KR100573207B1 - 취성기판의 절단방법 및 그 방법을 사용하는 브레이크 기구, 절단장치 및 절단 시스템 - Google Patents

취성기판의 절단방법 및 그 방법을 사용하는 브레이크 기구, 절단장치 및 절단 시스템 Download PDF

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Abstract

종래의 가공 시스템에서는 스크라이브가 이루어진 취성기판을 브레이크 할 때에 취성기판의 반전이 필요했다.
취성기판의 윗면에 형성된 스크라이브 라인에 대하여, 그 스크라이브 라인을 중앙에 포함하도록 소정의 폭의 영역을 덮는 폐쇄공간을 만들고 그 폐쇄공간을 감압함으로써 취성기판을 역V자 모양으로 활처럼 약간 휘게 하여 브레이크를 한다.

Description

취성기판의 절단방법 및 그 방법을 사용하는 브레이크 기구, 절단장치 및 절단 시스템{METHOD OF SCRIBING-BREAKING BRITTLE SHEETS AND BREAKING EQUIPMENT THEREFOR, SCRIBING-BREAKING APPARATUS AND SCRIBING-BREAKING SYSTEM}
도1은 한 장의 취성기판에 대한 종래의 스크라이브 및 브레이크를 나타내는 도면,
도2는 접합 취성기판에 대한 종래의 스크라이브 및 브레이크를 나타내는 도면,
도3은 취성기판의 표리를 반전시키는 반전공정을 나타내는 도면,
도4는 본 발명에 관한 브레이크바의 조립도
도5는 도4의 브레이크바의 브레이크시의 모양을 나타내는 도면,
도6은 취성기판의 사이즈가 작은 경우의 브레이크 모양을 나타내는 도면,
도7은 도5의 플러그에 있어서의 종단면도,
도8은 도5에 있어서의 브레이크시의 모양을 나타내는 도면,
도9는 상기 브레이크바를 채용한 브레이크 장치의 한 실시예를 나타내는 사시도,
도10은 상기 브레이크 장치를 사용하여 구성한 취성기판의 가공 시 스템 도면,
도11은 종래의 스크라이브 장치에 도9의 브레이크 기구를 구비한 스크라이브 겸 브레이크 장치의 한 실시예를 나타낸 사시도,
도12는 상기 스크라이브 겸 브레이크 장치를 사용하여 구성한 취성기판의 가공 시스템 도면이다.
*도면의 주요부분에 대한 설명*
3 : 취성기판 6 : 테이블
21a : 홈(폐쇄공간 형성 수단) 22 : 경계편(境界片)(밀봉부재, 경계부재)
23 : 흡인구멍 24 : 흡인시트(폐쇄공간 형성 수단)
24a : 가는 홈 25 : 브레이크바(break bar)
26 : 플러그 30 : 브레이크 장치
31 : 브릿지 32 : 에어 실린더
33 : 실린더축 34 : 결합편
35 : 스톱퍼 36 : 나사
37 : 스톱퍼 기구 40 : 스크라이브 겸 브레이크 장치
41 : 브릿지 42 : 가이드바(guide bar)
43 : 스크라이브 헤드 44 : 홀더 지지체
45 : 커터휠팁 46 : 팁홀더
S : 스크라이브 라인
본 발명은, 스크라이브 라인이 형성된 취성기판을 그 스크라이브 라인을 따라 절단하기 위한 브레이크 장치에 관한 것이다.
취성기판으로서는 반도체　웨이퍼, 글래스　기판, 접합 글래스 기판이나 세라믹 기판 등이 포함된다.
도1에 한 장의 취성기판에 대한 절단 시스템을 나타내고 있다. 스크라이브 장치(1)로 테이블(2) 상의 취성기판(3)에 대하여 소정의 절개(切開) 압력을 부가한 상태에서 커터휠팁(4)을 굴림으로써 취성기판 표면에 스크라이브 라인(S)를 형성한다.
그 취성기판(3)을 반전시킨 상태에서 브레이크 장치(5)의 테이블(6) 상에 쿠션시트(7)를 사이에 세트한다. 취성기판 밑면에 있는 스크라이브 라인(S)의 상방에는 스크라이브 라인 방향으로 연장하는 막대모양의 브레이크바(8)가 위치하고 있어, 이 브레이크바(8)를 실린더(9)의 구동에 의하여 하강시켜 취성기판(3)을 상방으로부터 가압하여 취성기판(3)을 탄성체의 쿠션시트(7) 상에서 V자 모양으로 약간 휘게 함으로써 스크라이브 라인(S)의 크랙(절단에 기여하는 수직성분의 크랙)을 신장시켜 취성기판(3)을 스크라이브 라인(S)을 따라 절단한다.
도2는 액정패널과 같은 접합 글래스 기판에 대한 브레이크 방법을 나타내고 있다.
1. 스크라이브 장치(1')를 사용하여 접합 글래스 기판(3')의 A면(이 도면에서는 A면이 상측의 글래스 기판)에 대하여 스크라이브를 한다(도2(a)).
2. 다음에 브레이크 장치(5')에 있어서, 반전시킨 접합 글래스 기판의 B면에 대하여 브레이크바(8)를 가압하여 하측의 A면을 브레이크 한다(도2(b)).
3. 그 접합 글래스 기판(3')을 제2의 스크라이브 장치(1'')로 이송하고(또는 상기 스크라이브 장치(1')로 되돌리고), B면에 대하여 스크라이브를 한다(액정패널에서는 글래스 변의 일단에 단자를 형성하는 관계로 A면과 B면의 스크라이브 위치가 서로 어긋나 있다)(도2(c)).
4. 다음에 제2의 브레이크 장치(5'')(또는 상기 브레이크 장치(5'))에 있어서, 다시 반전시킨 접합 글래스 기판(3')의 A면에 대하여 브레이크바(8)를 가압하여 하측의 B면을 브레이크 한다(도2(d)).
그러나, 상기한 바와 같이 스크라이브가 끝난 취성기판(3)을 스크라이브 장치로부터 브레이크 장치로 반송할 때에, 취성기판(3)의 반전공정이 꼭 필요했다. 그 반전을 하기 위하여는 도3(a)과 같이 스크라이브가 끝난 취성기판(3)을 로봇암(10) 등으로 별도의 설치대(11) 등에 일단 놓아 두고, 다음에 도3(b)와 같이 그 취성기판(3)을 이번에는 상기 로봇암(10)으로 밑에서부터 들어 올려(즉 바꾸어 들어) 도3(c)와 같이 브레이크 장치의 테이블(6)에 세트하고 있다. 그 때문에 이러한 반전기구가 필요할 뿐만 아니라 작업효율도 낮았다.
또한, 종래에는 스크라이브 및 브레이크를 위하여 각각 전용의 반전장치를 필요로 하기 때문에 시스템이 대형화하여 코스트도 비싸게 되었다.
본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 스크라이브 후에 하는 취성기판의 반전공정을 없애고, 또한 취성기판의 스크라이브 및 브레이크를 하나의 테이블 상에서 할 수 있는 브레이크 방법 및 브레이크 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 취성기판의 윗면에 형성된 스크라이브 라인에 대하여, 그 스크라이브 라인을 중앙에 포함하도록 하고 소정의 폭의 영역을 덮는 폐쇄공간을 만들고, 그 폐쇄공간을 감압함으로써 취성기판을 역V자 모양으로 활처럼 약간 휘게 하여 브레이크를 하는 것을 특징으로 한다.
(실시예)
도4는 본 발명의 브레이크 방법에 사용되는 브레이크바(25)의 조립도를 나타내고 있다. 윗 도면에 나타나 있는 바와 같이 알루미늄으로 만든 기둥 모양의 직방체(21)를 사용한다. 그 치수는 가공대상에 따라, 길이　300mm　∼　1000mm, 폭　　10mm　∼　30mm, 두께　　10mm　∼　50mm　이다. 그 기둥 모양 직방체(21)의 윗면 중앙에 폭 6mm, 깊이 0.5mm의 홈(21a)를 직방체(21)의 축길이 방향으로 형성한다.
다음에 도면에도 나타나 있는 바와 같이, 그 홈(21a)의 양단과, 각각의 양단으로부터 소정의 길이 만큼 안쪽에 모두 4개의 탄성체의 경계편(境界片)(22)를 설치한다. 이들 각 경계편(22)의 두께는 상기 홈(21a)의 깊이와 같게 한다. 이들의 경계편(22)에 의하여 홈(21a)는 직방체(21)의 축길이방향으로 3개의 구간으로 구분된다. 이들 각 구간에서 홈의 바닥면으로부터 당해 기둥 모양 직방체(21)의 밑면까지 관통하는 흡인구멍(23)을 각각 형성한다.
그리고 맨 아래 도면에 나타나 있는 바와 같이, 기둥 모양 직방체(21)의 윗면을 탄성체로 만들어진 5mm 두께의 흡인시트(24)를 접합한다. 이에 따라 상기 한 홈(21a)에 3개의 폐쇄공간이 형성된다. 그리고 이들 3개의 폐쇄공간에 대응하여 흡인시트(24)의 윗면에서 밑면으로 관통하는 가는 홈(24a)를 각각 형성한다. 이렇게 하여 브레이크바(25)를 만든다. 여기에서는 가는 홈(24a)를 상기 3개의 폐쇄공간에 대응하여 3개로 나누어 형성했지만, 1개의 연속하는 가는 홈으로 하여도 지장이 없다.
흡인시트(24) 및 경계편(22)으로서는 경시적(經時的)인 열화(劣化)가 적고, 고발포(高發泡) 실리콘 스펀지 시트(스프링 경도 시험(일본고무협회 표준규격 : SRIS 0101-1968)에 의한 시험치가 5∼30의 것)를 사용하지만, 적당한 탄성계수를 구비하는 재질이라면 무방하다.
브레이크시에는 도5에 나타나 있는 바와 같이, 흡인시트(24)의 면을 취성기판(3)에 접촉시켜 사용한다. 상기 흡인구멍(23)의 개구부에 설치한 플러그(26)에 진공처리를 하기 위한 튜브가 접속된다.
도5는, 브레이크바의 길이가 취성기판(3)의 스크라이브 라인(S)의 길이와 거의 같은 경우로서, 이 때는 3개의 플러그(26)로부터 동시에 진공처리를 하지만, 도6와 같이 취성기판(3")의 스크라이브 라인의 길이가 브레이크바 길이보다 짧을 때에는 중앙의 플러그(26)에 의하여만 진공처리를 한다.
도4에서는 브레이크바의 폐쇄공간이 3개인 경우를 설명했지만, 폐쇄공간을 4 ∼ 20개로 하여 취성재료의 절단조건에 맞추어 개개의 구간의 진공압(眞空壓)을 개별적으로 제어하는 것이 바람직하다.
도7은, 도5(도6에서도 동일)의 플러그(26)에 있어서의 수직 단면도를 나타내고 있다. 취성기판(3)의 스크라이브 라인(S)에 상기 가는 홈(24a)의 라인을 거의 일치시킨다. 여기에서 주목해야 할 것은, 스크라이브 라인(S)는 취성기판(3)의 밑면이 아니라 윗면에 있고, 또한 취성기판(3)과 테이블(6)과의 사이에 쿠션시트가 불필요하다는 것이다.
다음에 도8에 나타나 있는 바와 같이, 플러그(26)로부터 진공처리를 하면 흡인시트(24)는 역V자 모양으로 약간 변형하여 그에 따라 취성기판(3)도 변형하고, 이 변형에 의하여 스크라이브 라인(S)의 크랙이 하방으로 성장하여 취성기판(3)이 절단된다. 흡인시트(24)에 가는 홈(24a)를 형성함으로써 도7과 같이 브레이크바(25)를 그 자체 중량으로 취성기판(3)에 접촉하고 있는 상태에서 양자의 접합면에서 아주 좁은 틈에 남아 있는 공기를 빨아드림으로써 양자 사이의 흡인력이 증대된다. 가는 홈(24a) 대신에 작은 구멍을 일렬에 형성하더라도 좋고, 또한 취성기판(3)과 흡인시트(24)의 밀착성이 좋은 경우에는 이러한 가는 홈을 갖추지 않아도 기대할 수 있는 흡인력이 얻어진다.
도9는 상기한 브레이크바(25)를 사용하는 브레이크 장치(30)의 한 실시예를 나타내는 사시도이다. 테이블(6)은 Y방향으로 이동함과 동시에 90도 및 θ회전이 가능하고, 그 테이블 면에는 취성기판(3)이 흡인, 고정된다. 브릿지(31)는 테이블(6)상에 걸쳐서 설치된 것으로서, 양측의 지지판과 그에 지지되고 수평X방향으로 연장하는 천판(天板)(31a)로 이루어진다.
그 천판(31a)의 중앙에 에어 실린더(32)가 설치되고, 그 에어 실린더(32)로부터 하방으로 향하는 실린더축(33)의 하단부가 브레이크바(25)를 윗면 중앙부에서 지지하고 있다. 그 에어 실린더(32)의 구동에 의하여 브레이크바(25)는 상하로 이동하지만, 하강시에 브레이크바(25)가 취성기판(3)에 충돌하지 않도록, 부분 확대도와 같이 실린더축(33)에 고정되는 결합편(34)과, 일단이 천판(31a)에 고정되는 L자형의 스톱퍼(35)와, 결합편(34)에 형성되는 나사구멍에 나사 결합하고 하단부가 스톱퍼(35)의 수평부에 상방으로부터 접촉하는 나사(36)로 이루어지는 스톱퍼 기구(37)를 갖춘다. 그 나사(36)를, 천판(31a)에 형성되는 구멍(Q)을 관통시켜 나사 체결함으로써 브레이크바(25)의 하강위치를 취성기판(3)의 두께에 따라서 조정한다. 또한 이 스톱퍼 기구(37) 대신에 브레이크바(25)가 부드럽게 하강할 수 있도록 적당한 제동기구를 갖추도록 하여도 좋다.
브레이크바(25)는, 그 승강시에 평행으로 이동시키기 위한 가이드막대(38)가 설치되어 있다. 3개가 형성된 플러그(26) 중에서 중앙의 플러그는 밸브V1를 통하여 진공펌프에 연결되고, 양단의 2개의 플러그(26)는 밸브V2를 통하여 진공펌프에 연결된다. 도5와 같은 브레이크의 경우에는 밸브V1, V2가 모두 열리고, 도6과 같은 브레이크의 경우에는 밸브V1 만이 열린다.
진공흡인시의 진공압은 게이지압으로 -1.33 × 102Pa(-1 mmHg) ∼ -8.64 × 104Pa(-650 mmHg)의 범위에서 조절이 가능하고, 한편 취성기판(3)을 테이블(6)에 흡인, 고정하기 위한 진공압은 게이지압으로 -1.33 × 102 Pa(-1 mmHg) 이하이고, 테이블(6)에 형성되는 흡인구멍은 φ 2mm 이다. 이 글래스 기판 고정용의 진공압을 브레이크용의 진공압보다 작게(대기압에 보다 가깝게) 하여 두면, 스크라이브 라인의 바로 아래에 흡인구멍이 위치하고 있더라도 브레이크에 지장이 없다.
도10은 상기 브레이크 장치(30)를 채용한 취성기판의 가공 시스템의 도면을 나타낸다. 반입 반송기 등에 의하여 접합 글래스 기판(3')은 스크라이브 장치(S1)의 테이블에 세트되고, 상측의 A면에 대하여 스크라이브가 이루어진다. 스크라이브 장치의 기구에 관하여는 도11로 설명한다.
A면이 스크라이브된 접합 글래스 기판(3')은, 반송기에 의하여 A면 브레이크 장치(B1)(도9에 나타낸 브레이크 장치)의 테이블에 A면을 상측으로 한 채로 세트되어 본 발명의 브레이크 방법에 따라 A면이 브레이크 된다.
그 접합 글래스 기판은 반전기에 의하여 표리가 반전되고 나서 제2의 B면 스크라이브 장치(S2)의 테이블에 세트된다(시스템을 스크라이브 장치(S1) 및 브레이크 장치(B1) 만으로 구성하는 때에는 그 스크라이브 장치(S1)로 되돌린다). 그리고 상측에 위치하는 B면에 대하여 스크라이브가 이루어진다.
B면이 스크라이브된 접합 글래스 기판은, 반송기에 의하여 제2의 B면 브레이크 장치(B2)(또는 상기 브레이크 장치(B1))의 테이블에 B면을 상측으로 한 채로 세트되어 B면이 브레이크 된다. 이렇게 함으로써 접합 글래스 기판의 가공은 종료하고 반출 반송기에 의하여 다음 공정으로 반출된다.
도11은 취성기판의 스크라이버 장치로 브레이크도 할 수 있도록 한 스크라이브 겸 브레이크 장치(40)의 한 실시예를 나타내고 있다. 테이블(6)상에 걸쳐서 설치되는 브릿지(41)는, 양측의 지지기둥과 X방향으로 연장하는 가이드바(42)로 이루어지고, 그 가이드바(42)에는 가이드바의 방향으로 가이드(42a)가 설치되어 있다. 스크라이브 헤드(43)는 홀더 지지체(44)를 사이에 두고 상기 가이드(42a)을 따라 이동하도록 설치되고, 그 스크라이브 헤드(43)의 하부에는 커터휠팁(45)이 회전하도록 그것을 지지하는 팁홀더(46)가 설치되어 있다.
이상의 요소로 이루어지는 스크라이브 기구의 배후에는 도9에서 설명한 브릿지(31)를 포함하는 브레이크 기구가 위치한다.
그 브레이크 기구의 배후에는, 취성기판(3)에 기재되어 있는 얼라인먼트 마크를 인식하기 위하여 한 쌍의 카메라(51, 52)를 구비하여, 그 카메라로 잡은 화상은 모니터(53, 54)에 표시되는 동시에, 화상인식장치에 의하여 얼라인먼트 마크가 화상인식되고, 그에 따라 위치 데이터가 연산된다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 스크라이브 후에 취성기판을 반전시키지 않고도 브레이크를 할 수 있고, 또한 그 브레이크 장치에 있어서는 도1에 나타낸 것과 같은 쿠션시트(7)가 불필요하게 되기 때문에 스크라이브가 이루어진 테이블에서 브레이크도 할 수 있다. 그리고 테이블 상은 에어(air) 또는 브러시를 사용하여 절분(切粉)인 부스러기를 치우도록 한다.
도12는 상기한 스크라이브 겸 브레이크 장치(40)를 채용한 접합 글래스 기판의 가공 시스템 도면을 나타낸다. 반입 반송기 등에 의하여 접합 글래스 기판(3')은 스크라이브 겸 브레이크 장치(SB1)의 테이블에 세트되고, 상측의 A면에 대하여 스크라이브가 이루어진 후에, 계속해서 브레이크도 이루어진다.
A면이 스크라이브 및 브레이크 된 접합 글래스 기판(3')은, 표리를 반전시키고 나서 제2의 스크라이브 겸 브레이크 장치(SB2)의 테이블에 세트된다(시스템을 스크라이브 겸 브레이크 장치(SB1) 만으로 구성할 때에는 그 스크라이브 겸 브레이크 장치(SB1)로 되돌린다). 그리고 상측에 위치하고 있는 B면에 대하여 스크라이브 및 브레이크가 이루어지고 다음 공정으로 반출된다.
한 장의 취성기판 및 접합 취성기판을 완전히 절단시키기 위하여는, 절단조건 및 다음 공정의 생산방식에 의한 조건에 따라서 복수의 브레이크 장치가 필요하게 된다. 예를 들면, 한 장의 취성기판의 브레이크에 있어서는, 제1방향의 브레이크와 취성기판의 동일면 상에서 제1방향과 90도의 각도를 이루는 제2방향의 브레이크에 각각 별개로 본 발명의 브레이크 장치를 사용한다. 또한 접합 취성기판을 갸름한 직4각형으로 절단하여 다음 공정으로 보내는 경우에는, 다음 공정으로 보낼 때까지 취성기판의 표리 각 면에 대하여 각각 별개의 본 발명의 브레이크 장치를 사용한다.
또한, 본 실시예에서 채용한 홈(21a)나 흡인시트(24)(도4)의 치수는 단순한 일례로서, 본 발명의 실시에 적합한 치수는 다음와 같다.
홈의 폭 : 3mm ∼ 10mm
홈의 깊이 : 0.1mm ∼ lmm
시트의 두께 : 1mm ∼ 8mm
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 스크라이브 후의 취성기판을 반전시키지 않고서(즉 스크라이브 라인을 상측으로 하여) 브레이크를 할 수 있으므로 취성기판의 가공 시스템 형태를 작게 할 수 있고, 또한 반전공정이 불필요하게 됨으로써 전 가공에 필요한 택트 타임(tack time)을 단축시킬 수 있다. 또한, 브레이크시에 취성기판과 테이블과의 사이의 쿠션부재가 불필요하기 때문에 스크라이브 장치의 테이블 상에서 브레이크도 아울러 할 수 있고, 그 경우에는 스크라이브가 끝난 취성기판을 스크라이브 장치로부터 브레이크 장치로 반송하는 기구도 불필요하게 되어 시스템 사 이즈 및 가공 택트 타임을 줄일 수 있다.

Claims (20)

  1. 취성기판(脆性基板)의 표면에 형성되는 스크라이브 라인(scribe line)을 거의 중앙에 포함하는 소정 폭의 기판의 표면 영역을 덮는 폐쇄공간을 형성하고, 그 폐쇄공간을 감압(減壓)함으로써 취성기판을 역V자(逆V字) 모양으로 휘게 하여 브레이크(break)하는 브레이크 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 절단방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 폐쇄공간은 각각이 서로 기밀(氣密)하게 구분(區分)된 복수의 영역을 구비하고, 적어도 1개의 영역을 감압시킴으로써 취성기판을 브레이크 하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 절단방법.
  3. 취성기판에 적어도 1개의 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과,
    제1항 또는 제2항의 브레이크 공정을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 취성기판의 절단방법.
  4. 상기 취성기판이 제1의 취성기판과 제2의 취성기판을 접합(接合)한 접합기판(接合基板)이고,
    상기 접합기판의 제1의 취성기판에 대하여 스크라이브 및 브레이크의 각 공정을 실시하는 제1의 절단 프로세스와,
    상기 접합기판의 표리(表裏)를 반전(反轉)시켜 반송하는 반전반송공정(反轉搬送工程)과,
    상기 접합기판의 제2의 취성기판에 대하여 스크라이브 및 브레이크의 각 공정을 실시하는 제2의 절단 프로세스를 구비하고,
    상기 제1의 절단 프로세스 및 상기 제2 절단 프로세스에 제1항 또는 제2항의 브레이크 공정을 이용하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 절단방법.
  5. 취성기판의 표면에 형성된 스크라이브 라인을 거의 중앙에 포함하는 소정 폭의 기판의 표면 영역을 덮는 폐쇄공간을 형성하는 폐쇄공간 형성수단과,
    상기 폐쇄공간을 감압하는 감압수단과,
    상기 폐쇄공간을 상기 감압수단에 의하여 감압하여 취성기판을 역V자 모양으로 휘게 하여 브레이크 하는 브레이크 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 브레이크 기구.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 폐쇄공간 형성수단은, 스크라이브 라인을 따르는 방향으로 형성되는 오목형상의 홈과, 홈의 양단(兩端)을 밀봉(密封)하는 밀봉부재(密封部材)를 구비하는 것을 특징으로 하는 브레이크 기구.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 홈은 각각이 서로 기밀(氣密)하게 구분되는 경계부재로 구분되어 상기 밀봉부재와 함께 개별적으로 감압할 수 있는 복수의 영역을 구비하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 브레이크 기구.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 밀봉부재 및 경계부재의 취성기판과의 접촉면에 탄성체의 흡인시트를 한 면에 부착하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 브레이크 기구.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 흡인시트에 상기 흡인시트의 두께 방향으로 관통하는 가는 홈이 스크라이브 라인을 따르는 방향으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 취성기판의 브레이크 기구.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 흡인시트에 상기 흡인시트의 두께 방향으로 관통하는 가는 홈이, 상기 홈에 있어서 개별적으로 감압할 수 있는 복수의 영역마다 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 취성기판의 브레이크 기구.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 흡인시트에 형성되는 가는 홈은 상기 흡인시트의 두께 방향으로 관통하는 작은 구멍이고, 스크라이브 라인을 따르는 방향으로 일렬로 나란하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 취성기판의 브레이크 기구.
  12. 취성기판에 적어도 1개의 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 수단과,
    상기 취성기판을 브레이크 하는 적어도 하나의 브레이크 기구를 구비하고,
    상기 브레이크 기구가 제5항의 브레이크 기구인 것을 특징으로 하는 취성기판의 절단장치.
  13. 한 장의 기판으로 이루어지는 취성기판을 절단하는 절단 시스템으로서,
    상기 취성기판에 대하여 스크라이브를 실시하는 스크라이브 기구부(scribe 機構部)와,
    스크라이브가 실시된 상기 취성기판에 대하여 브레이크를 실시하는 브레이크 기구부(break 機構部)를 구비하고,
    스크라이브 기구부와 브레이크 기구부가 각각 독립된 별개의 장치로 이루어지고,
    스크라이브 기구부로 상기 취성기판에 대하여 스크라이브를 실시한 후에 브레이크 기구부로 상기 취성기판의 동일 면에 대하여 브레이크를 실시하도록 구성되고, 제5항의 브레이크 기구를 이용하는 취성기판의 절단 시스템.
  14. 한 장의 기판으로 이루어지는 취성기판을 절단하는 절단 시스템으로서,
    상기 취성기판에 대하여 스크라이브를 실시하는 스크라이브 기구부와,
    스크라이브가 실시된 상기 취성기판에 대하여 브레이크를 실시하는 브레이크 기구부를 구비하고,
    스크라이브 기구부와 브레이크 기구부가 하나의 장치로 조립되는 절단장치로 이루어지고,
    절단장치의 스크라이브 기구부로 상기 취성기판에 대하여 스크라이브를 실시한 후에 브레이크 기구부로 상기 취성기판의 동일 면에 대하여 브레이크를 실시하도록 구성되고, 제5항의 브레이크 기구를 이용하는 취성기판의 절단 시스템.
  15. 각각이 독립된 별개의 장치로 이루어지는 스크라이브 기구부 및 브레이크 기구부와,
    스크라이브 기구부와 브레이크 기구부가 하나의 장치로 조립되는 절단장치를
    선택적으로 조합하여 이루어지는 제13항의 절단 시스템.
  16. 제1의 취성기판과 제2의 취성기판을 접합한 기판을 절단하는 절단 시스템으로서,
    상기 취성기판에 대하여 스크라이브를 실시하는 스크라이브 기구부와,
    스크라이브가 실시된 상기 취성기판에 대하여 브레이크를 실시하는 브레이크 기구부와,
    상기 취성기판의 표리를 반전시켜 반송하는 반전반송수단을 구비하고,
    스크라이브 기구부와 브레이크 기구부가 각각 독립된 별개의 장치로 이루어지고,
    스크라이브 기구부로 상기 취성기판의 제1의 면에 대하여 스크라이브를 실시한 후에 브레이크 기구부로 상기 취성기판의 제1의 면에 대하여 브레이크를 실시한 후에 반전시켜 상기 스크라이브 기구부로 상기 취성기판의 제2의 면에 대하여 스크라이브를 실시한 후에, 상기 브레이크 기구부로 상기 취성기판의 제2의 면에 대하여 브레이크를 실시하도록 구성되고, 상기 제5항의 브레이크 기구를 이용한 취성기판의 절단 시스템.
  17. 제1의 취성기판과 제2의 취성기판을 접합한 접합기판을 절단하는 절단 시스템으로서,
    상기 취성기판에 대하여 스크라이브를 실시하는 제1의 스크라이브 기구부와,
    스크라이브가 실시된 상기 취성기판에 대하여 브레이크를 실시하는 제1의 브레이크 기구부와,
    상기 취성기판의 표리를 반전시켜 반송하는 반전반송수단을 구비하고,
    제1의 스크라이브 기구부와 제1의 브레이크 기구부가 각각 독립된 별개의 장치로 이루어지고, 또한 제1의 스크라이브 기구부와 제1의 브레이크 기구부 중의 적어도 일방이 제2의 스크라이브 기구부 또는 제2의 브레이크 기구부를 구비하고,
    제1의 스크라이브 기구부로 상기 취성기판의 제1의 면에 대하여 스크라이브를 실시한 후에 제1의 브레이크 기구부로 상기 취성기판의 제1의 면에 대하여 브레이크를 실시한 후 반전시키고,
    계속하여 상기 취성기판의 제2의 면에 대하여 스크라이브 및 브레이크를 실시하는 때에 제2의 스크라이브 기구부와 제2의 브레이크 기구부, 제1의 스크라이브 기구부와 제2의 브레이크 기구부 또는 제2의 스크라이브 기구부와 제1의 브레이크 기구부의 구성 중의 어느 한 구성을 이용할 수 있도록 배치하여 이루어지고, 제5항의 브레이크 기구를 이용하는 취성기판의 절단 시스템.
  18. 제1의 취성기판과 제2의 취성기판을 접합한 접합기판을 절단하는 절단 시스템으로서,
    상기 취성기판에 대하여 스크라이브를 실시하는 스크라이브 기구부와,
    스크라이브가 실시된 상기 취성기판에 대하여 브레이크를 실시하는 브레이크 기구부와,
    상기 취성기판의 표리를 반전시켜 반송하는 반전반송수단을 구비하고,
    스크라이브 기구부와 브레이크 기구부가 1개의 장치로 조립된 절단장치로 이루어지고,
    절단장치의 스크라이브 기구부로 상기 취성기판의 제1의 면에 대하여 스크라이브를 실시한 후에 브레이크 기구부로 상기 취성기판의 제1의 면에 대하여 브레이크를 실시한 후 반전시키고, 상기 절단장치의 스크라이브 기구부로 상기 취성기판의 제2의 면에 대하여 스크라이브를 실시한 후에 상기 절단장치의 브레이크 기구부로 상기 취성기판의 제2의 면에 대하여 브레이크를 실시하도록 구성되고, 제5항의 브레이크 기구를 사용하는 취성기판의 절단 시스템.
  19. 제1의 취성기판과 제2의 취성기판을 접합한 접합기판을 절단하는 절단 시스템으로서,
    상기 취성기판에 대하여 스크라이브를 실시하는 스크라이브 기구부와,
    스크라이브가 실시된 상기 취성기판에 대하여 브레이크를 실시하는 브레이크 기구부와,
    상기 취성기판의 표리를 반전시켜 반송하는 반전반송수단을 구비하고,
    스크라이브 기구부와 브레이크 기구부가 1개의 장치로 조립된 제1의 절단장치 및 제2의 절단장치를 구비하고,
    제1의 절단장치의 스크라이브 기구부로 상기 취성기판의 제1의 면에 대하여 스크라이브를 실시한 후에 제1의 브레이크 기구부로 상기 취성기판의 제1의 면에 대하여 브레이크를 실시한 후 반전시키고, 제2의 절단장치의 스크라이브 기구부로 상기 취성기판의 제2의 면에 대하여 스크라이브를 실시한 후에 제2의 절단장치의 브레이크 기구부로 상기 취성기판의 제2의 면에 대하여 브레이크를 실시하도록 구성되고, 제5항의 브레이크 기구를 사용하는 취성기판의 절단 시스템.
  20. 각각이 독립된 별개인 장치로 이루어지는 스크라이브 기구부 및 브레이크 기구부와,
    스크라이브 기구부와 브레이크 기구부가 하나의 장치로 조립되는 적어도 하나의 절단장치를
    선택적으로 배치하여 구성되고, 제16항의 제1의 취성기판과 제2의 취성기판을 접합한 접합기판을 절단하는 절단 시스템.
KR1020010059010A 2000-10-02 2001-09-24 취성기판의 절단방법 및 그 방법을 사용하는 브레이크 기구, 절단장치 및 절단 시스템 KR100573207B1 (ko)

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