KR20200096877A

KR20200096877A - 증착 마스크 장치, 마스크 지지 기구 및 증착 마스크 장치의 제조 방법

Info

Publication number: KR20200096877A
Application number: KR1020200013595A
Authority: KR
Inventors: 다이고 아오키; 지카오 이케나가; 이사오 이노우에
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2019-02-06
Filing date: 2020-02-05
Publication date: 2020-08-14
Also published as: JP7487481B2; EP3693492A1; US20210317562A1; US20220162738A1; US20230167539A1; US11788181B2; US20200248297A1; TW202420970A; US11279999B2; TW202034556A; US11434559B2; US11608554B2; CN111534788A; TWI841677B; JP2024099801A; JP2020128591A; CN211713188U

Abstract

증착 마스크 장치는, 프레임과, 프레임에 고정되어 있는 복수의 지지 부재를 갖는 지지체와, 프레임에 고정되어 있는 증착 마스크를 구비한다. 복수의 지지 부재는, 프레임의 제3 부분과 제4 부분의 중간 위치에 최근접하는 제1 지지 부재와, 제1 지지 부재보다 프레임의 제3 부분측에 위치하는 제2 지지 부재를 적어도 포함한다. 제1 지지 부재는, 프레임으로부터 하방으로 제1 휨양으로 휜 상태에서 증착 마스크를 하방으로부터 지지하고, 제2 지지 부재는, 프레임으로부터 하방으로 제1 휨양보다 작은 제2 휨양으로 휜 상태에서 증착 마스크를 하방으로부터 지지한다.

Description

증착 마스크 장치, 마스크 지지 기구 및 증착 마스크 장치의 제조 방법{DEPOSITION MASK DEVICE, MASK SUPPORT MECHANISM, AND MANUFACTURING METHOD OF DEPOSITION MASK DEVICE}

본 개시의 실시 형태는, 증착 마스크 장치, 마스크 지지 기구 및 증착 마스크 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

스마트폰이나 태블릿 PC 등의 전자 디바이스에 있어서, 고정밀의 표시 장치가, 시장으로부터 요구되고 있다. 표시 장치는, 예를 들어 400ppi 이상 또는 800ppi 이상 등의 화소 밀도를 갖는다.

양호한 응답성, 또는/및 높은 콘트라스트를 갖기 위해, 유기 EL 표시 장치가 주목받고 있다. 유기 EL 표시 장치의 화소를 형성하는 방법으로서, 화소를 구성하는 재료를 증착에 의해 기판에 부착시키는 방법이 알려져 있다. 이 경우, 먼저, 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크와, 증착 마스크를 지지하는 프레임을 구비하는 증착 마스크 장치를 준비한다. 이어서, 증착 장치 내에서, 증착 마스크 장치의 증착 마스크를 기판에 밀착시킨 상태에서, 유기 재료 또는/및 무기 재료 등을 증착시켜, 유기 재료 또는/및 무기 재료 등을 기판에 형성한다.

증착 공정 시, 증착 마스크와 기판 사이에 간극이 존재하는 것이 원인으로, 기판 상의 유기 재료의 치수 정밀도 또는/및 기판 상의 유기 재료의 위치의 정밀도가 저하될 가능성이 있다. 간극이 생기는 원인은, 증착 마스크가 자중에 의해 휘는 것 등이다. 이와 같은 과제를 해결하기 위해, 증착 마스크, 기판, 및 자석의 순으로 배치함으로써, 자력을 이용하여 증착 마스크를 기판측으로 끌어당기는 것이 알려져 있다.

일본 특허 제5382259호 공보

증착 마스크에 발생하는 휨의 형태에 따라서는, 자석 등을 사용하더라도, 증착 마스크와 기판 사이의 간극을 충분히 저감시킬 수 없는 경우가 있다.

본 개시의 실시 형태는, 증착 마스크와 기판 사이의 간극을 저감시키는 것을 목적으로 한다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치는,

제1 부분과, 제1 방향에 있어서 개구부를 사이에 두고 상기 제1 부분에 대향하는 제2 부분과, 제3 부분과, 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향에 있어서 상기 개구부를 사이에 두고 상기 제3 부분에 대향하는 제4 부분을 갖고, 제1 면 및 상기 제1 면의 반대측에 위치하는 제2 면을 포함하는 프레임과,

상기 제1 면측에 있어서 상기 제1 부분에 고정되어 있는 제1 단부와, 상기 제1 면측에 있어서 상기 제2 부분에 고정되어 있는 제2 단부를 포함하고, 상기 제2 방향으로 배열되는 복수의 지지 부재를 갖는 지지체와,

상기 제1 면측에 있어서 상기 제3 부분에 고정되어 있는 제3 단부와, 상기 제1 면측에 있어서 상기 제4 부분에 고정되어 있는 제4 단부와, 상기 제3 단부와 상기 제4 단 사이에 위치하는 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크를 구비하고,

상기 복수의 지지 부재는, 상기 프레임의 상기 제3 부분과 상기 제4 부분의 중간 위치에 최근접하는 제1 지지 부재와, 상기 제1 지지 부재보다도 상기 프레임의 상기 제3 부분측에 위치하는 제2 지지 부재를 적어도 포함하고,

상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제1 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 제1 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지하고, 상기 제2 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 제1 휨양보다도 작은 제2 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지한다.

본 개시의 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치에 의하면, 증착 마스크와 기판 사이의 간극을 저감시킬 수 있다.

도 1은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치를 구비한 증착 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치를 도시하는 평면도다.
도 3은 프레임과, 프레임에 고정되어 있는 지지체를 구비하는 조립체를 도시하는 평면도다.
도 4는 도 2의 A-A선을 따른 단면도다.
도 5는 도 2의 B-B선을 따른 단면도다.
도 6은 도 3의 C-C선을 따른 단면도다.
도 7은 증착 마스크의 유효 영역을 도시하는 부분 평면도다.
도 8은 도 7의 D-D선을 따른 단면도다.
도 9a는 증착 마스크의 제조 방법의 일례를 전체적으로 설명하기 위한 모식도다.
도 9b는 냉각판의 일 변형예를 도시하는 도면이다.
도 10은 증착 마스크 장치를 사용하여 제작된 증착 기판을 도시하는 단면도다.
도 11은 프레임과, 프레임에 고정되어 있는 지지체를 구비하는 조립체의 일 변형예를 도시하는 평면도다.
도 12는 증착 마스크 장치의 일 변형예를 도시하는 평면도다.
도 13은 프레임과, 프레임에 고정되어 있는 지지체를 구비하는 조립체의 일 변형예를 도시하는 평면도다.
도 14는 도 12의 E-E선을 따른 단면도다.
도 15는 프레임과, 프레임에 고정되어 있는 지지체를 구비하는 조립체의 일 변형예를 도시하는 평면도다.
도 16은 증착 마스크 장치의 일 변형예를 도시하는 평면도다.
도 17은 증착층의 치수 정밀도 및 위치 정밀도의 평가 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 마스크 지지 기구의 지지 부재의 예비 휨양을 측정하는 방법의 일례를 설명하기 위한 평면도다.
도 19는 도 18의 F-F선을 따른 단면도다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 「기판」이나 「기재」나 「판」이나 「시트」나 「필름」 등의 어느 구성의 기초가 되는 물질을 의미하는 용어는, 호칭의 차이에만 기초하여, 서로로부터 구별되는 것은 아니다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 형상이나 기하학적 조건, 그리고 그것들의 정도를 특정하는, 예를 들어 「평행」이나 「직교」 등의 용어나 길이나 각도의 값 등에 대해서는, 엄밀한 의미에 얽매이지 않고, 동일한 기능을 기대해도 될 정도의 범위를 포함하여 해석하기로 한다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 어느 부재 또는 어느 영역 등의 어느 구성이, 다른 부재 또는 다른 영역 등의 다른 구성의 「상에」나 「하에」, 「상측에」나 「하측에」, 또는 「상방에」나 「하방에」라고 하는 경우, 어느 구성이 다른 구성에 직접적으로 접하고 있는 경우를 포함한다. 또한, 어느 구성과 다른 구성 사이에 별도의 구성이 포함되어 있는 경우, 즉 간접적으로 접하고 있는 경우도 포함한다. 또한, 특별한 설명이 없는 한은, 「상」이나 「상측」이나 「상방」, 또는 「하」나 「하측」이나 「하방」이라는 어구는, 상하 방향이 역전되어도 된다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 동일 부분 또는 동일한 기능을 갖는 부분에는 동일한 부호 또는 유사한 부호를 붙여, 그 반복의 설명은 생략하는 경우가 있다. 또한, 도면의 치수 비율은 설명의 사정상 실제의 비율과는 상이한 경우나, 구성의 일부가 도면으로부터 생략되는 경우가 있다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 모순이 발생하지 않는 범위에서, 그 다른 실시 형태나 변형예와 조합되어도 된다. 또한, 그 밖의 실시 형태끼리나, 그 다른 실시 형태와 변형예도, 모순이 발생하지 않는 범위에서 조합되어도 된다. 또한, 변형예끼리도, 모순이 발생하지 않는 범위에서 조합되어도 된다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 제조 방법 등의 방법에 관하여 복수의 공정을 개시하는 경우에, 개시되어 있는 공정 사이에, 개시되어 있지 않은 그 밖의 공정이 실시되어도 된다. 또한, 개시되어 있는 공정의 순서는, 모순이 발생하지 않는 범위에서 임의이다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 「∼」라는 기호에 의해 표현되는 수치 범위는, 「∼」라는 부호의 전후에 놓인 수치를 포함하고 있다. 예를 들어, 「34∼38질량％」라는 표현에 의해 획정되는 수치 범위는, 「34질량％ 이상 또한 38질량％ 이하」라는 표현에 의해 획정되는 수치 범위와 동일하다.

본 명세서의 일 실시 형태에 있어서는, 유기 EL 표시 장치를 제조할 때에 유기 재료를 원하는 패턴으로 기판 상에 패터닝하기 위해 사용되는 증착 마스크나 그 제조 방법에 관한 예를 들어 설명한다. 단, 이와 같은 적용에 한정되지 않고, 다양한 용도에 사용되는 증착 마스크에 대하여, 본 실시 형태를 적용할 수 있다. 예를 들어, 가상 현실, 소위 VR이나 확장 현실 소위 AR을 표현하기 위한 화상이나 영상을 표시 또는 투영하기 위한 장치를 제조하기 위해, 본 실시 형태의 마스크를 사용해도 된다.

본 개시의 제1 양태는, 증착 마스크 장치이며,

상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제1 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 제1 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지하고, 상기 제2 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 제1 휨양보다도 작은 제2 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지하는, 증착 마스크 장치이다.

본 개시의 제2 양태는, 상술한 제1 양태에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 복수의 지지 부재는, 상기 제1 지지 부재보다도 상기 프레임의 상기 제4 부분측에 위치하는 제3 지지 부재를 포함하고,

상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제3 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 제1 휨양보다도 작은 제3 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지해도 된다.

본 개시의 제3 양태는, 상술한 제2 양태에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 복수의 지지 부재는, 상기 제2 지지 부재보다도 상기 프레임의 상기 제3 부분측에 위치하는 제4 지지 부재와, 상기 제3 지지 부재보다도 상기 프레임의 상기 제4 부분측에 위치하는 제5 지지 부재를 포함하고,

상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제4 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 제2 휨양보다도 작은 제4 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지하고, 상기 제5 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 제3 휨양보다도 작은 제5 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지해도 된다.

본 개시의 제4 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제3 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 지지 부재의 두께는, 평면으로 보아 상기 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 증착 마스크의 두께보다도 두꺼워도 된다.

본 개시의 제5 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제3 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 지지 부재의 두께는, 평면으로 보아 상기 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 증착 마스크의 두께의 2배 이상이어도 된다.

본 개시의 제6 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제5 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 지지 부재의 두께는 50㎛ 이상이어도 된다.

본 개시의 제7 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제6 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 지지 부재의 두께는, 평면으로 보아 상기 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 증착 마스크의 두께의 50배 이하여도 된다.

본 개시의 제8 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제7 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 지지 부재의 두께는 1㎜ 이하여도 된다.

본 개시의 제9 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제8 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 프레임은, 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에 위치하여, 상기 개구부에 면하는 제3 면을 포함하고,

평면으로 보아 상기 제1 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 제1 부분의 상기 제3 면은, 평면으로 보아 상기 제2 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 제1 부분의 상기 제3 면보다도, 상기 제2 부분측에 위치하고 있어도 된다.

본 개시의 제10 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제9 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 프레임의 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은, 상기 제3 부분 및 상기 제4 부분보다도 짧아도 된다.

본 개시의 제11 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제10 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 길이에 대한 상기 제3 부분 및 상기 제4 부분의 길이 비가 1.1 이상이어도 된다.

본 개시의 제12 양태는, 증착 마스크를 지지하는 마스크 지지 기구이며,

상기 제1 면측에 있어서 상기 제1 부분에 고정되어 있는 제1 단부와, 상기 제1 면측에 있어서 상기 제2 부분에 고정되어 있는 제2 단부를 포함하고, 상기 제2 방향으로 배열되는 복수의 지지 부재를 갖는 지지체를 구비하고,

상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제1 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 예비 제1 휨양으로 휘어 있고, 상기 제2 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 예비 제1 휨양보다도 작은 예비 제2 휨양으로 휘어 있는, 마스크 지지 기구이다.

본 개시의 제13 양태는, 상술한 제12 양태에 의한 마스크 지지 기구에 있어서,

상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제3 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 예비 제1 휨양보다도 작은 예비 제3 휨양으로 휘어 있어도 된다.

본 개시의 제14 양태는, 상술한 제13 양태에 의한 마스크 지지 기구에 있어서,

상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제4 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 예비 제2 휨양보다도 작은 예비 제4 휨양으로 휘어 있고, 상기 제5 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 예비 제3 휨양보다도 작은 예비 제5 휨양으로 휘어 있어도 된다.

본 개시의 제15 양태는, 상술한 제12 양태 내지 상술한 제14 양태의 각각에 의한 마스크 지지 기구에 있어서,

상기 지지 부재의 두께는 50㎛ 이상이어도 된다.

본 개시의 제16 양태는, 상술한 제12 양태 내지 상술한 제15 양태의 각각에 의한 마스크 지지 기구에 있어서,

상기 지지 부재의 두께는 1㎜ 이하여도 된다.

본 개시의 제17 양태는, 상술한 제12 양태 내지 상술한 제16 양태의 각각에 의한 마스크 지지 기구에 있어서,

상기 프레임은, 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에 위치하고, 상기 개구부에 면하는 제3 면을 포함하고,

본 개시의 제18 양태는, 상술한 제12 양태 내지 상술한 제17 양태의 각각에 의한 마스크 지지 기구에 있어서,

본 개시의 제19 양태는, 상술한 제12 양태 내지 상술한 제18 양태의 각각에 의한 마스크 지지 기구에 있어서,

본 개시의 제20 양태는, 증착 마스크 장치의 제조 방법이며,

제1 부분과, 제1 방향에 있어서 개구부를 사이에 두고 상기 제1 부분에 대향하는 제2 부분과, 제3 부분과, 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향에 있어서 상기 개구부를 사이에 두고 상기 제3 부분에 대향하는 제4 부분을 갖고, 제1 면 및 상기 제1 면의 반대측에 위치하는 제2 면을 포함하는 프레임을 준비하는 공정과,

제1 지지 부재에 제1 장력을 가한 상태에서, 상기 프레임의 상기 제1 면측에 있어서 상기 제1 지지 부재를, 상기 제1 지지 부재가 상기 프레임의 상기 제3 부분과 상기 제4 부분의 중간 위치에 최근접하도록 상기 프레임의 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분에 고정하는 공정과,

상기 제1 지지 부재보다도 상기 프레임의 상기 제3 부분측의 위치에 있어서, 제2 지지 부재에 상기 제1 장력보다도 큰 제2 장력을 가한 상태에서, 상기 프레임의 상기 제1 면측에 있어서 상기 제2 지지 부재를 상기 프레임의 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분에 고정하는 공정과,

상기 제1 지지 부재 및 상기 제2 지지 부재를 상기 프레임에 고정한 후, 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크를, 상기 프레임의 상기 제1 면측에 있어서 상기 프레임의 상기 제3 부분 및 상기 제4 부분에 고정하는 공정을 구비하는, 증착 마스크 장치의 제조 방법이다.

이하, 본 개시의 일 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 기재하는 실시 형태는 본 개시의 실시 형태의 일례이며, 본 개시는 이들 실시 형태에만 한정하여 해석되는 것은 아니다.

먼저, 대상물에 증착 재료를 증착시키는 증착 처리를 실시하는 증착 장치(80)에 대하여, 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 장치(80)는, 그 내부에, 증착원(81), 히터(83), 및 증착 마스크 장치(10)를 구비하고 있어도 된다. 또한, 증착 장치(80)는, 증착 장치(80)의 내부를 진공 분위기로 하기 위한 배기 수단을 더 구비하고 있어도 된다. 증착원(81)은, 예를 들어 도가니이고, 유기 발광 재료 등의 증착 재료(82)를 수용한다. 히터(83)는, 증착원(81)을 가열하여, 진공 분위기 하에서 증착 재료(82)를 증발시킨다. 증착 마스크 장치(10)는, 증착원(81)과 대향하도록 배치되어 있다.

이하, 증착 마스크 장치(10)에 대하여 설명한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는, 프레임(15)과, 프레임(15)에 고정되어 있는 증착 마스크(20)를 구비한다. 프레임(15)은, 증착 마스크(20)가 휘는 것을 억제하도록, 증착 마스크(20)를 그 면방향으로 인장한 상태에서 지지한다.

증착 마스크 장치(10)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 재료(82)를 부착시키는 대상물인 기판(91)에 증착 마스크(20)가 대면하도록, 증착 장치(80) 내에 배치되어 있다. 증착 마스크(20)는, 증착원(81)으로부터 비래된 증착 재료(82)를 통과시키는 복수의 관통 구멍(25)을 갖는다. 이하의 설명에 있어서, 증착 마스크(20)의 면 중, 비래된 증착 재료(82)가 부착되는 기판(91)의 측에 위치하는 면을 제1 면(201)이라고 칭하고, 제1 면(201)의 반대측에 위치하는 면을 제2 면(202)이라고 칭한다.

증착 마스크 장치(10)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 기판(91)의, 증착 마스크(20)와 반대 측의 면에 배치된 냉각판(85)을 구비하고 있어도 된다. 냉각판(85)은, 냉각판(85)의 내부에 냉매를 순환시키기 위한 유로를 갖고 있어도 된다. 증착 마스크 장치(10)가 냉각판(85)을 구비함으로써, 증착 공정 시에 기판(91)의 온도가 상승하는 것을 억제할 수 있다.

도시는 하지 않지만, 증착 마스크 장치(10)는, 기판(91)의, 증착 마스크(20)와 반대 측의 면에 배치된 자석을 구비하고 있어도 된다. 자석은, 냉각판(85)의, 증착 마스크(20)와 반대 측의 면에 배치되어 있어도 된다. 자석을 마련함으로써, 자력에 의해 증착 마스크를 기판(91)측으로 끌어당겨, 증착 마스크(20)를 기판(91)에 밀착시킬 수 있다. 이에 의해, 증착 공정에 있어서 섀도우가 발생하는 것을 억제할 수 있어, 기판(91)에 부착되는 증착 재료(82)에 의해 기판(91)에 형성되는 증착층의 치수 정밀도나 위치 정밀도를 높일 수 있다. 본원에 있어서, 섀도우란, 증착 마스크(20)와 기판(91) 사이의 간극에 증착 재료(82)가 들어가고, 이에 의해 증착층의 두께가 불균일해지는 현상이다. 또한, 정전기력을 이용하는 정전 척을 사용하여 증착 마스크(20)를 기판(91)에 밀착시켜도 된다.

도 2는, 증착 마스크 장치(10)를 증착 마스크(20)의 제1 면(201)측으로부터 본 경우를 도시하는 평면도이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는, 제1 방향 D1로 배열되는 복수의 증착 마스크(20)를 구비하고 있어도 된다. 본 실시 형태에 있어서, 각 증착 마스크(20)는, 제1 방향 D1에 교차하는 제2 방향 D2로 연장되는 직사각형 형상을 갖는다. 각 증착 마스크(20)는, 증착 마스크(20)의 길이 방향의 양단부에 있어서, 예를 들어 용접에 의해 프레임(15)에 고정되어 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는, 프레임(15)과 증착 마스크(20) 사이에 위치하는 지지체(60)를 더 구비하고 있어도 된다. 지지체(60)는, 프레임(15)에 고정되어 있어도 된다. 도 3은, 지지체(60)를 명확하게 나타내기 위해, 도 2의 증착 마스크 장치(10)로부터 증착 마스크(20)를 제거한 상태를 도시하는 평면도이다. 프레임(15) 및 지지체(60)를 구비하는 구성 요소를, 마스크 지지 기구(75)라고도 칭한다.

이하, 증착 마스크 장치(10)의 프레임(15), 증착 마스크(20) 및 지지체(60)에 대하여 상세하게 설명한다.

먼저, 프레임(15)에 대하여 설명한다. 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 프레임(15)은, 제1 부분(151), 제2 부분(152), 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)을 포함하는 프레임 부재와, 프레임 부재의 내측의 개구부(155)를 갖는다. 제1 부분(151)과 제2 부분(152)은, 제1 방향 D1에 있어서 개구부(155)를 사이에 두고 대향하고 있다. 또한, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)은, 제1 방향 D1과는 다른 제2 방향 D2에 있어서 개구부(155)를 사이에 두고 대향하고 있다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 방향 D1과 제2 방향 D2는 서로 직교하고 있어도 된다. 또한, 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)은 제2 방향 D2로 연장되어 있어도 되고, 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)은 제1 방향 D1로 연장되어 있어도 된다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 프레임(15)의 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)은, 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)보다도 짧아도 된다. 도 2에 도시한 바와 같이, 프레임(15)의 제1 면(16)측에 있어서, 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)에는 지지체(60)의 단부가 고정되어 있어도 된다. 또한, 프레임(15)의 제1 면(16)측에 있어서, 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)에는 증착 마스크(20)의 단부가 고정되어 있어도 된다. 이 경우, 도 2에 도시한 바와 같이, 지지체(60)가 증착 마스크(20)보다도 길어진다.

제1 부분(151) 및 제2 부분(152)의 길이에 대한 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)의 길이의 비는, 예를 들어 1.1 이상이어도 되고, 1.2 이상이어도 되고, 1.3 이상이어도 된다. 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)의 길이에 대한 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)의 길이 비는, 예를 들어 1.5 이하여도 되고, 1.7 이하여도 되고, 2.0 이하여도 된다. 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)의 길이에 대한 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)의 길이의 비의 범위는, 1.1, 1.2 및 1.3으로 이루어지는 제1 그룹, 및／또는, 1.5, 1.7 및 2.0으로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)의 길이에 대한 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)의 길이의 비의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 하나와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)의 길이에 대한 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)의 길이의 비의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)의 길이에 대한 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)의 길이의 비의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 1.1 이상 2.0 이하여도 되고, 1.1 이상 1.7 이하여도 되고, 1.1 이상 1.5 이하여도 되고, 1.1 이상 1.3 이하여도 되고, 1.1 이상 1.2 이하여도 되고, 1.2 이상 2.0 이하여도 되고, 1.2 이상 1.7 이하여도 되고, 1.2 이상 1.5 이하여도 되고, 1.2 이상 1.3 이하여도 되고, 1.3 이상 2.0 이하여도 되고, 1.3 이상 1.7 이하여도 되고, 1.3 이상 1.5 이하여도 되고, 1.5 이상 2.0 이하여도 되고, 1.5 이상 1.7 이하여도 되고, 1.7 이상 2.0 이하여도 된다.

프레임(15)을 구성하는 재료로서는, 후술하는 증착 마스크(20)의 금속판의 재료와 동일한 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, 니켈을 포함하는 철 합금을 사용할 수 있다.

이어서, 증착 마스크(20)에 대하여 설명한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)는, 프레임(15)에 고정되어 있는 한 쌍의 귀부(21)와, 귀부(21) 사이에 위치하는 중간부(22)를 갖고 있어도 된다. 이하의 설명에 있어서, 한 쌍의 귀부(21) 중, 프레임(15)의 제3 부분(153)에 고정되어 있는 부분을 제3 단부(211)라고도 칭하고, 프레임(15)의 제4 부분(154)에 고정되어 있는 부분을 제4 단부(212)라고도 칭한다.

증착 마스크(20)의 중간부(22)는, 적어도 하나의 유효 영역(23)과, 유효 영역(23)의 주위에 위치하는 주위 영역(24)을 갖고 있어도 된다. 도 2에 도시하는 예에 있어서, 중간부(22)는, 제2 방향 D2를 따라 소정의 간격을 두고 배열된 복수의 유효 영역(23)을 포함한다. 주위 영역(24)은, 복수의 유효 영역(23)을 둘러싸고 있다.

증착 마스크(20)를 사용하여 유기 EL 표시 장치 등의 표시 장치를 제작하는 경우, 하나의 유효 영역(23)은, 하나의 유기 EL 표시 장치의 표시 영역에 대응한다. 이 때문에, 도 2에 도시하는 증착 마스크 장치(10)에 의하면, 유기 EL 표시 장치의 다면 증착이 가능하다. 또한, 하나의 유효 영역(23)이 복수의 표시 영역에 대응하는 경우도 있다. 또한, 도시는 하지 않지만, 증착 마스크(20)의 폭 방향에 있어서도 소정의 간격을 두고 복수의 유효 영역(23)이 배열되어 있어도 된다.

유효 영역(23)은, 예를 들어 평면으로 보아 대략 사각형 형상, 더 정확하게는 평면으로 보아 대략 직사각 형상의 윤곽을 갖는다. 또한 도시는 하지 않지만, 각 유효 영역(23)은, 유기 EL 표시 장치의 표시 영역의 형상에 따라, 다양한 형상의 윤곽을 가질 수 있다. 예를 들어, 각 유효 영역(23)은, 원 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다. 평면으로 본다는 것은, 프레임(15)의 제1 면(16)의 법선 방향을 따라 증착 마스크 장치(10)를 보는 것을 의미한다.

이어서, 지지체(60)에 대하여 설명한다. 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 지지체(60)는, 제2 방향 D2로 배열되는 복수의 지지 부재를 포함하고 있어도 된다. 도 2 및 도 3에 도시하는 예에 있어서, 지지체(60)는, 7개의 지지 부재를 포함하고 있다. 각 지지 부재는, 프레임(15)의 제1 면(16)측에 있어서 제1 부분(151)에 고정되어 있는 단부와, 프레임(15)의 제1 면(16)측에 있어서 제2 부분(152)에 고정되어 있는 단부를 포함하고 있어도 된다. 이하의 설명에 있어서, 제1 부분(151)에 고정되어 있는 지지 부재의 단부를 제1 단부(601)라고도 칭하고, 제2 부분(152)에 고정되어 있는 지지 부재의 단부를 제2 단부(602)라고도 칭한다.

복수의 지지 부재는, 프레임(15)의 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에 최근접하는 제1 지지 부재(61)와, 제1 지지 부재(61)보다도 제3 부분(153)측에 위치하는 제2 지지 부재(62)를 적어도 포함한다. 「제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치」란, 제2 방향 D2에 있어서의 제3 부분(153)까지의 거리와 제4 부분(154)까지의 거리가 동등해지는 위치이다. 도 3에 있어서, 부호 M으로 나타내는 일점 쇄선이, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치를 나타내고 있다. 평면으로 보아 중간 위치와 겹치는 지지 부재가 존재하는 경우, 중간 위치와 겹치는 지지 부재가, 중간 위치에 최근접하는 제1 지지 부재(61)이다. 도 3에 도시하는 예에 있어서, 제1 지지 부재(61)는, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에 겹쳐져 있다. 평면으로 보아 중간 위치와 겹치는 지지 부재가 존재하지 않는 경우, 중간 위치와의 사이에서 최소의 거리를 갖는 지지 부재가, 중간 위치에 최근접하는 제1 지지 부재(61)이다. 도 3에 있어서, 부호 Z2는, 중간 위치와 제2 지지 부재(62) 사이의 거리를 나타낸다. 부호 Z3은, 중간 위치와 제3 지지 부재(63) 사이의 거리를 나타낸다. 복수의 지지 부재는, 제1 지지 부재(61)보다도 제4 부분(154)측에 위치하는 제3 지지 부재(63)를 더 포함하고 있어도 된다. 또한, 복수의 지지 부재는, 제2 지지 부재(62)보다도 제3 부분(153)측에 위치하는 제4 지지 부재(64)를 더 포함하고 있어도 된다. 또한, 복수의 지지 부재는, 제3 지지 부재(63)보다도 제4 부분(154)측에 위치하는 제5 지지 부재(65)를 더 포함하고 있어도 된다. 또한, 복수의 지지 부재는, 제4 지지 부재(64)보다도 제3 부분(153)측에 위치하는 제6 지지 부재(66)를 더 포함하고 있어도 된다. 또한, 복수의 지지 부재는, 제5 지지 부재(65)보다도 제4 부분(154)측에 위치하는 제7 지지 부재(67)를 더 포함하고 있어도 된다.

지지체(60)의 복수의 지지 부재는, 도 2에 도시한 바와 같이, 평면으로 보아 증착 마스크(20)의 주위 영역(24)과 겹쳐져 있어도 된다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 유효 영역(23)의 관통 구멍을 통과한 증착 재료가 지지체(60)에 부착되는 것을 억제할 수 있다.

지지체(60)의 각 지지 부재를 구성하는 재료로서는, 후술하는 증착 마스크(20)의 금속판의 재료와 동일한 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, 니켈을 포함하는 철 합금을 사용할 수 있다.

이어서, 증착 마스크 장치(10)의 단면 구조에 대하여 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다. 도 4는, 제1 지지 부재(61)를 지나는 도 2의 A-A선을 따른 단면도이다. 또한, 도 5는, 제1 부분(151)과 제2 부분(152)의 중간 위치에 있는 증착 마스크(20)를 지나는 도 2의 B-B선을 따른 단면도이다.

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 프레임(15)은, 제1 면(16), 제2 면(17), 제3 면(18) 및 제4 면(19)을 포함한다. 제1 면(16)은, 증착 마스크(20) 및 지지체(60)가 고정되는 측에 위치한다. 제2 면(17)은, 제1 면(16)의 반대측에 위치한다. 제3 면(18)은, 제1 면(16)과 제2 면(17) 사이에 위치하고, 개구부(155)에 면한다. 제4 면(19)은, 수평 방향에 있어서 제3 면(18)의 반대측에 위치한다.

도 4에 도시한 바와 같이, 제1 면(16)은, 제5 면(162)과, 제5 면(162)보다도 제2 면(17)측에 위치하는 제6 면(161)을 포함하고 있어도 된다. 제5 면(162)은, 증착 마스크(20)가 고정되는 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)의 제1 면(16)과 동일 평면 상에 위치하고 있어도 된다. 제6 면(161)은, 제3 면(18)에 접속되어 있어도 된다. 제1 지지 부재(61) 등의 지지 부재는, 제6 면(161)에 고정되어 있어도 된다. 제6 면(161)은, 제5 면(162)의 일부를 절삭함으로써 형성되어도 된다.

지지체(60)의 제1 지지 부재(61) 등의 지지 부재는, 제1 면(16)측에 있어서 프레임(15)과 증착 마스크(20) 사이에 위치하고 있다. 제1 지지 부재(61) 등의 지지 부재는, 자중에 의해 하방으로 휘는 증착 마스크(20)를 하방으로부터 지지하도록 기능한다. 또한, 제1 지지 부재(61) 등의 지지 부재에도, 자중 및 증착 마스크(20)로부터 받는 힘에 기인하여 하방으로의 휨이 발생하고 있다.

프레임(15)의 제1 면(16)이 제2 면(17)의 상방에 위치하는 상태에 있어서 지지 부재에 발생하는 하방으로의 휨양에 대하여 설명한다. 도 4, 도 5 등의 단면도에 있어서, 화살표 Y1이 상방을 나타내고, 화살표 Y2가 하방을 나타낸다.

도 4에 있어서, 부호 a1은, 제1 지지 부재(61)에 발생하는 하방으로의 휨양을 나타내고 있다. 휨양은, 제1 지지 부재(61) 중 프레임(15)에 고정되어 있는 부분과, 제1 지지 부재(61) 중 가장 하방에 위치하는 부분 사이의, 상하 방향에 있어서의 거리이다. 도 4에 도시하는 예에 있어서는, 제1 지지 부재(61) 중 제1 부분(151)과 제2 부분(152)의 중간 위치의 부분이, 가장 하방에 위치하고 있다. 휨양을 측정하기 위한 측정기로서는, 키엔스사제 LK-G85 등의 레이저 변위계를 사용할 수 있다. 이하의 설명에 있어서, 제1 지지 부재(61)에 발생하는 휨양을, 제1 휨양 a1이라고도 칭한다. 또한, 제1 지지 부재(61) 중 프레임(15)에 고정되어 있는 부분을 지나는 수평면을, 제1 기준면 P1이라고도 칭한다.

도 5에 도시한 바와 같이, 제2 지지 부재(62), 제3 지지 부재(63) 등의 그 밖의 지지 부재에도, 하방으로의 휨이 발생해도 된다. 도 5에 있어서, 부호 a2는, 제2 지지 부재(62)에 발생하는 하방으로의 휨양을 나타내고, 부호 a3은, 제3 지지 부재(63)에 발생하는 하방으로의 휨양을 나타내고 있다. 이하의 설명에 있어서, 제2 지지 부재(62)에 발생하는 휨양을, 제2 휨양(a2)이라고도 칭하고, 제3 지지 부재(63)에 발생하는 휨양을, 제3 휨양(a3)이라고도 칭한다. 도시는 하지 않지만, 제4 지지 부재(64) 이후의 지지 부재에 대해서도, 제n 지지 부재에 발생하는 휨양을, 제n 휨양이라고도 칭하고, 부호 an으로 나타낸다. n은 자연수이다. 각 지지 부재에 발생하는 휨양을 측정하는 방법은, 제1 지지 부재(61)의 제1 휨양 a1을 측정하는 방법과 동일하다.

지지체(60)의 복수의 지지 부재는, 프레임(15)의 제3 부분(153) 또는 제4 부분(154) 가까이 위치하는 지지 부재일수록 휨양이 작아지도록, 프레임(15)에 고정되어 있다. 예를 들어, 제2 지지 부재(62)의 제2 휨양(a2) 및 제3 지지 부재(63)의 제3 휨양(a3)은, 제1 지지 부재(61)의 제1 휨양 a1보다도 작다. 또한, 제4 지지 부재(64)의 제4 휨양 a4는, 제2 지지 부재(62)의 제2 휨양(a2)보다도 작다. 또한, 제5 지지 부재(65)의 제5 휨양 a5는, 제3 지지 부재(63)의 제3 휨양(a3)보다도 작다. 또한, 제6 지지 부재(66)의 제6 휨양 a6은, 제4 지지 부재(64)의 제4 휨양 a4보다도 작다. 또한, 제7 지지 부재(67)의 제7 휨양 a7은, 제5 지지 부재(65)의 제5 휨양 a5보다도 작다. 이와 같은 관계를 식으로 나타내면 이하와 같다.

a1>a2>a4>a6

a1>a3>a5>a7

지지체(60)의 복수의 지지 부재의 휨양을 상술한 바와 같이 조정함으로써, 도 5에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)에 발생하는 하방으로의 휨양을, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에 있어서 최대로 할 수 있다. 또한, 증착 마스크(20)의 하방으로의 휨양이, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치로부터 제3 부분(153) 또는 제4 부분(154)을 향함에 따라 작아지도록, 지지체(60)가 증착 마스크(20)를 지지할 수 있다.

도 5에 있어서, 부호 b1은, 증착 마스크(20)에 발생하는 하방으로의 휨양을 나타낸다. 증착 마스크(20)의 휨양(b1)은, 제1 지지 부재(61) 등의 지지 부재의 경우와 마찬가지로, 증착 마스크(20) 중 프레임(15)에 고정되어 있는 부분과, 증착 마스크(20) 중 가장 하방에 위치하는 부분 사이의, 상하 방향에 있어서의 거리이다. 증착 마스크(20) 중 프레임(15)에 고정되어 있는 부분을 지나는 수평면을, 제2 기준면(P2)이라고도 칭한다.

도 5에 있어서, 부호 L1은, 프레임(15)의 제3 부분(153)과 제4 부분(154) 사이의 거리를 나타낸다. b1/L1은, 바람직하게는 0.00228 이하이다. b1/L1은, 0.00171 이하여도 되고, 0.00114 이하여도 된다. 이에 의해, 증착 마스크(20)와 기판(91) 사이에 간극이 생기는 것을 억제할 수 있다. 또한, b1/L1은, 바람직하게는 0.00008 이상이다. b1/L1은, 0.00014 이상이어도 되고, 0.00029 이상이어도 된다.

b1/L1의 범위는, 복수의 상한의 후보값 중 임의의 하나와, 복수의 하한의 후보값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, b1/L1은, 0.00008 이상 0.00228 이하여도 되고, 0.00014 이상 0.00171 이하여도 되고, 0.00029 이상 0.00114 이하여도 된다. 또한, b1/L1의 범위는, 복수의 상한의 후보값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, b1/L1은, 0.00171 이상 0.00228 이하여도 된다. 또한, b1/L1의 범위는, 복수의 하한의 후보값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, b1/L1은, 0.00008 이상 0.00014 이하여도 된다.

도 6은, 도 3의 C-C선을 따른 단면도이다. 도 6에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)를 지지하고 있지 않은 상태의 지지체(60)에도, 지지체(60)의 자중에 기초하는 휨이 발생해도 된다. 증착 마스크(20)를 지지하고 있지 않은 상태의 지지체(60)의 제n 지지 부재에 발생하는 휨양을, 예비 제n 휨양이라고도 칭하고, 부호 cn으로 나타낸다. n은 자연수이다. 각 지지 부재에 발생하는 예비 휨양을 측정하는 방법은, 제1 지지 부재(61)의 제1 휨양 a1을 측정하는 방법과 동일하다. 예비 휨양 cn에 있어서도, 상술한 휨양 an의 경우와 마찬가지로, 하기의 관계식이 성립되어 있어도 된다.

c1>c2>c4>c6

c1>c3>c5>c7

지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 상술한 휨양의 관계를 만족시키도록 정해진다. 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 바람직하게는 50㎛ 이상이다. 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 60㎛ 이상이어도 되고, 70㎛ 이상이어도 된다. 이에 의해, 지지체(60)의 각 지지 부재의 휨양이 지나치게 커지는 것을 억제할 수 있다. 또한, 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 바람직하게는 1㎜ 이하이다. 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 500㎛ 이하여도 되고, 200㎛ 이하여도 된다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 유효 영역(23)의 관통 구멍을 통과한 증착 재료가 지지체(60)에 부착되는 것을 억제할 수 있다. 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 예를 들어 100㎛이다.

지지체(60)의 각 지지 부재의 두께의 범위는, 복수의 상한의 후보값 중 임의의 하나와, 복수의 하한의 후보값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 50㎛ 이상 1㎜ 이하여도 되고, 60㎛ 이상 500㎛ 이하여도 되고, 70㎛ 이상 200㎛ 이하여도 된다. 또한, 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께의 범위는, 복수의 상한의 후보값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 500㎛ 이상 1㎜ 이하여도 된다. 또한, 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께의 범위는, 복수의 하한의 후보값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 50㎛ 이상 60㎛ 이하여도 된다. 지지 부재의 두께를 1㎜ 이하로 함으로써, 프레임(15)의 제5 면(162)을 절삭하여 제6 면(161)을 형성하는 데 요하는 공정 수를 억제할 수 있다.

지지체(60)의 각 지지 부재의 두께의 바람직한 범위는, 평면으로 보아 지지체(60)와 겹치는 위치에 있어서의 증착 마스크(20)의 두께에 대한 상대값으로서 정해져 있어도 된다. 평면으로 보아 지지체(60)와 겹치는 위치에 있어서, 증착 마스크(20)는 지지체(60)에 의해 하방으로부터 지지된다. 바람직하게는, 지지체(60)의 각 지지 부재의 두께는, 평면으로 보아 지지체(60)와 겹치는 위치에 있어서의 증착 마스크(20)의 두께보다 두껍다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 두께에 대한 지지 부재의 두께의 비율은, 바람직하게는 2 이상이다. 비율은, 2.5 이상이어도 되고, 3 이상이어도 된다. 또한, 증착 마스크(20)의 두께에 대한 지지 부재의 두께의 비율은, 바람직하게는 50 이하이다. 비율은, 40 이하여도 되고, 30 이하여도 된다.

또한, 증착 마스크(20)의 두께에 대한 지지 부재의 두께의 비율의 범위는, 복수의 상한의 후보값 중 임의의 하나와, 복수의 하한의 후보값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 비율은, 2 이상 50 이하여도 되고, 2.5 이상 40 이하여도 된다. 또한, 비율의 범위는, 복수의 상한의 후보값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 비율은, 40 이상 50 이하여도 된다. 또한, 비율의 범위는, 복수의 하한의 후보값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 비율은, 2 이상 2.5 이하여도 된다.

다음으로, 증착 마스크(20)의 구조의 일례에 대해 설명한다. 도 7은, 증착 마스크(20)의 제2 면(202)측으로부터 유효 영역(23)을 확대하여 도시하는 평면도다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 각 유효 영역(23)에 형성된 복수의 관통 구멍(25)은, 서로 직교하는 두 방향을 따라 각각 소정의 피치로 배열되어 있어도 된다.

도 8은, 도 7의 유효 영역(23)의 D-D선을 따른 단면도다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 복수의 관통 구멍(25)은, 증착 마스크(20)의 제1 면(201)으로부터 제2 면(202)으로 관통되어 있다. 관통 구멍(25)은, 증착 마스크(20)를 구성하는 금속판(51)의 제1 면(511)에 위치하는 제1 오목부(30)와, 제1 면(511)의 반대측에 위치하는 제2 면(512)에 위치하고, 제1 오목부(30)에 접속되어 있는 제2 오목부(35)를 갖는다. 제1 오목부(30) 및 제2 오목부(35)는 각각, 금속판(51)을 제1 면(511)측 및 제2 면(512)측으로부터 에칭함으로써 형성된다.

도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 제1 오목부(30)의 벽면(31)과, 제2 오목부(35)의 벽면(36)은, 둘레형의 접속부(41)를 통해 접속되어 있어도 된다. 접속부(41)는, 증착 마스크(20)의 평면으로 보아 관통 구멍(25)의 개구 면적이 최소가 되는 관통부(42)를 구획 형성해도 된다.

도 8에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 면(201)측에 있어서, 인접하는 두 관통 구멍(25)은, 금속판(51)의 제1 면(511)을 따라 서로로부터 이격되어 있다. 증착 마스크(20)의 제2 면(202)측에 있어서도, 인접하는 두 제2 오목부(35)가 금속판(51)의 제2 면(512)을 따라 서로로부터 이격되어 있어도 된다. 즉, 인접하는 두 제2 오목부(35) 사이에 금속판(51)의 제2 면(512)이 잔존하고 있어도 된다. 이하의 설명에 있어서, 금속판(51)의 제2 면(512)의 유효 영역(23) 중 에칭되지 않고 남아 있는 부분을, 톱부(43)라고도 칭한다. 이러한 톱부(43)가 남도록 증착 마스크(20)를 제작함으로써, 증착 마스크(20)에 충분한 강도를 갖게 할 수 있다. 이 사실에 의해, 예를 들어 반송 중 등에 증착 마스크(20)가 파손되어 버리는 것을 억제할 수 있다. 또한 톱부(43)의 폭이 지나치게 크면, 기판(91) 등의 증착 대상물 중 증착 마스크(20)의 관통 구멍과 겹쳐 있는 영역에 대한 증착 재료의 부착이, 증착 마스크(20)의 제2 면(202)이나 벽면에 의해 저해되어, 이에 의해 증착 재료(82)의 이용 효율이 저하되는 경우가 있다. 따라서, 톱부(43)의 폭 β가 과잉으로 넓어지지 않도록 증착 마스크(20)가 제작되는 것이 바람직하다.

증착 공정 시, 증착 마스크(20)의 제1 면(201)은 기판(91)에 대면하고, 증착 마스크(20)의 제2 면(202)은 증착 재료(82)를 유지한 도가니(81)측에 위치한다. 증착 재료(82)는, 점차 개구 면적이 작아지는 제2 오목부(35)를 통과하여 기판(91)에 부착된다. 도 8에 있어서 제2 면(202)측으로부터 제1 면(201)을 향하는 화살표로 나타내는 바와 같이, 증착 재료(82)는, 도가니(81)로부터 기판(91)을 향해 기판(91)의 법선 방향 N을 따라 이동할 뿐만 아니라, 기판(91)의 법선 방향 N에 대해 크게 경사진 방향으로 이동하는 경우도 있다. 이때, 증착 마스크(20)의 두께가 두꺼우면, 비스듬히 이동하는 증착 재료(82)가, 톱부(43), 제2 오목부(35)의 벽면(36)이나 제1 오목부(30)의 벽면(31)에 걸리기 쉬워져, 그 결과, 관통 구멍(25)을 통과하지 못하는 증착 재료(82)의 비율이 높아진다. 따라서, 증착 재료(82)의 이용 효율을 높이기 위해서는, 증착 마스크(20)의 두께 T를 얇게 하고, 이에 의해, 제2 오목부(35)의 벽면(36)이나 제1 오목부(30)의 벽면(31)의 높이를 낮추는 것이 바람직하다고 생각된다. 즉, 증착 마스크(20)를 구성하기 위한 금속판(51)으로서, 증착 마스크(20)의 강도를 확보할 수 있는 범위 내에서 가능한 한 두께 T가 얇은 금속판(51)을 사용하는 것이 바람직하다고 할 수 있다. 이 점을 고려하여, 본 실시 형태에 있어서, 증착 마스크(20)의 두께 T는, 100㎛ 이하인 것이 바람직하다. 증착 마스크(20)의 두께 T는, 50㎛ 이하여도 되고, 40㎛ 이하여도 되고, 35㎛ 이하여도 되고, 30㎛ 이하여도 되고, 25㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이하여도 된다. 한편, 증착 마스크(20)의 두께가 지나치게 얇아지면, 증착 마스크(20)의 강도가 저하되어, 증착 마스크(20)에 손상이나 변형이 발생하기 쉬워진다. 이 점을 고려하여, 증착 마스크(20)의 두께 T는, 5㎛ 이상인 것이 바람직하다. 증착 마스크(20)의 두께 T는, 8㎛ 이상이어도 되고, 10㎛ 이상이어도 되고, 12㎛ 이상이어도 되고, 13㎛ 이상이어도 되고, 15㎛ 이상이어도 된다.

증착 마스크(20)의 두께 T의 범위는, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 하나와, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 두께 T의 범위는, 5㎛ 이상 100㎛ 이하여도 되고, 8㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 12㎛ 이상 35㎛ 이하여도 되고, 13㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 25㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 20㎛ 이하여도 된다. 또한, 증착 마스크(20)의 두께 T의 범위는, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 두께 T의 범위는, 20㎛ 이상 25㎛ 이하여도 된다. 또한, 증착 마스크(20)의 두께 T의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 두 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 두께 T의 범위는, 13㎛ 이상 15㎛ 이하여도 된다.

또한 두께 T는, 주위 영역(24)의 두께, 즉 증착 마스크(20) 중 제1 오목부(30) 및 제2 오목부(35)가 형성되어 있지 않은 부분의 두께이다. 따라서 두께 T는, 금속판(51)의 두께라고 할 수도 있다.

금속판(51) 및 증착 마스크(20), 그리고 상술한 지지체(60)의 두께를 측정하는 방법으로서는, 접촉식 측정 방법을 채용한다. 접촉식 측정 방법으로서는, 볼 부시 가이드식 플런저를 구비하는, 하이덴하인사 제조의 길이 게이지 HEIDENHAIM-METRO의 「MT1271」을 사용한다.

도 8에 있어서, 부호 α는, 금속판(51)의 제1 면(511)의 유효 영역(23) 중 에칭되지 않고 남아 있는 부분(이하, 리브부라고도 칭함)의 폭을 나타내고 있다. 리브부의 폭 α 및 관통부(42)의 치수 r은, 유기 EL 표시 장치의 치수 및 표시 화소 수에 따라서 적절하게 정해진다.

또한, 도시는 하지 않았지만, 인접하는 두 제2 오목부(35)가 접속되도록 에칭이 실시되어도 된다. 즉, 인접하는 두 제2 오목부(35) 사이에, 금속판(51)의 제2 면(512)이 잔존하고 있지 않은 장소가 존재해도 된다. 또한, 도시는 하지 않았지만, 제2 면(512)의 전역에 걸쳐 인접하는 두 제2 오목부(35)가 접속되도록 에칭이 실시되어도 된다.

금속판(51)의 재료로서는, 예를 들어 니켈을 포함하는 철 합금을 사용할 수 있다. 철 합금은, 니켈에다가 코발트를 추가로 포함하고 있어도 된다. 예를 들어, 금속판(51)의 재료로서, 니켈 및 코발트의 함유량이 합계로 30질량％ 이상이면서 54질량％ 이하이고, 또한 코발트의 함유량이 0질량％ 이상이면서 6질량％ 이하인 철 합금을 사용할 수 있다. 니켈 혹은 니켈 및 코발트를 포함하는 철 합금의 구체예로서는, 34질량％ 이상이면서 38질량％ 이하의 니켈을 포함하는 인바재, 30질량％ 이상이면서 34질량％ 이하의 니켈에다가 추가로 코발트를 포함하는 슈퍼 인바재, 38질량％ 이상이면서 54질량％ 이하의 니켈을 포함하는 저열팽창 Fe-Ni계 도금 합금 등을 들 수 있다. 이러한 철 합금을 사용함으로써, 금속판(51)의 열팽창 계수를 낮출 수 있다. 예를 들어, 기판(91)으로서 유리 기판이 사용되는 경우에, 금속판(51)의 열팽창 계수를, 유리 기판과 동등한 낮은 값으로 할 수 있다. 이에 의해, 증착 공정 시, 기판(91)에 형성되는 증착층의 치수 정밀도나 위치 정밀도가, 금속판(51)을 구비하는 증착 마스크(20)와 기판(91) 사이의 열팽창 계수의 차에 기인하여 저하되는 것을 억제할 수 있다.

다음으로, 상술한 증착 마스크 장치(10)를 제조하는 방법에 대해 설명한다.

먼저, 도 3에 도시하는 바와 같이, 개구부(155)가 마련된 프레임(15)을 준비한다. 프레임(15)의 제작 방법은 임의이다. 예를 들어, 프레임(15)을 구성하는 상술한 인바재 등의 재료의 덩어리를 절삭함으로써 프레임(15)을 제작할 수 있다.

계속해서, 도 3에 도시하는 바와 같이, 프레임(15)의 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)에 지지체(60)의 복수의 지지 부재의 제1 단부(601) 및 제2 단부(602)를 각각 예를 들어 용접에 의해 고정하는 지지체 고정 공정을 실시한다. 이때, 도 6에 도시하는 바와 같이, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치의 가까이에 위치하는 지지 부재일수록 예비 휨양이 커지도록, 복수의 지지 부재를 프레임(15)에 고정해도 된다.

지지체 고정 공정에 있어서는, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치의 가까이에 위치하는 지지 부재로부터 차례로 프레임(15)에 고정해도 된다. 예를 들어, 먼저, 제1 지지 부재(61)를 프레임(15)에 고정하고, 계속해서 제2 지지 부재(62) 및 제3 지지 부재(63)를 프레임(15)에 고정하고, 계속해서 제4 지지 부재(64) 및 제5 지지 부재(65)를 프레임(15)에 고정하고, 계속해서 제6 지지 부재(66) 및 제7 지지 부재(67)를 프레임(15)에 고정해도 된다.

혹은, 지지체 고정 공정에 있어서는, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치로부터 멀리 위치하는 지지 부재로부터 차례로 프레임(15)에 고정해도 된다. 예를 들어, 먼저, 제6 지지 부재(66) 및 제7 지지 부재(67)를 프레임(15)에 고정하고, 계속해서 제4 지지 부재(64) 및 제5 지지 부재(65)를 프레임(15)에 고정하고, 계속해서 제2 지지 부재(62) 및 제3 지지 부재(63)를 프레임(15)에 고정하고, 계속해서 제1 지지 부재(61)를 프레임(15)에 고정해도 된다.

또한, 지지체(60)의 지지 부재를 프레임(15)에 고정할 때, 도 3에 도시하는 바와 같이, 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)이 내측으로 탄성적으로 변형되도록 프레임(15)에 힘을 가해도 된다. 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)을 내측으로 탄성적으로 변형시킴으로써, 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)에 고정된 지지체(60)의 지지 부재에, 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)의 복원력에 기인하는 힘을 가할 수 있다. 이 경우, 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)에 발생하는 복원력을 조정함으로써, 지지체(60)의 각 지지 부재에 발생하는 예비 휨양이 상술한 관계식을 만족시킬 수 있다.

제1 부분(151) 및 제2 부분(152)이 내측으로 탄성적으로 변형되도록 프레임(15)에 힘을 가하는 경우, 평면으로 보아 제1 지지 부재(61)와 겹치는 위치에 있어서의 제1 부분(151)의 제3 면(18)은, 평면으로 보아 제2 지지 부재(62)와 겹치는 위치에 있어서의 제1 부분(151)의 제3 면(18)보다 제2 부분(152)측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제1 부분(151) 중 제1 지지 부재(61)의 제1 단부(601)가 용접되어 있는 부분은, 제1 부분(151) 중 제2 지지 부재(62)의 제1 단부(601)가 용접되어 있는 부분보다 제2 부분(152)측에 위치하고 있어도 된다. 이러한 위치 관계는, 제1 지지 부재(61)의 길이가 제2 지지 부재(62)의 길이와 동일한 경우에 발생해도 된다.

평면으로 보아 제1 지지 부재(61)와 겹치는 위치에 있어서의 제2 부분(152)의 제3 면(18)은, 평면으로 보아 제2 지지 부재(62)와 겹치는 위치에 있어서의 제2 부분(152)의 제3 면(18)보다 제1 부분(151)측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제2 부분(152) 중 제1 지지 부재(61)의 제2 단부(602)가 용접되어 있는 부분은, 제2 부분(152) 중 제2 지지 부재(62)의 제2 단부(602)가 용접되어 있는 부분보다 제1 부분(151)측에 위치하고 있어도 된다. 이러한 위치 관계는, 제1 지지 부재(61)의 길이가 제2 지지 부재(62)의 길이와 동일한 경우에 발생해도 된다.

도 3에 있어서, 평면으로 보아 제1 지지 부재(61)와 겹치는 위치에 있어서의 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)의 제3 면(18)을 부호 181로 나타낸다. 평면으로 보아 제2 지지 부재(62)와 겹치는 위치에 있어서의 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)의 제3 면(18)을 부호 182로 나타낸다.

계속해서, 도 2에 도시하는 바와 같이, 프레임(15)의 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)에 증착 마스크(20)의 제3 단부(211) 및 제4 단부(212)를 각각 예를 들어 용접에 의해 고정하는 마스크 고정 공정을 실시한다. 마스크 고정 공정에 있어서는, 관통 구멍(25)이 기판(91)에 대해 적절하게 배치되도록, 증착 마스크(20)에 장력을 가하면서 증착 마스크(20)를 프레임(15)에 고정한다. 이와 같이 하여, 프레임(15), 지지체(60) 및 증착 마스크(20)를 구비하는 증착 마스크 장치(10)를 얻을 수 있다.

마스크 고정 공정에 있어서는, 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)이 내측으로 탄성적으로 변형되도록 프레임(15)에 힘을 가해도 된다. 이에 의해, 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)에 고정된 증착 마스크(20)에, 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)의 복원력에 기인하는 힘을 가할 수 있어, 증착 마스크(20)에 휨이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

그런데 증착 마스크(20)에 가해지는 힘이 지나치게 커지면, 증착 마스크(20)에 주름이 발생하여, 일부의 관통 구멍(25)의 위치가 설계로부터 벗어나 버리는 것을 생각할 수 있다. 여기서 본 실시 형태에 있어서는, 증착 마스크 장치(10)가, 증착 마스크(20)를 하방으로부터 지지하는 지지체(60)를 구비하고 있다. 이에 의해, 증착 마스크(20)에 주름이 발생하는 것을 억제하면서, 증착 마스크(20)에 처짐이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

다음으로, 증착 마스크 장치(10)를 사용하여 기판(91) 상에 증착 재료(82)를 증착시키는 증착 방법에 대해 설명한다. 먼저, 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)을 조합하는 공정을 실시한다. 예를 들어, 도 9a에 있어서 화살표 Q1로 나타내는 바와 같이, 기판(91)을 증착 마스크 장치(10)의 증착 마스크(20)를 향해 상대적으로 이동시켜, 기판(91)을 증착 마스크(20)에 접촉시킨다.

본 실시 형태에 있어서는, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에 최근접하는 제1 지지 부재(61)가, 제1 휨양 a1로 휜 상태에서 증착 마스크(20)를 하방으로부터 지지하고, 제1 지지 부재(61)보다 제3 부분(153)측에 위치하는 제2 지지 부재(62)가 제1 휨양 a1보다 작은 제2 휨양 a2로 휜 상태에서 증착 마스크(20)를 하방으로부터 지지하고, 제1 지지 부재(61)보다 제4 부분(154)측에 위치하는 제3 지지 부재(63)가 제1 휨양 a1보다 작은 제3 휨양 a3으로 휜 상태에서 증착 마스크(20)를 하방으로부터 지지하고 있다. 또한, 그 밖의 지지 부재도, 제1 지지 부재(61)로부터 제3 부분(153)측 또는 제4 부분(154)측으로 이격됨에 따라 휨양이 작아지도록 지지 부재의 장력이 조정된 상태에서, 증착 마스크(20)를 하방으로부터 지지하고 있다. 이 때문에, 도 5에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)에 발생하는 하방으로의 휨양을, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에서 최대로 할 수 있다. 또한, 증착 마스크(20)의 하방으로의 휨양을, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치로부터 제3 부분(153) 또는 제4 부분(154)을 향함에 따라 작게 할 수 있다.

이와 같이 증착 마스크(20)에 발생하는 휨양을 단조롭게 변화시킴으로써, 기판(91)을 증착 마스크(20)에 접촉시킬 때, 기판(91)과 증착 마스크(20) 사이의 접촉을, 제2 방향 D2에 있어서 차례로 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 기판(91)과 증착 마스크(20) 사이의 접촉을, 먼저, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에서 발생시키고, 그 후, 접촉 위치를, 제3 부분(153)측 및 제4 부분(154)측으로 차례로 변화시킬 수 있다. 혹은, 기판(91)과 증착 마스크(20) 사이의 접촉을, 먼저, 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)의 근방에서 발생시키고, 그 후, 접촉 위치를, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치의 측으로 차례로 변화시킬 수 있다. 이와 같이 제2 방향 D2에 있어서 기판(91)과 증착 마스크(20) 사이의 접촉을 차례로 발생시킴으로써, 제2 방향 D2의 복수의 위치에서 동시에 접촉이 발생하는 경우에 비해, 기판(91)과 증착 마스크(20) 사이에 간극이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

바람직하게는, 기판(91)에 발생한 휨양 d1은, 증착 마스크(20)에 발생한 휨양 b1보다 크다. 바꾸어 말하면, 증착 마스크(20)에 발생한 휨양 b1이 기판(91)에 발생한 휨양 d1보다 작아지도록, 지지체(60)의 각 지지 부재에 가하는 장력을 조정하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 기판(91)과 증착 마스크(20) 사이의 접촉을, 먼저, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에서 발생시키고, 그 후, 접촉 위치를, 제3 부분(153)측 및 제4 부분(154)측으로 차례로 변화시킬 수 있다.

그 후, 도 9a에 있어서 화살표 Q2로 나타내는 바와 같이, 냉각판(85)을 기판(91)을 향해 상대적으로 이동시켜, 냉각판(85)을 기판(91)에 접촉시키는 공정을 실시해도 된다. 냉각판(85)에 발생한 휨양 e1은, 증착 마스크(20)에 발생한 휨양 b1보다 크다. 냉각판(85)에 발생한 휨양 e1은, 기판(91)에 발생한 휨양 d1'보다 커도 된다. 휨양 d1'이란, 증착 마스크(20)에 접촉하고 있는 상태의 기판(91)에 발생한 휨양이다. 냉각판(85)의 휨양 e1을 기판(91)의 휨양 d1'보다 크게 함으로써 냉각판(85)과 기판(91) 사이의 접촉을, 먼저, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에서 발생시키고, 그 후, 접촉 위치를, 제3 부분(153)측 및 제4 부분(154)측으로 차례로 변화시킬 수 있다.

또한, 냉각판(85)은, 도 9b에 도시하는 바와 같이, 기판(91)에 볼록해지도록 만곡된 표면을 갖고 있어도 된다. 이 경우, 냉각판(85)의 표면 중 기판(91)의 표면의 돌출량 e2는, 증착 마스크(20)에 발생한 휨양 b1보다 크다. 돌출량 e2는, 기판(91)에 발생한 휨양 d1보다 커도 된다. 이에 의해, 냉각판(85)에 휨이 발생하지 않은 경우나 휨이 작은 경우라고 하더라도, 냉각판(85)과 기판(91) 사이의 접촉을, 먼저, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에서 발생시키고, 그 후, 접촉 위치를, 제3 부분(153)측 및 제4 부분(154)측으로 차례로 변화시킬 수 있다.

그 후, 도시는 하지 않았지만, 냉각판(85)의, 증착 마스크(20)와 반대측의 면에 자석을 배치해도 된다. 이에 의해, 자력에 의해 증착 마스크를 기판(91)측으로 끌어 당길 수 있다.

계속해서, 증착 재료(82)를 증발시켜 기판(91)으로 비래시킨다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)에 대응한 패턴으로 증착 재료(82)를 기판(91)에 부착시킬 수 있다. 도 10은, 기판(91)과, 기판(91)에 부착된 증착 재료(82)로 이루어지는 증착층(92)을 구비하는 증착 기판(90)을 도시하는 단면도다. 증착 기판(90)은 도시는 하지 않았지만, 증착층(92)에 겹치는 전극을 추가로 구비하고 있어도 된다.

본 실시 형태에 의하면, 증착 마스크(20)와 기판(91) 사이에 간극이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)와 기판(91) 사이의 간극에 있어서 증착 재료(82)가 기판(91)에 부착되는 것을 억제할 수 있어, 증착층(92)의 치수 정밀도 및 위치 정밀도를 높일 수 있다. 이에 의해, 인접하는 화소의 간섭을 고려하여 증착 기판(90)의 설계에 있어서 마련되는 마진을 저감시킬 수 있다.

증착 기판(90)의 설계에 있어서 고려되는 마진을 저감시킴으로써, 증착 기판(90)의 화소 밀도를 높일 수 있다. 또한, 증착 기판(90)의 화소 밀도가 일정한 경우에는, 마진을 저감시킴으로써, 인접하는 화소의 간섭을 방지하면서, 전극의 면적을 확대할 수 있다. 이에 의해, 증착층(92)의 휘도를 높일 수 있다. 또한, 일정한 휘도를 얻기 위해 필요한 구동 전압을 저하시킬 수 있어, 이에 의해 유기 EL 표시 장치의 수명을 연장시키거나 소비 전력을 저감시키거나 할 수 있다.

또한, 상술한 실시 형태에 대해 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다. 이하, 필요에 따라서 도면을 참조하면서, 변형예에 대해 설명한다. 이하의 설명 및 이하의 설명에서 사용하는 도면에서는, 상술한 실시 형태와 마찬가지로 구성될 수 있는 부분에 대해, 상술한 실시 형태에 있어서의 대응하는 부분에 대해 사용한 부호와 동일한 부호를 사용하기로 하고, 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 상술한 실시 형태에서 얻어지는 작용 효과가 변형예에서도 얻어질 것이 명확한 경우, 그 설명을 생략하는 경우도 있다.

상술한 실시 형태에 있어서는, 프레임(15)의 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에 프레임(15)의 지지 부재 중 하나가 위치하고 있고, 이 지지 부재를 제1 지지 부재(61)라고 칭하는 예를 나타냈다. 본 변형예에 있어서는, 도 11에 도시하는 바와 같이, 프레임(15)의 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에 지지 부재가 위치하지 않는 예에 대해 설명한다.

도 11에 있어서, 프레임(15)의 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치를 나타내는 일점쇄선 M은, 지지 부재에 겹쳐 있지 않다. 이 경우, 직선 M을 사이에 두고 제2 방향 D2에 있어서 대향하는 한 쌍의 지지 부재를, 제1 지지 부재(61)라고 칭해도 된다. 이 경우, 두 제1 지지 부재(61)의 휨양이, 상술한 제1 휨양 a1이 된다. 두 제1 지지 부재(61)의 휨양은, 동일해도 되고, 달라도 된다.

도 11에 있어서, 부호 Z1은, 중간 위치와 제1 지지 부재(61) 사이의 거리를 나타낸다. 부호 Z2는, 중간 위치와 제2 지지 부재(62) 사이의 거리를 나타낸다. 부호 Z3은, 중간 위치와 제3 지지 부재(63) 사이의 거리를 나타낸다. 거리 Z1은, 거리 Z2 및 거리 Z3보다 짧다.

본 변형예에 있어서도, 제1 지지 부재(61)보다 제3 부분(153)측에 위치하는 제2 지지 부재(62)의 제2 휨양 a2는, 제1 지지 부재(61)의 제1 휨양 a1보다 크다. 또한, 제1 지지 부재(61)보다 제4 부분(154)측에 위치하는 제3 지지 부재(63)의 제3 휨양 a3은, 제1 지지 부재(61)의 제1 휨양 a1보다 크다. 이에 의해, 증착 마스크(20)에 발생하는 하방으로의 휨양을, 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에서 최대로 할 수 있다.

도 12는, 증착 마스크 장치(10)의 그 밖의 변형예를 도시하는 평면도다. 도 13은, 커버 부재(70)를 명확하게 나타내기 위해, 도 12의 증착 마스크 장치(10)로부터 증착 마스크(20)를 떼어낸 상태를 도시하는 평면도다. 도 12 및 도 13에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는, 제2 방향 D2로 연장되어, 프레임(15)의 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)에 고정되어 있는 복수의 커버 부재(70)를 추가로 구비하고 있어도 된다.

도 14는, 제1 지지 부재(61)를 지나는 도 12의 E-E선을 따른 단면도다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 커버 부재(70)는, 증착 마스크(20) 및 지지체(60)보다 프레임(15)의 제2 면(17)측에 위치하고 있어도 된다. 또한, 도 12 및 도 14에 도시하는 바와 같이, 커버 부재(70)는, 증착 마스크(20)의 면의 법선 방향을 따라 본 경우에, 제1 방향 D1로 배열되는 복수의 증착 마스크(20) 사이의 간극 G에 겹치도록, 위치하고 있어도 된다. 이에 의해, 증착 공정 시, 증착 재료(82)가 복수의 증착 마스크(20) 사이의 간극 G를 빠져나가 기판(91)에 부착되는 것을 억제할 수 있다.

도 15는, 프레임(15)에 고정되어 있는 지지체(60)의 그 밖의 변형예를 도시하는 평면도다. 지지체(60)는, 제1 방향 D1로 연장됨과 함께 제2 방향 D2로 배열되는 복수의 지지 부재(61 내지 67)에다가, 제2 방향 D2로 연장됨과 함께 제1 방향 D1로 배열되는 복수의 커버 부재(69)를 추가로 구비하고 있어도 된다. 복수의 지지 부재(61 내지 67)와 복수의 커버 부재(69)는, 동일한 재료로 일체적으로 구성되어 있어도 된다. 커버 부재(69)는, 상술한 커버 부재(70)와 마찬가지로, 증착 재료(82)가 복수의 증착 마스크(20) 사이의 간극 G를 빠져나가 기판(91)에 부착되는 것을 억제하도록 기능할 수 있다.

도 16은, 증착 마스크 장치(10)의 그 밖의 변형예를 도시하는 평면도다. 도 16에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)에 있어서, 복수의 유효 영역(23)이 제2 방향 D2뿐만 아니라 제1 방향 D1로도 배열되어 있어도 된다.

다음으로, 도 2, 도 18 및 도 19를 참조하여, 증착 마스크(20)를 지지하고 있지 않은 상태의 지지 부재에 발생한 예비 휨양을 측정하는 방법의 일례를 설명한다.

먼저, 도 2에 도시하는 바와 같이, 프레임(15) 및 지지체(60)와, 프레임(15)에 고정되어 있는 증착 마스크(20)를 구비하는 증착 마스크 장치(10)를 준비한다. 계속해서, 도 18에 도시하는 바와 같이, 평면으로 보아 지지체(60)에 겹치는 위치에 있는 증착 마스크(20)를 제거한다. 예를 들어, 제6 지지 부재(66)와 제3 부분(153) 사이의 위치에서 증착 마스크(20)를 절단하고, 제7 지지 부재(67)와 제4 부분(154) 사이의 위치에서 증착 마스크(20)를 절단한다. 이에 의해, 프레임(15)과, 증착 마스크(20)를 지지하고 있지 않은 상태의 지지체(60)를 구비하는 마스크 지지 기구(75)를 얻을 수 있다.

도 19는, 도 18의 F-F선을 따른 단면도다. 마스크 지지 기구(75)에 있어서도, 프레임(15)의 제3 부분(153) 또는 제4 부분(154)의 가까이에 위치하는 지지 부재일수록 작은 예비 휨양을 갖고 있어도 된다. 예를 들어, 제2 지지 부재(62)의 예비 제2 휨양 c2 및 제3 지지 부재(63)의 예비 제3 휨양 c3은, 제1 지지 부재(61)의 예비 제1 휨양 c1보다 작다. 제4 지지 부재(64)의 예비 제4 휨양 c4는, 제2 지지 부재(62)의 예비 제2 휨양 c2보다 작다. 제5 지지 부재(65)의 예비 제5 휨양 c5는, 제3 지지 부재(63)의 예비 제3 휨양 c3보다 작다. 제6 지지 부재(66)의 예비 제6 휨양 c6은, 제4 지지 부재(64)의 예비 제4 휨양 c4보다 작다. 제7 지지 부재(67)의 예비 제7 휨양 c7은, 제5 지지 부재(65)의 예비 제5 휨양 c5보다 작다. 예비 휨양을 측정하기 위한 측정기로서는, 키엔스사 제조 LK-G85 등의 레이저 변위계를 사용할 수 있다.

또한, 상술한 실시 형태에 대한 몇 변형예를 설명하였지만, 당연히 복수의 변형예를 적절하게 조합하여 적용하는 것도 가능하다.

[실시예]

다음으로, 본 개시의 실시 형태를 실시예에 의해 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 개시의 실시 형태는 그 요지를 벗어나지 않는 한, 이하의 실시예의 기재에 한정되는 것은 아니다.

(실시예 1)

먼저, 도 3에 도시하는 예의 경우와 마찬가지로, 제1 부분(151), 제2 부분(152), 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)을 구비하는 프레임(15)을 준비하였다. 제1 부분(151)과 제2 부분(152) 사이의 거리는 1461㎜이고, 제3 부분(153)과 제4 부분(154) 사이의 거리는 877㎜였다.

계속해서, 7개의 지지 부재(61 내지 67)에 장력을 가하면서, 지지 부재(61 내지 67)의 제1 단부(601) 및 제2 단부(602)를 각각 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)에 용접에 의해 고정하였다. 지지 부재(61 내지 67)의 두께는 100㎛이고, 지지 부재(61 내지 67)의 폭은 5.5㎜였다.

계속해서, 프레임(15)의 제1 면(16)이 제2 면(17)의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 키엔스사 제조의 레이저 변위계 LK-G85를 사용하여, 지지 부재(61 내지 67)에 발생한 예비 휨양을 측정하였다. 결과를 이하에 나타낸다.

제1 지지 부재(61)의 제1 예비 휨양: 233㎛

제2 지지 부재(62)의 제2 예비 휨양: 174㎛

제3 지지 부재(63)의 제3 예비 휨양: 203㎛

제4 지지 부재(64)의 제4 예비 휨양: 117㎛

제5 지지 부재(65)의 제5 예비 휨양: 155㎛

제6 지지 부재(66)의 제6 예비 휨양: 73㎛

제7 지지 부재(67)의 제7 예비 휨양: 66㎛

계속해서, 증착 마스크(20)에 장력을 가하면서, 증착 마스크(20)의 제3 단부(211) 및 제4 단부(212)를 각각 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)에 용접에 의해 고정하였다. 프레임(15)에 고정한 증착 마스크(20)의 수는 19였다. 증착 마스크(20)의 두께는 30㎛이고, 증착 마스크(20)의 폭은 71.63㎜였다. 제1 부분(151)측으로부터 제2 부분(152)측으로 배열되는 19매의 증착 마스크(20)를, 각각 제1 증착 마스크, 제2 증착 마스크, … 제19 증착 마스크라고도 칭한다.

계속해서, 프레임(15)의 제1 면(16)이 제2 면(17)의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 키엔스사 제조의 레이저 변위계 LK-G85를 사용하여, 제10 증착 마스크 중 지지 부재(61 내지 67)와 겹치는 위치에서 제10 증착 마스크에 발생한 휨양을 각각 측정하였다. 즉, 지지 부재(61 내지 67)에 발생한 휨양을 측정하였다. 결과를 이하에 나타낸다. 또한, 본 실시예에 있어서, 지지 부재(61 내지 67) 중 프레임(15)에 고정되어 있는 부분의 상면의 위치는, 프레임(15)의 상면의 위치와 동일하다. 또한, 각 증착 마스크는, 프레임(15)의 상면에 고정되어 있다. 또한, 제10 증착 마스크는, 프레임(15)의 제1 부분(151)과 제2 부분(152)의 중간 위치에 있다. 따라서, 제10 증착 마스크 중 지지 부재(61 내지 67)와 겹치는 위치에 있어서 제10 증착 마스크에 발생한 휨양은, 지지 부재(61 내지 67)에 발생한 휨양 a1 내지 a7과 동일하다. 제10 증착 마스크의 휨양으로부터 산출한, 지지 부재(61 내지 67)의 휨양은 하기와 같다.

제1 지지 부재(61)의 제1 휨양: 420㎛

제2 지지 부재(62)의 제2 휨양: 365㎛

제3 지지 부재(63)의 제3 휨양: 377㎛

제4 지지 부재(64)의 제4 휨양: 277㎛

제5 지지 부재(65)의 제5 휨양: 285㎛

제6 지지 부재(66)의 제6 휨양: 83㎛

제7 지지 부재(67)의 제7 휨양: 72㎛

또한, 프레임(15)의 제1 면(16)이 제2 면(17)의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 키엔스사 제조의 레이저 변위계 LK-G85를 사용하여, 지지 부재(61 내지 67)에 의해 지지되어 있는 상태의 제1 증착 마스크 내지 제19 증착 마스크에 발생한 휨양을 측정하였다. 결과를 이하에 나타낸다.

제1 증착 마스크의 휨양: 144㎛

제2 증착 마스크의 휨양: 176㎛

제3 증착 마스크의 휨양: 261㎛

제4 증착 마스크의 휨양: 334㎛

제5 증착 마스크의 휨양: 336㎛

제6 증착 마스크의 휨양: 366㎛

제7 증착 마스크의 휨양: 374㎛

제8 증착 마스크의 휨양: 425㎛

제9 증착 마스크의 휨양: 412㎛

제10 증착 마스크의 휨양: 420㎛

제11 증착 마스크의 휨양: 404㎛

제12 증착 마스크의 휨양: 404㎛

제13 증착 마스크의 휨양: 370㎛

제14 증착 마스크의 휨양: 382㎛

제15 증착 마스크의 휨양: 365㎛

제16 증착 마스크의 휨양: 292㎛

제17 증착 마스크의 휨양: 320㎛

제18 증착 마스크의 휨양: 234㎛

제19 증착 마스크의 휨양: 138㎛

계속해서, 기판(91)을 제1 증착 마스크 내지 제19 증착 마스크에 접촉시켜, 증착 공정을 실시하였다. 도 17은, 기판(91) 상의 전극(93)에 형성된 증착층(92)을 도시하는 도면이다. 증착층(92)은, 막 두께 균일 부분(92a) 및 섀도우 부분(92b)을 포함한다. 막 두께 균일 부분(92a)이란, 증착층(92) 중, 증착층(92)의 평균 막 두께±0.5％의 범위 내의 두께를 갖는 부분이다. 섀도우 부분(92b)이란, 증착층(92)의 평균 막 두께보다 0.5％ 이상 얇은 두께를 갖는 부분이다. 증착층(92)의 평균 막 두께란, 증착층(92) 중 전극(93)에 겹치는 부분의 두께의 평균값이다. 그 후, 증착층(92)의 치수 정밀도 및 위치 정밀도를 평가하였다. 구체적으로는, 제1 증착 마스크 내지 제19 증착 마스크를 사용하여 형성된 증착층(92) 각각에 대해, 전극(93)의 단부의 위치와 증착층(92)의 막 두께 균일 부분(92a)의 단부의 위치 사이의 거리 W1을 측정하였다. 또한, 각 증착층(92)에 있어서의 거리 W1의 최댓값이 제1 역치 이하인지 여부를 판정하였다. 제1 역치는, 예를 들어 5.6㎛이다. 그 결과, 거리 W1의 최댓값은 제1 역치 이하였다. 또한, 제1 증착 마스크 내지 제19 증착 마스크를 사용하여 형성된 증착층(92) 각각에 대해, 섀도우 부분(92b)의 폭 W2를 측정하였다. 또한, 섀도우 부분(92b)의 폭 W2가 제2 역치 이하인지 여부를 판정하였다. 제2 역치는, 예를 들어 1.0㎛이다. 그 결과, 섀도우 부분(92b)의 폭 W2는 제2 역치 이하였다.

(비교예 1)

지지 부재(61 내지 67)에 발생한 예비 휨양이 동등해지도록, 지지 부재(61 내지 67)의 제1 단부(601) 및 제2 단부(602)를 각각 프레임(15)의 제1 부분(151) 및 제2 부분(152)에 용접에 의해 고정하였다. 계속해서, 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 지지 부재(61 내지 67)에 발생한 예비 휨양을 측정하였다. 결과를 이하에 나타낸다.

제1 지지 부재(61)의 제1 휨양: 68㎛

제2 지지 부재(62)의 제2 휨양: 59㎛

제3 지지 부재(63)의 제3 휨양: 63㎛

제4 지지 부재(64)의 제4 휨양: 63㎛

제5 지지 부재(65)의 제5 휨양: 62㎛

제6 지지 부재(66)의 제6 휨양: 61㎛

제7 지지 부재(67)의 제7 휨양: 58㎛

계속해서, 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 증착 마스크(20)에 장력을 가하면서, 증착 마스크(20)의 제3 단부(211) 및 제4 단부(212)를 각각 제3 부분(153) 및 제4 부분(154)에 용접에 의해 고정하였다. 계속해서, 지지 부재(61 내지 67)에 의해 지지되어 있는 상태의 제1 증착 마스크 내지 제19 증착 마스크에 발생한 휨양을 측정하였다. 결과를 이하에 나타낸다.

제1 증착 마스크의 휨양: 59㎛

제2 증착 마스크의 휨양: 62㎛

제3 증착 마스크의 휨양: 62㎛

제4 증착 마스크의 휨양: 65㎛

제5 증착 마스크의 휨양: 64㎛

제6 증착 마스크의 휨양: 61㎛

제7 증착 마스크의 휨양: 66㎛

제8 증착 마스크의 휨양: 64㎛

제9 증착 마스크의 휨양: 65㎛

제10 증착 마스크의 휨양: 69㎛

제11 증착 마스크의 휨양: 69㎛

제12 증착 마스크의 휨양: 66㎛

제13 증착 마스크의 휨양: 62㎛

제14 증착 마스크의 휨양: 61㎛

제15 증착 마스크의 휨양: 60㎛

제16 증착 마스크의 휨양: 57㎛

제17 증착 마스크의 휨양: 63㎛

제18 증착 마스크의 휨양: 61㎛

제19 증착 마스크의 휨양: 57㎛

계속해서, 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 제1 증착 마스크 내지 제19 증착 마스크를 사용하여 증착 공정을 실시하고, 기판(91) 상의 전극(93)에 증착층(92)을 형성하였다. 또한, 전극(93)의 단부의 위치와 증착층(92)의 막 두께 균일 부분(92a)의 단부의 위치 사이의 거리 W1을 측정하였다. 그 결과, 거리 W1의 최댓값은 제1 역치를 초과하였다. 또한, 섀도우 부분(92b)의 폭 W2를 측정하였다. 그 결과, 섀도우 부분(92b)의 폭 W2는 제2 역치를 초과하였다.

실시예 1과 비교예 1의 비교로부터 알 수 있는 바와 같이, 프레임(15)의 제3 부분(153)과 제4 부분(154)의 중간 위치에 최근접하는 제1 지지 부재(61)의 휨양을 다른 지지 부재의 휨양에 비해 크게 함으로써, 증착층(92)의 치수 정밀도 및 위치 정밀도를 높일 수 있었다.

Claims

증착 마스크 장치이며,
제1 부분과, 제1 방향에 있어서 개구부를 사이에 두고 상기 제1 부분에 대향하는 제2 부분과, 제3 부분과, 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향에 있어서 상기 개구부를 사이에 두고 상기 제3 부분에 대향하는 제4 부분을 갖고, 제1 면 및 상기 제1 면의 반대측에 위치하는 제2 면을 포함하는 프레임과,
상기 제1 면측에 있어서 상기 제1 부분에 고정되어 있는 제1 단부와, 상기 제1 면측에 있어서 상기 제2 부분에 고정되어 있는 제2 단부를 포함하고, 상기 제2 방향으로 배열되는 복수의 지지 부재를 갖는 지지체와,
상기 제1 면측에 있어서 상기 제3 부분에 고정되어 있는 제3 단부와, 상기 제1 면측에 있어서 상기 제4 부분에 고정되어 있는 제4 단부와, 상기 제3 단부와 상기 제4 단부 사이에 위치하는 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크를 구비하고,
상기 복수의 지지 부재는, 상기 프레임의 상기 제3 부분과 상기 제4 부분의 중간 위치에 최근접하는 제1 지지 부재와, 상기 제1 지지 부재보다 상기 프레임의 상기 제3 부분측에 위치하는 제2 지지 부재를 적어도 포함하고,
상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제1 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 제1 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지하고, 상기 제2 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 제1 휨양보다 작은 제2 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지하는, 증착 마스크 장치.
제1항에 있어서,
상기 복수의 지지 부재는, 상기 제1 지지 부재보다 상기 프레임의 상기 제4 부분측에 위치하는 제3 지지 부재를 포함하고,
상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제3 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 제1 휨양보다 작은 제3 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지하는, 증착 마스크 장치.
제2항에 있어서,
상기 복수의 지지 부재는, 상기 제2 지지 부재보다 상기 프레임의 상기 제3 부분측에 위치하는 제4 지지 부재와, 상기 제3 지지 부재보다 상기 프레임의 상기 제4 부분측에 위치하는 제5 지지 부재를 포함하고,
상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제4 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 제2 휨양보다 작은 제4 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지하고, 상기 제5 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 제3 휨양보다 작은 제5 휨양으로 휜 상태에서 상기 증착 마스크를 하방으로부터 지지하는, 증착 마스크 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 부재의 두께는, 평면으로 보아 상기 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 증착 마스크의 두께보다 두꺼운, 증착 마스크 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 부재의 두께는, 평면으로 보아 상기 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 증착 마스크의 두께의 2배 이상인, 증착 마스크 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 부재의 두께는 50㎛ 이상인, 증착 마스크 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 부재의 두께는, 평면으로 보아 상기 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 증착 마스크의 두께의 50배 이하인, 증착 마스크 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 부재의 두께는 1㎜ 이하인, 증착 마스크 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프레임은, 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에 위치하고, 상기 개구부에 면하는 제3 면을 포함하고,
평면으로 보아 상기 제1 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 제1 부분의 상기 제3 면은, 평면으로 보아 상기 제2 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 제1 부분의 상기 제3 면보다, 상기 제2 부분측에 위치하는, 증착 마스크 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프레임의 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은, 상기 제3 부분 및 상기 제4 부분보다 짧은, 증착 마스크 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 길이에 대한 상기 제3 부분 및 상기 제4 부분의 길이의 비가 1.1 이상인, 증착 마스크 장치.
증착 마스크를 지지하는 마스크 지지 기구이며,
제1 부분과, 제1 방향에 있어서 개구부를 사이에 두고 상기 제1 부분에 대향하는 제2 부분과, 제3 부분과, 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향에 있어서 상기 개구부를 사이에 두고 상기 제3 부분에 대향하는 제4 부분을 갖고, 제1 면 및 상기 제1 면의 반대측에 위치하는 제2 면을 포함하는 프레임과,
상기 제1 면측에 있어서 상기 제1 부분에 고정되어 있는 제1 단부와, 상기 제1 면측에 있어서 상기 제2 부분에 고정되어 있는 제2 단부를 포함하고, 상기 제2 방향으로 배열되는 복수의 지지 부재를 갖는 지지체를 구비하고,
상기 복수의 지지 부재는, 상기 프레임의 상기 제3 부분과 상기 제4 부분의 중간 위치에 최근접하는 제1 지지 부재와, 상기 제1 지지 부재보다 상기 프레임의 상기 제3 부분측에 위치하는 제2 지지 부재를 적어도 포함하고,
상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제1 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 예비 제1 휨양으로 휘어 있고, 상기 제2 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 예비 제1 휨양보다 작은 예비 제2 휨양으로 휘어 있는, 마스크 지지 기구.
제12항에 있어서,
상기 복수의 지지 부재는, 상기 제1 지지 부재보다 상기 프레임의 상기 제4 부분측에 위치하는 제3 지지 부재를 포함하고,
상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제3 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 예비 제1 휨양보다 작은 예비 제3 휨양으로 휘어 있는, 마스크 지지 기구.
제13항에 있어서,
상기 복수의 지지 부재는, 상기 제2 지지 부재보다 상기 프레임의 상기 제3 부분측에 위치하는 제4 지지 부재와, 상기 제3 지지 부재보다 상기 프레임의 상기 제4 부분측에 위치하는 제5 지지 부재를 포함하고,
상기 프레임의 상기 제1 면이 상기 제2 면의 상방에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제4 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 예비 제2 휨양보다 작은 예비 제4 휨양으로 휘어 있고, 상기 제5 지지 부재는, 상기 프레임으로부터 하방으로 상기 예비 제3 휨양보다 작은 예비 제5 휨양으로 휘어 있는, 마스크 지지 기구.
제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 부재의 두께는 50㎛ 이상인, 마스크 지지 기구.
제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 부재의 두께는 1㎜ 이하인, 마스크 지지 기구.
제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프레임은, 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에 위치하고, 상기 개구부에 면하는 제3 면을 포함하고,
평면으로 보아 상기 제1 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 제1 부분의 상기 제3 면은, 평면으로 보아 상기 제2 지지 부재와 겹치는 위치에 있어서의 상기 제1 부분의 상기 제3 면보다, 상기 제2 부분측에 위치하는, 마스크 지지 기구.
제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프레임의 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은, 상기 제3 부분 및 상기 제4 부분보다 짧은, 마스크 지지 기구.
제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 길이에 대한 상기 제3 부분 및 상기 제4 부분의 길이의 비가 1.1 이상인, 마스크 지지 기구.
증착 마스크 장치의 제조 방법이며,
제1 부분과, 제1 방향에 있어서 개구부를 사이에 두고 상기 제1 부분에 대향하는 제2 부분과, 제3 부분과, 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향에 있어서 상기 개구부를 사이에 두고 상기 제3 부분에 대향하는 제4 부분을 갖고, 제1 면 및 상기 제1 면의 반대측에 위치하는 제2 면을 포함하는 프레임을 준비하는 공정과,
제1 지지 부재에 제1 장력을 가한 상태에서, 상기 프레임의 상기 제1 면측에 있어서 상기 제1 지지 부재를, 상기 제1 지지 부재가 상기 프레임의 상기 제3 부분과 상기 제4 부분의 중간 위치에 최근접하도록 상기 프레임의 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분에 고정하는 공정과,
상기 제1 지지 부재보다 상기 프레임의 상기 제3 부분측의 위치에 있어서, 제2 지지 부재에 상기 제1 장력보다 큰 제2 장력을 가한 상태에서, 상기 프레임의 상기 제1 면측에 있어서 상기 제2 지지 부재를 상기 프레임의 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분에 고정하는 공정과,
상기 제1 지지 부재 및 상기 제2 지지 부재를 상기 프레임에 고정한 후, 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크를, 상기 프레임의 상기 제1 면측에 있어서 상기 프레임의 상기 제3 부분 및 상기 제4 부분에 고정하는 공정을 구비하는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.