KR101759347B1 - 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

복수개의 스틱형 분할마스크가 채용되는 마스크 프레임 조립체가 개시된다. 개시된 마스크 프레임 조립체는 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴을 구비하는 복수의 분할마스크를 구비하며, 다시 각 분할마스크는 복수의 부분마스크가 결합되어 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴을 형성하도록 구성된다. 이러한 구조에 의하면 대형 화면에 대응하는 패턴을 수용한 분할마스크를 에칭 오차 증가의 우려 없이 용이하게 제작할 수 있다.

Description

박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법{Mask frame assembly for thin film deposition and the manufacturing method thereof}
본 발명은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 분할마스크를 사용하는 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 장치들 중 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고, 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다.
유기 발광 표시 장치는 애노드와 캐소드에 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 색상을 구현할 수 있는 것으로서, 애노드와 캐소드 사이에 발광층을 삽입한 적층형 구조이다. 그러나, 상기한 구조로는 고효율 발광을 얻기 어렵기 때문에 각각의 전극과 발광층 사이에 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층, 및 정공 주입층 등의 중간층을 선택적으로 추가 삽입하여 이용하고 있다.
한편, 유기 발광 표시 장치의 전극들과, 발광층을 포함한 중간층은 여러 가지 방법에 의하여 형성시킬 수 있는데, 이중 하나의 방법이 증착법이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 기판 상에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask, FMM)를 정렬하고, 박막의 원소재를 증착하여 소망하는 패턴의 박막을 형성하게 된다.
그런데, 이러한 파인 메탈 마스크가 너무 커지면 패턴 형성을 위한 에칭 오차도 커지는 문제가 생기므로, 마스크를 여러 개의 스틱 형상으로 만든 후 프레임에 붙여서 사용하는 분할마스크가 선호되고 있다. 즉, 원장 기판 상의 유기 발광 표시 장치 화면 여러 개에 대해 동시에 증착할 수 있는 마스크를 사용하되, 원장 기판 전체를 한 장의 마스크로 커버하기에는 상기와 같은 에칭 오차 등의 문제가 생기므로, 일정 폭의 스틱 형상으로 만들어진 분할마스크 여러 개를 프레임에 붙여서 사용하는 것이다.
그런데, 최근에는 유기 발광 표시 장치의 화면이 점차 대형화되면서 마스크를 통해 증착시켜야하는 단위 화면의 면적이 분할마스크 하나의 폭 안에 다 들어가지 않는 문제가 생기고 있다. 즉, 상기한 에칭 오차 등을 방지하며 만들 수 있는 분할마스크의 최대 폭은 150mm 정도인데, 이 폭 안에 7인치 이하의 화면에 대응하는 증착 패턴을 형성하는 데에는 문제가 없지만, 그 이상의 크기인 예컨대 14인치 화면에 대응하는 증착 패턴을 수용하려면 분할마스크의 폭이 300mm 정도는 되어야 한다. 이를 해결하기 위해 만일 분할마스크를 폭이 300mm가 되는 크기로 제작하려면 상기와 같이 에칭 오차가 커지는 문제가 다시 생기게 된다.
따라서, 이에 대한 적절한 해결책이 요구되고 있다.
본 발명의 실시예는 분할마스크 제작 시 에칭 오차를 증가시키지 않으면서도 대형 화면에 대응한 증착 패턴을 쉽게 수용할 수 있도록 개선된 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체는, 개구부가 형성된 프레임; 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴을 구비하며, 상기 프레임에 양단부가 고정되어 상기 증착용 패턴이 상기 개구부에 위치되도록 배치되는 복수의 분할마스크;를 포함하며, 상기 각 분할마스크는, 복수의 부분마스크가 결합되어 상기 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴을 형성하도록 된다.
상기 부분마스크는 상기 증착용 패턴의 제1부분패턴을 구비한 제1부분마스크와, 상기 증착용 패턴의 제2부분패턴을 구비한 제2부분마스크를 구비할 수 있으며, 상기 제1부분마스크와 상기 제2부분마스크는 상호 접하는 단면끼리 접착제에 의해 접합될 수 있다.
상기 제1부분패턴과 상기 제2부분패턴은 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부를 포함하여 모두 일정한 패턴 피치를 가질 수 있다.
상기 접착제는 자외선 경화형 접착제일 수 있으며, 상기 자외선 경화형 접착제가 상기 접합부의 상면과 하면에 각각 도포되어 경화될 수 있다.
상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 상기 접합부를 이루는 단면끼리 서로 평행할 수 있다.
상기 접착제는 열 경화형 접착제일 수 있으며, 상기 열 경화형 접착제가 상기 접합부의 단면에 도포되어 경화될 수 있다.
상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 상기 단면끼리 서로 평행할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법은, (a) 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴 중 일부분에 해당되는 부분패턴들을 나눠 가진 부분마스크들을 준비하는 단계; (b) 상기 부분패턴들이 연결되면서 상기 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴이 형성되도록 상기 부분마스크들을 결합시킨 분할마스크를 제조하는 단계; (c) 상기 분할마스크를 프레임에 고정시키는 단계;를 포함한다.
상기 부분마스크는 제1부분패턴을 가진 제1부분마스크와 제2부분패턴을 가진 제2부분마스크를 포함할 수 있으며, 상기 제1부분패턴과 상기 제2부분패턴은 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부를 포함하여 모두 일정한 패턴 피치를 가질 수 있다.
상기 (b)단계는, 상기 제1부분마스크와 상기 제2부분마스크를 상호 접합될 단면끼리 소정 간격을 두고 인접하도록 정렬시키는 단계와, 상기 인접한 단면에 자외선 경화형 접착제를 도포하는 단계 및, 상기 자외선 경화형 접착제를 자외선 조사로 경화시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 자외선 경화형 접착제의 도포 및 경화 단계는, 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 상면에 상기 자외선 경화형 접착제를 도포하고 경화시키는 단계와, 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 하면에 상기 자외선 경화형 접착제를 도포하고 경화시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 자외선 경화제의 도포는 비전카메라가 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부를 추적하며 가이드하고, 도포장치가 그 비전카메라를 따라가면서 도포할 수 있다.
상기 (b)단계는, 상기 제1부분마스크와 상기 제2부분마스크의 상호 접합될 단면에 열 경화형 접착제를 도포하는 단계와, 상기 열 경화형 접착제가 도포된 단면끼리 밀착시키는 단계 및, 상기 열 경화형 접착제를 소정 가열수단으로 가열하여 경화시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 열 경화형 접착제의 경화 단계는, 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 일면에 열을 가해 상기 열 경화형 접착제를 도포하고 경화시키는 단계와, 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 타면에 열을 가해 상기 자외선 경화형 접착제를 경화시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 열 경화형 접착제의 경화 단계는, 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 양면에 동시에 열을 가해 상기 열 경화형 접착제를 도포하고 경화시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 가열수단은 상기 접합부에 접촉하여 회전하면서 상기 열 경화형 접착제에 열을 가하는 가열롤러와, 비접촉 상태에서 상기 열 경화형 접착제에 열풍을 불어주는 블로워 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법에 의하면 대형 화면에 대응하는 패턴을 수용한 분할마스크를 에칭 오차 증가의 우려 없이 용이하게 제작할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체의 분리사시도이다.
도 2a는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체 중 하나의 분할마스크 구조를 도시한 도면이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 분할마스크의 요부를 확대한 도면이다.
도 3a 내지 도 3h는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체의 일 실시예에 따른 제조과정을 순차적으로 도시한 도면이다.
도 4a 내지 도 4h는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체의 다른 실시예에 따른 제조과정을 순차적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)의 구조를 도시한 것이다.
도시된 바와 같이 본 실시예의 마스크 프레임 조립체(100)는, 개구부(121)가 형성된 프레임(120)과, 그 프레임(120)에 양단부가 고정된 복수의 분할마스크(110)들을 구비하고 있다. 도 1에서는 설명의 편의 상 개구부(121)를 보이기 위해 4개의 분할마스크(110) 만을 도시하였으나, 실제 제조 완료 후에는 개구부(121)가 분할마스크(110)들로 모두 채워지게 된다.
먼저, 상기 프레임(120)은 조립체(100)의 외곽 틀을 형성하는 것으로, 중앙에 개구부(121)가 형성된 사각형 모양을 하고 있다. 이 프레임(120)의 서로 마주보는 한 쌍의 변에 상기 분할마스크(110)들의 양단부가 용접으로 고정된다.
상기 분할마스크(110)는 길쭉한 스틱 형상의 부재들로서, 상기 개구부(121) 안에 위치되는 증착용 패턴(111)이 형성되어 있으며 그 양단부는 상기한 바와 같이 프레임(120)에 용접된다. 이 분할마스크(110)를 상기 개구부(121)가 한번에 덮어지는 하나의 큰 부재로 만들지 않고 도면과 같이 복수의 스틱 형상으로 분할해서 부착하는 이유는, 전술한 바와 같이 에칭 오차를 줄이기 위해서이다. 분할마스크(110)는 예컨대 니켈, 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 형성할 수 있다.
한편, 상기 각 분할마스크(110)들은 도 2a에 도시된 바와 같이 단일체가 아니라 복수의 부분마스크(110a)(110b)가 결합된 구조로 이루어져 있다. 즉, 제1부분패턴(111a)을 가진 제1부분마스크(110a)와 제2부분패턴(111b)을 가진 제2부분마스크(110b)가 인접한 단면끼리 접합되어 하나의 분할마스크(110)를 구성하게 되며, 이때 제1부분패턴(111a)과 제2부분패턴(111b)이 연결되어 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴(111)이 형성된다. 도면에서는 두 개의 부분마스크(110a)(110b)가 한 분할마스크(110)를 구성하는 경우를 예시하였으나, 그 이상 개수의 부분마스크로 나눠서 분할마스크(110)를 구성할 수도 있음은 물론이다.
그리고, 이때 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 패턴 피치(P1,P2,P3)는 도 2b에 도시된 바와 같이 접합부를 포함하여 모두 일정한 간격으로 형성된다(P1=P2=P3). 즉, 증착용 패턴(111)을 구성하는 제1부분패턴(111a)의 패턴 피치(P1)와 제2부분패턴(111b)의 패턴 피치(P3)는 동일하며, 이들의 접합부에서 형성되는 패턴 피치(P2)도 이와 동일한 패턴 피치를 유지하는 것이다. 따라서, 두 부분마스크(110a)(110b)의 접합으로 형성된 분할마스크(110)이지만, 한 증착용 패턴(111) 내에서의 패턴 피치(P1,P2,P3)는 전체적으로 일정하게 유지된다.
이와 같이 복수개의 부분마스크(110a)(110b)를 접합하여 분할마스크(110)를 만들게 되면, 대형화된 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴(111)을 쉽게 구현할 수 있으며, 또한 협폭의 부분마스크(110a)(110b)에 에칭으로 제1,2부분패턴(111a)(111b)을 먼저 형성하는 것이므로 대형 화면에 맞춘 광폭 부재의 에칭 시 생길 수 있는 에칭 오차의 부담도 작아진다.
이하에 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 접합하여 분할마스크(110)를 제조하는 과정을 설명한다.
먼저, 도 3a 내지 도 3h는 자외선 경화형 접착제(301)를 이용하여 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 접합하는 예를 도시한 것이다.
우선, 도 3a에 도시된 바와 같이 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 서로 약 10~20㎛ 정도의 갭(d)을 두고 인접한 단면끼리 평행하게 마주하도록 정렬시킨다. 나중에 이 갭(d)으로 자외선 경화형 접착제(301)의 일부가 스며들게 된다.
제1,2부분마스크(110a)(110b)의 정렬은 도 3a와 같이 비전카메라(200)를 이용할 수 있다. 예컨대, 제1,2부분마스크(110a)(110b) 밑에 레퍼런스 패턴 글라스를 놓고, 비전카메라(200)가 위에서 레퍼런스 패턴과 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 위치가 일치하는지 여부를 관찰하면서 위치를 정렬시키는 방법 등이 사용될 수 있다.
이후 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 정렬이 완료되면, 도 3b에 도시된 바와 같이 도포장치(300)를 가동하여 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 접합부 상면에 자외선 경화형 접착제(301)를 도포한다.
그러면, 도포된 자외선 경화형 접착제(301)는 일부가 갭(d) 안으로 스며들면서 도 3c와 같은 형태가 된다. 자외선 경화형 접착제(301)를 도포할 때에는 도 3d와 같이 비전카메라(200)가 접합부 라인을 추적하면서 가이드하고, 도포장치(300)가 그 비전카메라(200)를 따라가면서 도포하는 방식이 사용될 수 있다.
이 상태에서 도 3e와 같이 자외선 조사장치(400)로 접합부에 자외선(401)을 조사하면, 도포된 자외선 경화형 접착제(301)가 경화되면서 견고한 접합 상태를 유지하게 된다. 이때의 자외선(401) 조사는 자외선 조사장치(400)가 접합부 전체를 일시에 조사하도록 할 수도 있고, 또는 상기 도포장치(300)처럼 접합부 라인을 따라가면서 조사하도록 할 수도 있다.
그리고, 상기 자외선 경화형 접착제(301)의 성분으로는 반응성 올리고머, 반응성 희석제, 첨가제 및 광중합 개시제 등이 포함될 수 있다. 상기 반응성 올리고머는 에폭시, 폴리에스테르, 우레탄 등의 변성아크릴올리고머를 포함할 수 있다. 상기 반응성 희석제로는 아크릴모노머가 포함될 수 있으며, 첨가제로는 접착성 부여제, 충진제, 중합금지재, 열경화촉매, 혐기성 촉매, 착색제 등이 포함될 수 있다.
한편, 상기와 같은 과정을 통해 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 상면에 자외선 경화형 접착제(301)를 도포한 다음에는, 도 3f와 같이 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 뒤집어서 하면에도 동일한 접착제 도포 및 경화 작업을 수행한다. 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 뒤집을 때에는 제1,2부분마스크(110a)(110b)만 뒤집는 것보다는 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 지지하고 있는 지그(미도시)까지 함께 반전되도록 하는 것이 먼저 경화된 자외선 경화형 접착제(301)가 떨어지지 않도록 하는데 유리하다.
그리고, 이렇게 반전된 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 하면에 도 3f와 같이 도포장치(300)로 자외선 경화형 접착제(301)를 도포하고, 도 3g와 같이 자외선 조사장치(400)로 자외선(401)를 조사하여 경화시킨다.
이렇게 하면, 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 상,하면에 각각 도포된 자외선 경화형 접착제(301)가 경화되면서 견고한 접합 상태를 유지하게 되며, 이로써 대형 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴(111)을 구비한 분할마스크(110)가 제조된다.
그리고, 이렇게 제조된 분할마스크(110)들은 도 1에서 설명한 바와 같이 프레임(120)에 부착되어 마스크 프레임 조립체(100)를 형성하게 된다.
한편, 제1,2부분마스크(110a)(110b)는 인접한 단면이 도 3h와 같이 일정 각도를 가지고 기울어지면서 평행한 형태로 형성될 수도 있다. 물론, 이 경우에도 도 3a 내지 도 3g에 도시된 것과 동일한 공정을 통해 접합부 상하면에 자외선 경화형 접착제(301)를 도포하고 경화시켜 분할마스크(110)를 제조할 수 있다.
그러므로, 상술한 공정을 통해 대형 화면에 대응하는 증착용 패턴(111)을 구비하면서도 에칭 오차 증가의 우려가 없는 분할마스크(110)를 용이하게 제조할 수 있게 된다.
다음으로, 도 4a 내지 도 4h를 참조하면서, 열 경화형 접착제(501)를 이용하여 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 접합시켜 분할마스크(110)를 제조하는 과정을 설명하기로 한다.
우선, 도 4a에 도시된 바와 같이 도포장치(500)를 가동하여 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 상호 접합할 단면에 열 경화형 접착제(501)를 도포한다.
여기서는 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 접합부를 형성할 단면이 서로 평행한 경사면으로 형성된 경우를 예시한다. 물론, 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 인접한 단면들이 도 3g와 같이 수직으로 평행한 형태로 형성될 수도 있다.
그리고는, 도 4b에 도시된 바와 같이 열 경화형 접착제(501)가 도포된 단면끼리 밀착시킨다. 이때 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 밀착 정렬에 비전카메라(200)를 이용할 수 있다. 예컨대, 제1,2부분마스크(110a)(110b) 밑에 레퍼런스 패턴 글라스를 놓고, 비전카메라(200)가 위에서 레퍼런스 패턴과 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 위치가 일치하는지 여부를 관찰하면서 위치를 정렬시키는 방법 등이 사용될 수 있다.
이어서, 도 4c와 같이 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 베이스플레이트(10)에 올려놓고, 히터(미도시)가 내장된 가열롤러(600)를 접합부에 직접 접촉시켜서 열 경화형 접착제(501)를 경화시킨다.
즉, 가열롤러(600)가 접합부의 라인을 따라 굴러가면서 열 경화형 접착제(501)를 가열하게 되며, 이에 따라 열 경화형 접착제(501)가 경화되면서 견고한 접합 상태를 유지하게 된다.
상기와 같은 과정을 통해 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 상면 측 열 경화형 접착제(501)를 경화시키고 어느 정도의 안정화 시간을 거친 다음에는, 도 4d와 같이 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 뒤집어서 하면 측에 대해서도 동일한 가열 경화 작업을 수행한다.
즉, 반전된 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 하면에 가열롤러(600)로 접합부를 가열하여 열 경화형 접착제(501)를 경화시킨다.
이렇게 하면, 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 접합부 단면에 도포된 열 경화형 접착제(501)가 경화되면서 견고한 접합 상태를 유지하게 되며, 이로써 대형 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴(111)을 구비한 분할마스크(110)가 제조된다.
그리고, 이렇게 제조된 분할마스크(110)들은 도 1에서 설명한 바와 같이 프레임(120)에 부착되어 마스크 프레임 조립체(100)를 형성하게 된다.
한편, 상기 도 4c와 도 4d에서는 접합부의 열 경화형 접착제(501)를 가열 경화시키기 위한 가열수단으로서 가열롤러(600)를 예시하였는데, 도 4e 및 도 4f에 도시된 바와 같이 비접촉식으로 열풍(701)을 불어서 가열하는 블로워(700)가 채용될 수도 있다.
즉, 도 4e에 도시된 바와 같이 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 상면 측에서 블로워(700)로 열풍(701)을 불어 열 경화형 접착제(501)의 상면 측을 경화시키고, 이어서 제1,2부분마스크(110a)(110b)를 뒤집은 후 도 4f와 같이 열 경화형 접착제(501)의 하면 측을 마저 경화시킨다.
이렇게 하면 마찬가지로 열 경화형 접착제(501)에 의해 견고하게 접합된 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 접합체 즉, 분할마스크(110)가 만들어지며, 이렇게 제조된 분할마스크(110)들은 도 1에서 설명한 바와 같이 프레임(120)에 부착되어 마스크 프레임 조립체(100)를 형성하게 된다.
한편, 전술한 실시예에서는 제1,2부분마스크(110a)(110b)의 상면과 하면을 차례로 경화시키는 방식을 예시하였는데, 도 4g 및 도 4h에 도시된 바와 같이 복수개의 가열롤러(600)나 복수개의 블로워(700)를 이용하여 양면에 대한 경화 작업을 동시에 수행할 수도 있다.
상술한 공정을 통해 대형 화면에 대응하는 증착용 패턴(111)을 구비하면서도 에칭 오차 증가의 우려가 없는 분할마스크(110)를 용이하게 제조할 수 있게 된다.
그리고, 상기 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)는 유기 발광막의 패터닝 공정을 포함한 각종 박막 증착용으로 사용될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
10...베이스플레이트 100...마스크 프레임 조립체
110.. 분할마스크 110a,110b.. 제1,2부분마스크
111.. 증착용 패턴 111a,111b ..제1,2부분패턴
120...프레임 121...개구
200...비전카메라 300...도포장치
301...자외선 경화형 접착제 400...자외선 조사장치
401...자외선 500...도포장치
501...열 경화형 접착제 600...가열롤러
700...블로워 701...열풍

Claims (18)

  1. 개구부가 형성된 프레임;
    단위 화면에 대응하는 증착용 패턴을 구비하며, 상기 프레임에 양단부가 고정되어 상기 증착용 패턴이 상기 개구부에 위치되도록 배치되는 복수의 분할마스크;를 포함하고,
    상기 각 분할마스크는, 복수의 부분마스크가 결합되어 상기 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴을 형성하며,
    상기 부분마스크는 상기 증착용 패턴의 제1부분패턴을 구비한 제1부분마스크와, 상기 증착용 패턴의 제2부분패턴을 구비한 제2부분마스크를 구비하고, 상기 제1부분마스크와 상기 제2부분마스크는 상호 접하는 단면끼리 접합되고, 상기 제1부분패턴과 상기 제2부분패턴은 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부를 포함하여 모두 일정한 패턴 피치를 가지며, 상기 제1부분패턴과 상기 접합부 및 상기 제2부분패턴이 연결되어 상기 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴이 되는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1부분마스크와 상기 제2부분마스크는 상호 접하는 단면끼리 접착제에 의해 접합된 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  3. 삭제
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 접착제는 자외선 경화형 접착제인 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 자외선 경화형 접착제가 상기 접합부의 상면과 하면에 각각 도포되어 경화된 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 상기 접합부를 이루는 단면끼리 서로 평행한 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 접착제는 열 경화형 접착제인 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 열 경화형 접착제가 상기 접합부의 단면에 도포되어 경화된 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 상기 단면끼리 서로 평행한 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  10. (a) 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴 중 일부분에 해당되는 부분패턴들을 나눠 가진 부분마스크들을 준비하는 단계;
    (b) 상기 부분패턴들이 연결되면서 상기 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴이 형성되도록 상기 부분마스크들을 결합시킨 분할마스크를 제조하는 단계;
    (c) 상기 분할마스크를 프레임에 고정시키는 단계;를 포함하며,
    상기 부분마스크는 제1부분패턴을 가진 제1부분마스크와 제2부분패턴을 가진 제2부분마스크를 포함하고, 상기 제1부분패턴과 상기 제2부분패턴은 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부를 포함하여 모두 일정한 패턴 피치를 가지며, 상기 제1부분패턴과 상기 접합부 및 상기 제2부분패턴이 연결되어 상기 단위 화면에 대응하는 증착용 패턴이 되는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  11. 삭제
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 (b)단계는,
    상기 제1부분마스크와 상기 제2부분마스크를 상호 접합될 단면끼리 소정 간격을 두고 인접하도록 정렬시키는 단계와,
    상기 인접한 단면에 자외선 경화형 접착제를 도포하는 단계 및,
    상기 자외선 경화형 접착제를 자외선 조사로 경화시키는 단계를 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 자외선 경화형 접착제의 도포 및 경화 단계는, 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 상면에 상기 자외선 경화형 접착제를 도포하고 경화시키는 단계와,
    상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 하면에 상기 자외선 경화형 접착제를 도포하고 경화시키는 단계를 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 자외선 경화형 접착제의 도포는 비전카메라가 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부를 추적하며 가이드하고, 도포장치가 그 비전카메라를 따라가면서 도포하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  15. 제 10 항에 있어서,
    상기 (b)단계는,
    상기 제1부분마스크와 상기 제2부분마스크의 상호 접합될 단면에 열 경화형 접착제를 도포하는 단계와,
    상기 열 경화형 접착제가 도포된 단면끼리 밀착시키는 단계 및,
    상기 열 경화형 접착제를 소정 가열수단으로 가열하여 경화시키는 단계를 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 열 경화형 접착제의 경화 단계는, 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 일면에 열을 가해 상기 열 경화형 접착제를 도포하고 경화시키는 단계와,
    상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 타면에 열을 가해 상기 열 경화형 접착제를 경화시키는 단계를 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 열 경화형 접착제의 경화 단계는, 상기 제1부분마스크와 제2부분마스크의 접합부 양면에 동시에 열을 가해 상기 열 경화형 접착제를 도포하고 경화시키는 단계를 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 가열수단은 상기 접합부에 접촉하여 회전하면서 상기 열 경화형 접착제에 열을 가하는 가열롤러와, 비접촉 상태에서 상기 열 경화형 접착제에 열풍을 불어주는 블로워 중 어느 하나를 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
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