KR20060060994A - 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 증착율이 일정하고 재현성이 좋은 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치를 위하여, 선형의 개구부를 갖는 가열 용기와, 상기 가열 용기의 선형의 개구부에 결합되는 복수개의 구멍들이 형성된 커버를 구비하고, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향을 따라, 상기 커버에 형성된 서로 이웃한 구멍들 사이의 거리가 변하는 것을 특징으로 하는 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치를 제공한다.

Description

증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치{Deposition source and deposition apparatus therewith}

도 1은 종래의 선형 증착 소스를 개략적으로 도시하는 사시도이다.

도 2는 도 1의 증착 소스를 이용하여 증착된 박막의 두께 분포를 개략적으로 나타내는 그래프이다.

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 증착 소스를 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.

도 4는 도 3의 IV-IV 선을 따라 취한 단면을 개략적으로 도시하는 단면도이다.

도 5는 도 3의 증착 소스를 이용하여 증착된 박막의 두께 분포를 개략적으로 나타내는 그래프이다.

도 6은 도 5의 변형예를 개략적으로 도시하는 단면도이다.

도 7은 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따른 증착 소스를 개략적으로 도시하는 사시도이다.

도 8은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

13: 가열 용기 15: 커버

17: 홀

본 발명은 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 증착율이 일정하고 재현성이 좋은 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치에 관한 것이다.

전계발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.

전계발광 디스플레이 장치는 발광층(EML : Emission layer) 형성 물질에 따라 무기 전계발광 디스플레이 장치와 유기 전계발광 디스플레이 장치로 구분되며, 이 중 유기 전계발광 디스플레이 장치는 무기 전계발광 디스플레이 장치에 비하여 휘도, 구동전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점을 가지고 있다.

일반적인 유기 전계발광 디스플레이 장치에 구비되는 유기 전계발광 소자에는 서로 대향된 전극들 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층이 된다. 상기 중간층에는 다양한 층들이 구비될 수 있는 바, 예컨대 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등을 들 수 있다. 유기 전계발광 소자의 경우, 이러한 중간층들은 유기물로 형성된 유기 박막들이다.

상기와 같은 구성을 가지는 유기 전계발광 소자를 제조하는 과정에서, 기판 상에 형성되는 홀 주입층, 홀수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등의 유기박막들 또는 전극들은 증착 장치를 이용하여 증착(deposition)의 방법에 의해 형성될 수 있다.

상기 증착 방법은 일반적으로 진공 챔버 내에 기판을 장착한 후, 증착될 물질을 담은 가열 용기를 가열하여 그 내부의 증착될 물질을 증발 또는 승화시킴으로써 박막을 제작한다.

유기 전계발광 소자의 박막을 이루는 상기 유기물은 10-6 내지 10-7 torr의 진공도에 250 내지 450℃ 정도의 온도범위에서 증발 또는 승화한다. 한편 전극재료는 유기재료와 비교하여 일반적으로 고온에서 증발하게 되는데, 이러한 증발온도는 재료의 종류에 따라 다양하다. 일반적으로 이용되는 마그네슘(Mg)은 500 내지 600℃, 은(Ag)은 1000℃ 이상에서 증발한다. 또한 전극재료로서 이용되는 알루미늄(Al)은 1000℃내외에서 증발하며, 리튬(Li)은 300℃ 정도에서 증발한다.

상기와 같은 유기재료 또는 전극재료 등을 기판에 증착시키는 데 있어서 가장 중요한 것은 기판 전체에 걸쳐 증착되는 막의 두께가 균일하게 되어야 한다는 점이다. 따라서, 이렇게 기판에 증착되는 박막의 균일도를 최적화시키기 위한 노력이 다양하게 시도되고 있다.

도 1은 종래의 선형 증착 소스(1)를 개략적으로 도시한 사시도이다. 도 1을 참조하면, 증착 소스(1)의 전면에 복수개의 구멍(7)들이 형성되어 있는 바, 상기 구멍(7)들을 통해 그 내부의 물질이 증발되어 방출된다. 이때 종래의 증착 소스(1)에 형성된 구멍(7)들은 동일한 간격으로 배치되어 있는 바, 이를 통해 증착을 하였을 때 형성된 박막의 두께의 분포는 도 2에 나타난 바와 같이 균일하지 못하다. 특히 상기 증착된 박막의 두께가 그 가장자리 방향으로 갈수록 낮아진다는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 기판을 회전시키거나, 증착 소스와 기판과의 거리를 최대화시키려는 시도가 있었으나, 설비 등의 문제 등으로 인하여 기판과 증착 소스와의 거리를 최대화시키는 데는 한계가 있으며, 기판을 회전시키는 경우에도 증착물의 입사각에 따라 기판에 증착되는 막의 밀도(두께)가 균일하지 않게 되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 증착율이 일정하고 재현성이 좋은 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적 및 그 밖의 여러 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 선형의 개구부를 갖는 가열 용기와, 상기 가열 용기의 선형의 개구부에 결합되는 복수개의 구멍들이 형성된 커버를 구비하고, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향을 따라, 상기 커버에 형성된 서로 이웃한 구멍들 사이의 거리가 변하는 것을 특징으로 하는 증착 소스를 제공한다.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 커버에 형성된 서로 이웃한 구멍들 사이의 거리는, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록 감소하는 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 커버에 형성된 구멍들은 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 일렬로 형성되어 있는 것으로 할 수 있다.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 선형의 개구부를 갖는 가열 용기와, 상기 가열 용기의 선형의 개구부에 결합되는 복수개의 구멍들이 형성된 커버를 구비하고, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향을 따라, 상기 커버에 형성된, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 단축 방향으로의 구멍들의 개수가 변하는 것을 특징으로 하는 증착 소스를 제공한다.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 커버에 형성된, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 단축 방향으로의 구멍의 개수는, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록 증가하는 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 서로 인접한 구멍들 사이의 거리는, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향에 있어서 일정한 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 서로 인접한 구멍들 사이의 거리는, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록 감소하는 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 커버에 형성된 구멍들의 최대 직경은 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 간격보다 작은 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 커버는 상기 가열 용기와 일체로 형성되는 것으로 할 수 있다.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 상기와 같은 증착 소스를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 장치를 제공한다.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 증착 소스는 수평 방향으로 증착될 물질을 방출하며, 상기 증착 장치는 상기 증착 소스를 상하로 이동시키는 이송장치를 더 구비하는 것으로 할 수 있다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 증착 소스(11)를 개략적으로 도시하는 분해 사시도이고, 도 4는 도 3의 IV-IV 선을 따라 취한 단면을 개략적으로 도시하는 단면도이며, 도 5는 도 3의 증착 소스(11)를 이용하여 증착된 박막의 두께 분포를 개략적으로 나타내는 그래프이다.

상기 도면들을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 소스(11)는 선형의 개구부를 갖는 가열 용기(13)와 상기 가열 용기(13)의 선형의 개구부에 결합되는 커버(15)를 구비한다. 상기 커버(15)에는 복수개의 구멍(17)들이 형성되어 있는 바, 상기 구멍(17)들을 통해 상기 가열 용기 내부(13a)에 배치된 증착물질이 방출된다. 물론 상기 가열 용기(13)를 가열하는 열선(미도시) 등도 구비될 수 있는 등, 다양한 변형이 가능하다.

이때, 상기 커버(15)에 형성된 구멍(17)들은 상기 가열 용기(13)의 선형의 개구부의 장축 방향, 즉 도 3의 즉 y 방향으로 일렬로 형성되어 있다. 그리고 상기 가열 용기(13)의 선형의 개구부의 장축 방향, 즉 y방향 또는 -y방향을 따라, 상기 커버(15)에 형성된 서로 이웃한 구멍(17)들 사이의 거리가 변하게 되어 있다. 이는 서로 이웃한 구멍(17)들 사이의 거리가 변하도록 함으로써, 동일한 간격으로 구멍들이 배치되었을 경우 증착되는 박막의 두께가 얇은 곳에 대응하는 부분에 상대적으로 구멍들이 많이 배치되도록 하기 위함이다. 이를 통해 증착되는 박막의 두께가 균일하도록 할 수 있게 된다.

특히 전술한 바와 같이 구멍들이 동일한 간격으로 배치될 경우, 도 2 에 도시된 바와 같이, 증착된 박막의 가장자리로 갈수록 증착된 박막의 두께가 얇아진다. 따라서 상기 커버(15)에 형성된 서로 이웃한 구멍(17)들 사이의 거리가, 상기 가열 용기(13)의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기(13)의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록, 즉 상기 커버(15)의 중심에서 y 방향 또는 -y 방향으로 갈수록 감소하도록 하는 것이 바람직하다. 이를 통해 증착되는 박막의 두께가 균일하도록 할 수 있게 된다.

이때, 상기 커버(15)에 형성된 서로 이웃한 구멍(17)들 사이의 거리는 시뮬레이션을 통해 결정할 수 있다. 즉, 증착될 물질의 질량 유량을 m, 형상 계수를 n, 증착 소스(11)로부터 증착이 이루어지는 기판까지의 거리를 S, 증착될 물질의 밀도 를 ρ, 방사각을 Φ, 그리고 입사각을 θ라 하였을 경우, 특정 지점에서 증착되는 박막의 두께 d는 다음과 같이 나타난다.

여기서 질량 유량 m이라 함은 상기 증착 소스(11)에서 분출되는 증착될 물질의 유량(流量)을 나타내는 것으로서, 이는 온도 등에 의해 결정되는 상수이다. 형상계수 n은 증착될 물질이 분출되는 개략적인 형태를 나타내는 것으로서, 이는 주로 증착 소스(11)의 구멍(17)의 형상 또는 증착될 물질의 재료에 의해 결정되는 상수이다. 그리고 방사각 Φ는 증착 소스(11)의 구멍(17)에서의 방사각을 나타낸다. 증착될 물질이 분출되는 개략적인 형태는 각 구멍(17)에 있어서 종(鐘) 형상으로 표시할 수 있는 바, 각 구멍(17)으로부터 그와 같은 종 형상 내부의 일 지점까지를 연결한 선분과 상기 구멍(17)으로부터 그 전면(前面)에 배치될 기판으로 수직인 선분 사이의 각도가 바로 방사각 Φ이다. 마지막으로 입사각 θ는 기판의 일 지점에 있어서 증착될 물질이 입사하는 각도를 나타낸다.

상기와 같이 특정 조건, 즉 증착 소스(11)의 구멍(17)의 형상 또는 증착이 이루어지는 온도 등의 특정 조건 하에서 증착될 박막의 두께를 시뮬레이션을 통해 계산할 수 있는 바, 이러한 계산을 통해 특정 조건 하에서 박막이 균일한 두께로 증착되기 위한 구멍(17)들 사이의 간격을 결정할 수 있다. 이러한 과정을 통해 증착 소스(11)에 형성될 구멍(17)들의 위치를 사전에 계산하여 증착을 함으로써 균일 한 두께의 박막을 증착할 수 있게 되는 바, 그 결과가 전술한 바와 같이 상기 커버(15)에 형성된 서로 이웃한 구멍(17)들 사이의 거리가, 상기 가열 용기(13)의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기(13)의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록, 즉 상기 커버(15)의 중심에서 y 방향 또는 -y 방향으로 갈수록 감소하도록 하는 것이다.

물론, 증착되는 박막의 두께가 균일하지 않고 특정 부분의 두께가 더 두꺼워져야 한다거나 더 얇아져야 하는 경우에도, 상기 가열 용기(13)의 선형의 개구부의 장축 방향, 즉 도 3의 y방향 또는 -y방향을 따라, 상기 커버(15)에 형성된 서로 이웃한 구멍(17)들 사이의 거리가 적절히 변하도록 함으로써 이를 구현할 수 있다.

이때, 상기 증착 소스(11)의 내부(13a)에 증착될 물질을 배치하고 이를 가열하여 증발 또는 승화시켜 이를 그 커버(15)에 형성된 구멍(17)들을 통해 외부로 방출시켜 기판 등의 소정의 증착 대상물에 증착되도록 하는 바, 증착될 물질이 상기 구멍(17)들을 통해 외부로 분출되는 속도가 클수록 증착이 효율적으로 이루어진다. 따라서 그 분출되는 속도를 높이기 위해 상기 증착 소스(11)의 내부(13a)의 압력이 높아지도록 하는 것이 바람직한 바, 이를 위해 상기 커버(15)에 형성된 구멍(17)들의 최대 직경(r1)이 상기 가열 용기(13)의 선형의 개구부의 간격(r2)보다 작도록 하는 것이 바람직하다. 이를 통해 증착될 물질이 분출되는 속도를 높여 증착이 효율적으로 이루어지도록 할 수 있다.

도 5는 상술한 바와 같은 본 실시예에 따른 증착 소스를 사용하여 증착된 박막의 두께 분포를 개략적으로 나타낸 그래프이다. 도 5의 그래프를 보면 알 수 있 듯이, 전 영역에 걸쳐 균일한 두께의 박막이 증착된 것을 알 수 있다.

한편, 도 3 및 도 4에 도시된 증착 소스의 경우에는 구멍(15)들이 형성된 커버(15)와 가열 용기(13)가 별도로 제조되어 이들이 결합되도록 되어 있으나, 이와 달리 도 6에 도시된 바와 같이 상기 커버(15)가 상기 가열 용기(13)와 일체로 형성되도록 할 수도 있다. 도 3 및 도 4에 도시된 증착 소스의 경우에는 상기 커버를 가열 용기로부터 분리시키고 상기 가열 용기 내부에 증착될 물질을 배치시키며, 도 6에 도시된 바와 같은 경우에는 상기 증착 소스의 일부분에 개구부 및 그 뚜껑 등이 구비되도록 하여 증착될 물질을 그 내부로 삽입할 수 있다.

도 7은 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따른 증착 소스를 개략적으로 도시하는 사시도이다.

상기 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 소스(21)에는 선형의 개구부를 갖는 가열 용기(23) 및 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부에 결합되는 커버(25)가 구비된다. 상기 커버(25)에는 역시 복수개의 구멍(27)들이 형성된다.

본 실시예에 따른 증착 소스가 전술한 실시예에 따른 증착 소스와 다른 점은, 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 장축 방향을 따라, 상기 커버(25)에 형성된, 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 단축 방향으로의 구멍(27)들의 개수가 변하도록 되어 있다는 것이다. 여기서 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 장축 방향은 도 7의 y방향 또는 -y 방향이 되고, 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 단축 방향은 도 7의 z 방향 또는 -z 방향이 된다.

이는 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 장축 방향을 따라, 상기 커버 (25)에 형성된, 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 단축 방향으로의 구멍(27)들의 개수가 변하도록 함으로써, 동일한 개수로 구멍들이 배치되었을 경우 증착되는 박막의 두께가 얇은 곳에 대응하는 부분에 상대적으로 구멍들이 많이 배치되도록 하기 위함이다. 이를 통해 증착되는 박막의 두께가 균일하도록 할 수 있게 된다.

특히 전술한 바와 같이 종래의 증착 소스를 사용할 경우, 도 2 에 도시된 바와 같이, 증착된 박막의 가장자리로 갈수록 증착된 박막의 두께가 얇아진다. 따라서 상기 커버(25)에 형성된 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 단축 방향으로의 구멍의 개수는, 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록 증가하도록 하는 것이 바람직하다. 이를 통해 증착되는 박막의 두께가 균일하도록 할 수 있게 된다.

이 경우, 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 장축 방향으로 서로 인접한 구멍들 사이의 거리(W)는, 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 장축 방향에 있어서 일정하도록 할 수 있다. 물론 전술한 실시예에 따른 증착 소스에서와 같이, 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 장축 방향으로 서로 인접한 구멍들 사이의 거리(W)가, 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기(23)의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록 감소하도록 할 수도 있다. 또한 전술한 실시예에 따른 증착 소스의 변형예에서 설명한 바와 같이, 상기 커버(25)와 상기 가열 용기(23)가 일체로 형성되도록 할 수도 있는 등 다양한 변형이 가능함은 물론이다.

도 8은 상기와 같은 증착 소스를 구비한 증착 장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.

상기 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 장치에는 내부에 챔버(111)가 구비되는데, 상기 챔버(111)에는 증착하고자 하는 기판(100)을 지지하는 기판 지지부(112)와, 상기 기판(100)에 밀착되며 증착하고자 하는 패턴의 슬릿이 형성된 증착 마스크(113), 상기 증착 마스크(113)를 지지하는 지지수단(113a), 그리고 상기 증착 마스크(113)를 사이에 두고 상기 기판(100)과 대응되도록 배치되는 증착 소스(103)가 구비되어 있다. 그리고 증착 마스크(113)를 상기 기판(100)에 밀착시키기 위한 수단이 더 구비될 수 있다.

상기 기판(100)을 지지하는 기판 지지부(112)는 기판(100)의 증착하고자 하는 면이 상기 증착 소스(103)와 대응되게 지지할 수 있도록 기판(100)의 가장자리를 지지하게 되는데, 이에 한정되지는 않는다. 그리고 본 실시예에 따른 증착 장치는, 상기 기판(100)이 자중에 의해 처지는 것을 방지하기 위해 상기 기판(100)이 수직으로 배치되도록 되어 있다. 이에 따라, 상기 수직으로 배치된 기판(100)에 증착될 물질을 방출하는 증착 소스(103)는 수평 방향으로 증착될 물질을 방출하며, 또한 상기 증착 소스(103)가 상하로 움직이면서 증착이 이루어질 수 있도록, 상기 증착 소스(103)를 상하로 이동시키는 이송장치(114)가 더 구비될 수 있다.

또한, 도 8에 도시된 것과 달리, 증착 소스는 한 개가 아닌 복수개가 구비될 수도 있는 등, 그 배치형태는 도 8에 도시된 바에 한정되지 않음은 물론이다.

상기와 같은 증착 장치에 있어서, 상기 증착 소스(103)로 전술한 실시예들에 따른 증착 소스들을 이용함으로써, 상기 기판(100)에 유기막 또는 금속막 등을 균일하게 증착할 수 있으며, 이를 통해 전 화면에 있어서 균일한 화상을 재현할 수 있는 유기 전계발광 디스플레이 장치 등을 제조할 수 있다.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 선형의 개구부를 갖는 가열 용기를 구비한 증착 소스에 구비된 구멍들이, 그 이웃한 구멍들 사이의 거리가 그 선형의 개구부의 장축 방향을 따라 변하도록 함으로써, 증착되는 박막의 두께를 조절할 수 있다. 이 경우, 이웃한 구멍들 사이의 거리가 그 선형의 개구부의 중심에서 그 장축 방향으로 갈수록 감소하도록 함으로써, 균일한 두께의 박막이 증착되도록 할 수 있다.

둘째, 선형의 개구부를 갖는 가열 용기를 구비한 증착 소스에 구비된 구멍들이, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 단축 방향으로의 구멍들의 개수가 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향을 따라 변하도록 함으로써, 증착되는 박막의 두께를 조절할 수 있다. 이 경우, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 단축 방향으로의 구멍의 개수가, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록 증가하도록 함으로써, 균일한 두께의 박막이 증착되도록 할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (11)

1. 선형의 개구부를 갖는 가열 용기; 및

   상기 가열 용기의 선형의 개구부에 결합되는, 복수개의 구멍들이 형성된 커버;를 구비하고,

   상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향을 따라, 상기 커버에 형성된 서로 이웃한 구멍들 사이의 거리가 변하는 것을 특징으로 하는 증착 소스.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 커버에 형성된 서로 이웃한 구멍들 사이의 거리는, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록 감소하는 것을 특징으로 하는 증착 소스.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 커버에 형성된 구멍들은 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 일렬로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 소스.
4. 선형의 개구부를 갖는 가열 용기; 및

   상기 가열 용기의 선형의 개구부에 결합되는, 복수개의 구멍들이 형성된 커버;를 구비하고,

   상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향을 따라, 상기 커버에 형성된, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 단축 방향으로의 구멍들의 개수가 변하는 것을 특징으로 하는 증착 소스.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 커버에 형성된 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 단축 방향으로의 구멍의 개수는, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록 증가하는 것을 특징으로 하는 증착 소스.
6. 제 4항에 있어서,

   상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 서로 인접한 구멍들 사이의 거리는, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향에 있어서 일정한 것을 특징으로 하는 증착 소스.
7. 제 4항에 있어서,

   상기 가열 용기의 선형의 개구부의 장축 방향으로 서로 인접한 구멍들 사이의 거리는, 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 중심으로부터 상기 가열 용기의 선 형의 개구부의 장축 방향으로 갈수록 감소하는 것을 특징으로 하는 증착 소스.
8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 커버에 형성된 구멍들의 최대 직경은 상기 가열 용기의 선형의 개구부의 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 증착 소스.
9. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 커버는 상기 가열 용기와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 소스.
10. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항의 증착 소스를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
11. 제 10항에 있어서,

    상기 증착 소스는 수평 방향으로 증착될 물질을 방출하며, 상기 증착 장치는 상기 증착 소스를 상하로 이동시키는 이송장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.

Images