KR20150042601A - 박막 증착용 마스크 및 이를 사용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 6
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 7
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 21
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000036632 reaction speed Effects 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
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- B05C21/00—Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
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- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
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Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크는 일 방향을 따라 배치된 복수의 패턴부를 포함하는 마스크 스트립, 및 상기 마스크 스트립이 위치하는 프레임을 포함하고, 인접한 상기 패턴부 사이의 간격이 상이하고, 이를 통해 균일한 품질의 유기 발광 표시 장치를 제공하고자 한다.
Description
본 발명은 박막 증착용 마스크 및 이를 사용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다.
표시 장치는 이미지를 표시하는 장치로서, 최근 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display)가 주목 받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 자체 발광 특성을 가지며, 액정 표시 장치(liquid crystal display device)와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 두께와 무게를 줄일 수 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 고품위 특성을 나타낸다.
이와 같은 유기 발광 표시 장치의 제작 시에, 표시 장치의 기판상에 적(R), 녹(G), 청(B)색의 유기 발광층을 형성하기 위하여, 메탈 마스크(metal mask)를 이용할 수 있다.
이때, 한 화소 크기를 갖는 개구부가 형성된 메탈 마스크를 이용하여, 한가지 색의 유기 발광 물질을 증착한 후, 메탈 마스크를 한 화소 셀 만큼 이동시키면서 다른 색의 유기 발광 물질을 형성할 수 있다.
그런데, 이와 같이 마스크를 사용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우, 고해상도의 유기 발광 표시 장치는 상당히 작은 크기의 마스크 패턴부를 사용하며, 상기 마스크 패턴부의 양 끝단에서 상당한 면적의 섀도우가 발생하는 등 정밀도에 대한 한계가 발생하였다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 마스크가 포함하는 패턴부 사이의 간격을 조정하여 섀도우를 감소시키고 고해상도의 유기 발광 표시 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크는, 일 방향을 따라 배치된 복수의 패턴부를 포함하는 마스크 스트립, 및 상기 마스크 스트립이 위치하는 프레임을 포함하고, 인접한 상기 패턴부 사이의 간격이 상이하다.
인접한 상기 패턴부 사이의 거리는 상기 마스크 스트립의 중심으로 갈수록 길어질 수 있다.
상기 마스크 스트립은 복수개일 수 있다.
상기 복수의 패턴부는 상기 마스크 스트립의 중심을 기준으로 대칭일 수 있다.
상기 마스크 스트립은 소정의 텐션(tension)을 가질 수 있다.
상기 마스크 스트립은 니켈 또는 니켈 합금을 포함할 수 있다.
상기 복수의 마스크 스트립은 상기 프레임에 용접 고정될 수 있다.
상기 복수의 마스크 스트립은 상기 프레임에 레이저 용접에 의해 고정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 제1 전극 형성하는 단계, 박막 증착용 마스크를 사용하여 상기 제1 전극 위에 유기 발광층을 형성하는 단계, 및 상기 유기 발광층 위에 제2 전극 형성하는 단계를 포함하고, 상기 박막 증착용 마스크는, 일 방향을 따라 배치된 복수의 패턴부를 포함하는 마스크 스트립, 및 상기 마스크 스트립이 위치하는 프레임을 포함하고, 인접한 상기 패턴부 사이의 간격이 상이하다.
인접한 상기 패턴부 사이의 거리는 상기 마스크 스트립의 중심으로 갈수록 길어질 수 있다.
상기 마스크 스트립은 복수개일 수 있다.
상기 복수의 패턴부는 상기 마스크 스트립의 중심을 기준으로 대칭일 수 잇다.
상기 마스크 스트립은 소정의 텐션(tension)을 가질 수 있다.
상기 마스크 스트립은 니켈 또는 니켈 합금을 포함할 수 있다.
상기 복수의 마스크 스트립은 상기 프레임에 용접 고정될 수 있다.
상기 복수의 마스크 스트립은 상기 프레임에 레이저 용접에 의해 고정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 전술한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조될 수 있다.
이상과 같은 박막 증착용 마스크를 사용하는 경우, 섀도우가 감소하여 개구부 패턴의 변형을 줄일 수 있으며, 이를 통해 고해상도의 유기 발광 표시 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크의 평면도이다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일부를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착용 마스크의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용하는 증착 장치의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크의 평면도이다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일부를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착용 마스크의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용하는 증착 장치의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
이하에서 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크를 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크의 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일부를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 는 프레임(30)과, 상기 프레임(30)에 양단부가 지지되는 복수의 마스크 스트립(110)을 포함한다. 즉, 복수의 마스크 스트립(110)과 프레임(30)이 모여 마스크(100)를 구성한다.
프레임(30)은 상호 평행하게 설치되는 제1 지지부(31, 32)와, 각 제1 지지부(31, 32)의 단부와 연결되어 사각형의 개구부(33)를 형성하는 제2 지지부(34, 35)를 포함한다. 제2 지지부(34, 35)는 마스크 스트립(110)들과 나란한 방향으로 설치되는 것으로 탄성력을 가지는 재질로 형성함이 바람직하나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 제1 지지부(31, 32) 및 제2 지지부(34, 35)가 일체로 형성될 수 있다.
이 프레임(30)에 마스크 스트립(110)들이 인장된 상태로 지지되므로, 프레임(30)은 충분한 강성을 가질 수 있다. 또한, 프레임(30)은 증착 대상물과 마스크(100)의 밀착 시 간섭을 일으키지 않은 구조이면 어느 것이나 가능하다.
마스크(100)는 적어도 하나 이상의 마스크 스트립(110)을 포함한다. 마스크(100)는 복수개의 마스크 스트립(110)들로 분할되어 프레임(30)에 고정될 수 있으며, 이를 통해 종래의 마스크와 같이 마스크의 자중에 의한 처짐 현상을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 도 2는 소정의 마스크 스트립(110)들이 하나의 마스크(100)를 구성하는 것으로 도시되어 있지만, 이는 일 예시이며 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
복수의 마스크 스트립(110)은 직사각형의 판형으로 형성되며, 그 길이 방향(±y 방향)을 따라 소정의 간격으로 복수의 증착용 패턴부(111)를 가지고, 패턴부(111) 주위로 차단부가 위치한다.
복수의 마스크 스트립(110)은 자성을 띤 박판으로 이루어질 수 있으며, 본 발명의 일례로써 니켈 또는 니켈 합금으로 이루어질 수 있으며, 미세 패턴 형성이 용이하고, 표면 거칠기가 매우 좋은 니켈-코발트의 합금으로 형성할 수도 있다.
복수의 마스크 스트립(110)은 각 마스크 스트립(110)을 구성하는 박막 증착용 패턴부(111)를 전주(electro forming)법을 사용하여 형성할 수 있다. 이에 의하면 미세한 패터닝과 우수한 표면 평활성을 얻을 수 있기 때문이다. 물론 에칭법에 의해서도 제조될 수 있는 데, 포토레지스트(photoresist)를 이용한 박막 증착용 패턴부(111)와 동일한 패턴을 가진 포토레지스트층을 박판에 형성하거나 증착용 패턴부(111)와 동일한 패턴을 가진 필름을 박판에 부착한 후 박판을 에칭(etching)함으로써 제조할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기와 같이 제조된 마스크 스트립(110)은 그 길이 방향(±y 방향)으로 소정의 인장력을 가한 상태에서, 마스크 스트립(110)의 길이 방향의 양단이 프레임(30)에 고정된다. 이때, 마스크 스트립(110)들의 증착용 패턴부(111)은 모두 프레임(30)의 개구부(33) 내측에 위치한다.
복수의 마스크 스트립(110)이 프레임(30)에 고정되는 방법은 레이저 용접, 저항 가열 용접 등 다양한 방법을 적용할 수 있으나, 정밀도 변화 등을 고려하여 레이저 용접 방법을 사용할 수 있다. 이때, 각 마스크 스트립(110)은 소정의 거리만큼 이격되도록 정렬되어 용접될 수 있다.
이와 같이 복수개의 마스크 스트립(110)으로 분할된 마스크(100)를 사용할 경우, 전술한 바와 같이 마스크(100)의 자중에 의한 처짐 현상이 개선된다.
마스크 스트립(110)이 포함하는 패턴부(111)는 이를 통해 박막 증착에 의한 패턴을 형성한다. 패턴부(111)는 본 발명의 일례로써 도시된 바와 같이 별도의 패턴이 없는 개구 형태이거나, 스트라이프 패턴(미도시)을 포함할 수 있다. 즉, 패턴부(111)의 형상은 제한되지 않으며 요구되는 박막 형상에 따라 상이할 수 있다.
마스크 스트립(110)은 복수의 패턴부(111)를 포함하며, 복수의 패턴부(111) 사이는 소정의 간격만큼 이격된다. 이때, 본 발명의 일 실시예에 따르면 도 2에 도시된 바와 같이 인접한 패턴부(111) 사이의 간격이 상이할 수 있으며 이는 섀도우를 감소시키기 위한 것이다. 도 2에서는 마스크 스트립(110)의 중심을 기준으로 편심된 정도를 화살표의 크기로 나타냈다. 마스크 스트립(110)의 중심에서 먼 패턴부(111)일수록 중심으로 편심되어 인접한 패턴부(111) 사이의 간격이 좁고, 마스크 스트립(110)의 중심에서 가까운 패턴부(111)일수록 중심으로 덜 편심되어 인접한 패턴부(111) 사이의 간격이 넓다.
구체적으로 도 3을 참조하면, 박막 증착 용기의 일측에 위치하는 노즐로부터 이와 대응되는 위치에 위치하는 패턴부(111)에 증착되는 증착물은 약 90도의 각도를 이룬다. 그러나 증착 용기의 일측의 반대측에 위치하는 패턴부, 즉 마스크 스트립(110)의 타측에 위치하는 패턴부(111)로 증착되는 증착물은 약 45도의 각도를 이루면서 상당한 면적의 섀도우를 형성한다.
그러나 본 발명의 일 실시예에 따라 최외각에 위치하는 패턴부(111)는 중심을 향해 다소 이동된 형태인바, 이에 의한 섀도우 형성이 감소될 수 있다. 즉, 동일한 간격을 가지는 복수의 패턴부일 경우 발생하는 섀도우의 형성을 감소시키기 위해 섀도우가 많이 형성되는 패턴부일수록 중심을 향해 이동시키고, 이를 통해 증착되는 각도 등을 조정하여 섀도우의 형성을 감소시킬 수 있다. 즉, 이에 따르면 미세한 패턴부(111)에 대응하는 패턴의 형성이 가능하여 고해상도의 유기 발광 표시 장치를 제공할 수 있다.
보다 구체적으로, 하나의 마스크 스트립(110)에서 중심을 기준으로 인접한 패턴부(111) 사이의 간격은 넓어질 수 있다. 중심에서 가까운 두 개의 패턴부(111) 사이의 거리는 중심에서 먼 두 개의 패턴부(111) 사이의 간격보다 크다. 멀게 위치하는 패턴부(111)일수록 중심을 향하여 많이 이동했기 때문이다. 마스크 스트립(110)의 중심을 기준으로 최외곽에 있는 패턴부(111)에 가장 큰 면적의 섀도우가 형성되며, 이를 감소시키기 위해 최외곽에 있는 패턴부(111)를 가장 많이 이동시키기 때문이다. 이에 따라, 최외곽에 위치하는 패턴부(111) 다음에 위치하는 패턴부(111)는 최외곽에 위치하는 패턴부(111) 보다는 다소 이동의 정도가 작을 수 있다. 이에 의하면 마스크 스트립(110)의 중심에서 얼마나 떨어져 있느냐에 따라 패턴부(111)가 얼마나 마스크 스트립(110)의 중심으로 이동하는지가 달라진다.
또한, 인접한 패턴부(111) 사이의 거리는 마스크 스트립(110)의 중심에 대해 대칭일 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 스트립(110)은 5개 또는 7개의 패턴부(111)를 포함하며, 마스크 스트립(110)의 중심을 기준으로 대칭일 수 있다.
또한, 본 명세서는 하나의 마스크 스트립(110)이 5개 또는 7개의 패턴부(111)를 포함하는 실시예만을 도시하였으나, 이에 제한되지 않고 복수의 패턴부를 포함하는 것이 가능하다.
도 2 및 도 3은 직선 방향으로 증착을 진행하는 박막 증착용 마스크(100)를 도시한 것이며, 이에 따라 마스크 스트립(110)의 일 방향의 중심을 기준으로 인접한 패턴부(111)의 간격이 상이하다. 중심에서 가까운 패턴부(111) 사이의 간격(d1)은 다소 넓은 편이며, 중심에서 먼 패턴부(111)일수록 인접한 패턴부(111) 사이의 간격(d2)이 좁다. 패턴부 사이의 거리가 동일한 경우에 비하여 중심을 향하여 많이 이동했기 때문이다. 상기 간격은 중심에서 떨어진 정도 및 섀도우의 발생 크기에 따라 조절될 수 있다.
정리하면, 본 발명은 증착되는 각도에 따라 필연적으로 발생하는 섀도우를 감소시키기 위해, 패턴부의 위치가 마스크 또는 마스크 스트립의 중심으로부터 멀수록 중심을 향하여 이동시킬 수 있다.
본 명세서는 직선 방향 또는 직경 방향에 대해 상이한 거리를 가지는 복수의 패턴부(111)만을 서술하였으나, 이에 제한되지 않고 증착 방향에 대응하여 인접한 패턴부(111) 사이의 거리를 조절하는 것이 가능하다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크의 평면도이며 본 발명의 일 실시예와 상이한 구성만을 설명한다.
구체적으로 도 4를 참조하면, 직경 방향을 기준으로 증착을 진행하는 박막 증착용 마스크(100)를 도시한 것이다. 이에 따라 복수의 마스크 스트립(110) 전체를 포함하는 마스크(100) 자체의 중심을 기준으로 직경 방향에 대해 인접한 패턴부(111)의 거리가 상이할 수 있다.
즉, 마스크(100)의 반경에 대해 패턴부(111)의 위치가 조정된다. 특히 반경의 중심을 기준으로 하여 안쪽으로 패턴부(111)가 쏠리는 형태이다. 패턴부(111) 사이의 거리가 일정한 경우에 비해 패턴부(111)가 중심을 향하여 이동한 형태이며, 이동 정도는 섀도우를 감소시키기 위해 조절 가능하며, 일례로써 최대 섀도우 발생 정도의 절반에 해당하는 거리만큼 이동될 수 있다.
도 4에서는 마스크(100)의 중심에 대해 각각의 패턴부(111)가 편심되는 정도를 화살표로 나타냈으며, 이는 상대적인 편심 정도를 나타낸다.
이하에서는 전술한 박막 증착용 마스크를 사용하는 증착 장치를 설명한다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용하는 증착 장치의 측면도이다.
전술한 바와 같은 실시예들에 따른 박막 증착용 마스크는 도 5에 도시된 바와 같은 증착 장치에 장착되어 증착을 행하게 된다.
도 5를 참조하면, 마스크(100)를 이용하여 유기 발광 표시 장치의 박막, 즉 적색, 녹색 및 청색 등의 빛을 방출하는 발광부를 포함하는 중간층을 증착하기 위해, 진공 챔버(41)에 설치된 박막 증착 용기(42)와 대응하는 위치에 마스크 스트립(110)와 결합된 프레임(30)을 설치한다.
이후 이의 상부에 박막 등이 증착될 대상물(20)을 위치시킨다. 그리고 그 상부에는 프레임(30)에 지지된 마스크(100)를 박막 등이 형성될 대상물(20)에 밀착시키기 위한 고정 유닛(43)을 위치시켜 상기 마스크(100)가 상기 박막 등이 형성될 대상물(20)에 밀착되도록 한다. 이 상태에서 상기 박막 증착 용기(42)의 작동으로 이에 장착된 물질이 상기 대상물(20)에 증착되게 된다.
특히, 이때 박막 증착 용기(42)와 마스크(100) 사이의 거리가 다소 길어질 수 있다. 상기 거리가 길어지게 되는 경우, 증착 물질의 효율이 다소 낮아질 수는 있으나, 거리의 변동에 따라 증착 물질이 입사되는 각도가 변경되어 섀도우의 생성을 감소시킬 수 있기 때문이다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크를 사용하여 제조된 유기 발광 표시 장치를 설명한다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 6은 패시브 매트릭스 방식의 일 예를 도시한 것으로, 기판(2200) 상에 제 1 전극(2210)이 스트라이프 패턴으로 형성되고, 제 1 전극(2210)의 상부로 발광층을 포함하는 유기층(2260) 및 제 2 전극(2270)이 순차로 형성된다. 각각의 전극(2210, 2270)의 각 라인 사이에는 절연층(2230, 2250)이 더 개재될 수 있으며, 상기 제 2 전극(2270)은 상기 제 1 전극(2210)의 패턴과 직교하는 패턴으로 형성될 수 있다.
한편, 상기 유기층(2260) 중 유기 발광층(2240)이 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)으로 구비되어 다양한 색상을 구현할 수 있는 데, 이는 전술한 바와 같은 실시예들에 따른 복수개의 패턴부를 포함하는 마스크들을 이용하여 형성될 수 있다.
상기 제 1 전극(2210)은 애노드 전극의 기능을 하고, 상기 제 2 전극(2270)은 캐소드 전극의 기능을 한다. 물론, 이들 제 1 전극(2210)과 제 2 전극(2270)의 극성은 반대가 될 수 있다.
도 7은 액티브 매트릭스형(AM type) 유기 발광 표시 장치의 한 부화소의 일 예를 도시하였다. 도 7에서 부화소들은 적어도 하나의 박막 트랜지스터와 자발광 소자인 유기 발광 소자(OLED)를 갖는다.
상기 박막 트랜지스터는 반드시 도 7에 도시된 구조로만 가능한 것은 아니며, 그 수와 구조는 다양하게 변형가능하다. 이러한 액티브 매트릭스형 유기 전계 발광 표시 장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
기판(2200)상에 SiO2, SiNx 등으로 버퍼층(2300)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(2300) 상부로 전술한 박막 트랜지스터가 구비된다.
상기 박막 트랜지스터는 버퍼층(2300) 상에 형성된 반도체 활성층(2310)과, 이 활성층(2310)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(2320)과, 게이트 절연막(2320) 상부의 게이트 전극(2330)을 포함한다. 이 게이트 전극(2330)을 덮도록 층간 절연막(2340)이 위치하며, 층간 절연막(2340)의 상부에 소스 및 드레인 전극(2350)이 위치한다. 이 소스 및 드레인 전극(2350)은 게이트 절연막(2320) 및 층간 절연막(2340)에 위치하는 컨택홀에 의해 활성층(2310)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다. 활성층(2310)은 무기반도체 또는 유기반도체로부터 선택되어 형성될 수 있다.
소스 및 드레인 전극(2350) 상부로는 SiO2, SiNx 등으로 이루어진 보호막(2340)이 위치하고, 보호막(2340)의 상부에는 아크릴, 폴리 이미드 등에 의한 평탄화막(2370)이 위치한다. 비록 도면으로 도시하지는 않았지만, 상기 박막 트랜지스터에는 적어도 하나의 커패시터가 연결된다.
한편, 상기 소스/드레인 전극(2350)에 유기 발광 소자(OLED)가 접촉되는데, 상기 유기 발광 소자(OLED)의 애노드 전극이 되는 제 1 전극(2210)에 연결된다. 상기 제 1 전극(2210)은 평탄화막(2370) 상부에 위치하며, 제 1 전극(2210)을 커버하도록 화소 정의막(Pixel defining layer: 2380)이 위치한다. 그리고, 이 화소 정의막(2380)에 소정의 개구부를 형성한 후, 유기 발광 소자(OLED)를 형성한다.
상기 유기 발광 소자(OLED)는 전류의 흐름에 따라 적, 녹, 청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하는 것으로, 박막 트랜지스터의 소스/드레인 전극(2350)에 연결되어 이로부터 플러스 전원을 공급받는 제 1 전극(2210)과, 전체 화소를 덮도록 구비되어 마이너스 전원을 공급하는 제 2 전극(2270) 및 이들 제 1 전극(2210)과 제 2 전극(2270)의 사이에 배치되어 발광하는 유기층(2260)을 포함한다.
이러한 액티브 매트릭스형 전계 발광 표시 장치에 있어서도, 유기층(2260)의 유기 발광층(EML)을 전술한 실시예들에 따른 박막 증착용 마스크들을 이용하여 다양한 패터닝으로 형성되도록 하여, 고정밀도의 디스플레이 장치를 구현토록 할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
30 : 프레임 31, 32 : 제1 지지부
33 : 개구부 34, 35 : 제2 지지부
41 : 진공 챔버 42 : 박막 증착 용기
43 : 고정 유닛 100 : 마스크
110 : 마스크 스트립 111 : 패턴부
33 : 개구부 34, 35 : 제2 지지부
41 : 진공 챔버 42 : 박막 증착 용기
43 : 고정 유닛 100 : 마스크
110 : 마스크 스트립 111 : 패턴부
Claims (17)
- 일 방향을 따라 배치된 복수의 패턴부를 포함하는 마스크 스트립, 및
상기 마스크 스트립이 위치하는 프레임
을 포함하고,
인접한 상기 패턴부 사이의 간격이 상이한 박막 증착용 마스크. - 제1항에서,
인접한 상기 패턴부 사이의 거리는 상기 마스크 스트립의 중심으로 갈수록 길어지는 박막 증착용 마스크. - 제2항에서,
상기 마스크 스트립은 복수개인 박막 증착용 마스크. - 제1항에서,
상기 복수의 패턴부는 상기 마스크 스트립의 중심을 기준으로 대칭인 박막 증착용 마스크. - 제1항에서,
상기 마스크 스트립은 소정의 텐션(tension)을 가지는 박막 증착용 마스크. - 제1항에서,
상기 마스크 스트립은 니켈 또는 니켈 합금을 포함하는 박막 증착용 마스크. - 제3항에서,
상기 복수의 마스크 스트립은 상기 프레임에 용접 고정되는 박막 증착용 마스크. - 제7항에서,
상기 복수의 마스크 스트립은 상기 프레임에 레이저 용접에 의해 고정되는 박막 증착용 마스크. - 제1 전극 형성하는 단계,
박막 증착용 마스크를 사용하여 상기 제1 전극 위에 유기 발광층을 형성하는 단계, 및
상기 유기 발광층 위에 제2 전극 형성하는 단계
를 포함하고,
상기 박막 증착용 마스크는,
일 방향을 따라 배치된 복수의 패턴부를 포함하는 마스크 스트립, 및
상기 마스크 스트립이 위치하는 프레임
을 포함하고,
인접한 상기 패턴부 사이의 간격이 상이한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제9항에서,
인접한 상기 패턴부 사이의 거리는 상기 마스크 스트립의 중심으로 갈수록 길어지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제9항에서,
상기 마스크 스트립은 복수개인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제9항에서,
상기 복수의 패턴부는 상기 마스크 스트립의 중심을 기준으로 대칭인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제9항에서,
상기 마스크 스트립은 소정의 텐션(tension)을 가지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제9항에서,
상기 마스크 스트립은 니켈 또는 니켈 합금을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제11항에서,
상기 복수의 마스크 스트립은 상기 프레임에 용접 고정되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제15항에서,
상기 복수의 마스크 스트립은 상기 프레임에 레이저 용접에 의해 고정되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제9항 내지 제16항 중 어느 한 항에 따라 제조된 유기 발광 표시 장치.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20130121463A KR20150042601A (ko) | 2013-10-11 | 2013-10-11 | 박막 증착용 마스크 및 이를 사용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
| US14/512,281 US20150102329A1 (en) | 2013-10-11 | 2014-10-10 | Mask for depositing thin film, method of manufacturing organic light emitting diode display using the same, and organic light emitting diode display using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20130121463A KR20150042601A (ko) | 2013-10-11 | 2013-10-11 | 박막 증착용 마스크 및 이를 사용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20150042601A true KR20150042601A (ko) | 2015-04-21 |
Family
ID=52808926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR20130121463A KR20150042601A (ko) | 2013-10-11 | 2013-10-11 | 박막 증착용 마스크 및 이를 사용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20150102329A1 (ko) |
| KR (1) | KR20150042601A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101638344B1 (ko) * | 2015-12-04 | 2016-07-11 | 주식회사 유아이디 | 스퍼터링용 원판패널 고정 장치 및 방법 |
| US9786844B2 (en) | 2015-12-18 | 2017-10-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask assembly, apparatus, and method of manufacturing display device using the mask assembly |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101813549B1 (ko) * | 2011-05-06 | 2018-01-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치 |
| KR102549358B1 (ko) | 2015-11-02 | 2023-06-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 |
| CN206706184U (zh) * | 2017-05-12 | 2017-12-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模板以及掩模片 |
| CN111886356A (zh) * | 2018-03-20 | 2020-11-03 | 夏普株式会社 | 成膜用掩模及使用该成膜用掩模的显示装置的制造方法 |
| CN109913809B (zh) * | 2019-04-30 | 2021-03-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩膜装置及一种蒸镀方法 |
| JP2021175824A (ja) * | 2020-03-13 | 2021-11-04 | 大日本印刷株式会社 | 有機デバイスの製造装置の蒸着室の評価方法、評価方法で用いられる標準マスク装置及び標準基板、標準マスク装置の製造方法、評価方法で評価された蒸着室を備える有機デバイスの製造装置、評価方法で評価された蒸着室において形成された蒸着層を備える有機デバイス、並びに有機デバイスの製造装置の蒸着室のメンテナンス方法 |
| CN111575648B (zh) * | 2020-06-23 | 2022-07-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜板组件及其制造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101182440B1 (ko) * | 2010-01-11 | 2012-09-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 |
| KR101182439B1 (ko) * | 2010-01-11 | 2012-09-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법 |
| KR102002494B1 (ko) * | 2012-11-30 | 2019-07-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리 |
-
2013
- 2013-10-11 KR KR20130121463A patent/KR20150042601A/ko not_active Application Discontinuation
-
2014
- 2014-10-10 US US14/512,281 patent/US20150102329A1/en not_active Abandoned
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| KR101638344B1 (ko) * | 2015-12-04 | 2016-07-11 | 주식회사 유아이디 | 스퍼터링용 원판패널 고정 장치 및 방법 |
| US9786844B2 (en) | 2015-12-18 | 2017-10-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask assembly, apparatus, and method of manufacturing display device using the mask assembly |
| US9876170B2 (en) | 2015-12-18 | 2018-01-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask assembly, apparatus, and method of manufacturing display device using the mask assembly |
| US10115901B2 (en) | 2015-12-18 | 2018-10-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask assembly, apparatus, and method of manufacturing display device using the mask assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20150102329A1 (en) | 2015-04-16 |
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