KR102609612B1 - 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 챔버와, 상기 챔버 외부에 배치되며, 증착물질이 수납되어 상기 증착물질을 기체로 변환시키는 복수개의 소스부와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 복수개의 상기 소스부와 연결되어 복수개의 상기 소스부 중 하나로부터 공급되는 증착물질을 상기 챔버 내부로 분사하는 노즐부와, 상기 각 소스부와 상기 노즐부 사이에 배치되며, 상기 각 소스부에서 상기 노즐부로 공급되는 증착물질을 단속하고, 복수개의 상기 소스부와 상기 노즐부를 선택적으로 연결하는 단속부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.

Description

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Apparatus and method for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시장치를 포함한다. 최근, 표시장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
상기와 같은 표시 장치를 제조하기 위하여 다양한 층을 형성할 수 있다. 또한, 이러한 층을 형성하는 표시 장치의 제조장치는 한번 가동 시 복수개의 표시 장치를 제조하는 것이 일반적이다. 이때, 표시 장치의 제조장치는 내부 구성품 등을 교체하기 위하여 일정 시간 경과 후 정비한 후 다시 가동할 수 있다.
표시 장치의 제조장치의 가동을 통하여 표시 장치를 제조하는 경우 각 구성품을 교체하기 위하여 표시 장치의 제조장치의 가동을 중지하는 경우 제조 효율이 감소할 수 있다. 본 발명의 실시예들은 구성품의 교체 시 표시 장치의 제조장치의 가동을 중지하지 않거나 구성품의 재활용이 가능한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 챔버와, 상기 챔버 외부에 배치되며, 증착물질이 수납되어 상기 증착물질을 기체로 변환시키는 복수개의 소스부와, 상기 챔버 내부에 배치되며, 복수개의 상기 소스부와 연결되어 복수개의 상기 소스부 중 하나로부터 공급되는 증착물질을 상기 챔버 내부로 분사하는 노즐부와, 상기 각 소스부와 상기 노즐부 사이에 배치되며, 상기 각 소스부에서 상기 노즐부로 공급되는 증착물질을 단속하고, 복수개의 상기 소스부와 상기 노즐부를 선택적으로 연결하는 단속부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 소스부 내부에 배치되어 상기 각 소스부 내부의 내부온도를 측정하는 센서부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 단속부는 복수개의 상기 소스부 중 상기 내부온도가 기 설정된 온도를 초과하는 상기 소스부와 상기 노즐부의 연결을 차단하고, 복수개의 상기 소스부 중 상기 내부온도가 기 설정된 온도 이하인 상기 소스부를 상기 노즐부에 연결할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 복수개의 상기 소스부는 교체 가능할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 소스부 중 적어도 일부가 내부에 배치되는 소스챔버부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 노즐부는, 복수개의 상기 소스부 중 일부와 연결되는 제1 노즐부와, 상기 제1 노즐부와 분리되며, 복수개의 상기 소스부 중 다른 일부와 연결되는 제2 노즐부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐부의 제1 노즐과 상기 제2 노즐부의 제2 노즐은 상기 제1 노즐부의 중심과 상기 제2 노즐부의 중심 사이에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 일렬로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 하나는 상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 다른 하나의 내부에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐 중 적어도 하나는 경사지게 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐부에서 분사되는 증착물질과 상기 제2 노즐부에서 분사되는 증착물질은 서로 상이한 물질일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 복수개의 상기 노즐부 중 적어도 하나에 배치되거나 복수개의 상기 노즐부 중 적어도 하나로부터 이격되도록 배치되어 상기 노즐부에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한하는 각도제한유닛을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한유닛 중 적어도 일부에 배치되어 상기 각도제한유닛 중 적어도 일부를 가열시키는 가열부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한유닛은, 각도제한벨트와, 상기 각도제한벨트를 회전시키는 벨트구동부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한유닛은, 상기 각도제한벨트의 일면을 냉각시키는 벨트냉각부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한유닛은, 상기 각도제한벨트의 일면을 가열시키는 벨트가열부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한벨트로부터 이격되도록 배치되며, 상기 벨트가열부의 가열로 상기 각도제한벨트로부터 이탈하는 증착물질의 적어도 일부분을 포집하는 증착물질포집부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 노즐부에서 분사되는 증착물질의 농도를 측정하는 센서부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 센서부와 연결되어 상기 센서부를 회전시키는 회전구동부와, 상기 센서부에 열을 가하여 상기 센서부의 증착물질을 제거하는 센서가열부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 챔버와, 제1 증착물질이 수납되어 상기 챔버 내부로 상기 제1 증착물질을 공급하는 제1 노즐을 포함하는 제1 소스부와, 제2 증착물질이 수납되어 상기 챔버 내부로 상기 제2 증착물질을 공급하는 제2 노즐을 포함하는 제2 소스부를 포함하고, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 상기 제1 소스부의 중심과 상기 제2 소스부의 중심 사이에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 중 적어도 하나는 경사질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 일렬로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 하나는 상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 다른 하나의 내부에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 소스부 및 상기 제2 소스부 중 적어도 하나에 배치되거나 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐 중 적어도 하나로부터 이격되도록 배치되어 상기 제1 노즐에서 분사되는 상기 제1 증착물질 및 상기 제2 노즐에서 분사되는 상기 제2 증착물질 중 적어도 하나의 분사각도를 제한하는 각도제한유닛을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한유닛에 흡착된 상기 제1 증착물질 및 상기 제2 증착물질 중 적어도 하나를 제거하는 가열부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 노즐부에서 분사되는 증착물질의 농도를 측정하는 센서부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 센서부와 연결되어 상기 센서부를 회전시키는 회전구동부와, 상기 센서부에 열을 가하여 상기 센서부의 증착물질을 제거하는 센서가열부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 챔버 내부로 증착물질을 공급하는 소스부와, 상기 소스부에 배치되거나 상기 소스부로부터 이격되도록 배치되어 회전하며, 상기 소스부에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한하는 각도제한벨트와, 상기 각도제한벨트를 회전시키는 벨트구동부와, 상기 각도제한벨트의 일면을 냉각시키는 벨트냉각부와, 상기 각도제한벨트의 일면을 가열시키는 벨트가열부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한벨트로부터 이격되도록 배치되며, 상기 벨트가열부의 가열로 상기 각도제한벨트로부터 이탈하는 증착물질의 적어도 일부분을 포집하는 증착물질포집부를 더 포함할 수 있다.
본 실시에에 있어서, 상기 소스부에서 분사되는 증착물질의 농도를 측정하는 센서부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 센서부와 연결되어 상기 센서부를 회전시키는 회전구동부와, 상기 센서부에 열을 가하여 상기 센서부의 증착물질을 제거하는 센서가열부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 챔버 내부로 증착물질을 공급하는 소스부와, 상기 소스부에서 분사되는 증착물질의 농도를 측정하는 센서부와, 상기 센서부와 연결되어 상기 센서부를 회전시키는 회전구동부와, 상기 센서부에 열을 가하여 상기 센서부의 증착물질을 제거하는 센서가열부를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 패널 및 마스크 조립체를 챔버 내부에 배치하는 단계와, 복수개의 소스부 중 일부에서 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하여 상기 디스플레이 기판에 상기 증착물질을 증착시키는 단계와, 상기 복수개의 소스부 중 일부의 내부 온도를 측정하는 단계와, 측정된 상기 소스부의 내부 온도와 기 설정된 온도를 비교하여 상기 복수개의 소스부 중 일부에서 상기 챔버 내부로 공급되는 증착물질을 차단하고, 상기 복수개의 소스부 중 다른 일부에서 상기 챔버 내부로 증착물질을 공급하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 소스부는 상기 챔버와 구분되는 소스챔버부에 수납될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 소스부는 상기 챔버 외부에 배치되며, 상기 챔버 내부에 상기 복수개의 소스부와 연결되는 노즐부가 배치되어 상기 증착물질을 상기 챔버 내부로 분사할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 소스부 중 일부와 상기 복수개의 소스부 중 다른 일부는 서로 다른 종류의 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 소스부는 상기 증착물질을 안내하는 노즐부를 포함하고, 서로 인접하는 상기 소스부의 노즐부는 서로 인접하는 상기 소스부의 중심 사이에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 소스부는 상기 증착물질을 안내하는 노즐부를 포함하고, 서로 인접하는 상기 소스부의 노즐부는 일렬로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 소스부는 상기 증착물질을 안내하는 노즐부를 포함하고, 서로 인접하는 상기 소스부의 노즐부 중 하나는 서로 인접하는 상기 소스부의 노즐부 중 다른 하나 내부에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 소스부에서 배출된 증착물질의 각도는 상기 복수개의 소스부 중 적어도 하나에 배치되거나 상기 복수개의 소스부 중 적어도 하나로부터 이격된 각도제한유닛으로 제한될 수 있다.
본 실시에에 있어서, 상기 각도제한유닛에 열을 가하여 상기 각도제한유닛에 흡착된 상기 증착물질을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한유닛의 열을 흡수하여 상기 각도제한유닛에 상기 증착물질을 흡착시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 소스부 중 적어도 하나에서 방출되는 상기 증착물질의 증발율을 제1 센서부로 측정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 일정 시간 경과 후 상기 제1 센서부를 상기 제1 센서부와 상이한 제2 센서부로 교체하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 센서부를 가열하여 상기 제1 센서부에 흡착된 상기 증착물질을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 패널 및 마스크 조립체를 챔버 내부에 배치하는 단계와, 제1 소스부에서 제1 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하고, 제2 소스부에서 제2 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하여 상기 디스플레이 기판에 상기 제1 증착물질 및 상기 제2 증착물질을 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 제1 소스부는 상기 제1 증착물질을 안내하는 제1 노즐을 포함하고, 상기 제2 소스부는 상기 제2 증착물질을 안내하는 제2 노즐을 포함하며, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 상기 제1 소스부의 중심과 상기 제2 소스부의 중심 사시에 배치되는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 일렬로 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 하나는 상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 다른 하나의 내부에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐 중 적어도 하나에 배치되거나 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐 중 적어도 하나로부터 이격된 각도제한유닛으로 상기 제1 증착물질 및 상기 제2 증착물질의 분사각도를 제한하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한유닛에 열을 가하여 상기 각도제한유닛에 흡착된 상기 증착물질을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각도제한유닛의 열을 흡수하여 상기 각도제한유닛에 상기 증착물질을 흡착시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 소스부 중 적어도 하나에서 방출되는 상기 증착물질의 증발율을 제1 센서부로 측정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 일정 시간 경과 후 상기 제1 센서부를 상기 제1 센서부와 상이한 제2 센서부로 교체하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 센서부를 가열하여 상기 제1 센서부에 흡착된 상기 증착물질을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 패널 및 마스크 조립체를 챔버 내부에 배치하는 단계와, 소스부에서 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하여 상기 디스플레이 기판에 상기 증착물질을 증착시키는 단계와, 상기 소스부에서 분사되는 증착물질의 증발율을 제1 센서부로 측정하는 단계와, 일정 시간 경과 후 상기 제1 센서부를 상기 제1 센서부와 상이한 제2 센서부로 교체하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 교체된 상기 제1 센서부를 가열하여 상기 제1 센서부에 흡착된 증착물질을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 표시 장치의 제조 효율을 증대시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 이미지를 구현하는 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 연속 가동이 가능함으로써 제조 시간을 증대시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시에에 따른 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다.
도 11은 도 10에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 16은 도 1 내지 도 15에 따른 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 17은 도 16의 B-B선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다. 도 3은 도 2에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 제1 지지부(121), 제2 지지부(122), 마스크 조립체(123), 소스부(130), 노즐부(140), 단속부(150), 각도제한유닛(161), 가열부(162), 센서부(171), 회전구동부(172), 센서가열부(173), 제1 압력조절부(180), 소스챔버부(191), 제2 압력조절부(192), 제3 압력조절부(193) 및 비젼부(194)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있다. 챔버(110)는 일부분이 개구되도록 형성될 수 있으며, 개구된 챔버(110) 부분에는 게이트벨브(111) 등이 배치되어 챔버(110)의 개구된 부분을 개방하거나 차폐시킬 수 있다.
제1 지지부(121)는 챔버(110) 내부에 배치되어 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있다. 제1 지지부(121)는 다양한 형태를 포함할 수 있다. 일 실시예로써 제1 지지부(121)는 클램프를 포함하여 디스플레이 기판(D)을 파지할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 지지부(121)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 배치되어 디스플레이 기판(D)을 지지하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1 지지부(121)는 챔버(110)의 상부에 배치되어 디스플레이 기판(D)을 고정시키는 정전척, 진공척 또는 점착척을 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1 지지부(121)는 디스플레이 기판(D)이 안착되거나 고정되며, 디스플레이 기판(D)을 일 방향으로 선형 운동시키는 셔틀을 포함하는 것도 가능하다. 상기와 같은 제1 지지부(121)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 디스플레이 기판(D)을 고정시키거나 디스플레이 기판(D)을 선형 운동시키는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다. 다마, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 지지부(121)는 챔버(110)에 고정되도록 배치되어 디스플레이 기판(D)이 안착되는 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2 지지부(122)는 마스크 조립체(123)를 지지할 수 있다. 이때, 제2 지지부(122)는 제1 지지부(121)와 동일 또는 유사하게 형성되어 마스크 조립체(123)를 고정시킬 수 있다. 또한, 제2 지지부(122)는 마스크 조립체(123)를 일정 거리 범위에서 승하강시키거나 일정 각도 범위에서 회전시킬 수 있다. 뿐만 아니라 제2 지지부(122)는 마스크 조립체(123)를 다양한 방향으로 일정 거리 범위에서 선형 운동시키는 것도 가능하다.
마스크 조립체(123)는 마스크 프레임(123a) 및 마스크(123b)를 포함할 수 있다. 마스크 프레임(123a)은 격자 형태로 형성될 수 있으며, 중앙에 개구 영역이 형성될 수 있다. 이러한 경우 개구 영역은 하나로 형성되거나 복수 개로 구분될 수 있다. 이때, 개구 영역이 복수 개로 구분되는 경우 개구 영역을 복수개 구분하도록 개구 영역에는 적어도 하나 이상의 지지프레임(123c)이 배치될 수 있다. 이때, 지지프레임(123c)은 마스크 프레임(123a)의 길이 방향 또는 폭 방향으로 배열될 수 있다. 마스크(123b)는 마스크 프레임(123a)의 상부에 배치될 수 있다. 이때, 마스크(123b)는 마스크 프레임(123a)에 하나가 배치되거나 복수개 배치될 수 있다. 복수개의 마스크(123b)가 마스크 프레임(123a)에 배치되는 경우 복수개의 마스크(123b)는 일 방향으로 배열됨으로써 마스크 프레임(123a)의 개구 영역을 차폐할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크(123b)가 하나 구비되어 마스크 프레임(123a)에 배치되며, 마스크 프레임(123a)의 개구 영역을 차폐하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 상기와 같은 마스크(123b)는 적어도 하나 이상의 개구를 포함할 수 있다. 이때, 개구가 복수개 구비되는 경우 복수개의 개구는 마스크(123b)의 일 영역에 패턴을 형성하도록 배치될 수 있다. 또한, 개구가 복수개 구비되는 경우 복수개의 개구는 마스크(123b)의 복수개의 영역에 서로 구분되도록 배치될 수 있으며, 각 영역에서 패턴을 형성하도록 배치되는 것도 가능하다.
소스부(130)는 챔버(110)의 외부에 배치될 수 있다. 이때, 소스부(130)는 복수개 구비될 수 있다. 예를 들면, 소스부(130)는 제1 증착물질이 수납되는 제1 소스부(131)와 제2 증착물질이 수납되는 제2 소스부(132)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1 증착물질과 제2 증착물질은 서로 상이한 물질일 수 있다. 예를 들면, 제1 증착물질 또는 제2 증착물질 중 하나는 호스트를 포함할 수 있으며, 제1 증착물질 또는 제2 증착물질 중 다른 하나는 도펀트를 포함할 수 있다. 상기와 같은 제1 소스부(131)와 제2 소스부(132)는 서로 유사하게 형성될 수 있으므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 소스부(131)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 소스부(131) 내부에는 제1 증착물질이 수납될 수 있다. 이때, 제1 소스부(131)는 제1 증착물질을 가열하도록 히터를 포함할 수 있다. 상기와 같은 제1 소스부(131)는 복수개 구비될 수 있다. 복수개의 제1 소스부(131)는 제1 공급배관(195a)에 연결되어 교체 가능할 수 있다. 또한, 복수개의 제1 소스부(131)는 각 제1 소스부(131)의 상태에 따라 작동이 정지될 수 있다. 이때, 각 제1 소스부(131)에는 제1 온도센서(196a)가 배치될 수 있다. 제1 온도센서(196a)는 각 제1 소스부(131) 내부의 온도를 측정할 수 있다. 제1 온도센서(196a)에서 측정된 온도와 기 설정된 온도를 비교하여 각 제1 소스부(131)의 교체 시기를 판단할 수 있다. 예를 들면, 제1 온도센서(196a)에서 측정된 온도가 기 설정된 온도를 초과한 것으로 판단되면, 제1 소스부(131)는 교체가 필요한 것으로 판단할 수 있다.
제2 소스부(132)도 제1 소스부(131)와 유사하게 적어도 하나 이상 구비될 수 있으며, 적어도 하나 이상의 제2 소스부(132)는 제1 공급배관(195a)과 구분되는 제2 공급배관(195b)과 연결될 수 있다. 또한, 각 제2 소스부(132)에는 별도의 제2 온도센서(196b)가 개별적으로 배치되어 각 제2 소스부(132) 내부의 온도를 측정할 수 있다.
노즐부(140)는 제1 소스부(131)와 연결되는 제1 노즐부(141)와 제2 소스부(132)와 연결되는 제2 노즐부(142)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 노즐부(141)과 제2 노즐부(142) 사이에는 단열부재가 배치될 수 있다. 제1 노즐부(141)는 제1 증착물질을 챔버(110) 내부로 분사할 수 있으며, 제2 노즐부(142)는 제2 증착물질을 챔버(110) 내부로 분사할 수 있다. 이러한 경우 제1 노즐부(141)와 제2 노즐부(142)는 서로 분리되도록 배치될 수 있으며, 제1 증착물질과 제2 증착물질은 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142)의 외부로 배출된 후 서로 혼합될 수 있다. 이때, 제1 노즐부(141)는 제1 공급배관(195a)을 통하여 제1 소스부(131)와 연결되며, 제2 노즐부(142)는 제2 공급배관(195b)을 통하여 제2 소스부(132)와 연결될 수 있다. 상기와 같은 제1 노즐부(141)와 제2 노즐부(142)는 디스플레이 기판(D)의 일 방향으로 길게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 노즐부(141)의 상면과 제2 노즐부(142)의 상면은 장변과 단변을 갖는 직사각형일 수 있다. 이때, 제1 노즐부(141)의 길이 방향과 제2 노즐부(142)의 길이 방향은 제1 노즐부(141)의 장변 및 제2 노즐부(142)의 장변과 동일한 방향일 수 있다.
상기와 같은 제1 노즐부(141)와 제2 노즐부(142)는 각각 제1 증착물질 및 제2 증착물질을 챔버(110) 내부로 분사하는 제1 노즐(731a) 및 제2 노즐(732a)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 노즐(731a)과 제2 노즐(732a)은 제1 노즐부(141)의 제1 중심(C1) 및 제2 노즐부(142)의 제2 중심(C2) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 제1 노즐(731a)은 제1 노즐부(141)의 길이 방향(예를 들면, 도 1의 Y방향)과 평행하면서 제1 중심(C1)을 지나는 직선을 중심으로 편심되도록 배치될 수 있다. 제2 노즐(732a)은 제2 노즐부(142)의 길이 방향(예를 들면, 도 1의 Y방향)과 평행하면서 제2 중심(C2)을 지나는 직선을 중심으로 편심되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 노즐(731a)과 제2 노즐(732a)은 서로 근접하게 됨으로써 제1 노즐(731a)에서 분사되는 제1 증착물질과 제2 노즐(732a)에서 분사되는 제2 노즐이 서로 중첩되는 영역이 증가할 수 있다.
뿐만 아니라 제1 노즐(731a)에서 분사되는 제1 증착물질은 제1 노즐(731a)의 중심을 기준으로 정규분포(Normal distribution)을 가질 수 있다. 또한, 제2 노즐(732a)에서 분사되는 제2 증착물질은 제2 노즐(732a)의 중심을 기준으로 정규분포를 가질 수 있다. 이러한 경우 제1 노즐(731a)에서 분시되는 제1 증착물질이 최대인 부분과 제2 노즐(732a)에서 분사되는 제2 증착물질이 최대인 부분 사이의 간격이 멀어짐으로써 제1 노즐(731a)과 제2 노즐(732a) 사이에서의 제1 증착물질의 양과 제2 증착물질의 양이 다른 부분보다 작아질 수 있다. 그러나 상기와 같이 제1 노즐(731a)과 제2 노즐(732a)을 배치함으로써 제1 증착물질이 최대인 부분과 제2 증착물질이 최대인 부분을 제1 노즐(731a)과 제2 노즐(732a) 사이에 배치할 수 있다. 이러한 경우 증착 수행 시 증착물질의 비율을 일정하게 유지하는 것이 가능하다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 제1 증착물질과 제2 증착물질이 증착되는 영역이 거의 유사해짐으로써 제1 증착물질과 제2 증착물질의 혼합비가 균일한 영역을 만드는 것이 가능하다.
단속부(150)는 제1 공급배관(195a)과 제2 공급배관(195b) 중 적어도 하나에 배치될 수 있다. 구체적으로 단속부(150)는 제1 공급배관(195a)에 배치되는 제1 단속부(151)와 제2 공급배관(195b)에 배치되는 제2 단속부(152)를 포함할 수 있다.
제1 단속부(151)는 제1 공급배관(195a)에서 제1 노즐부(141)로 공급되는 제1 증착물질을 차단할 수 있다. 예를 들면, 제1 단속부(151)는 복수개 구비될 수 있다. 복수개의 제1 단속부(151)는 각 제1 소스부(131)와 연결되는 제1 공급배관(195a)에 배치되어 각 제1 소스부(131)를 선택적으로 제1 노즐부(141)에 연결하는 적어도 하나 이상의 제1 서브단속부(151a)를 포함할 수 있다. 또한, 복수개의 제1 단속부(151)는 제1 노즐부(141)에 연결되는 제1 공급배관(195a) 부분에 배치되어 복수개의 제1 소스부(131)와 제1 노즐부(141) 사이를 선택적으로 개방하거나 차폐하는 제1 메인단속부(151b)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1 서브단속부(151a)와 제1 메인단속부(151b)는 제1 공급배관(195a)을 선택적으로 개방하거나 차폐할 뿐만 아니라 제1 공급배관(195a) 내부를 통과하는 제1 증착물질의 양을 제어하는 것도 가능하다.
제2 단속부(152)는 제1 단속부(151)와 유사하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제2 단속부(152)는 각 제2 소스부(132)와 연결되는 제2 연결배관(192a)에 배치되는 제2 서브단속부(152a)와 제2 노즐부(142)와 연결되는 제2 연결배관(192a)에 배치되는 제2 메인단속부(152b)를 포함할 수 있다.
각도제한유닛(161)은 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142) 중 적어도 하나에 배치되어 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142) 중 적어도 하나에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 조절할 수 있다. 이때, 증착물질의 분사각도는 증착물질이 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142) 중 적어도 하나의 끝단에서 퍼지는 범위를 의미할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 각도제한유닛(161)은 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142)에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
각도제한유닛(161)은 플레이트 형태로 형성되어 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142)에 배치될 수 있다. 이때, 각도제한유닛(161)은 제1 노즐부(141)의 측면에 배치되는 제1 각도제한판(161a), 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142) 사이에 배치되는 제2 각도제한판(161b) 및 제2 노즐부(142)의 측면에 배치되는 제3 각도제한판(161c)을 포함할 수 있다.
가열부(162)는 각도제한유닛(161)에 배치되어 각도제한유닛(161)에 열을 가할 수 있다. 이때, 가열부(162)는 제1 각도제한판(161a) 내지 제3 각도제한판(161c) 중 적어도 하나에 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 가열부(162)가 제1 각도제한판(161a)과 제3 각도제한판(161c)에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
가열부(162)는 제1 각도제한판(161a)에 부착되는 제1 가열부(162a) 및 제3 각도제한판(161c)에 부착되는 제2 가열부(162b)를 포함할 수 있다. 제1 가열부(162a)와 제2 가열부(162b)는 히터를 포함할 수 있다. 이때, 제1 가열부(162a)와 제2 가열부(162b)는 각각 제1 각도제한판(161a)과 제3 각도제한판(161c)에 열을 가함으로써 제1 각도제한판(161a)과 제3 각도제한판(161c)에 흡착된 증착물질을 제거할 수 있다.
센서부(171)는 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142)에서 분사되는 증착물질의 증발량 또는 디스플레이 기판(D)에 증착되는 증착물질의 증착량을 측정할 수 있다. 이러한 경우 센서부(171)는 QCM 센서(Quartz Crystal Microbalance sensor)를 포함할 수 있다. 센서부(171)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 센서부(171)는 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
회전구동부(172)는 센서부(171)를 고정시킬 수 있으며, 센서부(171)의 위치를 변경할 수 있다. 이때, 회전구동부(172)는 센서부(171)와 연결되는 연결부(172a) 및 연결부(172a)와 연결되어 연결부(172a)를 회전시키는 회전력생성부(172b)를 포함할 수 있다. 연결부(172a)는 바(Bar) 형태로 형성될 수 있으며, 회전력생성부(172b)는 연결부(172a)와 연결되는 감속기 및 감속기와 연결되는 모터를 포함할 수 있다. 이때, 회전력생성부(172b)는 상기에 한정되는 것은 아니며 연결부(172a)와 연결되어 연결부(172a)를 회전시키는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다.
센서가열부(173)는 센서부(171)와 대향하도록 배치되어 센서부(171)를 가열할 수 있다. 이때, 센서가열부(173)는 열을 가하는 히터를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 센서가열부(173)는 센서부(171)와 대향하여 센서부(171)에 빛 에너지를 제공하여 센서부(171)를 가열시키는 램프를 포함할 수 있다.
제1 압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 이때, 제1 압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되는 제1 연결배관(181) 및 제1 연결배관(181)에 배치되는 제1 진공펌프(182)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1 연결배관(181)은 외부의 오염물질제거를 수행할 수 있는 별도의 장치에 연결될 수 있다.
소스챔버부(191)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 소스부(130)가 내부에 배치될 수 있다. 이때, 소스챔버부(191)는 챔버(110)와 별도로 구비될 수 있으며, 챔버(110)와 독립된 공간을 형성할 수 있다.
소스챔버부(191)는 제1 소스부(131)가 내부에 배치되는 제1 소스챔버(191a) 및 제2 소스부(132)가 내부에 배치되는 제2 소스챔버(191b)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 소스챔버(191a)와 제2 소스챔버(191b)는 서로 분리되어 별도의 공간을 형성할 수 있다. 특히 이러한 경우 복수개의 제1 소스부(131) 중 적어도 하나가 파손되는 경우에도 제1 소스부(131) 내부의 제1 증착물질이 제1 소스챔버(191a) 내부에 존재하고 제1 소스챔버(191a) 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 복수개의 제2 소스부(132) 중 적어도 하나가 파손되는 경우에도 제2 증착물질이 제2 소스챔버(191b)에 의해 외부로부터 차단될 수 있다.
제2 압력조절부(192)는 제1 소스챔버(191a)에 연결될 수 있다. 제2 압력조절부(192)는 제1 소스챔버(191a)와 연결되는 제2 연결배관(192a) 및 제2 연결배관(192a)에 배치되는 제2 진공펌프(192b)를 포함할 수 있다.
제3 압력조절부(193)는 제2 소스챔버(191b)에 연결될 수 있다. 제3 압력조절부(193)는 제2 소스챔버(191b)와 연결되는 제3 연결배관(193a) 및 제3 연결배관(193a)에 배치되는 제3 진공펌프(193b)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 압력조절부(192)와 제3 압력조절부(193)는 서로 독립적으로 작동할 수 있다. 이러한 경우 제2 압력조절부(192)와 제3 압력조절부(193)는 챔버(110) 외부에 배치된 별도의 오염물질제거장치에 연결될 수 있다.
비젼부(194)는 챔버(110)에 배치되어 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(123)의 위치를 촬영할 수 있다. 비젼부(194)에서 촬영된 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(123)의 위치에 근거하여 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(123)를 얼라인할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 챔버(110) 내부에 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(123)를 삽입할 수 있다. 이때, 제1 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 유지시킬 수 있다.
이후 비젼부(194)는 디스플레이 기판(D)의 얼라인 마크와 마스크 조립체(123)의 얼라인 마크를 촬영하고, 촬영된 결과를 근거로 디스플레이 기판(D)와 마스크 조립체(123)를 얼라인할 수 있다. 특히 제2 지지부(122)를 통하여 마스크 조립체(123)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
상기와 같은 과정이 완료되면, 소스부(130)에서 증착물질을 공급하여 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 증착시킬 수 있다. 제1 소스부(131)와 제2 소스부(132)는 순차적 또는 동시에 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142)로 제1 증착물질과 제2 증착물질을 공급하여 디스플레이 기판(D)에 증착할 수 있다. 이러한 경우 일 실시예로써 제1 증착물질과 제2 증착물질은 서로 상이한 층을 형성할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 증착물질과 제2 증착물질은 디스플레이 기판(D)에 증착되어 하나의 층을 형성하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 증착물질과 제2 증착물질은 서로 동일한 층을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 디스플레이 기판(D)에 제1 증착물질과 제2 증착물질이 증착되는 경우 제1 온도센서(196a)와 제2 온도센서(196b)는 각각 복수개의 제1 소스부(131) 중 하나의 내부 온도 및 복수개의 제2 소스부(132) 중 하나의 내부 온도를 측정할 수 있다. 측정된 제1 소스부(131)의 내부의 온도를 상기에서 설명한 것과 같이 기 설정된 제1 설정온도와 비교할 수 있다. 또한, 측정된 제2 소스부(132)의 내부의 온도를 기 설정된 제2 설정온도와 비교할 수 있다. 이때, 제1 설정온도와 제2 설정온도는 서로 동일하건 상이할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 설정온도와 제2 설정온도가 서로 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
측정된 제1 소스부(131)의 내부의 온도와 제1 설정온도를 초과하는 경우 제1 서브단속부(151a)를 통하여 측정된 제1 소스부(131)와 제1 노즐부(141)의 연결을 차단할 수 있다. 이때, 제1 서브단속부(151a)는 솔레노이드밸브를 포함할 수 있다. 또한, 제1 메인단속부(151b)와 제2 메인단속부(152b)를 통하여 제1 공급배관(195a) 및 제2 공급배관(195b)을 차단함으로써 증착 공정을 중지할 수 있다.
이후 제1 서브단속부(151a)는 복수개의 제1 소스부(131) 중 차단되지 않은 제1 소스부(131) 중 하나와 제1 노즐부(141)를 연결할 수 있다. 이때, 제1 서브단속부(151a)는 차단되지 않은 제1 소스부(131) 중 하나의 내부 온도가 기 설정된 온도범위에 들어온 제1 소스부(131)를 제1 노즐부(141)와 연결할 수 있다. 이러한 경우 제1 메인단속부(151b)와 제2 메인단속부(152b)는 개방됨으로써 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 다시 증착시킬 수 있다.
제2 온도센서(196b)에서 측정된 복수개의 제2 소스부(132) 중 하나의 내부 온도와 제2 설정온도를 비교하는 경우도 상기에서 설명한 방법과 유사하게 제어될 수 있다.
상기와 같은 경우 제1 소스부(131)와 제2 소스부(132)를 교체하기 위한 시간이 절감될 수 있어 연속적인 증착이 가능할 뿐만 아니라 작업시간을 단축할 수 있다.
한편, 상기와 같이 재료가 소진된 제1 소스부(131) 또는 제2 소스부(132)는 증착 공정의 정지 없이도 교체하는 것이 가능하다. 교체하는 방법은 상기와 같이 증착이 진행되는 동안 재료가 소진되어 작동하지 않는 제1 소스부(131) 또는 제2 소스부(132)는 제1 소스챔버(191a) 또는 제2 소스챔버(191b)를 개방하여 외부로 인출한 후 재료를 충진하여 다시 제1 소스챔버(191a) 또는 제2 소스챔버(191b)에 배치할 수 있다. 이때, 제1 서브단속부(151a) 및 제2 서브단속부(152a)는 해당하는 제1 소스챔버(191a) 및 제2 소스챔버(191b)와 연결되는 제1 공급배관(195a) 부분과 제2 공급배관(195b) 부분을 차단할 수 있다.
상기와 같은 과정이 진행되는 동안 제1 압력조절부(180)가 작동하여 각각 챔버(110) 내부의 기체를 외부로 배출함으로써 챔버(110) 내부의 압력을 거의 진공과 유사하게 유지시킬 수 있다.
제2 압력조절부(192) 및 제3 압력조절부(193)는 각각 제1 소스챔버(191a) 및 제2 소스챔버(191b) 내부의 기체를 외부로 배출할 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제1 소스챔버(191a) 중 적어도 하나가 파손되는 경우에도 제1 증착물질이 제1 소스챔버(191a) 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 복수개의 제2 소스챔버(191b) 중 적어도 하나가 파손되는 경우에도 제2 증착물질이 제2 소스챔버(191b) 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.
제2 압력조절부(192) 및 제3 압력조절부(193)는 각각 제1 소스챔버(191a) 및 제2 소스챔버(191b) 각각이 개방되는 경우 제1 소스챔버(191a)의 내부압력 및 제2 소스챔버(191b)의 내부압력을 대기압과 유사하게 유지시킬 수 있다.
한편, 상기와 같이 제1 증착물질 및 제2 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 증착시키는 경우 제1 증착물질 및 제2 증착물질은 제1 각도제한판(161a) 및 제3 각도제한판(161c)에 흡착될 수 있다. 이때, 제1 가열부(162a) 및 제2 가열부(162b)는 제1 각도제한판(161a) 및 제3 각도제한판(161c)을 가열함으로써 제1 증착물질 및 제2 증착물질을 제거할 수 있다. 특히 상기와 같은 경우 제1 각도제한판(161a) 및 제3 각도제한판(161c)에 제1 증착물질 및 제2 증착물질이 과도하게 증착되는 경우 제1 각도제한판(161a) 및 제3 각도제한판(161c)에 과도한 하중이 발생함으로써 제1 각도제한판(161a) 및 제3 각도제한판(161c)의 위치가 변경될 수 있다. 또한, 제1 각도제한판(161a) 및 제3 각도제한판(161c)에 흡착된 제1 증착물질 및 제2 증착물질이 낙하됨으로써 제1 노즐부(141) 및 제2 노즐부(142)를 오염시킬 수 있다. 그러나 상기와 같이 제1 각도제한판(161a) 및 제3 각도제한판(161c)을 제1 가열부(162a) 및 제2 가열부(162b)를 통하여 가열하는 경우 상기와 같은 문제를 해결할 수 있다. 또한, 상기와 같이 제1 가열부(162a) 및 제2 가열부(162b)에 의해 가열된 제1 증착물질 및 제2 증착물질은 디스플레이 기판(D)에 공급되어 증착됨으로써 재료 소진을 방지할 수 있다.
센서부(171)는 상기와 같이 디스플레이 기판(D)에 제1 증착물질 및 제2 증착물질이 증착되는 동안 제1 증착물질 및 제2 증착물질이 디스플레이 기판(D)에 증착되어 층을 형성하는 속도(예를 들면, 성막속도)를 측정할 수 있다. 이때, 센서부(171)에는 디스플레이 기판(D)의 일면과 동일 또는 유사하게 제1 증착물질 및 제2 증착물질이 증착될 수 있다.
상기와 같은 경우 센서부(171)는 일정한 시간이 경과하는 경우 제1 증착물질 및 제2 증착물질이 일정 두께 이상 증착됨으로써 상기와 같은 속도를 측정할 수 없거나 정확하게 측정할 수 없게 된다.
이러한 경우 회전구동부(172)가 작동하여 상기와 같은 센서부(171)를 새로운 센서부(171)로 교체할 수 있다. 이때, 센서부(171)는 디스플레이 기판(D)과 노즐부(140) 사이에 배치될 수 있으며, 센서부(171)의 측정 부위는 노즐부(140)를 향하도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 센서가열부(173)는 제1 증착물질과 제2 증착물질이 증착된 센서부(171)를 가열하여 제1 증착물질과 제2 증착물질을 센서부(171)로부터 제거할 수 있다. 상기와 같은 경우 센서부(171)는 교체하지 않고 재활용이 가능하다.
특히 상기와 같은 경우 기존에는 센서부를 교체하기 위하여 증착 공정 전체를 중지시키고 챔버(110)를 개방하거나 센서부를 챔버로부터 분리한다. 이러한 경우 챔버(110)를 중지시키기 위하여 공정 자체를 정지시키고 챔버(110)를 대기압 상태로 유지시킴으로써 많은 시간과 공정을 재가동하기 위해서 많은 에너지 및 시간이 소요됨으로써 상기 표시 장치의 제조 효율이 저하될 수 있다.
그러나 상기와 같이 센서부(171)를 재활용하는 것이 가능함으로써 상기 표시 장치의 제조 시간을 단축하고 상기 표시 장치의 제조 효율을 증대시키는 것이 가능하다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 증착 공정 중 재료가 소진된 소스부(130)를 증착 공정을 중지하지 않으면서 교체가 가능하므로 제조 시간을 저감 시킬 수 있으며, 상기 표시 장치의 제조 효율을 증대시킬 수 있다.
표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 소스부(130)를 소스챔버부(191)에 배치함으로써 소스부(130)의 파손 시 증착물질이 유출되는 것을 방지할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 각도제한유닛(161)에 흡착된 증착물질을 가열부(162)로 제거하여 디스플레이 기판(D)으로 안내함으로써 증착물질의 낭비를 최소화할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 센서부(171)의 교체 시 증착 공정을 멈추지 않아도 되므로 표시 장치의 제조장치(100)의 가동 시간을 증대시키는 것이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 각 소스부(130)의 온도에 따라 재료가 소진된 소스부(130)에서 재료가 소진되지 않은 소스부(130)로 전환하여 증착 공정의 수행이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 연속가동 시간을 증대시키는 것이 가능하다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다. 도 5는 도 4에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 4 및 도 5를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(미도시)는 챔버(미도시), 제1 지지부(미도시), 제2 지지부(미도시), 마스크 조립체(미도시), 소스부(미도시), 노즐부(240), 단속부(미도시), 각도제한유닛(261), 가열부(262), 센서부(미도시), 회전구동부(미도시), 센서가열부(미도시), 제1 압력조절부(미도시), 소스챔버부(미도시), 제2 압력조절부(미도시), 제3 압력조절부(미도시) 및 비젼부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 챔버, 상기 제1 지지부, 상기 제2 지지부, 상기 마스크 조립체, 상기 소스부, 상기 단속부, 상기 센서부, 상기 회전구동부, 상기 센서가열부, 상기 제1 압력조절부, 상기 소스챔버부, 상기 제2 압력조절부, 상기 제3 압력조절부 및 상기 비젼부는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
노즐부(240)는 제1 노즐부(241)와 제2 노즐부(242)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 노즐부(241)는 제1 노즐(241a)을 포함하고, 제2 노즐부(242)는 제2 노즐(242a)을 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1 노즐(241a) 및 제2 노즐(242a)은 각각 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제1 노즐(241a)은 제1 노즐부(241)의 길이 방향(예를 들면, 도 4의 Y방향)을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있고, 복수개의 제2 노즐(242a)은 제2 노즐부(242)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 각 제1 노즐(241a)과 제2 노즐(242a)은 경사지게 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1 노즐(241a)은 제1 노즐부(241)의 상면으로부터 제2 노즐부(242) 측으로 기울어지게 배치될 수 있다. 또한, 제2 노즐(242a)은 제2 노즐부(242)의 상면으로부터 제1 노즐부(241) 측으로 기울어지게 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 노즐(241a)과 제2 노즐(242a)은 제1 노즐부(241)와 제2 노즐부(242) 사이에 배치될 수 있다.
각도제한유닛(261)은 제1 노즐부(241)와 제2 노즐부(242)의 측면에 각각 배치될 수 있다. 이때, 각도제한유닛(261)은 제1 노즐(241a) 및 제2 노즐(242a)에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한할 수 있다.
가열부(262)는 상기에서 설명한 바와 같이 각도제한유닛(261)에 배치되어 각도제한유닛(261)에 흡착된 증착물질을 제거할 수 있다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법은 상기에서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같이 제1 노즐(241a)과 제2 노즐(242a)이 배치되는 경우 제1 노즐(241a)에서 분사되는 제1 증착물질과 제2 노즐(242a)에서 분사되는 제2 증착물질은 각 노즐의 증착물질의 분사범위에서 서로 중첩됨으로써 디스플레이 기판(미도시)의 전 영역에서 제1 증착물질 및 제2 증착물질의 균일한 농도를 유지하는 것이 가능하다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착이 가능하므로 상기 표시 장치의 품질을 향상시킬 수 있다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 증착물질의 낭비를 최소화할 수 있으며, 연속적인 증착이 가능하다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다. 도 7은 도 6에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 6 및 도 7을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(미도시)는 챔버(미도시), 제1 지지부(미도시), 제2 지지부(미도시), 마스크 조립체(미도시), 소스부(미도시), 노즐부(340), 단속부(미도시), 각도제한유닛(361), 가열부(362), 센서부(미도시), 회전구동부(미도시), 센서가열부(미도시), 제1 압력조절부(미도시), 소스챔버부(미도시), 제2 압력조절부(미도시), 제3 압력조절부(미도시) 및 비젼부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 챔버, 상기 제1 지지부, 상기 제2 지지부, 상기 마스크 조립체, 상기 소스부, 상기 단속부, 상기 센서부, 상기 회전구동부, 상기 센서가열부, 상기 제1 압력조절부, 상기 소스챔버부, 상기 제2 압력조절부, 상기 제3 압력조절부 및 상기 비젼부는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 노즐부(341)와 제2 노즐부(342)는 서로 인접하도록 배치될 수 있으며, 제1 노즐부(341)는 제1 증착물질을 분사하는 제1 노즐(341a)을 포함하고, 제2 노즐부(342)는 제2 증착물질을 분사하는 제2 노즐(342a)을 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1 노즐(341a)과 제2 노즐(342a)은 상기 도 1 내지 도 3에서 설명한 바와 같이 제1 노즐부(341)의 제1 중심(C1)과 제2 노즐부(342)의 제2 중심(C2) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 제1 노즐(341a)과 제2 노즐(342a)은 적어도 일분이 서로 연결될 수 있다. 제1 노즐(341a)과 제2 노즐(342a)이 서로 연결되는 제1 노즐(341a) 부분과 제2 노즐(342a) 부분은 서로 분리된 상태일 수 있다.
상기와 같은 경우 제1 노즐(341a)과 제2 노즐(342a)은 서로 연결되어 제1 노즐부(341)와 제2 노즐부(342) 사이에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 노즐(341a)에서 분사되는 제1 증착물질과 제2 노즐(342a)에서 분사되는 제2 증착물질은 서로 중첩되지 않는 영역이 최소화될 수 있다.
각도제한유닛(361)은 제1 노즐부(341)와 제2 노즐부(342)의 측면에 각각 배치될 수 있다. 이때, 각도제한유닛(361)은 제1 노즐(341a) 및 제2 노즐(342a)에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한할 수 있다.
가열부(362)는 상기에서 설명한 바와 같이 각도제한유닛(361)에 배치되어 각도제한유닛(361)에 흡착된 증착물질을 제거할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법은 상기에서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같이 제1 노즐(341a)과 제2 노즐(342a)이 배치되는 경우 제1 노즐(341a)에서 분사되는 제1 증착물질과 제2 노즐(342a)에서 분사되는 제2 증착물질은 각 노즐의 증착물질의 분사범위에서 서로 중첩됨으로써 디스플레이 기판(미도시)의 전 영역에서 제1 증착물질 및 제2 증착물질의 균일한 농도를 유지하는 것이 가능하다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착이 가능하므로 상기 표시 장치의 품질을 향상시킬 수 있다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 증착물질의 낭비를 최소화할 수 있으며, 연속적인 증착이 가능하다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다. 도 9는 도 8에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(미도시)는 챔버(미도시), 제1 지지부(미도시), 제2 지지부(미도시), 마스크 조립체(미도시), 소스부(미도시), 노즐부(440), 단속부(미도시), 각도제한유닛(461), 가열부(462), 센서부(미도시), 회전구동부(미도시), 센서가열부(미도시), 제1 압력조절부(미도시), 소스챔버부(미도시), 제2 압력조절부(미도시), 제3 압력조절부(미도시) 및 비젼부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 챔버, 상기 제1 지지부, 상기 제2 지지부, 상기 마스크 조립체, 상기 소스부, 상기 단속부, 상기 센서부, 상기 회전구동부, 상기 센서가열부, 상기 제1 압력조절부, 상기 소스챔버부, 상기 제2 압력조절부, 상기 제3 압력조절부 및 상기 비젼부는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 노즐부(441)은 제1 증착물질을 안내하는 제1 노즐(441a)을 포함하고, 제2 노즐부(442)는 제2 증착물질을 안내하는 제2 노즐(442a)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 노즐(441a)과 제2 노즐(442a)은 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 제1 노즐(441a)을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 노즐(441a)은 제1 노즐부(441)에서 제2 노즐부(442) 측으로 절곡될 수 있다. 이때, 제1 노즐부(441)의 일부는 경사지게 형성되고, 제1 노즐부(441)의 다른 일부는 일자로 형성될 수 있다. 이때, 제1 노즐부(441)의 끝단은 제1 노즐부(441)와 제2 노즐부(442) 사이에 배치될 수 있다.
제1 노즐(441a)과 제2 노즐(442a)은 서로 일렬로 배열될 수 있다. 이때, 제1 노즐(441a)과 제2 노즐(442a)은 각각 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제1 노즐(441a)과 복수개의 제2 노즐(442a)은 제1 노즐부(441)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 제1 노즐(441a)과 제2 노즐(442a)은 서로 인접할 수 있다. 특히 제1 노즐(441a)과 제2 노즐(442a)은 제1 노즐부(441)의 길이 방향을 따라 서로 연결될 수 있으며, 하나의 그룹을 형성할 수 있다. 이러한 그룹은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 그룹은 상기에서 설명한 바와 같이 제1 노즐부(441)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 노즐(441a)에서 분사되는 제1 증착물질과 제2 노즐(442a)에서 분사되는 제2 증착물질은 서로 최대한 넓은 범위에서 중첩되어 디스플레이 기판(미도시)에 공급될 수 있다.
각도제한유닛(461)은 제1 노즐부(441)와 제2 노즐부(442)의 측면에 각각 배치될 수 있다. 이때, 각도제한유닛(461)은 제1 노즐(441a) 및 제2 노즐(442a)에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한할 수 있다.
가열부(462)는 상기에서 설명한 바와 같이 각도제한유닛(461)에 배치되어 각도제한유닛(461)에 흡착된 증착물질을 제거할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법은 상기에서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같이 제1 노즐(441a)과 제2 노즐(442a)이 배치되는 경우 제1 노즐(441a)에서 분사되는 제1 증착물질과 제2 노즐(442a)에서 분사되는 제2 증착물질은 각 노즐의 증착물질의 분사범위에서 서로 중첩됨으로써 디스플레이 기판(미도시)의 전 영역에서 제1 증착물질 및 제2 증착물질의 균일한 농도를 유지하는 것이 가능하다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착이 가능하므로 상기 표시 장치의 품질을 향상시킬 수 있다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 증착물질의 낭비를 최소화할 수 있으며, 연속적인 증착이 가능하다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시에에 따른 노즐부와 각도제한유닛을 보여주는 단면도이다. 도 11은 도 10에 도시된 노즐부를 보여주는 평면도이다.
도 10 및 도 11을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(미도시)는 챔버(미도시), 제1 지지부(미도시), 제2 지지부(미도시), 마스크 조립체(미도시), 소스부(미도시), 노즐부(540), 단속부(미도시), 각도제한유닛(561), 가열부(562), 센서부(미도시), 회전구동부(미도시), 센서가열부(미도시), 제1 압력조절부(미도시), 소스챔버부(미도시), 제2 압력조절부(미도시), 제3 압력조절부(미도시) 및 비젼부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 챔버, 상기 제1 지지부, 상기 제2 지지부, 상기 마스크 조립체, 상기 소스부, 상기 단속부, 상기 센서부, 상기 회전구동부, 상기 센서가열부, 상기 제1 압력조절부, 상기 소스챔버부, 상기 제2 압력조절부, 상기 제3 압력조절부 및 상기 비젼부는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 노즐부(541)는 제1 증착물질을 안내하는 제1 노즐(541a)을 포함하고, 제2 노즐부(542)는 제2 증착물질을 안내하는 제2 노즐(542a)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 노즐(541a) 또는 제2 노즐(542a) 중 하나는 제1 노즐(541a) 또는 제2 노즐(542a) 중 다른 하나의 내부에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 노즐(541a)의 토출구 및 제2 노즐(542a)의 토출구는 원형으로 형성될 수 있으며, 제1 노즐(541a)의 토출구 및 제2 노즐(542a)의 토출구는 서로 동일할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 노즐(542a)이 제1 노즐(541a)의 내부에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 경우 디스플레이 기판(미도시)에 증착물질을 증착하는 경우 제2 노즐(542a)에서 분사된 제2 증착물질의 분사범위는 제1 노즐(541a)에서 분사된 제1 증착물질의 분사범위와 중첩될 수 있다. 이러한 경우 제1 증착물질과 제2 증착물질이 서로 중첩되지 않는 영역을 최소화하는 것이 가능하다.
각도제한유닛(561)은 제1 노즐부(541)와 제2 노즐부(542)의 측면에 각각 배치될 수 있다. 이때, 각도제한유닛(561)은 제1 노즐(541a) 및 제2 노즐(542a)에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한할 수 있다.
가열부(562)는 상기에서 설명한 바와 같이 각도제한유닛(561)에 배치되어 각도제한유닛(561)에 흡착된 증착물질을 제거할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법은 상기에서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같이 제1 노즐(541a)과 제2 노즐(542a)이 배치되는 경우 제1 노즐(541a)에서 분사되는 제1 증착물질과 제2 노즐(542a)에서 분사되는 제2 증착물질은 각 노즐의 증착물질의 분사범위에서 서로 중첩됨으로써 디스플레이 기판(미도시)의 전 영역에서 제1 증착물질 및 제2 증착물질의 균일한 농도를 유지하는 것이 가능하다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착이 가능하므로 상기 표시 장치의 품질을 향상시킬 수 있다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 증착물질의 낭비를 최소화할 수 있으며, 연속적인 증착이 가능하다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 12를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(미도시)는 챔버(미도시), 제1 지지부(미도시), 제2 지지부(미도시), 마스크 조립체(미도시), 소스부(미도시), 노즐부(640), 단속부(미도시), 각도제한유닛(661), 센서부(미도시), 회전구동부(미도시), 센서가열부(미도시), 제1 압력조절부(미도시), 소스챔버부(미도시), 제2 압력조절부(미도시), 제3 압력조절부(미도시), 비젼부(미도시) 및 증착물질포집부(697)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 챔버, 상기 제1 지지부, 상기 제2 지지부, 상기 마스크 조립체, 상기 소스부, 상기 단속부, 상기 센서부, 상기 회전구동부, 상기 센서가열부, 상기 제1 압력조절부, 상기 소스챔버부, 상기 제2 압력조절부, 상기 제3 압력조절부 및 상기 비젼부는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
노즐부(640)는 상기 도 1 내지 도 11에서 설명한 것과 동일 또는 유사한 형태로 형성될 수 있다. 노즐부(640)는 제1 노즐부(641)와 제2 노즐부(642)를 포함할 수 있으며, 제1 노즐부(641)는 제1 증착물질을 분사하는 제1 노즐(641a)을 포함하고, 제2 노즐부(642)는 제2 증착물질을 분사하는 제2 노즐(642a)을 포함할 수 있다.
각도제한유닛(661)은 제1 노즐부(641)의 일측에 배치되는 제1 각도제한유닛(661a)과 제2 노즐부(642)의 일측에 배치되는 제2 각도제한유닛(661b)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 각도제한유닛(661a)과 제2 각도제한유닛(661b)은 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 각도제한유닛(661a)과 제2 각도제한유닛(661b) 사이에는 제1 노즐(641a)과 제2 노즐(642a)이 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 각도제한유닛(661a)과 제2 각도제한유닛(661b)은 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 각도제한유닛(661a)을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 각도제한유닛(661a)은 제1 각도제한벨트(661a-1), 제1 벨트구동부(661a-2), 제1 벨트냉각부(661a-3), 제1 단열부(661a-4) 및 제1 벨트가열부(661a-5)를 포함할 수 있다. 제1 각도제한벨트(661a-1)는 고리 형태의 벨트일 수 있다. 이때, 제1 각도제한벨트(661a-1)는 클로즈 루프(Closed loop) 형태로 형성될 수 있다. 또한, 제1 각도제한벨트(661a-1)는 제1 노즐부(641)의 길이 방향(예를 들면, 도 12의 Y방향)을 따라 제1 노즐부(641)의 측면을 완전히 차폐시킬 수 있다. 제1 벨트구동부(661a-2)는 제1 각도제한벨트(661a-1)와 연결되어 제1 각도제한벨트(661a-1)를 회전시킬 수 있다. 이때, 제1 벨트구동부(661a-2)는 제1 각도제한벨트(661a-1)와 접촉하여 회전하는 복수개의 제1 롤러(661a-2a)와 복수개의 제1 롤러(661a-2a) 중 적어도 하나와 연결되어 제1 롤러(661a-2a)를 회전시키는 제1 모터(661a-2b)를 포함할 수 있다. 제1 벨트냉각부(661a-3)는 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면을 냉각시킬 수 있다. 이러한 경우 제1 벨트냉각부(661a-3)는 내부에 냉매가 순환할 수 있다. 냉매의 순환에 따라 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면의 온도는 하강할 수 있다. 이때, 냉각되는 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면은 제1 노즐부(641) 측에 배치될 수 있다. 제1 단열부(661a-4)는 제1 벨트냉각부(661a-3)와 제1 각도제한벨트(661a-1) 사이에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 단열부(661a-4)는 단열부재를 포함함으로써 제1 벨트냉각부(661a-3)에 의해 제1 각도제한벨트(661a-1)의 온도가 하강하는 것을 방지할 수 있다. 이때, 제1 단열부(661a-4)는 제1 벨트가열부(661a-5)와 대향하도록 배치될 수 있다. 또한, 제1 단열부(661a-4)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 일 실시예로써 제1 단열부(661a-4)는 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 단열부(661a-4)는 캡(Cap) 형태로 형성되어 제1 벨트냉각부(661a-3)의 일부를 감싸도록 배치되는 것도 가능하다. 즉, 제1 단열부(661a-4)는 일부가 개구되도록 형성될 수 있으며, 제1 벨트냉각부(661a-3)가 제1 단열부(661a-4) 내부에 배치되는 것도 가능하다. 이때, 제1 단열부(661a-4)의 개구된 부분은 제1 노즐부(641) 측을 향하도록 형성될 수 있다. 제1 벨트가열부(661a-5)는 제1 각도제한벨트(661a-1)를 가열하여 제1 각도제한벨트(661a-1)에 부착된 증착물질을 제거할 수 있다. 이러한 경우 제1 벨트가열부(661a-5)는 제1 각도제한벨트(661a-1)에 열에너지를 공급하는 히터 또는 빛 에너지를 공급하는 램프를 포함할 수 있다.
상기와 같은 제1 각도제한유닛(661a)의 작동을 살펴보면, 제1 각도제한유닛(661a)은 증착이 수행되는 동안 제1 노즐(641a) 및 제2 노즐(642a)에서 분사되는 증착물질의 각도를 제한할 수 있다. 이러한 경우 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면에는 제1 노즐(641a) 및 제2 노즐(642a) 각각에서 분사되는 증착물질이 흡착될 수 있다. 이때, 제1 노즐(641a)과 제2 노즐(642a)은 상기 도 1 내지 도 11에서 설명한 것과 같이 배열될 수 있다.
상기와 같은 경우 제1 벨트냉각부(661a-3)는 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면을 냉각시킴으로써 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면 온도를 하강시켜 증착물질이 더 빠르게 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면에 흡착하도록 할 수 있다. 또한, 제1 단열부(661a-4)는 제1 벨트냉각부(661a-3)에 의해 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면을 제어한 부분이 냉각되는 것을 차단할 수 있다.
증착이 계속해서 진행된 후 일정 시간이 경과하는 경우 제1 모터(661a-2b)가 작동하여 복수개의 제1 롤러(661a-2a) 중 적어도 하나를 회전시키면 제1 각도제한벨트(661a-1)는 회전할 수 있다. 이때, 증착물질이 흡착된 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면은 제1 벨트가열부(661a-5)에 대향하도록 배치되며, 제1 노즐부(641)는 제1 각도제한벨트(661a-1)의 새로운 부분이 배치될 수 있다. 상기와 같은 경우 제1 노즐부(641) 및 제2 노즐부(642)에서 분사된 증착물질은 제1 각도제한벨트(661a-1)의 새로운 부분에 흡착될 수 있다. 이러한 과정이 진행되는 동안 제1 벨트가열부(661a-5)에서 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면에 열을 가하여 제1 각도제한벨트(661a-1)의 일면에서 증착물질을 제거할 수 있다.
한편, 증착물질포집부(697)는 각도제한유닛(661)의 상부에 배치될 수 있다. 특히 증착물질포집부(697)는 각도제한유닛(661)에서 제거되는 증착물질을 포집할 수 있다. 이러한 경우 증착물질포집부(697)는 증착물질이 포집되는 포집플레이트(697a)와 포집플레이트(697a)의 온도를 하강시키는 플레이트냉각부(697b)를 포함할 수 있다. 이때, 플레이트냉각부(697b)는 포집플레이트(697a)에 배치될 수 있으며, 냉매가 순환할 수 있다.
상기와 같은 각도제한유닛(661)에서 제거되는 증착물질이 상기 챔버 내부를 이동할 때 포집플레이트(697a)에 충돌할 수 있다. 이때, 포집플레이트(697a)의 표면온도는 플레이트냉각부(697b)에 의해 챔버(610) 내부의 온도보도 낮은 온도를 유지할 수 있다. 이러한 경우 증착물질은 포집플레이트(697a)에 흡착될 수 있다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치(600)의 작동을 살펴보면, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법은 상기에서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이때, 각도제한유닛(661)과 증착물질포집부(697)는 상기와 같이 증착물질을 제거할 수 있다.
따라서 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 각도제한유닛(661)을 통하여 디스플레이 기판(D)에 입사하는 증착물질의 각도가 작은 증착물질을 효과적으로 제거할 수 있다. 또한, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 각도제한유닛(661)을 증착공정에서 지속적으로 사용 가능하므로 표시 장치(미도시)의 제조 시 상기 표시 장치의 제조장치의 가동을 중지시키지 않고 지속적으로 사용하는 것이 가능하다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착이 가능하므로 상기 표시 장치의 품질을 향상시킬 수 있다.
상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 증착물질의 낭비를 최소화할 수 있으며, 연속적인 증착이 가능하다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 13을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(700)는 챔버(710), 제1 지지부(721), 제2 지지부(722), 마스크 조립체(723), 소스부(730), 각도제한유닛(761), 가열부(762), 센서부(771), 회전구동부(772), 센서가열부(773), 제1 압력조절부(780) 및 비젼부(794)를 포함할 수 있다. 이때, 챔버(710), 제1 지지부(721), 제2 지지부(722), 마스크 조립체(723), 각도제한유닛(761), 가열부(762), 센서부(771), 회전구동부(772), 센서가열부(773), 제1 압력조절부(780) 및 비젼부(794)는 상기 도 1 내지 도 3에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
소스부(730)는 노즐부(미도시)를 포함한 개념일수 있다. 즉, 소스부(730)는 증착물질이 내부에 배치되며, 증착물질을 기화시키거나 승화시킴으로써 챔버(710) 내부로 공급할 수 있다. 이러한 경우 소스부(730)는 제1 소스부(731)와 제2 소스부(732)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 소스부(731)는 제1 증착물질을 수납되어 제1 증착물질을 챔버(710)로 공급할 수 있으며, 제2 소스부(732)는 제2 증착물질을 수납하여 제2 증착물질을 챔버(710)로 공급할 수 있다. 이러한 경우 제1 소스부(731)는 제1 노즐(731a)을 포함할 수 있으며, 제2 소스부(732)는 제2 노즐(732a)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 노즐(731a)과 제2 노즐(732a)은 상기 도 1 내지 도 11에서 설명한 것과 같이 배열될 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(700)를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법에 대해서 살펴보면, 마스크 조립체(723)와 디스플레이 기판(D)을 챔버(710) 내부에 장입할 수 있다. 마스크 조립체(723)와 챔버(710)를 얼라인한 후 소스부(730)에서 증착물질을 공급하여 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 증착시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 각도제한유닛(761)은 제1 노즐부(741) 및 제2 노즐부(742)에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한할 수 있다. 또한, 가열부(762)는 각도제한유닛(761)을 가열함으로써 각도제한유닛(761)에 흡착된 증착물질을 제거할 수 있다.
한편, 상기와 같은 과정이 진행되는 동안 센서부(771)(예를 들면 제1 센서부)는 디스플레이 기판(D)에 증착되는 증착물질의 증착량을 측정할 수 있다.
상기와 같은 과정은 일정 시간 반복하여 수행될 수 있다. 이때, 일정 시간은 디스플레이 기판(D)을 증착하는 횟수일 수 있으며, 일정 시간 동안 복수개의 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 증착할 수 있다.
일정 시간이 경과하면 회전구동부(772)가 작동하여 새로운 센서부(771)(예를 들면, 제2 센서부)로 교체할 수 있다. 또한, 기존의 사용하던 센서부(771)는 센서가열부(773)에 대향하도록 배치될 수 있으며, 센서가열부(773)는 센서부(771)를 가열함으로써 센서부(771)에 흡착된 증착물질을 제거할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(700) 및 표시 장치의 제조방법은 증착 공정 중 재료가 소진된 소스부(730)를 증착 공정을 중지하지 않으면서 교체가 가능하므로 제조 시간을 저감 시킬 수 있으며, 상기 표시 장치의 제조 효율을 증대시킬 수 있다.
표시 장치의 제조장치(700) 및 표시 장치의 제조방법은 소스부(730)를 소스챔버부(791)에 배치함으로써 소스부(730)의 파손 시 증착물질이 유출되는 것을 방지할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(700) 및 표시 장치의 제조방법은 각도제한유닛(761)에 흡착된 증착물질을 가열부(762)로 제거하여 디스플레이 기판(D)으로 안내함으로써 증착물질의 낭비를 최소화할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(700) 및 표시 장치의 제조방법은 센서부(771)의 교체 시 증착 공정을 멈추지 않아도 되므로 표시 장치의 제조장치(700)의 가동 시간을 증대시키는 것이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(700) 및 표시 장치의 제조방법은 각 소스부(730)의 온도에 따라 재료가 소진된 소스부(730)에서 재료가 소진되지 않은 소스부(730)로 전환하여 증착 공정의 수행이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(700) 및 표시 장치의 제조방법은 연속가동 시간을 증대시키는 것이 가능하다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 14를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(800)는 챔버(810), 제1 지지부(821), 제2 지지부(822), 마스크 조립체(823), 소스부(830), 각도제한유닛(861), 센서부(871), 회전구동부(872), 센서가열부(873), 제1 압력조절부(880), 비젼부(894) 및 증착물질포집부(897)를 포함할 수 있다. 이때, 챔버(810), 제1 지지부(821), 제2 지지부(822), 마스크 조립체(823), 센서부(871), 회전구동부(872), 센서가열부(873), 제1 압력조절부(880) 및 비젼부(894)는 상기 도 1 내지 도 3에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
소스부(830)는 상기 도 13에서 설명한 것과 유사할 수 있다. 이때, 소스부(830)는 증착물질이 수납될 수 있으며, 증착물질을 기화시키거나 승화시킬 수 있다.
각도제한유닛(861)은 제1 각도제한유닛(861)과 제2 각도제한유닛(861)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 각도제한유닛(861)과 제2 각도제한유닛(861)은 서로 유사하게 형성될 수 있다. 이러한 경우 제1 각도제한유닛(861)은 제1 각도제한벨트(861a-1), 제1 벨트냉각부(861a-3), 제1 단열부(861a-4) 및 제1 벨트가열부(861a-5)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 각도제한유닛(861)과 제2 각도제한유닛(861)은 상기 도 12에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
증착물질포집부(897)는 포집플레이트(897a) 및 플레이트냉각부(897b)를 포함할 수 있다. 이때, 증착물질포집부(897)는 상기 도 12에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치(800)를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법은 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다.
구체적으로 소스부(830)의 작동에 따라 증착물질이 마스크 조립체(823)를 통과하여 디스플레이 기판(D)의 일 영역에 증착될 수 있다. 이때, 각도제한유닛(861)은 소스부(830)에서 분사되는 증착물질의 각도를 제한할 수 있으며, 증착물질 중 일부를 제거할 수 있다. 또한, 각도제한유닛(861)의 작동에 따라 각도제한유닛(861)에 흡착된 증착물질이 제거될 수 있으며, 제거된 증착물질은 증착물질포집부(897)에 흡착될 수 있다.
또한, 센서부(871)는 상기와 같은 작업이 진행되는 동안 디스플레이 기판(D)에 증착되는 증착물질의 증착량을 모니터링할 수 있다. 뿐만 아니라 일정 시간이 경과한 후 새로운 센서부(871)로 교체함으로써 표시 장치의 제조장치(800)의 가동 시간을 증대시킬 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(800) 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착이 가능하므로 상기 표시 장치의 품질을 향상시킬 수 있다.
표시 장치의 제조장치(800) 및 표시 장치의 제조방법은 증착물질의 낭비를 최소화할 수 있으며, 연속적인 증착이 가능하다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 15를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(900)는 챔버(910), 제1 지지부(921), 제2 지지부(922), 마스크 조립체(923), 소스부(930), 각도제한유닛(961), 가열부(962), 센서부(971), 회전구동부(972), 센서가열부(973), 제1 압력조절부(980) 및 비젼부(994)를 포함할 수 있다. 이때, 챔버(910), 제2 지지부(922), 마스크 조립체(923), 각도제한유닛(961), 가열부(962), 센서부(971), 회전구동부(972), 센서가열부(973), 제1 압력조절부(980) 및 비젼부(994)는 상기 도 13에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 지지부(921)는 디스플레이 기판(D)의 일면을 고정시킬 수 있다. 이때, 제1 지지부(921)는 진공척, 정전척 또는 점착척을 포함할 수 있다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치(900)의 작동을 살펴보면, 소스부(930)에서 챔버(910) 내부로 공급되는 증착물질은 마스크 조립체(923)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 센서부(971)는 디스플레이 기판(D)에 증착되는 증착물질의 증착량을 측정할 수 있다.
상기와 같은 과정이 진행되는 동안 각도제한유닛(961)은 소스부(930)에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한할 수 있으며, 가열부(962)는 각도제한유닛(961)에서 증착된 증착물질을 제거할 수 있다.
센서부(971)의 경우 상기에서 설명한 바와 같이 일정 시간이 경과하는 경우 새로운 센서부(971)로 교체될 수 있으며, 기존에 사용된 센서부(971)는 센서가열부(973)에 의해 재생될 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(900) 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착이 가능하므로 상기 표시 장치의 품질을 향상시킬 수 있다.
표시 장치의 제조장치(900) 및 표시 장치의 제조방법은 증착물질의 낭비를 최소화할 수 있으며, 연속적인 증착이 가능하다.
도 16은 도 1 내지 도 15에 따른 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 17은 도 16의 B-B선을 따라 취한 단면도이다.
도 16 및 도 17을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역(NDA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D) 및 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트렌지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28-1)을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트렌지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소 전극(28-1) 및 중간층(28-2) 중 일부를 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 디스플레이 기판(D)은 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트렌지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소 전극(28-1) 및 중간층(28-2)을 포함하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 디스플레이 기판(D)이 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트렌지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28-1)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-3)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)이 불순물에 의해 도핑 된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28-1)이 형성된다. 이 화소 전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다. 다른 실시예로서 대향 전극(28-3)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28-3)은 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28-3)이 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소 전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
상기와 같은 중간층(28-2)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 특히 복수개의 중간층(28-2)은 직사각형 정사각형을 제외한 형상의 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
상기 도 1 내지 도 15에 도시된 표시 장치의 제조장치(미도시)는 디스플레이 기판(D)에 다양한 층을 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 표시 장치의 제조장치는 디스플레이 기판(D)에 중간층(28-2) 중 적어도 하나의 층 및 대향 전극(28-3) 중 적어도 하나를 형성할 수 있다. 이때, 상기 표시 장치의 제조장치는 중간층(28-2) 중 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 주입층, 전자 수송층 및 기능층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다. 특히 상기 표시 장치의 제조장치가 디스플레이 기판(D)에 중간층(28-2) 중 적어도 하나의 층을 형성하는 경우 상기 표시 장치의 제조장치는 하나의 층을 복수개의 증착물질을 통하여 제조하거나 복수개의 층을 동시에 제조하는 것도 가능하다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 정밀한 이미지를 구현할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
20: 표시 장치 25: 게이트 전극
21: 기판 26: 층간 절연층
22: 버퍼층 27: 패시베이션막
23: 활성층 28: 유기 발광 소자
24: 게이트 절연층 29: 화소정의막
100,700,800,900: 표시 장치의 제조장치
110,710,810,910: 챔버
121,721,821,921: 제1 지지부
122,722,822,922: 제2 지지부
123,723,823,923: 마스크 조립체
130,730,830,930: 소스부
140,240,340,440,540,640,740,840,940: 노즐부
150: 단속부
161,261,361,461,561,661,761,861,961: 각도제한유닛
162,262,362,462,562,962: 가열부
171,971: 센서부
172,972: 회전구동부
173,973: 센서가열부
180,770,870,970: 제1 압력조절부
191: 소스챔버부
192: 제2 압력조절부
193: 제3 압력조절부
194: 비젼부
196a: 제1 온도센서
196b: 제2 온도센서
697,897: 증착물질포집부

Claims (56)

  1. 챔버;
    상기 챔버 외부에 배치되며, 증착물질이 수납되어 상기 증착물질을 기체로 변환시키는 복수개의 소스부;
    상기 챔버 내부에 배치되며, 복수개의 상기 소스부와 연결되어 복수개의 상기 소스부 중 하나로부터 공급되는 증착물질을 상기 챔버 내부로 분사하는 노즐부;
    상기 각 소스부와 상기 노즐부 사이에 배치되며, 상기 각 소스부에서 상기 노즐부로 공급되는 증착물질을 단속하고, 복수개의 상기 소스부와 상기 노즐부를 선택적으로 연결하는 단속부; 및
    상기 챔버의 외부에 배치되어 상기 복수개의 소스부 중 적어도 일부가 내부에 배치되는 소스챔버부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 소스부 내부에 배치되어 상기 각 소스부 내부의 내부온도를 측정하는 센서부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 단속부는 복수개의 상기 소스부 중 상기 내부온도가 기 설정된 온도를 초과하는 상기 소스부와 상기 노즐부의 연결을 차단하고, 복수개의 상기 소스부 중 상기 내부온도가 기 설정된 온도 이하인 상기 소스부를 상기 노즐부에 연결하는 표시 장치의 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    복수개의 상기 소스부는 교체 가능한 표시 장치의 제조장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐부는,
    복수개의 상기 소스부 중 일부와 연결되는 제1 노즐부; 및
    상기 제1 노즐부와 분리되며, 복수개의 상기 소스부 중 다른 일부와 연결되는 제2 노즐부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 노즐부의 제1 노즐과 상기 제2 노즐부의 제2 노즐은 상기 제1 노즐부의 중심과 상기 제2 노즐부의 중심 사이에 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 일렬로 배열된 표시 장치의 제조장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 하나는 상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 다른 하나의 내부에 배치된 표시 장치의 제조장치.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐 중 적어도 하나는 경사지게 배치된 표시 장치의 제조장치.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 노즐부에서 분사되는 증착물질과 상기 제2 노즐부에서 분사되는 증착물질은 서로 상이한 물질인 표시 장치의 제조장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    복수개의 상기 노즐부 중 적어도 하나에 배치되거나 복수개의 상기 노즐부 중 적어도 하나로부터 이격되도록 배치되어 상기 노즐부에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한하는 각도제한유닛;을 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 각도제한유닛 중 적어도 일부에 배치되어 상기 각도제한유닛 중 적어도 일부를 가열시키는 가열부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 각도제한유닛은,
    각도제한벨트; 및
    상기 각도제한벨트를 회전시키는 벨트구동부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 각도제한유닛은,
    상기 각도제한벨트의 일면을 냉각시키는 벨트냉각부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 각도제한유닛은,
    상기 각도제한벨트의 일면을 가열시키는 벨트가열부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 각도제한벨트로부터 이격되도록 배치되며, 상기 벨트가열부의 가열로 상기 각도제한벨트로부터 이탈하는 증착물질의 적어도 일부분을 포집하는 증착물질포집부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐부에서 분사되는 증착물질의 농도를 측정하는 센서부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 센서부와 연결되어 상기 센서부를 회전시키는 회전구동부; 및
    상기 센서부에 열을 가하여 상기 센서부의 증착물질을 제거하는 센서가열부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  20. 챔버;
    제1 증착물질이 수납되어 상기 챔버 내부로 상기 제1 증착물질을 공급하는 제1 노즐을 포함하는 제1 소스부;
    제2 증착물질이 수납되어 상기 챔버 내부로 상기 제2 증착물질을 공급하는 제2 노즐을 포함하는 제2 소스부;
    상기 챔버 외부에 배치되며, 상기 제1 소스부가 수납되는 제1 소스챔버; 및
    상기 챔버 외부에 배치되며, 상기 제1 소스챔버와 별도의 공간을 형성하여 상기 제2 소스부가 수납되는 제2 소스챔버;를 포함하고,
    상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 상기 제1 소스부의 중심과 상기 제2 소스부의 중심 사이에 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 중 적어도 하나는 경사진 표시 장치의 제조장치.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 일렬로 배열된 표시 장치의 제조장치.
  23. 제 20 항에 있어서,
    상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 하나는 상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 다른 하나의 내부에 배치된 표시 장치의 제조장치.
  24. 제 20 항에 있어서,
    상기 제1 소스부 및 상기 제2 소스부 중 적어도 하나에 배치되거나 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐 중 적어도 하나로부터 이격되도록 배치되어 상기 제1 노즐에서 분사되는 상기 제1 증착물질 및 상기 제2 노즐에서 분사되는 상기 제2 증착물질 중 적어도 하나의 분사각도를 제한하는 각도제한유닛;을 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 각도제한유닛에 흡착된 상기 제1 증착물질 및 상기 제2 증착물질 중 적어도 하나를 제거하는 가열부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  26. 제 20 항에 있어서,
    상기 제1 소스부 및 상기 제2 소스부 중 적어도 하나에서 분사되는 증착물질의 농도를 측정하는 센서부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 센서부와 연결되어 상기 센서부를 회전시키는 회전구동부; 및
    상기 센서부에 열을 가하여 상기 센서부의 증착물질을 제거하는 센서가열부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  28. 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되어 상기 챔버 내부로 증착물질을 공급하는 소스부;
    상기 소스부에 배치되거나 상기 소스부로부터 이격되도록 배치되어 회전하며, 상기 소스부에서 분사되는 증착물질의 분사각도를 제한하는 각도제한벨트;
    상기 각도제한벨트를 회전시키는 벨트구동부;
    상기 각도제한벨트의 일면을 냉각시키는 벨트냉각부; 및
    상기 각도제한벨트의 일면을 가열시키는 벨트가열부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 각도제한벨트로부터 이격되도록 배치되며, 상기 벨트가열부의 가열로 상기 각도제한벨트로부터 이탈하는 증착물질의 적어도 일부분을 포집하는 증착물질포집부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  30. 제 28 항에 있어서,
    상기 소스부에서 분사되는 증착물질의 농도를 측정하는 센서부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  31. 제 30 항에 있어서,
    상기 센서부와 연결되어 상기 센서부를 회전시키는 회전구동부; 및
    상기 센서부에 열을 가하여 상기 센서부의 증착물질을 제거하는 센서가열부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  32. 챔버;
    상기 챔버 외부에 배치되어 상기 챔버 내부로 증착물질을 공급하는 복수개의 소스부;
    상기 복수개의 소스부 중 하나에서 분사되는 증착물질의 농도를 측정하는 센서부;
    상기 센서부와 연결되어 상기 센서부를 회전시키는 회전구동부;
    상기 센서부에 열을 가하여 상기 센서부의 증착물질을 제거하는 센서가열부; 및
    상기 챔버의 외부에 배치되어 상기 복수개의 소스부 중 적어도 일부가 내부에 배치되는 소스챔버부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  33. 디스플레이 패널 및 마스크 조립체를 챔버 내부에 배치하는 단계;
    복수개의 소스부 중 일부에서 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하여 상기 디스플레이 기판에 상기 증착물질을 증착시키는 단계;
    상기 복수개의 소스부 중 일부의 내부 온도를 측정하는 단계; 및
    측정된 상기 소스부의 내부 온도와 기 설정된 온도를 비교하여 상기 복수개의 소스부 중 일부의 교체 시기를 판별하여 상기 복수개의 소스부 중 일부에서 상기 챔버 내부로 공급되는 증착물질을 차단하고, 상기 복수개의 소스부 중 다른 일부에서 상기 챔버 내부로 증착물질을 공급하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  34. 제 33 항에 있어서,
    상기 복수개의 소스부는 상기 챔버와 구분되는 소스챔버부에 수납되는 표시 장치의 제조방법.
  35. 제 33 항에 있어서,
    상기 복수개의 소스부는 상기 챔버 외부에 배치되며, 상기 챔버 내부에 상기 복수개의 소스부와 연결되는 노즐부가 배치되어 상기 증착물질을 상기 챔버 내부로 분사하는 표시 장치의 제조방법.
  36. 제 33 항에 있어서,
    상기 복수개의 소스부 중 일부와 상기 복수개의 소스부 중 다른 일부는 서로 다른 종류의 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하는 표시 장치의 제조방법.
  37. 제 36 항에 있어서,
    상기 각 소스부는 상기 증착물질을 안내하는 노즐부를 포함하고,
    서로 인접하는 상기 소스부의 노즐부는 서로 인접하는 상기 소스부의 중심 사이에 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  38. 제 36 항에 있어서,
    상기 각 소스부는 상기 증착물질을 안내하는 노즐부를 포함하고,
    서로 인접하는 상기 소스부의 노즐부는 일렬로 배열되는 표시 장치의 제조방법.
  39. 제 36 항에 있어서,
    상기 각 소스부는 상기 증착물질을 안내하는 노즐부를 포함하고,
    서로 인접하는 상기 소스부의 노즐부 중 하나는 서로 인접하는 상기 소스부의 노즐부 중 다른 하나 내부에 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  40. 제 33 항에 있어서,
    상기 각 소스부에서 배출된 증착물질의 각도는 상기 복수개의 소스부 중 적어도 하나에 배치되거나 상기 복수개의 소스부 중 적어도 하나로부터 이격된 각도제한유닛으로 제한되는 표시 장치의 제조방법.
  41. 제 40 항에 있어서,
    상기 각도제한유닛에 열을 가하여 상기 각도제한유닛에 흡착된 상기 증착물질을 제거하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  42. 제 40 항에 있어서,
    상기 각도제한유닛의 열을 흡수하여 상기 각도제한유닛에 상기 증착물질을 흡착시키는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  43. 제 33 항에 있어서,
    상기 복수개의 소스부 중 적어도 하나에서 방출되는 상기 증착물질의 증발율을 제1 센서부로 측정하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  44. 제 43 항에 있어서,
    일정 시간 경과 후 상기 제1 센서부를 상기 제1 센서부와 상이한 제2 센서부로 교체하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  45. 제 44 항에 있어서,
    상기 제1 센서부를 가열하여 상기 제1 센서부에 흡착된 상기 증착물질을 제거하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  46. 디스플레이 패널 및 마스크 조립체를 챔버 내부에 배치하는 단계;
    제1 소스부에서 제1 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하고, 제2 소스부에서 제2 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하여 상기 디스플레이 기판에 상기 제1 증착물질 및 상기 제2 증착물질을 증착시키는 단계;
    상기 제1 소스부 및 상기 제2 소스부 중 적어도 하나의 내부의 온도를 측정하는 단계; 및
    측정된 상기 제1 소스부 및 상기 제2 소스부 중 적어도 하나의 내부의 온도와 기 설정된 온도를 비교하여 상기 제1 소스부 및 상기 제2 소스부 중 적어도 하나의 교체 시기를 판별하여 상기 제1 소스부 또는 상기 제2 소스부 중 하나에서 상기 챔버 내부로 공급되는 증착물질을 차단하고, 상기 제1 소스부 또는 상기 제2 소스부 중 다른 하나에서 상기 챔버 내부로 증착물질을 공급하는 단계;를 포함하고,
    상기 제1 소스부는 상기 제1 증착물질을 안내하는 제1 노즐을 포함하고, 상기 제2 소스부는 상기 제2 증착물질을 안내하는 제2 노즐을 포함하며, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 상기 제1 소스부의 중심과 상기 제2 소스부의 중심 사이에 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  47. 제 46 항에 있어서,
    상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 일렬로 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  48. 제 46 항에 있어서,
    상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 하나는 상기 제1 노즐 또는 상기 제2 노즐 중 다른 하나의 내부에 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  49. 제 46 항에 있어서,
    상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐 중 적어도 하나에 배치되거나 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐 중 적어도 하나로부터 이격된 각도제한유닛으로 상기 제1 증착물질 및 상기 제2 증착물질의 분사각도를 제한하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  50. 제 49 항에 있어서,
    상기 각도제한유닛에 열을 가하여 상기 각도제한유닛에 흡착된 상기 증착물질을 제거하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  51. 제 49 항에 있어서,
    상기 각도제한유닛의 열을 흡수하여 상기 각도제한유닛에 상기 증착물질을 흡착시키는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  52. 제 46 항에 있어서,
    상기 제1 소스부 및 상기 제2 소스부 중 적어도 하나에서 방출되는 상기 증착물질의 증발율을 제1 센서부로 측정하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  53. 제 52 항에 있어서,
    일정 시간 경과 후 상기 제1 센서부를 상기 제1 센서부와 상이한 제2 센서부로 교체하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  54. 제 53 항에 있어서,
    상기 제1 센서부를 가열하여 상기 제1 센서부에 흡착된 상기 증착물질을 제거하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  55. 디스플레이 패널 및 마스크 조립체를 챔버 내부에 배치하는 단계;
    소스부에서 증착물질을 상기 챔버 내부로 공급하여 상기 디스플레이 기판에 상기 증착물질을 증착시키는 단계;
    상기 소스부에서 분사되는 증착물질의 증발율을 제1 센서부로 측정하는 단계; 및
    일정 시간 경과 후 상기 제1 센서부를 상기 제1 센서부와 상이한 제2 센서부로 교체하는 단계;를 포함하고,
    상기 소스부는 상기 챔버의 외부에 배치된 소스챔버부에 수납된 표시 장치의 제조방법.
  56. 제 55 항에 있어서,
    교체된 상기 제1 센서부를 가열하여 상기 제1 센서부에 흡착된 증착물질을 제거하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
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