KR102278925B1 - 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체는 제1 방향을 따라 교대로 배치되어 서로 연결되어 있는 제1 마스크, 제2 마스크, 연결부를 포함하고, 상기 제1 마스크는 제1 비중첩부, 상기 제1 비중첩부의 양쪽에 연결되어 있는 제1 중첩부와 제2 중첩부를 포함하고, 상기 제2 마스크는 제2 비중첩부, 상기 제2 비중첩부의 양쪽에 연결되어 있는 제3 중첩부와 제4 중첩부를 포함하고, 상기 연결부에서 상기 제1 마스크의 제1 중첩부와 상기 제2 마스크의 제4 중첩부는 서로 중첩한다.

Description

박막 증착용 마스크 프레임 조립체 {MASK FRAME ASSEMBLY FOR THIN FILM DEPOSITION}
본 발명은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 관한 것이다.
유기 발광 소자는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다.
유기 발광 소자에 유기 발광층과 전극층을 적층하는데, 이 때 증착용 마스크를 이용하여, 복수의 화소 영역에 유기 발광층과 전극층을 적층하여 형성한다.
한편, 유기 발광 소자를 이용한 표시 장치의 크기가 커짐에 따라서, 복수의 박막 증착용 마스크를 서로 연결하여 이용한다.
그러나, 복수의 박막 증착용 마스크를 서로 연결하여 이용할 때, 마스크의 길이가 길어짐에 따라 개별 마스크가 아래로 처지는 문제점이 발생하고, 시간이 지나면서, 연결부가 이격되는 문제점이 발생한다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 대형 표시 장치에 이용되는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체로서, 개별 마스크가 아래로 처지거나, 연결부가 이격되는 문제점이 발생하지 않는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 제공하는 것이다.
본 발명의 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체는 제1 방향을 따라 교대로 배치되어 서로 연결되어 있는 제1 마스크, 제2 마스크, 연결부를 포함하고, 상기 제1 마스크는 제1 비중첩부, 상기 제1 비중첩부의 양쪽에 연결되어 있는 제1 중첩부와 제2 중첩부를 포함하고, 상기 제2 마스크는 제2 비중첩부, 상기 제2 비중첩부의 양쪽에 연결되어 있는 제3 중첩부와 제4 중첩부를 포함하고, 상기 연결부에서 상기 제1 마스크의 제1 중첩부와 상기 제2 마스크의 제4 중첩부는 서로 중첩한다.
상기 제1 중첩부에는 복수의 제1 개구부가 형성되어 있고, 상기 제4 중첩부에는 복수의 제2 개구부가 형성되어 있고, 상기 연결부에서, 상기 복수의 제1 개구부와 상기 복수의 제2 개구부는 서로 중첩할 수 있다.
상기 제1 방향을 따라 측정한 상기 연결부의 폭은 상기 제1 방향을 따라 측정한 상기 복수의 제1 개구부와 상기 복수의 제2 개구부 각각의 폭보다 넓을 수 있다.
상기 연결부에서 상기 제1 마스크의 제2 중첩부와 상기 제2 마스크의 제3 중첩부는 서로 중첩할 수 있다.
상기 연결부는 상기 제1 방향과 수직을 이루는 제2 방향을 따라 뻗을 수 있다.
상기 박막 증착용 마스크 프레임 조립체는 상기 제1 방향을 따라 제1 가장자리에 위치하는 제1 가장자리부, 그리고 상기 제1 방향을 따라 상기 제1 가장자리와 마주하는 제2 가장자리에 위치하는 제2 가장자리부를 더 포함하고, 상기 제1 가장자리부와 상기 제2 가장자리부는 한쪽 가장자리에 위치하며, 상기 제1 중첩부 내지 상기 제4 중첩부와 같은 두께를 가지는 중첩부를 포함할 수 있다.
상기 연결부는 상기 제1 마스크의 상기 제1 중첩부와 상기 제2 마스크의 상기 제4 중첩부가 서로 중첩하는 중첩 영역과 상기 제1 마스크의 상기 제1 중첩부와 상기 제2 마스크의 상기 제4 중첩부가 서로 중첩하지 않는 비중첩 영역을 포함할 수 있다.
상기 제1 방향과 수직을 이루는 제2 방향을 따라서, 상기 연결부의 상기 중첩 영역과 상기 연결부의 비중첩 영역은 서로 교대로 배치될 수 있다.
상기 제1 중첩부에는 복수의 제1 개구부가 형성되어 있고, 상기 제4 중첩부에는 복수의 제2 개구부가 형성되어 있고, 상기 연결부의 상기 중첩부에서, 상기 복수의 제1 개구부와 상기 복수의 제2 개구부는 서로 중첩할 수 있다.
상기 제1 방향을 따라 측정한 상기 연결부의 상기 중첩부의 폭은 상기 제1 방향을 따라 측정한 상기 복수의 제1 개구부와 상기 복수의 제2 개구부 각각의 폭보다 넓을 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 따르면, 서로 연결되어 있는 개별 마스크가 아래로 처지거나, 연결부가 이격되는 문제점이 발생하지 않는 대형 표시 장치에 이용되는 대형 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 배치도이다.
도 2는 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 일부 및 조립 방법을 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 일부를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 배치도이다.
도 6은 도 5의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 일부 및 조립 방법을 도시한 도면이다.
그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
먼저, 도 1을 참고하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 배치도이다.
도 1을 참고하면, 본 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)는 제1 방향(X1)을 따라 서로 교대로 배치되어 서로 연결되어 있는 제1 마스크(10)과 제2 마스크(20), 제1 마스크(10)의 일부와 제2 마스크(20)의 일부가 서로 연결되는 제1 연결부(30), 제1 가장자리부(11), 그리고 제2 가장자리부(21)를 포함한다.
도시하지는 않았지만, 제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)에는 복수의 개구부가 형성되어 있고, 복수의 개구부를 통해 유기 발광 소자의 유기 발광층과 전극층이 적층된다.
제1 연결부(30)는 제1 마스크(10)의 제1 부분과 제2 마스크(20)의 제2 부분이 서로 중첩되어 있으며, 제1 연결부(30)는 제1 방향(X1)과 수직을 이루는 제2 방향(Y1)을 따라 뻗어 있다.
제1 가장자리부(11)와 제2 가장자리부는 제1 방향(X1)을 따라 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)의 양쪽 끝에 각각 위치하며, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)의 제1 끝단에 제1 가장자리부(11)가 위치하고, 제1 방향(X1)을 따라 제1 끝단과 마주하는 제2 끝단에 제2 가장자리부(21)가 위치한다.
그러면, 도 2를 참고하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)의 제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)의 구조에 대하여 상세하게 설명한다. 도 2는 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 일부 및 조립 방법을 도시한 도면이다.
도 2를 참고하면, 제1 마스크(10)는 제1 두께(D1)을 가지는 제1 비중첩부(10a), 제1 비중첩부(10a)에 연결되어 있으며, 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)보다 얇은 제2 두께(D2)를 가지는 제1 중첩부(30a)와 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)보다 얇은 제3 두께(D3)를 가지는 제2 중첩부(30b)를 포함한다.
제1 방향(X1)을 따라서, 제1 마스크(10)의 제2 중첩부(30b), 제1 비중첩부(10a), 그리고 제1 중첩부(30a)가 순서대로 위치한다.
제1 마스크(10)의 제1 중첩부(30a)는 제1 마스크(10)의 제1 비중첩부(10a)와 상부 표면의 높이가 같다. 즉, 제1 마스크(10)의 제1 중첩부(30a)는 제1 마스크(10)의 하부 일부분이 제거되어 있는 형태를 가진다.
이와는 달리, 제1 마스크(10)의 제2 중첩부(30b)는 제1 마스크(10)의 제1 비중첩부(10a)와 하부 표면의 높이가 같다. 즉, 제1 마스크(10)의 제2 중첩부(30b)는 제1 마스크(10)의 상부 일부분이 제거되어 있는 형태를 가진다.
제1 중첩부(30a)의 제2 두께(D2)와 제2 중첩부(30b)의 제3 두께(D3)는 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)보다 얇다. 제1 중첩부(30a)의 제2 두께(D2)와 제2 중첩부(30b)의 제3 두께(D3)의 합은 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)의 두께와 거의 같을 수 있다. 예를 들어, 제1 중첩부(30a)의 제2 두께(D2)와 제2 중첩부(30b)의 제3 두께(D3) 각각은 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)의 약 반일 수 있다. 제1 중첩부(30a)의 제2 두께(D2)와 제2 중첩부(30b)의 제3 두께(D3)는 거의 같거나 서로 다를 수 있다.
제2 마스크(20)는 제1 두께(D1)을 가지는 제2 비중첩부(20a), 제2 비중첩부(20a)에 연결되어 있으며, 제2 비중첩부(20a)의 제1 두께(D1)보다 얇은 제2 두께(D2)를 가지는 제1 중첩부(30a)와 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)보다 얇은 제3 두께(D3)를 가지는 제2 중첩부(30b)를 포함한다.
제1 방향(X1)을 따라서, 제2 마스크(20)의 제1 중첩부(30a), 제2 비중첩부(20a), 그리고 제2 중첩부(30b)가 순서대로 위치한다.
제2 마스크(20)의 제1 중첩부(30a)는 제2 마스크(20)의 제2 비중첩부(20a)와 상부 표면의 높이가 같다. 즉, 제2 마스크(20)의 제1 중첩부(30a)는 제2 마스크(20)의 하부 일부분이 제거되어 있는 형태를 가진다.
이와는 달리, 제2 마스크(20)의 제2 중첩부(30b)는 제2 마스크(20)의 제2 비중첩부(20a)와 하부 표면의 높이가 같다. 즉, 제2 마스크(20)의 제2 중첩부(30b)는 제2 마스크(20)의 상부 일부분이 제거되어 있는 형태를 가진다.
제1 중첩부(30a)의 제2 두께(D2)와 제2 중첩부(30b)의 제3 두께(D3)는 제2 비중첩부(20a)의 제1 두께(D1)보다 얇다. 제1 중첩부(30a)의 제2 두께(D2)와 제2 중첩부(30b)의 제3 두께(D3)의 합은 제2 비중첩부(20a)의 제1 두께(D1)의 두께와 거의 같을 수 있다. 예를 들어, 제1 중첩부(30a)의 제2 두께(D2)와 제2 중첩부(30b)의 제3 두께(D3) 각각은 제2 비중첩부(20a)의 제1 두께(D1)의 약 반일 수 있다. 제1 중첩부(30a)의 제2 두께(D2)와 제2 중첩부(30b)의 제3 두께(D3)는 거의 같거나 서로 다를 수 있다.
제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)는 제1 방향(X1)을 따라 서로 인접하여 배치되어 서로 연결된다. 도 2를 참고하면, 도 2의 화살표 방향을 따라 제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)를 서로 연결하면, 제1 마스크(10)의 제1 중첩부(30a)와 제2 마스크(20)의 제2 중첩부(30b)가 서로 중첩하게 된다. 즉, 도 1의 제1 연결부(30)는 제1 마스크(10)의 제1 중첩부(30a)와 제2 마스크(20)의 제2 중첩부(30b)가 서로 중첩하여 이루어진다.
제1 중첩부(30a)와 제2 중첩부(30b)는 제1 연결부(30)가 뻗어 있는 제2 방향(Y1)을 따라 뻗도록 형성되어 있다.
제1 중첩부(30a)와 제2 중첩부(30b)의 폭은 개구부(O)의 폭보다 넓을 수 있고, 이에 따라 제1 연결부(30)의 폭도 개구부(O)의 폭보다 넓을 수 있다.
제1 중첩부(30a)에는 복수의 제1 개구부(O1)가 형성되어 있고, 제2 중첩부(30b)에는 복수의 제2 개구부(O2)가 형성되어 있다. 제1 중첩부(30a)의 복수의 제1 개구부(O1)와 제2 중첩부(30b)의 복수의 제2 개구부(O2)는 서로 중첩한다.
이처럼, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제1 연결부(30)를 서로 연결되는 제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)의 제1 중첩부(30a)와 제2 중첩부(30b)가 중첩하도록 형성함으로써, 연결부에서 마스크가 중첩하지 않는 경우에 비하여, 하중에 따라 마스크 조립체가 처지지 않을 수 있고, 연결부가 이격되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 서로 중첩하는 제1 중첩부(30a)와 제2 중첩부(30b)의 폭은 개구부(O)의 폭보다 넓을 수 있고, 이에 따라 제1 연결부(30)의 폭도 개구부(O)의 폭보다 넓을 수 있어, 큰 하중을 견딜 수 있다. 제1 연결부(30)의 폭은 하중에 따라 변경이 가능하다.
제1 마스크(20)의 왼쪽에는 제2 마스크(20)가 연결되고, 제2 마스크(20)의 오른쪽에는 제1 마스크(20)가 연결될 수 있다.
그러면, 도 3 및 도 4를 참고하여, 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 가장자리 부분의 구조에 대하여 상세하게 설명한다. 도 3 및 도 4는 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 일부를 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)의 제1 가장자리부(11)는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)의 가장자리에 위치하고, 제1 두께(D1)를 가지는 제3 비중첩부(11a)와 제3 비중첩부(11a)에 연결되어 있으며, 제1 두께(D1)보다 얇은 제2 두께(D2)를 가지는 제1 중첩부(30a)를 포함한다.
이와 유사하게, 제2 가장자리부(21)는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)의 가장자리에 위치하고, 제1 두께(D1)를 가지는 제4 비중첩부(21a)와 제4 비중첩부(21a)에 연결되어 있으며, 제1 두께(D1)보다 얇은 제3 두께(D3)를 가지는 제2 중첩부(30b)를 포함한다.
제1 가장자리부(11)의 제1 중첩부(30a)는 인접한 마스크의 제2 중첩부(30b)와 중첩하여, 제1 연결부(30)를 형성하고, 제2 가장자리부(21)의 제2 중첩부(30b)는 인접한 마스크의 제1 중첩부(30a)와 중첩하여, 제1 연결부(30)를 형성한다.
이처럼, 본 발명의 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체는 인접한 마스크를 서로 연결하는 연결부(30)를 인접한 두 마스크의 두 중첩부를 서로 중첩하여 형성함으로써, 하중에 영향을 작게 받게 함으로써, 연결부가 이격되거나, 하중에 의해 연결부가 아래로 처지는 것을 방지할 수 있다.
그러면, 도 5를 참고하여, 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 대하여 설명한다. 도 5는 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 배치도이다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(200)는 제1 방향(X1)을 따라 서로 교대로 배치되어 서로 연결되어 있는 제1 마스크(10)과 제2 마스크(20), 제1 마스크(10)의 일부와 제2 마스크(20)의 일부가 서로 연결되는 제2 연결부(40), 제1 가장자리부(11), 그리고 제2 가장자리부(21)를 포함한다.
도시하지는 않았지만, 제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)에는 복수의 개구부가 형성되어 있고, 복수의 개구부를 통해 유기 발광 소자의 유기 발광층과 전극층이 적층된다.
제2 연결부(40)는 제1 마스크(10)의 일부분과 제2 마스크(20)의 일부분이 서로 중첩되어 있는 제1 부분(401)과 제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)가 중첩하지 않는 제2 부분(402)을 포함한다. 즉, 제1 방향(X1)과 수직을 이루는 제2 방향(Y1)을 따라 뻗어 있는 제2 연결부(40)의 일부분에서 제1 마스크(10)의 일부분과 제2 마스크(20)의 일부분이 서로 중첩한다.
제2 연결부(40)의 제1 부분(401)과 제2 부분(402)은 제2 방향(Y1)을 따라 교대로 배치되어 있다.
제1 가장자리부(11)와 제2 가장자리부는 제1 방향(X1)을 따라 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)의 양쪽 끝에 각각 위치하며, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)의 제1 끝단에 제1 가장자리부(11)가 위치하고, 제1 방향(X1)을 따라 제1 끝단과 마주하는 제2 끝단에 제2 가장자리부(21)가 위치한다.
그러면, 도 6을 참고하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(200)의 제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)의 구조에 대하여 상세하게 설명한다. 도 6은 도 5의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 일부 및 조립 방법을 도시한 도면이다.
도 5를 참고하면, 제1 마스크(10)는 제1 두께(D1)을 가지는 제1 비중첩부(10a), 제1 비중첩부(10a)에 연결되어 있으며, 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)보다 얇은 제2 두께(D2)를 가지는 제3 중첩부(40a)와 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)보다 얇은 제3 두께(D3)를 가지는 제4 중첩부(40b)를 포함한다.
제1 방향(X1)을 따라서, 제1 마스크(10)의 제4 중첩부(40b), 제1 비중첩부(10a), 그리고 제3 중첩부(40a)가 순서대로 위치한다.
제2 방향(Y1)을 따라 측정한 제1 마스크(10)의 제3 중첩부(40a)와 제4 중첩부(40b)의 길이는 제2 방향(Y1)을 따라 측정한 제1 마스크(10)의 길이보다 짧다.
제1 마스크(10)의 제3 중첩부(40a)는 제1 마스크(10)의 제1 비중첩부(10a)와 상부 표면의 높이가 같다. 즉, 제1 마스크(10)의 제3 중첩부(40a)는 제1 마스크(10)의 하부 일부분이 제거되어 있는 형태를 가진다.
이와는 달리, 제1 마스크(10)의 제4 중첩부(40b)는 제1 마스크(10)의 제1 비중첩부(10a)와 하부 표면의 높이가 같다. 즉, 제1 마스크(10)의 제4 중첩부(40b)는 제1 마스크(10)의 상부 일부분이 제거되어 있는 형태를 가진다.
제3 중첩부(40a)의 제2 두께(D2)와 제4 중첩부(40b)의 제3 두께(D3)는 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)보다 얇다. 제3 중첩부(40a)의 제2 두께(D2)와 제4 중첩부(40b)의 제3 두께(D3)의 합은 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)의 두께와 거의 같을 수 있다. 예를 들어, 제3 중첩부(40a)의 제2 두께(D2)와 제4 중첩부(40b)의 제3 두께(D3) 각각은 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)의 약 반일 수 있다. 제1 중첩부(30a)의 제2 두께(D2)와 제2 중첩부(30b)의 제3 두께(D3)는 거의 같거나 서로 다를 수 있다.
제2 마스크(20)는 제1 두께(D1)을 가지는 제2 비중첩부(20a), 제2 비중첩부(20a)에 연결되어 있으며, 제2 비중첩부(20a)의 제1 두께(D1)보다 얇은 제2 두께(D2)를 가지는 제3 중첩부(40a)와 제1 비중첩부(10a)의 제1 두께(D1)보다 얇은 제3 두께(D3)를 가지는 제4 중첩부(40b)를 포함한다.
제1 방향(X1)을 따라서, 제2 마스크(20)의 제3 중첩부(40a), 제2 비중첩부(20a), 그리고 제4 중첩부(40b)가 순서대로 위치한다.
제2 마스크(20)의 제3 중첩부(40a)는 제2 마스크(20)의 제2 비중첩부(20a)와 상부 표면의 높이가 같다. 즉, 제2 마스크(20)의 제3 중첩부(40a)는 제2 마스크(20)의 하부 일부분이 제거되어 있는 형태를 가진다.
이와는 달리, 제2 마스크(20)의 제4 중첩부(40b)는 제2 마스크(20)의 제2 비중첩부(20a)와 하부 표면의 높이가 같다. 즉, 제2 마스크(20)의 제4 중첩부(40b)는 제2 마스크(20)의 상부 일부분이 제거되어 있는 형태를 가진다.
제3 중첩부(40a)의 제2 두께(D2)와 제4 중첩부(40b)의 제3 두께(D3)는 제2 비중첩부(20a)의 제1 두께(D1)보다 얇다. 제3 중첩부(40a)의 제2 두께(D2)와 제4 중첩부(40b)의 제3 두께(D3)의 합은 제2 비중첩부(20a)의 제1 두께(D1)의 두께와 거의 같을 수 있다. 예를 들어, 제3 중첩부(40a)의 제2 두께(D2)와 제4 중첩부(40b)의 제3 두께(D3) 각각은 제2 비중첩부(20a)의 제1 두께(D1)의 약 반일 수 있다. 제3 중첩부(40a)의 제2 두께(D2)와 제4 중첩부(40b)의 제3 두께(D3)는 거의 같거나 서로 다를 수 있다.
제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)는 제1 방향(X1)을 따라 서로 인접하여 배치되어 서로 연결된다. 도 6을 참고하면, 도 6의 화살표 방향을 따라 제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)를 서로 연결하면, 제1 마스크(10)의 제3 중첩부(40a)와 제2 마스크(20)의 제4 중첩부(40b)가 서로 중첩하게 된다. 즉, 도 5의 제2 연결부(40)의 일부분에서는 제1 마스크(10)의 제3 중첩부(40a)와 제2 마스크(20)의 제4 중첩부(40b)가 서로 중첩하여 이루어진다.
제3 중첩부(40a)와 제4 중첩부(40b)는 제2 연결부(40)가 뻗어 있는 제2 방향(Y1)을 따라 일부분 형성되어 있다.
제3 중첩부(40a)와 제4 중첩부(40b)의 폭은 개구부(O)의 폭보다 넓을 수 있고, 이에 따라 제2 연결부(40)의 제1 부분(401)의 폭도 개구부(O)의 폭보다 넓을 수 있다.
제3 중첩부(40a)에는 복수의 제3 개구부(O3)가 형성되어 있고, 제4 중첩부(40b)에는 복수의 제4 개구부(O4)가 형성되어 있다. 제3 중첩부(40a)의 복수의 제3 개구부(O3)와 제4 중첩부(40b)의 복수의 제4 개구부(O4)는 서로 중첩한다.
이처럼, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제2 연결부(40)의 일부분을 서로 연결되는 제1 마스크(10)와 제2 마스크(20)의 제3 중첩부(40a)와 제4 중첩부(40b)가 중첩하도록 형성함으로써, 연결부에서 마스크가 중첩하지 않는 경우에 비하여, 하중에 따라 마스크 조립체가 처지지 않을 수 있고, 연결부가 이격되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제3 중첩부(40a)와 제4 중첩부(40b)의 폭은 개구부(O)의 폭보다 넓을 수 있고, 이에 따라 제2 연결부(40)의 제1 부분(401)의 폭도 개구부(O)의 폭보다 넓을 수 있어, 큰 하중을 견딜 수 있다. 제2 연결부(40)의 제1 부분(401)의 폭은 하중에 따라 변경이 가능하다.
제1 마스크(20)의 왼쪽에는 제2 마스크(20)가 연결되고, 제2 마스크(20)의 오른쪽에는 제1 마스크(20)가 연결될 수 있다.
이처럼, 본 발명의 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체는 인접한 마스크를 서로 연결하는 연결부(30)를 인접한 두 마스크의 두 중첩부를 서로 중첩하여 형성함으로써, 하중에 영향을 작게 받게 함으로써, 연결부가 이격되거나, 하중에 의해 연결부가 아래로 처지는 것을 방지할 수 있다.
앞서 도 1 내지 도 4를 참고로 설명한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 많은 특징들은 도 5 및 도 6을 참고로 설명한 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 모두 적용 가능하다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100, 200: 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
10: 제1 마스크 20: 제2 마스크
30a, 30b, 40a, 40b: 중첩부 30, 40: 연결부
11, 21: 가장자리 부

Claims (10)

  1. 제1 방향을 따라 교대로 배치되어 서로 연결되어 있는 제1 마스크, 제2 마스크, 연결부를 포함하고,
    상기 제1 마스크는 제1 비중첩부, 상기 제1 비중첩부의 양쪽에 연결되어 있는 제1 중첩부와 제2 중첩부를 포함하고,
    상기 제2 마스크는 제2 비중첩부, 상기 제2 비중첩부의 양쪽에 연결되어 있는 제3 중첩부와 제4 중첩부를 포함하고,
    상기 제1 중첩부에는 복수의 제1 개구부가 형성되어 있고,
    상기 제4 중첩부에는 복수의 제2 개구부가 형성되어 있고,
    상기 제1 비중첩부에는 복수의 제3 개구부가 형성되어 있고,
    상기 제2 비중첩부에는 복수의 제4 개구부가 형성되어 있고,
    상기 연결부에서 상기 제1 마스크의 제1 중첩부와 상기 제2 마스크의 제4 중첩부는 서로 중첩하고,
    상기 제1 마스크의 제1 중첩부의 두께와 상기 제2 마스크의 제4 중첩부의 두께의 합은 상기 제1 비중첩부의 두께와 같고,
    상기 연결부에서, 상기 복수의 제1 개구부와 상기 복수의 제2 개구부는 서로 중첩하고,
    상기 연결부에서, 상기 복수의 제1 개구부의 두께와 상기 복수의 제2 개구부의 두께의 합은 상기 복수의 제3 개구부의 두께 및 상기 복수의 제4 개구부의 두께와 같고,
    상기 복수의 제1 개구부의 크기는 상기 복수의 제3 개구부의 크기와 같고,
    상기 복수의 제2 개구부의 크기는 상기 복수의 제4 개구부의 크기와 같은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  2. 삭제
  3. 제1항에서,
    상기 제1 방향을 따라 측정한 상기 연결부의 폭은 상기 제1 방향을 따라 측정한 상기 복수의 제1 개구부와 상기 복수의 제2 개구부 각각의 폭보다 넓은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  4. 제1항에서,
    상기 제1 마스크의 상기 제1 중첩부의 상부 표면의 높이는 상기 제1 마스크의 상기 제1 비중첩부의 상부 표면 높이와 같고, 상기 제2 마스크의 상기 제4 중첩부의 하부 표면의 높이는 상기 제1 마스크의 상기 제1 비중첩부의 하부 표면의 높이와 같은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  5. 제1항에서,
    상기 연결부는 상기 제1 방향과 수직을 이루는 제2 방향을 따라 뻗어 있는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  6. 제1항에서,
    상기 제1 방향을 따라 제1 가장자리에 위치하는 제1 가장자리부, 그리고
    상기 제1 방향을 따라 상기 제1 가장자리와 마주하는 제2 가장자리에 위치하는 제2 가장자리부를 더 포함하고,
    상기 제1 가장자리부와 상기 제2 가장자리부는 한쪽 가장자리에 위치하며, 상기 제1 중첩부 내지 상기 제4 중첩부와 같은 두께를 가지는 중첩부를 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  7. 제1항에서,
    상기 연결부는 상기 제1 마스크의 상기 제1 중첩부와 상기 제2 마스크의 상기 제4 중첩부가 서로 중첩하는 중첩 영역과 상기 제1 마스크의 상기 제1 중첩부와 상기 제2 마스크의 상기 제4 중첩부가 서로 중첩하지 않는 비중첩 영역을 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  8. 제7항에서,
    상기 제1 방향과 수직을 이루는 제2 방향을 따라서, 상기 연결부의 상기 중첩 영역과 상기 연결부의 비중첩 영역은 서로 교대로 배치되어 있는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  9. 삭제
  10. 삭제
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