JP4694602B2 - 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器 - Google Patents

固体撮像装置およびそれを備えた電子機器 Download PDF

Info

Publication number
JP4694602B2
JP4694602B2 JP2008225081A JP2008225081A JP4694602B2 JP 4694602 B2 JP4694602 B2 JP 4694602B2 JP 2008225081 A JP2008225081 A JP 2008225081A JP 2008225081 A JP2008225081 A JP 2008225081A JP 4694602 B2 JP4694602 B2 JP 4694602B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solid
state imaging
imaging device
unit
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008225081A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010062750A (ja
Inventor
一生 木下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2008225081A priority Critical patent/JP4694602B2/ja
Priority to US12/585,039 priority patent/US8194182B2/en
Priority to CN200910170650XA priority patent/CN101668117B/zh
Publication of JP2010062750A publication Critical patent/JP2010062750A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4694602B2 publication Critical patent/JP4694602B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B17/00Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50Constructional details
    • H04N23/54Mounting of pick-up tubes, electronic image sensors, deviation or focusing coils
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50Constructional details
    • H04N23/55Optical parts specially adapted for electronic image sensors; Mounting thereof
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/57Mechanical or electrical details of cameras or camera modules specially adapted for being embedded in other devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item

Description

本発明は、レンズ部と撮像部とが高精度に位置合わせされた固体撮像装置およびその固体撮像装置を備えた電子機器に関する。
携帯電話のカメラに応用されている固体撮像装置(カメラモジュール)は通常、固体撮像素子、信号処理装置(DSP)、レンズ、レンズ保持具、および鏡胴が、パッケージに集積されている。従来の固体撮像装置は、単焦点式が主流であったが、近年では、高画素、高画質、高機能志向が進んできている。このため、携帯電話に組み込まれる固体撮像装置でさえ、ディジタルスチルカメラなどの撮像専用機と同等の画素数になっていると共に、ズーム機能またはオートフォーカス機能を実現するための光学的機構も搭載されている。
一方、固体撮像装置に設定された機能を発揮させるためには、固体撮像素子の光学的な中心と、レンズをはじめとする光学部品の光学的な中心とが、一致していなければならない。固体撮像素子の光学的な中心は、固体撮像素子上に複数画素が並んで形成された画素平面の設計上の中心、すなわち画素中心である。一方、光学部品の光学的な中心は、レンズの中心、すなわち光軸である。画素中心とレンズの中心(光軸)とが一致していない場合、固体撮像素子の設計上、撮像した画像の四隅がぼけたり、暗くなったりするという不具合が生じる。
従って、固体撮像装置の高画素、高画質、高機能化を実現するには、画素中心と光軸とが同一直線上に配置され、なおかつ、固体撮像素子の受光平面(受光面)と光軸とが、直交していることが、必要不可欠となる。
固体撮像装置が携帯機器または携帯電話に組み込まれるようになった初期は、小型化、軽量化の観点から、固体撮像装置は非常に簡便な構成であった。しかし、昨今の固体撮像装置は、精密かつ高精度な機構が使用されたり、IC製造プロセスの発展に伴う固体撮像素子の受光部の高精細化が進んだりしている。その結果、これらが要因となって、固体撮像装置の組み立て時に、画素中心とレンズの中心との位置合わせに要求される精度が高まっている。
一方、固体撮像装置が組み込まれる携帯機器または携帯電話は、小型化(コンパクト化)、軽量化、および省電力化が要求される。このため、携帯機器または携帯電話に組み込まれる固体撮像装置には、一般的な撮像専用機に採用されている、画素中心とレンズの中心との位置合わせを補正するための、複雑な補正機構などを使用できない状況にある。
従来、固体撮像装置の組み立て時の光学部品の位置合わせは、固体撮像素子が実装された配線基板を基準に行われてきた。具体的には、固体撮像素子の受光面が、配線基板における固体撮像素子の実装面と同一または平行とみなされ、その実装面を基準にして位置合わせを行い、レンズおよびレンズ保持具などの光学部品が、配線基板上に実装される。
この位置合わせ方法には、配線基板への部品実装装置(半田付け装置)を流用することができる。このため、設備投資を最小に抑えられると共に、ノウハウも流用できるという利点があった。しかし、昨今の固体撮像装置の高精度化が進むにつれ、配線基板の製造上のばらつきや、固体撮像装置に搭載されるその他の部品の寸法のばらつき、または組み立てや実装の精度のばらつきが顕在化してきた。
フォーカス(焦点距離)調整は、固体撮像装置の組み立て後に、様々な工夫をすれば実施可能である。しかし、画像の片ボケ(画像のピントの合い具合が上下または左右などで不均一になっている状態)、または、画像の四隅が暗くなる場合は、組み立て時の光学部品の位置合わせに起因しており、固体撮像装置の組み立て後に微調整して修正ができない。従って、固体撮像装置の組み立て時の光学部品の位置合わせ精度は、非常に重要となる。
そこで、例えば、特許文献1〜3には、このような光学部品の位置合わせ方法が開示されている。
図11は、特許文献1に記載の位置合わせ方法を示す模式図である。特許文献1には、プリント基板上に部品を実装する表面実装技術が開示されている。特許文献1では、プリント基板上に部品を実装するために。プリント基板上に特定の位置合わせ用のマーク(アライメントマーク)が形成される。そして、この位置合わせ用のマークと設計情報とを用いた計算により、部品が所望の位置に搭載される。
具体的には、図11に示すように、プリント基板上に設けられた特定形状のパターンまたは穴202が、基準位置として認識される。部品203の実装位置(P)は、予め設定されているため、基準位置と部品203との位置関係は、設計情報(例えば、CADデータの寸法または座標情報等)から算出できる。このため、プリント基板上の実装位置からずれた位置(P)に部品203が配置されている場合、設計情報から算出された基準位置と部品203との位置関係となるように、部品203の位置を補正する。これにより、プリント基板上の所定の位置に、部品203を配置し、実装することができる。
図12は、特許文献2に記載の固体撮像装置を示す断面図である。図12に示すように、固体撮像装置300では、レンズ部302の脚部303に形成された切欠きが、固体撮像素子301の4角に嵌合している。これにより、脚部303が固体撮像素子301の受光面に直接的に接触し、レンズ部302が位置合わせされる。
図13は、特許文献3に記載の固体撮像装置を示す断面図である。図13に示すように、固体撮像装置400では、固体撮像素子401上に接着され、封止部403から露出した透光性蓋部402に、レンズホルダ404の底部を接触させている。これにより、固体撮像素子401に対してレンズ405が位置合わせされる。
特開昭61−19200号公報(1986年1月28日公開) 特開2003−338964号公報(2003年11月28日公開) 特開2006−279533号公報(2006年10月12日公開)
しかしながら、従来の固体撮像装置は、光学部品の位置合わせ精度が低い上、外部からの衝撃に弱いという問題がある。
具体的には、特許文献1に記載されたプリント基板への部品の半田付けの方法を、固体撮像装置の製造に適用すると、プリント基板上に、光学部品の位置合わせ基準が設けられることになる。すなわち、固体撮像素子の画素中心と光学部品の光軸とが、プリント基板上の基準点を介して、間接的に位置合わせされる。しかし、この方法では、プリント基板の製造ばらつき、プリント基板上に形成されたその他の部品の寸法のばらつき、または、プリント基板上への実装の精度(組み立て精度)のばらつき等が加算される。このため、光学部品の位置合わせに誤差が生じる。従って、高精度な光学部品の位置合わせができない。
なお、特許文献1の方法を、固体撮像装置の製造に適用する際、固体撮像素子(LSI)上に、光学部品の位置合わせ基準を設けることも考えられる。しかし、その位置合わせ基準を認識するための装置(実際は接写可能なカメラ)が認識できるサイズ、色、コントラスト等の位置合わせ基準を、固体撮像素子上に形成するのは、事実上不可能である。
また、図12のように、特許文献2の固体撮像装置300は、レンズ部302の脚部303を固体撮像素子301に直接的に接触させて光学部品が位置合わせされる。このため、この固体撮像装置300を携帯機器に組み込むと、落下等による衝撃が、直接、固体撮像素子に伝わる。このため、固体撮像素子301の位置ずれが生じる。
また、衝撃によって、固体撮像素子301にひび(クラック)が入る結果、電源と接地(グランド)側がショートすると機器(バッテリー部)が加熱する虞もある。
さらに、特許文献3の固体撮像装置400は、透光性蓋部402に、レンズホルダ404の底部を接触させている。このため、固体撮像装置400に対する衝撃が、透光性蓋部402を介して固体撮像素子401に伝わる。その結果、特許文献2の固体撮像装置300と同様に、固体撮像素子401の位置ずれや、固体撮像素子401が破損する可能性がある。また、透光性蓋部402は、通常、ガラス基板から構成されるため、固体撮像素子401が実装される配線基板よりも、機械的強度が弱いまたは脆い。このため、透光性蓋部402に直接衝撃が加わると、透光性蓋部402が破損しやすく、固体撮像装置400に不具合が発生しやすくなる。
なお、特許文献3の固体撮像装置400では、レンズホルダ404の下端面が、透光性蓋部402の上面に接触し、また、位置決め爪408が透光性蓋部402の周側部に当接する。さらに、封止部403に形成された爪部407が、支持部406に係合される。これによって、透光性蓋部402とレンズホルダとの相対位置が固定される。
固体撮像装置400では、位置決め爪408と透光性蓋部402との当接部分、および、爪部407と支持部406との係合部分は、実際には、若干の余裕(遊び)を有して形成される。しかし、上述のように、固体撮像装置には、小型化(コンパクト化)が要求されるため、このような余裕(遊び)を形成する余裕すら容認できない。さらに、封止部403に形成された爪部407な部材の形成も、設計に余裕があれば可能である。しかし、爪部407および爪部が係合される部分は、固体撮像装置400の本来の機能を実現するものではない。このように、特許文献3の固体撮像装置400における位置合わせの構成は、小型化(コンパクト化)の要求に逆行することになる。従って、このような構成は、極力削除し、小型化をすすめるべきである。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、レンズ部と撮像部とを高精度に位置合わせしつつ、耐衝撃性を備えた固体撮像装置を提供することである。
本発明の固体撮像装置は、上記の課題を解決するために、被写体像を形成するレンズ部、および、レンズ部によって形成された被写体像を電気信号に変換する撮像部を備え、撮像部が、配線基板と、配線基板上に実装された固体撮像素子と、固体撮像素子の受光部に対向するとともに固体撮像素子との間に間隔を有して配置された透光性部材とを備えた固体撮像装置において、上記固体撮像素子および透光性蓋部は、レンズ部と離間して設けられており、上記透光性蓋部に、撮像部に対するレンズ部の位置合わせ基準となる位置合わせマークが形成されており、位置合わせマークが、固体撮像素子の受光部の中心部を示しており、外光下で透明である一方、ブラックライト照射下で発光する発光膜であることを特徴としている。
上記の発明によれば、透光性蓋部上に、位置合わせマークが形成されている。この位置合わせマークは、撮像部(固体撮像素子)とレンズ部との位置合わせのための基準位置となる。このように、透光性蓋部を位置合わせの基準とすれば、配線基板を位置合わせの基準とする場合よりも、レンズ部と撮像部とを高精度に位置合わせすることが可能となる。
さらに、上記の発明によれば、固体撮像素子および透光性蓋部と、レンズ部とは離間して設けられている。つまり、固体撮像素子および透光性蓋部と、レンズ部とは、非接触状態である。これにより、レンズ部に衝撃が加わったとしても、その衝撃は、直接固体撮像素子に伝わらない。このため、固体撮像素子の位置ずれを防止できる。従って、レンズ部と撮像部とが高精度に位置合わせされた状態を維持できる。また、その衝撃が、透光性蓋部を介して固体撮像素子に伝わることもない。このため、衝撃から透光性蓋部および固体撮像素子を保護することができる。
このように、上記の発明によれば、レンズ部と撮像部とを高精度に位置合わせしつつ、耐衝撃性を備えた固体撮像装置を提供することができる。
さらに、上記の発明によれば、位置合わせマークが、外光下で透明である一方、ブラックライト照射下で発光する発光膜である。また、この発光膜は、固体撮像素子の受光部の中心部を示している。つまり、位置合わせマークが、画素中心を示すことになる。従って、より高い精度で、レンズ部と撮像部との位置合わせすることができる。
本発明の固体撮像装置では、上記撮像部が、光路を遮断しないように、樹脂により封止されていてもよい。
上記の発明によれば、透光性蓋部の表面が露出するように、撮像部が樹脂封止されている。このため、撮像部が樹脂封止されている場合であっても、レンズ部と撮像部とを高精度に位置合わせすることができる。
また、上記の発明によれば、撮像部が樹脂封止されているため、耐衝撃性を高めることもできる。
本発明の電子機器は、上記の課題を解決するために、前記いずれかの固体撮像装置を備えていることを特徴としている。従って、レンズ部と撮像部とが高精度に位置合わせされた電子機器を提供することができる。
本発明の固体撮像装置は、以上のように、固体撮像素子および透光性蓋部は、レンズ部と離間して設けられており、透光性蓋部に、撮像部に対するレンズ部の位置合わせ基準となる位置合わせマークが形成されており、位置合わせマークが、固体撮像素子の受光部の中心部を示しており、外光下で透明である一方、ブラックライト照射下で発光する発光膜である構成である。それゆえ、レンズ部と撮像部とを高精度に位置合わせしつつ、耐衝撃性を備えた固体撮像装置を提供することができるという効果を奏する。さらに、位置合わせマークが、画素中心を示すことになるため、より高い精度で、レンズ部と撮像部との位置合わせすることができるという効果も奏する。
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。図2は、本実施形態の固体撮像装置の断面図である。
図2のように、固体撮像装置100は、レンズ部1が、撮像部2上に、接着部3を介して接着されている。なお、説明の便宜上、レンズ部1側を上方、撮像部2側を下方とする。
レンズ部1は、外部からの光を撮像部2に導くものである。図2のように、レンズ部1は、撮像用のレンズ11が、中空のレンズバレル12の内部に保持された構成である。
撮像部2は、レンズ部1によって形成された被写体像を、電気信号に変換する。つまり、撮像部2は、レンズ部1から入射された入射光を光電変換する。撮像部2は、配線基板21、固体撮像素子22、ワイヤ23、透光性蓋部24、および接着部25から構成されている。固体撮像素子22は、配線基板21上に実装されている。配線基板21と固体撮像素子22とは、ワイヤ23によって、互いに電気的に接続されている。
配線基板21は、固体撮像素子22の電気信号を取り出すものである。配線基板21は、固体撮像素子22と電気的に接続するために、図示しないパターニングされた配線を有している。配線基板21は、例えば、プリント基板,またはセラミック基板などである。
固体撮像素子22は、レンズ部1で形成された被写体像を、電気信号に変換するものである。固体撮像素子22は、配線基板21のおもて面に実装されている。また、固体撮像素子22は、レンズ部1の内部に収容されている。固体撮像素子22は、半導体回路が形成された半導体基板(例えばシリコン単結晶基板)が平面視矩形形状に形成されたものである。固体撮像素子22は、例えば、CCD(charge-coupled device)イメージセンサ、CMOS(complementary metal-oxide semiconductor)イメージセンサ、VMISイメージセンサ(Threshold Voltage Modulation Image Sensor)である。
固体撮像素子22の表面(上面)には、複数の画素がマトリクス状に配置された受光部22aが形成されている。受光部22aは、レンズ部1から入射される光を透過する領域(光透過領域)であり、画素エリアとも言い換えられる。撮像部2の撮像面は、この受光部22aである。
固体撮像素子22は、受光部22aに結像された被写体像を電気信号に変換して、アナログの画像信号として出力する。つまり、受光部22aで、光電変換が行われる。固体撮像素子22の動作は、図示しないDSPで制御され、固体撮像素子22で生成された画像信号は、DSPで処理される。
透光性蓋部24は、接着部25を介して、固体撮像素子22上に接着されている。透光性蓋部24は、固体撮像素子22の受光部22aに対向するとともに固体撮像素子22との間に間隔を有して配置されている。つまり、透光性蓋部24は、固体撮像素子22の受光部22aと離間して設けられ、少なくとも固体撮像素子22の受光部22aを覆っている。これにより、受光部22aへの塵埃の浸入および付着などを防止することができる。また、透光性蓋部24は、レンズ部1と離間して設けられている。なお、本実施形態では、透光性蓋部24の固体撮像素子22との対向面の面積は、固体撮像素子22の受光部22aの面積よりも大きくなっている。
透光性蓋部24は、例えば、透光性を有するガラスや樹脂から構成されている。なお、透光性蓋部24上(レンズ部1側の面)には、赤外線カットフィルタ等の光学フィルタが形成されていてもよい。これにより、透光性蓋部24は、赤外線を遮断する機能も備えることになる。
接着部25は、固体撮像素子22と透光性蓋部24とを接着するものである。接着部25は、固体撮像素子22の受光部22aの周囲に形成され、固体撮像素子22上に、透光性蓋部24を接着する。これにより、固体撮像素子22の受光部22aは、透光性蓋部24によって覆われる。
より詳細には、接着部25は、固体撮像素子22の受光部22aの周囲に形成されている。接着部25には、図示しないが、通気孔が形成されている。これにより、固体撮像素子22との間に形成された空間内への湿気の進入を防止できる。また、および、受光部22aへの塵埃の浸入および付着などを防止することができる。
なお、接着部25は、例えば、固体撮像素子22上にシート状の接着剤を貼着した後、フォトリソグラフィ技術で露光及び現像等の処理を施すパターンニングによって形成することができる。フォトリソグラフィ技術を用いれば、接着部25のパターンニングは高精度に行うことができ、また、シート状の接着剤を用いるため、接着部25の厚さを均一にすることができる。これにより、透光性蓋部24を固体撮像素子22の受光部22aに対して高精度に接着することができる。
このような固体撮像装置100は、外部の光を、レンズ部1から透光性蓋部24を介して固体撮像素子22に取り込む。取り込まれた光は、固体撮像素子22の受光部22aに導かれ、受光部22aに被写体像が結像される。固体撮像素子22は、その被写体像を電気信号に変換する。撮像部2では、変換された電気信号に対し、各種処理(画像処理等)が施される。
ここで、固体撮像装置100では、高画素、高画質、高機能化を実現するために、固体撮像素子22の受光部22aの中心(画素中心)と、レンズ11の中心(光軸)とが一致しており、なおかつ、受光部22aと光軸とが直交していなければならない。図3は、固体撮像素子22とレンズ11とが、このような条件を満たした理想的な配置を示している。つまり、図3は、固体撮像装置100におけるレンズ11と固体撮像素子22との位置合わせ状態を示す斜視図である。
上述のように、受光部22aは、透光性蓋部24に覆われているため、図3では、透光性蓋部24上に、受光部22aの中心(画素中心)を示している。画素中心は、透光性蓋部24上に示された2本の破線の交点である。一方、レンズ11の中心は、透光性蓋部24上の2本の破線に平行な2本の破線の交点である。そして、レンズ11の中心から、固体撮像素子22の方へ垂直に延びた破線が、光軸である。図3では、受光部22aの中心と、レンズ11の中心とが光軸上に配置されている。しかも、光軸は、固体撮像素子22(受光部え22a)に対し、垂直になっている。レンズ11と固体撮像素子22とが、このように配置されていると、撮像した画像の四隅がぼけたり、暗くなったりするという不具合は生じない。
このように、固体撮像装置100では、レンズ部1(レンズ11)と、撮像部2(固体撮像素子22)との位置合わせが、特に重要である。
そこで、固体撮像装置100では、透光性蓋部24に、撮像部2に対するレンズ部1の位置合わせ基準となる位置合わせマークが形成されている。図1は、固体撮像装置100における透光性蓋部24に形成された位置合わせマーク26を示す斜視図である。
位置合わせマーク26は、後述のように、固体撮像素子22に対するレンズ11の位置合わせ基準となる。つまり、位置合わせマーク26は、レンズ部1と撮像部2との位置合わせの基準位置となる。図1では、位置合わせマーク26が、透光性蓋部24の周縁部に形成されている。つまり、透光性蓋部24の周辺近傍が、固体撮像素子22に対するレンズ11の位置合わせの基準位置となっている。透光性蓋部24の周縁部は、固体撮像素子22の受光部の外縁に配置される。つまり、位置合わせマーク26は、撮像にはほとんど影響しない領域に形成される。従って、位置合わせマーク26が撮像に影響を及ぼすことなく、レンズ部1と撮像部2との位置合わせが可能である。
位置合わせマーク26は、透光性蓋部24上に形成されていれば特に限定されるものではない。例えば、図4は、透光性蓋部24に形成された別の位置合わせマーク26を示す斜視図である。図4では、位置合わせマーク26が、透光性蓋部24の角部に形成されている。具体的には、図4では、矩形の透光性蓋部24の四隅の一角に、位置合わせマーク26が形成されている。つまり、透光性蓋部24の四隅の一角が、固体撮像素子22に対するレンズ11の位置合わせの基準位置となっている。これにより、位置合わせマーク26の認識が容易になる。従って、レンズ部1と撮像部2とを簡便に位置合わせすることができる。
図5〜図7は、図1および図4の破線部に示す位置合わせマーク26の断面図であり、位置合わせマーク26の具体例を示している。
位置合わせマーク26は、図5のように反射膜であってもよいし、図6および図7のように、透光性蓋部24に形成された溝であってもよい。
図5のような反射膜は、例えば、金属蒸着、金属メッキ、または、金属箔から形成することができる。また、反射膜は、印刷によって、任意の位置に形成することができる。例えば、図1のように、位置合わせマーク26を透光性蓋部24の周辺近傍に形成する場合、位置合わせマーク26の枠形状を転写して形成することができる。一方、図4のように、位置合わせマーク26を透光性蓋部24の角近傍に形成する場合、位置合わせマーク26の形状を転写して形成することができる。
このように、位置合わせマーク26が反射膜である場合、固体撮像装置100の製造装置(搭載機)の光源(照明)から、透光性蓋部24に光が照射されると、反射膜がその光を反射する。このため、反射膜の認識が容易になる。従って、反射膜を認識マーク(アライメントマーク)として利用することができる。それゆえ、レンズ部1と撮像部2との位置合わせも容易に行うことできる。
一方、図6および図7のような溝は、けがき、ダイシングソウ、またはエッチング等により形成することができる。溝の断面は特に限定されるものではなく、例えば、図6のように逆三角形であってもよいし、図7のように、半円であってもよい。
このように、位置合わせマーク26が透光性蓋部24に形成された溝である場合、固体撮像装置100の製造装置(搭載機)の光源(照明)から、透光性蓋部24に光が照射されると、溝が形成された部分と、溝が形成されていない平面部とでは、反射の様式が異なる。このため、溝の認識が容易になる。従って、溝を認識マーク(アライメントマーク)として利用することができる。それゆえ、レンズ部1と撮像部2との位置合わせも容易に行うことできる。
位置合わせマーク26が反射膜または溝である場合、位置合わせマーク26は、受光部22aに重ならないように、形成することが好ましい。また、固体撮像装置100では、透光性蓋部24が、受光部22aの周囲に形成された接着部25を介して、固体撮像素子22上に接着されている。このため、位置合わせマーク26は、接着部25の直上に形成されていることがより好ましい。これにより、位置合わせマーク26が、撮像した画像にの影響を及ぼすことなく、レンズ部1と撮像部2との位置合わせが可能である。
位置合わせマーク26は、上述の反射膜および溝以外にも、撮像時の光に対しては透明である一方、撮像には影響しない特定の光を照射することによってのみ発光する発光膜であってもよい。例えば、外光下で透明である一方、ブラックライト照射下で発光する発光膜であってもよい。図8は、透光性蓋部24に形成された別の位置合わせマーク26を示す斜視図である。この発光膜は、通常光の下では、無色透明である一方、ブラックライト(紫外線365nm〜)を照射すると、発色するインクから形成されている。このインクは、例えば、誠分堂 LT−Pインクなどが挙げられる。このような発光膜を位置合わせマーク26として適用すると、通常の光(撮像時の光)の下では、位置合わせマークが認識されず、ブラックライトを照射したときのみ、位置合わせマーク26が浮かび上がる。このため、図8のように、位置合わせマーク26を、固体撮像素子22の受光部22aの中心部に形成することができる。これにより、ブラックライトを照射したときのみ、透光性蓋部24上に、受光部22a(画素アレイ)の中心位置が示される。従って、より高い精度で、レンズ部1と撮像部2との位置合わせすることができる。
図9は、固体撮像装置100の製造工程を示す断面図である。固体撮像装置100は、レンズ部1を、接着部3によって、撮像部2上に接着して製造する。このとき、位置合わせマーク26をレンズ部1と撮像部2との位置合わせの基準位置として、固体撮像素子22の画素中心と、レンズ11の中心とを一致させる。これにより、レンズ部1と撮像部2とを高精度に位置合わせすることができる。
このように、固体撮像装置100では、透光性蓋部24上に、位置合わせマーク26が形成されている。この位置合わせマーク26は、撮像部2(固体撮像素子22)とレンズ部1との位置合わせのための基準位置となる。このように、透光性蓋部24をレンズ部1と撮像部2との位置合わせの基準とした場合、固体撮像素子22上への透光性蓋部24の位置合わせ精度は、±0.05mm(±50μm)である。これに対し、配線基板21をレンズ部1と撮像部2との位置合わせの基準とした場合、固体撮像素子22上への透光性蓋部24の位置合わせ精度は、±0.15mm(±150μm)である。従って、透光性蓋部24を位置合わせの基準とすれば、従来のように配線基板21を位置合わせの基準とする場合よりも、レンズ部1と撮像部2とを高精度に位置合わせすることが可能となる。
さらに、固体撮像装置100では、固体撮像素子22および透光性蓋部24と、レンズ部1とは離間して設けられている。つまり、固体撮像素子22および透光性蓋部24と、レンズ部1とは、非接触状態である。これにより、レンズ部1に衝撃が加わったとしても、その衝撃は、直接固体撮像素子22に伝わらない。このため、固体撮像素子22の位置ずれを防止できる。従って、レンズ部1と撮像部2とが高精度に位置合わせされた状態を維持できる。また、その衝撃が、透光性蓋部24を介して固体撮像素子22に伝わることもない。このため、衝撃から透光性蓋部24および固体撮像素子22を保護することができる。
なお、本実施形態の固体撮像装置100と、従来の固体撮像装置とでは、位置合わせの基準位置が異なる以外は、同様の方法で、固体撮像素子22の画素中心と、レンズ11の中心とを位置合わせすればよい。例えば、特許文献1の方法を利用して、位置合わせすればよい。
従って、レンズ部1と撮像部2とを高精度に位置合わせしつつ、耐衝撃性を備えた固体撮像装置100を提供することができる。
図11は、別の固体撮像装置101の製造工程を示す断面図である。固体撮像装置101では、撮像部2が、樹脂封止されている。具体的には、撮像部2は、光路を遮断しないように、樹脂27によって封止されている。つまり、固体撮像装置101は、配線基板21上の各部材が、樹脂27により封止された、いわゆるCSP(Chip Scale Package)構造である。
固体撮像装置101では、透光性蓋部24の表面は樹脂27から露出している。このため、撮像部2が樹脂封止されている場合であっても、位置合わせマーク26によって、透光性蓋部24を基準として、レンズ部1と撮像部2とを高精度に位置合わせすることができる。また、撮像部2が樹脂封止されているため、耐衝撃性を高めることもできる。
なお、撮像部が樹脂封止(パッケージ)されていると配線基板を認識できないため、従来のように配線基板を位置合わせの基準とすることはできない。そこで、樹脂封止された撮像部2の外形(角または輪郭)を認識して位置合わせが行われる。しかし、この場合、樹脂成型時、切断時、または切削時のばらつきが、レンズ部1の撮像部2上への実装時に加算される。具体的には、撮像部2の外形をレンズ部1と撮像部2との位置合わせの基準とした場合、固体撮像素子22上への透光性蓋部24の位置合わせ精度は、±0.15mm(±150μm)である。従って、透光性蓋部24を位置合わせの基準とすれば、撮像部2が樹脂封止された場合であっても、レンズ部1と撮像部2とを高精度に位置合わせすることが可能となる。
なお、透光性蓋部24への位置合わせマーク26の形成は、固体撮像素子22上に透光性蓋部24を接着する前または後のどの段階で形成してもよい。ただし、操作が簡便であり、固体撮像素子22の位置ずれの虞もないため、予め位置合わせマーク26を形成した透光性蓋部24を、固体撮像素子22に接着することが好ましい。
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
例えば、本発明の固体撮像装置は、上記の課題を解決するために、被写体像を形成するレンズ部、および、レンズ部によって形成された被写体像を電気信号に変換する撮像部を備え、撮像部が、配線基板と、配線基板上に実装された固体撮像素子と、固体撮像素子の受光部に対向するとともに固体撮像素子との間に間隔を有して配置された透光性部材とを備えた固体撮像装置において、上記固体撮像素子および透光性蓋部は、レンズ部と離間して設けられており、上記透光性蓋部に、撮像部に対するレンズ部の位置合わせ基準となる位置合わせマークが形成されている構成であってもよい。
上記の発明によれば、透光性蓋部上に、位置合わせマークが形成されている。この位置合わせマークは、撮像部(固体撮像素子)とレンズ部との位置合わせのための基準位置となる。このように、透光性蓋部を位置合わせの基準とすれば、配線基板を位置合わせの基準とする場合よりも、レンズ部と撮像部とを高精度に位置合わせすることが可能となる。
さらに、上記の発明によれば、固体撮像素子および透光性蓋部と、レンズ部とは離間して設けられている。つまり、固体撮像素子および透光性蓋部と、レンズ部とは、非接触状態である。これにより、レンズ部に衝撃が加わったとしても、その衝撃は、直接固体撮像素子に伝わらない。このため、固体撮像素子の位置ずれを防止できる。従って、レンズ部と撮像部とが高精度に位置合わせされた状態を維持できる。また、その衝撃が、透光性蓋部を介して固体撮像素子に伝わることもない。このため、衝撃から透光性蓋部および固体撮像素子を保護することができる。
このように、上記の発明によれば、レンズ部と撮像部とを高精度に位置合わせしつつ、耐衝撃性を備えた固体撮像装置を提供することができる。
本発明の固体撮像装置では、位置合わせマークが、透光性蓋部の角部に形成されていてもよい。
上記の発明によれば、透光性蓋部の角部が、レンズ部と撮像部との位置合わせの基準位置となる。これにより、位置合わせマークの認識が容易になる。従って、レンズ部と撮像部とを簡便に位置合わせすることができる。
本発明の固体撮像装置では、透光性蓋部の固体撮像素子との対向面の面積は、固体撮像素子の受光部の面積よりも大きくなっており、位置合わせマークが、透光性蓋部の周縁部に形成されていてもよい。
上記の発明によれば、透光性蓋部の周縁部が、レンズ部と撮像部との位置合わせの基準位置となる。また、透光性蓋部の固体撮像素子との対向面は、固体撮像素子の受光面よりも大きい。これにより、透光性蓋部の周縁部は、固体撮像素子の受光面の外側に配置される。つまり、位置合わせマークは、撮像にはほとんど影響しない領域に形成される。従って、位置合わせマークが撮像に影響を及ぼすことなく、レンズ部と撮像部との位置合わせが可能である。
本発明の固体撮像装置では、固体撮像素子の受光部の周囲に、透光性蓋部を固体撮像素子上に接着する接着部が形成されており、位置合わせマークが、接着部の直上に形成されていることが好ましい。
上記の発明によれば、透光性蓋部を固体撮像素子に接着する接着部が、受光部の周囲に形成されている。つまり、接着部は、固体撮像素子の受光面の外側に配置される。そして、位置合わせマークは、接着部の直上に形成されている。このため、位置合わせマークは、撮像にはほとんど影響しない領域に形成される。従って、位置合わせマークが撮像に影響を及ぼすことなく、レンズ部と撮像部との位置合わせが可能である。
本発明の固体撮像装置では、位置合わせマークが、透光性蓋部上に形成された反射膜であってもよい。
上記の発明によれば、位置合わせマークが反射膜である。このため、反射膜に光が照射されると、反射膜がその光を反射する。これにより、位置合わせマークの認識が容易になる。従って、レンズ部と撮像部との位置合わせも容易に行うことできる。
本発明の固体撮像装置では、位置合わせマークが、透光性蓋部に形成された溝であってもよい。
上記の発明によれば、位置合わせマークが溝である。このため、透光性蓋部に光が照射されると、溝が形成された部分と、溝が形成されていない平面部とでは、反射が異なる。これにより、位置合わせマークの認識が容易になる。従って、レンズ部と撮像部との位置合わせも容易に行うことできる。
本発明の固体撮像装置では、位置合わせマークが、固体撮像素子の受光部の中心部を示しており、外光下で透明である一方、ブラックライト照射下で発光する発光膜であってもよい。
上記の発明によれば、位置合わせマークが、外光下で透明である一方、ブラックライト照射下で発光する発光膜である。また、この発光膜は、固体撮像素子の受光部の中心部を示している。つまり、位置合わせマークが、画素中心を示すことになる。従って、より高い精度で、レンズ部と撮像部との位置合わせすることができる。
本発明の固体撮像装置では、上記撮像部が、光路を遮断しないように、樹脂により封止されていてもよい。
上記の発明によれば、透光性蓋部の表面が露出するように、撮像部が樹脂封止されている。このため、撮像部が樹脂封止されている場合であっても、レンズ部と撮像部とを高精度に位置合わせすることができる。
また、上記の発明によれば、撮像部が樹脂封止されているため、耐衝撃性を高めることもできる。
本発明の電子機器は、上記の課題を解決するために、前記いずれかの固体撮像装置を備えていることを特徴としている。従って、レンズ部と撮像部とが高精度に位置合わせされた電子機器を提供することができる。
本発明は、本発明は、カメラ付き携帯電話、ディジタルスチルカメラ、監視カメラやドアホンなどのセキュリティ用カメラなど、固体撮像装置を備えた各種電子機器に適用することができる。
本発明の固体撮像装置における透光性蓋部に形成された位置合わせマークを示す斜視図である。 本発明の固体撮像装置を示す断面図である。 本発明の固体撮像装置におけるレンズと固体撮像素子との位置合わせを示す斜視図である。 本発明の固体撮像装置における透光性蓋部に形成された別の位置合わせマークを示す斜視図である。 本発明の固体撮像装置における位置合わせマークを示す断面図である。 本発明の固体撮像装置における位置合わせマークを示す断面図である。 本発明の固体撮像装置における位置合わせマークを示す断面図である。 本発明の固体撮像装置における位置合わせマークを示す断面図である。 本発明の固体撮像装置におけるレンズ部と撮像部との位置合わせ例を示す断面図である。 本発明の固体撮像装置におけるレンズ部と撮像部との位置合わせ例を示す断面図である。 特許文献1に記載のプリント基板への部品の実装方法を示す平面図である。 特許文献2に記載された固体撮像装置の断面図である。 特許文献3に記載された固体撮像装置の断面図である。
1 レンズ部
2 撮像部
11 レンズ
12 レンズホルダ
21 配線基板
22 固体撮像素子
22a 受光部
24 透光性蓋部
25 接着部
26 位置合わせマーク
27 封止樹脂
100 固体撮像装置
101 固体撮像装置

Claims (3)

  1. 被写体像を形成するレンズ部、および、レンズ部によって形成された被写体像を電気信号に変換する撮像部を備え、
    撮像部が、配線基板と、配線基板上に実装された固体撮像素子と、固体撮像素子の受光部に対向するとともに固体撮像素子との間に間隔を有して配置された透光性部材とを備えた固体撮像装置において、
    上記固体撮像素子および透光性蓋部は、レンズ部と離間して設けられており、
    上記透光性蓋部に、撮像部に対するレンズ部の位置合わせ基準となる位置合わせマークが形成されており、
    位置合わせマークが、固体撮像素子の受光部の中心部を示しており、外光下で透明である一方、ブラックライト照射下で発光する発光膜であることを特徴とする固体撮像装置。
  2. 上記撮像部が、光路を遮断しないように、樹脂により封止されていることを特徴とする請求項に記載の固体撮像装置。
  3. 請求項1または2に記載の固体撮像装置を備えた電子機器。
JP2008225081A 2008-09-02 2008-09-02 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器 Expired - Fee Related JP4694602B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008225081A JP4694602B2 (ja) 2008-09-02 2008-09-02 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器
US12/585,039 US8194182B2 (en) 2008-09-02 2009-09-01 Solid-state image pickup apparatus with positioning mark indicating central part of light-receiving section of solid-state image sensing device and electronic device comprising the same
CN200910170650XA CN101668117B (zh) 2008-09-02 2009-09-01 固体摄像装置以及具备该固体摄像装置的电子设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008225081A JP4694602B2 (ja) 2008-09-02 2008-09-02 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010062750A JP2010062750A (ja) 2010-03-18
JP4694602B2 true JP4694602B2 (ja) 2011-06-08

Family

ID=41724829

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008225081A Expired - Fee Related JP4694602B2 (ja) 2008-09-02 2008-09-02 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8194182B2 (ja)
JP (1) JP4694602B2 (ja)
CN (1) CN101668117B (ja)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9609711B2 (en) 2014-09-28 2017-03-28 Jiaxing Super Lighting Electric Appliance Co., Ltd. LED tube lamp
US8975599B2 (en) * 2007-05-03 2015-03-10 Asml Netherlands B.V. Image sensor, lithographic apparatus comprising an image sensor and use of an image sensor in a lithographic apparatus
US11131431B2 (en) 2014-09-28 2021-09-28 Jiaxing Super Lighting Electric Appliance Co., Ltd LED tube lamp
JP5487842B2 (ja) * 2009-06-23 2014-05-14 ソニー株式会社 固体撮像装置
JP5562659B2 (ja) * 2010-01-21 2014-07-30 オリンパス株式会社 実装装置および実装方法
CN102565990A (zh) * 2010-12-29 2012-07-11 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镜头模组
US8891007B2 (en) * 2011-03-07 2014-11-18 Digitaloptics Corporation Camera module with protective air ventilation channel
JP6270339B2 (ja) * 2013-05-22 2018-01-31 オリンパス株式会社 撮像装置、撮像装置の製造方法、及び内視鏡システム
US9258467B2 (en) * 2013-11-19 2016-02-09 Stmicroelectronics Pte Ltd. Camera module
US10560989B2 (en) 2014-09-28 2020-02-11 Jiaxing Super Lighting Electric Appliance Co., Ltd LED tube lamp
US10514134B2 (en) 2014-12-05 2019-12-24 Jiaxing Super Lighting Electric Appliance Co., Ltd LED tube lamp
US11028973B2 (en) 2015-03-10 2021-06-08 Jiaxing Super Lighting Electric Appliance Co., Ltd. Led tube lamp
US9897265B2 (en) 2015-03-10 2018-02-20 Jiaxing Super Lighting Electric Appliance Co., Ltd. LED tube lamp having LED light strip
US11519565B2 (en) 2015-03-10 2022-12-06 Jiaxing Super Lighting Electric Appliance Co., Ltd LED lamp and its power source module
US11035526B2 (en) 2015-12-09 2021-06-15 Jiaxing Super Lighting Electric Appliance Co., Ltd. LED tube lamp
US10542201B2 (en) 2016-06-29 2020-01-21 Microsoft Technology Licensing, Llc Split-camera autoalignment
US10488186B2 (en) * 2016-06-29 2019-11-26 Microsoft Technology Licensing, Llc Alignment detection for split camera
JP6789514B2 (ja) * 2016-08-05 2020-11-25 サンテック株式会社 検出装置
JP6586656B2 (ja) * 2016-08-05 2019-10-09 サンテック株式会社 検出装置
JP6780845B6 (ja) * 2016-08-05 2020-12-09 サンテック株式会社 検出装置
US20180315894A1 (en) * 2017-04-26 2018-11-01 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor device package and a method of manufacturing the same
CN107819903B (zh) * 2017-10-25 2019-08-20 Oppo广东移动通信有限公司 相机组件及移动终端
CN112911824A (zh) * 2019-12-04 2021-06-04 菲尼萨公司 用于光纤印刷电路板组件的表面安装技术

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003229549A (ja) * 2002-02-01 2003-08-15 Sony Corp 固体撮像装置及び固体撮像装置を基板上に実装する実装方法
JP2004260250A (ja) * 2003-02-24 2004-09-16 Nikon Corp 撮像素子
JP2005286888A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Fuji Photo Film Co Ltd 固体撮像装置
JP2006237051A (ja) * 2005-02-22 2006-09-07 Aoi Electronics Co Ltd 半導体装置の製造方法
JP2008153938A (ja) * 2006-12-18 2008-07-03 Fujifilm Corp カメラモジュール及びその製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6119200A (ja) 1984-07-06 1986-01-28 日立電子株式会社 位置認識方式
KR20040004472A (ko) * 1995-05-31 2004-01-13 소니 가부시끼 가이샤 촬상장치 및 그 제조방법, 촬상어댑터장치, 신호처리장치및 신호처리방법, 및 정보처리장치 및 정보처리방법
JP3638149B2 (ja) 1995-05-31 2005-04-13 ソニー株式会社 撮像装置
JP2003163342A (ja) * 2001-11-29 2003-06-06 Olympus Optical Co Ltd 固体撮像装置及びその製造方法
JP4233535B2 (ja) * 2005-03-29 2009-03-04 シャープ株式会社 光学装置用モジュール、光路画定器及び光学装置用モジュールの製造方法
JP4762627B2 (ja) * 2005-07-25 2011-08-31 オリンパス株式会社 撮像装置および撮像装置の製造方法
CN101359080B (zh) * 2007-08-01 2011-02-02 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 相机模组

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003229549A (ja) * 2002-02-01 2003-08-15 Sony Corp 固体撮像装置及び固体撮像装置を基板上に実装する実装方法
JP2004260250A (ja) * 2003-02-24 2004-09-16 Nikon Corp 撮像素子
JP2005286888A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Fuji Photo Film Co Ltd 固体撮像装置
JP2006237051A (ja) * 2005-02-22 2006-09-07 Aoi Electronics Co Ltd 半導体装置の製造方法
JP2008153938A (ja) * 2006-12-18 2008-07-03 Fujifilm Corp カメラモジュール及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101668117B (zh) 2011-10-19
US20100053394A1 (en) 2010-03-04
CN101668117A (zh) 2010-03-10
JP2010062750A (ja) 2010-03-18
US8194182B2 (en) 2012-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4694602B2 (ja) 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器
JP4310348B2 (ja) 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器
JP4204368B2 (ja) 光学装置用モジュール及び光学装置用モジュールの製造方法
US7294828B2 (en) Distortion and shock resistant optical device module for image capture
JP4724145B2 (ja) カメラモジュール
JP4324623B2 (ja) 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器
TWI305959B (en) Optical device module, and method of fabricating the optical device module
JP5676171B2 (ja) 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器
KR100809682B1 (ko) 투명 커버가 부착되어 있는 광학 장치의 제조방법 및 이를이용한 광학 장치 모듈의 제조방법
JP2006148710A (ja) 撮像モジュール及び撮像モジュールの製造方法
JP2006279533A (ja) 光学装置用モジュール、光路画定器及び光学装置用モジュールの製造方法
JP2006278726A (ja) 半導体装置モジュール及び半導体装置モジュールの製造方法
JP2008148222A (ja) 固体撮像装置とその製造方法
JP2009130220A (ja) 固体撮像装置およびその製造方法
JP4248586B2 (ja) 撮像装置及びその製造方法、並びに該撮像装置を搭載した携帯情報端末及び撮像機器
JP2008053887A (ja) カメラモジュール
JP4340697B2 (ja) 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器
JPWO2003015400A1 (ja) カメラモジュール
JP2009123788A (ja) 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、及びその固体撮像装置を備えた撮影装置
JP2010034668A (ja) 固体撮像装置およびそれを備えた電子機器
JP4017908B2 (ja) カメラ
JP2008289096A (ja) 固体撮像モジュール、撮像装置、撮像機器、および固体撮像モジュールの製造方法
JP4696192B2 (ja) 固体撮像素子ユニット及びその製造方法並びに撮像装置
JP2009188828A (ja) 固体撮像装置とその製造方法
TWI700787B (zh) 感光晶片封裝模組及其形成方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100723

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100831

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101026

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110201

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110223

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees