JP2008300056A - マスクアライメント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスク側アライメントマーク17と基板側アライメントマーク16とに対して同軸反射照明装置22と、透過照明装置31とを設ける。反射照明を点灯し、透過照明を消灯して撮像された画像から、基板側アライメントマーク16の位置及びマスク側アライメントマーク17の位置を検出して位置合わせを行った後に、透過照明を点灯し、反射照明を消灯して撮像された画像から、基板側アライメントマーク16の位置及びマスク側アライメントマーク17の位置を検出して、位置合わせを行う。これにより、高精度の位置合わせが行える。
【選択図】図1
Description
<第1の実施形態>
図1は、本発明のマスクアライメント装置を組み込んだ有機ELディスプレイ用蒸着装置の構成を示すものである。図1において、真空容器10内には、ガラス基板11とメタルマスク12とが積層されて配置される。メタルマスク12には、ディスプレイの画素パターンに対応する複数の開口13が形成されている。メタルマスク12は、図示していない保持機構により、真空容器10内に固定されている。一方、ガラス基板11は、基板移動機構42により、メタルマスク12に対して移動自在とされている。真空容器10内には、ガラス基板11に有機EL材料を製膜するための蒸着源15が設けられる。
図7は、本発明の第2の実施形態のフローチャートである。前述の第1の実施形態では、透過照明光による位置合わせの前に、常に反射照明による位置合わせを行っているが、本発明を適用するディスプレイ製造装置では、機械的な位置決め機構を備えており、事前にガラス基板11とメタルマスク12の予備的な位置合わせが可能なものもある。その場合、図7のフローチヤートで示すように、まず透過照明光で位置合わせを試み、基板側アライメントマーク16の位置検出に成功したかどうかを判断し、基板側アライメントマーク16の位置検出に失敗した場合(つまり、基板側アライメントマーク16とマスク側アライメントマーク17が重なっていない場合)のみ、反射照明による位置合わせを実行するようにしても良い。これにより、平均的な位置合わせ時間を短縮することができる。
前述の第1及び第2の実施形態では、シャッタ29及び34により、同軸反射照明光と透過照明光とが切り替えられるようにしている。これに対して、この第3の実施形態では、シャッタ29及び34を除き、同軸反射照明と透過照明とを同時に点灯して、位置調整を行うようにしている。
また、光強度の設定については、操作者が操作部などを操作することにより予め明度値を入力しておくようにしてもよいし、画像処理制御手段40が、撮影画像から明度値が最適値になるように、ハロゲン光源26,32に印加する電圧を自動的に制御するようにしてもよい。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内でさまざまな変形や応用が可能である。
11:ガラス基板
12:メタルマスク
13:開口
15:蒸着源
16:基板側アライメントマーク
17:マスク側アライメントマーク
18,19:窓
20:光学装置
21:撮像装置
22:同軸反射照明装置
24:CCDカメラ
25:レンズ
26:ハロゲン光源
27:ライトガイド
28:ハーフミラー
29:シャッタ
30:光学装置
31:透過照明装置
32:ハロゲン光源
33:投光レンズ
34:シャッタ
35:ミラー
36:照明装置
40:画像処理制御装置
41:アクチュエータ制御装置
42:基板移動機構
Claims (4)
- ガラス基板に形成された基板側アライメントマークとマスクに形成されたマスク側アライメントマークを撮像し、前記基板側アライメントマークと前記マスク側アライメントマークの撮像画像から前記ガラス基板と前記マスクの相対位置関係を算出し、前記算出された相対位置関係に基づいて前記ガラス基板と前記マスクを位置合わせするマスクアライメント装置において、
前記基板側アライメントマークと前記マスク側アライメントマークとを撮像する撮像手段と、
前記ガラス基板と前記マスクに対して前記撮像手段の撮像方向から照明光を照射する反射照明手段と、
前記ガラス基板と前記マスクに対して前記撮像手段の撮像方向とは反対側の方向から照明光を照射する透過照明手段と、
前記反射照明手段の点灯及び消灯を制御する反射照明制御手段と、
前記透過照明手段の点灯及び消灯を制御する透過照明制御手段と、
前記撮像手段により撮像された画像を用いて、前記マスク側アライメントマークの位置と前記基板側アライメントマークの位置を検出し、前記基板側アライメントマークの検出位置と前記マスク側アライメントマークの検出位置とに基づいて、前記ガラス基板と前記マスクとのずれ量を算出する制御手段と、
前記算出されたずれ量に基づいて、前記ガラス基板と前記マスクとの位置合わせを行う基板移動手段と、
を備えることを特徴とするマスクアライメント装置。 - 前記制御手段は、
前記反射照明手段を点灯し、前記透過照明手段を消灯して、前記撮像手段により撮像された画像から前記基板側アライメントマークの位置及び前記マスク側アライメントマークの位置を検出し、前記基板側アライメントマークの検出位置と前記マスク側アライメントマークの検出位置とに基づいて、前記ガラス基板と前記マスクとのずれ量を算出し、前記算出されたずれ量に基づいて、前記ガラス基板と前記マスクとの位置合わせを行う第1の位置合わせ処理手段と、
前記透過照明手段を点灯し、前記反射照明手段を消灯して、前記撮像手段により撮像された画像から前記基板側アライメントマークの位置及び前記マスク側アライメントマークの位置を検出し、前記基板側アライメントマークの検出位置と前記マスク側アライメントマークの検出位置とに基づいて、前記ガラス基板と前記マスクとのずれ量を算出し、前記算出されたずれ量に基づいて、前記ガラス基板と前記マスクとの位置合わせを行う第2の位置合わせ処理手段とを含み、
前記第1の位置合わせ処理手段による位置合わせを行った後に、前記第2の位置合わせ処理手段による位置合わせを行うようにしたことを特徴とする請求項1に記載のマスクアライメント装置。 - 前記制御手段は、
前記透過照明手段を点灯し、前記反射照明手段を消灯して、前記撮像手段により撮像された画像から前記基板側アライメントマークの位置が検出できたかどうかを判断する手段を含み、
前記基板側アライメントマークの位置の検出に成功した場合には、前記第2の位置合わせ処理手段による位置合わせを行い、
前記基板側アライメントマークに位置の検出に失敗した場合には、前記第1の位置合わせ処理手段による位置合わせを行った後に、前記第2の位置合わせ処理手段による位置合わせを行うようにしたことを特徴とする請求項2に記載のマスクアライメント装置。 - ガラス基板に形成された基板側アライメントマークとマスクに形成されたマスク側アライメントマークを撮像し、前記基板側アライメントマークと前記マスク側アライメントマークの撮像画像から前記ガラス基板と前記マスクの相対位置関係を算出し、前記算出された相対位置関係に基づいて前記ガラス基板と前記マスクを位置合わせするマスクアライメント装置において、
前記基板側アライメントマークと前記マスク側アライメントマークとを撮像する撮像手段と、
前記ガラス基板と前記マスクに対して前記撮像手段の撮像方向から照明光を照射する反射照明手段と、
前記ガラス基板と前記マスクに対して撮像手段の撮像方向とは反対側の方向から照明光を照射する透過照明手段と、
前記撮像手段により撮像された画像を用いて、前記マスク側アライメントマークの位置と前記基板側アライメントマークの位置を検出し、前記基板側アライメントマークの検出位置と前記マスク側アライメントマークの検出位置とに基づいて、前記ガラス基板と前記マスクとのずれ量を算出する制御手段と、
前記算出されたずれ量に基づいて、前記ガラス基板と前記マスクとの位置合わせを行う基板移動手段とを備え、
前記基板側アライメントマークの反射照明光による反射画像の明度と、前記マスク側アライメントマークの透過照明光による透過画像の明度とが異なるように、前記反射照明手段及び前記透過照明手段の光量が調整されることを特徴とするマスクアライメント装置。
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