JP2020128591A - 蒸着マスク装置、マスク支持機構及び蒸着マスク装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1部分と、第1方向において開口部を挟んで前記第1部分に対向する第2部分と、第3部分と、前記第1方向とは異なる第2方向において前記開口部を挟んで前記第3部分に対向する第4部分と、を有し、第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むフレームと、
前記第1面側において前記第1部分に固定されている第1端と、前記第1面側において前記第2部分に固定されている第2端と、を含み、前記第2方向に並ぶ複数の支持部材を有する支持体と、
前記第1面側において前記第3部分に固定されている第3端と、前記第1面側において前記第4部分に固定されている第4端と、前記第3端と前記第4端の間に位置する複数の貫通孔と、を有する蒸着マスクと、を備え、
前記複数の支持部材は、前記フレームの前記第3部分と前記第4部分の中間位置に最近接する第1支持部材と、前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側に位置する第2支持部材と、を少なくとも含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第1支持部材は、前記フレームから下方に第1撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持し、前記第2支持部材は、前記フレームから下方に前記第1撓み量よりも小さい第2撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持する。
第1部分と、第1方向において開口部を挟んで前記第1部分に対向する第2部分と、第3部分と、前記第1方向とは異なる第2方向において前記開口部を挟んで前記第3部分に対向する第4部分と、を有し、第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むフレームと、
前記第1面側において前記第1部分に固定されている第1端と、前記第1面側において前記第2部分に固定されている第2端と、を含み、前記第2方向に並ぶ複数の支持部材を有する支持体と、
前記第1面側において前記第3部分に固定されている第3端と、前記第1面側において前記第4部分に固定されている第4端と、前記第3端と前記第4端の間に位置する複数の貫通孔と、を有する蒸着マスクと、を備え、
前記複数の支持部材は、前記フレームの前記第3部分と前記第4部分の中間位置に最近接する第1支持部材と、前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側に位置する第2支持部材と、を少なくとも含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第1支持部材は、前記フレームから下方に第1撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持し、前記第2支持部材は、前記フレームから下方に前記第1撓み量よりも小さい第2撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持する、蒸着マスク装置である。
前記複数の支持部材は、前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第4部分側に位置する第3支持部材を含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第3支持部材は、前記フレームから下方に前記第1撓み量よりも小さい第3撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持してもよい。
前記複数の支持部材は、前記第2支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側に位置する第4支持部材と、前記第3支持部材よりも前記フレームの前記第4部分側に位置する第5支持部材と、を含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第4支持部材は、前記フレームから下方に前記第2撓み量よりも小さい第4撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持し、前記第5支持部材は、前記フレームから下方に前記第3撓み量よりも小さい第5撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持してもよい。
前記支持部材の厚みは、平面視で前記支持部材と重なる位置における前記蒸着マスクの厚みよりも大きくてもよい。
前記支持部材の厚みは、平面視で前記支持部材と重なる位置における前記蒸着マスクの厚みの2倍以上であってもよい。
前記支持部材の厚みは50μm以上であってもよい。
前記支持部材の厚みは、平面視で前記支持部材と重なる位置における前記蒸着マスクの厚みの50倍以下であってもよい。
前記支持部材の厚みは1mm以下であってもよい。
前記フレームは、前記第1面と前記第2面の間に位置し、前記開口部に面する第3面を含み、
平面視で前記第1支持部材と重なる位置における前記第1部分の前記第3面は、平面視で前記第2支持部材と重なる位置における前記第1部分の前記第3面よりも、前記第2部分側に位置していてもよい。
前記フレームの前記第1部分及び前記第2部分は、前記第3部分及び前記第4部分よりも短くてもよい。
前記第1部分及び前記第2部分の長さに対する前記第3部分及び前記第4部分の長さの比が1.1以上であってもよい。
第1部分と、第1方向において開口部を挟んで前記第1部分に対向する第2部分と、第3部分と、前記第1方向とは異なる第2方向において前記開口部を挟んで前記第3部分に対向する第4部分と、を有し、第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むフレームと、
前記第1面側において前記第1部分に固定されている第1端と、前記第1面側において前記第2部分に固定されている第2端と、を含み、前記第2方向に並ぶ複数の支持部材を有する支持体と、を備え、
前記複数の支持部材は、前記フレームの前記第3部分と前記第4部分の中間位置に最近接する第1支持部材と、前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側に位置する第2支持部材と、を少なくとも含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第1支持部材は、前記フレームから下方に予備第1撓み量で撓んでおり、前記第2支持部材は、前記フレームから下方に前記予備第1撓み量よりも小さい予備第2撓み量で撓んでいる、マスク支持機構である。
前記複数の支持部材は、前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第4部分側に位置する第3支持部材を含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第3支持部材は、前記フレームから下方に前記予備第1撓み量よりも小さい予備第3撓み量で撓んでいてもよい。
前記複数の支持部材は、前記第2支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側に位置する第4支持部材と、前記第3支持部材よりも前記フレームの前記第4部分側に位置する第5支持部材と、を含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第4支持部材は、前記フレームから下方に前記予備第2撓み量よりも小さい予備第4撓み量で撓んでおり、前記第5支持部材は、前記フレームから下方に前記予備第3撓み量よりも小さい予備第5撓み量で撓んでいてもよい。
前記支持部材の厚みは50μm以上であってもよい。
前記支持部材の厚みは1mm以下であってもよい。
前記フレームは、前記第1面と前記第2面の間に位置し、前記開口部に面する第3面を含み、
平面視で前記第1支持部材と重なる位置における前記第1部分の前記第3面は、平面視で前記第2支持部材と重なる位置における前記第1部分の前記第3面よりも、前記第2部分側に位置していてもよい。
前記フレームの前記第1部分及び前記第2部分は、前記第3部分及び前記第4部分よりも短くてもよい。
前記第1部分及び前記第2部分の長さに対する前記第3部分及び前記第4部分の長さの比が1.1以上であってもよい。
第1部分と、第1方向において開口部を挟んで前記第1部分に対向する第2部分と、第3部分と、前記第1方向とは異なる第2方向において前記開口部を挟んで前記第3部分に対向する第4部分と、を有し、第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むフレームを準備する工程と、
第1支持部材に第1張力を加えた状態で、前記フレームの前記第1面側において前記第1支持部材を、前記第1支持部材が前記フレームの前記第3部分と前記第4部分の中間位置に最近接するように前記フレームの前記第1部分及び前記第2部分に固定する工程と、
前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側の位置において、第2支持部材に前記第1張力よりも大きい第2張力を加えた状態で、前記フレームの前記第1面側において前記第2支持部材を前記フレームの前記第1部分及び前記第2部分に固定する工程と、
前記第1支持部材及び前記第2支持部材を前記フレームに固定した後、複数の貫通孔を有する蒸着マスクを、前記フレームの前記第1面側において前記フレームの前記第3部分及び前記第4部分に固定する工程と、を備える、蒸着マスク装置の製造方法である。
a1>a2>a4>a6
a1>a3>a5>a7
c1>c2>c4>c6
c1>c3>c5>c7
なお厚みTは、周囲領域24の厚み、すなわち蒸着マスク20のうち第1凹部30および第2凹部35が形成されていない部分の厚みである。従って厚みTは、金属板51の厚みであると言うこともできる。
若しくは、支持体固定工程においては、第3部分153と第4部分154との中間位置から遠くに位置する支持部材から順にフレーム15に固定してもよい。例えば、まず、第6支持部材66及び第7支持部材67をフレーム15に固定し、続いて、第4支持部材64及び第5支持部材65をフレーム15に固定し、続いて、第2支持部材62及び第3支持部材63をフレーム15に固定し、続いて、第1支持部材61をフレーム15に固定してもよい。
平面視で第1支持部材61と重なる位置における第2部分152の第3面18は、平面視で第2支持部材62と重なる位置における第2部分152の第3面18よりも、第1部分151側に位置していてもよい。個の場合、第2部分152のうち第1支持部材61の第2端602が溶接されている部分は、第2部分152のうち第2支持部材62の第2端602が溶接されている部分よりも、第1部分151側に位置していてもよい。このような位置関係は、第1支持部材61の長さが第2支持部材62の長さと同一の場合に生じていてもよい。
図3において、平面視で第1支持部材61と重なる位置における第1部分151及び第2部分152の第3面18を符号181で示す。平面視で第2支持部材62と重なる位置における第1部分151及び第2部分152の第3面18を符号182で示す。
図11において、符号Z1は、中間位置と第1支持部材61との間の距離を示す。符号Z2は、中間位置と第2支持部材62との間の距離を示す。符号Z3は、中間位置と第3支持部材63との間の距離を示す。距離Z1は、距離Z2及び距離Z3よりも小さい。
まず、図3に示す例の場合と同様に、第1部分151、第2部分152、第3部分153及び第4部分154を備えるフレーム15を準備した。第1部分151と第2部分152の間の距離は1461mmであり、第3部分153と第4部分154の間の距離は877mmであった。
第1支持部材61の第1予備撓み量:233μm
第2支持部材62の第2予備撓み量:174μm
第3支持部材63の第3予備撓み量:203μm
第4支持部材64の第4予備撓み量:117μm
第5支持部材65の第5予備撓み量:155μm
第6支持部材66の第6予備撓み量:73μm
第7支持部材67の第7予備撓み量:66μm
第1支持部材61の第1撓み量:420μm
第2支持部材62の第2撓み量:365μm
第3支持部材63の第3撓み量:377μm
第4支持部材64の第4撓み量:277μm
第5支持部材65の第5撓み量:285μm
第6支持部材66の第6撓み量:83μm
第7支持部材67の第7撓み量:72μm
第1蒸着マスクの撓み量:144μm
第2蒸着マスクの撓み量:176μm
第3蒸着マスクの撓み量:261μm
第4蒸着マスクの撓み量:334μm
第5蒸着マスクの撓み量:336μm
第6蒸着マスクの撓み量:366μm
第7蒸着マスクの撓み量:374μm
第8蒸着マスクの撓み量:425μm
第9蒸着マスクの撓み量:412μm
第10蒸着マスクの撓み量:420μm
第11蒸着マスクの撓み量:404μm
第12蒸着マスクの撓み量:404μm
第13蒸着マスクの撓み量:370μm
第14蒸着マスクの撓み量:382μm
第15蒸着マスクの撓み量:365μm
第16蒸着マスクの撓み量:292μm
第17蒸着マスクの撓み量:320μm
第18蒸着マスクの撓み量:234μm
第19蒸着マスクの撓み量:138μm
支持部材61〜67に生じている予備撓み量が同等になるよう、支持部材61〜67の第1端601及び第2端602をそれぞれフレーム15の第1部分151及び第2部分152に溶接により固定した。続いて、実施例1の場合と同様に、支持部材61〜67に生じている予備撓み量を測定した。結果を以下に示す。
第1支持部材61の第1撓み量:68μm
第2支持部材62の第2撓み量:59μm
第3支持部材63の第3撓み量:63μm
第4支持部材64の第4撓み量:63μm
第5支持部材65の第5撓み量:62μm
第6支持部材66の第6撓み量:61μm
第7支持部材67の第7撓み量:58μm
第1蒸着マスクの撓み量:59μm
第2蒸着マスクの撓み量:62μm
第3蒸着マスクの撓み量:62μm
第4蒸着マスクの撓み量:65μm
第5蒸着マスクの撓み量:64μm
第6蒸着マスクの撓み量:61μm
第7蒸着マスクの撓み量:66μm
第8蒸着マスクの撓み量:64μm
第9蒸着マスクの撓み量:65μm
第10蒸着マスクの撓み量:69μm
第11蒸着マスクの撓み量:69μm
第12蒸着マスクの撓み量:66μm
第13蒸着マスクの撓み量:62μm
第14蒸着マスクの撓み量:61μm
第15蒸着マスクの撓み量:60μm
第16蒸着マスクの撓み量:57μm
第17蒸着マスクの撓み量:63μm
第18蒸着マスクの撓み量:61μm
第19蒸着マスクの撓み量:57μm
Claims (20)
- 蒸着マスク装置であって、
第1部分と、第1方向において開口部を挟んで前記第1部分に対向する第2部分と、第3部分と、前記第1方向とは異なる第2方向において前記開口部を挟んで前記第3部分に対向する第4部分と、を有し、第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むフレームと、
前記第1面側において前記第1部分に固定されている第1端と、前記第1面側において前記第2部分に固定されている第2端と、を含み、前記第2方向に並ぶ複数の支持部材を有する支持体と、
前記第1面側において前記第3部分に固定されている第3端と、前記第1面側において前記第4部分に固定されている第4端と、前記第3端と前記第4端の間に位置する複数の貫通孔と、を有する蒸着マスクと、を備え、
前記複数の支持部材は、前記フレームの前記第3部分と前記第4部分の中間位置に最近接する第1支持部材と、前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側に位置する第2支持部材と、を少なくとも含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第1支持部材は、前記フレームから下方に第1撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持し、前記第2支持部材は、前記フレームから下方に前記第1撓み量よりも小さい第2撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持する、蒸着マスク装置。 - 前記複数の支持部材は、前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第4部分側に位置する第3支持部材を含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第3支持部材は、前記フレームから下方に前記第1撓み量よりも小さい第3撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持する、請求項1に記載の蒸着マスク装置。 - 前記複数の支持部材は、前記第2支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側に位置する第4支持部材と、前記第3支持部材よりも前記フレームの前記第4部分側に位置する第5支持部材と、を含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第4支持部材は、前記フレームから下方に前記第2撓み量よりも小さい第4撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持し、前記第5支持部材は、前記フレームから下方に前記第3撓み量よりも小さい第5撓み量で撓んだ状態で前記蒸着マスクを下方から支持する、請求項2に記載の蒸着マスク装置。 - 前記支持部材の厚みは、平面視で前記支持部材と重なる位置における前記蒸着マスクの厚みよりも大きい、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置。
- 前記支持部材の厚みは、平面視で前記支持部材と重なる位置における前記蒸着マスクの厚みの2倍以上である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置。
- 前記支持部材の厚みは50μm以上である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置。
- 前記支持部材の厚みは、平面視で前記支持部材と重なる位置における前記蒸着マスクの厚みの50倍以下である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置。
- 前記支持部材の厚みは1mm以下である、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置。
- 前記フレームは、前記第1面と前記第2面の間に位置し、前記開口部に面する第3面を含み、
平面視で前記第1支持部材と重なる位置における前記第1部分の前記第3面は、平面視で前記第2支持部材と重なる位置における前記第1部分の前記第3面よりも、前記第2部分側に位置する、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置。 - 前記フレームの前記第1部分及び前記第2部分は、前記第3部分及び前記第4部分よりも短い、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置。
- 前記第1部分及び前記第2部分の長さに対する前記第3部分及び前記第4部分の長さの比が1.1以上である、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置。
- 蒸着マスクを支持するマスク支持機構であって、
第1部分と、第1方向において開口部を挟んで前記第1部分に対向する第2部分と、第3部分と、前記第1方向とは異なる第2方向において前記開口部を挟んで前記第3部分に対向する第4部分と、を有し、第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むフレームと、
前記第1面側において前記第1部分に固定されている第1端と、前記第1面側において前記第2部分に固定されている第2端と、を含み、前記第2方向に並ぶ複数の支持部材を有する支持体と、を備え、
前記複数の支持部材は、前記フレームの前記第3部分と前記第4部分の中間位置に最近接する第1支持部材と、前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側に位置する第2支持部材と、を少なくとも含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第1支持部材は、前記フレームから下方に予備第1撓み量で撓んでおり、前記第2支持部材は、前記フレームから下方に前記予備第1撓み量よりも小さい予備第2撓み量で撓んでいる、マスク支持機構。 - 前記複数の支持部材は、前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第4部分側に位置する第3支持部材を含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第3支持部材は、前記フレームから下方に前記予備第1撓み量よりも小さい予備第3撓み量で撓んでいる、請求項12に記載のマスク支持機構。 - 前記複数の支持部材は、前記第2支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側に位置する第4支持部材と、前記第3支持部材よりも前記フレームの前記第4部分側に位置する第5支持部材と、を含み、
前記フレームの前記第1面が前記第2面の上方に位置する状態において、前記第4支持部材は、前記フレームから下方に前記予備第2撓み量よりも小さい予備第4撓み量で撓んでおり、前記第5支持部材は、前記フレームから下方に前記予備第3撓み量よりも小さい予備第5撓み量で撓んでいる、請求項13に記載のマスク支持機構。 - 前記支持部材の厚みは50μm以上である、請求項12乃至14のいずれか一項に記載のマスク支持機構。
- 前記支持部材の厚みは1mm以下である、請求項12乃至15のいずれか一項に記載のマスク支持機構。
- 前記フレームは、前記第1面と前記第2面の間に位置し、前記開口部に面する第3面を含み、
平面視で前記第1支持部材と重なる位置における前記第1部分の前記第3面は、平面視で前記第2支持部材と重なる位置における前記第1部分の前記第3面よりも、前記第2部分側に位置する、請求項12乃至16のいずれか一項に記載のマスク支持機構。 - 前記フレームの前記第1部分及び前記第2部分は、前記第3部分及び前記第4部分よりも短い、請求項12乃至17のいずれか一項に記載のマスク支持機構。
- 前記第1部分及び前記第2部分の長さに対する前記第3部分及び前記第4部分の長さの比が1.1以上である、請求項12乃至18のいずれか一項に記載のマスク支持機構。
- 蒸着マスク装置の製造方法であって、
第1部分と、第1方向において開口部を挟んで前記第1部分に対向する第2部分と、第3部分と、前記第1方向とは異なる第2方向において前記開口部を挟んで前記第3部分に対向する第4部分と、を有し、第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むフレームを準備する工程と、
第1支持部材に第1張力を加えた状態で、前記フレームの前記第1面側において前記第1支持部材を、前記第1支持部材が前記フレームの前記第3部分と前記第4部分の中間位置に最近接するように前記フレームの前記第1部分及び前記第2部分に固定する工程と、
前記第1支持部材よりも前記フレームの前記第3部分側の位置において、第2支持部材に前記第1張力よりも大きい第2張力を加えた状態で、前記フレームの前記第1面側において前記第2支持部材を前記フレームの前記第1部分及び前記第2部分に固定する工程と、
前記第1支持部材及び前記第2支持部材を前記フレームに固定した後、複数の貫通孔を有する蒸着マスクを、前記フレームの前記第1面側において前記フレームの前記第3部分及び前記第4部分に固定する工程と、を備える、蒸着マスク装置の製造方法。
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