KR100940549B1

KR100940549B1 - 정전척 장치

Info

Publication number: KR100940549B1
Application number: KR1020077026621A
Authority: KR
Inventors: 요시카즈 오오다니
Original assignee: 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority date: 2005-04-28
Filing date: 2005-04-28
Publication date: 2010-02-10
Also published as: JPWO2006117871A1; TW200644148A; WO2006117871A1; CN101167174A; CN100481369C; TWI381479B; KR20080009285A; JP3995706B2

Abstract

간단한 처리로 단시간에 워크를 흡착 가능하게 복귀시킨다.

전극(1)을 워크(W)와 평행한 평면내에서 복수의 에리어(1a)로 분할하고, 이들 에리어(1a)마다 독립된 전극 패턴(1b)를 각각 마련하고 각 전극 패턴(1b)에 대한 급전부(1c)를 에리어(1a)마다 각각 마련하고, 임의의 급전부(1c)를 절단하여 임의의 에리어(1a)에 배치된 전극 패턴(1b)에 대한 급전을 부분적으로 정지시킴으로써, 복수의 에리어(1a) 중 일부의 막면이 파괴된 경우에도, 이 파괴된 에리어(1a)내의 전극 패턴(1b)은 정전척으로서 선택적으로 기능하지 않지만, 그 이외의 에리어(1a)의 전극 패턴(1b)은 정전척으로서 기능한다.

Description

정전척 장치{ELECTROSTATIC CHUCK APPARATUS}

본 발명은, 예를 들면 액정 디스플레이(LCD)나 플라즈마 디스플레이(PDP) 등의 플랫 패널 디스플레이의 제조 과정에 있어서, CF유리나 TFT유리 등의 유리제 기판이나 또는 합성 수지제 기판 등의 워크를 흡착 유지하여 접합하는 기판 접합기를 포함하는 기판 조립 장치나, 기판을 반송하는 기판 반송 장치, 혹은 실리콘 웨이퍼 등의 워크를 가공하는 반도체 제조장치 등에 이용되는 정전척 장치에 관한 것이다.

자세하게는, 워크와 대향하여 면 형상으로 배치된 전극에 전압을 인가함으로써 워크를 정전 흡착하는 정전척 장치에 관한 것이다.

종래, 진공중에서 2장의 기판을 겹치는 기판 접합기에서는, 정전척으로 기판을 유지하고 있었지만, 최근 기판의 대형화에 수반되어, 큰 사이즈의 정전척을 제작하는 것이 어려워지고, 또 만일 제작할 수 있어도 매우 고가의 물건이 되어 있었다.

그래서, 이들 문제를 해결하기 위해서, 대형 기판에 대응하기 위해 복수의 정전척을 나열하여 배치한 정전척 장치가 있다.

이와 같은 정전척 장치의 일례로서, 대형 워크(피흡착체)를 흡착할 수 있는 면적의 대좌(베이스판)에 2장 이상의 정전척을 같은 높이로 접합하여 고정하고, 각 정전척의 내부 전극에 도통하는 전극 단자가 베이스판의 관통구멍을 통하여 대좌의 이측으로부터 서로 전기 배선됨으로써 정전척 유닛을 구성한 것도 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

특허 문헌 1：일본 공개 특허 공보 2002-252274호(제1-6페이지, 도 1-7)

이와 같은 정전척 장치를 이용한 액정 디스플레이의 생산 라인 등에서는, 특히 셋업 중에 유리의 파유리(파편) 등이 유리 기판상에 운반되는 일이 있어, 기판과의 정전 흡착에 수반하여 그 파유리가 정전척과의 사이에 끼어 들어감으로써, 이 정전척의 막면이 부분적으로 파괴되어 고장나는 일이 있다.

정전척의 막면이 일부분이라도 파괴되면, 이 정전척 전체의 기능이 정지됨과 함께 고전압이 걸리는 전극이 노출되기 때문에, 특히 진공중 접합기와 같은 진공에 가까운 상태로 이용되는 경우에는, 금속제 대좌의 접지부와의 사이에서 아크 방전되거나 혹은 진공으로 만들 때의 파셴 영역에 있어서 플라즈마 방전하는 등, 과전류를 일으키는 불편이 발생할 우려가 있었다.

이 점에 있어서, 특허 문헌 1의 경우에는, 2장 이상의 정전척이 배치되기 때문에, 막면이 파괴된 정전척을 제외하고 그 이외의 정전척은 사용 가능하지만, 막면의 일부분이 파괴된 정전척은 현장에서의 수리를 할 수 없기 때문에, 상기 서술한 방전을 방지하려면 막면의 일부분이 파괴된 정전척 자체를 교환해야 하여 비용 상승이 되고, 이 교환 작업이 완료될 때까지 라인 전체의 가동을 재개할 수 없으므로 가동률이 저하된다는 문제가 있었다.

이와 같은 정전척의 교환에 필요로 하는 시간을 단축화하려면, 미리 정전척의 예비품을 설치 장소 가까이에 항상 보유하지 않으면 안되므로, 전체 비용이 비싸진다는 문제가 있었다.

본 발명에 기재된 발명은, 간단한 처리로 단시간에 워크를 흡착 가능하게 복귀시키는 것을 목적으로 한 것이다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 목적에 더하여, 각 에리어의 절단 작업을 용이하게 하면서 절단 작업에 수반되는 균열의 확산에 의한 전극의 2차적인 피해를 방지하는 것을 목적으로 한 것이다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 목적에 더하여, 정전 흡착 기능을 비교적 저하시키지 않고 급전부의 점유 스페이스를 확보하는 것을 목적으로 한 것이다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 목적에 더하여, 급전부의 절단 처리에 수반하여 부분적으로 돌출해도 워크에 대한 악영향을 억제하는 것을 목적으로 한 것이다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 목적에 더하여, 선택적인 절단 부분과 금속 대좌와의 방전을 방지하는 것을 목적으로 한 것이다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 목적에 더하여, 간편하고 확실한 밀봉 처리를 단시간에 행할 수 있고 밀봉 부재의 재사용을 가능하게 하는 것을 목적으로 한 것이다.

<과제를 해결하기 위한 수단>

상기 서술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 기재된 발명은, 전극을 워크와 평행한 평면내에서 복수의 에리어로 분할하고, 이들 에리어마다 독립된 전극 패턴을 각각 마련하고 각 전극 패턴에 대한 급전부를 에리어마다 각각 마련하고, 임의의 급전부를 절단하여 임의의 에리어에 배치된 전극 패턴에 대한 급전을 부분적으로 정지시킨 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 구성에, 상기 복수의 급전부를 서로 접근시켜 나열하고, 이들 급전부의 근방에 슬릿을 그 급전부를 따라 형성한 구성을 더한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 구성에, 상기 복수의 급전부를 워크와 대향하여 전극 패턴이 마련된 정전척 기능면의 외측 영역에 배치한 구성을 더한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 구성에, 상기 급전부와 대향하는 대좌에 오목부를 형성한 구성을 더한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 구성에, 상기 급전부의 선택적인 절단 부분을 대좌의 오목부 내에서 밀봉한 구성을 더한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 기재된 발명은, 상기 기재된 발명의 구성에, 상기 급전부의 선택적인 절단 부분을 둘러싸도록 환상 시일재를 배치하여 밀봉한 구성을 더한 것을 특징으로 한다.

발명의 효과

본 발명에 기재된 발명은, 전극을 워크와 평행한 평면내에서 복수의 에리어로 분할하고, 이들 에리어마다 독립된 전극 패턴을 각각 마련하고 각 전극 패턴에 대한 급전부를 에리어마다 각각 마련하고, 임의의 급전부를 절단하여 임의의 에리어에 배치된 전극 패턴에 대한 급전을 부분적으로 정지시킴으로써, 복수의 에리어 중 일부의 막면이 파괴된 경우에도, 이 파괴된 에리어내의 전극 패턴은 정전척으로서 선택적으로 기능하지 않지만, 그 이외의 에리어의 전극 패턴은 정전척으로서 기능한다.

따라서, 간단한 처리로 단시간에 워크를 흡착 가능하게 복귀시킬 수 있다.

그 결과, 막면 파괴에 의한 방전을 방지하려면 막면이 파괴된 정전척 자체를 교환할 필요가 있는 종래의 것에 비해, 막면의 일부분이 파괴되어도 방전 방지를 위해서 그 정전척 전체를 교환할 필요가 없어져, 여러 번의 보수가 가능하게 되어 전체 비용을 저감할 수 있고, 정전척의 예비품의 보유수도 저감할 수 있다. 특히 본 발명의 정전척 장치를 액정 디스플레이의 생산 라인 등에 이용한 경우에는, 막면의 일부분이 파괴되어도 방전을 확실히 방지할 수 있고 라인 전체의 가동을 단시간에 재개할 수 있기 때문에, 가동률이 저하되지 않고 안정된 생산량을 기대할 수 있다.

본 발명의 발명은, 상기 기술된 발명의 효과에 더하여, 복수의 급전부를 서로 접근시켜 나열하고, 이들 급전부의 근방에 슬릿을 그 급전부를 따라 형성함으로써, 슬릿으로부터 커터나 가위 등의 절단날을 삽입하면, 목표로 한 급전부 하나가 절단 가능하게 되고, 그 절단 끝가장자리부로부터 전극을 구성하는 필름 등에 균열이 발생하는 일도 없다.

따라서, 각 에리어의 절단 작업을 용이하게 하면서 절단 작업에 수반하는 균열의 확산에 의한 전극의 2차적인 피해를 방지할 수 있다.

본 발명의 발명은, 상기 기술된 발명의 효과에 더하여, 복수의 급전부를 워크와 대향하여 전극 패턴이 마련된 정전척 기능면의 외측 영역에 배치함으로써, 급전부를 확보하기 위한 스페이스가 정전척 기능면의 영역내에 들어가지 않아, 흡착 영역의 유효 면적이 넓게 확보된다.

따라서, 정전 흡착 기능을 비교적 저하시키지 않고 급전부의 점유 스페이스를 확보할 수 있다.

본 발명의 발명은, 상기 기술된 발명의 효과에 더하여, 급전부와 대향하는 대좌에 오목부를 형성함으로써, 급전부의 절단으로 이 급전부의 절단 부분이 워크를 향하여 볼록한 형상으로 돌출한 형상이 되어도, 워크의 정전 흡착시에 이 절단 볼록 형상부가 상기 오목부내에 들어가 워크에 대해 부분적으로 압접되지 않는다.

따라서, 급전부의 절단 처리에 수반하여 부분적으로 돌출해도 워크에 대한 악영향을 억제할 수 있다.

본 발명의 발명은, 상기 기술된 발명의 효과에 더하여, 급전부의 선택적인 절단 부분을 대좌의 오목부 내에서 밀봉함으로써, 급전부의 선택적인 절단 부분이 노출되지 않는다.

따라서, 선택적인 절단 부분과 금속 대좌와의 방전을 방지할 수 있다.

본 발명의 발명은, 상기 기술된 발명의 효과에 더하여, 급전부의 선택적인 절단 부분을 둘러싸도록 환상 시일재를 배치하여 밀봉함으로써, 절단 부분과 그 외부 분위기가 환상 시일재를 통하여 차단된다.

따라서, 간편하고 확실한 밀봉 처리를 단시간에 행할 수 있고 밀봉 부재의 재사용을 가능하게 할 수 있다.

발명을 실시하기 위한 최량의 형태

본 발명의 정전척 장치(A)가, 워크(W)로서 액정 디스플레이(LCD) 패널 등의 유리 기판을 정전 흡착하여 접합하는 기판 접합기에 설치된 경우를 나타낸다.

이 기판 접합기는, 상하 한 쌍 설치된 유지판(11)의 대향면에 워크(W)로서 2장의 기판을 각각 유지시켜, 그들의 주위에 구획 형성된 폐공간(도시하지 않음)내가 소정의 진공도에 이르고 나서 상하 유지판을 상대적으로 XYθ방향으로 조정 이동하여 기판끼리의 위치 맞춤이 행해지고, 그 후, 상부 유지판으로부터 상부 기판을 강제적으로 박리하여 하부 기판상의 환상 접착제 또는 시일재(도시하지 않음)에 순간적으로 압착함으로써, 양자간을 밀봉하여 겹치고, 그 후에는 양 기판의 내외에 생기는 기압차로 양 기판 사이를 소정의 갭까지 가압하여 접합 공정이 완료하는 것이다.

그리고, 상기 유지판(11)의 기판측에는, 그 전체에 걸쳐 본 발명의 정전척 장치(A)를 설치하거나, 또는 복수의 정전척 장치(A)를 서로 접합하여 각각의 흡착면이 같은 높이가 되도록 병렬 형상으로 설치함으로써, 대형의 워크(기판, W)에서도 확실히 흡착 유지 가능하게 하고 있다.

본 발명의 정전척 장치(A)는, 도 1∼도 5에 나타내는 바와 같이, 워크(W)와 대향하여 면 형상으로 형성된 전극(1)과, 이 전극(1)에 적층되는 유전층(2)와, 이들을 따라 워크(W)와 반대측에 마련된 대좌(3)로 이루어지는 필름 형상 또는 판 형상의 적층 구조체이며, 이 대좌(3)의 이면(3a)를 상기 유지판(11)의 기판측 표면(11a)에 대해 착탈이 자유롭게 부착되어 있다.

상기 유전층(2)는, 예를 들면 폴리이미드, 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 등의 엔지니어링 플라스틱으로 이루어지는 탄성변형 가능한 절연성 유기 재료로, 2층 또는 3층 이상 또는 1층의 필름 형상으로 형성하거나, 혹은 예를 들면 Al₂O₃, SiC, AlN, Zr₂O₃ 등의 세라믹스나 그 이외의 무기 재료 등에 의해 박판 형상으로 형성하고, 면 형상으로 형성된 전극(1)의 양면 또는 워크측 표면에만 접착하여 적층한다.

상기 전극(1)의 워크측 표면에 폴리이미드나 PEEK 등의 유기 재료제의 유전층(2)를 적층한 경우에는 전기적 특성이 뛰어나다는 이점이 있고, 세라믹스제의 유전층(2)를 적층한 경우에는 이 유전층(2) 자체가 딱딱해져, 워크(W)와의 사이에 유리의 파유리(파편) 등 딱딱한 이물이 끼어 들어갔을 때에도 유전층(2)가 손상되기 어려워진다는 이점이 있다.

또한, 상기 유전층(2)의 이면 또는 전극(1)의 이면과 대좌(3)은, 점착재 또는 접착제 등의 접착층(도시하지 않음)을 통해 일체적으로 접합된다.

또, 상기 전극(1)은, 도 1 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 워크(W)와 평행한 평면내에서 복수의 에리어(1a)로 분할되어, 이들 에리어(1a)마다 독립된 전극 패턴(1b)를 각각 마련하고 각 전극 패턴(1b)에 대한 급전을 개별적으로 제어하기 위한 급전부(1c)를 에리어(1a)마다 각각 마련하고 임의의 급전부(1c)를 후술하는 절단 방법으로 절단 처리함으로써 임의의 에리어(1a)에 배치된 전극 패턴(1b)에 대한 급전을 부분적으로 정지시키도록 하고 있다.

이들 복수의 급전부(1c)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 상기 워크(W)와 대향하여 전극 패턴(1b)를 마련한 정전척 기능면(1')의 내측 영역에 배치되거나, 또는 도 4에 나타내는 바와 같이 정전척 기능면(1')의 외측 영역에 배치되고, 도시예와 같이 복수의 급전부(1c) 중 에리어(1a)가 가까운 것끼리 각각 모아 각 에리어(1a) 근방의 복수 개소에 각각 분산 배치하거나, 혹은 모든 급전부(1c)를 소정 개소에 집중 배치하는 것이 바람직하다.

이와 같이 복수의 급전부(1c)를 모아 배치한 경우에는, 도 2에 나타내는 바와 같이 서로 접근시켜 대략 평행하게 나열하고, 이들 급전부(1c)의 근방 및 그것에 적층된 상기 유전층(2)에는, 그 급전부(1c)를 따라 대략 평행한 적당 길이의 슬릿(잘린 곳; 1d)를 미리 절결 형성함으로써, 각 슬릿(1d)에 대해서 예를 들면 커터나 가위 등의 절단날(도시하지 않음)을 후공정에서 삽입 가능하게 하고, 그 절단날로 임의의 급전부(1c)만 선택적으로 절단 처리 가능하게 하고 있다.

도시예에서는, 대략 평행하게 나열된 급전부(1c) 사이에 복수의 슬릿(잘린 곳; 1d)를 대략 평행하게 절결 형성되어 있다.

상기 복수의 급전부(1c)의 이면측 및 전극 패턴(1b)의 이면측은, 도 3 또는 도 5에 나타내는 바와 같이 상기 유전층(2) 또는 접착층을 통하여 대좌(3)와 대향하고 있고, 각 급전부(1c)와 대향하는 위치에는 오목부(3b)가 형성되며, 상기 서술한 선택적인 절단 처리로 임의의 급전부(1c)의 절단 부분(1c')이 워크(W)를 향하여 볼록 형상으로 돌출된 형상이 되어도, 워크(W)의 정전 흡착시에 있어서 이 절단 볼록 형상부를 상기 오목부(3b) 내에 들어가게 하는 구조로 함으로써, 워크(W)에 대해 절단 볼록 형상부가 다른 부분에 비해 부분적으로 강하게 압접되지 않게 한다.

또한, 상기 대좌(3)가 예를 들면 알루미늄 등의 금속이나 그 이외의 도전재료로 형성되는 경우에는, 절연성 재료로 이루어지는 절연체(4)를 통하여 상기 서술한 절단 처리로 선택적으로 절단된 임의의 급전부(1c)의 절단 부분(1c')을 밀봉 처리함으로써, 고전압이 걸리는 절단 부분(1c')이 노출되는 것을 방지하여 "플라즈마 방전" 이나 "아크 방전" 등의 현상이 발생하지 않게 한다.

이하, 본 발명의 각 실시예를 도면에 기초하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 정전척 장치의 실시예 1을 나타내는 횡단 정면도이다.

도 2는 도 1의 주요부를 부분 확대한 횡단 정면도이다.

도 3은 도 2의 (3)-(3)선을 따르는 확대 종단 측면도이며, (a)는 정상일 때를 나타내고, (b)는 급전 정지시를 나타내고 있다.

도 4는 본 발명의 정전척 장치의 실시예 2를 나타내는 횡단 정면도이다.

도 5는 주요부를 부분 확대한 종단 측면도이며, (a)는 정상일 때를 나타내고, (b)는 급전 정지시를 나타내고 있다.

도 6은 본 발명의 정전척 장치의 실시예 3을 나타내는 부분 확대 종단 측면도이며, 급전 정지시를 나타내고 있다.

도 7은 주요부를 부분 확대한 횡단 저면도이다.

<부호의 설명>

A 정전척 장치 W 워크

1 전극 1' 정전척 기능면

1a 에리어 1b 전극 패턴

1c 급전부 1c' 절단 부분

1d 슬릿 2 유전층

3 대좌 3a 이면

3b 오목부 3c 표면

3d 측면 4 절연체

4a, 4b 블록 4c 체결 부재

5 피복재 6 환상 시일재

11　유지판 11a 기판측 표면

실시예 1

이 실시예 1은, 도 1∼도 3에 나타내는 바와 같이 상기 전극 패턴(1b)이 ＋극의 전극과 -극의 전극을 가지는 쌍극형의 정전척이며, 이들 ＋극과 -극의 전극 패턴(1b)를 폴리이미드나 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 등의 엔지니어링 플라스틱으 로 이루어지는 유전층(2) 사이에 삽입 밀봉하고, 상기 복수의 급전부(1c)를 정전척 기능면(1')의 내측 영역에 분산 배치함으로써 일체 구조의 정전척 필름이 구성되고, 이 정전척 필름을 금속제의 대좌(3)에 접착하여, 상기 급전부(1c)와 대향하도록 오목부(3b)가 대좌(3)의 표면(3c)에 형성된 경우를 나타내는 것이다.

도시예에서는, 상기 에리어(1a)가 직사각형 형상으로, 상기 전극 패턴(1b)의 ＋극과 -극이 동일 평면상에서 서로 끼워 마추도록 빗살 형상으로 각각 형성되어 있으며, 예를 들면 약 500mm×300mm의 에리어(1a)에 한 쌍의 전극 패턴(1b)를 서로 감합하도록 배치하고 있다.

또, 도시예 이외의 전극 구조로는, 예를 들면 일본 공개 특허 공보 2005-64105호에 개시되는, 폴리이미드 필름 등의 절연성 재료로 이루어지는 유전층(절연층)을 사이에 두고 그 양면을 따라 제1 전극 패턴과 제2 전극 패턴을 적층하고, 이들 양 전극 패턴의 표면을 폴리이미드 필름 등의 유전층(절연성 박막)으로 피복한 정전척이나 단극형의 정전척을 사용하는 것도 가능하다.

또한, 도시예에서는, 일렬로 나열한 3개의 에리어(1a)에 배치된 전극 패턴(1b)의 ＋극과 -극을 각각 하나의 그룹으로서 모음으로써 급전부(1c)가 구성되어 이들 그룹화된 급전부(1c)를 각 전극 패턴(1b) 사이에 구획 형성된 스페이스에 분산 배치되어 있다.

다음에, 이러한 정전척 장치(A)의 절단 방법에 대해 설명한다.

기판 등의 워크(W)의 정전 흡착시에, 예를 들면 유리의 파유리(파편)가 정전척 장치(A)의 정전척 기능면(1')과의 사이에 끼어 드는 등의 이유로, 그 정전척 기 능면(1')의 막면에 상당하는 유전층(2)와 특정 개소의 에리어(1a)에 배치된 전극 패턴(1b)이 부분적으로 파괴되어 고장나면, 이 전극 패턴(1b)에 대응한 에리어(1a)에는 과전류에 의해 다른 정전 흡착 영역도 기능하지 않게 되기 때문에, 이 파괴된 에리어(1a)의 전극 패턴(1b)에 연통하는 급전부(1c)의 절단 처리를 행하여, 그 전극 패턴(1b)에 대한 급전을 부분적으로 정지시킨다.

자세하게는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 파괴된 에리어(1a)의 급전부(1c)를 사이에 두고 배치되는 2개의 슬릿(1d) 중 어느 한쪽으로부터 다른 쪽을 향해 예를 들면 커터나 가위 등의 절단날을 삽입하면, 목표로 한 급전부(1c)만 선택적으로 간단하게 절단할 수 있다.

이 선택적인 절단 처리를 행한 급전부(1c)의 절단 부분(1c')는, 워크(W)를 향하여 돌출된 형상이 될 우려가 있고, 절단 후의 전선이 노출되어 바깥 공기에 접할 우려가 있기 때문에, 도 3(a)(b)에 나타내는 바와 같이, 이 급전부(1c)의 절단 부분(1c')을 대좌(3)의 오목부(3b)내로 밀어 넣은 후, 절연성 재료로 이루어지는 절연체(4)를 통하여 밀봉 처리하고 있다.

이 밀봉 예로는, 이 오목부(3b)의 내저면에 절연체(4)를 적층하고, 이 절연체(4) 위에서, 절단 처리된 급전부(1c)의 절단 부분(1c')을 절연성 접착제 등의 피복재(5)에 의해 몰드 처리하여 밀봉 고정하면, 간단하게 밀봉 처리할 수 있다.

또한, 이 선택적인 절단 처리를 행하는 동시에 또는 그 전후에, 끼어 들어간 파유리를 없애고 파괴된 유전층(2)의 표면을 연마하여 평탄화하면, 그 후의 계속 사용이 가능해진다.

이와 같은 선택적인 절단 처리에 의해, 파괴된 에리어(1a) 내의 전극 패턴(1b)는 정전척으로서 기능하지 않지만, 그 이외의 에리어(1a)의 전극 패턴(1b)은 정전척으로서 기능하기 때문에 그 이후도 계속해서 사용 가능하므로, 작업으로서 간단한 절단 처리로 단시간에 워크(W)를 흡착 가능하게 복귀시킬 수 있다.

이 때, 에리어(1a)의 분할수를 늘림으로써, 일부가 파손 등으로 고장났을 때 정전 흡착을 기능시키지 않는 영역을 줄일 수 있지만, 동일층내에서 쌍극의 전극 패턴의 경우에는, 전극 패턴(1b)로부터 급전부(1c)로 배선시키기 위한 배선 스페이스 및 급전부(1c)를 확보하기 위한 스페이스가 필요하게 되므로, 에리어(1a)의 분할수를 많게 하면, 정전척 기능면(1')의 영역에 대해, 원래 정전척으로서의 기능하지 않는 전극 패턴(1b)로부터 급전부(1c)로 배선 스페이스와 급전부(1c)의 점유 스페이스의 비율도 증가하기 때문에, 흡착 영역의 유효 면적이 감소한다.

그것에 의해 정전 흡착 기능이 저하되므로, 최적인 분할수가 요구된다.

또한, 동일층 내에서 단일 전위밖에 걸리지 않는 단극 구조나 쌍극으로 각 층을 각각의 층으로 나눈 것에서는, 전극 패턴(1b)로부터 급전부(1c)에 대한 배선 스페이스도 정전 흡착에 유효한 스페이스로서 이용할 수 있으므로, 흡착의 유효 면적을 줄이는 일 없이 분할하는 것이 가능하다.

또, 미리 슬릿(1d)를 유전층(2)에 걸쳐서 넣었기 때문에, 선택적인 절단 처리에 의한 절단단으로부터의 균열이 다른 급전부(1c)나 에리어(1a)의 유전층(2)으로 확산되는 2차 피해를 방지하는 역할도 한다.

또한, 도시예에서는, 이 오목부(3b)의 절연체(4)상에 몰드 처리된 절연성 접 착제 등의 피복재(5)와 함께, 파괴된 정전척 필름을 폐기하여 새로운 정전척 필름으로 교환하면, 대좌(3)는 재이용 가능하게 되어, 대좌(3)을 포함한 정전척 장치(A) 전체를 교환하는 것에 비해 코스트를 저감시킬 수 있다.

실시예 2

이 실시예 2는, 도 4∼도 5에 나타내는 바와 같이 상기 복수의 급전부(1c)를, 워크(W)와 대향하여 전극 패턴(1b)이 마련된 정전척 기능면(1')의 외측 영역에 분산 배치함으로써, 굴곡 가능한 일체 구조의 정전척 필름이 구성되고, 이들 외측으로 돌출하는 급전부(1c)를 대좌(3)의 측면(3d)을 따라 절곡 접착 고정하거나 혹은 그 대좌(3)의 이면(3a)까지 닿도록 절곡 접착 고정하며, 이들 대좌(3)의 측면(3d) 또는 이면(3a)에 오목부(3b)를 형성하여 절단된 급전부(1c)의 절단 부분(1c')을 밀봉 처리한 구성이 상기 도 1∼도 3에 나타낸 실시예 1과는 다르고, 그 이외의 구성은 도 1∼도 3에 나타낸 실시예 1과 같은 것이다.

따라서, 도 4∼도 5에 나타낸 실시예 2는, 상기 서술한 실시예 1과 동일한 작용 효과가 얻어지며, 추가로 전극 패턴(1b)로부터 급전부(1c)로 배선하기 위한 배선 스페이스를 확보할 필요가 있는 것에 변화는 없지만, 급전부(1c)를 확보하기 위한 스페이스가 필요 없기 때문에, 에리어(1a)의 분할수를 많게 해도 정전척 기능면(1')의 영역에 대해 원래 정전척으로서 기능하지 않는 전극 패턴(1b)로부터 급전부(1c)로 배선 스페이스만 증가할 뿐이므로, 흡착 영역의 유효 면적이 실시예 1보다 넓게 확보된다.

그 결과, 에리어(1a)의 분할수를 늘려 정전 흡착 기능시키지 않는 영역을 줄 일 때에, 상기 도 1∼도 3에 나타낸 실시예 1보다 최적인 분할수가 요구되지 않아 대응이 용이함과 함께, 정전 흡착 기능을 비교적 저하시키지 않고 급전부(1c)의 점유 스페이스를 확보할 수 있다는 이점이 있다.

또, 실시예 2의 정전척 장치(A)가, 워크(W)로서 액정 디스플레이 패널 등의 유리 기판을 정전 흡착해 가압하여 접합하는 기판 접합기에 설치된 경우에는, 대좌(3)의 표면(3c)에 오목부(3b)가 형성되지 않기 때문에, 유리 기판을 접합할 때에 전혀 가압 얼룩이 생길 가능성이 없다는 이점이 있다.

실시예 3

이 실시예 3은, 도 6∼도 7에 나타내는 바와 같이 상기 복수의 급전부(1c)가 정전척 기능면(1')의 외측 영역에 분산 배치된 굴곡 가능한 정전척 필름을, 이들 급전부(1c)가 대좌(3)의 측면(3d) 또는 이면(3a)를 따라 절곡 접착 고정하고, 이들 측면(3d) 또는 이면(3a)에 상기 급전부(1c)와 대향하여 형성된 오목부(3b)를, 개폐가 자유로운 밀봉 구조로 하여 그 내부에, 절단된 급전부(1c)의 절단 부분(1c')을 넣음으로써 밀봉 처리한 구성이, 상기 도 1∼도 3에 나타낸 실시예 1 및 도 4∼도 5에 나타낸 실시예 2와는 다르며, 그 이외의 구성은 도 1∼도 3에 나타낸 실시예 1 및 도 4∼도 5에 나타낸 실시예 2와 동일한 것이다.

도시예에서는, 대좌(3)이 금속제이며, 그 오목부(3b) 내에 상기 절연성 재료로 이루어지는 절연체(4)로서 개폐가 자유로운 블록(4a, 4b)를 배치하고, 이들 블록(4a, 4b)내에 절단된 급전부(1c)의 절단 부분(1c')를 넣어, 그것을 둘러싸도록 예를 들면 O링 등의 환상 시일재(6)로 밀봉 고정하고 있다.

또한, 상기 급전부(1c)를 사이에 두고 그 양측과 블록(4a, 4b) 사이에 O링 등의 환상 시일재(6)을 하나씩 배치하고 있지만, 실험에 의하면, 어느 한쪽의 환상 시일재(6)만으로도 밀봉할 수 있었다.

또, 블록(4a, 4b)은 도시한 형상에 한정되지 않으며, 다른 형상으로 변경하는 것도 가능하고, 이들 블록(4a, 4b)을 나사 등의 체결 부재(4c)로 착탈이 자유롭게 연결했지만, 다른 종류로 연결하는 것도 가능하다.

따라서, 도 6∼도 7에 나타낸 실시예 3은, 상기 서술한 실시예 1 및 실시예 2와 동일한 작용 효과가 얻어지며, 또한 더하여 실시예 1이나 실시예 2에서 나타낸 절연성 접착제 등의 피복재(5)에 의한 급전부(1c)의 절단 부분(1c')의 몰드 처리에 비해 간편하고 확실한 밀봉 처리를 단시간에 행할 수 있고 밀봉 부재의 재사용이 가능하다는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 정전척 장치가 기판 접합기에 설치되는 경우를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않고, 이 기판 접합기 이외의 기판 조립 장치나, 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 설치하거나 LCD 패널용 유리 기판 이외의 기판을 정전 흡착하여 유지해도 된다.

또, 워크(W)로서 상하 한 쌍의 기판을 진공중에서 접합하는 기판 접합기를 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 대기중에서 상하 한 쌍의 기판을 접합하는 기판 접합기여도 되고, 이 경우에도 상기 서술한 진공 접합기와 동일한 작용 효과가 얻어진다.

또한, 앞에 나타낸 실시예에서는, 상기 에리어(1a)가 직사각형 형상인 경우 를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않고, 부채형 형상이나 동심원 형상 등 도시예 이외의 형상이어도 된다. 이 경우에도 앞에 나타낸 실시예 1 및 실시예 2와 동일한 작용 효과가 얻어진다.

또, 복수의 급전부(1c) 또는 모든 급전부(1c)를 모아 배치하는 경우를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않으며, 모든 급전부(1c)를 각각 적당한 개소에 분산시켜 배치하는 것도 가능하다.

또 추가로, 상기 전극 패턴(1b)를 폴리이미드나 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 등의 절연성 유기 재료로 이루어지는 유전층(2)의 사이에 삽입 밀봉한 경우를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않고, 전극 패턴(1b)의 워크측 표면에만 유기 재료로 이루어지는 유전층(2)를 적층하고 이면측에는 무기 재료로 이루어지는 유전층(2)를 적층하거나, 그 이외의 절연성 유기 재료나 또는 다른 재질로 이루어지는 절연층을 적층하거나, 또 전극 패턴(1b)의 워크측 표면에도 무기 재료로 이루어지는 유전층(2)를 적층해도 된다.

Claims

삭제
워크(W)와 대향하여 면 형상으로 배치된 전극(1)에 전압을 인가함으로써 워크(W)를 정전 흡착하는 정전척 장치에 있어서,

상기 전극(1)을 워크(W)와 평행한 평면내에서 복수의 에리어(1a)로 분할하고, 이들 에리어(1a)마다 독립된 전극 패턴(1b)을 각각 마련하고, 각 전극 패턴(1b)으로의 급전부(1c)를 에리어(1a)마다 각각 마련하고, 상기 복수의 급전부(1c)를 서로 접근시켜 배열하고, 이들 급전부(1c)에 인접하는 유전층(2) 부분에 상기 급전부(1c)를 따라 슬릿(1d)을 절결하여 형성하고, 각 슬릿(1d)을 통해 절단날로 임의의 급전부(1c)를 선택적으로 절단 처리할 수 있게 하여, 파괴된 에리어에 배치된 전극 패턴(1b)으로의 급전을 부분적으로 정지시킨 것을 특징으로 하는 정전척 장치.
삭제
제 2항에 있어서, 상기 급전부(1c)와 대향하는 대좌(3)에 오목부(3b)를 형성한 정전척 장치.
제 4항에 있어서,

상기 급전부(1c)의 선택적인 절단 부분(1c')을 대좌(3)의 오목부(3b) 내에서 밀봉한 정전척 장치.
제 2항, 제 4항 또는 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 급전부(1c)의 선택적인 절단 부분(1c')을 둘러싸도록 환상 시일재(6)를 배치하여 밀봉한 정전척 장치.