JP2010045287A - 素子の移載方法 - Google Patents
素子の移載方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010045287A JP2010045287A JP2008209730A JP2008209730A JP2010045287A JP 2010045287 A JP2010045287 A JP 2010045287A JP 2008209730 A JP2008209730 A JP 2008209730A JP 2008209730 A JP2008209730 A JP 2008209730A JP 2010045287 A JP2010045287 A JP 2010045287A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- laser beam
- transfer method
- release layer
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
【解決手段】剥離層3を介して素子5が設けられた第1の基板1と、接着層9が設けられた第2の基板7とを、素子5と接着層9とを密着させる状態で対向配置して減圧雰囲気内に保つ。減圧雰囲気内において、第1の基板1側からレーザ光Lhを照射することにより、剥離層3をアブレーションさせて素子5を第1の基板1上から剥離し、第2の基板7上に移載する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明を適用した素子の移載方法を説明する断面工程図である。ここで説明する素子の移載方法は、例えば、発光ダイオード(light Emitting Diode:LED)をマトリクス状に配列した表示装置の製造工程等において、第1の基板上から第2の基板上にLED素子を移載する方法であり、次のように行なう。
Claims (8)
- 剥離層を介して素子が設けられた第1の基板と、接着層が設けられた第2の基板とを、前記素子と前記接着層とを密着させる状態で対向配置して減圧雰囲気内に保つ第1工程と、
前記減圧雰囲気内において、前記第1の基板側からレーザ光を照射することにより、前記剥離層をアブレーションさせて前記素子を当該第1の基板上から剥離する第2工程とを行なう
素子の移載方法。 - 前記対向配置された第1の基板と第2の基板とは、前記レーザ光を透過させる透過窓を有する減圧室内に収納され、当該透過窓を介して前記第1の基板側から前記レーザ光を照射する
請求項1に記載の素子の移載方法。 - 前記レーザ光の波長は、レーザ光源から前記剥離層までの間において、当該剥離層でのみ吸収が生じるような波長を選択する
請求項1または2に記載の素子の移載方法。 - 前記第1の基板は、当該第1の基板側から前記素子を観察可能な材料で構成される
請求項1〜3のうちの1項に記載の素子の移載方法。 - 前記剥離層は、前記素子の底面の範囲に納まる形状にパターニングされている
請求項1〜4のうちの1項に記載の素子の移載方法。 - 前記レーザ光は、前記パターニングされた剥離層の全面に照射される
請求項5に記載の素子の移載方法。 - 前記レーザ光は、選択された素子に対応する領域のみにスポット照射される
請求項1〜6の何れか1項に記載の素子の移載方法。 - 選択された素子に対応する領域のみに開口を備えた遮光マスクを介して、前記第1の基板側から前記レーザ光を照射する
請求項1〜6の何れか1項に記載の素子の移載方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008209730A JP2010045287A (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | 素子の移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008209730A JP2010045287A (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | 素子の移載方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010045287A true JP2010045287A (ja) | 2010-02-25 |
Family
ID=42016410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008209730A Pending JP2010045287A (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | 素子の移載方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010045287A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2582160C2 (ru) * | 2011-04-11 | 2016-04-20 | Ндсю Рисёрч Фаундейшн | Избирательный лазерно-стимулированный перенос дискретных компонентов |
KR20180002732A (ko) * | 2015-04-28 | 2018-01-08 | 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오 | 플래쉬 램프를 이용하여 칩들을 무접촉 방식으로 전달하고 솔더링하기 위한 장치 및 방법 |
CN107768297A (zh) * | 2016-08-16 | 2018-03-06 | 美科米尚技术有限公司 | 半导体结构的转移方法 |
CN107808911A (zh) * | 2017-10-26 | 2018-03-16 | 江苏新广联半导体有限公司 | 一种微型薄膜外延结构层转移方法 |
CN110379760A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-10-25 | 深超光电(深圳)有限公司 | 发光元件的转移方法、显示面板及其制备方法、基板 |
CN110416122A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-05 | 深超光电(深圳)有限公司 | 发光元件的转移方法、显示面板及其制备方法、基板 |
CN110416124A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-05 | 深超光电(深圳)有限公司 | Led的转移方法及led显示面板的制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003077940A (ja) * | 2001-09-06 | 2003-03-14 | Sony Corp | 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法 |
JP2003323132A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Sony Corp | 薄膜デバイスの製造方法および半導体装置 |
JP2003332523A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Sony Corp | 素子の転写方法、素子の配列方法及び画像表示装置の製造方法 |
JP2005093625A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Sony Corp | 薄膜半導体デバイスの製造方法、薄膜半導体デバイス及び液晶ディスプレイ |
JP2008177553A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
-
2008
- 2008-08-18 JP JP2008209730A patent/JP2010045287A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003077940A (ja) * | 2001-09-06 | 2003-03-14 | Sony Corp | 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法 |
JP2003323132A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Sony Corp | 薄膜デバイスの製造方法および半導体装置 |
JP2003332523A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Sony Corp | 素子の転写方法、素子の配列方法及び画像表示装置の製造方法 |
JP2005093625A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Sony Corp | 薄膜半導体デバイスの製造方法、薄膜半導体デバイス及び液晶ディスプレイ |
JP2008177553A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2582160C2 (ru) * | 2011-04-11 | 2016-04-20 | Ндсю Рисёрч Фаундейшн | Избирательный лазерно-стимулированный перенос дискретных компонентов |
KR20180002732A (ko) * | 2015-04-28 | 2018-01-08 | 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오 | 플래쉬 램프를 이용하여 칩들을 무접촉 방식으로 전달하고 솔더링하기 위한 장치 및 방법 |
JP2018519654A (ja) * | 2015-04-28 | 2018-07-19 | ネーデルランドセ・オルガニサティ・フォール・トゥーヘパスト−ナトゥールウェテンスハッペライク・オンデルズーク・テーエヌオー | フラッシュランプを使用してチップを非接触移送およびはんだ付けするための装置および方法 |
KR102482399B1 (ko) | 2015-04-28 | 2022-12-28 | 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오 | 플래쉬 램프를 이용하여 칩들을 무접촉 방식으로 전달하고 솔더링하기 위한 장치 및 방법 |
CN107768297A (zh) * | 2016-08-16 | 2018-03-06 | 美科米尚技术有限公司 | 半导体结构的转移方法 |
CN107768297B (zh) * | 2016-08-16 | 2021-01-05 | 美科米尚技术有限公司 | 半导体结构的转移方法 |
CN107808911A (zh) * | 2017-10-26 | 2018-03-16 | 江苏新广联半导体有限公司 | 一种微型薄膜外延结构层转移方法 |
CN110379760A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-10-25 | 深超光电(深圳)有限公司 | 发光元件的转移方法、显示面板及其制备方法、基板 |
CN110416122A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-05 | 深超光电(深圳)有限公司 | 发光元件的转移方法、显示面板及其制备方法、基板 |
CN110416124A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-05 | 深超光电(深圳)有限公司 | Led的转移方法及led显示面板的制备方法 |
CN110379760B (zh) * | 2019-07-05 | 2021-04-02 | 深超光电(深圳)有限公司 | 发光元件的转移方法、显示面板及其制备方法、基板 |
CN110416122B (zh) * | 2019-07-05 | 2021-06-29 | 深超光电(深圳)有限公司 | 发光元件的转移方法、显示面板及其制备方法、基板 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5444798B2 (ja) | 素子の移載方法 | |
US11804397B2 (en) | Parallel assembly of discrete components onto a substrate | |
JP2010045287A (ja) | 素子の移載方法 | |
KR100853410B1 (ko) | 소자의 전사방법 및 이를 이용한 소자의 배열방법,화상표시장치의 제조방법 | |
JP3608615B2 (ja) | 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法 | |
JP7252032B2 (ja) | 転写基板ならびにこれを用いた実装方法および画像表示装置の製造方法 | |
TW202006987A (zh) | 使用基於光之脫膠之微型led轉移方法 | |
US20100186883A1 (en) | Method of transferring a device and method of manufacturing a display apparatus | |
US11201077B2 (en) | Parallel assembly of discrete components onto a substrate | |
JP3994681B2 (ja) | 素子の配列方法及び画像表示装置の製造方法 | |
JP2003077940A (ja) | 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法 | |
JP2002182580A (ja) | 素子の選択転写方法、画像表示装置の製造方法及び液晶表示装置の製造方法 | |
WO2002086964A1 (fr) | Procede de cablage et procede d'agencement d'elements faisant appel a ce dernier et procede de production de dispositifs d'affichage d'images | |
JP2002344011A (ja) | 表示素子及びこれを用いた表示装置 | |
JP2003007986A (ja) | 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法 | |
JP2003347524A (ja) | 素子の転写方法、素子の配列方法及び画像表示装置の製造方法 | |
JP2002368282A (ja) | 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法 | |
JP2003332523A (ja) | 素子の転写方法、素子の配列方法及び画像表示装置の製造方法 | |
JP2002343944A (ja) | 電子部品の転写方法及び素子の配列方法、画像表示装置の製造方法 | |
JP2020167251A (ja) | 転写基板ならびにこれを用いた実装方法および画像表示装置の製造方法 | |
JP2008122681A (ja) | 物品の実装方法、発光ダイオード表示装置の製造方法、及び、物品中間物の仮固定用基板への仮固定方法 | |
JP2020145243A (ja) | チップ転写板ならびにチップ転写方法、画像表示装置の製造方法および半導体装置の製造方法 | |
JP2002314053A (ja) | チップ部品の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法 | |
WO2019123901A1 (ja) | 実装方法および実装装置 | |
JP2019220666A (ja) | 半導体素子形成サファイア基板、及び前記半導体素子形成サファイア基板の製造方法、並びに前記半導体素子の転写方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100908 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130730 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130830 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131217 |