KR100603403B1 - 마스크 프레임 조립체, 및 이를 이용한 유기 전계 발광소자의 제조방법 - Google Patents

마스크 프레임 조립체, 및 이를 이용한 유기 전계 발광소자의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판의 처짐을 감안하여 프레임이 휘어진 마스크 프레임 조립체를 도입하여, 증착 시 패턴 정밀도를 향상시킬 수 있는 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시장치의 제조방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 개구부를 갖는 프레임과, 상기 프레임에 인장력이 가하여진 상태로 지지되고, 상기 개구부에 대응되는 위치에 패터닝이 가능한 패턴부가 형성되며, 피증착 기판을 지지하는 마스크를 포함하고, 상기 프레임의 적어도 일부는 지면의 방향에 대해 소정의 곡률을 갖도록 휘어진 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체를 제공한다.

Description

마스크 프레임 조립체, 및 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법{Mask frame assembly, and method of manufacturing an organic electroluminesence device thereused}
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체가 장착된 증착 장치의 개략도,
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체의 분해 사시도,
도 3은 그 중 프레임에 대한 측면도,
도 4는 마스크 프레임 조립체 및 기판의 정열 상태를 도시한 단면도,
도 5는 본 발명에 의해 제조된 유기 전계 발광 표시장치의 일 예를 도시한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명>
10: 마스크 프레임 조립체 11: 마스크
12: 프레임 20: 기판
121: 제1서브 프레임 122: 제2서브 프레임
123: 휘어진 부분
본 발명은 증착 마스크에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정밀도가 향상될 수 있는 마스크 프레임 조립체와, 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 관한 것이다.
전계 발광 소자는 자발 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다.
이러한 전계 발광 소자는 발광층을 형성하는 물질에 따라 무기 전계 발광 소자와 유기 전계 발광 소자로 구분되는데, 유기 전계 발광 소자는 무기 전계 발광 소자에 비해 휘도, 응답속도 등의 특성이 우수하고, 컬러 디스플레이가 가능하다는 장점을 가지고 있어 최근 그 개발이 활발하게 진행되고 있다.
이러한 유기 전계 발광소자는 투명한 절연기판 상에 소정 패턴으로 형성된 제1전극과, 이 제1전극이 형성된 절연기판 상에 진공증착법에 의해 형성된 유기막과, 상기 제1전극과 교차하는 방향으로 상기 유기막의 상면에 형성된 제2전극들을 포함한다.
이와 같이 구성된 유기 전계 발광소자를 제작함에 있어서, 상기 제1전극은 통상 ITO(indium tin oxide)로 이루어지는데, 이 ITO의 패터닝은 포토리소그래피 법에 의해 이루어진다.
그런데, 상기와 같은 포토리소그래피법은 유기막이 형성되기 전 단계에서는 사용이 가능하나, 유기막이 형성된 후에는 그 사용에 문제가 있다. 즉, 유기막은 수분에 매우 취약하여 그 제조 과정과 제조 후에도 수분으로부터 철저히 격리시켜야 하기 때문이다. 따라서, 레지스트 박리 과정과 식각 과정에서 수분에 노출되는 상기 포토 리소그래피법은 유기막 및 제 2 전극층의 패터닝에 적합하지 않다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 유기막을 이루는 유기 발광재료와 제 2 전극층을 이루는 재료는 소정의 패턴을 가지는 마스크를 이용하여 진공 중에서 증착하는 방법을 많이 사용하고 있다. 특히, 상기 제 2 전극층은 소정의 격리벽인 캐소오드 세퍼레이터를 이용해 패터닝할 수도 있으나, 상기 유기막 중 저분자 유기막은 증착 마스크를 이용하여 진공 증착법에 의해 패터닝되는 것이 가장 적합한 것으로 알려져 있다.
상기와 같이 마스크를 이용하여 유기막 또는 제 2 전극층을 패터닝하는 방법에 있어서, 발광층인 유기막을 패터닝시키는 기술은 풀 칼라 유기 전계 발광 소자를 제조하는 데 있어서 매우 중요한 기술이다.
종래 알려져 있는 풀 컬러 유기 전계 발광 소자의 컬러화 방식에는 적(R), 녹(G), 청(B)의 각 화소를 기판상에 독립 증착시키는 삼색 독립 증착 방식과, 청색 발광을 발광원으로 하여 색변환층을 광취출면에 설치하는 색변환 방식(CCM 방식), 백색 발광을 발광원으로 하여 컬러 필터를 사용하는 컬러 필터 방식 등이 있다. 이 중 삼색 독립 증착 방식이 단순한 구조로 우수한 색순도 및 효율을 나타내는 점에서 가장 주목받고 있는 방식이다.
삼색 독립 증착 방식은 증착 마스크를 사용하여 적(R), 녹(G), 청(B) 각 화 소를 기판 상에 독립 증착하는 것으로, 이 때, 상기 증착 마스크는 열팽창계수가 낮은 재료를 사용하여 열변형이 발생되지 않아야 하고, 자석부재로 기판에 밀착시킬 때에는 자성체여야 한다.
한편, 통상적으로 유기 전계 발광 소자의 제조과정에서 사용되는 기판은 한번의 공정으로 여러 개의 유기 전계 발광 소자를 제조할 수 있도록 대형 기판이 사용된다. 그런데, 이러한 기판은 그 크기가 커질수록 증착 공정에서 중력에 의해 쳐지기 때문에, 상기와 같이, 마스크를 개재하여 증착할 때에, 패턴의 정밀도를 높이기 어려운 문제가 있다.
이렇게 증착 과정에서 발생되는 패턴 정밀도의 보완을 위해, 하기와 같이 다양한 방법들이 제안되고 있다.
일본 공개 특허 공보 2001-247961호에는 마스크의 열팽창으로 인하여 슬롯을 형성하는 스트립들의 크립(creep)변형의 문제점을 해결하기 의하여, 다수의 제 1개구부를 구획한 격벽을 갖는 마스크부와, 상기 각각의 개구 면적이 상기 각 제 1개구부의 개구면적보다 작은 여러개의 제2개구부를 갖고, 상기 여러개의 제 2개구부가 상기 마스크부의 상기 각 제1개구부 상에 배치된 자성자료를 포함하는 스크린부을 구비한 마스크가 개시되어 있다.
일본 공개 특허 공보 2001-273979호에는 자성체 마스크의 구조가 개시되어 있으며, 일본 공개 특허 공보 2001-254169호에는 피 증착물에 밀착되어 증착 부분을 마스킹 하는 것으로, 증착영역에 대응하는 마스크 패턴이 형성된 증착마스크 프레임은 프레임 두께에 비하여 소정의 치수를 지지하기 어려운 미세한 간극과 미세 패턴부를 포함하는 마스크 패턴을 구비하고, 상기 마스크 패턴의 미세 패턴부가 미세 리브에 의해 지지된 구조를 가진다.
또한, 일본 공개 특허 공보 2002-9098호에는 증착 과정에서 마스크가 열팽창하여 부분적으로 들뜨고, 이에 따라 기판 상에 이미 형성되어 있는 막에 손상을 주는 문제를 해결하기 위한 것으로, 마스크보다 크게 형성되고 단차부를 구비해 마스크를 이 단차부에 안착시키는 지지부재를 이용하여 성막 시 마스크가 열팽창되어도 지지부재에 의해 마스크가 파상(波狀)으로 휘어지지 않도록 하고, 또한, 성막 시에 자성부재가 마스크의 타면에서 마스크를 기판에 밀착시켜 마스크와 지지부재의 사이에 간격이 발생되도록 해 이 간격을 이용해 마스크를 냉각시켜주는 효과를 얻는 패턴 형성장치가 개시되어 있다.
일본 공개 특허 공보 2002-8859호에는 성막 과정에서 마스크가 열에 의해 열팽창하는 것을 억제하기 위한 것으로, 마스크를 지지하고 있는 프레임의 내부에 유로를 형성시켜 이 유로내부로 냉각액을 순환시키는 패턴 형성장치가 개시되어 있다.
일본 공개 특허 공보 2000-48954호, 2000-173769호, 2001-203079호, 2001-110567호에는 마스크와 프레임의 사이에 마스크 차폐부의 처짐을 방지하도록 보강선이 더 구비된 메탈 마스크가 개시되어 있다.
그런데, 상술한 방법들은 모두, 마스크 자체의 처짐을 방지하기 위한 것인 데, 이러한 마스크의 처짐은 기판의 처짐에 비해 상대적으로 적다. 따라서, 근본적인 해결방법이 되지 못하는 한계가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판의 처짐을 감안하여 프레임이 휘어진 마스크 프레임 조립체를 도입하여, 증착 시 패턴 정밀도를 향상시킬 수 있는 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시장치의 제조방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 개구부를 갖는 프레임과, 상기 프레임에 인장력이 가하여진 상태로 지지되고, 상기 개구부에 대응되는 위치에 패터닝이 가능한 패턴부가 형성되며, 피증착 기판을 지지하는 마스크를 포함하고, 상기 프레임의 적어도 일부는 지면의 방향에 대해 소정의 곡률을 갖도록 휘어진 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체를 제공한다.
본 발명은 또한 전술한 목적을 달성하기 위하여, 기판 상에 제1전극층, 유기 발광층, 및 제2전극층이 순차로 형성된 유기 전계 발광 표시장치를 제조하는 방법에 있어서, 상기 유기 발광층 및 제2전극층의 형성은 챔버 내에서 상기 기판에 마스크 프레임 조립체를 개재한 채로 증착하여 이루어지는 것이고, 상기 마스크 프레임 조립체는, 개구부를 갖는 프레임과, 상기 프레임에 인장력이 가하여진 상태로 지지되고, 상기 개구부에 대응되는 위치에 패터닝이 가능한 패턴부가 형성되며, 피증착 기판을 지지하는 마스크를 포함하고, 상기 프레임의 적어도 일부는 지면의 방향에 대해 소정의 곡률을 갖도록 휘어진 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조방법을 제공한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(10)가 장착된 증착 장치의 개략도이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체(10)는 진공 챔버(미도시)내에 설치된 거치대(32) 상에 고정된다. 유기 전자 발광소자의 레드, 그린, 블루의 박막을 증착하기 위해서는 진공챔버의 내부(30)에 설치된 증착 용기(crucible; 31)와 대응되는 측에 마스크 프레임 조립체(10)를 설치하고 그 상부에 박막이 형성될 기판(20)을 장착한다. 기판(20)상에는 지지 플레이트(33)가 배치되고, 지지 플레이트(33) 상에 마그네트 유니트(34)가 위치한다. 상기 마그네트 유니트(34)가 마스크(11)를 끌어당김에 따라 기판(20)은 마스크(11)에 의해 지지플레이트(33)에 밀착되고, 마스크(11)도 기판(20)에 밀착 고정된다.
이 상태에서 상기 증착용기(31)의 작동으로 증착물질이 증발하여 기판(20)에 증착하게 된다. 증발된 물질은 마스크(11)에 형성된 패턴을 통해서 기판(300)상에 증착된다.
본 발명은 이러한 증착 장치를 사용하여 유기물 또는 금속을 증착할 때에, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같은 마스크 프레임 조립체(10)를 사용한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체의 분해 사시도이고, 도 3은 그 중 프레임에 대한 측면도이며, 도 4는 마스크 프레임 조립체 및 기판의 정열 상태를 도시한 단면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 마스크 프레임 조립체(10)는 마스크(11)와 프레임(12)을 구비한다.
마스크(11)는 적어도 하나 이상의 단위 마스킹 패턴부(111)를 갖는다. 각 단위 마스킹 패턴부(111)는 하나의 소자를 증착할 수 있는 것으로, 원하는 패턴으로 패터닝 개구(112)가 형성되어 있다.
이러한 마스크(11)는 자성을 띤 박판으로 이루어져 있는 데, 니켈 또는 니켈과 코발트의 합금으로 이루어질 수 있고, 바람직하게는 미세 패턴의 형성이 용이하고, 표면 거칠기가 매우 좋은 니켈-코발트의 합금으로 형성할 수 있다. 또한, 상기 패터닝 개구들(112)을 갖는 마스크(11)는 전주(electro forming)법에 의해 형성할 수 있다.
이러한 마스크(11)는 물론 에칭법에 의해서도 제조될 수 있는 데, 포토 레지스트를 이용해 패터닝 개구들(112)의 패턴을 가지는 레지스트 층을 박판에 형성하거나 패터닝 개구들(112)의 패턴을 가진 필름을 박판에 부착한 후 박판을 에칭(etching)함으로써 제조할 수 있다.
상기와 같이 제조된 마스크(11)는 그 가장자리가 크램프나 접착제 등에 의해 고정된 상태에서 도 2에서 x축 및 y축 방향으로 인장력을 가한 다음, 프레임(12)에 접합된다. 상기 프레임(12)은 중공의 형상으로 상기 마스크(11)의 각 단위 마스킹 패턴부(111)가 형성된 부분을 제외한 가장자리 부분을 지지할 수 있도록 형성된다. 접합 방법은 접착제에 의한 접합과, 레이저 용접, 저항가열 용접 등 다양한 방법을 적용할 수 있으나, 정밀도 변화 등을 고려하여 레이저 용접방법을 사용할 수 있다.
상기 프레임(12)은 마스크(11)를 지지할 수 있도록 강성을 갖는 부재로 형성되는 데, 도 2에서 볼 수 있듯이, 서로 평행한 한 쌍의 제1서브 프레임(121)과, 이 제1서브 프레임(121)들의 양단을 각각 연결하는 한 쌍의 제2서브 프레임(122)을 갖는다. 이 제1서브 프레임(121) 및 제2서브 프레임(122)은 일체로 형성되나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 별도 제조되어 결합될 수도 있다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 있어서, 상기 제1서브 프레임(121) 및 제2서브 프레임(122)은 기판(20)의 형상에 대응되어, 제1서브 프레임(121)의 길이가 제2서브 프레임(122)의 길이 이상이 될 수 있다.
이 때, 본 발명에 따르면, 도 3에서 볼 수 있듯이, 상기 제1서브 프레임(121)의 일부, 예컨대, 중앙 부분은 지면의 방향을 향해 소정의 곡률을 갖도록 휘어지도록 형성될 수 있다. 이렇게 휘어진 부분(123)은 기판(20)의 쳐짐에 대응되어, 기판(20)이 쳐지는 양만큼 쳐지도록 형성된다. 즉, 휘어진 부분(123)의 곡률은 중력에 의해 쳐진 기판(20)의 곡률에 대응되는 곡률을 갖도록 한다. 이에 따라, 기판(20)과 마스크(11)의 밀착도가 더욱 높아질 수 있게 된다.
제1서브 프레임(121)의 휘어진 부분(123)의 곡률은 기판(20)의 사이즈에 따라 달라질 수 있는 데, 대략 다음과 같이 한정될 수 있다.
도 4에서 볼 때, 기판(20)의 장변의 길이를 x1이라 하고, 기판(20)이 중력에 의해 쳐진 깊이를 y1이라 하며, 기판(20)의 대략 중앙 부분에서 쳐진 부분의 곡률반경을 r1이라 할 때, r1은 하기 식에 의해 구해질 수 있다.
r12=(r1-y1)2+(x1/2)2
이러한 기판(20)의 쳐진 부분의 곡률 반경과 프레임(12)의 휘어진 부분(123)의 곡률 반경은 일치하게 되므로, 프레임(12)의 휘어진 부분(123)의 곡률 반경을 r2라 할 때, r2=r1의 관계에 의해 상기 식으로 프레임(12)의 휘어진 부분(123)의 곡률 반경을 구할 수 있다.
물론, 도 4에서 볼 때, 제1서브 프레임(121)의 길이를 x2라 하고, 제1서브 프레임(121)의 휘어진 깊이를 y2라 하며, 제1서브 프레임(121)의 휘어진 부분(123)의 곡률반경을 r2라 할 때, r2는 동일한 방법으로 하기 식에 의해 구해질 수 있다.
r22=(r2-y2)2+(x2/2)2
이렇게 기판(20)의 쳐짐에 대응하여 미리 프레임(12)을 휘어놓음에 따라 기판(20)과 마스크(11)의 밀착도를 더욱 향상시킬 수 있고, 패턴 정밀도를 더욱 높일 수 있다.
뿐만 아니라, 도 1과 같은 증착 장치를 이용하여 증착할 때에, 마그네트 유니트(34)를 사용하지 않을 수 있어, 비용 저감 효과도 높일 수 있으며, 마스크(11)를 무리하게 기판(20)으로 당김에 의해, 기판(20) 상에 기형성된 막들이 마스크(11) 표면에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이러한 마스크 프레임 조립체(10)는 유기 전계 발광 표시장치의 유기 발광막 또는 상부 전극층의 증착에 사용할 수 있다.
다음으로, 상기와 같은 증착 마스크를 이용하여 유기 전계 발광 소자를 제조 하는 방법을 설명한다.
도 5는 본 발명의 마스크 프레임 조립체(10)를 이용하여 제조된 액티브 매트릭스영 유기 전계 발광 표시장치의 단면을 도시한 것이다.
도 5를 참조하면, 상기 액티브 매트리스형의 유기 전계 발광 표시 장치는 기판(20) 상에 형성된다. 상기 기판(20)은 투명한 소재, 예컨대 글래스 또는 플라스틱재로 형성될 수 있다. 상기 기판(20)상에는 전체적으로 버퍼층(21)이 형성되어 있다.
상기 버퍼층(21) 상에는 도 5에서 볼 수 있는 바와 같은 TFT(40)와, 커패시터(50)와, 유기 전계 발광 소자(60)가 형성되어 있다.
상기 버퍼층(21)의 윗면에는 소정 패턴으로 배열된 반도체 활성층(41)이 형성되어 있다. 상기 반도체 활성층(41)은 게이트 절연막(22)에 의하여 매립되어 있다. 상기 활성층(41)은 p형 또는 n형의 반도체로 구비될 수 있다.
상기 게이트 절연막(22)의 윗면에는 상기 활성층(41)과 대응되는 곳에 TFT(40)의 게이트 전극(42)이 형성된다. 그리고, 상기 게이트 전극(42)을 덮도록 층간 절연막(23)이 형성된다. 상기 층간 절연막(23)이 형성된 다음에는 드라이 에칭등의 식각 공정에 의하여 상기 게이트 절연막(22)과 층간 절연막(23)을 식각하여 콘택 홀을 형성시켜서, 상기 활성층(41)의 일부를 드러나게 한다.
그 다음으로, 상기 층간 절연막(23) 상에 소스/드레인 전극(43)이 형성되는 데, 콘택 홀을 통해 노출된 활성층(41)에 접촉되도록 형성된다. 상기 소스/드레인 전극(43)을 덮도록 보호막(24)이 형성되고, 식각 공정을 통하여 상기 드레인 전극 (43)의 일부가 드러나도록 한다. 상기 보호막(24) 위로는 보호막(24)의 평탄화를 위해 별도의 절연막을 더 형성할 수도 있다.
한편, 상기 유기 전계 발광 소자(60)는 전류의 흐름에 따라 적,녹,청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하기 위한 것으로서, 상기 보호막(24)상에 제 1 전극(61)을 형성한다. 상기 제 1 전극(61)은 TFT(40)의 드레인 전극(43)과 전기적으로 연결된다.
그리고, 상기 제 1 전극(61)을 덮도록 절연막(25)이 형성된다. 이 절연막(25)에 소정의 개구(64)를 형성한 후, 이 개구(64)로 한정된 영역 내에 유기 발광막(63)을 형성한다. 유기 발광막(63) 위로는 제 2 전극(62)을 형성한다.
상기 절연막(25)은 도 5와 같이 각 화소를 구획하는 화소정의막(Pixel Define Layer)이 되는 것으로, 유기물로 형성되어, 제 1 전극(61)이 형성되어 있는 기판의 표면, 특히, 보호층(24)의 표면을 평탄화한다.
상기 제 1 전극(61)과 제 2 전극(62)은 서로 절연되어 있으며, 유기 발광막(63)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 발광이 이뤄지도록 한다.
상기 유기 발광막(63)은 저분자 또는 고분자 유기물이 사용될 수 있는 데, 저분자 유기물을 사용할 경우 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐- 벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다. 이들 저분자 유기물은 도 1과 같은 증착 장치 및 본 발명의 마스크 프레임 조립체를 이용하여 진공증착의 방법으로 형성될 수 있다.
상기와 같은 유기 발광막은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 다양한 실시예들이 적용될 수 있음은 물론이다. 상기 제 1 전극(61)은 애노우드 전극의 기능을 하고, 상기 제 2 전극(62)은 캐소오드 전극의 기능을 할 수 있는 데, 물론, 이들 제 1 전극(61)과 제 2 전극(62)의 극성은 반대로 되어도 무방하다. 그리고, 제 1 전극(61)은 각 화소의 영역에 대응되도록 패터닝될 수 있고, 제 2 전극(62)은 모든 화소를 덮도록 형성될 수 있다.
상기 제 1 전극(61)은 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는 데, 투명전극으로 사용될 때에는 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3로 구비될 수 있고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, 및 이들의 화합물 등으로 반사층을 형성한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3로 투명전극층을 형성할 수 있다. 이러한 제1전극(61)은 스퍼터링 방법 등에 의해 성막된 후, 포토 리소그래피법 등에 의해 패터닝된다.
한편, 상기 제 2 전극(62)도 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는 데, 투명전극으로 사용될 때에는 이 제 2 전극(62)이 캐소오드 전극으로 사용되므로, 일함수가 작은 금속 즉, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, 및 이들의 화합물이 유기 발광막(63)의 방향을 향하도록 증착한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO, 또 는 In2O3 등으로 보조 전극층이나 버스 전극 라인을 형성할 수 있다. 그리고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 위 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, 및 이들의 화합물을 전면 증착하여 형성한다. 이 때, 증착은 전술한 유기 발광막(63)의 경우와 마찬가지로, 본 발명의 마스크 프레임 조립체를 사용하여 증착 형성될 수 있다.
본 발명은 이 외에도, 유기 TFT의 유기막 등의 증착에도 사용할 수 있으며, 기타, 다양한 소재의 성막 공정에 적용 가능하다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 사용자가 증착을 소망하는 유효 증착 영역에 대한 패턴 정밀도를 향상시킬 수 있다.
둘째, 단일 공정으로 여러 소자를 동시에 증착할 경우 토탈 피치의 정밀도를 향상시켜, 불량률을 저하시킬 수 있다.
셋째, 증착 마스크와 기판간의 정렬 위치를 정확히 맞출 수 있다.
넷째, 마스크를 인장력을 가해 지지할 경우에도 그 패턴 정밀도가 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
본 명세서에서는 본 발명을 한정된 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 사상적 범위 내에서 다양한 실시예가 가능하다. 그리고 설명되지는 않았으나 균등한 수단도 본 발명에 포함되는 것이라 할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 개구부를 갖는 프레임; 및
    상기 프레임에 인장력이 가하여진 상태로 지지되고, 상기 개구부에 대응되는 위치에 패터닝이 가능한 패턴부가 형성되며, 피증착 기판을 지지하는 마스크;를 포함하고,
    상기 프레임의 적어도 일부는 지면의 방향에 대해 소정의 곡률을 갖도록 휘어진 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임의 휘어진 부분의 곡률은 상기 피증착 기판이 중력에 의해 휘어진 곡률에 대응되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 피증착 기판의 장변 길이를 x1라 하고, 상기 피증착 기판이 중력에 의해 처진 길이를 y1라 하고, 상기 프레임의 휘어진 부분의 곡률 반경을 r이라 할 때, 상기 r은 하기 수학식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
    [수학식 1]
    r2=(r-y1)2+(x1/2)2
  4. 제1항에 있어서,
    상기 프레임은,
    서로 평행한 한 쌍의 제1서브 프레임; 및
    상기 제1서브 프레임의 단부를 각각 연결하고, 그 길이가 상기 제1서브 프레임의 길이 이하인 한 쌍의 제2서브 프레임;을 포함하고,
    상기 프레임의 휘어진 부분은 상기 제1서브 프레임인 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1서브 프레임의 길이를 x2라 하고, 상기 제1서브 프레임의 휘어진 깊이를 y2라 하며, 상기 제1서브 프레임의 휘어진 부분의 곡률 반경을 r이라 할 때, 상기 r은 하기 수학식 2를 만족하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
    [수학식 2]
    r2=(r-y2)2+(x2/2)2
  6. 기판 상에 제1전극층, 유기 발광층, 및 제2전극층이 순차로 형성된 유기 전계 발광 표시장치를 제조하는 방법에 있어서,
    상기 유기 발광층 및 제2전극층의 형성은 챔버 내에서 상기 기판에 마스크 프레임 조립체를 개재한 채로 증착하여 이루어지는 것이고,
    상기 마스크 프레임 조립체는,
    개구부를 갖는 프레임; 및
    상기 프레임에 인장력이 가하여진 상태로 지지되고, 상기 개구부에 대응되는 위치에 패터닝이 가능한 패턴부가 형성되며, 피증착 기판을 지지하는 마스크;를 포함하고,
    상기 프레임의 적어도 일부는 지면의 방향에 대해 소정의 곡률을 갖도록 휘어진 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 프레임의 휘어진 부분의 곡률은 상기 피증착 기판이 중력에 의해 휘어진 곡률에 대응되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 피증착 기판의 장변 길이를 x1라 하고, 상기 피증착 기판이 중력에 의해 처진 길이를 y1라 하고, 상기 프레임의 휘어진 부분의 곡률 반경을 r이라 할 때, 상기 r은 하기 수학식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조방법.
    [수학식 3]
    r2=(r-y1)2+(x1/2)2
  9. 제6항에 있어서,
    상기 프레임은,
    서로 평행한 한 쌍의 제1서브 프레임; 및
    상기 제1서브 프레임의 단부를 각각 연결하고, 그 길이가 상기 제1서브 프레임의 길이 이하인 한 쌍의 제2서브 프레임;을 포함하고,
    상기 프레임의 휘어진 부분은 상기 제1서브 프레임인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1서브 프레임의 길이를 x2라 하고, 상기 제1서브 프레임의 휘어진 깊이를 y2라 하며, 상기 제1서브 프레임의 휘어진 부분의 곡률 반경을 r이라 할 때, 상기 r은 하기 수학식 2를 만족하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치의 제조방법.
    [수학식 4]
    r2=(r-y2)2+(x2/2)2
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