能になり、各発光層の厚さを互いに異なって形成することが可能になる。
図１０は、本発明のさらに他の実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリを概略的に図示した斜視図である。

図１０を参照すれば、本発明のさらに他の実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ５００は、蒸着源５１０、蒸着源ノズル部５２０、第１遮断板アセンブリ５３０、第２遮断板アセンブリ５４０、パターニングスリット・シート５５０及び基板４００を含む。

ここで、図１０には、説明の便宜のためにチャンバを図示していないが、図１０のあらゆる構成は、適切な真空度が維持されるチャンバ内に配されることが望ましい。これは、蒸着物質の直進性を確保するためである。
かようなチャンバ（図示せず）内には、被蒸着体である基板４００が配される。そして、チャンバ（図示せず）内で、基板４００と対向する側には、、蒸着物質５１５が収納及び加熱される蒸着源５１０が配される。蒸着源５１０は、ルツボ５１１とヒータ５１２とを含む。

蒸着源５１０の一側、詳細には、蒸着源５１０で基板４００を向く側には、蒸着源ノズル部５２０が配される。そして、蒸着源ノズル部５２０には、Ｘ軸方向に沿って複数個の蒸着源ノズル５２１が形成される。
蒸着源ノズル部５２０の一側には、第１遮断板アセンブリ５３０が備わる。前記第１遮断板アセンブリ５３０は、複数個の第１遮断板５３１と、第１遮断板５３１の外側に備わる第１遮断板フレーム５３２とを含む。

第１遮断板アセンブリ５３０の一側には、第２遮断板アセンブリ５４０が備わる。前記第２遮断板アセンブリ５４０は、複数個の第２遮断板５４１と、第２遮断板５４１の外側に備わる第２遮断板フレーム５４２とを含む。
そして、蒸着源５１０と基板４００との間には、パターニングスリット・シート５５０及びフレーム５５５がさらに備わる。フレーム５５５は、ほぼ窓枠のような格子形態に形成され、その内側に、パターニングスリット・シート５５０が結合されうる。そして、パターニングスリット・シート５５０には、Ｘ軸方向に沿って複数個のパターニングスリット５５１が形成される。

ここで、本発明のさらに他の実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ５００は、遮断板アセンブリが、第１遮断板アセンブリ５３０と第２遮断板アセンブリ５４０とに分離されていることを１つの特徴とする。
詳細には、前記複数個の第１遮断板５３１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に備わりうる。そして、前記複数個の第１遮断板５３１は、等間隔に形成されうる。また、それぞれの第１遮断板５３１は、図面で見たとき、ＹＺ平面と平行に、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。

また、前記複数個の第２遮断板５４１は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に備わりうる。そして、前記複数個の第２遮断板５４１は、等間隔に形成されうる。また、それぞれの第２遮断板５４１は、図面で見たとき、ＹＺ平面と平行に、言い換えれば、Ｘ軸方向に垂直になるように形成される。

このように配された複数個の第１遮断板５３１及び第２遮断板５４１は、蒸着源ノズル部５２０とパターニングスリット・シート５５０との間の空間を区画する役割を行う。ここで、本発明のさらに他の実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ５００は、前記第１遮断板５３１及び第２遮断板５４１によって、蒸着物質が噴射されるそれぞれの蒸着源ノズル５２１別に、蒸着空間が分離されることを１つの特徴とする。

ここで、それぞれの第２遮断板５４１は、それぞれの第１遮断板５３１と一対一で対応するように配されうる。言い換えれば、それぞれの第２遮断板５４１は、それぞれの第１遮断板５３１とアラインされて互いに平行に配されうる。すなわち、互いに対応する第１遮断板５３１と第２遮断板５４１は、互いに同じ平面上に位置する。このように、互いに平行に配された第１遮断板５３１と第２遮断板５４１とによって、蒸着源ノズル部５２０と、後述するパターニングスリット・シート５５０との間の空間が区画されることによって、１つの蒸着源ノズル５２１から排出される蒸着物質は、他の蒸着源ノズル５２１から排出された蒸着物質と混合されず、パターニングスリット５５１を通過して基板４００に蒸着されるのである。言い換えれば、第１遮断板５３１及び第２遮断板５４１は、蒸着源ノズル５２１を介して排出される蒸着物質を分散させないように、蒸着物質のＸ軸方向の移動経路をガイドする役割を行う。

図面には、第１遮断板５３１のＸ軸方向の幅と、第２遮断板５４１のＸ軸方向の幅とが同じであると図示されているが、本発明の思想は、これに制限されるものではない。すなわち、パターニングスリット・シート５５０との精密なアラインが要求される第２遮断板５４１は、相対的に薄く形成される一方、精密なアラインが要求されない第１遮断板５３１は、相対的に厚く形成され、その製造を容易にすることも可能である。

一方、図面には図示されていないが、本発明のさらに他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置には、薄膜蒸着アセンブリが複数個備わることを１つの特徴とする。すなわち、本発明のさらに他の実施形態に係わる薄膜蒸着装置は、赤色発光層（Ｒ）材料、緑色発光層（Ｇ）材料、青色発光層（Ｂ）材料が一度に放射されるマルチ蒸着源を具備することを１つの特徴とする。そして、基板４００は、図１０の矢印Ｃ方向に移動しつつ、スキャニング方式で蒸着が行われる。かかる複数個の薄膜蒸着アセンブリについては、他の実施形態で詳述したので、本実施形態では、その詳細な説明は省略する。

本発明は、図面に図示された実施形態を参考にして説明したが、それらは例示的なものに過ぎず、本技術分野の当業者ならば、それらから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解することが可能であろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決まるものである。

３０ 画素領域
４０ 回路領域
５０ 基板
５１ バッファ層
５２ 活性層
５２ａ チャネル領域
５２ｂ ソース領域
５２ｃ ドレイン領域
５３ ゲート絶縁膜
５４ ゲート電極
５５ 層間絶縁膜
５６ ソース電極
５７ ドレイン電極
５８ パッシベーション層
５９ 平坦化層
６０ 画素定義膜
６１ 画素電極
６２ 有機膜
６３ 対向電極
１００ （第１）薄膜蒸着アセンブリ
１１０ 蒸着源
１１１ ルツボ
１１２ ヒータ
１１５ 蒸着物質
１２０ 蒸着源ノズル部
１２１ 蒸着源ノズル
１３０ 遮断板アセンブリ
１３１ 遮断板
１３２ 遮断板フレーム
１３５ 連結部材
１５０ パターニングスリット・シート
１５１ パターニングスリット
１５５ フレーム
２００ 第２薄膜蒸着アセンブリ
３００ 第３薄膜蒸着アセンブリ
４００ 基板
７００ 薄膜蒸着装置
Ｂ 青色発光層
Ｇ 緑色発光層
Ｒ 赤色発光層

Claims (26)

1. 基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、
   前記薄膜蒸着装置は、複数個の薄膜蒸着アセンブリを含み、
   前記複数個の薄膜蒸着アセンブリそれぞれは、
   蒸着物質を放射する蒸着源と、
   前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、
   前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第１方向に沿って複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートと、
   前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間に、前記第１方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画する複数枚の遮断板を具備する遮断板アセンブリとを含み、
   前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定距離離隔されるように形成され、
   前記薄膜蒸着装置と前記基板は、いずれか一側が他側に対して、相対的に移動自在に形成され、
   前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して相対的に移動しつつ、前記基板上に、前記各薄膜蒸着アセンブリの各蒸着物質が連続的に蒸着されることを特徴とする薄膜蒸着装置。
2. 前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各蒸着源には、別個の蒸着物質がそれぞれ備わることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
3. 前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各蒸着源に備わった各蒸着物質が、同時に前記基板上に蒸着されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
4. 前記薄膜蒸着アセンブリは少なくとも３個が備わり、前記少なくとも３個の薄膜蒸着アセンブリの各蒸着源に備わる蒸着物質は、それぞれ、赤色発光層の材料、緑色発光層の材料及び青色発光層の材料であることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
5. 前記薄膜蒸着装置と前記基板は、前記基板で前記蒸着物質が蒸着される面と平行する面に沿って、いずれか一側が他側に対して、相対的に移動することを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
6. 前記各薄膜蒸着アセンブリの前記パターニングスリット・シートは、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
7. 前記遮断板アセンブリは、前記蒸着源から放射される前記蒸着物質の放射経路をガイドすることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
8. 前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各蒸着源は、各蒸着源別に蒸着温度が制御可能なように備わることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
9. 前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各パターニングスリット・シートのパターニングスリットは、互いに所定程度オフセットされて形成されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
10. 前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各パターニングスリット・シートが一体に形成されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
11. 前記一体に形成されたパターニングスリット・シートには、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリそれぞれに対応する複数行のパターニングスリットが形成され、前記各行のパターニングスリットは、互いに所定程度オフセットされて形成されることを特徴とする請求項１０に記載の薄膜蒸着装置。
12. 前記複数個の薄膜蒸着アセンブリの各パターニングスリットは、前記複数個の薄膜蒸着アセンブリ別に互いに異なる長さを有するように形成されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
13. 前記各パターニングスリットの長さによって、前記基板上に蒸着される各蒸着物質の蒸着量が制御されることを特徴とする請求項１２に記載の薄膜蒸着装置。
14. 前記複数枚の遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直である第２方向に形成され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画することを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
15. 前記複数枚の遮断板は、等間隔に配されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
16. 前記遮断板アセンブリは、複数個の第１遮断板を具備する第１遮断板アセンブリと、複数個の第２遮断板を具備する第２遮断板アセンブリとを含むことを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着装置。
17. 前記複数個の第１遮断板及び前記複数個の第２遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直である第２方向に形成され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画することを特徴とする請求項１６に記載の薄膜蒸着装置。
18. 前記複数個の第１遮断板及び前記複数個の第２遮断板それぞれは、互いに対応するように配されることを特徴とする請求項１６に記載の薄膜蒸着装置。
19. 前記互いに対応する第１遮断板及び第２遮断板は、実質的に同じ平面上に位置するように配されることを特徴とする請求項１８に記載の薄膜蒸着装置。
20. 基板上に薄膜を形成する薄膜蒸着装置を利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、
    前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して、所定距離離隔されるように配される段階と、
    前記薄膜蒸着装置と前記基板とのうちいずれか一側が、他側に対して相対的に移動しつつ、前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質が、前記基板上に蒸着される段階とを含み、
    前記薄膜蒸着装置は、
    蒸着物質を放射する蒸着源と、
    前記蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、
    前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第１方向に沿って複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートと、
    前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間に、前記第１方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画する複数枚の遮断板を具備する遮断板アセンブリとを含む薄膜蒸着アセンブリを具備することを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
21. 前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、
    前記基板が、前記薄膜蒸着装置に対して相対的に移動しつつ、前記薄膜蒸着装置から放射される蒸着物質が、前記基板上に連続的に蒸着されることを特徴とする請求項２０に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
22. 前記薄膜蒸着装置は、それぞれ別個の蒸着物質を放射する複数個の前記薄膜蒸着アセンブリを含むことを特徴とする請求項２０に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
23. 前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、
    前記複数個の薄膜蒸着アセンブリから放射される各蒸着物質が、同時に前記基板上に蒸着される段階を含むことを特徴とする請求項２２に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
24. 前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、
    前記複数個の薄膜蒸着アセンブリに備わった赤色発光層の材料、緑色発光層の材料及び青色発光層の材料が、同時に前記基板上に蒸着される段階を含むことを特徴とする請求項２３に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
25. 前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、
    前記複数個の薄膜蒸着アセンブリ別に、蒸着温度を制御する段階をさらに含むことを特徴とする請求項２２に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
26. 前記蒸着物質が前記基板に蒸着される段階は、
    前記複数個の薄膜蒸着アセンブリ別に、前記蒸着物質の蒸着量を制御する段階をさらに含むことを特徴とする請求項２２に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。

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