CN118077332A - 精细金属掩模板 - Google Patents

Abstract

精细金属掩模板的一实施例可包括：基片；掩模片，形成在基片，具有形成有多个单元的图案区域；以及切割区域，形成在基片与掩模片之间，切割区域包括：切割线，形成多个；以及桥部，配置在多个切割线中每个切割线的两端，形成多个并相互隔开，用于连接基片与掩模片。

Description

精细金属掩模板

技术领域

本发明涉及精细金属掩模板，更详细地，涉及用于制造显示器件的精细金属掩模板。

背景技术

该部分所记述的内容仅简单提供本发明的背景信息，而并非构成现有技术。

显示器件，例如，有机发光二极管(OLED)器件利用如下原理，将有机物用作发光层，在下部电极与上部电极之间形成多层有机物层，当向下部电极与上部电极之间施加电压时，电子和空穴从阴极和阳极注入并在有机物层中复合来产生光。

当为了制造有机发光二极管器件而在透明绝缘性基板上蒸镀有机物多层膜时，仅在基板的器件形成区域上蒸镀有机物多层膜，为了防止在基板的剩余区域上蒸镀多层膜而通常使用精细金属掩模板(Fine Metal Mask，FMM)，即，荫罩(Shadow mask)。这种荫罩对有机发光二极管器件的质量和整体收益率产生很大的影响，因此，荫罩的重要性日益增加。

在精细金属掩模板形成用于制造显示器件的掩模片，其可以从精细金属掩模板分离制造。

在掩模片上形成图案区域。多个单元隔着间隔形成在图案区域。并且，为了从精细金属掩模板分离掩模片，在掩模片的周围形成修剪线或切割线。

切割线为在掩模制造工序中使用激光切割装置等来切割而成的线。由此，当沿着切割线进行切割时，掩模片可以从精细金属掩模板分离。

另一方面，精细金属掩模板将经过多个步骤的制造工序。为了从一个工序移动到另一个工序，例如，精细金属掩模板可卷绕在辊装置等来移动。

因此，在进行这种制造工序的过程中，精细金属掩模板可以发生弯曲(bending)或变形。精细金属掩模板整体上形成为薄膜形态，因此，精细金属掩模板有可能因这种变形而破损。

尤其，当附着在精细金属掩模板的掩模片破损时，这有可能导致产品不良。因此，需要可以在制造过程中抑制因精细金属掩模板的变形而引起的掩模片破损的解决方案。

发明内容

技术问题

因此，本发明的目的在于，提供具有可以在制造过程中抑制因变形引起的破损的结构的精细金属掩模板。

并且，本发明的目的在于，提供具有即使精细金属掩模板发生变形也可以抑制掩模片破损的精细金属掩模板。

本发明的目的并不局限于以上提及的目的，未提及的本发明的其他目的及优点可通过以下的说明理解，且可通过本发明的实施例更加明确地理解。并且，本发明的目的及优点可通过发明要求保护范围中呈现的方案及其组合轻松实现。

技术方案

精细金属掩模板的一实施例可包括：基片；掩模片，形成在基片，具有形成有多个单元的图案区域；以及切割区域，形成在基片与掩模片之间，切割区域包括：切割线，形成多个；以及桥部，分别配置在多个切割线中每个切割线的两端，形成多个并相互隔开，用于连接基片与掩模片。

切割线可贯通精细金属掩模板。

切割线可半蚀刻在精细金属掩模板来形成。

精细金属掩模板的一实施例还可包括：狭缝孔，以长度方向与精细金属掩模板平行的方式配置，用于分离基片与掩模片；以及夹紧孔，配置在与狭缝孔隔开的位置，

切割区域可包括：第一区域，从狭缝孔延伸，长度方向与狭缝孔的长度方向平行；第二区域，从第一区域的端部延伸，长度方向与第一区域的长度方向交叉；第三区域，从夹紧孔延伸，以与第二区域的端部相接的方式配置，长度方向与第二区域的长度方向交叉；以及第四区域，从第二区域和第三区域的端部延伸，长度方向与第二区域的长度方向平行并与第三区域的长度方向交叉。

精细金属掩模板的一实施例还可包括第一线，第一线贯通基片，从第一区域延伸，长度方向与第一区域的长度方向平行并与第二区域的长度方向交叉。

切割线形成在第一区域和第二区域，并包括弯曲部，弯曲部以弯曲的方式形成在切割线的端部，延伸桥部的长度。

在桥部可形成两端连接在相邻的弯曲部的半蚀刻线。

在第一区域和第二区域中，切割线的宽度可大于桥部的宽度。

在第三区域和第四区域中，切割线的宽度可以与桥部的宽度相同。

精细金属掩模板的另一实施例还可包括：第二线，贯通基片，从第一区域延伸，长度方向与第一区域的长度方向平行并与第二区域的长度方向交叉；以及第三线，贯通基片，从第三区域延伸，长度方向与第三区域的长度方向平行并与第二区域的长度方向交叉。

在第一区域和第二区域中，切割线的宽度可大于桥部的宽度。

在第三区域中，切割线的宽度可小于桥部的宽度。

在第四区域中，切割线的宽度可以与桥部的宽度相同。

发明的效果

在本发明的精细金属掩模板中，第一线、第二线及第三线可以减少基片与掩模片彼此之间的变形的影响。因此，可以有效抑制因基片的变形而导致掩模片发生变形并破损。

并且，在本发明的精细金属掩模板中，弯曲部和半蚀刻线可以有效抑制因基片的变形而导致掩模片发生变形并破损。

并且，在本发明的精细金属掩模板中，宽度比桥部相对较长的切割线可以减少基片与掩模片彼此之间的变形的影响。因此，可以有效抑制因基片的变形而导致掩模片发生变形并破损。

除上述效果之外，以下，在说明本发明的具体实施方式的过程中一同说明本发明的技术效果。

附图说明

图1为示出一实施例的精细金属掩模板的俯视图。

图2为示出从图1的精细金属掩模板分离的掩模片的俯视图。

图3为示出再一实施例的精细金属掩模板的俯视图。

图4为示出图3的A部分的图。

图5为示出图3的B部分的图。

图6为示出另一实施例的精细金属掩模板的俯视图。

图7为示出图6的C部分的图。

图8为示出图6的D部分的图。

具体实施方式

参照附图，对上述目的、特征及优点进行详细后述，使得本发明所属技术领域的普通技术人员可以轻松实施本发明的技术思想。在说明本发明的过程中，在判断为对与本发明有关的公知技术的具体说明不必要地混淆本发明的主旨的情况下，将省略对其的详细说明。以下，参照附图，对本发明的优选实施例进行详细说明。在附图中，相同的附图标记表示相同或类似的结构要素。

虽然第一、第二等用于说明多种结构要素，但这些结构要素并不局限于这些术语。这些术语仅用于区分两种结构要素，除非有特别相反的记载，否则第一结构要素也可以命名为第二结构要素。

在整个说明书中，除非有特别相反的记载，否则各结构要素可以为单数或复数。

除非在上下文中明确表示，否则在本说明书中所使用的单数的表述包括复数的表述。在本申请中，“构成”或“包括”等术语不应被解释成必须包括说明书上记载的多个结构要素或多个步骤，也可以包括其中一部分结构要素或一部分步骤，或者还可以包括追加的结构要素或步骤。

在整个说明书中，当说明成“A和/或B”时，除非有特别相反的记载，否则意味着A、B或A及B，当说明成“C至D”时，除非有特别相反的记载，否则意味着C以上且D以下。

图1为示出一实施例的精细金属掩模板的俯视图。图2为示出从图1的精细金属掩模板分离的掩模片200的俯视图。精细金属掩模板由金属材质形成，并可形成为薄膜板形。一实施例的精细金属掩模板可包括基片100、掩模片200及切割区域300。

基片100可用于制造上述掩模片200。掩模片200能够以附着在基片100的状态制造。掩模片200与基片100可形成为一体，之后，可从基片100分离掩模片200并完成制造。

掩模片200可形成在上述基片100，并可具有形成有多个单元的图案区域210。掩模片200可用于制造显示器件。在完成精细金属掩模板的制造之后，掩模片200可从基板100分离。

例如，图案区域210可形成为矩形。例如，形成在上述图案区域210的多个单元可具有网格(mesh)形状，可利用上述多个单元来进行用于制造显示器件的掩模工序。

切割区域300可形成在上述基片100与上述掩模片200之间，在完成精细金属掩模板的制造之后，可从上述切割区域300切断掩模片200，从而制造出图2所示的形状。

一实施例的精细金属掩模板还可包括狭缝孔400和夹紧孔500。

狭缝孔400以长度方向与上述精细金属掩模板平行的方式配置，可以分离上述基片100和上述掩模片200。上述狭缝孔400可形成一对。

掩模片200的一部分一开始就可以通过狭缝孔400与基片100分离来制造。因此，在完成制造精细金属掩模板之后，工作人员通过仅切割形成有切割区域300的部分来分离掩模片200。因此，狭缝孔400可以使掩模片200的分离作业变得简单，并可以在切割作业中减少掩模片200的破损。

夹紧孔500可配置在与上述狭缝孔400隔开的位置，例如，一部分可以形成为具有曲线部位的通孔。在从基片100分离掩模片200之后，可向上述夹紧孔500插入夹紧机构来固定掩模片200并进行掩模工序。

精细金属掩模板将经过多个步骤的制造工序。为了从一个工序移动到另一个工序，例如，精细金属掩模板可卷绕在辊装置等来移动。

因此，在进行这种制造工序的过程中，精细金属掩模板有可能弯曲(bending)或发生变形。精细金属掩模板整体上形成为薄膜，因此，因这种变形，精细金属掩模板有可能破损。

尤其，当附着在精细金属掩模板的掩模片200破损时，这有可能会导致产品不良。以下，对可以在制造过程中抑制因精细金属掩模板的弯曲等变形而导致掩模片破损的精细金属掩模板的结构进行具体说明。

图3为示出再一实施例的精细金属掩模板的俯视图。图4为示出图3的A部分的图。图5为示出图3的B部分的图。

切割区域300可包括切割线310和桥部320。切割线310可在切割区域300形成多个。每个切割线310可通过桥部320相互隔开。

切割线310可以与狭缝孔400相连接。当从基片100分离掩模片200时，掩模片200沿着切割线310分离，因此，切割线310可以具有与狭缝孔400一同形成完成的掩模片200的外形的形状。

一实施例的切割线310可贯通上述精细金属掩模板。当贯通结构的切割线310分离掩模片200时，可仅切割与切割线310一同排列的桥部320来从基片100分离掩模片200。

另一实施例的切割线310可半蚀刻在上述精细金属掩模板来形成。当半蚀刻结构的切割线310分离掩模片200时，具有相对较薄厚度的切割线310轻松被切断，桥部320也会被一同切断，由此可从基片100分离掩模片200。

桥部320可配置在多个上述切割线310中每个切割线310的两端，形成多个并相互隔开，用于连接上述基片100与上述掩模片200。桥部320使得基片100与掩模片200相互结合，从而，即使在制造精细金属掩模板的过程中受到外力，掩模片200也不会轻易从基片100分离。

切割区域300可由多个切割线310和桥部320交替排列而成。当分离掩模片200时，可切割上述桥部320来完成掩模片200的分离。

切割区域300可以形成为在以夹紧孔500为中心与精细金属片的长度方向交叉的方向上对称。并且，夹紧孔500可分别形成在精细金属片的长度方向两端部，因此，切割区域300可形成为相对于精细金属片的中心对称。

另一方面，参照图1及图3，切割区域300可包括第一区域301、第二区域302、第三区域303及第四区域304。上述第一区域301至第四区域304可分别为切割线310和桥部320彼此交替排列的结构。

第一区域301可从上述狭缝孔400延伸，长度方向与上述狭缝孔400的长度方向平行。第二区域302可从上述第一区域301的端部延伸，长度方向与上述第一区域301的长度方向交叉。

第三区域303可从上述夹紧孔500延伸，与上述第二区域302的端部相接，长度方向与上述第二区域302的长度方向交叉。

第四区域304可从上述第二区域302和上述第三区域303的端部延伸，长度方向与上述第二区域302的长度方向平行并与上述第三区域303的长度方向交叉。

如图4所示，精细金属掩模板还可包括第一线610，第一线610可从上述第一区域301延伸，长度方向与上述第一区域301的长度方向平行并与上述第二区域302的长度方向交叉。第一线610可以形成一对。

第一线610可贯通精细金属掩模板。第一线610可形成在基片100，从而可以减少通过第一线610分离的多个基片100彼此之间的变形的影响。

并且，第一线610可以减少基片100与掩模片200彼此之间的变形的影响。因此，可以有效抑制因基片100的变形而导致掩模片200发生变形并破损。

形成在上述第一区域301和上述第二区域302的上述切割线310可包括弯曲部311，弯曲部311以弯曲的方式形成在上述切割线310的端部，延伸上述桥部320的长度L1。

参照图4及图5，上述弯曲部311可从切割线310延伸，宽度可大于切割线310的其他部位。因上述弯曲部311，桥部320的长度L1可以变长。

另一方面，上述桥部320可形成两端连接在相邻的弯曲部311的半蚀刻线321。半蚀刻线321的宽度相对小于桥部320的其他部位，因此，当切割桥部320时，可以在上述半蚀刻线321中干净地切割，从而可以减少掩模片200破损等产品不良的发生。

桥部320的长度变长，因此可以减少通过桥部320连接的基片100与掩模片200彼此之间变形的影响。并且，当桥部320过度变形时，在半蚀刻线321中有可能发生切断，由此可以抑制基片100发生的变形通过上述桥部320传递到掩模片200。

因此，弯曲部311和半蚀刻线321可有效抑制因基片100的变形而导致掩模片200发生变形并破损。

在上述第一区域301和上述第二区域302中，上述切割线310的宽度W1可大于上述桥部320的宽度W2。宽度相对大于桥部320的宽度的切割线310可以减少基片100与掩模片200彼此之间的变形的影响。因此，可以有效抑制因基片100的变形而导致掩模片200发生变形并破损。

在上述第三区域303和上述第四区域304中，上述切割线310的宽度与上述桥部320的宽度可以相同。在第一区域301和第四区域304中，当精细金属掩模片因外力而变形时，桥部320有可能被切断。在此情况下，即使桥部320被切断，也可以继续进行精细金属片的制造工序。

但是，直到进行分离掩模片200的工序之前，掩模片200和基片100的至少一部分应维持结合状态。因此，直到进行掩模片200分离工序之前，在第三区域303和第四区域304中，应防止桥部320因外力而被切断。

为此，在上述第三区域303和上述第四区域304中，桥部320的宽度与切割线310的宽度相同，由此，桥部320与切割线310所占据的面积相同，从而桥部320可以具有坚固的结构。

因这种结构，在第三区域303和第四区域304中，在进行掩模片200分离工序之前，可以抑制桥部320因外力而被切断。

图6为示出另一实施例的精细金属掩模板的俯视图。图7为示出图6的C部分的图。图8为示出图6的D部分的图。以下，将省略对与上述说明重复部分的说明。

精细金属掩模板还可包括第二线620和第三线630。第二线620和第三线630可分别形成一对。第二线620及第三线630可贯通精细金属掩模板。

第二线620可贯通上述基片100，从上述第一区域301延伸，长度方向与上述第一区域301的长度方向平行并与上述第二区域302的长度方向交叉。

第三线630可贯通上述基片100，从上述第三区域303延伸，长度方向与上述第三区域303的长度方向平行并与上述第二区域302的长度方向交叉。

第二线620和第三线630可形成在基片100，可减少通过第二线620和第三线630分离的多个基片100彼此之间的变形的影响。

并且，第二线620和第三线630可以减少基片100与掩模片200彼此之间的变形的影响。因此，可以有效抑制因基片100的变形而导致掩模片200发生变形并破损。

在上述第一区域301和上述第二区域302中，上述切割线310的宽度W1可大于上述桥部320的宽度W2。宽度相对大于桥部320的宽度的切割线310可以减少基片100与掩模片200彼此之间的变形的影响。因此，可以有效防止因基片100的变形而导致掩模片200发生变形并破损。

在上述第三区域303中，上述切割线310的宽度可小于上述桥部320的宽度。并且，在上述第四区域304中，上述切割线310的宽度可以与上述桥部320的宽度相同。

如上所述，直到进行分离掩模片200的工序之前，掩模片200和基片100的至少一部分应维持结合状态。因此，直到进行掩模片200分离工序之前，在第三区域303和第四区域304中，应防止桥部320因外力而被切断。

为此，在上述第三区域303中，桥部320的宽度相对大于切割线310，由此桥部320可以具有坚固的结构。并且，在上述第四区域304中，桥部320的宽度与切割线310的宽度相同，由此，桥部320与切割线310所占据的面积相同，因而桥部320可以具有坚固的结构。

因这种结构，在第三区域303和第四区域304中，在进行掩模片200分离工序之前，可以抑制桥部320因外力而被切断。

另一方面，图3和图6所示的第一区域301至第四区域304可以彼此组合成多种情况来形成更多实施例。

如上所述，参照例示的附图对本发明进行了说明，本发明并不局限于本说明书中所记载的实施例和附图，本发明所属技术领域的普通技术人员可以进行多种变形。同时，在说明上述本发明实施例的过程中，即使并不明示性记载并说明本发明结构的作用效果，可通过对应结构预测的效果也应得到认证。

Claims (13)

1.一种精细金属掩模板，其特征在于，

包括：

基片；

掩模片，形成在上述基片，具有形成有多个单元的图案区域；以及

切割区域，形成在上述基片与上述掩模片之间，

上述切割区域包括：

切割线，形成多个；以及

桥部，配置在多个上述切割线中每个切割线的两端，形成多个并相互隔开，用于连接上述基片与上述掩模片。

2.根据权利要求1所述的精细金属掩模板，其特征在于，上述切割线贯通上述精细金属掩模板。

3.根据权利要求1所述的精细金属掩模板，其特征在于，上述切割线半蚀刻在上述精细金属掩模板来形成。

4.根据权利要求1所述的精细金属掩模板，其特征在于，

还包括：

狭缝孔，以长度方向与上述精细金属掩模板平行的方式配置，用于分离上述基片与上述掩模片；以及

夹紧孔，配置在与上述狭缝孔隔开的位置，

上述切割区域包括：

第一区域，从上述狭缝孔延伸，长度方向与上述狭缝孔的长度方向平行；

第二区域，从上述第一区域的端部延伸，长度方向与上述第一区域的长度方向交叉；

第三区域，从上述夹紧孔延伸，以与上述第二区域的端部相接的方式配置，长度方向与上述第二区域的长度方向交叉；以及

第四区域，从上述第二区域和上述第三区域的端部延伸，长度方向与上述第二区域的长度方向平行并与上述第三区域的长度方向交叉。

5.根据权利要求4所述的精细金属掩模板，其特征在于，还包括第一线，贯通上述基片，从上述第一区域延伸，长度方向与上述第一区域的长度方向平行并与上述第二区域的长度方向交叉。

6.根据权利要求5所述的精细金属掩模板，其特征在于，上述切割线形成在上述第一区域和上述第二区域，并包括弯曲部，上述弯曲部以弯曲的方式形成在上述切割线的端部，延伸上述桥部的长度。

7.根据权利要求6所述的精细金属掩模板，其特征在于，在上述桥部形成两端连接在相邻的弯曲部的半蚀刻线。

8.根据权利要求5所述的精细金属掩模板，其特征在于，在上述第一区域和上述第二区域中，上述切割线的宽度大于上述桥部的宽度。

9.根据权利要求5所述的精细金属掩模板，其特征在于，在上述第三区域和上述第四区域中，上述切割线的宽度与上述桥部的宽度相同。

10.根据权利要求4所述的精细金属掩模板，其特征在于，还包括：

第二线，贯通上述基片，从上述第一区域延伸，长度方向与上述第一区域的长度方向平行并与上述第二区域的长度方向交叉；以及

第三线，贯通上述基片，从上述第三区域延伸，长度方向与上述第三区域的长度方向平行并与上述第二区域的长度方向交叉。

11.根据权利要求10所述的精细金属掩模板，其特征在于，在上述第一区域和上述第二区域中，上述切割线的宽度大于上述桥部的宽度。

12.根据权利要求10所述的精细金属掩模板，其特征在于，在上述第三区域中，上述切割线的宽度小于上述桥部的宽度。

13.根据权利要求10所述的精细金属掩模板，其特征在于，在上述第四区域中，上述切割线的宽度与上述桥部的宽度相同。