KR20210049115A - 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

증착 마스크의 가장자리에 추종한 형상을 갖는 띠상부와, 띠상부의 가장자리에 추종한 형상을 갖는 내측 가장자리를 가지고 띠상부를 둘러싸는 프레임 형상부와, 띠상부의 가장자리를 프레임 형상부의 내측 가장자리에 접속하는 복수의 가교부를 구비한다. 띠상부는, 각 가교부의 절단에 의해 증착 마스크를 형성한다. 띠상부의 가장자리에는, 절결의 바닥부에 추종한 형상을 갖는 만곡부가 형성되어 있고, 각 가교부는 띠상부의 가장자리 중에서 만곡부 이외의 부위에 접속되어 있다.

Description

증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법

본 발명은 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법에 관한 것이다.

증착 마스크는, 표면과 이면을 구비하는 사각형 판상을 가지고 있다. 증착 마스크는, 표면에서 이면까지를 관통하는 복수의 관통공을 가지고 있다. 각 관통공은, 표면으로 개구된 제 1 개구와, 이면으로 개구된 제 2 개구를 가지고 있다. 각 관통공은, 증착 재료의 통로이다. 증착 마스크를 사용하여 대상물에 대한 증착이 실시될 때에는, 증착 재료는, 제 1 개구로부터 관통공에 들어감으로써, 제 2 개구의 형상 및 위치에 대응하는 패턴을 대상물에 형성한다. 관통공을 구획하는 벽면이 증착 재료의 통과를 방해하는 것을 억제할 목적으로, 50 ㎛ 이하의 두께를 가진 증착 마스크가 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 을 참조).

일본 특허 제6319505호

그런데, 증착 마스크의 사용시에는, 증착 마스크가 지지 프레임에 고정된다. 이 때에, 증착 마스크는, 증착 마스크의 길이 방향을 따르는 장력이 가해진 상태에서, 프레임에 고정된다. 증착 마스크는 매우 얇기 때문에, 증착 마스크가 프레임에 고정될 때에, 장력의 인가에 의해 주름이나 비틀림 등의 변형이 증착 마스크에 생기는 경우가 있다. 그러므로, 증착 마스크의 사용시에 있어서, 증착 마스크의 변형을 억제할 것이 요구되고 있다.

본 발명은, 증착 마스크의 사용시에 있어서의 증착 마스크의 변형을 억제하는 것을 가능하게 한 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크 중간체는, 증착 마스크를 제조하기 위한 금속제의 시트를 포함한다. 상기 증착 마스크는, 1 쌍의 제 1 가장자리부와 1 쌍의 제 2 가장자리부에 둘러싸인 띠상을 갖고, 각 제 2 가장자리부는, 상기 제 1 가장자리부보다 짧고, 절결을 구비하고, 상기 절결은, 상기 제 1 가장자리부가 연장되는 방향인 길이 방향으로 패이는 U 자 형상 부분을 갖고, 상기 U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선상이다. 상기 증착 마스크 중간체는, 상기 증착 마스크의 가장자리에 추종한 형상을 갖는 띠상부와, 상기 띠상부의 가장자리에 추종한 형상을 갖는 내측 가장자리를 가지고 상기 띠상부를 둘러싸는 프레임 형상부와, 상기 띠상부의 상기 가장자리를 상기 프레임 형상부의 내측 가장자리에 접속하는 복수의 가교부를 구비한다. 상기 띠상부는, 각 가교부의 절단에 의해 상기 증착 마스크를 형성한다. 상기 띠상부의 상기 가장자리에는, 상기 절결의 상기 바닥부에 추종한 형상을 갖는 만곡부가 형성되어 있다. 각 가교부는, 상기 띠상부의 상기 가장자리 중에서 상기 만곡부 이외의 부위에 접속되어 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크는, 금속제의 시트를 포함하는 증착 마스크 중간체의 띠상부인 증착 마스크로서, 상기 증착 마스크 중간체는, 1 쌍의 제 1 가장자리부와 1 쌍의 제 2 가장자리부에 둘러싸인 띠상부와, 당해 띠상부를 둘러싸는 프레임 형상부와, 상기 띠상부와 상기 프레임 형상부에 접속된 복수의 가교부를 구비하고, 상기 띠상부는 상기 증착 마스크 중간체로부터 상기 가교부의 절단에 의해 떼어내어지도록 구성되어 있다. 각 제 2 가장자리부는, 상기 제 1 가장자리부보다 짧고, 절결을 구비하고, 상기 절결은, 상기 제 1 가장자리부가 연장되는 방향인 길이 방향으로 패이는 U 자 형상 부분을 갖고, 상기 U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선상이다. 상기 증착 마스크의 가장자리에는, 상기 절결의 상기 바닥부인 만곡부가 형성되어 있다. 상기 가교부의 절단에 의해, 상기 증착 마스크의 상기 가장자리 중에서 상기 만곡부 이외의 부위에 가교 자국이 형성된다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크의 제조 방법은, 1 쌍의 제 1 가장자리부와 1 쌍의 제 2 가장자리부에 둘러싸인 띠상을 갖고, 각 제 2 가장자리부는, 상기 제 1 가장자리부보다 짧고, 절결을 구비하고, 상기 절결은, 상기 제 1 가장자리부가 연장되는 방향인 길이 방향으로 패이는 U 자 형상 부분을 갖고, 상기 U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선상인 증착 마스크를 제조하는 방법이다. 금속제의 시트를 포함하는 증착 마스크 중간체로서, 상기 증착 마스크의 가장자리에 추종한 형상을 갖는 띠상부와, 상기 띠상부의 가장자리에 추종한 내측 가장자리를 가지고 상기 띠상부를 둘러싸는 프레임 형상부와, 상기 띠상부의 상기 가장자리를 상기 프레임 형상부의 상기 내측 가장자리에 접속하는 복수의 가교부를 구비하는 증착 마스크 중간체를 형성하는 것과, 각 가교부의 절단에 의해, 상기 띠상부로부터 증착 마스크를 형성하는 것을 구비한다. 상기 띠상부로부터 증착 마스크를 형성하는 것에 있어서, 상기 띠상부의 상기 가장자리에는 상기 절결의 상기 바닥부에 추종한 형상을 갖는 만곡부가 형성되고, 또한, 각 가교부는 상기 띠상부의 상기 가장자리 중에서 상기 만곡부 이외의 부위에 접속된다.

상기 구성에 의하면, 띠상부로 형성되는 증착 마스크가, U 자 형상 부분을 포함하고 또한 U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선상인 절결을 구비한다. 그 때문에, 각 제 2 가장자리부에 있어서의 절결의 양측을, 1 쌍의 제 2 가장자리부가 서로로부터 멀어지는 방향으로 당김으로써 증착 마스크에 장력을 준 경우에, 절결에 작용한 힘이, 절결이 갖는 형상에 의해 분산된다. 이로써, 증착 마스크의 사용시에, 증착 마스크에 주름이나 비틀림 등의 변형이 생기는 것이 억제된다.

또, 띠상부를 프레임 형상부에 접속시키는 가교부가, 띠상부의 가장자리 중에서, 만곡부 이외의 부위에 접속한다. 그 때문에, 가교부의 절단에 의해 형성된 증착 마스크에 있어서, 절결의 만곡부에 가교부의 일부가 남겨지거나, 만곡부의 일부가 결여되거나 하는 것이 억제된다. 이로써, 만곡부의 형상이, 증착 마스크에 부여된 장력을 분산시키는 것이 가능한 형상으로 유지된다. 그 때문에, 증착 마스크의 사용시에, 증착 마스크에 변형이 생기는 것이 억제된다.

상기 증착 마스크 중간체에 있어서, 상기 띠상부의 상기 가장자리는, 상기 1 쌍의 제 1 가장자리부와 상기 1 쌍의 제 2 가장자리부를 포함하고, 상기 띠상부의 각 제 2 가장자리부는, 상기 복수의 가교부에 의해 상기 프레임 형상부에 접속되는 접속 부위를 가져도 된다.

증착 마스크 중간체가 제작될 때에는, 증착 마스크 중간체에 대해 길이 방향을 따르는 장력이 주어져 있는 상태에서, 증착 마스크 중간체가 반송된다. 상기 구성에 의하면, 띠상부의 제 2 가장자리부가 가교부에 의해 프레임 형상부에 접속되어 있기 때문에, 증착 마스크 중간체의 제작시에 증착 마스크 중간체가 반송될 때에, 띠상부에 있어서의 길이 방향의 양 단부 (端部) 가, 프레임 형상부에 의해 계속 지지된다. 이로써, 길이 방향을 따르는 장력의 크기가, 길이 방향의 일방의 단부와 타방의 단부에 있어서 불균일했다고 하더라도, 띠상부의 변형을 억제할 수 있다.

상기 증착 마스크 중간체에 있어서, 상기 띠상부의 각 제 2 가장자리부는, 상기 증착 마스크의 상기 절결에 추종한 형상을 갖는 절결을 구비하고, 상기 띠상부의 각 절결은, 상기 접속 부위 사이에 두어져 있어도 된다.

상기 구성에 의하면, 절결의 양측이 가교부에 의해 프레임 형상부에 접속된다. 그 때문에, 절결의 양측 중 일방만이 가교부에 의해 프레임 형상부에 접속되는 경우에 비해, 증착 마스크 중간체의 제작에 있어서 증착 마스크 중간체가 길이 방향을 따라 반송될 때에, 띠상부가 프레임 형상부에 계속 지지된다. 또, 절결의 양측 중 일방만이 가교부에 의해 프레임 형상부에 접속되는 경우에 비해, 프레임 형상부에 대해 띠상부가 잘 변위되지 않는다. 그 때문에, 증착 마스크 중간체의 제작에 있어서 증착 마스크 중간체가 길이 방향을 따라 반송될 때에, 띠상부가 예를 들어 반송 기구 등에 접촉함으로써, 띠상부의 일부가 절곡되는 것이 억제된다.

상기 증착 마스크 중간체에 있어서, 상기 띠상부의 제 2 가장자리부는, 상기 증착 마스크의 상기 절결에 추종한 형상을 갖는 절결을 구비하고, 상기 프레임 형상부의 내측 가장자리는, 상기 띠상부의 상기 절결에 추종한 형상을 갖는 돌출 형상 가장자리를 구비하고, 상기 띠상부의 각 절결은, 상기 만곡부와, 상기 만곡부로부터 상기 길이 방향으로 연장되는 1 쌍의 직선부를 포함하고, 각 직선부는, 상기 가교부에 의해 상기 돌출 형상 가장자리에 접속되어 있어도 된다.

띠상부 중에서 절결을 사이에 두는 부분은, 띠상부 중의 다른 부분과 비교하여, 길이 방향과 직교하는 방향에서의 폭이 작다. 상기 구성에 의하면, 각 직선부가 돌출 형상 가장자리에 접속됨으로써, 각 직선부와 돌출 형상 가장자리의 강성이 높아진다. 이로써, 띠상부의 변형이 억제된다. 게다가, 돌출 형상 가장자리가 띠상부에 대해 절곡되는 것이 억제된다. 결과적으로, 증착 마스크 중간체의 반송시에, 띠상부의 일부나 돌출 형상 가장자리가 반송 기구 등에 걸리는 것이 억제된다.

상기 증착 마스크 중간체에 있어서, 상기 띠상부의 상기 가장자리는, 상기 1 쌍의 제 1 가장자리부와 상기 1 쌍의 제 2 가장자리부를 포함하고, 상기 띠상부의 각 제 1 가장자리부는, 상기 복수의 가교부에 의해 상기 프레임 형상부에 접속되어 있어도 된다. 상기 구성에 의하면, 증착 마스크 중간체의 반송시에 있어서, 띠상부의 제 1 가장자리부가 프레임 형상부에 계속 지지된다. 그 때문에, 각 제 1 가장자리부가 절곡되는 것이 억제되어, 띠상부의 변형이 억제된다.

상기 증착 마스크 중간체에 있어서, 상기 띠상부의 각 제 2 가장자리부는, 상기 증착 마스크의 상기 절결에 추종한 형상을 갖고, 상기 만곡부를 포함하는 절결을 구비하고, 상기 띠상부의 각 제 1 가장자리부는, 제 1 접속 부위에 있어서 상기 프레임 형상부에 접속되어 있고, 상기 띠상부의 각 제 2 가장자리부는, 제 2 접속 부위에 있어서 상기 복수의 가교부에 의해 상기 프레임 형상부에 접속되어 있고, 상기 만곡부에 비해, 상기 제 1 접속 부위는 상기 길이 방향에 있어서 상기 제 2 접속 부위쪽에 위치해도 된다.

띠상부 중에서 제 1 가장자리부와 제 2 가장자리부에 의해 형성되는 모서리부는, 제 2 가장자리부의 중앙이나 제 1 가장자리부의 중앙과 비교하여, 프레임 형상부로부터 들뜨기 쉽다. 또, 띠상부 중에서 절결을 사이에 두는 부분은, 절결이 위치하는 분만큼, 다른 부분과 비교하여 강성이 낮다. 상기 구성에 의하면, 제 1 접속 부위가, 만곡부보다 제 2 접속 부위쪽에 위치하기 때문에, 띠상부의 모서리부가 프레임 형상부에 대해 들뜨는 것이 억제된다. 그 때문에, 증착 마스크 중간체의 제작에 있어서 증착 마스크 중간체가 길이 방향을 따라 반송될 때에, 모서리부가 반송 기구 등에 걸리는 것이 억제된다.

상기 증착 마스크 중간체에 있어서, 상기 띠상부는, 복수의 관통공을 포함하는 마스크부를 포함하고, 상기 띠상부의 각 제 1 가장자리부는, 상기 길이 방향에 있어서, 상기 마스크부와 겹치지 않는 부위에서 상기 가교부에 의해 상기 프레임 형상부에 접속되어 있어도 된다.

상기 구성에 의하면, 길이 방향에 있어서, 가교부와 마스크부가 나열되는 경우와 비교하여, 증착 마스크 중간체의 제작에 있어서 증착 마스크 중간체가 길이 방향을 따라 반송될 때에, 가교부를 통해 마스크부에 작용하는 힘이 완화된다. 그러므로, 마스크부가 갖는 관통공의 변형이 억제된다.

상기 증착 마스크 중간체에 있어서, 상기 프레임 형상부는, 상기 프레임 형상부의 상기 내측 가장자리로부터 상기 프레임 형상부의 외측 가장자리를 향하는 방향을 따라 연장되는 선상을 가진 취약부를 구비하고, 상기 취약부의 기계적인 강도는, 상기 프레임 형상부에 있어서의 상기 취약부 이외 부분에 있어서의 기계적인 강도보다 낮아도 된다.

상기 구성에 의하면, 취약부의 기계적인 강도가, 프레임 형상부에 있어서의 취약부 이외 부분에 있어서의 기계적인 강도보다 낮기 때문에, 프레임 형상부가 취약부를 따라 절단되기 쉽다. 게다가, 취약부에 있어서의 일방의 단부가 프레임 형상부의 내측 가장자리에 위치하기 때문에, 프레임 형상부로부터 띠상부를 떼어낼 때에 내측 가장자리가 형성하는 고리를 절단할 수 있다. 이로써, 가교부의 절단이 실시하기 쉬워진다.

본 발명에 의하면, 증착 마스크의 사용시에 있어서의 증착 마스크의 변형을 억제할 수 있다.

도 1 은, 증착 마스크 중간체의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 2 는, (a) 띠상부가 구비하는 절결의 제 1 예를 나타내는 평면도, (b) 띠상부가 구비하는 절결의 제 2 예를 나타내는 평면도이다.
도 3 은, (a) ∼ (c) 가교부와, 띠상부에 있어서 가교부가 접속되는 부위와, 프레임 형상부에 있어서 가교부가 접속되는 부위를 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 4 는, (a) 마스크부가 구비하는 관통공의 제 1 예를 나타내는 단면도, (b) 마스크부가 구비하는 관통공의 제 2 예를 나타내는 단면도이다.
도 5 는, 증착 마스크 중간체의 제 1 예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 6 은, 증착 마스크 중간체의 제 2 예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 7 은, 증착 마스크 중간체의 제 3 예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 8 은, 증착 마스크 중간체의 제 4 예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 9 는, 증착 마스크 중간체의 제 5 예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 10 은, 증착 마스크 중간체의 제 6 예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 11 은, 증착 마스크 중간체의 제 7 예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 12 는, 증착 마스크 중간체의 제 8 예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 13 은, 증착 마스크 중간체의 제 9 예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 14 는, 증착 마스크를 구비하는 마스크 장치의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 15 는, (a) ∼ (c) 증착 마스크가 구비하는 가교 자국을 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 16 은, 증착 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 플로 차트이다.
도 17 은, 증착 마스크 중간체의 변경예에 있어서의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 18 은, 도 17 에 있어서의 영역 A 를 확대하여 나타내는 부분 확대 평면도이다.
도 19 는, 도 17 에 있어서의 영역 B 를 확대하여 나타내는 부분 확대 평면도이다.
도 20 은, 도 17 에 있어서의 영역 C 를 확대하여 나타내는 부분 확대 평면도이다.

도 1 내지 도 16 을 참조하여, 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법의 일 실시형태를 설명한다. 이하에서는, 증착 마스크 중간체의 구성, 마스크 장치의 구성, 및 증착 마스크의 제조 방법을 순서대로 설명한다.

[증착 마스크 중간체의 구성]

도 1 내지 도 13 을 참조하여, 증착 마스크 중간체의 구성을 설명한다.

도 1 이 나타내는 증착 마스크 중간체 (10) 는, 증착 마스크를 제조하기 위한 금속판, 즉 금속 시트이다. 도 1 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 는, 길이 방향으로 연장되는 띠상을 가지고 있다. 증착 마스크의 제조시에 있어서, 증착 마스크 중간체 (10) 는, 길이 방향을 따라, 반송 롤러 등의 반송 기구에 의해 반송된다. 증착 마스크는, 1 쌍의 제 1 가장자리부와 1 쌍의 제 2 가장자리부에 둘러싸인 띠상을 갖는다. 각 제 2 가장자리부는, 제 1 가장자리부보다 짧고, 절결을 구비한다. 그 절결은, 제 1 가장자리부가 연장되는 방향인 길이 방향으로 패이는 U 자 형상 부분을 갖고, U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선이다. 제 1 가장자리부가 연장되는 길이 방향은, 증착 마스크 중간체 (10) 의 길이 방향 즉 반송 방향과 평행이다.

도 1 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 는, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 복수의 가교부 (13) 를 구비하고 있다. 띠상부 (11) 는, 증착 마스크의 가장자리에 추종한 형상을 가지고 있다. 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 는, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 와 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 로 구성되어 있다. 프레임 형상부 (12) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 에 추종한 내측 가장자리 (12E) 를 가지고 띠상부 (11) 를 둘러싸고 있다. 가교부 (13) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 를 프레임 형상부 (12) 의 내측 가장자리 (12E) 에 접속한다. 띠상부 (11) 는, 각 가교부 (13) 의 절단에 의해 증착 마스크를 형성한다. 띠상부 (11) 의 각 제 2 가장자리부 (11W) 는, 절결 (11N) 을 구비한다. 절결 (11N) 은, 증착 마스크의 절결에 추종한 U 자 형상 부분을 갖고, U 자 형상 부분의 바닥부는 곡선이다. 절결 (11N) 의 가장자리는, 증착 마스크의 절결에 추종한 형상을 갖는 오목 형상 가장자리이다. 내측 가장자리 (12E) 는, 절결 (11N) 에 추종한 형상을 갖는 돌출 형상 가장자리 (12E1) 를 구비하고 있다. 절결 (11N) 은, 증착 마스크가 갖는 절결의 바닥부에 추종한 만곡부 (11N1) 를 포함하고 있다. 각 가교부 (13) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 중에서 만곡부 (11N1) 이외의 부위에 접속되어 있다.

이러한 증착 마스크 중간체 (10) 에 의하면, 띠상부 (11) 로 형성되는 증착 마스크가, U 자 형상 부분을 갖고, 또한, U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선인 절결을 구비한다. 그 때문에, 각 제 2 가장자리부에 있어서의 절결의 양측을, 1 쌍의 제 2 가장자리부가 서로로부터 멀어지는 방향으로 당김으로써 증착 마스크에 장력을 준 경우에, 절결에 작용한 힘이, 절결이 갖는 형상에 의해 분산된다. 이로써, 증착 마스크의 사용시에, 증착 마스크에 주름이나 비틀림 등의 변형이 생기는 것이 억제된다.

또, 띠상부 (11) 를 프레임 형상부 (12) 에 접속하는 가교부 (13) 가, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 중에서, 만곡부 (11N1) 이외의 부위에 접속된다. 그 때문에, 가교부 (13) 의 절단에 의해 형성된 증착 마스크에 있어서, 절결의 만곡부에 가교부 (13) 의 일부가 남겨지거나, 만곡부의 일부가 결여되거나 하는 것이 억제된다. 이로써, 만곡부의 형상이, 증착 마스크에 부여된 장력을 분산시키는 것이 가능한 형상으로 유지된다. 그 때문에, 증착 마스크의 사용시에, 증착 마스크에 변형이 생기는 것이 억제된다.

띠상부 (11) 는, 복수의 마스크부 (11M) 를 포함하고 있다. 각 마스크부 (11M) 에는, 띠상부 (11) 를 관통하는 관통공이 복수 형성되어 있다. 복수의 마스크부 (11M) 는, 길이 방향 (DL) 을 따라 간격을 두고 나열되어 있다. 또한, 도 1 에 나타내는 띠상부 (11) 는, 3 개의 마스크부 (11M) 를 포함하고 있지만, 각 띠상부 (11) 가 포함하는 마스크부 (11M) 의 개수는, 1 이상의 개수로 임의로 변경 가능하다.

띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 는, 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 접속 부위를 포함하는 가교 영역 (R13) 과, 그 접속 부위를 포함하지 않는 비가교 영역 (RN) 으로 구성되어 있다. 도 1 에 나타내는 띠상부 (11) 에는, 가교 영역 (R13) 과 비가교 영역 (RN) 의 구별을 명확하게 할 목적으로, 가교 영역 (R13) 을 따라 도트가 부여되어 있다.

가교 영역 (R13) 은, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L), 각 제 2 가장자리부 (11W) 중에서 절결 (11N) 이외의 영역, 및 각 절결 (11N) 에 있어서의 만곡부 (11N1) 이외의 영역으로 구성되어 있다. 가교 영역 (R13) 에 포함되는 각 영역은, 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되는 형상을 갖거나, 혹은 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되는 형상을 갖는다. 폭 방향 (DW) 은, 길이 방향 (DL) 에 직교하는 방향이다. 비가교 영역 (RN) 은, 각 만곡부 (11N1) 로 구성되어 있다. 각 만곡부 (11N1) 는, 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되는 형상, 및 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되는 형상 모두 갖지 않는 영역이다.

복수의 가교부 (13) 는, 가교 영역 (R13) 을 따라 위치하는 것이 가능하다. 각 가교부 (13) 는, 가교 영역 (R13) 의 일부를 프레임 형상부 (12) 에 접속한다. 또한, 도 1 에서는, 가교부 (13) 가 배치되는 것이 가능한 위치를 열거하는 편의상, 가교부 (13) 가 파선으로 나타나 있다.

도 2 는, 제 2 가장자리부 (11W) 가 갖는 절결 (11N) 의 형상에 있어서의 2 개의 예를 나타내고 있다. 도 2(a) 는, 절결 (11N) 의 제 1 예를 나타내고, 도 2(b) 는, 절결 (11N) 의 제 2 예를 나타내고 있다.

도 2(a) 가 나타내는 바와 같이, 절결 (11N) 의 제 1 예에서는, 절결 (11N) 이, 만곡부 (11N1) 와, 만곡부 (11N1) 로부터 길이 방향 (DL) 으로 연장되는 1 쌍의 직선부 (11N2) 로 구성되어 있다. 각 직선부 (11N2) 는 길이 방향 (DL) 으로 연장되고, 또한, 1 쌍의 직선부 (11N2) 는, 폭 방향 (DW) 에 있어서 간격을 두고 나열되어 있다. 만곡부 (11N1) 는, 당해 만곡부 (11N1) 를 포함하는 절결 (11N) 로부터 다른 절결 (11N) 을 향하는 방향으로 오목해지는 원호상을 가지고 있다. 절결 (11N) 의 제 1 예에서는, 1 쌍의 직선부 (11N2) 가 가교 영역 (R13) 에 포함된다. 이에 대하여, 만곡부 (11N1) 가 비가교 영역 (RN) 에 포함된다.

도 2(b) 가 나타내는 바와 같이, 절결 (11N) 의 제 2 예는, 대략 포물선상을 가지고 있다. 절결 (11N) 의 제 2 예는, 1 쌍의 곡선부 (11N3) 로 구성되어 있다. 1 쌍의 곡선부 (11N3) 는, 절결 (11N) 의 바닥부를 지나고, 또한, 길이 방향 (DL) 으로 연장되는 직선에 대해 서로 대칭인 형상을 가지고 있다. 각 곡선부 (11N3) 는, 길이 방향 (DL) 에 대해 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 절결 (11N) 의 제 2 예에서는, 절결 (11N) 전체가 만곡부이다. 그 때문에, 절결 (11N) 전체가, 비가교 영역 (RN) 에 포함된다.

도 3 에는, 증착 마스크 중간체 (10) 에 있어서, 1 개의 가교부 (13) 와, 당해 가교부 (13) 에 의해 접속되는 띠상부 (11) 의 일부 및 프레임 형상부 (12) 의 일부가, 확대되어 나타나 있다. 또한, 도 3 에는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 중에서, 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되는 영역의 일부를 프레임 형상부 (12) 에 접속하는 가교부 (13) 가 나타나 있다.

도 3(a) 가 나타내는 바와 같이, 가교부 (13) 는, 프레임 형상부 (12) 로부터 띠상부 (11) 까지에 걸쳐 연장되는 형상을 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 가교부 (13) 는 사각형상을 가지고 있다. 또한, 가교부 (13) 의 형상은, 프레임 형상부 (12) 로부터 띠상부 (11) 까지에 걸쳐 연장되는 형상이라면, 사각형상 이외의 임의의 형상으로 변경하는 것이 가능하다. 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 는, 가교용 패임부 (11ED) 를 가지고 있다. 1 개의 가교용 패임부 (11ED) 에는, 1 개의 가교부 (13) 가 접속되어 있다. 가교용 패임부 (11ED) 내에서는, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 가교부 (13) 의 양측에 있어서, 가교부 (13) 와 띠상부 (11) 사이에 간극이 형성되어 있다. 가교용 패임부 (11ED) 는, 사각형상의 패임부이다. 가교용 패임부 (11ED) 의 형상은, 사각형상에 한정되지 않고, 예를 들어 원호상이어도 된다.

가교부 (13) 에 있어서, 띠상부 (11) 에 접속된 단부가 기단부 (基端部) 이고, 프레임 형상부 (12) 에 접속된 단부가 선단부이다. 기단부는, 선단부보다 기계적인 강도가 낮은 취약부 (13A) 를 갖는다. 취약부 (13A) 는, 예를 들어, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 기단부의 일부에 하프 에칭 가공이 실시된 부위이다. 취약부 (13A) 는, 하프 에칭 가공된 복수의 부위가, 기단부를 따라 간격을 두고 나열되는 부위여도 된다. 또한, 가교부 (13) 는, 취약부 (13A) 를 갖지 않아도 된다.

폭 방향 (DW) 에 있어서의 가교용 패임부 (11ED) 의 폭은, 예를 들어 1 ㎜ 이상 3 ㎜ 이하이다. 길이 방향 (DL) 에 있어서의 가교용 패임부 (11ED) 의 폭은, 예를 들어 0.1 ㎜ 이상 0.3 ㎜ 이하이다. 가교부 (13) 의 두께는, 가공 전의 금속 시트로서, 증착 마스크 중간체를 형성하기 위한 금속 시트의 두께와 동등하다. 폭 방향 (DW) 에 있어서의 가교부 (13) 의 폭은, 예를 들어, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 가교용 패임부 (11ED) 의 폭에 대해 70 ％ 이상 80 ％ 이하로 설정된다.

도 3(a) 가 나타내는 예에서는, 가교부 (13) 의 취약부 (13A) 가, 1 개의 하프 에칭부로 구성된다. 하프 에칭부는, 가교부 (13) 중에서 하프 에칭 가공된 부위이다. 이 경우에는, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 취약부 (13A) 의 폭은, 예를 들어, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 가교부 (13) 의 폭에 대한 50 ％ 이상 80 ％ 이하로 설정된다. 길이 방향 (DL) 에 있어서의 취약부 (13A) 의 폭은, 예를 들어, 길이 방향 (DL) 에 있어서의 가교용 패임부 (11ED) 의 폭에 대한 25 ％ 이상 50 ％ 이하로 설정된다.

가교부 (13) 가 취약부 (13A) 를 가짐으로써, 가교부 (13) 의 절곡에 의해 가교부 (13) 를 절단하는 경우에는, 가교부 (13) 가 취약부 (13A) 를 갖지 않는 경우와 비교하여, 가교부 (13) 의 절단이 용이하다. 또, 가교부 (13) 의 절단이 용이하기 때문에, 가교부 (13) 가 절단된 자국인 절단 자국의 형상에 편차가 잘 생기지 않게 된다. 또, 가교부 (13) 가 기단부에 취약부 (13A) 를 가짐으로써, 가교부 (13) 의 일부가 증착 마스크에 잘 남지 않게 된다. 그 때문에, 증착 마스크의 길이 방향을 따라 증착 마스크에 장력을 가한 경우에, 증착 마스크에 있어서의 가교부 (13) 의 잔부를 기점으로 하여, 증착 마스크에 주름이나 비틀림 등의 변형이 잘 생기지 않게 된다.

또, 취약부 (13A) 가 가교용 패임부 (11ED) 내에 위치함으로써, 가교부 (13) 의 절곡에 의해 가교부 (13) 를 절단한 경우에, 가교부 (13) 의 잔부가, 증착 마스크의 가장자리에 있어서의 잔부 이외의 다른 부분보다 외측으로 튀어 나오는 것이 억제된다. 또, 취약부 (13A) 가 가교용 패임부 (11ED) 내에 위치함으로써, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 취약부 (13A) 가, 가장자리 (11E) 중에서 가교용 패임부 (11ED) 를 구획하는 영역에 의해, 외부로부터 보호된다. 이로써, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 가교부 (13) 가 띠상부 (11) 로부터 절단되는 것이 억제된다.

또한, 도 3(b) 가 나타내는 바와 같이, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 는, 가교용 패임부 (11ED) 를 갖지 않아도 된다. 이 경우에는, 가교부 (13) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 로서, 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되는 형상을 갖는 부분에 접속된다. 또, 취약부 (13B) 는, 폭 방향 (DW) 을 따라 나열되는 복수의 관통공을 가져도 된다.

또한, 도 3(c) 가 나타내는 바와 같이, 취약부 (13C) 는, 복수의 관통공 (13C1) 과, 복수의 하프 에칭부 (13C2) 를 가져도 된다. 이 경우에는, 취약부 (13C) 에 있어서, 관통공 (13C1) 과 하프 에칭부 (13C2) 가, 폭 방향 (DW) 에 있어서 교대로 나열되어 있다.

또한, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 가 가교용 패임부 (11ED) 를 갖는 경우에도, 취약부는 복수의 관통공을 가져도 되고, 취약부에 있어서, 관통공과 하프 에칭부가 교대로 나열되어도 된다. 또, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 가 가교용 패임부 (11ED) 를 갖지 않는 경우에도, 취약부는, 1 개의 하프 에칭부로 구성되어도 된다. 또, 취약부는, 복수의 하프 에칭부를 구비하고, 복수의 하프 에칭부가, 취약부가 연장되는 방향을 따라 간격을 두고 나열되어 있어도 된다.

도 4 는, 증착 마스크 중간체 (10) 의 표면에 직교하는 평면으로서, 또한, 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되는 평면을 따르는 마스크부 (11M) 의 단면 구조를 나타내고 있다. 도 4(a) 는, 마스크부 (11M) 의 제 1 예에 있어서의 단면 구조를 나타내고 있다. 도 4(b) 는, 마스크부 (11M) 의 제 2 예에 있어서의 단면 구조를 나타내고 있다.

도 4(a) 가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 는, 표면 (10F) 과, 표면 (10F) 과는 반대측의 면인 이면 (10R) 을 구비하고 있다. 표면 (10F) 은, 증착 마스크가 증착 장치에 장착된 상태에서, 증착 장치의 증착원과 대향한다. 이면 (10R) 은, 증착 마스크가 증착 장치에 장착된 상태에서, 유리 기판 등의 증착 대상과 대향한다. 마스크부 (11M) 는, 증착 마스크 중간체 (10) 를 관통하는 복수의 관통공 (11H) 을 갖는다. 관통공 (11H) 의 벽면은, 증착 마스크 중간체 (10) 의 두께 방향에 대해, 단면에서 볼 때 기울기를 갖는다. 관통공 (11H) 의 벽면의 형상은, 단면에서 볼 때, 관통공 (11H) 의 외측을 향하여 장출되는 반원호상이다. 또한, 관통공 (11H) 의 벽면의 형상은, 단면에서 볼 때, 복수의 굴곡점을 갖는 복잡한 곡선상이어도 된다.

마스크부 (11M) 의 두께는, 예를 들어 15 ㎛ 이하이다. 마스크부 (11M) 의 두께가 15 ㎛ 이하이기 때문에, 마스크부 (11M) 에 형성되는 관통공 (11H) 의 깊이를 15 ㎛ 이하로 하는 것이 가능하다. 이와 같이, 얇은 증착 마스크 중간체 (10) 라면, 관통공 (11H) 이 갖는 벽면의 면적 그 자체를 작게 하는 것이 가능하고, 또, 증착 마스크 중간체 (10) 의 두께가 얇기 때문에 증착 물질이 관통공 (11H) 내를 나는 거리가 짧다. 이로써, 관통공 (11H) 의 벽면에 부착되는 증착 물질의 양을 줄이는 것이 가능하다. 또한, 증착 마스크 중간체 (10) 에 있어서, 마스크부 (11M) 이외 부분에 있어서의 두께는, 예를 들어 25 ㎛ 이하이다. 증착 마스크 중간체 (10) 에 있어서, 마스크부 (11M) 이외 부분에 있어서의 두께는, 가공 전의 금속 시트, 즉, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 가교부 (13) 가 형성되기 전의 금속 시트의 두께와 동등하다.

표면 (10F) 은, 관통공 (11H) 의 개구인 제 1 개구 (H1) 를 포함하고 있다. 이면 (10R) 은, 관통공 (11H) 의 개구인 제 2 개구 (H2) 를 포함하고 있다. 제 1 개구 (H1) 는, 표면 (10F) 과 대향하는 평면에서 볼 때, 제 2 개구 (H2) 보다 크다. 각 관통공 (11H) 은, 증착원으로부터 승화된 증착 물질이 통과하는 통로이다. 증착원으로부터 승화된 증착 물질은, 제 1 개구 (H1) 로부터 제 2 개구 (H2) 를 향하여 진행된다. 관통공 (11H) 에 있어서, 제 1 개구 (H1) 가 제 2 개구 (H2) 보다 크기 때문에, 제 1 개구 (H1) 로부터 관통공 (11H) 에 들어가는 증착 물질의 양을 늘리는 것이 가능하다. 또한, 표면 (10F) 을 따르는 단면에서의 관통공 (11H) 의 면적은, 제 2 개구 (H2) 로부터 제 1 개구 (H1) 를 향하여, 제 2 개구 (H2) 로부터 제 1 개구 (H1) 까지 단조롭게 증대되어도 되고, 제 2 개구 (H2) 로부터 제 1 개구 (H1) 까지의 도중에서 거의 일정해지는 부위를 구비해도 된다.

도 4(b) 가 나타내는 바와 같이, 제 1 개구 (H1) 는, 표면 (10F) 과 대향하는 평면에서 볼 때, 제 2 개구 (H2) 보다 크다. 관통공 (11H) 은, 제 1 개구 (H1) 를 갖는 대공 (大孔) (11LH) 과, 제 2 개구 (H2) 를 갖는 소공 (小孔) (11SH) 으로 구성된다. 대공 (11LH) 의 단면적은, 제 1 개구 (H1) 로부터 이면 (10R) 을 향하여, 단조롭게 감소된다. 소공 (11SH) 의 단면적은, 제 2 개구 (H2) 로부터 표면 (10F) 을 향하여, 단조롭게 감소된다. 관통공 (11H) 의 벽면은, 단면에서 볼 때, 대공 (11LH) 과 소공 (11SH) 이 접속하는 부위, 즉, 증착 마스크 중간체 (10) 의 두께 방향의 중간에서, 관통공 (11H) 의 내측을 향하여 돌출된 형상을 갖는다. 관통공 (11H) 의 벽면에서 돌출된 부위와, 이면 (10R) 사이의 거리는, 스텝 하이트 (SH) 이다.

또한, 마스크부 (11M) 의 제 1 예에서는, 스텝 하이트 (SH) 가 제로이다. 제 2 개구 (H2) 에 도달하는 증착 물질의 양을 확보하는 관점에서는, 스텝 하이트 (SH) 가 제로인 것이 바람직하다. 띠상부 (11) 가 마스크부 (11M) 의 제 1 예를 구비하는 경우에는, 가공 전의 금속 시트에 있어서의 두께는, 금속 시트를 편면으로부터 웨트 에칭함으로써 관통공 (11H) 이 형성될 정도로 얇다. 가공 전의 금속 시트에 있어서의 두께는, 상기 서술한 바와 같이, 예를 들어 25 ㎛ 이하이다. 또한, 띠상부 (11) 가 마스크부 (11M) 의 제 2 예를 구비하는 경우에는, 마스크부 (11M) 의 두께는, 예를 들어 25 ㎛ 이하이다. 또, 이 경우에는, 가공 전의 금속 시트의 두께는, 예를 들어 50 ㎛ 이하이다.

[증착 마스크 중간체의 예]

이하, 도 5 내지 도 13 을 참조하여, 증착 마스크 중간체 (10) 에 있어서의 9 가지의 예를 설명한다. 증착 마스크 중간체 (10) 에 있어서의 9 가지의 예에서는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 중에서, 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 영역이 서로 상이하다. 또한, 각 예의 증착 마스크 중간체 (10) 에 있어서, 띠상부 (11) 는, 절결 (11N) 의 제 1 예를 구비하고 있다. 그러나, 이하에 설명하는 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 1 예 (도 5 를 참조), 제 2 예 (도 6 을 참조), 및 제 4 예 내지 제 6 예 (도 8 내지 도 10 을 참조), 및 제 9 예 (도 13 을 참조) 에 있어서, 띠상부 (11) 는, 제 2 예의 절결 (11N) 을 구비해도 된다.

[제 1 예]

도 5 가 나타내는 바와 같이, 띠상부 (11) 의 각 제 2 가장자리부 (11W) 는, 복수의 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 증착 마스크 중간체 (10) 가 제작될 때에는, 증착 마스크 중간체 (10) 에 대해 길이 방향 (DL) 을 따르는 장력이 주어져 있는 상태에서, 증착 마스크 중간체 (10) 가 반송된다. 본 예에서는, 띠상부 (11) 의 제 2 가장자리부 (11W) 가 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 그 때문에, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제작시에 증착 마스크 중간체 (10) 가 반송될 때에, 띠상부 (11) 에 있어서의 길이 방향 (DL) 의 양 단부가, 프레임 형상부 (12) 에 의해 계속 지지된다. 이로써, 길이 방향 (DL) 을 따르는 장력의 크기가, 길이 방향 (DL) 의 일방의 단부와 타방의 단부에 있어서 불균일했다고 하더라도, 띠상부 (11) 의 변형을 억제할 수 있다.

특히, 띠상부 (11) 의 제 2 가장자리부 (11W) 가 프레임 형상부 (12) 에 계속 지지되는 구성이라면, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 제 2 가장자리부 (11W) 가 절곡되거나 혹은 컬되는 것이 억제되어, 띠상부 (11) 의 변형이 억제된다.

띠상부 (11) 의 각 절결 (11N) 은, 제 2 가장자리부 (11W) 가 연장되는 방향에 있어서, 가교부 (13) 가 접속하는 접속 부위 사이에 두어져 있다. 이로써, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 절결 (11N) 의 양측이 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속된다. 그 때문에, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 절결 (11N) 의 양측 중 일방만이 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 경우에 비해, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 띠상부 (11) 가 프레임 형상부 (12) 에 계속 지지된다. 또, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 절결 (11N) 의 양측 중 일방만이 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 경우에 비해, 프레임 형상부 (12) 에 대해 띠상부 (11) 가 잘 변위되지 않는다. 그 때문에, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 띠상부 (11) 가 예를 들어 반송 기구 등에 접촉함으로써, 띠상부 (11) 의 일부가 절곡되는 것이 억제된다.

폭 방향 (DW) 에 있어서, 절결 (11N) 은 1 쌍의 제 2 가장자리 요소 사이에 두어져 있다. 각 제 2 가장자리 요소는, 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되어 있다. 각 제 2 가장자리부 (11W) 에 있어서, 접속 부위는, 각 제 2 가장자리 요소에 위치하고 있는 한편, 절결 (11N) 의 직선부 (11N2) 에는 위치하고 있지 않다.

폭 방향 (DW) 에 있어서의 절결 (11N) 의 양측에는, 접속 부위가 복수씩 위치하는 것이 바람직하다. 접속 부위가 1 개인 경우와 비교하여, 제 2 가장자리부 (11W) 의 절곡을 억제하는 효과가, 제 2 가장자리부 (11W) 전체에서 얻어지기 쉬워진다. 나아가서는, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 절결 (11N) 의 양측에는, 접속 부위가, 복수 또한 동수씩 위치하는 것이 바람직하다. 이로써, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 절결 (11N) 의 양측에 있어서, 띠상부 (11) 가 프레임 형상부 (12) 에 의해 지지되는 부위의 수가 서로 상이한 경우와 비교하여, 1 개의 접속 부위에 있어서 지지되는 가중의 치우침이 억제된다. 그러므로, 가중의 치우침이, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 절결 (11N) 의 양측에 있어서, 서로 상이한 변형을 일으키는 것이 억제된다.

폭 방향 (DW) 에 있어서의 절결 (11N) 의 양측에 있어서, 복수의 접속 부위는, 동등한 간격을 두고 위치하는 것이 바람직하다. 이로써, 다른 부분에 비해 접속 부위의 밀도가 낮은 부분에 있어서, 제 2 가장자리부 (11W) 가 휘는 것이 억제된다.

1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 중, 일방의 제 2 가장자리부 (11W) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 1 가교부군을 구성하고, 타방의 제 2 가장자리부 (11W) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 2 가교부군을 구성한다. 폭 방향 (DW) 에 있어서, 제 1 가교부군에 속하는 각 가교부 (13) 의 위치는, 제 2 가교부군에 속하는 1 개의 가교부 (13) 의 위치와 동등한 것이 바람직하다. 이로써, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 접속 부위의 수나 위치가, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 있어서 서로 상이한 경우와 비교하여, 1 개의 접속 부위에 있어서 지지되는 가중의 치우침이 억제된다. 그러므로, 가중의 치우침이, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 있어서, 서로 상이한 변형을 일으키는 것이 억제된다.

[제 2 예]

도 6 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 2 예에서는, 각 제 2 가장자리부 (11W) 에 더하여, 각 제 1 가장자리부 (11L) 가, 복수의 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 그 때문에, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에 있어서, 각 제 1 가장자리부 (11L) 가 절곡되는 것이 억제되어, 띠상부 (11) 의 변형이 억제된다. 각 제 1 가장자리부 (11L) 에 접속되는 복수의 가교부 (13) 는, 길이 방향 (DL) 에 있어서 동등한 간격을 두고 위치하는 가교부 (13) 를 포함하는 것이 바람직하다. 이로써, 제 1 가장자리부 (11L) 에 있어서의 휘어짐의 정도가, 서로 인접하는 가교부 (13) 간의 영역마다 상이한 것이 억제된다. 결과적으로, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 길이 방향 (DL) 을 따라 일정한 장력이 증착 마스크 중간체 (10) 에 가해진 경우에, 증착 마스크 중간체 (10) 의 형상이, 길이 방향 (DL) 에 있어서 불균일한 것이 억제된다.

1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 는, 서로 동수의 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 것이 바람직하다. 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 중, 일방의 제 1 가장자리부 (11L) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 1 가교부군을 구성하고, 타방의 제 1 가장자리부 (11L) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 2 가교부군을 구성한다. 길이 방향 (DL) 에 있어서, 제 1 가교부군에 속하는 각 가교부 (13) 의 위치는, 제 2 가교부군에 속하는 1 개의 가교부 (13) 의 위치와 동등한 것이 바람직하다. 이로써, 길이 방향 (DL) 에 있어서의 접속 부위의 수나 위치가, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 있어서 서로 상이한 경우와 비교하여, 1 개의 접속 부위에 있어서 지지되는 가중의 치우침이 억제된다. 그러므로, 가중의 치우침이, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 있어서, 서로 상이한 변형을 일으키는 것이 억제된다.

제 1 가교부군, 및 제 2 가교부군의 각각은, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 각 절결 (11N) 의 바닥부보다 당해 절결 (11N) 을 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 가 접속된 단 (端) 쪽에 위치하는 가교부 (13) 를 포함하는 것이 바람직하다. 즉, 띠상부 (11) 의 각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 제 1 접속 부위에 있어서 프레임 형상부 (12) 에 접속되고, 띠상부 (11) 의 각 제 2 가장자리부 (11W) 는, 제 2 접속 부위에 있어서 프레임 형상부에 접속되어 있다. 제 1 접속 부위는, 길이 방향 (DL) 에 있어서 만곡부 (11N1) 에 비해 제 2 접속 부위쪽에 위치하는 것이 바람직하다. 바꾸어 말하면, 제 1 접속 부위는, 길이 방향 (DL) 에 있어서 만곡부 (11N1) 보다 외측에 위치하는 것이 바람직하다.

띠상부 (11) 중에서 제 2 가장자리부 (11W) 와 제 1 가장자리부 (11L) 에 의해 형성되는 모서리부는, 제 2 가장자리부 (11W) 의 중앙이나 제 1 가장자리부 (11L) 의 중앙과 비교하여, 프레임 형상부 (12) 로부터 들뜨기 쉽다. 또, 띠상부 (11) 중에서 절결 (11N) 을 사이에 두는 부분은, 절결 (11N) 이 위치하는 분만큼, 다른 부분과 비교하여 강성이 낮다. 절결 (11N) 의 바닥부보다 단쪽에서 제 1 가장자리부 (11L) 가 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 구성이라면, 제 2 가장자리부 (11W) 와 제 1 가장자리부 (11L) 에 의해 형성되는 모서리부가, 프레임 형상부 (12) 에 대해 절곡되는 것이 억제된다. 그 때문에, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 모서리부가 반송 기구 등에 걸리는 것이 억제된다.

바꾸어 말하면, 제 1 접속 부위가, 만곡부 (11N1) 보다 제 2 접속 부위쪽에 위치하기 때문에, 띠상부 (11) 의 모서리부가 프레임 형상부 (12) 에 대해 들뜨는 것이 억제된다. 그 때문에, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제작에 있어서 증착 마스크 중간체 (10) 가 길이 방향 (DL) 을 따라 반송되고 있을 때에, 모서리부가 반송 기구 등에 걸리는 것이 억제된다.

각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 마스크부 (11M) 와 겹치지 않는 부위에서 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 길이 방향 (DL) 에 있어서, 서로 인접하는 마스크부 (11M) 간의 영역이, 비증착 영역이다. 제 1 가장자리부 (11L) 가 포함하는 접속 부위는, 폭 방향 (DW) 을 따라 비증착 영역을 연장한 영역에 포함된다. 그 때문에, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 가교부 (13) 와 마스크부 (11M) 가 나열되는 경우와 비교하여, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 가교부 (13) 를 통해 마스크부 (11M) 에 작용하는 힘이 완화된다. 그러므로, 마스크부 (11M) 가 갖는 관통공 (11H) 의 변형이 억제된다.

[제 3 예]

도 7 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 3 예에서는, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 및 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 더하여, 각 절결 (11N) 이, 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 각 절결 (11N) 에서는, 각 직선부 (11N2) 가, 절결 (11N) 에 비집고 들어가는 프레임 형상부 (12) 의 돌출 형상 가장자리 (12E1) 에, 가교부 (13) 에 의해 접속되어 있다. 띠상부 (11) 중에서 절결 (11N) 을 사이에 두는 부분은, 띠상부 (11) 중 다른 부분과 비교하여, 길이 방향 (DL) 과 직교하는 방향에서의 폭이 작다. 각 직선부 (11N2) 가 프레임 형상부 (12) 에 접속됨으로써, 각 직선부 (11N2) 와 돌출 형상 가장자리 (12E1) 의 강성이 높아져, 각 직선부 (11N2) 가 프레임 형상부 (12) 에 대해 절곡되는 것이 억제된다. 이로써, 띠상부 (11) 의 변형이 억제된다. 게다가, 프레임 형상부 (12) 의 내측 가장자리 (12E) 에 있어서의 돌출 형상 가장자리 (12E1) 가 띠상부 (11) 에 대해 절곡되는 것이 억제된다. 이로써, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 프레임 형상부 (12) 의 일부가 반송 기구 등에 걸리는 것이 억제된다.

각 직선부 (11N2) 는, 복수의 접속 부위를 포함하는 것이 바람직하다. 접속 부위가 1 개인 경우와 비교하여, 각 직선부 (11N2) 의 절곡을 억제하는 효과가 얻어지는 영역이, 직선부 (11N2) 에 있어서 확장된다. 각 직선부 (11N2) 에 있어서의 복수의 접속 부위는, 길이 방향 (DL) 에 있어서 동등한 간격을 두고 나열되는 것이 바람직하다. 이로써, 직선부 (11N2) 에 있어서의 휘어짐의 정도가, 서로 인접하는 접속 부위 간의 영역마다 상이한 것이 억제된다.

1 쌍의 직선부 (11N2) 는, 서로 동수의 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 것이 바람직하다. 1 쌍의 직선부 (11N2) 중, 일방의 직선부 (11N2) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 1 가교부군을 구성하고, 타방의 직선부 (11N2) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 2 가교부군을 구성한다. 폭 방향 (DW) 에 있어서, 제 1 가교부군에 속하는 각 가교부 (13) 의 위치는, 제 2 가교부군에 속하는 1 개의 가교부 (13) 의 위치와 동등한 것이 바람직하다. 이로써, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 직선부 (11N2) 가 프레임 형상부 (12) 에 의해 지지되는 부위의 수나 위치가, 1 쌍의 직선부 (11N2) 에 있어서 서로 상이한 경우와 비교하여, 1 개의 접속 부위에 있어서 지지되는 가중의 치우침이 억제된다. 그러므로, 가중의 치우침이, 1 쌍의 직선부 (11N2) 에 있어서, 서로 상이한 변형을 일으키는 것이 억제된다.

각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 각 절결 (11N) 의 바닥부보다 당해 절결 (11N) 을 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 가 접속된 단쪽에는, 접속 부위를 갖지 않는다. 본 예에서는, 각 절결 (11N) 에 있어서, 1 쌍의 직선부 (11N2) 가 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있기 때문에, 각 제 1 가장자리부 (11L) 에 있어서, 각 절결 (11N) 의 바닥부보다 당해 절결 (11N) 을 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 가 접속된 단쪽에 위치하는 접속 부위를 할애하는 것이 가능하다. 이와 같이, 직선부 (11N2) 가 포함하는 접속 부위에 의하면, 1 개의 접속 부위가, 프레임 형상부 (12) 의 내측 가장자리 (12E) 중에서, 절결 (11N) 에 추종하는 영역이 절곡되는 것의 억제와, 띠상부 (11) 에 있어서의 단부의 지지를 실시할 수 있다.

제 2 가장자리부 (11W) 는, 폭 방향 (DW) 에 있어서 절결 (11N) 을 사이에 두는 1 쌍의 제 2 가장자리 요소를 포함하고 있다. 각 직선부 (11N2) 에 있어서의 접속 부위의 단위 길이당 개수 즉 밀도는, 각 제 2 가장자리 요소에 있어서의 접속 부위의 밀도보다 높은 것이 바람직하다.

[제 4 예]

도 8 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 4 예에서는, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 더하여, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 가 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 길이 방향 (DL) 에 있어서 만곡부 (11N1) 보다 당해 만곡부 (11N1) 를 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 가 접속된 단쪽에서 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다.

각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 복수의 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되고, 또한, 복수의 가교부 (13) 가, 길이 방향 (DL) 에 있어서 만곡부 (11N1) 보다 당해 만곡부 (11N1) 를 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 가 접속된 단쪽에 위치하는 것이 바람직하다. 이로써, 길이 방향 (DL) 에서의 띠상부 (11) 의 가중을, 각 제 1 가장자리부 (11L) 의 단쪽에 편재하는 복수의 가교부 (13) 에 의해 지지하는 것이 가능하다. 그 때문에, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 1 쌍의 절결 (11N) 사이에 두어지는 영역에 위치하는 가교부 (13) 를 할애하는 것이 가능하다. 그러므로, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 외력이, 가교부 (13) 를 통해 마스크부 (11M) 에 작용하는 것이 억제된다. 결과적으로, 마스크부 (11M) 가 갖는 관통공 (11H) 의 변형을 억제할 수 있다.

또한, 각 제 1 가장자리부 (11L) 가, 길이 방향 (DL) 에 있어서 만곡부 (11N1) 보다 당해 만곡부 (11N1) 를 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 가 접속된 단쪽에서 프레임 형상부 (12) 에 접속됨으로써, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 2 예와 마찬가지로, 제 2 가장자리부 (11W) 와 제 1 가장자리부 (11L) 에 의해 형성되는 모서리부가, 프레임 형상부 (12) 에 대해 들뜨는 것이 억제된다.

각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 동수의 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 것이 바람직하다. 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 있어서, 일방의 제 1 가장자리부 (11L) 를 접속하는 복수의 가교부 (13) 가 제 1 가교부군을 구성하고, 타방의 제 1 가장자리부 (11L) 를 접속하는 복수의 가교부 (13) 가 제 2 가교부군을 구성한다. 길이 방향 (DL) 에 있어서, 제 1 가교부군에 속하는 각 가교부 (13) 의 위치는, 제 2 가교부군에 속하는 1 개의 가교부 (13) 의 위치와 동등한 것이 바람직하다. 이로써, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 프레임 형상부 (12) 에 의해 지지되는 부위의 수나 위치가, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 있어서 서로 상이한 경우와 비교하여, 1 개의 접속 부위에 있어서 지지되는 가중의 치우침이 억제된다. 그러므로, 가중의 치우침이, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 있어서, 서로 상이한 변형을 일으키는 것이 억제된다.

[제 5 예]

도 9 가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 5 예에서는, 띠상부 (11) 가, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에서만 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 길이 방향 (DL) 에 있어서 만곡부 (11N1) 보다 당해 만곡부 (11N1) 를 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 가 접속된 단쪽에 접속 부위를 포함하고 있다. 각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 또한, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 만곡부 (11N1) 와 겹치는 위치에도 접속 부위를 포함하고 있다.

이와 같이, 각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 절결 (11N) 의 바닥부로부터 당해 절결 (11N) 을 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 가 접속된 단까지의 사이에 있어서, 복수의 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 이로써, 길이 방향 (DL) 및 폭 방향 (DW) 에서의 띠상부 (11) 의 가중을, 각 제 1 가장자리부 (11L) 의 단쪽에 편재하는 복수의 가교부 (13) 에 의해 지지하는 것이 가능하다. 그 때문에, 본 예에서는, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 1 쌍의 절결 (11N) 사이에 두어지는 영역에 위치하는 가교부 (13) 를 할애하는 것이 가능하다. 그러므로, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 외력이, 가교부 (13) 를 통해 마스크부 (11M) 에 작용하는 것이 억제된다. 결과적으로, 마스크부 (11M) 가 갖는 관통공 (11H) 의 변형을 억제할 수 있다.

또한, 각 제 1 가장자리부 (11L) 가, 길이 방향 (DL) 에 있어서 만곡부 (11N1) 보다 당해 만곡부 (11N1) 를 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 가 접속된 단쪽에서 프레임 형상부 (12) 에 접속됨으로써, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 2 예와 마찬가지로, 제 2 가장자리부 (11W) 와 제 1 가장자리부 (11L) 에 의해 형성되는 모서리부가, 프레임 형상부 (12) 에 대해 들뜨는 것이 억제된다.

1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 중, 일방의 제 1 가장자리부 (11L) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 1 가교부군을 구성하고, 타방의 제 1 가장자리부 (11L) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 2 가교부군을 구성한다. 길이 방향 (DL) 에 있어서, 제 1 가교부군에 속하는 각 가교부 (13) 의 위치는, 제 2 가교부군에 속하는 1 개의 가교부 (13) 의 위치와 동등한 것이 바람직하다. 이로써, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 프레임 형상부 (12) 에 의해 지지되는 부위의 수나 위치가, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 있어서 서로 상이한 경우와 비교하여, 1 개의 접속 부위에 있어서 지지되는 가중의 치우침이 억제된다. 그러므로, 가중의 치우침이, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 있어서, 서로 상이한 변형을 일으키는 것이 억제된다.

[제 6 예]

도 10 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 6 예에서는, 띠상부 (11) 가, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 더하여, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 있어서 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 각 제 2 가장자리부 (11W) 는, 제 2 가장자리 요소와 직선부 (11N2) 에 의해 형성되는 모서리부에 1 개의 접속 부위를 포함하고 있다.

이로써, 띠상부 (11) 중에서, 제 2 가장자리 요소와 직선부 (11N2) 에 의해 형성되는 모서리부가, 프레임 형상부 (12) 에 의해 지지된다. 그 때문에, 제 2 가장자리 요소와 직선부 (11N2) 에 의해 형성되는 모서리부가, 프레임 형상부 (12) 에 대해 들뜨는 것이 억제된다. 그러므로, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에 있어서, 증착 마스크 중간체 (10) 가 변형되는 것이 더욱 억제된다.

[제 7 예]

도 11 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 7 예에서는, 띠상부 (11) 가, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 더하여, 1 쌍의 직선부 (11N2) 에 있어서 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 각 직선부 (11N2) 는, 길이 방향 (DL) 에 있어서의 직선부 (11N2) 의 중앙부보다, 당해 직선부 (11N2) 를 구비하는 절결 (11N) 을 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 의 제 2 가장자리 요소쪽에 위치하는 1 개의 접속 부위를 포함하고 있다.

이로써, 띠상부 (11) 중에서, 제 2 가장자리 요소와 직선부 (11N2) 에 의해 형성되는 모서리부의 근방이, 프레임 형상부 (12) 에 의해 지지된다. 그 때문에, 제 2 가장자리 요소와 직선부 (11N2) 에 의해 형성되는 모서리부가, 프레임 형상부 (12) 에 대해 들뜨는 것이 억제된다. 그러므로, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에 있어서, 증착 마스크 중간체 (10) 가 변형되는 것이 더욱 억제된다.

[제 8 예]

도 12 가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 8 예에서는, 띠상부 (11) 가, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 더하여, 1 쌍의 직선부 (11N2) 에 있어서 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 각 직선부 (11N2) 는, 복수의 접속 부위를 포함하고 있다. 복수의 접속 부위는, 길이 방향 (DL) 에 있어서의 직선부 (11N2) 의 중앙부보다, 당해 직선부 (11N2) 를 구비하는 절결 (11N) 을 포함하는 제 2 가장자리부 (11W) 의 제 2 가장자리 요소쪽에 위치하는 접속 부위를 포함한다.

이로써, 띠상부 (11) 중에서, 제 2 가장자리 요소와 직선부 (11N2) 에 의해 형성되는 모서리부의 근방이, 프레임 형상부 (12) 에 의해 지지된다. 그 때문에, 제 2 가장자리 요소와 직선부 (11N2) 에 의해 형성되는 모서리부가, 프레임 형상부 (12) 에 대해 들뜨는 것이 억제된다.

게다가, 본 예에서는, 제 7 예에 비해, 직선부 (11N2) 중에서, 만곡부 (11N1) 쪽에도 접속 부위가 위치하고 있다. 이로써, 프레임 형상부 (12) 의 돌출 형상 가장자리 (12E1) 가 띠상부 (11) 에 의해 지지된다. 그 때문에, 돌출 형상 가장자리 (12E1) 가, 띠상부 (11) 에 대해 들뜨는 것이 억제된다.

[제 9 예]

도 13 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 9 예에서는, 각 제 2 가장자리부 (11W) 가, 복수의 절결 (11N) 을 포함하고 있다. 각 제 2 가장자리부 (11W) 에 있어서, 복수의 절결 (11N) 은, 등간격으로 나열되어 있다. 그 때문에, 복수의 절결 (11N) 이 불규칙하게 나열되는 경우와 비교하여, 띠상부 (11) 로 형성된 증착 마스크를 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 를 서로로부터 떼어 놓도록 당김으로써, 길이 방향을 따르는 장력이 작용한 경우에, 증착 마스크의 폭 방향에 있어서 증착 마스크에 작용하는 장력이 불균일한 것이 억제된다. 그러므로, 증착 마스크에 주름이나 비틀림 등의 변형이 생기는 것이 억제된다.

제 2 가장자리부 (11W) 중에서, 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되는 영역이 제 2 가장자리 요소이다. 띠상부 (11) 는, 제 2 가장자리 요소에 있어서 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다. 제 2 가장자리부 (11W) 에 있어서, 각 제 2 가장자리 요소가, 1 개 이상의 접속 부위를 갖는 것이 바람직하다. 각 제 2 가장자리 요소가, 복수 또한 동수의 접속 부위를 갖는 것이 바람직하다. 이로써, 폭 방향 (DW) 에 있어서 제 2 가장자리부 (11W) 에 휘어짐이 생기는 것이 억제된다.

1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 있어서, 일방의 제 2 가장자리부 (11W) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 1 가교부군을 구성하고, 타방의 제 2 가장자리부 (11W) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 가 제 2 가교부군을 구성한다. 폭 방향 (DW) 에 있어서, 제 1 가교부군에 속하는 각 가교부 (13) 의 위치는, 제 2 가교부군에 속하는 1 개의 가교부 (13) 의 위치와 동등한 것이 바람직하다. 이로써, 폭 방향 (DW) 에 있어서, 프레임 형상부 (12) 에 의해 지지되는 부위의 수가, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 있어서 서로 상이한 경우와 비교하여, 1 개의 접속 부위에 있어서 지지되는 가중의 치우침이 억제된다. 그러므로, 가중의 치우침이, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 있어서, 서로 상이한 변형을 일으키는 것이 억제된다.

증착 마스크 중간체 (10) 의 제 3 예와 마찬가지로, 각 제 1 가장자리부 (11L) 는, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 마스크부 (11M) 와 겹치지 않는 부위에서 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되어 있다.

[마스크 장치의 구성]

도 14 및 도 15 를 참조하여, 마스크 장치의 구성을 설명한다.

도 14 가 나타내는 바와 같이, 마스크 장치 (20) 는, 메인 프레임 (21) 과, 복수의 증착 마스크 (31) 를 구비하고 있다. 메인 프레임 (21) 은, 복수의 증착 마스크 (31) 를 지지하는 사각형 프레임 형상을 갖고, 증착을 실시하기 위한 증착 장치에 장착된다. 메인 프레임 (21) 은, 각 증착 마스크 (31) 가 위치하는 범위의 거의 전체에 걸쳐, 메인 프레임 (21) 을 관통하는 메인 프레임 구멍 (21H) 을 가지고 있다.

각 증착 마스크 (31) 는, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 와 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 둘러싸인 띠상부 (11) 와, 당해 띠상부 (11) 를 둘러싸는 프레임 형상부 (12) 와, 띠상부 (11) 와 프레임 형상부 (12) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 를 구비한 증착 마스크 중간체 (10) 로부터, 가교부 (13) 의 절단에 의해 떼어내어진 띠상부 (11) 이다. 증착 마스크 (31) 는, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (31L) 와 1 쌍의 제 2 가장자리부 (31W) 에 둘러싸인 띠상을 가지고 있다. 각 제 2 가장자리부 (31W) 는, 제 1 가장자리부 (31L) 보다 짧고, 제 1 가장자리부 (31L) 의 길이 방향으로 패이는 U 자 형상으로서 U 자의 바닥부가 곡선인 절결 (31N) 을 구비하고 있다. 증착 마스크 (31) 의 가장자리 (31E) 는, 절결 (31N) 의 바닥부인 만곡부 (31N1) 를 구비하고 있다. 가교부 (13) 의 절단된 자국인 가교 자국이 증착 마스크 (31) 의 가장자리 (31E) 중에서 위치하는 부위는, 만곡부 (31N1) 이외의 부위이다. 증착 마스크 (31) 는, 증착 마스크 (31) 의 길이 방향을 따라 나열되는 복수의 마스크부 (31M) 를 구비하고 있다. 각 증착 마스크 (31) 의 제 2 가장자리부 (31W) 는, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (31W) 가 서로로부터 멀어지는 방향의 장력이 가해진 상태에서, 메인 프레임 (21) 에 장착되어 있다. 또한, 증착 마스크 (31) 의 절결 (31N) 은, 증착 마스크 (31) 와 대향하는 평면에서 볼 때, 메인 프레임 (21) 보다 외측에 위치해도 된다.

또한, 증착 마스크 (31) 에 있어서의 1 쌍의 제 1 가장자리부 (31L) 가, 띠상부 (11) 에 있어서의 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 에 대응한다. 증착 마스크 (31) 에 있어서의 1 쌍의 제 2 가장자리부 (31W) 가, 띠상부 (11) 에 있어서의 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 대응한다. 증착 마스크 (31) 의 가장자리 (31E) 가, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 에 대응한다. 증착 마스크 (31) 에 있어서의 절결 (31N) 이, 띠상부 (11) 에 있어서의 절결 (11N) 에 대응한다. 증착 마스크 (31) 에 있어서의 만곡부 (31N1) 가, 띠상부 (11) 에 있어서의 만곡부 (11N1) 에 대응한다. 증착 마스크 (31) 의 마스크부 (31M) 가, 띠상부 (11) 의 마스크부 (11M) 에 대응한다.

도 15 에는, 증착 마스크 (31) 가 갖는 복수의 가교 자국 중 1 개가 확대되어 나타나 있다. 또한, 도 15(a) 는, 도 3(a) 를 사용하여 앞서 설명한 가교부 (13) 를 구비하는 경우의 가교 자국을 나타내고 있다. 이에 대하여, 도 15(b) 는, 도 3(b) 를 사용하여 앞서 설명한 가교부 (13) 를 구비하는 경우의 가교 자국을 나타내고 있다. 도 15(c) 는, 도 3(c) 를 사용하여 앞서 설명한 가교부 (13) 를 구비하는 경우의 가교 자국을 나타내고 있다. 또, 이하에서는, 증착 마스크 (31) 가, 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 1 예로부터 얻어진 증착 마스크 인 경우에 대하여 설명한다. 또한, 증착 마스크 (31) 가 증착 마스크 중간체 (10) 의 제 2 예 내지 제 9 예 중 어느 것으로부터 얻어진 경우라 하더라도, 증착 마스크 (31) 는, 이하에 설명하는 가교 자국을 구비하는 것이 가능하다.

도 15(a) 가 나타내는 바와 같이, 제 2 가장자리부 (31W) 는, 절결 (31N) 이 패이는 방향과 동일한 방향으로 패이는 패임부 (31ED) 를 구비하고 있다. 패임부 (31ED) 는, 사각형상의 패임부이다. 패임부 (31ED) 는, 띠상부 (11) 의 제 2 가장자리부 (11W) 가 가지고 있었던 1 개의 가교용 패임부 (11ED) 에 대응한다. 패임부 (31ED) 내에는, 1 개의 가교 자국 (31A) 이 위치하고 있다. 가교 자국 (31A) 은, 상기 서술한 취약부 (13A) 에 대응하고 있다. 가교 자국 (31A) 은, 취약부 (13A) 의 일부가, 증착 마스크 (31) 의 표면을 향하여 굴곡된 굴곡부이다. 굴곡부는, 띠상부 (11) 로부터 가교부 (13) 를 절단할 때에, 띠상부 (11) 의 접속 부위가, 띠상부 (11) 의 표면을 향하여 말려 올라감으로써 형성된다.

도 15(b) 가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (31) 의 제 2 가장자리부 (31W) 가 갖는 각 가교 자국 (31B) 은, 복수의 원호상을 가진 패임부와, 복수의 굴곡부로 구성되어 있다. 각 가교 자국 (31B) 에 있어서, 패임부와 굴곡부가 교대로 나열되어 있다. 굴곡부는, 증착 마스크 (31) 의 가장자리 (31E) 에 있어서의 일부가, 증착 마스크 (31) 의 표면을 향하여 굴곡된 부위이다. 굴곡부는, 띠상부 (11) 로부터 가교부 (13) 를 절단할 때에, 띠상부 (11) 의 접속 부위가, 띠상부 (11) 의 표면을 향하여 말려 올라감으로써 형성된다. 가교 자국 (31B) 의 패임부가, 취약부 (13B) 가 갖는 관통공에 대응하고 있다. 이에 대하여, 가교 자국 (31B) 의 굴곡부가, 가교부 (13) 의 기단부에 있어서의 관통공 이외의 부위에 대응하고 있다.

도 15(c) 가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (31) 의 제 2 가장자리부 (31W) 가 갖는 각 가교 자국 (31C) 은, 가교 자국 (31B) 과 마찬가지로, 복수의 원호상을 가진 패임부와, 복수의 굴곡부로 구성되어 있다. 단, 가교 자국 (31C) 의 굴곡부에 있어서의 굴곡량은, 가교 자국 (31B) 의 굴곡부에 있어서의 굴곡량보다 작다.

또한, 가교 자국 (31A, 31B, 31C) 과 같이, 가교 자국 (31A, 31B, 31C) 이 굴곡부를 갖는 경우에는, 굴곡부는, 증착 마스크 (31) 에 있어서, 제 1 개구 (H1) 를 포함하는 면을 향하여 굴곡되는 것이 바람직하다. 이로써, 가교 자국 (31A, 31B, 31C) 이 굴곡부를 가져도, 증착 마스크 (31) 가 굴곡부의 분만큼 메인 프레임 (21) 으로부터 들뜨는 것이 억제된다.

또한, 증착 마스크 (31) 는, 가장자리 (31E) 의 외측을 향하여 돌출되고, 또한, 증착 마스크 (31) 가 펼쳐지는 평면을 따라 연장되는 가교 자국을 가져도 된다. 혹은, 증착 마스크 (31) 는, 가장자리 (31E) 의 내측을 향하여 패이는 가교 자국을 가져도 된다.

[증착 마스크의 제조 방법]

증착 마스크 (31) 의 제조 방법은, 금속 시트를 준비하는 것, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 가교부 (13) 를 증착 마스크 중간체 (10) 에 형성하는 것, 및 증착 마스크 (31) 를 형성하는 것을 구비하고 있다. 금속 시트를 준비하는 것은, 예를 들어, 철-니켈계 합금에 의해 형성된 금속 시트를 준비한다. 금속 시트는, 철-니켈계 합금 중에서도 인바에 의해 형성된 금속 시트인 것이 바람직하다.

띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 가교부 (13) 를 증착 마스크 중간체 (10) 에 형성하는 것은, 증착 마스크 (31) 의 가장자리 (31E) 에 추종한 형상을 갖는 띠상부 (11) 와, 증착 마스크 (31) 의 가장자리 (31E) 에 추종한 내측 가장자리 (12E) 를 가지고 띠상부 (11) 를 둘러싸는 프레임 형상부 (12) 와, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 와 프레임 형상부 (12) 의 내측 가장자리 (12E) 를 접속하는 복수의 가교부 (13) 를 형성한다. 증착 마스크 (31) 를 형성하는 것은, 각 가교부 (13) 의 절단에 의해, 띠상부 (11) 로부터 증착 마스크 (31) 를 형성한다.

증착 마스크 중간체 (10) 에 띠상부 (11) 를 형성하는 것은, 절결 (31N) 의 바닥부에 추종한 만곡부 (11N1) 를 구비하는 가장자리 (11E) 를 가진 띠상부 (11) 를 형성한다. 증착 마스크 중간체 (10) 에 가교부 (13) 를 형성하는 것은, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 중에서 만곡부 (11N1) 이외의 부위에 각 가교부 (13) 를 접속한다. 도 16 을 참조하여, 증착 마스크 (31) 의 제조 방법을 보다 상세하게 설명한다. 또한, 이하에서는, 띠상부 (11) 가 마스크부 (11M) 의 제 1 예를 구비하는 경우에 있어서의 증착 마스크 (31) 의 제조 방법을 설명한다.

도 16 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (31) 의 제조 방법에서는, 먼저, 금속 시트를 준비한다 (스텝 S11). 금속 시트를 준비하는 공정에서는, 전해를 사용하여 금속 시트를 준비해도 되고, 압연 및 연마 등을 사용하여 금속 시트를 준비해도 된다. 금속 시트를 준비하는 공정에 있어서 준비되는 금속 시트는, 띠상을 가진 금속 시트가 권취된 롤상을 가지고 있다. 이어서, 금속 시트가 갖는 대상면의 하나에 레지스트층을 형성하고 (스텝 S12), 그 후에, 레지스트층에 대한 노광 및 현상을 실시함으로써, 대상면에 레지스트 마스크를 형성한다 (스텝 S13).

다음으로, 레지스트 마스크를 사용한 대상면의 웨트 에칭에 의해, 금속 시트에 복수의 관통공 (11H) 을 형성한다 (스텝 S14). 이 때에, 복수의 관통공 (11H) 을 형성함과 동시에, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 복수의 가교부 (13) 를 형성한다. 또, 복수의 가교부 (13) 가 취약부 (13A) 를 갖는 경우에는, 취약부 (13A) 도 관통공 (11H) 과 동시에 형성한다. 이로써, 증착 마스크 중간체 (10) 를 얻는다. 즉, 증착 마스크 중간체 (10) 에, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 복수의 가교부 (13) 를 형성하는 것이 가능하다. 증착 마스크 중간체 (10) 에는, 복수의 띠상부 (11) 가, 간격을 두고 나열되도록 형성된다.

이어서, 레지스트 마스크를 대상면으로부터 제거함으로써, 상기 서술한 마스크부 (11M) 가 형성된다 (스텝 S15). 다음으로, 롤상의 증착 마스크 중간체 (10) 를 폭 방향을 따라 절단한다. 이로써, 복수의 띠상부 (11) 를 가진 중간체 시트를 얻는다 (스텝 S16). 그리고, 띠상부 (11) 에 접속된 복수의 가교부 (13) 를 절단함으로써, 상기 서술한 증착 마스크 (31) 를 얻을 수 있다 (스텝 S17). 가교부 (13) 를 절단할 때에는, 띠상부 (11) 에 대해 프레임 형상부 (12) 를 절곡함으로써, 취약부 (13A) 를 절단할 수 있다.

또한, 띠상부 (11) 가 마스크부 (11M) 의 제 2 예를 구비하는 경우에는, 상기 서술한 스텝 S12 에서부터 스텝 S15 까지의 공정이, 이면 (10R) 에 실시되고, 이로써, 소공 (11SH) 이 형성된다. 이어서, 소공 (11SH) 을 보호하기 위한 보호층이 소공 (11SH) 에 충전된다. 계속해서, 상기 서술한 스텝 S12 에서부터 스텝 S15 까지의 공정이, 표면 (10F) 에 실시되고, 이로써, 대공 (11LH) 이 형성된다. 이로써, 마스크부 (11M) 의 제 2 예를 얻을 수 있다. 대공 (11LH) 의 형성에 사용한 레지스트 마스크는, 소공 (11SH) 의 형성에 사용한 레지스트 마스크와 동시에 제거해도 된다.

또한, 띠상부 (11) 가 마스크부 (11M) 의 제 2 예를 구비하고, 또한, 취약부 (13A) 를 하프 에칭 가공에 의해 형성하는 경우에는, 취약부 (13A) 는, 스텝 S12 에서부터 스텝 S15 까지의 공정이 이면 (10R) 에 실시될 때에 형성되어도 된다. 혹은, 취약부 (13A) 는, 스텝 S12 에서부터 스텝 S15 까지의 공정이 표면 (10F) 에 실시될 때에 형성되어도 된다.

이상 설명한 바와 같이, 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법의 일 실시형태에 의하면, 이하에 기재된 효과를 얻을 수 있다.

(1) 띠상부 (11) 로 형성되는 증착 마스크 (31) 가, U 자 형상 부분을 포함하고 또한 U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선상인 절결 (31N) 을 구비한다. 그 때문에, 각 제 2 가장자리부 (31W) 에 있어서의 절결 (31N) 의 양측을, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (31W) 가 서로로부터 멀어지는 방향으로 당김으로써 증착 마스크 (31) 에 장력을 가한 경우에, 절결 (31N) 에 작용한 힘이, 절결 (31N) 이 갖는 형상에 의해 분산된다. 이로써, 증착 마스크 (31) 의 사용시에, 증착 마스크 (31) 에 주름이나 비틀림 등의 변형이 생기는 것이 억제된다.

(2) 띠상부 (11) 를 프레임 형상부 (12) 에 접속시키는 가교부 (13) 가, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11E) 중에서, 만곡부 (11N1) 이외의 부위에 접속한다. 그 때문에, 가교부 (13) 의 절단에 의해 형성된 증착 마스크 (31) 에 있어서, 절결 (31N) 의 만곡부 (31N1) 에 가교부 (13) 의 일부가 남겨지거나, 만곡부 (31N1) 의 일부가 결여되거나 하는 것이 억제된다. 이로써, 만곡부 (31N1) 의 형상이, 증착 마스크 (31) 에 가해진 장력을 분산시키는 것이 가능한 형상으로 유지된다. 그 때문에, 증착 마스크 (31) 의 사용시에, 증착 마스크 (31) 에 변형이 생기는 것이 억제된다.

(3) 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 띠상부 (11) 의 제 2 가장자리부 (11W) 가 프레임 형상부 (12) 에 계속 지지된다. 그 때문에, 각 제 2 가장자리부 (11W) 가 프레임 형상부 (12) 로부터 들뜨는 것이 억제되어, 띠상부 (11) 의 변형이 억제된다.

(4) 절결 (11N) 의 양측이 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속된다. 그 때문에, 절결 (11N) 의 양측 중 일방만이 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 경우에 비해, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 띠상부 (11) 가 프레임 형상부 (12) 에 계속 지지된다. 또, 절결 (11N) 의 양측 중 일방만이 가교부 (13) 에 의해 프레임 형상부 (12) 에 접속되는 경우에 비해, 프레임 형상부 (12) 에 대해 띠상부 (11) 가 잘 변위되지 않는다. 그 때문에, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 띠상부 (11) 가 예를 들어 반송 기구 등에 접촉함으로써, 띠상부 (11) 의 일부가 절곡되는 것이 억제된다.

(5) 각 직선부 (11N2) 가 돌출 형상 가장자리 (12E1) 에 접속됨으로써, 각 직선부 (11N2) 와 돌출 형상 가장자리 (12E1) 의 강성이 높아진다. 이로써, 띠상부 (11) 의 변형이 억제된다. 게다가, 돌출 형상 가장자리 (12E1) 가 띠상부 (11) 에 대해 절곡되는 것이 억제된다. 결과적으로, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 띠상부 (11) 의 일부나 돌출 형상 가장자리 (12E1) 가 반송 기구 등에 걸리는 것이 억제된다.

(6) 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에 있어서, 띠상부 (11) 의 제 1 가장자리부 (11L) 가 프레임 형상부 (12) 에 계속 지지된다. 그 때문에, 각 제 1 가장자리부 (11L) 가 절곡되는 것이 억제되어, 띠상부 (11) 의 변형이 억제된다.

(7) 만곡부 (11N1) 보다 단쪽에서 제 1 가장자리부 (11L) 가 프레임 형상부 (12) 에 접속되기 때문에, 띠상부 (11) 의 모서리부가 프레임 형상부 (12) 에 대해 들뜨는 것이 억제된다. 그 때문에, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 모서리부가 반송 기구 등에 걸리는 것이 억제된다.

(8) 길이 방향 (DL) 에 있어서, 가교부 (13) 와 마스크부 (11M) 가 나열되는 경우와 비교하여, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에, 가교부 (13) 를 통해 마스크부 (11M) 에 작용하는 힘이 완화된다. 그러므로, 마스크부 (11M) 가 갖는 관통공 (11H) 의 변형이 억제된다.

또한, 상기 서술한 실시형태는, 이하와 같이 적절히 변경하여 실시할 수 있다.

[접속 부위의 위치]

ㆍ1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L), 또는, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 에 대해 1 개씩 대응지어진 2 개의 가교부군은, 이하와 같이 변경되어도 된다. 즉, 제 1 가교부군에 속하는 각 가교부의 위치는, 제 1 가교부군에 속하는 복수의 가교부가 나열되는 방향에 있어서, 제 2 가교부군에 속하는 복수의 가교부의 위치와는 동등하지 않아도 된다.

ㆍ접속 부위는, 프레임 형상부 (12) 에 의해 띠상부 (11) 를 지지하는 것이 가능하다면, 1 쌍의 제 1 가장자리부 (11L) 중에서, 일방의 제 1 가장자리부 (11L) 에만 위치해도 되고, 1 쌍의 제 2 가장자리부 (11W) 중에서, 일방의 제 2 가장자리부 (11W) 에만 위치해도 된다.

[가교 자국]

ㆍ증착 마스크 (31) 가 구비하는 복수의 가교 자국에는, 제 1 형상을 갖는 가교 자국과, 제 1 형상과는 상이한 제 2 형상을 갖는 가교 자국이 포함되어도 된다.

[가교부]

ㆍ띠상부 (11) 와 프레임 형상부 (12) 는, 상기 서술한 취약부가 띠상부 (11) 와 프레임 형상부 (12) 사이에 위치함으로써, 취약부에 의해 서로 접속되어도 된다. 이 경우에는, 취약부에 포함되는 금속 시트의 일부가 가교부이다. 바꾸어 말하면, 취약부에 있어서의 관통공 이외의 부분이 가교부이다.

예를 들어, 도 3(a) 를 참조하여 설명한 바와 같이, 취약부 (13A) 가 1 개의 하프 에칭부에 의해 구성되는 경우에는, 취약부 (13A) 전체가 가교부이다. 또, 도 3(b) 를 참조하여 설명한 바와 같이, 취약부 (13B) 가 복수의 관통공을 갖는 경우에는, 취약부 (13B) 중에서 관통공 사이에 위치하는 부분이 가교부이다. 또, 도 3(c) 를 참조하여 설명한 바와 같이, 취약부 (13C) 가 복수의 관통공 (13C1) 과 복수의 하프 에칭부 (13C2) 를 포함하고, 관통공 (13C1) 과 하프 에칭부 (13C2) 가 교대로 나열되는 경우에는, 하프 에칭부 (13C2) 가 가교부이다. 또, 취약부에 있어서, 복수의 하프 에칭부가 간격을 두고 나열되는 경우에는, 취약부 전체가 가교부이다.

[선상 취약부]

ㆍ도 17 이 나타내는 바와 같이, 프레임 형상부 (12) 는, 프레임 형상부 (12) 의 내측 가장자리 (12E) 로부터 프레임 형상부 (12) 의 외측 가장자리 (12F) 를 향하는 방향을 따라 연장되는 선상 취약부 (12A) 를 구비할 수 있다. 도 17 이 나타내는 예에서는, 선상 취약부 (12A) 는, 길이 방향 (DL) 에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 또, 선상 취약부 (12A) 의 일단부는, 내측 가장자리 (12E) 중에서, 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되는 부분에 위치하고, 선상 취약부 (12A) 의 타단부는, 프레임 형상부 (12) 의 내부에 위치하고 있다.

증착 마스크 중간체 (10) 는, 복수의 선상 취약부 (12A) 를 구비하고 있다. 복수의 선상 취약부 (12A) 는, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송 방향에 있어서, 마스크부 (11M) 보다 상류에 위치하는 상류측 취약부 (12AU) 와, 마스크부 (11M) 보다 하류에 위치하는 하류측 취약부 (12AD) 를 포함하고 있다. 상류측 취약부 (12AU) 에 있어서, 상류측 취약부 (12AU) 의 일단부는, 내측 가장자리 (12E) 중에서, 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되고, 또한, 마스크부 (11M) 보다 상류에 위치하는 부분에 연결되어 있다. 한편으로, 하류측 취약부 (12AD) 에 있어서, 하류측 취약부 (12AD) 의 일단부는, 내측 가장자리 (12E) 중에서, 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되고, 또한, 마스크부 (11M) 보다 하류에 위치하는 부분으로 연결되어 있다.

증착 마스크 중간체 (10) 는, 폭 방향 (DW) 에 있어서의 2 개의 띠상부 (11) 의 사이에, 2 개의 상류측 취약부 (12AU) 와 2 개의 하류측 취약부 (12AD) 를 가지고 있다. 2 개의 상류측 취약부 (12AU) 는, 폭 방향 (DW) 에 있어서 나열되고, 내측 가장자리 (12E) 중에서, 서로 상이한 띠상부 (11) 를 둘러싸는 부분을 향하여 연장되어 있다. 2 개의 하류측 취약부 (12AD) 는, 폭 방향 (DW) 에 있어서 나열되고, 내측 가장자리 (12E) 중에서, 서로 상이한 띠상부 (11) 를 둘러싸는 부분 을 향하여 연장되어 있다.

또, 증착 마스크 중간체 (10) 는, 폭 방향 (DW) 에 있어서 2 개의 띠상부 (11) 를 사이에 두는 1 쌍의 상류측 취약부 (12AU) 와, 폭 방향 (DW) 에 있어서 2 개의 띠상부 (11) 를 사이에 두는 1 쌍의 하류측 취약부 (12AD) 를 가지고 있다. 또한, 증착 마스크 중간체 (10) 는, 이들 선상 취약부 (12A) 중 적어도 1 개를 구비하고 있으면 된다.

선상 취약부 (12A) 의 기계적인 강도는, 프레임 형상부 (12) 에 있어서의 선상 취약부 (12A) 이외 부분에 있어서의 기계적인 강도보다 낮다. 그 때문에, 프레임 형상부 (12) 가 선상 취약부 (12A) 를 따라 절단되기 쉽다. 게다가, 선상 취약부 (12A) 에 있어서의 일방의 단부가 프레임 형상부 (12) 의 내측 가장자리 (12E) 에 위치하기 때문에, 프레임 형상부 (12) 로부터 띠상부 (11) 를 떼어낼 때에 내측 가장자리 (12E) 가 형성하는 고리를 절단할 수 있다. 이로써, 가교부 (13) 의 절단을 실시하기 쉬워진다.

띠상부 (11) 로부터 증착 마스크를 형성할 때에는, 먼저, 길이 방향 (DL) 에 있어서의 소정의 위치에 있어서, 증착 마스크 중간체 (10) 를 폭 방향 (DW) 을 따라 절단한다. 이로써, 폭 방향 (DW) 을 따라 나열되는 2 개의 띠상부 (11) 만을 가진 증착 마스크 중간체 (10) 를 얻는다. 이어서, 선상 취약부 (12A) 를 따라 프레임 형상부 (12) 를 절단함으로써, 띠상부 (11) 를 둘러싸는 내측 가장자리 (12E) 의 고리를 절단한다. 그리고, 가교부 (13) 를 절곡함으로써 띠상부 (11) 로부터 가교부 (13) 를 절단한다. 이로써, 띠상부 (11) 로부터 증착 마스크를 형성할 수 있다.

도 18 은, 도 17 에 나타내는 영역 A 를 확대하여 나타내고, 또, 도 19 는, 도 17 에 나타내는 영역 B 를 확대하여 나타내고 있다. 도 20 은, 도 17 에 나타내는 영역 C 를 확대하여 나타내고 있다. 또한, 영역 A 는, 2 개의 상류측 취약부 (12AU) 에 있어서의 상류 단부를 포함하고, 또, 영역 B 는, 2 개의 하류측 취약부 (12AD) 에 있어서의 하류 단부를 포함하고 있다. 영역 C 는, 하류측 취약부 (12AD) 의 상류 단부와 내측 가장자리 (12E) 에 있어서 상류 단부가 접속하는 부분을 포함하고 있다.

도 18 이 나타내는 바와 같이, 각 상류측 취약부 (12AU) 의 상류 단부는, 프레임 형상부 (12) 를 관통하는 상류측 관통부 (12BU) 에 접속되어 있다. 2 개의 상류측 관통부 (12BU) 는, 폭 방향 (DW) 에 있어서, 소정의 간격을 두고 나열되어 있다. 띠상부 (11) 로부터 증착 마스크 (31) 를 형성할 때에는, 예를 들어, 프레임 형상부 (12) 를 절단 가능한 기구에 의해, 프레임 형상부 (12) 중에서, 폭 방향 (DW) 에 있어서 2 개의 상류측 관통부 (12BU) 에 의해 사이에 두어지는 부분을 절단하고, 이로써, 절단편을 형성한다. 이어서, 증착 마스크 중간체 (10) 가 펼쳐지는 평면과는 교차하는 방향을 향하여 절단편을 끌어올림으로써, 2 개의 상류측 취약부 (12AU) 를 절단하는 힘을, 2 개의 상류측 취약부 (12AU) 에 대해 동시에 작용시키는 것이 가능하다.

또한, 폭 방향 (DW) 에 있어서 2 개의 띠상부 (11) 를 사이에 두는 1 쌍의 상류측 취약부 (12AU) 의 각각에 있어서도, 상류 단부가 상류측 관통부 (12BU) 에 접속되어 있다.

도 19 가 나타내는 바와 같이, 프레임 형상부 (12) 는, 하류측 취약부 (12AD) 의 하류 단부에 이어지는 피파지편 (12C) 과, 피파지편 (12C) 을 둘러싸는 하류측 관통부 (12BD) 를 구비하고 있다. 이로써, 하류측 취약부 (12AD) 의 하류 단부를 기구에 의해 파지하거나, 사람의 손가락에 의해 파지하거나 하는 것이 가능하기 때문에, 하류측 취약부 (12AD) 를 절단하는 힘을 하류측 취약부 (12AD) 에 작용시키기 쉽다. 증착 마스크 중간체 (10) 가 펼쳐지는 평면과는 교차하는 방향을 향하여 피파지편 (12C) 을 끌어올림으로써, 2 개의 하류측 취약부 (12AD) 를 절단하는 힘을, 2 개의 하류측 취약부 (12AD) 에 대해 동시에 작용시키는 것이 가능하다.

또한, 폭 방향 (DW) 에 있어서 2 개의 띠상부 (11) 를 사이에 두는 1 쌍의 하류측 취약부 (12AD) 의 각각에 있어서도, 하류 단부가 피파지편 (12C) 에 접속되고, 또한, 피파지편 (12C) 이 하류측 관통부 (12BD) 에 둘러싸여 있다.

또, 도 20 이 나타내는 바와 같이, 프레임 형상부 (12) 의 내측 가장자리 (12E) 는, 당해 내측 가장자리 (12E) 가 둘러싸는 프레임 형상부 (12) 의 제 1 가장자리부 (11L) 로부터 멀어지는 방향으로 패이는 패임부 (12EA) 를 가져도 된다. 패임부 (12EA) 는, 증착 마스크 중간체 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 방향에서 볼 때, 사각형상을 가지고 있다. 하류측 취약부 (12AD) 의 상류 단부는, 내측 가장자리 (12E) 에 있어서의 패임부 (12EA) 에 접속하고 있다. 또한, 하류측 취약부 (12AD) 의 상류 단부는, 패임부 (12EA) 중에서도, 가장 하류측에 위치하는 변에 있어서 일단으로부터 타단을 향하는 도중에 접속하는 것이 가능하다.

내측 가장자리 (12E) 가 패임부 (12EA) 를 갖고, 또한, 하류측 취약부 (12AD) 가 패임부 (12EA) 에 접속함으로써, 하류측 취약부 (12AD) 를 따라 프레임 형상부 (12) 가 절단될 때에, 프레임 형상부 (12) 를 절단하기 위한 외력이 띠상부 (11) 에 작용하는 것이 억제된다. 이로써, 띠상부 (11) 가 갖는 마스크부 (11M) 에 외력이 작용하는 것이 억제된다. 또, 상류 단부가, 패임부 (12EA) 중에서, 가장 하류측에 위치하는 변에 있어서의 일단과 타단 이외의 부분에 위치함으로써, 하류측 취약부 (12AD) 가 절단되기 쉬워진다.

또한, 내측 가장자리 (12E) 는, 각 하류측 취약부 (12AD) 가 접속하는 지점에 한정되지 않고, 각 상류측 취약부 (12AU) 가 접속하는 지점에도 패임부 (12EA) 를 갖는 것이 가능하고, 이로써, 상기 서술한 패임부 (12EA) 에 의한 효과에 준한 효과를 얻는 것이 가능하다.

도 18 내지 도 20 이 나타내는 예에서는, 선상 취약부 (12A) 가, 간격을 두고 나열되는 복수의 관통부 (12A1) 를 가지고 있다. 선상 취약부 (12A) 는, 1 개의 하프 에칭부에 의해 형성되어도 되고, 간격을 두고 나열되는 복수의 하프 에칭부를 가져도 된다. 또는, 선상 취약부 (12A) 는, 복수의 하프 에칭부와 복수의 관통공을 갖고, 선상 취약부 (12A) 에 있어서, 하프 에칭부와 관통부가 교대로 나열되어도 된다.

또, 상류측 취약부 (12AU) 의 상류 단부가 접속되는 상류측 관통부 (12BU) 는, 하류측 취약부 (12AD) 가 접속되는 피파지편 (12C), 및 피파지편 (12C) 을 둘러싸는 하류측 관통부 (12BD) 로 변경되어도 된다. 혹은, 하류측 취약부 (12AD) 의 하류 단부가 접속되는 피파지편 (12C), 및 피파지편 (12C) 을 둘러싸는 하류측 관통부 (12BD) 는, 상류측 취약부 (12AU) 의 상류 단부가 접속되는 상류측 관통부 (12BU) 로 변경되어도 된다.

[증착 마스크 중간체]

ㆍ증착 마스크 중간체는, 금속 시트에 더하여, 금속 시트에 적층된 수지층을 구비해도 된다. 이 경우에는, 증착 마스크 중간체로 형성된 증착 마스크도, 금속 시트와 수지층으로 형성된다. 혹은, 증착 마스크 중간체는, 2 장의 금속 시트와, 증착 마스크 중간체의 두께 방향에 있어서, 2 장의 금속 시트 사이에 끼워진 수지층을 구비해도 된다. 이 경우에는, 증착 마스크 중간체로 형성된 증착 마스크도, 2 장의 금속 시트, 및 2 장의 금속 시트 사이에 끼워진 수지층으로 형성된다. 이들 중 어느 경우에도, 수지층을 형성하는 합성 수지는, 예를 들어, 폴리이미드 수지이면 된다. 또한, 수지층에 대한 레이저 광선의 조사에 의해, 이들 증착 마스크 중간체가 구비하는 관통공을 형성하는 것이 가능하다.

[증착 마스크의 제조 방법]

ㆍ띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 복수의 가교부 (13) 는, 마스크부 (11M) 의 관통공 (11H) 이 형성되는 공정과는 상이한 공정으로 형성되어도 된다. 이 경우에는, 각 가교부 (13) 가 갖는 취약부 (13A) 는, 마스크부 (11M) 의 관통공 (11H) 이 형성되는 공정으로 형성되어도 되고, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 복수의 가교부 (13) 가 형성되는 공정으로 형성되어도 된다.

이들의 경우에 있어서, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 가교부 (13), 및 취약부 (13A) 는, 마스크부 (11M) 의 관통공 (11H) 과 마찬가지로, 웨트 에칭에 의해 형성되어도 된다. 또, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 복수의 가교부 (13) 가 형성되는 공정과, 취약부 (13A) 가 형성되는 공정이 상이한 경우에는, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 복수의 가교부 (13) 가 레이저 가공에 의해 형성되는 한편, 취약부 (13A) 가 웨트 에칭에 의해 형성되어도 된다. 혹은, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 가교부 (13), 및 취약부 (13A) 가, 레이저 가공에 의해 형성되어도 된다. 혹은, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 및 복수의 가교부 (13) 가 프레스 가공에 의해 형성되는 한편, 취약부 (13A) 가, 웨트 에칭 또는 레이저 가공에 의해 형성되어도 된다.

또한, 띠상부 (11), 프레임 형상부 (12), 가교부 (13), 및 취약부 (13A) 가 동일한 공정으로 형성되는 경우에도, 이들은 레이저 가공에 의해 형성되어도 된다.

10 : 증착 마스크 중간체,
10F : 표면,
10R : 이면,
11 : 띠상부,
11E, 31E : 가장자리,
11ED : 가교용 패임부,
11H, 13C1 : 관통공,
11L, 31L : 제 1 가장자리부,
11LH : 대공,
11M, 31M : 마스크부,
11N, 31N : 절결,
11N1, 31N1 : 만곡부,
11N2 : 직선부,
11N3 : 곡선부,
11SH : 소공,
11W, 31W : 제 2 가장자리부,
12 : 프레임 형상부,
12A : 선상 취약부,
12A1 : 관통부,
12AD : 하류측 취약부,
12AU : 상류측 취약부,
12BD : 하류측 관통부,
12BU : 상류측 관통부,
12C : 피파지부,
12E : 내측 가장자리,
12E1 : 돌출 형상 가장자리,
12EA, 31ED : 패임부,
12F : 외측 가장자리,
13 : 가교부,
13A, 13B, 13C : 취약부,
13C2 : 하프 에칭부,
20 : 마스크 장치,
21 : 메인 프레임,
21H : 메인 프레임 구멍,
31 : 증착 마스크,
31A, 31B, 31C : 가교 자국,
H1 : 제 1 개구,
H2 : 제 2 개구,
R13 : 가교 영역,
RN : 비가교 영역,
SH : 스텝 하이트.

Claims (10)

1. 증착 마스크를 제조하기 위한 금속제의 시트를 포함하는 증착 마스크 중간체로서,
   상기 증착 마스크는, 1 쌍의 제 1 가장자리부와 1 쌍의 제 2 가장자리부에 둘러싸인 띠상을 갖고,
   각 제 2 가장자리부는, 상기 제 1 가장자리부보다 짧고, 절결을 구비하고, 상기 절결은, 상기 제 1 가장자리부가 연장되는 방향인 길이 방향으로 패이는 U 자 형상 부분을 갖고, 상기 U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선상이고,
   상기 증착 마스크 중간체는,
   상기 증착 마스크의 가장자리에 추종한 형상을 갖는 띠상부와,
   상기 띠상부의 가장자리에 추종한 형상을 갖는 내측 가장자리를 가지고 상기 띠상부를 둘러싸는 프레임 형상부와,
   상기 띠상부의 상기 가장자리를 상기 프레임 형상부의 상기 내측 가장자리에 접속하는 복수의 가교부를 구비하고,
   상기 띠상부는, 각 가교부의 절단에 의해 상기 증착 마스크를 형성하고,
   상기 띠상부의 상기 가장자리에는, 상기 절결의 상기 바닥부에 추종한 형상을 갖는 만곡부가 형성되어 있고,
   각 가교부는 상기 띠상부의 상기 가장자리 중에서 상기 만곡부 이외의 부위에 접속되어 있는, 증착 마스크 중간체.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 띠상부의 상기 가장자리는, 상기 1 쌍의 제 1 가장자리부와 상기 1 쌍의 제 2 가장자리부를 포함하고,
   상기 띠상부의 각 제 2 가장자리부는, 상기 복수의 가교부에 의해 상기 프레임 형상부에 접속되어 있는 접속 부위를 갖는, 증착 마스크 중간체.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 띠상부의 각 제 2 가장자리부는, 상기 증착 마스크의 상기 절결에 추종한 형상을 갖는 절결을 구비하고,
   상기 띠상부의 각 절결은, 상기 접속 부위 사이에 두어져 있는, 증착 마스크 중간체.
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 띠상부의 각 제 2 가장자리부는, 상기 증착 마스크의 상기 절결에 추종한 형상을 갖는 절결을 구비하고,
   상기 프레임 형상부의 내측 가장자리는, 상기 띠상부의 상기 절결에 추종한 형상을 갖는 돌출 형상 가장자리를 구비하고,
   상기 띠상부의 각 절결은, 상기 만곡부와, 상기 만곡부로부터 상기 길이 방향으로 연장되는 1 쌍의 직선부를 포함하고,
   각 직선부는, 상기 가교부에 의해 상기 돌출 형상 가장자리에 접속되어 있는, 증착 마스크 중간체.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 띠상부의 상기 가장자리는, 상기 1 쌍의 제 1 가장자리부와 상기 1 쌍의 제 2 가장자리부를 포함하고,
   상기 띠상부의 각 제 1 가장자리부는, 상기 복수의 가교부에 의해 상기 프레임 형상부에 접속되어 있는, 증착 마스크 중간체.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 띠상부의 각 제 2 가장자리부는, 상기 증착 마스크의 상기 절결에 추종한 형상을 갖고, 상기 만곡부를 포함하는 절결을 구비하고,
   상기 띠상부의 각 제 1 가장자리부는, 제 1 접속 부위에 있어서 상기 프레임 형상부에 접속되어 있고,
   상기 띠상부의 각 제 2 가장자리부는, 제 2 접속 부위에 있어서 상기 복수의 가교부에 의해 상기 프레임 형상부에 접속되어 있고,
   상기 만곡부에 비해, 상기 제 1 접속 부위는 상기 길이 방향에 있어서 상기 제 2 접속 부위쪽에 위치하는, 증착 마스크 중간체.
7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
   상기 띠상부는, 복수의 관통공을 포함하는 마스크부를 포함하고,
   상기 띠상부의 각 제 1 가장자리부는, 상기 길이 방향에 있어서, 상기 마스크부와 겹치지 않는 부위에서 상기 가교부에 의해 상기 프레임 형상부에 접속되어 있는, 증착 마스크 중간체.
8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 프레임 형상부는, 상기 프레임 형상부의 상기 내측 가장자리로부터 상기 프레임 형상부의 외측 가장자리를 향하는 방향을 따라 연장되는 선상을 가진 취약부를 구비하고,
   상기 취약부의 기계적인 강도는, 상기 프레임 형상부에 있어서의 상기 취약부 이외 부분에 있어서의 기계적인 강도보다 낮은, 증착 마스크 중간체.
9. 금속제의 시트를 포함하는 증착 마스크 중간체의 띠상부인 증착 마스크로서, 상기 증착 마스크 중간체는, 1 쌍의 제 1 가장자리부와 1 쌍의 제 2 가장자리부에 둘러싸인 띠상부와, 당해 띠상부를 둘러싸는 프레임 형상부와, 상기 띠상부와 상기 프레임 형상부에 접속된 복수의 가교부를 구비하고, 상기 띠상부는 상기 증착 마스크 중간체로부터 상기 가교부의 절단에 의해 떼어내어지도록 구성되어 있고,
   각 제 2 가장자리부는, 상기 제 1 가장자리부보다 짧고, 절결을 구비하고, 상기 절결은, 상기 제 1 가장자리부가 연장되는 방향인 길이 방향으로 패이는 U 자 형상 부분을 갖고, 상기 U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선상이고,
   상기 증착 마스크의 가장자리에는, 상기 절결의 상기 바닥부인 만곡부가 형성되어 있고,
   상기 가교부의 절단에 의해, 상기 증착 마스크의 상기 가장자리 중에서 상기 만곡부 이외의 부위에 가교 자국이 형성되는, 증착 마스크.
10. 1 쌍의 제 1 가장자리부와 1 쌍의 제 2 가장자리부에 둘러싸인 띠상을 갖고, 각 제 2 가장자리부는, 상기 제 1 가장자리부보다 짧고, 절결을 구비하고, 상기 절결은, 상기 제 1 가장자리부가 연장되는 방향인 길이 방향으로 패이는 U 자 형상 부분을 갖고, 상기 U 자 형상 부분의 바닥부가 곡선상인 증착 마스크를 제조하는 방법으로서,
    금속제의 시트를 포함하는 증착 마스크 중간체로서, 상기 증착 마스크의 가장자리에 추종한 형상을 갖는 띠상부와, 상기 띠상부의 가장자리에 추종한 내측 가장자리를 가지고 상기 띠상부를 둘러싸는 프레임 형상부와, 상기 띠상부의 상기 가장자리를 상기 프레임 형상부의 상기 내측 가장자리에 접속하는 복수의 가교부를 구비하는 증착 마스크 중간체를 형성하는 것과,
    각 가교부의 절단에 의해, 상기 띠상부로부터 증착 마스크를 형성하는 것을 구비하고,
    상기 띠상부로부터 증착 마스크를 형성하는 것에 있어서, 상기 띠상부의 상기 가장자리에는 상기 절결의 상기 바닥부에 추종한 형상을 갖는 만곡부가 형성되고, 또한, 각 가교부는 상기 띠상부의 상기 가장자리 중에서 상기 만곡부 이외의 부위에 접속되는, 증착 마스크의 제조 방법.

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