CN109913809B - 一种掩膜装置及一种蒸镀方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种掩膜装置和一种蒸镀方法，该掩膜装置包括：第一掩膜版；所述第一掩膜版包括第一框架，并排设置在所述第一框架上的第一掩膜条及第一遮挡条；所述第一掩膜条和第一遮挡条间隔设置：所述第一掩膜条包括：相互拼接的第一子掩膜条和第二子掩膜条；所述第一子掩膜条上设置有第一镂空区域。本发明实施例通过将掩膜条拆成两个子掩膜条，降低了张网难度，实现宽幅度掩膜版的制备；并且在掩膜版尺寸增大时，避免由于掩膜条过宽导致掩膜条中间区域的下垂量增加，提高了宽幅掩膜版的蒸镀精度。

Description

一种掩膜装置及一种蒸镀方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜装置及一种蒸镀方法。
背景技术
显示面板在生产过程中，需采用金属掩膜板进行发光材料的蒸镀，随着市场对大尺寸、车载显示屏的需求日益增加，实现大尺寸产品的高精度金属掩膜版蒸镀迫在眉睫。
目前大尺寸掩膜版的蒸镀存在以下问题：厂商不能制作出对应的宽幅掩膜版；掩膜版尺寸增大，导致中间区域的下垂量增大，褶皱加剧，张网合格率下降；掩膜版尺寸增大，张网设备夹具无法对应，无法依靠现有设备完成张网。
发明内容
本发明提供一种掩膜装置，以解决上述至少一项现有技术中存在的问题。
本发明一方面提供了一种掩膜装置，包括：第一掩膜版；所述第一掩膜版包括第一框架，并排设置在所述第一框架上的第一掩膜条及第一遮挡条，所述第一掩膜条和第一遮挡条间隔设置；
所述第一掩膜条包括：相互拼接的第一子掩膜条和第二子掩膜条；所述第一子掩膜条上设置有第一镂空区域。
可选的，所述第二子掩膜条的中间区域的厚度小于边缘区域的厚度。
可选的，所述第二子掩膜条的中间区域的厚度是边缘区域的厚度的0.4-0.6倍。
可选的，所述第二子掩膜条的厚度小于所述第一子掩膜条的厚度。
可选的，所述第一遮挡条上设置有对位标识。
可选的，还包括：第二掩膜版；
所述第二掩膜版包括第二框架，并排设置在所述第二框架上的第二掩膜条及第二遮挡条，所述第二掩膜条和第二遮挡条间隔设置：
所述第二掩膜条包括：相互拼接的第三子掩膜条和第四子掩膜条；所述第四子掩膜条上设置有第二镂空区域；
在所述第一掩膜版和所述第二掩膜版组合使用时；所述第三子掩膜条与所述第一子掩膜条位置对应，所述第四子掩膜条与所述第二子掩膜条位置对应。
可选的，所述第三子掩膜条的中间区域的厚度小于边缘区域的厚度。
本发明另一方面，在于提供一种蒸镀方法，该方法应用于上述任意一项所述的掩膜装置，该方法包括：
将蒸镀对象与所述第一掩膜版进行对位；所述蒸镀对象上划定有待蒸镀区域，使所述第一镂空区域对准所述待蒸镀区域的第一部分；
通过所述第一掩膜版，对所述待蒸镀区域的第一部分进行蒸镀；
对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀。
可选的，所述第一部分与所述剩余部分等大，所述对所述蒸镀单元的第二部分进行蒸镀，包括：
移动所述蒸镀对象；
将所述蒸镀对象与所述第一掩膜版进行对位，使所述第一镂空区域对准所述待蒸镀区域的所述剩余部分；
通过所述第一掩膜版，对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀。
可选的，当所述掩膜装置包含第二掩膜版时，所述对所述蒸镀单元的第二部分进行蒸镀，包括：
移动所述蒸镀对象；
将所述蒸镀对象与所述第二掩膜版进行对位，使所述第二镂空区域对准所述待蒸镀区域的剩余部分；
通过所述第二掩膜版对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀；
其中，所述第二掩膜版包括第二框架，并排设置在所述第二框架上的第二掩膜条及第二遮挡条，所述第二掩膜条和第二遮挡条间隔设置；
所述第二掩膜条包括：相互拼接的第三子掩膜条和第四子掩膜条；所述第四子掩膜条上设置有第二镂空区域；
所述第三子掩膜条与所述第一子掩膜条位置对应，所述第四子掩膜条与所述第二子掩膜条位置对应。
本发明实施例提供的一种掩膜装置，包括：第一掩膜版；所述第一掩膜版包括第一框架，并排设置在所述第一框架上的第一掩膜条及第一遮挡条，所述第一掩膜条和第一遮挡条间隔设置；所述第一掩膜条包括：相互拼接的第一子掩膜条和第二子掩膜条；所述第一子掩膜条上设置有第一镂空区域。本发明实施例通过将掩膜条拆成两个子掩膜条，降低了张网难度，实现宽幅度掩膜版的制备；同时在掩膜版尺寸增大时，避免由于掩膜条过宽导致掩膜条中间区域的下垂量增加，提高了宽幅掩膜版的蒸镀精度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的现有技术中掩膜装置的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的一种掩膜装置的结构示意图；
图3是本发明实施例提供的另一种掩膜装置的结构示意图；
图4是本发明实施例提供的一种蒸镀方法的步骤流程示意图；
图5是本发明实施例提供的一种对所述蒸镀单元的第二部分进行蒸镀的步骤流程示意图；
图6是本发明实施例提供的另一种对所述蒸镀单元的第二部分进行蒸镀的步骤流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
目前，掩膜条是并排设置在框架上的，参照图1示出了现有技术中一种掩膜版，其中100为掩膜条，110为掩膜条上的镂空区域。在现有技术中，随着蒸镀显示屏的尺寸变大，掩膜版的尺寸也要变大，则掩膜条100变宽，镂空区域110也变大。但是目前还无法制作较宽的掩膜条100，并且较宽的掩膜条会导致张网精度较低，或者无法对应张网。
实施例一
参照图2，提供一种掩膜装置，包括：第一掩膜版10；所述第一掩膜版包括第一框架11，并排设置在所述第一框架11上的第一掩膜条12及第一遮挡条13，所述第一掩膜条12和第一遮挡条13间隔设置；
所述第一掩膜条12包括：相互拼接的第一子掩膜条121和第二子掩膜条122；所述第一子掩膜条121上设置有第一镂空区域1211。
其中，所述第二子掩膜条122的中间区域1221的厚度小于边缘区域的厚度。
在具体实现中，所述第二子掩膜条122的中间区域1221的厚度是边缘区域的厚度的0.4-0.6倍。
在本发明实施例中，中间区域设置的较薄，可以防止由于掩膜条过宽导致掩膜条的中间区域下沉。
在本发明实施例中，所述第二子掩膜条122的厚度小于第一子掩膜条121的厚度。
其中，第二子掩膜条122设置的较薄，可以降低第一掩膜条整体的重量，防止第一掩膜条中间区域下沉，影响第一掩膜版后续的蒸镀使用。
其中，所述第一遮挡条13上设置有对位标识。
在具体实现中，对位标识是为了在对待蒸镀对象蒸镀时，可以使第一掩膜版与待蒸镀对象对位。
在本发明实施例中，参照图3，还包括：第二掩膜版20；
所述第二掩膜版20包括第二框架21，并排设置在所述第二框架21上的第二掩膜条22及第二遮挡条23，所述第二掩膜条22和第二遮挡条23间隔设置：
所述第二掩膜条22包括：相互拼接的第三子掩膜条221和第四子掩膜条222；所述第四子掩膜条222上设置有第二镂空区域2221；
在所述第一掩膜版10和所述第二掩膜版20组合使用时；所述第三子掩膜条221与所述第一子掩膜121条位置对应，所述第四子掩膜条222与所述第二子掩膜条122位置对应。
其中，所述第三子掩膜条221的中间区域2211的厚度小于边缘区域的厚度。
其中，第三子掩膜条221的中间区域2211的厚度是边缘区域的厚度的0.4倍-0.6倍。
在本发明实施例中，第一框架11和第二框架21相同，第一遮挡层13和第二遮挡层23相同，第一掩膜条12和第二掩膜条22互补。
其中，第二掩膜版的第二掩膜条和第一掩膜版的第一掩膜条互补，其他部分可以完全相同。
在本发明实施例中，第二遮挡层23上也设置有对位标识。具体的，对位标识可以是对位孔。
在本发明实施例中，第一掩膜版10的第一镂空区域1211和第二掩膜版20的第二镂空区域2221形成一个完整的待蒸镀镂空区域，能够对一个完整的待蒸镀对象进行蒸镀。
在本发明实施例中，通过将掩膜条拆分成两个子掩膜条，可以有效的减小掩膜条的宽度，降低掩膜版的制备难度和掩膜条的张网难度，提升每个子掩膜条的精度，减小掩膜条中间区域的下垂量，提升掩膜版的蒸镀精度。
本发明实施例提供的一种掩膜装置，包括：第一掩膜版；所述第一掩膜版包括第一框架，并排设置在所述第一框架上的第一掩膜条及第一遮挡条，所述第一掩膜条和第一遮挡条间隔设置；所述第一掩膜条包括：相互拼接的第一子掩膜条和第二子掩膜条；所述第一子掩膜条上设置有第一镂空区域。本发明实施例通过将掩膜条拆成两个子掩膜条，降低了张网难度，实现宽幅度掩膜版的制备，在掩膜版尺寸增大时，避免由于掩膜条过宽导致掩膜条中间区域的下垂量增加，提高了宽幅掩膜版的蒸镀精度。
实施例二
参照图4，本发明实施例提供了一种蒸镀方法，包括：
步骤201，将蒸镀对象与所述第一掩膜版进行对位；所述蒸镀对象上划定有待蒸镀区域，使所述第一镂空区域对准所述待蒸镀区域的第一部分。
在本发明实施例中，通过第一遮挡层上的对位标记对第一掩膜版和蒸镀对象进行对位。
在本发明实施例中，蒸镀对象包括显示面板，待蒸镀区域为显示面板中玻璃基板上的像素界定层。
其中，将第一掩膜版放置在蒸镀对象上，第一镂空区域对应待蒸镀区域的一部分，第二子掩膜条遮挡待蒸镀区域的剩余部分。
在具体实现中，可以将蒸镀对象和第一掩膜版置于真空腔室进行蒸镀。
步骤202，通过所述第一掩膜版，对所述待蒸镀区域的第一部分进行蒸镀，
当蒸镀对象中有不需要蒸镀的区域时，除了使用第一掩膜版的第二子掩膜条和第一遮挡层遮挡，还可以使用其他不属于第一掩膜版的辅助的遮挡层进行遮挡。
例如，当待蒸镀区域为屏幕上的一个单元时，可以先对该单元的一半边区域进行蒸镀。
步骤203，对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀。
其中，参照图5，所述第一部分与所述剩余部分等大，步骤203包括：
步骤2031，移动所述蒸镀对象；
步骤2032，将所述蒸镀对象与所述第一掩膜版进行对位，使所述第一镂空区域对准所述待蒸镀区域的所述剩余部分；
步骤2033，通过所述第一掩膜版，对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀。
在本发明实施例中，对待蒸镀区域的所述剩余部分的蒸镀可以使用同一第一掩膜版进行遮挡，此时将第一镂空区域对位到待蒸镀区域的剩余部分。
其中，参照图6，当所述掩膜装置包含第二掩膜版时，所述步骤203，包括：
步骤2034，移动所述蒸镀对象；
步骤2035，将所述蒸镀对象与所述第二掩膜版进行对位，使所述第二镂空区域对准所述待蒸镀区域的剩余部分；
步骤2036，通过所述第二掩膜版对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀。
在本发明实施例中，对待蒸镀区域的剩余部分的蒸镀，可以使第二掩膜版进行对位蒸镀。
其中，第二掩膜版可以放置在与第一掩膜版相同的真空腔室，将蒸镀对象移动到第二掩膜版对应的位置，进行剩余部分的蒸镀。
其中，所述第二掩膜版包括第二框架，并排设置在所述第二框架上的第二掩膜条及第二遮挡条，所述第二掩膜条和第二遮挡条间隔设置：
所述第二掩膜条包括：相互拼接的第三子掩膜条和第四子掩膜条；所述第四子掩膜条上设置有第二镂空区域；
所述第三子掩膜条与所述第一子掩膜条位置对应，所述第四子掩膜条与所述第二子掩膜条位置对应。
在本发明实施例中，可以将对位标记直接设置在遮挡层上，省去再使用购买的对位掩膜版进行对位。
本发明实施例提供的一种蒸镀方法，应用如实施例一任意一项所述的掩膜装置，包括：将蒸镀对象与所述第一掩膜版进行对位；所述蒸镀对象上划定有待蒸镀区域，使所述第一镂空区域对准所述待蒸镀区域的第一部分；通过所述第一掩膜版，对所述待蒸镀区域的第一部分进行蒸镀；对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀。本发明实施例通过将掩膜条拆成两个子掩膜条，在蒸镀大尺寸显示屏时，可以通过该宽幅掩膜版进行蒸镀，提高了大尺寸显示屏的蒸镀精度。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统、装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种掩膜装置，其特征在于，包括：第一掩膜版；所述第一掩膜版包括第一框架，并排设置在所述第一框架上的第一掩膜条及第一遮挡条；所述第一掩膜条和第一遮挡条间隔设置；
所述第一掩膜条包括：相互拼接的第一子掩膜条和第二子掩膜条；所述第一子掩膜条上设置有第一镂空区域；
所述掩膜装置还包括：第二掩膜版；
所述第二掩膜版包括第二框架，并排设置在所述第二框架上的第二掩膜条及第二遮挡条；所述第二掩膜条和所述第二遮挡条间隔设置；
所述第二掩膜条包括：相互拼接的第三子掩膜条和第四子掩膜条；所述第四子掩膜条上设置有第二镂空区域；
在所述第一掩膜版和所述第二掩膜版组合使用时；所述第三子掩膜条与所述第一子掩膜条位置对应，所述第四子掩膜条与所述第二子掩膜条位置对应。
2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述第二子掩膜条的中间区域的厚度小于边缘区域的厚度。
3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述第二子掩膜条的中间区域的厚度是所述边缘区域的厚度的0.4-0.6倍。
4.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述第二子掩膜条的厚度小于所述第一子掩膜条的厚度。
5.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述第一遮挡条上设置有对位标识。
6.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述第三子掩膜条的中间区域的厚度小于边缘区域的厚度。
7.一种蒸镀方法，其特征在于，应用如权利要求1至6任意一项所述的掩膜装置，所述方法包括：
将蒸镀对象与所述第一掩膜版进行对位；所述蒸镀对象上划定有待蒸镀区域，使所述第一镂空区域对准所述待蒸镀区域的第一部分；
通过所述第一掩膜版，对所述待蒸镀区域的第一部分进行蒸镀；
对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一部分与所述剩余部分等大，所述对所述蒸镀单元的第二部分进行蒸镀，包括：
移动所述蒸镀对象；
将所述蒸镀对象与所述第一掩膜版进行对位，使所述第一镂空区域对准所述待蒸镀区域的所述剩余部分；
通过所述第一掩膜版，对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述对所述蒸镀单元的第二部分进行蒸镀，包括：
移动所述蒸镀对象；
将所述蒸镀对象与所述第二掩膜版进行对位，使第二镂空区域对准所述待蒸镀区域的剩余部分；
通过所述第二掩膜版对所述待蒸镀区域的剩余部分进行蒸镀；
其中，所述第二掩膜版包括第二框架，并排设置在所述第二框架上的第二掩膜条及第二遮挡条，所述第二掩膜条和所述第二遮挡条间隔设置；
所述第二掩膜条包括：相互拼接的第三子掩膜条和第四子掩膜条；所述第四子掩膜条上设置有第二镂空区域；
所述第三子掩膜条与所述第一子掩膜条位置对应，所述第四子掩膜条与所述第二子掩膜条位置对应。
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