JP2012126990A - 薄膜蒸着用マスクフレーム組立体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数個のスティック型分割マスクが採用されるマスクフレーム組立体100であり、該マスクフレーム組立体100は、単位画面に対応する蒸着用パターンを具備する複数の分割マスク110を具備し、さらに各分割マスクは、複数の部分マスク110a,110bが結合され、単位画面に対応する蒸着用パターン111を形成するように構成される。これにより、大型画面に対応するパターンを収容した分割マスクをエッチング誤差増大の恐れなく容易に製作することができる。
【選択図】図2A
Description
100 マスクフレーム組立体、
110 分割マスク、
110a 第1部分マスク、
110b 第2部分マスク、
111 蒸着用パターン、
111a 第1部分パターン、
111b 第2部分パターン、
120 フレーム、
121 開口部、
200 ビジョンカメラ、
300,500 塗布装置、
301 紫外線硬化型接着剤、
400 紫外線照射装置、
401 紫外線、
501 熱硬化型接着剤、
600 加熱ローラ、
700 ブロワ、
701 熱風。
Claims (18)
- 開口部が形成されたフレームと、
単位画面に対応する蒸着用パターンを具備し、前記フレームに両端部が固定され、前記蒸着用パターンが前記開口部に配置される複数の分割マスクと、を有し、
前記各分割マスクは、複数の部分マスクが結合され、前記単位画面に対応する蒸着用パターンを形成する薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。 - 前記部分マスクは、前記蒸着用パターンの第1部分パターンを具備した第1部分マスクと、前記蒸着用パターンの第2部分パターンを具備した第2部分マスクと、を具備し、
前記第1部分マスクと前記第2部分マスクは、相互に接する断面同士を接着剤によって接合されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。 - 前記第1部分パターンと前記第2部分パターンは、前記第1部分マスクと第2部分マスクとの接合部上に前記第1部分パターンと前記第2部分パターンとの境界部を有し、前記第1部分パターン、前記第2部分パターン、および前記境界部のいずれも一定のパターンピッチを有することを特徴とする請求項2に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
- 前記接着剤は、紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする請求項2または3に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
- 前記紫外線硬化型接着剤が、前記接合部の上面と下面とにそれぞれ塗布されて硬化されることを特徴とする請求項4に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
- 前記接合部をなす前記第1部分マスクおよび第2部分マスクの断面は、互いに平行であることを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
- 前記接着剤は、熱硬化型接着剤であることを特徴とする請求項2または3に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
- 前記熱硬化型接着剤が、前記接合部の断面に塗布されて硬化されることを特徴とする請求項7に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
- 前記接合部をなす前記第1部分マスクおよび第2部分マスクの断面は、互いに平行であることを特徴とする請求項8に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
- (a)単位画面に対応する蒸着用パターンのうち一部分に該当する部分パターンが割り当てられた部分マスクを準備する段階と、
(b)前記部分パターンが連結されつつ、前記単位画面に対応する蒸着用パターンが形成されるように、前記部分マスクを結合させた分割マスクを製造する段階と、
(c)前記分割マスクをフレームに固定させる段階と、を含む薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。 - 前記部分マスクは、第1部分パターンを有した第1部分マスクと、第2部分パターンを有した第2部分マスクと、を含み、
前記第1部分パターンと前記第2部分パターンは、前記第1部分マスクと第2部分マスクとの接合部上に前記第1部分パターンと前記第2部分パターンとの境界部を有し、前記第1部分パターン、前記第2部分パターン、および前記境界部のいずれも一定のパターンピッチを有することを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。 - 前記(b)段階は、
前記第1部分マスクと前記第2部分マスクとを相互に接合する断面同士を所定間隔をおいて隣接するように整列させる段階と、
前記隣接した断面に、紫外線硬化型接着剤を塗布する段階と、
前記紫外線硬化型接着剤を紫外線照射で硬化させる段階と、を含むことを特徴とする請求項11に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。 - 前記紫外線硬化型接着剤の塗布及び硬化の段階は、前記第1部分マスクと第2部分マスクとの接合部の上面に、前記紫外線硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階と、
前記第1部分マスクと第2部分マスクとの接合部の下面に、前記紫外線硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階と、を含むことを特徴とする請求項12に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。 - 前記紫外線硬化剤の塗布は、ビジョンカメラが前記第1部分マスクと第2部分マスクとの接合部を追跡してガイドし、塗布装置がそのビジョンカメラを追って行きつつ塗布することを特徴とする請求項13に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
- 前記(b)段階は、
前記第1部分マスクと前記第2部分マスクとの相互接合される断面に、熱硬化型接着剤を塗布する段階と、
前記熱硬化型接着剤が塗布された断面同士を密着させる段階と、
前記熱硬化型接着剤を所定加熱手段で加熱して硬化させる段階と、を含むことを特徴とする請求項11に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。 - 前記熱硬化型接着剤の硬化段階は、前記第1部分マスクと第2部分マスクとの接合部の一面に熱を加え、前記熱硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階と、
前記第1部分マスクと第2部分マスクとの接合部の他面に熱を加え、前記紫外線硬化型接着剤を硬化させる段階と、を含むことを特徴とする請求項15に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。 - 前記熱硬化型接着剤の硬化段階は、前記第1部分マスクと第2部分マスクとの接合部の両面に同時に熱を加え、前記熱硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階を含むことを特徴とする請求項15に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
- 前記加熱手段は、前記接合部に接触して回転しつつ、前記熱硬化型接着剤に熱を加える加熱ローラと、非接触状態で、前記熱硬化型接着剤に熱風を吹き付けるブロワとのうち、いずれか一つを含むことを特徴とする請求項15〜17のいずれか1項に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
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