JP5562659B2 - 実装装置および実装方法 - Google Patents
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Description
実施の形態1では、入射光を折り曲げて射出する光学部品としてプリズムを例示する。そして、このプリズムをアライメントマークの付された基板に実装する実装装置を例示する。図1は、実施の形態1の実装装置1の全体構成を説明する模式図である。図1に示すように、実装装置1は、基板2が載置されるステージ11、基板2上に実装する光学部品の一例であるプリズム3を搬送するマニピュレータ12、光源部としての光源ユニット13、光路分割素子14、撮像手段としての撮像ユニット15等を備える。
図10は、実施の形態2の実装装置1bの全体構成を説明する模式図である。なお、図10では、実施の形態1と同様の構成には同一の符号を付して示している。図10に示すように、実装装置1bは、プリズム3の光入射面33を撮像するための光源ユニット13、光路分割素子14および撮像ユニット15とは別に、ステージ11の上方に配設された光源ユニット13−2、光路分割素子14−2および撮像ユニット15−2をさらに備える。なお、これら光源ユニット13−2、光路分割素子14−2および撮像ユニット15−2は、光源ユニット13、光路分割素子14および撮像ユニット15と同様の構成で実現できる。
11 ステージ
12 マニピュレータ
13,13−2 光源ユニット
131,131−2 光源
14,14−2 光路分割素子
15,15−2 撮像ユニット
151,151−2 カメラ
16,16b 制御部
161,161b ステージ制御部
162 マニピュレータ制御部
163,163b 画像処理部
17 記憶部
2 基板
21 アライメントマーク
23 撮像素子
231 撮像面
3 プリズム
31 光射出面
33 光入射面
35 反射面
Claims (8)
- 基板と、
前記基板側からの光を入射させる第1の面と、該入射した光を折り曲げて射出する第2の面とを備えた光学部品と、
前記光学部品の第1の面と前記基板とを対向配置させた状態で、前記基板と前記光学部品とを相対的に移動させて前記基板と前記光学部品との位置を調整する調整手段と、
前記第2の面から射出される光の光路上に配置された撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された画像データをもとに、前記調整手段による前記基板と前記光学部品との相対的な移動量を制御し、前記光学部品を前記基板に実装する制御手段と、
を備え、
前記撮像手段は、前記基板における前記第1の面との対向面にピントが合うように設定した後に前記対向面を第1の画像として撮像するとともに、前記第2の面にピントが合うように設定した後に前記第2の面を第2の画像として撮像し、
前記制御手段は、
前記第1の画像の画像データを画像認識処理して、前記光学部品を介した前記基板の像の少なくとも一部を認識する基板認識手段と、
前記第2の画像の画像データを画像認識処理して前記第2の面の像の少なくとも一部を認識する光学部品認識手段と、
を有し、前記基板認識手段によって認識された前記基板の像の少なくとも一部と、前記光学部品認識手段によって認識された前記第2の面の像の少なくとも一部とをもとに、前記基板と前記光学部品との相対的な移動量を制御することを特徴とする実装装置。 - 前記第2の面に照明光を照射する光源部を備え、
前記光源部は、該光源部の光軸が前記撮像手段の光軸と同軸となるように配設されたことを特徴とする請求項1に記載の実装装置。 - 前記基板は、前記第1の面との対向面に付されたアライメントマークを備え、
前記基板認識手段は、前記光学部材を介した前記基板の像に含まれる前記アライメントマークを認識し、
前記光学部品認識手段は、前記第2の面の外形を認識し、
前記制御手段は、前記第1の画像の画像データ中の前記アライメントマークの中心位置と前記第2の画像の画像データ中の前記第2の面の中心位置とが一致するように前記基板と前記光学部品との相対的な移動量を制御することを特徴とする請求項1に記載の実装装置。 - 前記撮像手段は、前記アライメントマークにピントが合うように設定された前記撮像手段の位置であるアライメントマーク観察用位置に移動して前記第1の画像を撮像し、前記第2の面にピントが合うように設定された前記撮像手段の位置である光学部品観察用位置に移動して前記第2の画像を撮像することを特徴とする請求項3に記載の実装装置。
- 前記基板は、有効撮像領域を有する撮像素子であり、
前記基板認識手段は、前記光学部品を介した前記撮像素子の像に含まれる前記有効撮像領域の外形を認識し、
前記光学部品認識手段は、前記第2の面の外形を認識し、
前記制御手段は、前記有効撮像領域の中心位置と前記第2の面の中心位置とが一致するように前記撮像素子と前記光学部品との相対的な移動量を制御することを特徴とする請求項1に記載の実装装置。 - 前記第2の面は、光の通過範囲となる有効領域を有し、
前記光学部品認識手段は、前記第2の面の外形を認識することで前記有効領域を区画する境界線を算出し、
前記制御手段は、前記有効領域の中心位置を前記第2の面の中心位置とすることを特徴とする請求項3または5に記載の実装装置。 - 前記光学部品は、プリズムであることを特徴とする請求項1に記載の実装装置。
- 基板と、該基板側からの光を入射させる第1の面および該入射した光を折り曲げて射出する第2の面を備えた光学部品の前記第1の面と、を対向配置する工程と、
前記第2の面に照明光を照射する工程と、
前記第2の面の内側の領域に映る前記基板における前記第1の面との対向面にピントが合うように設定した後に前記対向面を撮像して第1の画像の画像データを得る第1の撮像工程と、
前記第2の面にピントが合うように設定した後に前記第2の面を撮像して第2の画像の画像データを得る第2の撮像工程と、
前記第1の画像の画像データを画像認識処理して、前記光学部品を介した前記基板の像の少なくとも一部を認識する基板認識工程と、
前記第2の画像の画像データを画像認識処理して前記第2の面の像の少なくとも一部を認識する光学部品認識工程と、
前記基板認識工程において認識された前記基板の像の少なくとも一部と、前記光学部品認識工程において認識された前記第2の面の像の少なくとも一部とをもとに、前記基板と前記光学部品との相対的な移動量を制御し、前記基板と前記光学部品との位置を調整する工程と、
前記調整された前記光学部品を前記基板に実装する工程と、
を含むことを特徴とする実装方法。
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