JP6428903B2 - 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 - Google Patents
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Description
まず、対象物に蒸着材料を蒸着させる蒸着処理を実施する蒸着装置90について、図1を参照して説明する。図1に示すように、蒸着装置90は、その内部に、蒸着源(例えばるつぼ94)、ヒータ96、及び蒸着マスク装置10を備える。また、蒸着装置90は、蒸着装置90の内部を真空雰囲気にするための排気手段を更に備える。るつぼ94は、有機発光材料などの蒸着材料98を収容する。ヒータ96は、るつぼ94を加熱して、真空雰囲気の下で蒸着材料98を蒸発させる。蒸着マスク装置10は、るつぼ94と対向するよう配置されている。
以下、蒸着マスク装置10について説明する。図1に示すように、蒸着マスク装置10は、蒸着マスク20と、蒸着マスク20を支持するフレーム15と、を備える。フレーム15は、蒸着マスク20が撓んでしまうことがないように、蒸着マスク20をその面方向に引っ張った状態で支持する。蒸着マスク装置10は、図1に示すように、蒸着マスク20が、蒸着材料98を付着させる対象物である基板、例えば有機EL基板92に対面するよう、蒸着装置90内に配置される。以下の説明において、蒸着マスク20の面のうち、有機EL基板92側の面を第1面20aと称し、第1面20aの反対側に位置する面を第2面20bと称して説明するが、それに限定されない。
次に、蒸着マスク20について詳細に説明する。まず、蒸着マスク20の外形について説明する。図3及び図4に示すように、蒸着マスク20は、貫通孔25が形成された上述の第1面20a及び第2面20bと、第1面20a及び第2面20bに接続された一対の長側面26及び一対の短側面27と、を備える。一対の長側面26は、蒸着マスク20の長手方向D1に延びている。一対の長側面26が、第1面20aの法線方向に沿って蒸着マスク20を見た場合の、長手方向D1における蒸着マスク20の輪郭を画定している。一対の短側面27は、蒸着マスク20の幅方向D2に延びている。一対の短側面27が、第1面20aの法線方向に沿って蒸着マスク20を見た場合の、幅方向D2における蒸着マスク20の輪郭を画定している。図3及び図4に示す例において、幅方向D2は長手方向D1に直交している。以下の説明において、第1面20aと長側面26とが接続される部分を第1接続部20eと称し、第2面20bと長側面26とが接続される部分を第2接続部20fとも称する。第1接続部20eは、第1面20aと同一平面上に位置する。第2接続部20fは、第2面20bと同一平面上に位置する。
以下、有効領域22の断面形状について詳細に説明する。図5は、蒸着マスク20の第2面20b側から見た場合の有効領域22を拡大して示す平面図である。図5に示すように、図示された例において、各有効領域22に形成された複数の貫通孔25は、当該有効領域22において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。貫通孔25の一例について、図6〜図8を主に参照して更に詳述する。図6〜図8はそれぞれ、図5の有効領域22のVI−VI方向〜VIII−VIII方向に沿った断面図である。
次に、周囲領域23の断面形状について詳細に説明する。図10は、蒸着マスク20を、図4のX−X線に沿って切断した場合の断面図である。図10に示すように、周囲領域23の端部を構成する長側面26は、内側へ凹んだ面である第1部分261を有する。本実施の形態において、第1部分261は、内側へ凹むよう湾曲した湾曲面である。第1部分261は、第1面20aの面方向に沿って長側面26を外側から見た場合の、第1部分261の第1面20a側の輪郭を定める第1端部261a及び第1部分261の第2面20b側の輪郭を定める第2端部261bを含む。長側面26に関して「内側」という用語を使用する場合、「内側」とは、図10及び後述する図22Bにおいて矢印A1で表すように、蒸着マスク20の幅方向D2における中心側を意味する。「中心側」とは、図4及び図10に示すように、幅方向D2における蒸着マスク20の中間点を通る中心線Cの側を意味する。また、「外側」とは、図10及び後述する図22Bにおいて矢印A2で表すように、蒸着マスク20の幅方向D2において蒸着マスク20の中心線Cから遠ざかる側を意味する。また、「内側へ凹んだ」とは、第1部分261の第1面20a側の第1端部261aと第2面20b側の第2端部261bとを結ぶ仮想的な直線又は平面よりも第1部分261が内側に位置することを意味する。なお、図示はしないが、第1部分261は、平坦面を含んでいてもよい。すなわち、第1部分261は、湾曲面のみで構成されていなくてもよい。また、第1部分261は、ジグザグなどの凹凸面を局所的に含んでいてもよい。
次に、蒸着マスク20を製造する方法について説明する。
はじめに、蒸着マスクを製造するための金属板64を準備する。金属板64は、例えば、長尺状の金属板を巻き取ることにより得られるロールの形態で準備される。金属板64としては、例えば、ニッケルを含む鉄合金から構成された金属板を用いる。金属板64の厚みは、例えば5μm以上且つ50μm以下である。所望の厚みを有する金属板64を作製する方法としては、圧延法、めっき成膜法などを採用することができる。
金属板64を加工する工程は、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺の金属板64に施して、金属板64に第1面64aの側から第1凹部30を形成する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを金属板64に施して、金属板64に第2面64bの側から第2凹部35を形成する工程と、を含んでいる。そして、金属板64に形成された第1凹部30と第2凹部35とが互いに通じ合うことによって、金属板64に貫通孔25が作製される。以下に説明する例では、第1凹部30の形成工程を、第2凹部35の形成工程の前に実施し、且つ、第1凹部30の形成工程と第2凹部35の形成工程の間に、作製された第1凹部30を封止する工程を実施する。以下、各工程の詳細を説明する。
なお感光性レジスト材料として、ポジ型のものが用いられてもよい。この場合、露光マスクとして、レジスト膜のうちの除去したい領域に光を透過させるようにした露光マスクを用いる。
続いて、上述の中間製品50において蒸着マスク部分51を支持部分56から分離する分離工程を実施する。まず、図13に示すように、金属板64を加工することによって得られた中間製品50を、分離工程を実施するための分離装置73へ搬送する。例えば、中間製品50を狭持した状態で回転する搬送ローラー72,72により、分離装置73へ搬送する。ところで、中間製品50において蒸着マスク部分51の長側面26が支持部分56に接続されていない場合、搬送時に蒸着マスク部分51が揺れたり撓んだりし易い。この点を考慮し、蒸着マスク部分51の揺れや撓みを抑制する抑制手段を、中間製品50、搬送ローラー72又は搬送路に設けてもよい。例えば、抑制手段は、中間製品50の第1面側及び第2面側に設けられた一対のフィルムを含む。中間製品50を一対のフィルムで挟んだ状態で中間製品50を分離装置73へ搬送することにより、蒸着マスク部分51が揺れたり撓んだりすることを抑制することができる。
次に、蒸着マスク20とフレーム15とを組み合わせて蒸着マスク装置10を製造する方法について説明する。まず、フレーム15を準備する。続いて、図25に示すように、溶接などによって蒸着マスク20の第2面20bをフレーム15に固定する。例えば、まず、フレーム15と蒸着マスク20とを重ねた状態で、第1面20a側からカメラなどを用いて蒸着マスク20を撮影する。この際、蒸着マスク20には張力が付与されていてもよい。続いて、撮影によって得られた画像に基づいて、フレーム15に対する蒸着マスク20の位置を検出する。例えば、長手方向D1における蒸着マスク20の輪郭の位置を検出する。続いて、フレーム15に対する蒸着マスク20の位置が所定の位置になるよう、蒸着マスク20の位置を調整する。
次に、蒸着マスク20を用いて有機EL基板92などの基板上に蒸着材料98を蒸着させる蒸着方法について説明する。まず、蒸着マスク20が有機EL基板92に対向するよう蒸着マスク装置10を配置する。また、磁石93を用いて蒸着マスク20を有機EL基板92に密着させる。この状態で、蒸着材料98を蒸発させて蒸着マスク20を介して有機EL基板92へ飛来させることにより、蒸着マスク20の貫通孔25に対応したパターンで蒸着材料98を有機EL基板92に付着させることができる。ここで本実施の形態においては、上述のように、長手方向D1における蒸着マスク20の輪郭の位置を容易に検出することができる。このため、長手方向D1における蒸着マスク20の輪郭の位置を、有機EL基板92に対してより正確に調整することができる。このことにより、高い位置精度で有機EL基板92に蒸着材料98を付着させることができる。
上述の実施の形態の図20においては、金属板64の第2面64bに形成する第2凹部35を第1面64aに到達させることによって、他の金属板64の部分から分離された長側面26を形成する例を示した。本変形例においては、金属板64の第1面64aに形成する第1凹部30と第2面64bに形成する第2凹部35とを連通させることにより、他の金属板64の部分から分離された長側面26を形成する例について説明する。
上述の実施の形態においては、蒸着マスク20の長側面26において、第1面20aと長側面26とが接続される第1接続部20eと、第1部分261の第1端部261aとが一致しているか、若しくは両者の間の距離が3.5μm以下である例を示した。このことにより、第1面20aから見た場合の、長手方向D1に延びる蒸着マスク20の輪郭を容易に検出することが可能になる。このような技術的思想は、長側面26に加えて、若しくは長側面26に替えて、短側面27に適用されてもよい。すなわち、図示はしないが、第1面20aと短側面27とが接続される接続部と、短側面27において内側へ凹んだ面の第1面20a側の端部とが一致しているか、若しくは両者の間の距離が3.5μm以下であってもよい。これによって、第1面20aから見た場合の、幅方向D2に延びる蒸着マスク20の輪郭、すなわち短側面27の輪郭を容易に検出することが可能になる。
まず、25μmの厚みを有する金属板64を準備した。次に、上述の加工工程を実施して、金属板64に、第1凹部30及び第2凹部35によって構成される複数の貫通孔25を形成した。また、金属板64の第2面64bのうち長側面26に対応する部分に、第1面64aにまで至る第2凹部35を形成した。図27に、長側面26の断面の観察結果を示す。また、図27に示す長側面26を有する蒸着マスク20を第1面20a側から観察した結果を図28Aに示し、第2面20b側から観察した結果を図28Bに示す。
まず、30μmの厚みを有する金属板64を準備した。次に、上述の加工工程を実施して、金属板64に、第1凹部30及び第2凹部35によって構成される複数の貫通孔25を形成した。また、金属板64の第1面64aのうち長側面26に対応する部分に第1凹部30を形成し、第2面64bのうち長側面26に対応する部分に、第1凹部30に連通する第2凹部35を形成した。図29Aに、長側面26の断面の観察結果を示す。長側面26は、第2凹部35の一部からなる第1部分261と、第1凹部30の一部からなる第2部分262と、を含む。
15μmの厚みを有する金属板64を用いたこと以外は、上述の実施例1の場合と同様にして、蒸着マスク20を作製した。図30に、長側面26の断面の観察結果を示す。図27に示すように、本実施例においても、実施例1の場合と同様に、内側へ凹むよう湾曲した湾曲面からなる第1部分261が、第2面20bから第1面20aまで広がっている。この場合、第1部分261の第1端部261aが第1接続部20eに一致しているので、第1面20a側から蒸着マスク20を見た場合、第1部分261が視認されない。このため、第1面20aの法線方向に沿って蒸着マスク20を見た場合の、長手方向D1における蒸着マスク20の輪郭の位置を容易に検出することができる。
15 フレーム
20 蒸着マスク
20a 第1面
20b 第2面
21 基材
22 有効領域
23 周囲領域
25 貫通孔
26 長側面
261 第1部分
262 第2部分
27 短側面
30 第1凹部
31 壁面
35 第2凹部
36 壁面
41 孔接続部
43 トップ部
50 中間製品
51 蒸着マスク部分
54 接続箇所
55 隙間
56 支持部分
64 金属板
65a 第1レジストパターン
65b 第2レジストパターン
65c 第1レジスト膜
65d 第2レジスト膜
70 加工装置
72 搬送ローラー
73 分離装置
90 蒸着装置
92 有機EL基板
98 蒸着材料
Claims (11)
- 複数の貫通孔が形成された蒸着マスクであって、
前記貫通孔が形成された第1面及び第2面と、
前記第1面及び前記第2面に接続され、前記蒸着マスクの長手方向における前記蒸着マスクの輪郭を画定する一対の長側面と、
前記第1面及び前記第2面に接続され、前記蒸着マスクの幅方向における前記蒸着マスクの輪郭を画定する一対の短側面と、を備え、
前記長側面は、前記第1面側に位置する第1端部と、前記第2面側に位置するとともに前記第1端部よりも内側に位置する第2端部とを含み、且つ内側へ凹んだ第1部分を有し、
前記貫通孔は、前記第1面側に形成された第1凹部と、前記第2面側に形成され、孔接続部において前記第1凹部に接続された第2凹部と、を含み、
前記長側面の前記第1部分の前記第1端部が、前記孔接続部よりも前記第1面側に位置する、蒸着マスク。 - 前記第1端部は、前記第1面と前記長側面とが接続される第1接続部であって、前記第1面と同一平面上に位置する第1接続部に一致している、請求項1に記載の蒸着マスク。
- 前記第1端部は、前記第1面と前記長側面とが接続される第1接続部であって、前記第1面と同一平面上に位置する第1接続部よりも外側に位置する、請求項1に記載の蒸着マスク。
- 前記第1面と前記長側面とが接続される第1接続部であって、前記第1面と同一平面上に位置する第1接続部と、前記長側面の前記第1部分の前記第1端部との間の、前記第1面の面方向における距離が、3.5μm以下である、請求項1又は3に記載の蒸着マスク。
- 前記第1部分は、前記第1端部と前記第2端部とを通る仮想的な平面又は直線よりも内側に位置する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の蒸着マスク。
- 前記蒸着マスクの厚みは、50μm以下である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の蒸着マスク。
- 前記第2端部は、前記第2面と前記長側面とが接続される第2接続部であって、前記第2面と同一平面上に位置する第2接続部に一致している、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の蒸着マスク。
- 複数の貫通孔が形成された蒸着マスクの製造方法であって、
第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含む金属板を準備する工程と、
前記金属板を加工して、前記貫通孔が形成された前記第1面及び前記第2面と、前記第1面及び前記第2面に接続され、前記蒸着マスクの長手方向における前記蒸着マスクの輪郭を画定する一対の長側面と、前記第1面及び前記第2面に接続され、前記蒸着マスクの幅方向における前記蒸着マスクの輪郭を画定する一対の短側面と、を有する前記蒸着マスクを得る加工工程と、を備え、
前記長側面は、前記第1面側に位置する第1端部と、前記第2面側に位置するとともに前記第1端部よりも内側に位置する第2端部とを含み、且つ内側へ凹んだ第1部分を有し、
前記貫通孔は、前記第1面側に形成された第1凹部と、前記第2面側に形成され、孔接続部において前記第1凹部に接続された第2凹部と、を含み、
前記長側面の前記第1部分の前記第1端部が、前記孔接続部よりも前記第1面側に位置する、蒸着マスクの製造方法。 - 前記加工工程は、前記金属板を前記第2面側からエッチングして前記長側面の前記第1部分を形成する第2面エッチング工程を有し、
前記第2面エッチング工程は、前記第1部分の前記第1端部が、前記第1面と前記長側面とが接続される第1接続部であって、前記第1面と同一平面上に位置する第1接続部に一致するよう実施される、請求項8に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記加工工程は、前記金属板を前記第2面側からエッチングして前記長側面の前記第1部分を形成する第2面エッチング工程を有し、
前記加工工程は、前記金属板を前記第1面側からエッチングして、前記長側面のうち前記第1部分の前記第1端部と前記金属板の前記第1面との間に位置する面を形成する第1面エッチング工程を更に有する、請求項8に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記第1面と前記長側面とが接続される第1接続部であって、前記第1面と同一平面上に位置する第1接続部と、前記長側面の前記第1部分の前記第1端部との間の、前記第1面の面方向における距離が、3.5μm以下である、請求項8又は10に記載の蒸着マスクの製造方法。
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