JP6822028B2 - 蒸着用メタルマスクの補修装置、および、蒸着用メタルマスクの補修方法 - Google Patents

Description

本発明は、蒸着用メタルマスクを補修する蒸着用メタルマスクの補修装置、および、蒸着用メタルマスクの補修方法に関する。

スマートフォンやタブレットなどが備える表示装置として、有機ＥＬディスプレイが広く用いられつつある。有機ＥＬディスプレイは、赤色、緑色、および、青色などの色を有した光を発する複数の有機ＥＬ素子を備えている。各有機ＥＬ素子は、有機材料製の層として、正孔輸送層、発光層、および、電子輸送層を含んでいる。有機材料製の各層は、蒸着法を用いて複数の有機ＥＬ素子を支持する基板の上に形成される。各層が蒸着法によって形成されるときには、基板における所定の位置に対して所定の形状を有した層を形成するために、蒸着用のマスクが用いられる（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１３−２０９７１０号公報

ところで、高い位置精度が求められる蒸着用のマスクは、通常、金属製のシートを用いて形成される。こうした方法では、金属製のシートをエッチングすることによって、有機材料製の層を形成するためのマスク孔を金属製のシートに形成する。各マスク孔は、金属製のシートの表面と裏面とにそれぞれ開口を有する貫通孔である。

金属製のシートには多数のマスク孔が形成され、一部のマスク孔において、開口の面積や、マスク孔によって区画される空間が、設計された形状よりも大きくなる場合がある。このマスク孔の拡張は、蒸着用メタルマスクの歩留まりを低くする要因となっている。

なお、こうした事情は、金属製のシートのみを用いて形成された蒸着用メタルマスクに限らず、金属製のシートと、金属製のシートに積層される樹脂製のシートとから形成される蒸着用メタルマスクにおいても共通している。

本発明は、蒸着用メタルマスクの歩留まりを高めることを可能とした蒸着用メタルマスクの補修装置、および、蒸着用メタルマスクの補修方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための蒸着用メタルマスクの補修装置は、マスク部材において設計寸法で定められた凹部よりも大きい凹部である補修対象を検出する検出部と、前記マスク部材における前記補修対象に硬化性を有する樹脂を塗布する塗布部と、前記補修対象に塗布された前記樹脂を硬化させる硬化部と、前記補修対象にて硬化した前記樹脂のうち、前記設計寸法で定められた前記凹部から当該凹部の内側にはみ出す部分を取り除くことで、前記補修対象の形状を前記設計寸法で定められた前記凹部の形状に整合させる整形部と、を備える。

上記課題を解決するための蒸着用メタルマスクの補修方法は、マスク部材において、設計寸法で定められた凹部よりも大きい凹部である補修対象を検出することと、前記補修対象に硬化性を有した樹脂を塗布することと、前記補修対象に塗布された前記樹脂を硬化させることと、前記補修対象にて硬化した前記樹脂のうち、前記設計寸法で定められた前記凹部から当該凹部の内側にはみ出す部分を取り除くことで、前記補修対象の形状を前記設計寸法で定められた前記凹部の形状に整合させることと、を含む。

上記構成によれば、マスク部材に設計寸法に基づいて形成された凹部のうち、設計寸法よりも大きい補修対象の形状を、設計寸法を有した凹部の形状に整合させることによって、蒸着用メタルマスクの補修を行うことができる。これにより、蒸着用メタルマスクの歩留まりを高めることができる。

上記蒸着用メタルマスクの補修装置において、前記補修対象は、第１補修対象であり、前記整形部は、第１整形部であり、前記検出部は、前記設計寸法で定められた前記凹部よりも小さい前記凹部である第２補修対象を検出してもよい。前記第１補修対象および前記第２補修対象の各々が除去対象であり、前記各除去対象について、前記マスク部材のなかで前記除去対象を含む部分を前記マスク部材から取り除くことによって、前記除去対象よりも大きい空間を区画する塗布対象を前記マスク部材に形成する第２整形部を備えてもよい。前記塗布部は、前記各塗布対象を埋めるように前記塗布対象に前記樹脂を塗布し、前記第１整形部は、前記各塗布対象のなかにおいて硬化した前記樹脂のうち、前記設計寸法で定められた前記凹部からはみ出す部分を取り除くことで、前記各除去対象の形状を前記設計寸法で定められた前記凹部の形状に整合させてもよい。

上記構成によれば、第１補修対象および第２補修対象のそれぞれが有する形状を、設計寸法を有した凹部の形状に整えることによって、蒸着用メタルマスクの補修を行うことができ、結果として、蒸着用メタルマスクの歩留まりを高めることができる。

上記蒸着用メタルマスクの補修装置において、前記検出部は、前記マスク部材のなかで、前記設計寸法で定められた前記凹部とは異なる部位に位置する凹部である第３補修対象を検出してもよい。前記塗布部は、前記第３補修対象を埋めるように前記第３補修対象に前記樹脂を塗布し、前記硬化部は、前記第３補修対象に塗布された前記樹脂を硬化させてもよい。

上記構成によれば、蒸着用メタルマスクにおいてマスク孔が位置するべき部位とは異なる部位に形成された凹部を埋めることで、蒸着用メタルマスクを補修することができ、結果として、蒸着用メタルマスクの歩留まりを高めることができる。

上記蒸着用メタルマスクの補修装置において、前記マスク部材のなかで、前記樹脂が塗布される被塗布部分に、処理後の前記被塗布部分における硬化前の前記樹脂に対する濡れ性を、処理前の前記被塗布部分における硬化前の前記樹脂に対する濡れ性よりも高くする表面処理を施す表面処理部を備えてもよい。

上記構成によれば、被塗布部分における樹脂に対する濡れ性を高めることができるため、被塗布部分に塗布された樹脂が、被塗布部分の撥液性によって、被塗布部分以外の部分に動くことが抑えられる。

上記蒸着用メタルマスクの補修装置において、前記塗布部は、前記樹脂の出口を区画する端部を有し、前記検出部が前記補修対象を検出した後、かつ、前記塗布部が前記補修対象に前記樹脂を塗布する前に、前記端部を洗浄する洗浄部を備えてもよい。

上記構成によれば、出口に付着した不純物がマスク部材に塗布される樹脂に混ざったり、塗布部の出口に樹脂が詰まることによって、補修対象に所望する量の樹脂を塗布できなくなったりすることを抑えることができる。

上記蒸着用メタルマスクの補修装置において、前記塗布部は、前記洗浄部が前記端部を洗浄した後、かつ、前記補修対象に前記樹脂を塗布する前に、前記マスク部材とは異なる位置に前記樹脂を塗布してもよい。

上記構成によれば、端部の洗浄以降に出口に付着した物質が、出口から出た樹脂とともにマスク部材に付着することが抑えられる。

本発明によれば、蒸着用メタルマスクの歩留まりを高めることができる。

蒸着用メタルマスクの補修装置による補修の対象である蒸着用メタルマスクを備えるマスク装置の平面構造を示す平面図。 蒸着用メタルマスクが備えるマスク部材の平面構造の一部を拡大して示す部分拡大平面図。 マスク部材の断面構造の一部を拡大して示す部分拡大断面図。 蒸着用メタルマスクの補修装置の第１実施形態における補修装置の概略構成をマスク部材とともに示すブロック図。 第１補修対象を有するマスク部材の平面構造の一部を拡大して示す部分拡大平面図。 マスク部材の断面構造のうち、第１補修対象を含む部分を拡大して示す部分拡大平面図。 蒸着用メタルマスクの補修方法の第１の例における処理の手順を示すフローチャート。 第１の例における検出工程を説明するための工程図。 第１の例における塗布工程を説明するための工程図。 第１の例における硬化工程を説明するための工程図。 第１の例における整形工程を説明するための工程図。 マスク部材の断面構造のうち、補修後の第１補修対象を含む部分を拡大して示す部分拡大断面図。 第２補修対象を有するマスク部材の平面構造の一部を拡大して示す部分拡大平面図。 蒸着用メタルマスクの補修方法の第２の例における処理の手順を示すフローチャート。 第１整形工程を経た蒸着用メタルマスクの平面構造の一部を拡大して示す部分拡大平面図。 第１の変形例によって補修される第１補修対象を有するマスク部材の平面構造の一部を拡大して示す部分拡大平面図。 第２の変形例によって補修される第１補修対象を有するマスク部材の平面構造の一部を拡大して示す部分拡大平面図。 第３補修対象を有するマスク部材の平面構造の一部を拡大して示す部分拡大平面図。 変形例におけるマスク部材の断面構造の一部を拡大して示す部分拡大断面図。 蒸着用メタルマスクの補修装置を具体化した第２実施形態における補修装置の概略構成をマスク部材とともに示すブロック図。 蒸着用メタルマスクの補修方法の第２実施形態における処理の手順を示すフローチャート。

［第１実施形態］
図１から図１８を参照して、蒸着用メタルマスクの補修装置、および、蒸着用メタルマスクの補修方法を具体化した第１実施形態を説明する。以下では、補修装置によって補修される蒸着用メタルマスクを含むマスク装置の構成、蒸着用メタルマスクの補修装置の構成、蒸着用メタルマスクの補修装置による蒸着用メタルマスクの補修方法、および、マスク部材の形成材料および樹脂を順番に説明する。

［マスク装置の構成］
図１から図３を参照してマスク装置の構成を説明する。図１は、蒸着用メタルマスクが備えるマスク部材の表面と対向する平面視における平面構造を示し、図２は、マスク部材の裏面と対向する平面視における平面構造を拡大して示している。

図１が示すように、マスク装置１０は、メインフレーム２０と、複数の蒸着用メタルマスク３０とを備えている。メインフレーム２０は、複数の蒸着用メタルマスク３０を支持する枠板状を有し、蒸着を行うための蒸着装置に取り付けられる。メインフレーム２０は、各蒸着用メタルマスク３０が取り付けられる部位のほぼ全体にわたり、メインフレーム２０を貫通するメインフレーム孔２０Ｈを有している。

蒸着用メタルマスク３０は、サブフレーム３１と、例えば金属製のマスク部材３２とを備えている。サブフレーム３１は、１つのマスク部材３２を支持する枠板状を有し、メインフレーム２０に取り付けられている。各サブフレーム３１は、マスク部材３２が取り付けられる部位のほぼ全体にわたり、サブフレーム３１を貫通するサブフレーム孔３０Ｈを有している。各マスク部材３２は、サブフレーム孔３０Ｈの周囲に溶着や接着によって固定されている。蒸着用メタルマスク３０のうち、各マスク部材３２が補修装置による補修の対象である。

図２が示すように、マスク部材３２は複数のマスク孔３２Ｈを有し、各マスク孔３２Ｈは、マスク部材３２の表面と裏面３２Ｒとの間を貫通している。マスク部材３２の裏面３２Ｒと対向する平面視において、複数のマスク孔３２Ｈは、第１方向Ｄ１に沿って等間隔で並び、かつ、第１方向Ｄ１と直交する第２方向Ｄ２に沿って等間隔で並んでいる。なお、複数のマスク孔３２Ｈは、マスク部材３２の裏面３２Ｒにおいて、千鳥配列状に並んでもよい。

図３が示すように、マスク部材３２の表面３２Ｆに垂直な断面において、各マスク孔３２Ｈは、マスク部材３２の表面３２Ｆに開口する大開口３２Ｈ１と、マスク部材３２の裏面３２Ｒに開口する小開口３２Ｈ２とを有している。マスク孔３２Ｈは大開口３２Ｈ１を含む大孔３２ＨＢと、小開口３２Ｈ２を含む小孔３２ＨＳとを有している。大孔３２ＨＢはマスク部材３２の表面３２Ｆから裏面３２Ｒに向けて先細る形状を有し、小孔３２ＨＳはマスク部材３２の裏面３２Ｒから表面３２Ｆに向けて先細る形状を有している。各マスク孔３２Ｈに属する大孔３２ＨＢと小孔３２ＨＳとは、接続部３２ＨＣにて互いに接続されている。

各マスク孔３２Ｈは、設計寸法に基づきマスク部材３２に形成され、設計寸法は、マスク孔３２Ｈの全体の形状を決定するための複数の寸法を含んでいる。設計寸法には、例えば、マスク部材３２の裏面３２Ｒと対向する平面視において、小開口３２Ｈ２における第１方向Ｄ１に沿う長さ、および、小開口３２Ｈ２における第２方向Ｄ２に沿う長さが含まれる。また例えば、設計寸法には、マスク部材３２の表面３２Ｆと対向する平面視において、大開口３２Ｈ１における第１方向Ｄ１に沿う長さ、および、大開口３２Ｈ１における第２方向Ｄ２に沿う長さが含まれる。また例えば、設計寸法には、マスク部材３２の表面３２Ｆに垂直な断面における接続部３２ＨＣの幅が含まれる。

また例えば、設計寸法には、第１方向Ｄ１において隣り合う２つのマスク孔３２Ｈ間の距離、および、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのマスク孔３２Ｈ間の距離が含まれる。なお、各寸法には、設計値と、設計値に対して許容される範囲とが含まれている。

［蒸着用メタルマスクの補修装置の構成］
図４を参照して蒸着用メタルマスクの補修装置の構成を説明する。
図４が示すように、蒸着用メタルマスクの補修装置４０は、撮像部４１、塗布部４２、硬化部４３、および、整形部４４を備え、補修装置４０は、さらに、制御部４５、および、載置部４６を備えている。

制御部４５は、撮像部４１、塗布部４２、硬化部４３、整形部４４、および、載置部４６の各々と電気的に接続され、撮像部４１、塗布部４２、硬化部４３、整形部４４、および、載置部４６の各々の駆動を制御する。制御部４５は、撮像部４１、塗布部４２、硬化部４３、整形部４４、および、載置部４６の各々の駆動を制御するための制御信号を生成し、制御信号を撮像部４１、塗布部４２、硬化部４３、整形部４４、および、載置部４６の各々に出力する。

撮像部４１は、制御部４５とともに検出部の一例を構成し、検出部は、マスク部材３２において設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈよりも大きいマスク孔３２Ｈである補修対象を検出する。すなわち、検出部は、マスク部材３２において、補修対象の位置を検出する。

制御部４５は、所定のデータを記憶する記憶部４５ｍを含み、記憶部４５ｍの記憶するデータには、マスク部材３２が載置部４６における所定の位置に位置決めされたときの各マスク孔３２Ｈの位置を示すデータが含まれている。

加えて、記憶部４５ｍの記憶するデータには、マスク部材３２の設計構造に関するデータが含まれている。設計構造に関するデータは、例えば、マスク部材３２の表面３２Ｆと対向する方向からマスク部材３２を見たときの設計上の大開口３２Ｈ１の縁の形状を定めるデータ、および、マスク部材３２の裏面３２Ｒと対向する方向からマスク部材３２を見たときの設計上の小開口３２Ｈ２の縁の形状を定めるデータを含んでいる。

また例えば、設計構造に関するデータは、小開口３２Ｈ２における第１方向Ｄ１に沿う長さを定めるデータ、および、小開口３２Ｈ２における第２方向Ｄ２に沿う長さを定めるデータを含んでいる。また例えば、設計構造に関するデータは、マスク部材３２の表面３２Ｆに垂直な断面における接続部３２ＨＣの幅を定めるデータを含んでいる。また例えば、設計構造に関するデータは、表面３２Ｆにおける大開口３２Ｈ１以外の部分の形状を定めるデータ、および、裏面３２Ｒにおける小開口３２Ｈ２以外の部分の形状を定めるデータを含んでいる。なお、設計構造に関するデータは、設計上のマスク孔３２Ｈの形状を定めるデータであり、上述した設計寸法の値を定めるデータである。

撮像部４１は、制御部４５から入力される制御信号に応じて、各マスク孔３２Ｈを撮像する。撮像部４１は、マスク部材３２の表面３２Ｆと向かい合う状態で、言い換えれば、撮像部４１の撮像範囲に表面３２Ｆが含まれる状態で、各マスク孔３２Ｈを撮像してもよい。あるいは、撮像部４１は、マスク部材３２の裏面３２Ｒと向かい合う状態で、言い換えれば、撮像部４１の撮像範囲に裏面３２Ｒが含まれる状態で、各マスク孔３２Ｈを撮像してもよい。さらには、撮像部４１は、複数のマスク孔３２Ｈを１つずつ撮像してもよいし、２つ以上のマスク孔３２Ｈを一度に撮像してもよい。

また、撮像部４１は、マスク部材３２のうち、マスク孔３２Ｈを含む部分だけでなく、第１方向Ｄ１あるいは第２方向Ｄ２において、２つのマスク孔３２Ｈ間に位置する部位、言い換えればマスク孔３２Ｈを含まない部分を撮像してもよい。

撮像部４１は、制御部４５から入力される制御信号に応じて、各マスク孔３２Ｈに対応する撮像データを生成し、生成した撮像データを制御部４５へ出力する。撮像部４１は、例えばＣＣＤカメラなどの各種のカメラであればよい。

制御部４５は、撮像部４１の出力した撮像データと、上述した設計構造に関するデータとに基づき、複数のマスク孔３２Ｈの中から、補修対象を検出する。制御部４５は、複数のマスク孔３２Ｈのうち、設計構造に関するデータによって特定される形状、言い換えれば設計寸法で定められるマスク孔３２Ｈよりも大きい形状を有したマスク孔３２Ｈを補修対象として検出する。

また、検出部は、設計構造に関するデータと、撮像部４１の撮像データとに基づいて、複数のマスク孔３２Ｈのうち、設計寸法で定められるマスク孔３２Ｈよりも小さいマスク孔３２Ｈを検出することもできる。さらに、検出部は、設計構造に関するデータと、撮像部４１の撮像データとに基づいて、マスク部材３２において、設計寸法で定められるマスク孔３２Ｈが位置する部位とは異なる部位に位置する凹部を検出することもできる。

設計寸法で定められるマスク孔３２Ｈよりも大きいマスク孔３２Ｈを補修対象として検出するとき、検出部は、以下の方法によって補修対象を検出する。すなわち、検出部は、例えば、複数のマスク孔３２Ｈのうち、小開口３２Ｈ２あるいは大開口３２Ｈ１において、縁の一部が縁の形状を定めるデータによって特定される縁からはみ出す形状を有したマスク孔３２Ｈを補修対象として検出する。検出部は、また例えば、複数のマスク孔３２Ｈのうち、小開口３２Ｈ２あるいは大開口３２Ｈ１において、第１方向Ｄ１に沿う長さあるいは第２方向Ｄ２に沿う長さが、これらの長さを定めるデータによって特定される長さよりも大きいマスク孔３２Ｈを補修対象として検出する。

設計寸法で定められるマスク孔３２Ｈよりも小さいマスク孔３２Ｈを補修対象として検出するとき、検出部は、以下の方法によって補修対象を検出する。すなわち、検出部は、例えば、複数のマスク孔３２Ｈのうち、小開口３２Ｈ２あるいは大開口３２Ｈ１において、縁の一部が縁の形状を定めるデータによって特定される縁よりも内側に位置する形状を有したマスク孔３２Ｈを補修対象として検出する。検出部は、また例えば、複数のマスク孔３２Ｈのうち、小開口３２Ｈ２あるいは大開口３２Ｈ１において、第１方向Ｄ１に沿う長さあるいは第２方向Ｄ２に沿う長さが、これらの長さを定めるデータによって特定される長さよりも小さいマスク孔３２Ｈを補修対象として検出する。

設計寸法で定められるマスク孔３２Ｈが位置する部位とは異なる部位に位置する凹部を補修対象として検出するとき、検出部は、以下の方法によって補修対象を検出する。すなわち、検出部は、表面３２Ｆにおける大開口３２Ｈ１以外の部分の形状を定めるデータ、および、裏面３２Ｒにおける小開口３２Ｈ２以外の部分の形状を定めるデータ、および、各マスク孔３２Ｈの位置に関するデータに基づき、凹部を補修対象として検出する。

載置部４６は、制御部４５から入力される制御信号に応じて、検出部によって検出された補修対象が、塗布部４２が補修対象を処理する位置や、硬化部４３が補修対象を処理する位置に到達するように移動する。載置部４６は、例えば、２次元平面に設定される第１軸と第２軸とに沿って移動する。

塗布部４２は、マスク部材３２における補修対象に硬化性を有する樹脂を塗布する。塗布部４２は、制御部４５から入力される制御信号に応じて、検出部によって検出された補修対象に硬化性を有する樹脂を塗布する。塗布部４２が塗布する樹脂は、硬化性を有していればよく、熱硬化性樹脂であってもよいし、紫外線硬化性樹脂であってもよい。これらの樹脂には、樹脂の粘度を調整する調整剤が含まれてもよい。塗布部４２は、例えば、小孔３２ＨＳを補修するとき、小孔３２ＨＳの全体に充填される量の樹脂を補修対象に塗布し、大孔３２ＨＢを補修するとき、大孔３２ＨＢの全体に充填される量の樹脂を補修対象に塗布する。なお、塗布部４２は、小孔３２ＨＳおよび大孔３２ＨＢのいずれかに樹脂を塗布するとき、各孔の一部のみに位置する量の樹脂を各孔に塗布してもよい。

塗布部４２は、補修対象に樹脂を塗布するための機構として、例えば、塗布針、マイクロディスペンサー、インクジェット式のノズル、および、金属プローブを備えるマニピュレーターなどのいずれかを備えていればよい。

硬化部４３は、補修対象に塗布された樹脂を硬化させる。硬化部４３は、制御部４５から入力される制御信号に応じて、補修対象に塗布された樹脂を硬化させる。塗布部４２が補修対象に塗布する樹脂が熱硬化性樹脂であるとき、硬化部４３は、例えば赤外線ヒーターなどの加熱部であればよい。この場合には、硬化部４３は、マスク部材３２のうち、樹脂の塗布された部分を含むマスク部材３２の一部のみを加熱することができる構成でもよいし、マスク部材３２の全体を一度に加熱することができる構成であってもよい。

一方で、塗布部４２が補修対象に塗布する樹脂が紫外線硬化性樹脂であるとき、硬化部４３は、例えば紫外線ランプなどの照射部であればよい。この場合には、硬化部４３は、マスク部材３２のうち、樹脂の塗布された部分を含むマスク部材３２の一部のみに紫外線を照射することができる構成でもよいし、マスク部材３２の全体に一度に紫外線を照射することができる構成でもよい。

整形部４４は、補修対象にて硬化した樹脂のうち、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈから当該マスク孔３２Ｈの内側にはみ出す部分を取り除くことで、補修対象の形状を設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に整合させる。整形部４４は、制御部４５から入力される制御信号に応じて、マスク孔３２Ｈにて硬化した樹脂のうち、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈからマスク孔３２Ｈの内側にはみ出す部分を取り除く。これにより、整形部４４は、補修対象において孔を区画する面の形状が、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈを区画する面の形状に適合した形状を有するように、補修対象の形状を整形する。整形部４４は、例えばレーザーであればよく、樹脂の塗布された補修対象ごとにレーザー光線を照射する。

［蒸着用メタルマスクの補修方法］
上述した補修装置４０が行う蒸着用メタルマスク３０の補修方法を説明する。以下では、補修装置４０が行う補修方法の例を、蒸着用メタルマスク３０が有する補修対象の種類ごとに３つの例を説明する。

以下に説明する第１の例および第２の例では、補修対象における大孔３２ＨＢは、設計寸法で定められる形状を有する一方で、小孔３２ＨＳが、設計寸法で定められる形状に対するずれを有する例を説明する。なお、マスク部材３２にマスク孔３２Ｈが形成されるとき、小孔３２ＨＳと大孔３２ＨＢとは個別のエッチング工程によって形成される。そのため、補修対象では、小孔３２ＨＳおよび大孔３２ＨＢのいずれかの形状が、設計寸法で定められる形状に対するずれを有することが多いが、小孔３２ＨＳおよび大孔３２ＨＢの両方の形状が、設計寸法で定められる形状に対するずれを有することもある。

また、第１の例および第２の例では、補修方法によって補修される孔を、補修対象における小孔３２ＨＳとして示しているが、補修方法によって補修される孔を、補修対象における大孔３２ＨＢとすることも可能である。

これに対して、第３の例では、設計寸法で定められるマスク孔３２Ｈとは異なる部位に位置し、かつ、裏面３２Ｒのみに開口する凹部を補修する例を説明するが、こうした凹部は、表面３２Ｆのみに開口する凹部、あるいは、表面３２Ｆと裏面３２Ｒとの間を貫通する孔である場合もある。第３の例では、補修方法によって補修される孔を、表面３２Ｆのみに開口する凹部とすることも可能であるし、表面３２Ｆと裏面３２Ｒとの間を貫通する貫通孔とすることも可能である。

［第１の例］
図５から図１２を参照して第１の例を説明する。第１の例では、補修装置４０は、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈよりも大きい補修対象を補修する。なお、図８から図１２では、図示の便宜上、マスク部材には、補修対象の一例である第１補修対象が１つのみ図示されている。

図５が示すように、マスク部材３２は第１補修対象３２Ｔ１を有している。第１補修対象３２Ｔ１における小開口３２Ｈ２は、設計寸法によって定められたマスク孔３２Ｈが有する小開口３２Ｈ２よりも大きい。第１補修対象３２Ｔ１において、小開口３２Ｈ２の縁のなかで、第１方向Ｄ１に沿って延びる部分が、設計寸法によって定められたマスク孔３２Ｈにおける小開口３２Ｈ２の縁からはみ出ている。言い換えれば、第１補修対象３２Ｔ１の小開口３２Ｈ２における第２方向Ｄ２に沿う長さが、設計寸法によって定められたマスク孔３２Ｈの小開口３２Ｈ２における第２方向Ｄ２に沿う長さよりも長い。

図６が示すように、第１補修対象３２Ｔ１は、設計寸法に沿う部分である第１部分Ｔ１ａと、設計寸法からはみ出た部分である第２部分Ｔ１ｂとから構成されている。第２部分Ｔ１ｂは、小孔３２ＨＳに含まれ、マスク部材３２のなかで、接続部３２ＨＣよりも裏面３２Ｒ寄りに位置している。

図７が示すように、補修方法は、マスク部材３２において、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈよりも大きいマスク孔３２Ｈである第１補修対象３２Ｔ１を検出することと、第１補修対象３２Ｔ１に硬化性を有した樹脂を塗布することとを含む。補修方法は、さらに、第１補修対象３２Ｔ１に塗布された樹脂を硬化させることと、第１補修対象３２Ｔ１にて硬化した樹脂のうち、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈからその内側にはみ出す部分を取り除くことで、第１補修対象３２Ｔ１の形状を設計寸法で定められた形状に整合させることとを含んでいる。

すなわち、補修方法は、検出工程（ステップＳ１１）、塗布工程（ステップＳ１２）、硬化工程（ステップＳ１３）、および、整形工程（ステップＳ１４）を含んでいる。

図８が示すように、検出工程では、制御部４５が、撮像部４１に各マスク孔３２Ｈを撮像させる。制御部４５は、一度の検出工程で複数のマスク孔３２Ｈの全てを撮像部４１に撮像させる。そして、制御部４５は、撮像部４１に撮像データを生成させるとともに、生成した撮像データを制御部４５へ出力させる。そして、制御部４５は、撮像部４１が生成した撮像データと、記憶部４５ｍに記憶された設計構造に関するデータとに基づいて、第１補修対象３２Ｔ１を検出する。

図９が示すように、塗布工程では、制御部４５が、第１補修対象３２Ｔ１における小孔３２ＨＳの全体に樹脂Ｒが充填されるように、第１補修対象３２Ｔ１に対して所定量の樹脂Ｒを塗布部４２に塗布させる。すなわち、制御部４５が、第１補修対象３２Ｔ１の第１部分Ｔ１ａにおいて、設計寸法によって定められたマスク孔３２Ｈにおける小孔３２ＨＳに対応する部分と、第２部分Ｔ１ｂとの全体に樹脂Ｒが充填されるように、第１補修対象３２Ｔ１に対して所定量の樹脂Ｒを塗布部４２に塗布させる。１つのマスク部材３２が複数の第１補修対象３２Ｔ１を有するとき、制御部４５は、一度の塗布工程で、全ての第１補修対象３２Ｔ１に対して塗布部４２に樹脂Ｒを塗布させる。上述したように、塗布部４２は、熱硬化性樹脂、あるいは、紫外線硬化性樹脂を第１補修対象３２Ｔ１に塗布する。

図１０が示すように、硬化工程では、制御部４５が硬化部４３に第１補修対象３２Ｔ１に塗布された樹脂Ｒを硬化させる。塗布部４２が第１補修対象３２Ｔ１に塗布した樹脂Ｒが熱硬化性樹脂であるとき、制御部４５は、硬化部４３に樹脂Ｒを加熱させる。一方で、塗布部４２が第１補修対象３２Ｔ１に塗布した樹脂Ｒが紫外線硬化性樹脂であるとき、制御部４５は、硬化部４３に樹脂Ｒに対して紫外線を照射させる。制御部４５は、一度の硬化工程で全ての第１補修対象３２Ｔ１に塗布された樹脂Ｒを硬化部４３に硬化させる。

図１１が示すように、整形工程では、制御部４５は、整形部４４に、設計構造に関するデータに基づき、樹脂Ｒのなかにおいて設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈからこのマスク孔３２Ｈの内側にはみ出す部分を除去させる。整形部４４がレーザーであれば、制御部４５は、樹脂Ｒの一部に対して整形部４４にレーザー光線を照射させる。制御部４５は、一度のトリミング工程で、樹脂Ｒの塗布された全ての第１補修対象３２Ｔ１を整形部４４に整形させる。

第１補修対象３２Ｔ１を補修するための樹脂Ｒは、第１部分Ｔ１ａにおける小孔３２ＨＳに対応する部分と第２部分Ｔ１ｂとの全体に位置している。そのため、制御部４５は、第１補修対象３２Ｔ１のうち、裏面３２Ｒにおける開口の縁が、設計寸法によって定められたマスク孔３２Ｈの縁の範囲に含まれるように、整形部４４に第１補修対象３２Ｔ１の形状を設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に整合させる。加えて、制御部４５は、裏面３２Ｒに垂直な断面における接続部３２ＨＣの幅が、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈにおける幅の範囲に含まれるように、整形部４４に第１補修対象３２Ｔ１の形状を設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に整合させる。

これにより、図１２が示すように、第１補修対象３２Ｔ１のなかで、第２部分Ｔ１ｂが樹脂Ｒによって補修されることによって、第１補修対象３２Ｔ１の形状が、設計寸法で定められるマスク孔３２Ｈの形状に整合される。

こうした補修方法によれば、マスク部材３２に設計寸法に基づいて形成されたマスク孔３２Ｈのうち、設計寸法よりも大きい第１補修対象３２Ｔ１の形状を、設計寸法を有したマスク孔３２Ｈの形状に整えることによって、蒸着用メタルマスク３０の補修を行うことができる。そのため、蒸着用メタルマスク３０の製造における歩留まりを高めることができる。

［第２の例］
図１３から図１５を参照して第２の例を説明する。第２の例では、補修装置４０は、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈよりも小さい補修対象である第２補修対象を補修する。

図１３が示すように、マスク部材３２は第２補修対象３２Ｔ２を有している。上述したように、第２補修対象３２Ｔ２は、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈよりも小さいマスク孔３２Ｈである。第２補修対象３２Ｔ２における小開口３２Ｈ２は、設計寸法によって定められたマスク孔３２Ｈが有する小開口３２Ｈ２よりも小さい。

第２補修対象３２Ｔ２において、小開口３２Ｈ２の縁の全体が、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈにおける小開口３２Ｈ２の縁よりも内側に位置している。言い換えれば、第２補修対象３２Ｔ２の小開口３２Ｈ２における第１方向Ｄ１に沿う長さが、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈにおける第１方向Ｄ１に沿う長さよりも小さい。加えて、第２補修対象３２Ｔ２の小開口３２Ｈ２における第２方向Ｄ２に沿う長さが、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈにおける第２方向Ｄ２に沿う長さよりも小さい。

なお、第２補修対象３２Ｔ２の小開口３２Ｈ２は、小開口３２Ｈ２の縁の一部において、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈにおける小開口３２Ｈ２の縁よりも内側に位置してもよい。

図１４が示すように、補修方法は、検出工程（ステップＳ２１）、第１整形工程（ステップＳ２２）、塗布工程（ステップＳ２３）、硬化工程（ステップＳ２４）、および、第２整形工程（ステップＳ２５）を含んでいる。すなわち、補修方法の第２の例は、上述した補修方法の第１の例と比べて、検出工程と塗布工程との間に第１整形工程を含む点で異なっている。

このうち、検出工程では、第１の例と同様、制御部４５が、撮像部４１に各マスク孔３２Ｈを撮像させる。そして、制御部４５は、撮像部４１に撮像データを生成させるとともに、生成した撮像データを制御部４５へ出力させる。制御部４５は、撮像部４１が生成した撮像データと、記憶部４５ｍに記憶された設計構造に関するデータとに基づいて、第２補修対象３２Ｔ２を検出する。

第２補修対象３２Ｔ２は除去対象の一例である。第１整形工程において、制御部４５は、整形部４４に、マスク部材３２のなかで、除去対象を含む部分をマスク部材３２から取り除かせる。

これによって、図１５が示すように、制御部４５は、整形部４４に、除去対象の一例である第２補修対象３２Ｔ２よりも大きい空間を区画する塗布対象３２Ａをマスク部材３２に形成させる。言い換えれば、整形部４４は第２整形部の一例であって、マスク部材３２のなかで、第２補修対象３２Ｔ２を含む部分をマスク部材３２から取り除くことによって塗布対象３２Ａをマスク部材３２に形成する。これにより、マスク部材３２の表面３２Ｆと裏面３２Ｒとの間で、マスク部材３２を貫通する塗布対象３２Ａを形成する。

塗布工程では、制御部４５が、塗布部４２に、各塗布対象３２Ａを埋めるように塗布対象３２Ａに樹脂Ｒを塗布させる。制御部４５は、塗布部４２に、塗布対象３２Ａの全体に充填される量の樹脂Ｒを塗布対象３２Ａに塗布させる。硬化工程では、制御部４５が、硬化部４３に、塗布対象３２Ａに塗布された樹脂Ｒを硬化させる。

第２整形工程では、制御部４５は、第１整形部の一例である整形部４４に、塗布対象３２Ａのなかにおいて硬化した樹脂のうち、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈからはみ出す部分を取り除くことで、各除去対象の形状を設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に整合させる。

例えば、制御部４５は、整形部４４に出力させるレーザー光線のパワーを設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に応じて制御し、これにより、塗布対象３２Ａのなかにおいて硬化した樹脂のうち、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈからはみ出た部分を整形部４４に除去させる。整形部４４は、マスク部材３２の表面３２Ｆと対向する状態でレーザー光線をマスク部材３２に照射することによって大孔３２ＨＢを形成し、マスク部材３２の裏面３２Ｒと対向する状態でレーザー光線をマスク部材３２に照射することによって小孔３２ＨＳを形成する。制御部４５は、マスク孔３２Ｈを区画する面のなかで、表面３２Ｆあるいは裏面３２Ｒからの距離が大きい部分を形成するときほど、整形部４４に出力させるレーザー光線のパワーを大きくさせればよい。

また例えば、マスク孔３２Ｈの形状に応じた多階調マスクを準備し、整形部４４は、多階調マスクを介してマスク部材３２にレーザー光線を照射することによって、塗布対象３２Ａのなかにおいて硬化した樹脂のうち、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈからはみ出た部分を除去してもよい。多階調マスクには、大孔３２ＨＢを形成するための多階調マスクと、小孔３２ＨＳを形成するための多階調マスクとを準備すればよい。また、多階調マスクでは、マスク孔３２Ｈを区画する面のなかで、表面３２Ｆあるいは裏面３２Ｒからの距離が大きい部分と重なる部分ほど、レーザー光線の透過率が高ければよい。

こうした補修方法によれば、マスク部材３２に設計寸法に基づいて形成されたマスク孔３２Ｈのうち、設計寸法よりも小さい第２補修対象３２Ｔ２の形状を、設計寸法を有したマスク孔３２Ｈの形状に整えることによって、蒸着用メタルマスク３０の補修を行うことができる。結果として、蒸着用メタルマスク３０の歩留まりを高めることができる。
なお、第２の方法は以下のように変更して実施することもできる。

［第１の変形例］
図１６を参照して第１の変形例を説明する。
マスク部材３２には、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈよりも大きい第１補修対象３２Ｔ１であって、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈを２つ以上含む第１補修対象３２Ｔ１が形成される場合がある。

例えば、図１６が示すように、マスク部材３２は、第１補修対象３２Ｔ１を有し、第１補修対象３２Ｔ１は、第２方向Ｄ２において互いに隣り合う２つのマスク孔３２Ｈに対応する部分と、２つのマスク孔３２Ｈの間に対応する部分とを含んでいる。

第１の変形例では、第１補修対象３２Ｔ１が除去対象の一例であり、制御部４５は、整形部４４に、マスク部材３２のなかで第１補修対象３２Ｔ１を含む部分をマスク部材３２から取り除くことによって、第１補修対象３２Ｔ１よりも大きい空間を区画する塗布対象３２Ａをマスク部材３２に形成させる。

次いで、制御部４５が、塗布対象３２Ａに対して塗布対象３２Ａを埋めるように塗布部４２に樹脂Ｒを塗布させ、塗布対象３２Ａに塗布された樹脂Ｒを硬化部４３に硬化させ、かつ、第１補修対象３２Ｔ１を整形部４４に整形させる。すなわち、制御部４５は、塗布対象３２Ａにおいて、設計寸法で定められる２つのマスク孔３２Ｈから内側にはみ出す部分を取り除くことで、整形部４４に第１補修対象３２Ｔ１の形状を設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に整合させる。

［第２の変形例］
図１７を参照して第２の変形例を説明する。
マスク部材３２には、上述した第１の例で説明したように、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈよりも大きい第１補修対象３２Ｔ１であって、１つのマスク孔３２Ｈのみを含む第１補修対象３２Ｔ１が形成される場合がある。

例えば、図１７が示すように、マスク部材３２において、設計寸法で定められる複数のマスク孔３２Ｈは第２方向Ｄ２に沿って等しい間隔を空けて並び、第２方向Ｄ２において互いに隣り合う２つのマスク孔３２Ｈ間の距離がマスク孔間距離Ｄである。

マスク部材３２は、第１補修対象３２Ｔ１を有し、第１補修対象３２Ｔ１における小開口３２Ｈ２は、設計寸法によって定められたマスク孔３２Ｈが有する小開口３２Ｈ２よりも大きい。第１補修対象３２Ｔ１において、小開口３２Ｈ２の縁のなかで、第１方向Ｄ１に沿って延びる部分が、設計寸法によって定められたマスク孔３２Ｈにおける小開口３２Ｈ２の縁からはみ出ている。言い換えれば、第１補修対象３２Ｔ１の小開口３２Ｈ２における第２方向Ｄ２に沿う長さが、設計寸法によって定められたマスク孔３２Ｈの小開口３２Ｈ２における第２方向Ｄ２に沿う長さよりも大きい。

第２方向Ｄ２において、第１補修対象３２Ｔ１の小開口３２Ｈ２が、設計寸法で定められる小開口３２Ｈ２からはみ出す幅の最大値が最大幅Ｗである。例えば、制御部４５は、記憶部４５ｍに記憶された設計構造に関するデータと、撮像部４１の撮像データとに基づいて、最大幅Ｗがマスク孔間距離Ｄの１／２よりも大きいか否かを判断する。

制御部４５が、マスク孔間距離Ｄの１／２よりも最大幅Ｗが大きいと判断したとき、制御部４５は、整形部４４に、マスク部材３２のなかで第１補修対象３２Ｔ１を含む部分をマスク部材３２から除去させることで、塗布対象３２Ａを形成させる。制御部４５は、整形部４４に、例えば、マスク部材３２のうち、第１補修対象３２Ｔ１のなかで設計寸法からはみ出す部分と第２方向Ｄ２において隣り合うマスク孔３２Ｈとの間に位置する部分を除去させる。これにより、整形部４４は、第２方向Ｄ２において互いに隣り合う２つのマスク孔３２Ｈを含む塗布対象３２Ａを形成する。

なお、制御部４５が、最大幅Ｗがマスク孔間距離Ｄの１／２以下であると判断したときには、制御部４５は、上述した第１の例によって、第１補修対象３２Ｔ１を補修すればよい。また、最大幅Ｗがマスク孔間距離Ｄの１／２以下であっても、制御部４５は、整形部４４に、マスク部材３２のなかで第１補修対象３２Ｔ１を含む部分をマスク部材３２から除去させることで、塗布対象３２Ａを形成させてもよい。

［第３の例］
図１８を参照して第３の例を説明する。
マスク部材３２には、マスク部材３２のなかで、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈとは異なる部位に位置する凹部である第３補修対象が形成される場合がある。

図１８が示すように、マスク部材３２は第３補修対象３２Ｔ３を有し、第３補修対象３２Ｔ３は、マスク部材３２のなかで、複数のマスク孔３２Ｈの各々が位置する部位とは異なる部位に位置する凹部である。第３補修対象３２Ｔ３の区画する空間は、マスク孔３２Ｈが区画する空間よりも小さい。

この場合には、制御部４５および撮像部４１は、マスク部材３２のなかで、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈとは異なる部位に位置する第３補修対象３２Ｔ３を検出する。すなわち、制御部４５は、撮像部４１に、マスク部材３２のうち、マスク孔３２Ｈだけでなく、複数のマスク孔３２Ｈ間に位置する部位も撮像させる。そして、制御部４５は、撮像部４１が生成した撮像データと、設計構造に関するデータとに基づき、第３補修対象３２Ｔ３を検出する。

制御部４５は、塗布部４２に、第３補修対象３２Ｔ３を埋めるように第３補修対象３２Ｔ３に樹脂Ｒを塗布させる。制御部４５は、塗布部４２に、例えば、第３補修対象３２Ｔ３の全体に充填される量の樹脂Ｒを第３補修対象３２Ｔ３に塗布させる。制御部４５は、硬化部４３に、第３補修対象３２Ｔ３に塗布された樹脂Ｒを硬化させる。

これにより、マスク部材３２においてマスク孔３２Ｈが位置するべき部位とは異なる部位に形成された凹部を埋めることで、蒸着用メタルマスク３０を補修することができる。これにより、蒸着用メタルマスク３０の歩留まりを高めることができる。

［マスク部材の形成材料および樹脂］
マスク部材３２の形成材料は、鉄とニッケルとを主成分とする合金であることが好ましく、このうち、３６質量％のニッケルを含む合金、すなわちインバーであることがより好ましい。インバーの熱膨張係数は、１．２×１０^−６／℃（１．２ｐｐｍ／℃）程度である。

マスク部材３２の形成材料がインバーであるとき、マスク部材３２に塗布する樹脂は、ポリイミドまたはポリアミック酸であることが好ましい。これにより、蒸着用メタルマスク３０が加熱されたときに、マスク部材３２と樹脂Ｒとの熱膨張係数の差が、マスク部材３２から樹脂Ｒが剥がれにくくなる程度に小さくなる。

なお、マスク装置１０は、蒸着装置において冷却された状態で用いられることもある。この場合には、マスク装置１０が蒸着装置において加熱される状態でも用いられる場合と比べて、マスク部材３２の熱膨張係数と、樹脂Ｒの熱膨張係数との差が大きくとも、マスク部材３２から樹脂Ｒが剥がれにくい。そのため、マスク部材３２に塗布される樹脂Ｒとして、例えばアクリル樹脂などを用いてもよい。この場合には、マスク部材３２に塗布する樹脂Ｒにおいて選択の自由度が高まる。

また、マスク部材３２の形成材料は上述したインバーに限らず、複数の金属元素を主成分として含む合金であってもよいし、主成分として１つの金属元素を含む金属であってもよい。

以上説明したように、蒸着用メタルマスクの補修装置、および、蒸着用メタルマスクの補修方法の第１実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
（１）第１の例によれば、マスク部材３２に設計寸法に基づいて形成されたマスク孔３２Ｈのうち、設計寸法よりも大きい第１補修対象３２Ｔ１の形状を、設計寸法を有したマスク孔３２Ｈの形状に整えることによって、蒸着用メタルマスク３０の補修を行うことができる。これにより、蒸着用メタルマスク３０の歩留まりを高めることができる。

（２）第２の例によれば、第１補修対象３２Ｔ１および第２補修対象３２Ｔ２のそれぞれが有する形状を、設計寸法を有したマスク孔３２Ｈの形状に整えることによって、蒸着用メタルマスク３０の補修を行うことができる。結果として、蒸着用メタルマスク３０の歩留まりを高めることができる。

（３）第３の例によれば、蒸着用メタルマスク３０においてマスク孔３２Ｈが位置するべき部位とは異なる部位に形成された第３補修対象３２Ｔ３を埋めることで、蒸着用メタルマスク３０を補修することができる。結果として、蒸着用メタルマスク３０の歩留まりを高めることができる。

なお、上述した第１実施形態は、以下のように適宜変更して実施することができる。
・補修装置４０は、第１の例に加えて、第２の例と第３の例のいずれかの補修方法のみによって蒸着用メタルマスク３０の補修を行う構成であってもよい。あるいは、補修装置４０は、補修方法における第１の例のみによって蒸着用メタルマスク３０の補修を行う構成でもよい。こうした構成であれば、補修装置４０が、第２の例および第３の例の少なくとも一方の補修方法に関する処理を行わない分だけ、補修装置４０の構成を簡素化することが可能である。

・マスク孔３２Ｈの形成において、小孔３２ＨＳを形成した後に大孔３２ＨＢを形成する場合には、大孔３２ＨＢを形成する前に、複数の小孔３２ＨＳのうちで、設計寸法で定められる形状に対するずれを有した小孔３２ＨＳを補修してもよい。あるいは、大孔３２ＨＢを形成する前に、裏面３２Ｒに開口する第３補修対象３２Ｔ３を補修してもよい。こうした構成であっても、上述した（１）から（３）と同等の効果を得ることはできる。

・マスク孔３２Ｈの形成において、大孔３２ＨＢを形成した後に小孔３２ＨＳを形成する場合には、小孔３２ＨＳを形成する前に、複数の大孔３２ＨＢのうちで、設計寸法で定められる形状に対するずれを有した大孔３２ＨＢを補修してもよい。あるいは、小孔３２ＨＳを形成する前に、表面３２Ｆに開口する第３補修対象を補修してもよい。こうした構成であっても、上述した（１）から（３）と同等の効果を得ることはできる。

・第２の例による蒸着用メタルマスク３０の補修を行う補修装置４０は、塗布対象３２Ａを形成するための整形部と、除去対象の形状を設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に整合させるための整形部とを各別に備えてもよい。こうした構成であれば、除去対象の形状を設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に整合させるための整形部は、整形部が処理を行う都度、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に応じた処理を行えばよい。すなわち、制御部４５は、整形部に、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に応じた制御信号を出力すればよい。

そのため、制御部４５が、設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈとは異なる形状に応じた制御信号によって、整形部に除去対象の形状に対する処理を行わせることを抑えることができる。言い換えれば、整形部が、本来整合させるべき形状とは異なる形状に除去対象の形状を整合させることを抑えることができる。

なお、補修装置の大型化を抑える上では、上述した第１実施形態のように、補修装置４０が１つの整形部４４を備え、１つの整形部４４によって、塗布対象３２Ａを形成し、除去対象の形状を設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に整合させることが好ましい。

・マスク部材３２が有するマスク孔３２Ｈは、大孔３２ＨＢと小孔３２ＨＳとを有する構成に限らず、マスク部材３２の表面３２Ｆから裏面３２Ｒに向けて先細りするとともに、表面３２Ｆと裏面３２Ｒとの両方に開口する１つの孔のみを有する構成であってもよい。こうした構成であっても、マスク部材における補修対象を検出し、この補修対象の形状を設計寸法で定められたマスク孔の形状に整合させることによって、蒸着用メタルマスクの歩留まりを高めることはできる。

・蒸着用メタルマスク３０のマスク部材３２は、金属あるいは合金を形成材料とする１つの層、すなわち金属製の層と、１つの樹脂製の層とが積層された積層体であってもよい。あるいは、２つの金属製の層と、１つの樹脂製の層とから構成される積層体であって、樹脂製の層が２つの金属製の層によって挟まれた構成であってもよい。こうした構成であっても、マスク部材における補修対象を検出し、この補修対象の形状を設計寸法で定められたマスク孔の形状に整合させることによって、蒸着用メタルマスク３０の歩留まりを高めることは可能である。

・塗布部４２および硬化部４３は、それぞれ検出部によって検出された補修対象の位置に向けた移動が可能な構成であってもよい。こうした構成では、載置部４６は、補修対象を移動させることが可能な構成であってもよいし、補修対象を所定の位置に固定させる構成であってもよい。

・第２の例では、塗布対象３２Ａに塗布した樹脂Ｒのパターニングを以下の方法で行うことによって、除去対象の形状を設計寸法で定められたマスク孔３２Ｈの形状に整合させてもよい。すなわち、塗布対象３２Ａに塗布した樹脂Ｒが紫外線硬化性樹脂であるとき、マスク孔３２Ｈが有する大孔３２ＨＢの形状、および、小孔３２ＨＳの形状に応じて、塗布対象３２Ａに塗布した樹脂Ｒの露光を行えばよい。

・図１９が示すように、各マスク孔３２Ｈにおける大孔３２ＨＢと、マスク孔３２Ｈが並ぶ方向において互いに隣り合うマスク孔３２Ｈの大孔３２ＨＢとは、大開口３２Ｈ１において互いに繋がっていてもよい。

［第２実施形態］
図２０および図２１を参照して、蒸着用メタルマスクの補修装置、および、蒸着用メタルマスクの補修方法を具体化した第２実施形態を説明する。第２実施形態の蒸着用メタルマスクの補修装置は、第１実施形態の蒸着用メタルマスクの補修装置と比べて、表面処理部と洗浄部とを備える点が大きく異なっている。そのため、以下では、こうした相違点を詳しく説明する一方で、第２実施形態の蒸着用メタルマスクの補修装置のなかで、第１実施形態の蒸着用メタルマスクの補修装置と共通する構成には同一の符号を付すことで、その詳しい説明を省略する。また、以下では、蒸着用メタルマスクの補修装置の構成、および、蒸着用メタルマスクの補修方法を順番に説明する。

［蒸着用メタルマスクの補修装置の構成］
図２０を参照して蒸着用メタルマスクの補修装置の構成を説明する。
図２０が示すように、補修装置５０は、第１実施形態の補修装置４０と同様、撮像部４１、塗布部４２、硬化部４３、整形部４４、制御部４５、および、載置部４６を備えている。補修装置５０は、表面処理部５１と洗浄部５２とをさらに備えている。

制御部４５は、表面処理部５１および洗浄部５２の各々と電気的に接続され、表面処理部５１および洗浄部５２の各々の駆動を制御する。制御部４５は、表面処理部５１および洗浄部５２の各々の駆動を制御するための制御信号を生成し、制御信号を表面処理部５１および洗浄部５２の各々に出力する。

表面処理部５１は、制御部４５から入力される制御信号に応じて、マスク部材３２に表面処理を施す。表面処理部５１は、マスク部材３２のなかで、樹脂が塗布される被塗布部分に、処理後の被塗布部分における硬化前の樹脂に対する濡れ性を、処理前の被塗布部分における硬化前の樹脂に対する濡れ性よりも高くする表面処理を施す。上述した第１補修対象３２Ｔ１、第２補修対象３２Ｔ２、第３補修対象３２Ｔ３、および、塗布対象３２Ａは、それぞれ被塗布部分の一例である。

表面処理部５１は、被塗布部分を含むマスク部材３２の全体に対して一度に表面処理を施すことができる構成でもよいし、マスク部材３２の一部のみに一度に表面処理を施すことができる構成でもよい。表面処理部５１は、例えば、マスク部材３２に紫外線を照射する紫外線照射部であってもよいし、プラズマを照射するプラズマ照射部であってもよいし、マスク部材３２の近傍にてコロナ放電を生じさせるコロナ放電部であってもよい。

塗布部４２は、樹脂Ｒの出口を区画する端部を有している。上述したように、塗布部４２が、例えば、マイクロディスペンサー、あるいは、インクジェット式のノズルを備えるとき、マイクロディスペンサー、および、インクジェット式のノズルの各々は、樹脂Ｒの出口を区画する端部を有し、端部から樹脂Ｒを塗布部４２の外部に出す。

洗浄部５２は、検出部が補修対象を検出した後、かつ、塗布部４２が補修対象に樹脂Ｒを塗布する前に、塗布部４２が有する端部を洗浄する。端部が有する樹脂Ｒの出口には、塗布部４２による樹脂Ｒの塗布を行っていない間に、補修装置５０が位置する環境中に含まれる塵や埃などの不純物が付着したり、出口の内部に位置する樹脂Ｒが出口の内部にて固まることで、出口に樹脂Ｒが詰まったりする。

出口に不純物が付着しているときには、マスク部材３２に塗布した樹脂Ｒに不純物が混ざることがある。また、出口に樹脂Ｒが詰まるっているときには、補修対象に所望する量の樹脂Ｒを塗布できなくなることがある。

この点、洗浄部５２によれば、端部の洗浄によって、出口に付着した不純物や樹脂が端部ら除かれるため、出口に付着した不純物がマスク部材３２に塗布される樹脂Ｒに混ざったり、塗布部４２の出口に樹脂Ｒが詰まることによって、補修対象に所望する量の樹脂Ｒを塗布できなくなったりすることを抑えることができる。

洗浄部５２は、例えば、塗布部４２の端部に洗浄液を掛けるシャワーと、洗浄液の掛けられた端部に気体を供給することによって、端部から洗浄液を取り除くエアナイフなどから構成されればよい。

補修装置５０は、待機槽５３と排出槽５４とをさらに備えている。待機槽５３は、液状または霧状の樹脂、あるいは、液状または霧状の溶剤が充填される空間を区画している。排出槽５４は、マスク部材３２とは異なる位置の一例であり、塗布部４２から出される樹脂Ｒのうち、マスク部材３２に塗布されない樹脂Ｒが塗布される空間を区画している。

塗布部４２は、塗布部４２が有する端部の位置を、マスク部材３２に樹脂を塗布するための位置、待機槽５３が区画する空間の内部に端部を配置させる位置、および、排出槽５４に樹脂Ｒを塗布するための位置の間で移動させる機構を有する。制御部４５は、塗布部４２を駆動して、塗布部４２が有する端部の位置を、上述した３つの位置の間で移動させる。

制御部４５は、一度の塗布工程が終了するとき、塗布部４２の端部を待機槽５３の内部に位置させ、端部が待機槽５３の内部に位置する状態で、塗布部４２の駆動を一旦停止させる。すなわち、制御部４５は、塗布部４２がマスク部材３２に樹脂Ｒを塗布する動作を行っていない間、塗布部４２の端部を待機槽５３の内部に位置させ続ける。これにより、塗布部４２の端部にて樹脂Ｒが乾燥することが抑えられ、ひいては、端部が区画する樹脂Ｒの出口に樹脂Ｒが詰まることが抑えられる。

また、制御部４５は、塗布部４２に、洗浄部５２が端部を洗浄した後、かつ、補修対象に樹脂Ｒを塗布する前に、排出槽５４に樹脂Ｒを塗布させる。これにより、端部の洗浄以降に出口に付着した物質、例えば、不純物や洗浄液が、出口から出た樹脂Ｒとともにマスク部材３２に付着することが抑えられる。

［蒸着用メタルマスクの補修方法］
図２１を参照して、補修装置５０によって行う蒸着用メタルマスク３０の補修方法を説明する。以下では、蒸着用メタルマスク３０の補修方法の一例として、上述した第１の例に複数の工程を追加した例を説明する。

図２１が示すように、補修方法は、検出工程（ステップＳ３１）、表面処理工程（ステップＳ３２）、洗浄工程（ステップＳ３３）、予備塗布工程（ステップＳ３４）、塗布工程（ステップＳ３５）、硬化工程（ステップＳ３６）、および、整形工程（ステップＳ３７）を備えている。

このうち、検出工程では、上述した第１の例と同様、制御部４５が、撮像部４１の生成した撮像データと、設計構造に関するデータとに基づいて、第１補修対象３２Ｔ１の位置を検出する。

次いで、表面処理工程では、制御部４５は、表面処理部５１に、マスク部材３２における第１補修対象３２Ｔ１に表面処理を行わせる。制御部４５は、表面処理部５１に、一度の表面処理工程で、マスク部材３２において検出された全ての第１補修対象３２Ｔ１に表面処理を行わせる。

これにより、第１補修対象３２Ｔ１における樹脂Ｒに対する濡れ性を高めることができるため、第１補修対象３２Ｔ１に塗布された樹脂Ｒが、第１補修対象３２Ｔ１の撥液性によって、第１補修対象３２Ｔ１以外の部分に動くことが抑えられる。

洗浄工程では、制御部４５は、洗浄部５２に塗布部４２の端部を洗浄させる。予備塗布工程では、制御部４５は、塗布部４２に、排出槽５４に樹脂Ｒを塗布させることによって、排出槽５４に樹脂Ｒを排出させる。このように、制御部４５は、洗浄部５２に端部の洗浄を行わせた後、塗布部４２に樹脂Ｒの排出を行わせる。そのため、端部の洗浄に用いた洗浄液が端部の区画する出口や出口の付近に付着していても、端部に付着した洗浄液が樹脂Ｒとともに端部から排出され、これにより、洗浄液が樹脂Ｒとともにマスク部材３２に塗布されることが抑えられる。

塗布工程、硬化工程、および、整形工程の各々では、上述した第１の例と同様、制御部４５が、塗布部４２、硬化部４３、および、整形部４４の各々を駆動することによって、各工程における処理を塗布部４２、硬化部４３、および、整形部４４にそれぞれ行わせる。

以上説明したように、蒸着用メタルマスクの補修装置、および、蒸着用メタルマスクの補修方法の第２実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
（４）第１補修対象３２Ｔ１における樹脂Ｒに対する濡れ性を高めることができるため、第１補修対象３２Ｔ１に塗布された樹脂Ｒが、第１補修対象３２Ｔ１の撥液性によって、第１補修対象３２Ｔ１以外の部分に動くことが抑えられる。

（５）出口に付着した不純物がマスク部材３２に塗布される樹脂Ｒに混ざったり、塗布部４２の出口に樹脂Ｒが詰まることによって、第１補修対象３２Ｔ１に所望する量の樹脂Ｒを塗布できなくなったりすることを抑えることができる。

（６）端部の洗浄以降に出口に付着した物質が、出口から出た樹脂Ｒとともにマスク部材３２に付着することが抑えられる。

なお、上述した第２実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・塗布部４２は予備塗布工程を行わない構成でもよく、こうした構成によれば、予備塗布工程に関わる処理を割愛することができる分だけ、補修装置５０における処理の負荷を減らすことができる。また、排出槽５４が不要になる分だけ、補修装置５０の構成を簡素化することもできる。

・補修装置５０は洗浄部５２を備えていなくてもよく、こうした構成によれば、洗浄部５２を備えていない分だけ、補修装置５０の構成を簡素化でき、かつ、洗浄工程に関わる処理を割愛できる分だけ、補修装置５０における処理の負荷を減らすことができる。

・補修装置５０は表面処理部５１を備えていなくてもよく、こうした構成によれば、表面処理部５１を備えていない分だけ、補修装置５０の構成を簡素化でき、かつ、表面処理工程に関わる処理を割愛できる分だけ、補修装置５０における処理の負荷を減らすことができる。

・蒸着用メタルマスクの補修方法では、洗浄工程および予備塗布工程を表面処理工程よりも前に行ってもよいし、洗浄工程、表面処理工程、および、予備塗布工程をこの順に行ってもよい。あるいは、表面処理工程を行っているときに、洗浄工程と予備塗布工程との少なくとも一方を表面処理工程と同時に行ってもよい。いずれの場合であっても、塗布工程よりも前に表面処理工程を行うことによって、上述した（４）と同等の効果を得ることができる。また、塗布工程よりも前に洗浄工程を行うことによって、上述した（５）と同等の効果を得ることはでき、かつ、洗浄工程の後であって、塗布工程の前に予備塗布工程を行うことによって、上述した（６）と同等の効果を得ることはできる。

・第２実施形態の蒸着用メタルマスクの補修方法は、第１の例に限らず、第２の例、第２の例における第１の変形例、第２の例における第２の変形例、および、第３の例のいずれかと組み合わせて実施してもよい。

・補修装置５０は待機槽５３を備えていない構成でもよく、こうした構成によれば、待機槽５３を備えていない分だけ、補修装置５０の構成を簡素化でき、かつ、塗布部４２の端部を待機槽５３に移動させるための処理を割愛できる分だけ、補修装置５０における処理の負荷を減らすことができる。

なお、補修装置５０が待機槽５３を備えていない構成では、蒸着用メタルマスク３０の補修方法において、洗浄工程を表面処理工程の後に行う代わりに、塗布工程の後に行ってもよい。これにより、塗布工程の後において、塗布部４２の出口に樹脂Ｒが位置することが抑えられ、結果として、出口に樹脂Ｒが詰まることが抑えられる。この場合には、予備塗布工程を割愛してもよい。

・待機槽５３は、制御部４５から入力される制御信号に応じて、塗布部４２の端部が位置する部位に到達するように移動することができる構成でもよい。また、排出槽５４は、待機槽５３と同様、制御部４５から入力される制御信号に応じて、塗布部４２の端部が位置する部位に到達するように移動することができる構成でもよい。これらの構成では、塗布部４２は、塗布部４２が有する端部の位置を、待機槽５３が区画する空間の内部に端部を配置させる位置、および、排出槽５４に樹脂Ｒを塗布するための位置に到達させることができる機構を有してもよいし、有していなくてもよい。

１０…マスク装置、２０…メインフレーム、２０Ｈ…メインフレーム孔、３０…蒸着用メタルマスク、３０Ｈ…サブフレーム孔、３１…サブフレーム、３２…マスク部材、３２Ａ…塗布対象、３２Ｆ…表面、３２Ｈ…マスク孔、３２Ｈ１…大開口、３２Ｈ２…小開口、３２ＨＢ…大孔、３２ＨＣ…接続部、３２ＨＳ…小孔、３２Ｒ…裏面、３２Ｔ１…第１補修対象、３２Ｔ２…第２補修対象、３２Ｔ３…第３補修対象、４０，５０…補修装置、４１…撮像部、４２…塗布部、４３…硬化部、４４…整形部、４５…制御部、４５ｍ…記憶部、４６…載置部、５１…表面処理部、５２…洗浄部、５３…待機槽、５４…排出槽、Ｒ…樹脂、Ｔ１ａ…第１部分、Ｔ１ｂ…第２部分。

Claims (7)

1. マスク部材において設計寸法で定められた凹部よりも大きい凹部である補修対象を検出する検出部と、
   前記マスク部材における前記補修対象に硬化性を有する樹脂を塗布する塗布部と、
   前記補修対象に塗布された前記樹脂を硬化させる硬化部と、
   前記補修対象にて硬化した前記樹脂のうち、前記設計寸法で定められた前記凹部から当該凹部の内側にはみ出す部分を取り除くことで、前記補修対象の形状を前記設計寸法で定められた前記凹部の形状に整合させる整形部と、を備え、
   前記補修対象は、第１補修対象であり、
   前記整形部は、第１整形部であり、
   前記検出部は、前記設計寸法で定められた前記凹部よりも小さい前記凹部である第２補修対象を検出し、
   前記マスク部材のなかで前記第２補修対象を含む部分を前記マスク部材から取り除くことによって、前記第２補修対象よりも大きい空間を区画する第１塗布対象を前記マスク部材に形成する第２整形部を備え、
   前記塗布部は、前記第１塗布対象を埋めるように前記第１塗布対象に前記樹脂を塗布し、
   前記第１整形部は、前記第１塗布対象のなかにおいて硬化した前記樹脂のうち、前記設計寸法で定められた前記凹部からはみ出す部分を取り除くことで、前記第２補修対象の形状を前記設計寸法で定められた前記凹部の形状に整合させる
   蒸着用メタルマスクの補修装置。
2. 前記検出部は、前記マスク部材のなかで、前記設計寸法で定められた前記凹部とは異なる部位に位置する凹部である第３補修対象を検出し、
   前記塗布部は、前記第３補修対象を埋めるように前記第３補修対象に前記樹脂を塗布し、
   前記硬化部は、前記第３補修対象に塗布された前記樹脂を硬化させる
   請求項１に記載の蒸着用メタルマスクの補修装置。
3. 前記マスク部材のなかで、前記樹脂が塗布される被塗布部分に、処理後の前記被塗布部
   分における硬化前の前記樹脂に対する濡れ性を、処理前の前記被塗布部分における硬化前の前記樹脂に対する濡れ性よりも高くする表面処理を施す表面処理部を備える
   請求項１または２に記載の蒸着用メタルマスクの補修装置。
4. 前記塗布部は、前記樹脂の出口を区画する端部を有し、
   前記検出部が前記第１補修対象を検出した後、かつ、前記塗布部が前記第１補修対象に前記樹脂を塗布する前に、前記端部を洗浄する洗浄部を備える
   請求項１から３のいずれか一項に記載の蒸着用メタルマスクの補修装置。
5. 前記塗布部は、前記洗浄部が前記端部を洗浄した後、かつ、前記第１補修対象に前記樹脂を塗布する前に、前記マスク部材とは異なる位置に前記樹脂を塗布する
   請求項４に記載の蒸着用メタルマスクの補修装置。
6. 前記マスク部材は、前記設計寸法で定められた前記凹部が開口するための面を有し、
   前記第１補修対象では、前記面と対向する平面視において、前記設計寸法で定められた前記凹部からはみ出す幅の最大値が所定値以下であり、
   前記検出部は、前記設計寸法で定められた前記凹部よりも大きい前記凹部である前記補修対象であって、かつ、前記面と対向する平面視において、前記設計寸法で定められた前記凹部からはみ出す幅の最大値が前記所定値を越える第４補修対象をさらに検出し、
   前記第２整形部は、前記マスク部材のなかで前記第４補修対象を含む部分を前記マスク部材から取り除くことによって、前記第４補修対象よりも大きい空間を区画する第２塗布対象を前記マスク部材に形成し、
   前記塗布部は、前記第２塗布対象を埋めるように前記第２塗布対象に前記樹脂を塗布し、
   前記硬化部は、前記第２塗布対象に塗布された前記樹脂を硬化させ、
   前記第１整形部は、前記第２塗布対象のなかにおいて硬化した前記樹脂のうち、前記設計寸法で定められた前記凹部からはみ出す部分を取り除くことで前記第４補修対象の形状を前記設計寸法で定められた前記凹部の形状に整合させる
   請求項１から５のいずれか一項に記載の蒸着用メタルマスクの補修装置。
7. マスク部材において、設計寸法で定められた凹部よりも大きい凹部である補修対象を検出することと、
   前記補修対象に硬化性を有した樹脂を塗布することと、
   前記補修対象に塗布された前記樹脂を硬化させることと、
   前記補修対象にて硬化した前記樹脂のうち、前記設計寸法で定められた前記凹部から当該凹部の内側にはみ出す部分を取り除くことで、前記補修対象の形状を前記設計寸法で定められた前記凹部の形状に整合させることと、を含み、
   前記補修対象は、第１補修対象であり、
   前記設計寸法で定められた前記凹部よりも小さい前記凹部である第２補修対象を検出することと、
   前記マスク部材のなかで前記第２補修対象を含む部分を前記マスク部材から取り除くことによって、前記第２補修対象よりも大きい空間を区画する塗布対象を前記マスク部材に形成することと、
   前記塗布対象を埋めるように前記塗布対象に前記樹脂を塗布することと、
   前記塗布対象のなかにおいて硬化した前記樹脂のうち、前記設計寸法で定められた前記凹部からはみ出す部分を取り除くことで、前記第２補修対象の形状を前記設計寸法で定められた前記凹部の形状に整合させることと、を含む
   蒸着用メタルマスクの補修方法。