KR102160695B1 - 마스크 - Google Patents

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Abstract

마스크를 개시한다. 본 발명의 일실시예에 따른 마스크는 판형으로 이루어지며, 복수의 개구부가 형성된 몸체부, 및 상기 몸체부로부터 돌출되도록 형성되고, 상기 몸체부를 가로지르는 제1방향을 따라 형성된 제1굴곡부를 포함하는 변형부를 포함한다. 이러한 구조에 의하여, 마스크가 외력에 의해 인장되는 과정에서 변형부가 펼쳐지면서 전체적인 형상만 변형되고, 두께는 감소되지 않고 유지하게 된다. 이와 같이, 마스크 전체의 두께가 초기 두께 그대로 유지됨으로써, 내구성이 증대되어 상기 인장 용접 공정, 증착 공정 및 세척 공정 등에서의 마스크의 내구성 문제로 인한 손상 또는 파손을 억제할 수 있게 된다.

Description

마스크{Mask}
본 발명은 마스크에 관한 것이다.
파인 메탈 마스크(FMM: fine metal mask)는 대형 기판에 유기물을 증착하기 위한 마스크이다. 증착 공정을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 기판상에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크를 정렬한다. 그리고 박막의 원소재를 증착하여 원하는 패턴의 박막을 형성하는 것이 필요하다.
이러한 파인 메탈 마스크는 금속 에칭(etching) 공정, 레이저 가공, 포토 리소그래피(Photolithography) 공정, 전주도금 공정 등 다양한 방법으로 제작된다. 그리고 이러한 파인 메탈 마스크는 평면상에 패턴을 존재시키는 방식으로 제작되고 있다. 이렇게 제작된 파인 메탈 마스크는 마스크 프레임(Mask Frame) 상에 인장되어 용접된 후에 증착 공정에 이용되는 것이 일반적이다.
한편, 파인 메탈 마스크의 인장시 파인 메탈 마스크에 가해지는 인장력에 의하여 인장되기 전의 파인 메탈 마스크의 두께에 비하여 인장된 이후의 파인 메탈 마스크의 전체 영역에서 두께가 감소한다. 이에 따라 파인 메탈 마스크와 마스크 프레임 간의 인장 용접 공정, 증착 공정, 증착 공정 진행 후 세척 공정 진행 시에 파인 메탈 마스크의 두께 감소에 의한 내구성 감소로 파인 메탈 마스크가 손상되거나 파손되는 문제가 발생할 수 있다. 특히, 이러한 문제는 파인 메탈 마스크의 크기가 점점 대면적화됨에 따라, 인장력 증가 요구로 인하여 더욱 중요하게 고려되고 있다.
본 발명의 일 실시예는 인장된 상태로 프레임에 결합하는 과정에서 두께가 감소되지 않게 한 마스크를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 마스크는 판형으로 이루어지며, 복수의 개구부가 형성된 몸체부, 및 상기 몸체부로부터 돌출되도록 형성되고, 상기 몸체부를 가로지르는 제1방향을 따라 형성된 적어도 하나의 제1굴곡부를 포함하는 변형부를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1굴곡부는 상기 몸체부의 특정 영역에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1굴곡부는 복수로 이루어지며, 상기 복수의 제1굴곡부는 서로 일정 간격으로 이격되도록 형성되고, 상기 복수의 제1굴곡부 각각의 사이에 상기 개구부가 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1굴곡부는 상기 몸체부의 특정 영역에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1굴곡부는 상기 몸체부의 중앙영역에 형성될 수있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1굴곡부는 상기 몸체부의 어느 하나의 모서리에 인접한 영역에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1굴곡부의 수직 단면의 형상은 반원형, 반타원형 및 다각형 중 선택된 어느 하나일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 몸체부로부터 돌출되도록 형성되고, 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 몸체부를 가로지르도록 형성된 적어도 하나의 제2굴곡부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2굴곡부는 복수로 이루어지며, 상기 복수의 제2굴곡부는 서로 일정 간격으로 이격되도록 형성되고, 상기 복수의 제2굴곡부 각각의 사이에 상기 개구부가 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2굴곡부는 상기 몸체부의 특정 영역에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2굴곡부는 상기 몸체부의 중앙영역에 형성될 수있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2굴곡부는 상기 몸체부의 어느 하나의 모서리에 인접한 영역에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2굴곡부의 수직 단면의 형상은 반원형, 반타원형 및 다각형 중 선택된 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 마스크는 판형으로 이루어지며, 복수의 개구부가 형성된 몸체부, 및 상기 몸체부로부터 돌출되도록 형성되고, 패턴을 이루도록 형성된 복수의 제3굴곡부를 포함하는 변형부를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3굴곡부는 상기 몸체부의 특정 영역에 형성될 수있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3굴곡부는 상기 몸체부의 중앙영역에 형성될 수있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3굴곡부는 상기 몸체부의 가장자리에 인접한 영역에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3굴곡부는 반구, 원뿔 및 다각뿔 중 선택된 어느 하나로 이루어질 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 변형부는 상기 몸체부를 기준으로 상방 또는 하방으로 돌출될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 변형부는 상방으로 돌출된 것과 하방으로 돌출된 것이 서로 교번하도록 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 변형부는 Cr, Cu, Ni, Fe, Sn, Ti 및 Al 중 어느 하나 이상의 금속을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 변형부는 폴리머(polymer)로 이루어질 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 변형부는 상기 몸체부와 동일한 소재로 이루어질수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 변형부는 상기 몸체부에 가해지는 인장력에 의해 펼쳐지면서 변형될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마스크는 인장되는 과정에서 변형부가 펼쳐지면서 전체적인 형상만 변형되고, 두께는 감소되지 않고 유지하게 된다. 이와 같이, 마스크 전체의 두께가 초기 두께를 거의 그대로 유지함으로써, 전체적인 내구성이 증대되어 상기 인장 용접 공정, 증착 공정 및 세척 공정 등에서 마스크의 내구성 문제로 인한 손상 또는 파손을 방지할 수 있게 된다.
그리고 본 발명에 따른 마스크의 내구성 증대로 인하여 생산 공정에서의 사용 시간이 늘어나게 된다. 그리고 이에 따라 추가적인 마스크 제작량을 줄일 수 있어 유기 발광 표시 장치의 생산 원가 절감에 기여할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따른 마스크의 인장 용접 시, 외부로부터 높은 인장력의 인가되는 경우에도 외력에 대해 저항성을 갖게 된다. 이에 따라, 대면적의 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위하여 마스크의 크기를 더욱 증가시키더라도, 마스크의 형상이 안정적으로 유지하게 되어 증착 공정에서의 신뢰성이 유지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 마스크를 나타내는 사시도.
도 2는, 도 1에 도시된 본 발명의 제1실시예에 따른 마스크에서 개구부의 변형예를 나타내는 사시도.
도 3의 (A)는, 도 2에 도시된 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크에서 A-A'라인을 따라 취한 단면도이고, (B) 내지 (E)는 변형부의 다양한 수직 단면의 형상을 도시한 단면도.
도 4는, 도 2에 도시된 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크에서 변형부의 변형예에 따른 다양한 단면의 형상들을 도시한 단면도.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크를 나타내는 사시도.
도 6a는 본 발명의 제3실시예에 따른 마스크를 나타내는 사시도.
도 6b는, 도 6a에 도시된 본 발명의 제3실시예에 따른 마스크에서 B-B'라인을 따라 취한 단면도.
도 6c는, 도 6a에 도시된 본 발명의 제3실시예에 따른 마스크에서 C-C'라인을 따라 취한 단면도.
도 7a는 본 발명의 제4실시예에 따른 마스크를 나타내는 평면도.
도 7b는, 도 7a에 도시된 본 발명의 제4실시예에 따른 마스크에서 D-D'라인을 따라 취한 단면도.
도 8a는 본 발명의 제5실시예에 따른 마스크를 나타내는 평면도.
도 8b, 도 8a에 도시된 본 발명의 제5실시예에 따른 마스크에서 E-E'라인을 따라 취한 단면도.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 제1실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 마스크를 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 마스크(100)는 몸체부(110)와, 변형부(120)를 포함한다.
몸체부(110)는 판형으로 이루어지며, 복수의 개구부(111a)가 형성된다. 이러한 몸체부(110)는 강성이 우수한 금속으로 이루어진 것이 바람직하다. 이는, 몸체부(110)가 미도시된 마스크 프레임에 용접에 의해 결합되는 경우, 용접에 의한 변형을 최소화할 수 있다. 뿐만 아니라, 몸체부(110)의 자중에 의해 변형되는 것을 방지하기 위함이다.
그리고 개구부(111a)는 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 기판에 형성되는 한 개의 화소와 대응되는 크기로 이루어진 것이다. 일반적인 유기발광표시장치는 그린 화소, 블루 화소, 및 레드 화소, 3개의 화소가 하나의 그룹을 이루어서 색이 표현될 수 있는데, 개구부(111a)는 각 화소 하나와 대응되는 크기이다.
여기서, 유기발광표시장치는 그린 화소, 블루 화소, 및 레드 화소, 3개의 화소가 하나의 그룹을 이루어서 색을 표현한다고 기재하였으나, 이는 설명의 편의를 위해 가정한 것 일뿐, 설계에 따라 그룹에 백색 발광 화소를 추가하는 것도 가능하다.
그리고, 도 2에 도시된 바와 같이, 개구부(111b)는 몸체부(110)에 패턴화되어 형성될 수 있다. 이러한 패턴화된 개구부(111b)들은 전주(Electro forming)법에 의해 미세한 패터닝과, 표면 평활성을 얻도록 형성될 수 있다. 그리고 개구부(111b)들은 에칭법이나, 레이저 가공 등에 의하여 제조될 수 있다. 개구부(111b)들이 에칭법에 의하여 제조될 경우, 포토 레지스트를 이용하여 개구부(111b)들과 동일한 패턴을 가지는 레지스트층을 박판에 형성하거나, 패턴을 가진 필름을 박판에 부착한 후 박판을 에칭하는 방법에 의해 형성될 수 있다.
변형부(120)는 제1굴곡부(121)를 포함한다. 제1굴곡부(121)는 몸체부(110)로부터 일방향으로 돌출되도록 형성되고, 몸체부(110)를 가로지르는 제1방향을 따라 형성된다.
더욱 상세하게 설명하면, 제1굴곡부(121)는 하나 또는 복수로 이루어질 수 있다. 변형부(120)가 복수의 제1굴곡부(121)들로 이루어진 경우, 복수의 제1굴곡부(121)들은 서로 일정 간격으로 이격되도록 형성될 수 있다. 그리고 복수의 제1굴곡부(121) 각각의 사이에 개구부(111a)가 위치할 수 있다.
즉, 제1굴곡부(121)는 몸체부(110)에서 개구부(111a)가 형성되지 않은 부분에 형성될 수 있다. 예를 들어, 개구부(111a)가 몸체부(110)를 가로지르는 라인 형상으로 형성된 경우, 제1굴곡부(121)는 어느 하나의 개구부(111a)와, 이와 인접한 다른 개구부(111a) 사이에 형성될 수 있다. 이와 다르게, 개구부(111a)가 패턴을 이루도록 형성된 경우, 몸체부(110)에서 개구부(111a)들 사이마다 제1굴곡부(121)가 형성될 수 있다.
그리고, 도 1 및 도 2에서 제1굴곡부(121)가 몸체부(110) 전체에 걸쳐 형성된 것으로 도시하였으나, 이에 한정하지는 않으며, 제1굴곡부(121)는 몸체부(110)의 특정 영역에 형성된 것도 가능할 수 있다.
예를 들어, 미도시하였으나 제1굴곡부(121)가 몸체부(110)의 중앙 영역에만 형성될 수 있다. 이와 다르게, 제1굴곡부(121)가 몸체부(110)의 어느 하나의 모서리에 인접한 영역에만 형성될 수 있다.
상기와 같은 구조로 이루어진 변형부(120)는 몸체부(110)와 동일한 소재로 이루어질 수 있다.
이와 다르게, 변형부(120)는 몸체부(110)와 상이한 소재로 이루어질 수 있다. 변형부(120)의 소재의 일례로, Cr, Cu, Ni, Fe, Sn, Ti 및 Al 중 어느 하나 이상의 금속을 포함할 수 있다. 또한, 변형부(120)는 폴리머(polymer)로 이루어질 수 있다. 폴리머는 한 종류 또는 수 종류의 구성 단위가 서로에게 많은 수의 화학결합으로 중합되어 연결되어 있는 분자로 되어 있는 화합물이다.
도 3의 (A)는, 도 2에 도시된 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크에서 A-A'라인을 따라 취한 단면도이고, (B) 내지 (E)는 변형부의 다양한 수직 단면의 형상들을 도시한 단면도이다.
도 3을 참조하면, 변형부(120)의 수직 단면의 형상은 반원형, 반타원형 및 다각형일 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, (A) 반원형, (B) 반타원형, (D) 삼각형 및 (E) 사다리꼴형 등으로 이루어질 수 있다. 그리고, (C)에 도시된 바와 같이, 변형부(120)에서 몸체부(110)와 인접한 부분은 곡선으로 이루어지고, 상면은 평면으로 이루어지는 것도 가능하다.
도 4에 도시된 바와 같이, 변형부(120)는 몸체부(110)를 기준으로 상방 또는 하방으로 돌출되게 형성될 수 있다. 그리고 변형부(120)는 상방으로 돌출된 것과 하방으로 돌출된 것이 서로 교번하도록 형성되는 것도 가능할 수 있다.
더욱 상세하게 설명하면, 어느 하나의 제1굴곡부(121a)는 상방으로 돌출되고, 이러한 제1굴곡부(121a)에 인접하게 위치한 다른 제1굴곡부(121a')는 하방으로 돌출되도록 형성될 수 있다.
도 1로 되돌아가서, 상기와 같은 구조로 이루어진 본 발명에 따른 마스크(100)가 미도시된 마스크 프레임에 결합되기 전, 변형부(120)의 형상은 전술한 바와 같이 몸체부(110)에 대해 돌출된 형상을 유지한다. 그리고 본 발명에 따른 마스크(100)가 인장되어 미도시된 마스크 프레임에 결합되는 과정에서 변형부(120)는 외력에 의해 점차 펼쳐지면서 변형된다.
최종적으로, 본 발명에 따른 마스크(100)가 미도시된 마스크 프레임에 결합된 상태에서는, 변형부(120)가 평평하게 펼쳐진 형상이 될 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 마스크(100)는 인장되는 과정에서 변형부(120)가 펼쳐지면서 전체적인 형상만 변형되고, 두께는 감소되지 않고 유지하게 된다. 이와 같이, 마스크(100) 전체의 두께가 초기 두께를 거의 그대로 유지함으로써, 전체적인 내구성이 증대되어 인장 용접 공정, 증착 공정 및 세척 공정 등에서 마스크(100)의 내구성 문제로 인한 손상 또는 파손을 방지할 수 있게 된다.
그리고 본 발명에 따른 마스크(100)의 내구성 증대로 인하여 생산 공정에서의 사용 시간이 늘어나게 된다. 그리고 이에 따라 추가적인 마스크(100) 제작량을 줄일 수 있어 유기 발광 표시 장치의 생산 원가 절감에 기여할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따른 마스크(100)의 인장 용접 시, 외부로부터 높은 인장력의 인가되는 경우에도 외력에 대해 저항성을 갖게 된다. 이에 따라, 대면적의 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위하여 마스크(100)의 크기를 더욱 증가시키더라도, 마스크(100)의 형상이 안정적으로 유지하게 되어 증착 공정에서의 신뢰성이 유지될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크를 나타내는 사시도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크(200)에서 변형부(220)는 적어도 하나의 제2굴곡부(222)를 더 포함할 수 있다.
제2굴곡부(222)는 몸체부(110)로부터 일방향으로 돌출되도록 형성되고, 제1방향과 직교하는 제2방향으로 몸체부(110)를 가로지르도록 형성된다.
더욱 상세하게 설명하면, 제2굴곡부(222)는 하나 또는 복수로 이루어질 수 있다. 변형부(220)가 복수의 제2굴곡부(222)들로 이루어진 경우, 복수의 제2굴곡부(222)들은 서로 일정 간격으로 이격되도록 형성될 수 있다. 그리고 복수의 제2굴곡부(222) 각각의 사이에 개구부(111b)가 위치할 수 있다.
이러한 구조에 의한 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크(200)는 전술한 본 발명의 제1실시예에 따른 마스크(100, 도 1 참조)와 다르게, 몸체부(110)에서 제1방향 및 제2방향을 따라 변형부(220)가 형성되어 있다. 그러므로 마스크(200)가 제1방향으로 인장되는 경우에도 마스크(200) 전체의 두께가 유지될 수 있을 뿐만 아니라, 제2방향으로 인장되는 경우에도 마스크(200) 전체의 두께가 유지될 수 있다.
그리고 도 5에서 제2굴곡부(221)가 몸체부(110) 전체에 걸쳐 형성된 것으로 도시하였으나, 이에 한정하지는 않으며, 제2굴곡부(221)는 몸체부(110)의 특정 영역에 형성된 것도 가능할 수 있다.
예를 들어, 미도시하였으나, 제2굴곡부(221)가 몸체부(110)의 중앙 영역에만 형성될 수 있다. 이와 다르게, 제2굴곡부(221)가 몸체부(110)의 어느 하나의 모서리에 인접한 영역에만 형성되는 것도 가능하다.
그리고 미도시하였으나, 어느 하나의 제2굴곡부(221)는 상방으로 돌출되고, 이와 인접한 다른 제2굴곡부(221)는 하방으로 돌출되도록 형성되는 것도 가능할 수 있다.
도 6a는 본 발명의 제3실시예에 따른 마스크를 나타내는 사시도이고, 도 6b는, 도 6a에 도시된 본 발명의 제3실시예에 따른 마스크에서 B-B'라인을 따라 취한 단면도이며, 도 6c는, 도 6a에 도시된 본 발명의 제3실시예에 따른 마스크(100)에서 C-C'라인을 따라 취한 단면도이다.
도 6a를 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 마스크(300)는 몸체부(110)와, 변형부(320)를 포함한다. 몸체부(110)는 전술한 제2실시예에 따른 마스크(200, 도 5 참조)에 포함된 몸체부(110)와 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
변형부(320)는 전술한 실시예에 따른 마스크(200, 도 5 참조)에 포함된 변형부(220, 도 5 참조)와 다르게, 복수의 제3굴곡부(323)로 이루어진다. 제3굴곡부(323)는 몸체부(110)로부터 돌출되도록 형성되고, 패턴(pattern)을 이루도록 형성된다. 제3굴곡부(323)의 형상의 일례로, 반구, 원뿔 및 다각뿔 중 선택된 어느 하나로 이루어질 수 있다.
복수개의 제3굴곡부(323)가 패턴을 이루어도록 형성된 형상을 예를 들어 설명하면, 제3굴곡부(323)가 가로로 5개 위치되고, 세로로 5개 위치된다. 즉, 총 25개의 제3굴곡부(323)가 패턴을 이루어서 몸체부(110)에 형성된다. 여기서, 제3굴곡부(323)가 가로로 5개 배치되고, 세로로 5개 배치된 것으로 한정하지는 않으며, 설계에 따라 제3굴곡부(323)의 개수는 변경될 수 있다.
도 6a에 도시된 본 발명의 제3실시예에 따른 마스크(300)에서는 제3굴곡부(323)가 몸체부(110)의 개구부(111b)들의 대각선 방향의 빈공간에 위치될 수 있다. 이에 따라, 도 6b 및 6C에 도시된 바와 같이, 몸체부(110)의 개구부(111b)들의 가로 및 세로 방향의 빈공간에는 제3굴곡부(323)가 위치되지 않을 수 있다. 그리고, 제3굴곡부(323)들은 서로 가로 및 세로 방향으로 서로 일정한 간격을 이루도록 위치될 수 있다.
그리고 미도시되었으나, 이러한 변형부(320)의 일예로, 제3굴곡부(323)가 몸체부(110) 전체에 형성되지 않고, 몸체부(110)의 특정 영역에 형성되는 것도 가능하다. 예를 들어, 제3굴곡부(323)는 몸체부(110)의 중앙영역에만 형성될 수 있다.
더욱 상세하게, 제3굴곡부(323)가 몸체부(110)의 중앙부분에 가로로 3개 배치되고, 세로로 3개 배치될 수 있다. 이와 다르게, 몸체부(110)의 가장자리에 인접한 영역을 따라 제3굴곡부(323)들이 형성되고, 몸체부(110)의 중앙부분에는 제3굴곡부(323)가 형성되지 않을 수 있다.
도 7a는 본 발명의 제4실시예에 따른 마스크를 나타내는 평면도이고, 도 7b는, 도 7a에 도시된 본 발명의 제4실시예에 따른 마스크에서 D-D'라인을 따라 취한 단면도이다.
도 7a 및 도 7b를 참조하면, 제3굴곡부(423)는 다각뿔로 이루어질 수 있다. 전술한 제3실시예에 따른 마스크(300, 도 6a 참조)에서는 제3굴곡부(323, 도 6a 참조)가 반구형으로 이루어졌으나, 본 발명의 제4실시예에 따른 마스크(100)에서는 제3굴곡부(423)가 다각뿔로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도 7a에 도시된 바와 같이, 제3굴곡부(423)는 다각뿔 중에서도 사각뿔로 이루어질 수 있다. 그리고 미도시되었으나 제3굴곡부(423)가 사각뿔, 오각뿔 등으로 이루어질 수 있다는 것은 자명하다.
도 8a는 본 발명의 제5실시예에 따른 마스크를 나타내는 평면도이고, 도 8b, 도 8a에 도시된 본 발명의 제5실시예에 따른 마스크에서 E-E'라인을 따라 취한 단면도이다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 본 발명의 제5실시예에 따른 마스크(500)에서 변형부(520)를 구성하는 제3굴곡부(523)는 도면에 도시된 형상으로 패턴을 이룰 수 있다. 더욱 상세하게 설명하면, 변형부(520)의 형상은 하나의 개구부(111b)를 중심으로, 상하좌우 각각에 제3굴곡부(323)들이 위치된 것일 수 있다.
상기와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 제5실시예에 따른 마스크(500)의 인장시 몸체부(110)에 가해지는 인장력에 의하여 변형부(520)가 펼쳐지면서 변형되어 인장되기 전의 마스크(500)의 두께에 비하여 인장된 이후의 마스크(500)의 두께가 거의 동일하게 유지될 수 있다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100, 200, 300, 400, 500: 마스크
110: 몸체부
111A, 111B: 개구부
120, 220, 320, 420, 520: 변형부
121: 제1굴곡부
222: 제2굴곡부
323, 423, 523: 제3굴곡부

Claims (23)

  1. 판형으로 이루어지며, 복수의 개구부가 형성된 몸체부, 및
    상기 몸체부로부터 돌출되도록 형성되고, 상기 몸체부를 가로지르는 제1방향을 따라 형성된 적어도 하나의 제1굴곡부를 포함하는 변형부를 포함하고,
    상기 변형부는,
    상기 몸체부로부터 돌출되도록 형성되고, 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 몸체부를 가로지르도록 형성된 적어도 하나의 제2굴곡부를 더 포함하는마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1굴곡부는 복수로 이루어지며,
    상기 복수의 제1굴곡부는 서로 일정 간격으로 이격되도록 형성되고,
    상기 복수의 제1굴곡부 각각의 사이에 상기 개구부가 위치하는 마스크.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1굴곡부는 상기 몸체부의 특정 영역에 형성된 마스크.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1굴곡부는 상기 몸체부의 중앙영역에 형성된 마스크.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1굴곡부는 상기 몸체부의 어느 하나의 모서리에 인접한 영역에 형성된 마스크.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1굴곡부의 수직 단면의 형상은 반원형, 반타원형 및 다각형 중 선택된 어느 하나인 마스크.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제2굴곡부는 복수로 이루어지며,
    상기 복수의 제2굴곡부는 서로 일정 간격으로 이격되도록 형성되고,
    상기 복수의 제2굴곡부 각각의 사이에 상기 개구부가 위치하는 마스크.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제2굴곡부는 상기 몸체부의 특정 영역에 형성된 마스크.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2굴곡부는 상기 몸체부의 중앙영역에 형성된 마스크.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 제2굴곡부는 상기 몸체부의 어느 하나의 모서리에 인접한 영역에 형성된 마스크.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제2굴곡부의 수직 단면의 형상은 반원형, 반타원형 및 다각형 중 선택된 어느 하나인 마스크.
  13. 판형으로 이루어지며, 복수의 개구부가 형성된 몸체부, 및
    상기 몸체부로부터 돌출되도록 형성되고, 패턴을 이루도록 형성된 복수의 제3굴곡부를 포함하는 변형부를 포함하고,
    변형부는 상기 몸체부를 기준으로 상방 또는 하방으로 돌출되어 있으며,
    상기 변형부는 상방으로 돌출된 것과 하방으로 돌출된 것이 서로 교번하도록 형성된 마스크.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제3굴곡부는 상기 몸체부의 특정 영역에 형성된 마스크.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 제3굴곡부는 상기 몸체부의 중앙영역에 형성된 마스크.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 제3굴곡부는 상기 몸체부의 가장자리에 인접한 영역에 형성된 마스크.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 제3굴곡부는 반구, 원뿔 및 다각뿔 중 선택된 어느 하나로 이루어진 마스크.
  18. 제1항 내지 제6항, 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변형부는 상기 몸체부를 기준으로 상방 또는 하방으로 돌출된 마스크.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 변형부는 상방으로 돌출된 것과 하방으로 돌출된 것이 서로 교번하도록 형성된 마스크.
  20. 제1항 내지 제6항, 제8항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변형부는 Cr, Cu, Ni, Fe, Sn, Ti 및 Al 중 어느 하나 이상의 금속을 포함하는 마스크.
  21. 제1항 내지 제6항, 제8항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변형부는 폴리머(polymer)로 이루어진 마스크.
  22. 제1항 내지 제6항, 제8항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변형부는 상기 몸체부와 동일한 소재로 이루어진 마스크.
  23. 제1항 내지 제6항, 제8항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변형부는 상기 몸체부에 가해지는 인장력에 의해 펼쳐지면서 변형되는 마스크.
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