KR20080061774A - 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20080061774A
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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 상부 유리기판을, 지지하는 유리기판 홀더와; 정렬 마크가 형성되어 있는 마스크를, 지지하는 마스크 홀더와; 상기 정렬 마크를 촬영할 수 있도록, 상기 유리기판 홀더에 부착된 카메라로 구성된다.
따라서, 본 발명은 카메라가 부착되어 있는 유리기판 홀더는 고정시키고, 마스크 홀더를 이동 및 회전시켜 정렬할 수 있기 때문에, 카메라를 움직임에 따른 오류의 발생을 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 CCD(Charge Coupled Device) 카메라의 픽셀들을 기준 마크로 설정하고, 마스크의 정렬 마크와 기준 마크를 일치시켜 마스크를 유리 기판 상부에 정렬시킴으로써, 마스크의 정렬 마크가 변경되어도, 손쉽게 기준 마크를 변경할 수 있는 효과가 있다.
정렬, 마스크, 마크, 홀더, 카메라

Description

액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치 및 방법 { Apparatus and method of aligning mask of liquid crystal display }
도 1a와 1b는 일반적인 다면취 블랙 매트릭스 노광을 위한 마스크 정렬을 도시한 도면
도 2a 내지 2d는 본 발명을 설명하기 위하여, 액정표시장치의 칼라필터(Color filter)의 프레임을 형성하는 공정을 도시한 단면도
도 3은 도 2b의 공정에서 적용된 마스크의 개략적인 단면도
도 4는 본 발명에 따라 액정표시장치의 마스크를 정렬시키는 하나의 방법을 설명하기 위한 도면
도 5는 본 발명의 하나의 마스크 정렬 방법에 따라 마스크용 마크와 블랙 매트릭스 마크가 정렬되기 전(前)과 정렬된 후(後)의 상태를 도시한 도면
도 6은 본 발명에 따라 액정표시장치의 마스크를 정렬시키는 하나의 장치를 설명하기 위한 도면
도 7a 내지 7c는 본 발명에 적용된 마스크용 마크의 변경에 따라 블랙 매트릭스 마크가 변경되는 상태를 도시한 도면
도 8은 본 발명에 따라 액정표시장치의 블랙 매트릭스용 마스크를 정렬시키 는 바람직한 장치의 구성도
도 9는 본 발명에 따라 액정표시장치의 블랙 매트릭스용 마스크를 정렬시키는 바람직한 방법의 플로우챠트
도 10a와 10b는 본 발명에 따라 CCD 카메라의 픽셀(Pixel)을 이용하여 정렬 마크를 인식하는 방법을 설명하기 위한 개념도
도 11은 본 발명에 따라 CCD 카메라의 픽셀(Pixel)을 이용하여 정렬 마크를 인식하는 장치의 개략적인 구성도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 마스크 110 : 유리기판
120 : 마스크 증착 패턴 130,131,132 : 정렬 마크
130 : 패턴
150 : 카메라 151 : 픽셀
160 : 마스크 홀더 170 : 유리기판 홀더
180 : 상부 유리기판
본 발명은 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정렬 오류의 발생을 제거할 수 있는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근, 정보화 사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 갖는 평판 표시 장치(Flat panel display)의 필요성이 대두되었는데, 이 중 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD)는 해상도, 컬러표시, 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.
일반적으로, 액정표시장치는 한 면에 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을, 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자의 유동량을 조절함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.
한편, 액정표시장치의 제조 공정 중 마스크를 정렬하여 노광하는 공정이 다수 포함되어 있으며, 그 일례로 칼라 필터(Color Filter, CF)의 프레임(Frame)을 형성하는 블랙 매트릭스(Black Matrix, BM) 노광 공정이 있다.
도 1a와 1b는 일반적인 다면취 블랙 매트릭스 노광을 위한 마스크 정렬을 도시한 도면으로서, 다면취 블랙 매트릭스 노광이란, 한 상부 유리 기판에 다수의 패턴을 형성하는 것을 지칭한다.
노광을 수행하기 위해서는 마스크 상의 정렬마크와 기판 상의 정렬마크를 맞추어 마스크에 형성된 형상을 피 패턴 형성 물질에 빛을 쪼여, 노광하는 것이 일반적인 공정이다. 하지만, 블랙 매트릭스의 경우에는 기판에 아무런 패턴이 형성되어 있지 않기 때문에 블랙 매트릭스 노광 공정을 수행할 경우, 스테이지의 주행축에 맞추어 마스크를 정렬해야 한다.
그렇지 않을 경우, 마스크들 사이의 간격이 불균일하여 품질이 저하되는 결과를 가져온다.
도 1a는 마스크들(10a,10b,10c,10d)이 상부 유리기판(20)에 정렬되지 않은 상태를 도시한 것이고, 도 1b는 마스크들(10a,10b,10c,10d)이 상부 유리기판(20)에 정렬된 상태를 도시한 것이다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 카메라가 부착되어 있는 유리기판 홀더는 고정시키고, 마스크 홀더를 이동 및 회전시켜 정렬할 수 있기 때문에, 카메라를 움직임에 따른 오류의 발생을 제거할 수 있는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 CCD 카메라의 픽셀들을 기준 마크로 설정하고, 마스크의 정렬 마크와 기준 마크를 일치시켜 마스크를 유리 기판 상부에 정렬시킬 수 있는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는,
상부 유리기판을, 지지하는 유리기판 홀더와;
정렬 마크가 형성되어 있는 마스크를, 지지하는 마스크 홀더와;
상기 정렬 마크를 촬영할 수 있도록, 상기 유리기판 홀더에 부착된 카메라로 구성된 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 다른 양태(樣態)는,
카메라가 부착된 유리기판 홀더를 준비하는 단계와;
상부 유리기판을, 상기 유리기판 홀더에 지지시키는 단계와;
상기 유리기판 상부에, 정렬 마크가 형성되어 있는 마스크를 정렬시키는 단계와;
상기 카메라로 정렬 마크를 촬영하여 마스크가 원하는 위치에 정렬되었는지 여부를 판단하는 단계와;
상기 정렬 여부를 판단하는 단계에서, 상기 마스크가 원하는 위치에 정렬되지 않으면, 상기 마스크를 이동시켜 정렬시키는 단계로 구성된 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 방법이 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 또 다른 양태(樣態)는, 마스크의 정렬 마크의 패턴 형상과 대응되는 CCD 카메라의 픽셀들을 기준 마크로 설정하는 단계와;
상기 정렬 마크와 기준 마크를 일치시켜 마스크를 유리 기판 상부에 정렬하는 단계를 포함하여 구성된 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 방법이 제공된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 액정표시장치를 제조하기 위해 사용되는 마스크를 정렬시키는 방법 및 장치이며, 본 발명의 마스크 정렬 방법 및 장치로 예를 들어, 칼라필터의 블랙 매트릭스의 노광 공정을 수행할 수 있는 것이다.
도 2a 내지 2d는 본 발명을 설명하기 위하여, 액정표시장치의 칼라필터(Color filter)의 프레임을 형성하는 공정을 도시한 단면도로서, 먼저, 액정표시장치의 상부 유리기판(1) 상부에 블랙 매트릭스 물질막(2)을 형성한다.(도 2a)
그 후, 상기 블랙 매트릭스 물질막(2) 상부에 포토레지스트(3a)를 도포한 후, 마스크(3)를 정렬시키고, 노광한다.(도 2b) 이 단계에서 본 발명의 정렬 방법 및 정렬 장치를 사용하게 된다.
연이어, 상기 도 2b의 노광 공정을 완료하면, 상기 마스크(3)가 정렬되어 빛을 받은 부분은 현상공정을 통해서 사라지고, 빛을 받지 못한 부분이 남게 된다.
상기 현상되지 않은 포토레지스트 패턴이 남아 있는 상태에서 에칭을 실시하여 원하는 형상을 형성한다.(도 2c)
마지막으로, 상기 포토레지스트 패턴의 스트립 공정을 수행하여, 도 2d와 같은 칼라필터의 블랙매트릭스 패턴(2b)이 만들어진다.(도 2d)
도 3은 도 2b의 공정에서 적용된 마스크의 개략적인 단면도로서, 노광 마스 크(10)는 투명 기판(11) 상부에 형성된 마스크 패턴(12)으로 구성된다.
도 4는 본 발명에 따라 액정표시장치의 마스크를 정렬시키는 하나의 방법을 설명하기 위한 도면으로서, 마스크(10)는 유리기판(11)과; 상기 유리기판(11) 상부에 형성된 마스크 증착 패턴(12)으로 구성된다.
이렇게 구성된, 복수개의 마스크들을 올바르게 정렬시키기 위해서는 마스크에 마크(Mark)를 형성하고, 스테이지(미도시) 상에 형성되어 있는 기판에 형성되어 있는 블랙 매트릭스 마크와 정렬하는 공정을 수행해야 한다.
그러므로, 상기 마스크(10)에는 마크(Mark)가 형성되어 있는데, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 유리기판(11)에 코팅막(13)을 형성하고, 이 코팅막(13)에 광이 통과하는 사각형 개구(13a)를 형성함으로써, 마스크용 마크를 구현한다.
그리고, 블랙 매트릭스 마커(30) 상부에 상기 마스크용 마크의 사각형 개구(13a)보다 거의 같거나 약간 작은 크기의 사각형 패턴(31)이 형성되어 있고, 블랙 매트릭스 마커(Marker)(30)는 스테이지(미도시)에 부착되어 있다.
따라서, 마스크용 마크의 사각형 개구(13a)와 블랙 매트릭스 마크의 사각형 패턴(31)의 정렬상태를 CCD 카메라(50)로 확인하고, 양자가 정렬되어 있지 않으면 보정하여, 액정표시장치의 블랙 매트릭스를 노광을 위한 마스크를 정렬하는 것이다.
도 5는 본 발명의 하나의 마스크 정렬 방법에 따라 마스크용 마크와 블랙 매 트릭스 마크가 정렬되기 전(前)과 정렬된 후(後)의 상태를 도시한 도면으로서, CCD 카메라로 정렬 상태를 촬영하면, 마스크용 마크의 사각형 개구(13a) 내부에 블랙 매트릭스 마크의 사각형 패턴(31)이 위치된다.
이때, 마스크용 마크와 블랙 매트릭스 마크가 정렬되기 전(前)은 마스크용 마크의 사각형 개구(13a) 내부에 블랙 매트릭스 마크의 사각형 패턴(31)의 위치가 일측으로 치우치게 되어, 마스크용 마크의 사각형 개구(13a)와 블랙 매트릭스 마크의 사각형 패턴(31) 사이의 간격이 불규칙하게 된다.
정렬 공정을 수행한 후에는, 마스크용 마크의 사각형 개구(13a)와 블랙 매트릭스 마크의 사각형 패턴(31) 사이의 간격이 규칙적이고, 블랙 매트릭스 마크의 사각형 패턴(31)이 마스크용 마크의 사각형 개구(13a) 내부의 중심영역에 위치하게 된다.
도 6은 본 발명에 따라 액정표시장치의 마스크를 정렬시키는 하나의 장치를 설명하기 위한 도면으로서, 상부 유리기판(80)은 유리기판 홀더(70)에 지지되어 있고, 마스크(10)를 마스크 홀더(60)로 지지하여 상기 상부 유리기판(80) 상부에 위치시킨다.
이때, 이 장치에서는 정렬 상태를 촬영하기 위한 CCD 카메라(50)가 마스크 홀더(60)에 부착되어 있다.
그러므로, 마스크 홀더(60)를 이동시켜 마스크 정렬 공정을 수행하고 있다.
여기서, 상기 CCD 카메라(50)는 마스크용 마크의 사각형 개구(13a)와 블랙 매트릭스 마크의 사각형 패턴(31)을 촬영하고, 이 촬영된 영상을 컴퓨터는 입력받아 정렬을 위한 보정값을 발생한다.
한편, 상기 마스크 홀더(60)는 X,Y,Z의 3축을 가진 구동부가 있어서, 원하는 보정값만큼 마스크를 이동 및 회전하여 정렬한다.
도 7a 내지 7c는 본 발명에 적용된 마스크용 마크의 변경에 따라 블랙 매트릭스 마크가 변경되는 상태를 도시한 도면으로서, 마스크용 마크는 제품의 모델, 크기 및 생산 라인에 따라 수시로 변경된다.
이때, 마스크 정렬의 기준이 되는 것은 블랙매트릭스 마크이지만, 마스크용 마크의 변경에 따라 블랙매트릭스 마크도 변경해야 한다.
즉, 도 7a와 같이, 마스크용 마크가 광이 통과하는 사각형 개구(13a)를 갖는 패턴(13)일 때, 블랙매트릭스 마크는 사각형 패턴(31)으로 형성하는데, 도 7b 및 7c에 도시된 바와 같이, 마스크용 마크가 광이 통과하는 크기가 작은 사각형 개구(13b) 및 십자형 개구(13c)를 갖는 패턴으로 변경되면, 블랙매트릭스 마크도 마스크용 마크에 호환되도록 변경되어야 한다.
한편, 블랙매트릭스 마크를 제품의 모델, 크기 및 생산 라인에 따라 블랙매트릭스 마크를 변경하게 되면, 제조 시간 및 경비가 많이 소요되게 된다.
또한, 마스크 마크가 변경될 때마다, 블랙매트릭스 마크를 변경하는 것은 기계적인 세팅(Setting) 위치를 다시 설정해야 하는 어려움도 있다.
도 8은 본 발명에 따라 액정표시장치의 블랙 매트릭스용 마스크를 정렬시키 는 바람직한 장치의 구성도로서, 상부 유리기판(180)을 지지하는, 유리기판 홀더(170)와; 정렬 마크(130)가 형성되어 있는 마스크(100)를, 지지하는 마스크 홀더(160)와; 상기 정렬 마크(130)를 촬영할 수 있도록, 상기 유리기판 홀더(170)에 부착된 카메라(150)로 구성된다.
여기서, 상기 유리기판 홀더(170)는 고정되어 있고, 상기 마스크 홀더(160)는 X,Y,Z의 3축을 가진 구동부에 연결되어 이동 및 회전할 수 있는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 카메라(150)는 CCD(Charge Coupled Device) 카메라가 바람직하다.
또한, 상기 마스크(100)는 유리기판(110)과; 상기 유리기판(110) 상부에 형성된 마스크 증착 패턴(120)으로 구성된다.
상기 마스크 증착 패턴(120)은 크롬을 사용한다.
그리고, 상기 정렬 마크(130)는 상기 마스크(100)의 유리기판(110)에 형성되어 있는 패턴(130b)인 것이 바람직하다.
그러므로, 본 발명의 장치는 유리기판 홀더(170)를 고정시키고, 상기 마스크 홀더(160)를 이동 및 회전시켜 정렬하기 때문에, 오류의 발생을 줄일 수 있는 장점이 있다.
도 9는 본 발명에 따라 액정표시장치의 블랙 매트릭스용 마스크를 정렬시키는 바람직한 방법의 플로우챠트로서, 먼저, 카메라가 부착된 유리기판 홀더를 준비 한다.(S10단계)
그 후, 상부 유리기판을, 상기 유리기판 홀더에 지지시킨다.(S20단계)
여기서, 상부 유리기판 상부에는 노광시킬 물질막이 형성되어 있다.
연이어, 상기 상부 유리기판 상부에, 정렬 마크가 형성되어 있는 마스크를 정렬시킨다.(S30단계)
이어서, 상기 카메라로 정렬 마크를 촬영하고, 그 촬영된 영상으로 마스크가 원하는 위치에 정렬되었는지 여부를 판단한다.(S40단계)
이때, 상기 카메라는 CCD 카메라이고, 상기 정렬 여부를 판단하는 단계는, 미리 설정된 CCD 카메라의 픽셀들로 이루어진 기준 마크와 상기 마스크에 형성되어 있는 정렬 마크를 비교하여 마스크의 정렬 여부를 판단하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 S40단계에서, 상기 마스크가 원하는 위치에 정렬되지 않으면, 상기 마스크를 이동시켜 정렬시킨다.(S50단계)
이때, 상기 마스크는 마스크 홀더에 지지되어 있고, 상기 마스크의 정렬은,상기 유리기판 홀더를 고정시키고, 상기 마스크 홀더를 이동시켜 마스크를 정렬시키는 것이 바람직하다.
그러므로, 상기 마스크 홀더는 X,Y,Z의 3축을 가진 구동부에 연결되어 이동 및 회전할 수 있도록 구성되어 있다.
그리고, 상기 S40단계에서, 상기 마스크가 원하는 위치에 정렬되어 있으면, 종료한다.
도 10a와 10b는 본 발명에 따라 CCD 카메라의 픽셀(Pixel)을 이용하여 정렬 마크를 인식하는 방법을 설명하기 위한 개념도로서, CCD 카메라는 촬영된 이미지(Image)가 수많은 작은 픽셀들로 구성되어 있다.
그러므로, 본 발명은 CCD 카메라의 픽셀들을 이용하여 정렬 마크를 인식하는 것이다.
먼저, 도 10a와 같이, 정렬 마크(131)를 사각 링 패턴으로 형성하고, 이를 촬영하면, 상기 사각 링 패턴의 정렬 마크(131)는 CCD 카메라의 픽셀들(151)로 대응시킬 수 있게 된다.
마찬가지로, 도 10b와 같이, 정렬 마크(132)를 십자형 패턴으로 형성하고, 이를 촬영하면, 상기 십자형 패턴의 정렬 마크(132)는 CCD 카메라의 픽셀들(151)에 대응시킬 수 있다.
이때, 상기 정렬 마크(131,132)를 CCD 카메라의 픽셀들(151)에 대응시켜, 상기 정렬 마크(131,132)가 대응된 CCD 카메라의 픽셀들(151)을 벗어나는 경우, 정렬이 잘 안된 것으로 판정한다.
이와 반대로, 상기 정렬 마크(131,132)가 대응된 CCD 카메라의 픽셀들(151)과 일치하는 경우, 정렬이 잘된 것으로 판정한다.
즉, 본 발명은 마스크의 정렬 마크의 패턴 형상과 대응되는 CCD 카메라의 픽셀들을 기준 마크로 설정하고, 정렬 마크와 기준 마크를 일치시켜 마스크를 유리 기판 상부에 정렬시키는 것이다.
여기서, 상기 정렬 마크와 기준 마크를 일치시키는 것은, CCD 카메라로 정렬 마크를 촬영하여 정렬 마크와 기준 마크가 일치하는 여부를 판단하고, 정렬 마크와 기준 마크가 일치하지 않으면, 마스크를 정렬시킨 후, 상기 정렬 마크와 기준 마크를 일치시키는 것이 바람직하다.
그리고, 마스크에 형성되어 있는 정렬 마크의 패턴 형상과 대응되는 CCD 카메라의 픽셀들은 상기 정렬 마크의 패턴 형상과 동일한 패턴 형상을 갖는 것이 바람직하다.
도 11은 본 발명에 따라 CCD 카메라의 픽셀(Pixel)을 이용하여 정렬 마크를 인식하는 장치의 개략적인 구성도로서, CCD 카메라(300)에서 촬영되는 복수개의 픽셀들이 배열되어 있는 이미지의 픽셀들에, 정렬 마크 패턴을 설정하여 기준 마크를 생성하는 기준 마크 생성부(310)와; 상기 기준 마크 생성부(310)에서 생성된 기준 마크를 저장하는 저장부(340)와; 상기 CCD 카메라(300)에서 촬영된 정렬 마크의 이미지와 상기 저장부(340)에 저장된 기준 마크를 비교하는 마크 비교부(320)로 구성된다.
상기 기준 마크 생성부(310), 저장부(340)와 상기 마크 비교부(320)는 제어부(330)에 의해 제어된다.
그러므로, 이러한 장치로, 상기 기준 마크 생성부(310)에서 미리 정렬 마크 패턴으로 기준 마크를 생성하고, 마크 비교부(320)에서 기준 마크와 마스크 정렬시 촬영된 정렬 마크와 비교하여 마스크의 정렬 유무를 판단할 수 있게 됨으로, CCD 카메라를 이용하여 마스크를 정렬을 더 정밀하게 수행할 수 있는 것이다.
또 다른 방법으로는, 컴퓨터를 이용하는 것인데, CCD 카메라의 이미지를 다 운(Down)받을 수 있고, 다운받은 이미지를 편집하여 기준 마크 설정, 및 정렬 마크와 기준마크를 비교할 수 있는 응용 프로그램을 컴퓨터에 설치한 다음, 상기 응용 프로그램에서 CCD 카메라의 이미지를 복수개의 픽셀들로 나누어진 이미지로 확대하여, 작업자가 복수개의 픽셀들이 배열되어 있는 이미지의 픽셀들에, 정렬 마크 패턴을 설정하여 기준 마크를 설정하게 한다.
그 후, CCD 카메라에서 촬영된 정렬 마크와 기준마크를 비교하여 마스크의 정렬 유무를 판단할 수 있는 것이다.
전술된 바와 같이, 본 발명은 CCD 카메라의 픽셀들을 기준 마크로 설정하였기 때문에, 마스크의 정렬 마크가 변경되어도, 응용 프로그램상으로 작업자가 손쉽게 기준 마크를 변경할 수 있는 장점이 있는 것이다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 카메라가 부착되어 있는 유리기판 홀더는 고정시키고, 마스크 홀더를 이동 및 회전시켜 정렬할 수 있기 때문에, 카메라를 움직임에 따른 오류의 발생을 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 CCD 카메라의 픽셀들을 기준 마크로 설정하고, 마스크의 정렬 마크와 기준 마크를 일치시켜 마스크를 블랙 매트릭스 물질막 상부에 정렬시킴 으로써, 마스크의 정렬 마크가 변경되어도, 손쉽게 기준 마크를 변경할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (10)

  1. 상부 유리기판을, 지지하는 유리기판 홀더와;
    정렬 마크가 형성되어 있는 마스크를, 지지하는 마스크 홀더와;
    상기 정렬 마크를 촬영할 수 있도록, 상기 유리기판 홀더에 부착된 카메라로 구성된 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유리기판 홀더는 고정되어 있고,
    상기 마스크 홀더는 X,Y,Z의 3축을 가진 구동부에 연결되어 이동 및 회전할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 카메라는,
    CCD(Charge Coupled Device) 카메라인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크는,
    유리기판과;
    상기 유리기판 상부에 형성된 마스크 증착 패턴으로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 장치.
  5. 카메라가 부착된 유리기판 홀더를 준비하는 단계와;
    상부 유리기판을, 상기 유리기판 홀더에 지지시키는 단계와;
    상부에, 정렬 마크가 형성되어 있는 마스크를 정렬시키는 단계와;
    상기 카메라로 정렬 마크를 촬영하여 마스크가 원하는 위치에 정렬되었는지 여부를 판단하는 단계와;
    상기 정렬 여부를 판단하는 단계에서, 상기 마스크가 원하는 위치에 정렬되지 않으면, 상기 마스크를 이동시켜 정렬시키는 단계로 구성된 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 마스크는 마스크 홀더에 지지되어 있고,
    상기 마스크의 정렬은,
    상기 유리기판 홀더를 고정시키고, 상기 마스크 홀더를 이동시켜 마스크를 정렬시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 카메라는 CCD 카메라이고,
    상기 정렬 여부를 판단하는 단계는,
    미리 설정된 CCD 카메라의 픽셀들로 이루어진 기준 마크와 상기 마스크에 형성되어 있는 정렬 마크를 비교하여 마스크의 정렬 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 방법.
  8. 마스크의 정렬 마크의 패턴 형상과 대응되는 CCD 카메라의 픽셀들을 기준 마크로 설정하는 단계와;
    상기 정렬 마크와 기준 마크를 일치시켜 마스크를 유리 기판 상부에 정렬하는 단계를 포함하여 구성된 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 정렬 마크와 기준 마크를 일치시키는 것은,
    CCD 카메라로 정렬 마크를 촬영하여 정렬 마크와 기준 마크가 일치하는 여부를 판단하고, 정렬 마크와 기준 마크가 일치하지 않으면, 마스크를 정렬시킨 후, 상기 정렬 마크와 기준 마크를 일치시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 마스크에 형성되어 있는 정렬 마크의 패턴 형상과 대응되는 CCD 카메라의 픽셀들은,
    상기 정렬 마크의 패턴 형상과 동일한 패턴 형상인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 마스크를 정렬하는 방법.
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