JP2014189807A - 蒸発源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸着材料1が収容されるルツボ2にその長手方向に沿って主ヒータ3を設け、この主ヒータ3を設けた前記ルツボ2の少なくとも長手方向両端部に夫々補助ヒータ4を設け、前記ルツボ2の長手方向両端部を前記主ヒータ3及び補助ヒータ4で加熱制御し得るように構成する。
【選択図】図1
Description
2 ルツボ
3 主ヒータ
4 補助ヒータ
5 膜厚モニタ
6 材料放出口
Claims (13)
- 蒸着材料が収容されるルツボにその長手方向に沿って主ヒータを設け、この主ヒータを設けた前記ルツボの少なくとも長手方向両端部に夫々補助ヒータを設け、前記ルツボの長手方向両端部を前記主ヒータ及び補助ヒータで加熱制御し得るように構成したことを特徴とする蒸発源装置。
- 前記主ヒータをオープンループ制御により加熱制御する主ヒータ制御部を設けたことを特徴とする請求項1記載の蒸発源装置。
- 前記補助ヒータをクローズループ制御により加熱制御する補助ヒータ制御部を設けたことを特徴とする請求項1,2のいずれか1項に記載の蒸発源装置。
- 前記補助ヒータを3つ以上の領域に分けて設けると共に、いずれかの領域の補助ヒータをオープンループ制御により加熱制御し、残りの領域の補助ヒータをクローズループ制御により加熱制御するように前記補助ヒータ制御部を構成したことを特徴とする請求項3記載の蒸発源装置。
- 前記蒸着材料の成膜レートを計測する膜厚モニタにより計測された成膜レートに応じて前記補助ヒータの加熱制御を行うように前記補助ヒータ制御部を構成したことを特徴とする請求項3,4のいずれか1項に記載の蒸発源装置。
- 前記ルツボの長手方向に沿って複数台設けられる前記膜厚モニタにより計測された成膜レートに応じて前記補助ヒータの加熱制御を行うように前記補助ヒータ制御部を構成したことを特徴とする請求項3,4のいずれか1項に記載の蒸発源装置。
- 前記ルツボの長手方向に沿って複数台設けられる前記膜厚モニタにより計測された成膜レートに応じて前記各補助ヒータの加熱制御を個別に行うように前記補助ヒータ制御部を構成したことを特徴とする請求項3,4のいずれか1項に記載の蒸発源装置。
- 前記補助ヒータは前記ルツボに収容される蒸着材料の露出面と対向する該ルツボの壁面を加熱する位置に設けたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の蒸発源装置。
- 前記主ヒータは前記ルツボの長手と直交する方向に複数並設されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の蒸発源装置。
- 前記蒸着材料が成膜される基板の被成膜面と対向する前記ルツボの面に材料放出口を設け、加熱された蒸着材料の温度以上にこの材料放出口を加熱する放出口用補助ヒータを備えたことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の蒸発源装置。
- 前記ルツボに前記材料放出口を複数設けたことを特徴とする請求項10記載の蒸発源装置。
- 前記ルツボの長手方向両端部側ほど前記材料放出口からの材料放出量が多くなるように該ルツボを構成したことを特徴とする請求項10,11のいずれか1項に記載の蒸発源装置。
- 前記ルツボの長手方向両端部側ほど開口面積が大きくなるように前記材料放出口を構成したことを特徴とする請求項12記載の蒸発源装置。
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