KR100775846B1 - 디스플레이 소자 제조용 마스크 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 당김력이 작용할 때 각 그릴부를 구성하는 모든 그릴의 변형을 보상하며, 그로 인하여 그릴들 간의 변형량 차이를 최소화할 수 있는 구조의 마스크를 개시한다. 본 발명에 따른 디스플레이 소자 제조용 마스크는 부재를 관통하는 적어도 하나 이상의 그릴로 이루어진 다수의 그릴부를 포함하되, 최외곽 그릴부 중 적어도 하나의 그릴부에서 적어도 하나의 그릴이 경사진 형태로 구성된다. 여기서, 경사진 그릴이 포함된 그릴부는 부재의 코너부에 형성된 그릴부 중 하나이며, 각 그릴부의 전체 그릴들 중 외측 방향쪽에 위치하는 절반 이하의 수의 그릴이 경사진 구조를 갖는다. 또한, 코너부 중 상단 코너부에 형성된 그릴부의 그릴은 그 하부가 마스크의 내측 방향을 향하여 경사진 구조를 가지며, 하단 코너부에 형성된 그릴부의 그릴은 그 하부가 마스크의 외측 방향을 향하여 경사진 구조를 갖다.
유기 전계 발광 소자, 마스크

Description

디스플레이 소자 제조용 마스크{Mask for manufacturing display device}
도 1은 유기 전계 발광 소자의 제조 공정에 사용되는 일반적인 마스크의 평면도.
도 2는 도 1의 "B"부의 상세도.
도 3a는 마스크에 형성된 어느 한 상단 코너부에 형성된 그릴부를, 도 3b는 하단 코너부에 형성된 그릴부를 각각 도시한 도면.
도 4a 및 도 4b는 도 3a 및 도 3b의 대응 도면으로서, 도 4a는 본 발명에 따른 마스크의 좌측부의 상단 코너부에 배치된 그릴부를, 도 4b는 하단 코너부에 형성된 그릴부를 각각 도시한 도면.
도 5a 및 도 5b는 도 4a 및 도 4b와 동일한 도면으로서, 각 그릴의 경사각도를 표시함.
본 발명은 디스플레이 소자 제조용 마스크에 관한 것으로서, 특히 각 그릴부를 구성하는 그릴의 변형을 보상할 수 있는 구조를 갖는 마스크에 관한 것이다.
디스플레이 소자의 한 종류인 유기 전계 발광 소 자를 제조하는 공정에서는 기판의 각 소자 영역(이하, "액티브(active) 영역"이라 칭함) 상에 R(red), G(green), B(blue) 계열의 유기 EL층(3)을 형성하는 공정에서는 마스크(mask)가 이용된다.
도 1은 유기 전계 발광 소자의 제조 공정에서 사용되는 일반적인 마스크의 평면도로서, 글라스 기판의 전체 면적과 대응하는 규격의 마스크(10)에는 기판의 예정된 액티브 영역들과 각각 대응하는 다수의 그릴(grille)부(12, 12-1 및 13, 13-1)들이 형성되어 있다.
도 2는 도 1의 "B"부의 상세도로서, 마스크(10)의 좌측부 상단 코너부에 형성된 그릴부(12)의 세부적인 구성을 도시한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 그릴부(12)는 기본 부재(11)를 관통하는 다수의 그릴(12A-1 내지 12A-5; 패턴)로 이루어진다.
각 그릴(12A-1 내지 12A-5)은 일정 길이 및 폭을 가지며, 이웃하는 그릴과는 일정한 간격을 두고 평행한 상태로 배치된다. 증착원에서 발생된 R, G, 또는 B 계열의 유기물 증착 재료 증기가 각 그릴(12A-1 내지 12A-5)을 통과하여 기판에 도달한다.
이와 같은 구조를 갖는 마스크를 이용하여 증착 공정을 수행하기 전에, 스크스트레칭 장치(stretcher)를 이용하여 마스크(10)를 각 방향으로 잡아당겨 마스크(10)의 전체 면에 걸쳐 균일한 장력을 갖게 한다.
즉, 다수의 그립퍼(gripper; 도시되지 않음)를 마스크(10)의 외곽부에 고정시킨 상태에서 그립퍼를 마스크(10)의 외측으로 잡아당기며(도 1의 화살표 방향), 따라서 마스크(10)의 전체 면에는 균일한 장력 분포가 나타남으로써 마스크 기본 부재(11)의 처짐 및 휘어짐과 같은 변형은 발생하지 않는다.
이와 같은 상태에서 마스크(10)를 사각 프레임(도시되지 않음)에 고정(예를 들어, 초음파 용접)시키며, 이후 절단 예정선(L)을 따라서 절단 공정을 수행하여 그릴부가 형성되지 않은 기본 부재(11)의 외곽부를 제거하며, 이와 같은 공정에 의하여 구성된 마스크(10; 프레임에 고정된 상태임)를 이용한 유기 EL층 형성 공정을 진행한다.
상술한 바와 같은 마스크(10)의 스트레칭 공정에서, 마스크(10)의 각 에지에는 구동 수단에 연결된 다수의 그립퍼가 물려지며, 각 그립퍼는 도 1의 각 화살표 방향으로 마스크(10)를 잡아당기게 된다.
그러나, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 마스크(10)의 스트레칭 공정 과정에서 마스크(10)의 기본 부재(11)에 형성된 다수의 그릴(12A-1 내지 12A-5)은 가해지는 외력에 의한 변형(찌그러짐)이 필연적으로 발생한다.
도 3는 그립퍼에 의하여 가해진 당김력이 작용하는 각 코너부에 형성된 그릴부)의 부분 상세도로서, 도 3a는 도 2에 도시된 마스크(10)의 좌측부 상단 코너부에 형성된 그릴부(12)를, 도 3b는 좌측부 하단 코너부에 형성된 그릴부(13)를 각각 도시한다.
한편, 도 3a 및 도 3b에서의 화살표는 마스크(10)의 에지부에 물려진 그립퍼를 통하여 가해지는 당김력의 방향을 지시한다.
도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 기본 부재(11)의 상단 및 하단 코너부 에 형성된 그릴부(12 및 13)의 상단 및 하단부에는 절개되지 않은, 즉 그릴이 형성되지 않은 영역(도 3a의 11-1 및 도 3b의 11-2; 이하, "솔리드 영역"이라 칭함)이 존재하며, 스트레칭 공정시 이 솔리드 영역(11-1 및 11-2)에 의하여 각 그릴부(12 및 13)를 구성하는 그릴(12A-1 내지 12A-5, 13A-1 내지 13A-5)의 변형 상태는 다르게 나타난다.
즉, 그립퍼에 의한 당김력이 각 그릴에 작용할 때, 상단 코너부에 형성된 그릴부(12)의 각 그릴(12A-1 내지 12A-5)은 솔리드 영역(11-1)과 대응하는 상부는 거의 변형이 일어나지 않으나, 그 하부는 외측으로 이동된 상태로 변형(도 3a에서 점선으로 도시됨)된다.
이와 반대로, 당김력이 작용할 때, 하단 코너부에 형성된 그릴부(13)의 각 그릴(13A-1 내지 13A-5)에서 솔리드 영역(11-2)과 대응하는 하부는 거의 변형이 일어나지 않으나, 상부가 외측으로 이동된 상태로 변형(도 3b에서 점선으로 도시)된다.
이와 함께, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 동일 그릴부(12, 13)일지라도 외측에 위치한 그릴(예를 들어, 12A-1 및 13A-1)이 먼저 당김력이 작용하여 변형되기 때문에 그 내측에 위치한 그릴(12A-2 내지 12A-5 및 13A-2 내지 13A-5)에는 보다 작은 크기의 당김력이 작용하며, 따라서 적은 변형량이 나타난다.
또한, 기본 부재(11)의 상단 코너부에 형성된 그릴부(12)에 이웃한 그릴부(도 1의 12-1)에 당김력이 작용할 때, 위에서 설명한 바와 마찬가지로 그릴부(12-1)의 각 그릴 중에서 솔리드 영역(11-1)에 인접한 부분, 즉 상부의 변형보다는 하 부의 변형이 크게 발생한다. 마찬가지로, 상단 코너부에 형성된 그릴부(13)에 이웃한 그릴부(도 1의 13-1)에 당김력이 작용할 때, 위에서 설명한 바와 마찬가지로 그릴부(13-1)의 각 그릴 중에서 솔리드 영역(13-1)에 인접한 부분, 즉 하부의 변형보다는 상부의 변형이 크게 나타난다.
한편, 도 1의 우측부의 상단 및 하단 코너부에 형성된 그릴부에서는 도 3a 및 도 3b에 도시된 방향과 반대 방향(당김력 작용 방향)으로 동일한 현상이 발생한다.
이와 같은 그릴의 변형 상태를 갖는 마스크(10)를 이용하여 기판에 미세 폭의 유기EL층을 정확하게 형성할 수 없다. 따라서 마스크(10)의 스트레칭 과정에서당김력이 수직으로 작용하는, 각 코너부를 포함한 최외곽부에 형성된 그릴부(12 및 13, 12-1 및 13-1)의 각 그릴(12A-1 내지 12A-5 및 13A-1 내지 13A-5)의 변형 및 각 그릴(12A-1 내지 12A-5 및 13A-1 내지 13A-5) 간의 변형량의 차이를 최소화시키는 것이 바람직하다.
본 발명은 마스크의 스트레칭 과정에서 발생하는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 당김력이 작용할 때 각 그릴부를 구성하는 모든 그릴의 변형을 보상하며, 그로 인하여 그릴들 간의 변형량 차이를 최소화할 수 있는 구조의 마스크를 제공하는데 그 목적이 있다.
위와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명에 다른 마스크는 부재를 관통하는 적어도 하나 이상의 그릴로 이루어진 다수의 그릴부를 포함하되, 최외곽 그릴부 중 적어도 하나의 그릴부에서 적어도 하나의 그릴이 경사진 형태로 구성된다.
여기서, 경사진 그릴이 포함된 그릴부는 부재의 코너부에 형성된 그릴부 중 하나이며, 각 그릴부의 전체 그릴들 중 외측 방향쪽에 위치하는 절반 이하의 수의 그릴이 경사진 구조를 갖는다.
또한, 코너부 중 상단 코너부에 형성된 그릴부의 그릴은 그 하부가 마스크의 내측 방향을 향하여 경사진 구조를 가지며, 하단 코너부에 형성된 그릴부의 그릴은 그 하부가 마스크의 외측 방향을 향하여 경사진 구조를 갖는다.
이하, 본 발명에 따른 디스플레이 소자 제조용 마스크의 구조를 첨부한 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 마스크는 기판의 예정된 액티브 영역들과 각각 대응하는 다수의 그릴부를 포함하며, 각 그릴부는 마스크의 기본 부재에 형성된 다수의 그릴(패턴)로 이루어진다. 각 그릴은 일정 길이 및 폭을 갖는다.
도 4은 마스크의 일부분을 도시한 도면으로서, 위에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 마스크의 기본 부재에 형성된 어느 한 그릴부의 구성을 상세하게 도시하고 있다. 여기서, 도 4a는 마스크의 좌측부의 상단 코너부에 위치한 그릴부를, 도 4b는 좌측부의 하단 코너부에 형성된 그릴부를 각각 도시한다.
본 발명에 따른 마스크(100)의 가장 큰 특징은 상단 코너부에 배치된 그릴부(112)를 구성하는 각 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3, 112A-4 및 112A-5)의 일부(또는 전부) 및 하단 코너부에 배치된 그릴부(113)를 구성하는 각 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3, 113A-4 및 113A-5)의 일부 또는 전부를 경사지게 구성한 것이다.
이러한 구조를 갖는 그릴부의 구성을 상세히 설명한다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 마스크(100)를 구성하는 기본 부재(111)의 좌측부 상단 코너부에 형성된 그릴부(112)에는 다수의 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3, 112A-4 및 112A-5)이 형성되어 있다.
각 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3, 112A-4 및 112A-5)들 중 당김력(화살표 방향)이 가해지는 외측의 그릴(예를 들어, 112A-1, 112A-2, 112A-3)은 당김력의 작용 방향과 반대 방향인 내측 방향으로 경사진 구조를 갖는다.
위에서 설명한 바와 같이, 그릴부(112) 상부에 존재하는 절개부가 구성되지 않은 영역(111-1; 이하, "솔리드 영역"이라 칭함)에 인접한 각 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3)의 상부의 변형량은 거의 나타나지 않으나, 하부는 비교적 크게 변형된다.
본 발명에서는 이러한 변형의 차이를 보완하기 위하여 각 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3)의 영역 중에서 솔리드 영역(111-1)에서 멀리 이격된 부분(즉, 하부)을 당김력에 의한 변형 방향과 반대 방향으로 경사지게 구성하였다.
여기서, 도 5a에 도시된 바와 같이, 각 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3) 중, 가장 먼저 당김력이 가해지는 최외측 제 1 그릴(112A-1)의 경사각(A1)은 그 내측의 제 2 그릴(112A-2)의 경사각(A2)보다 크며, 또한 제 2 그릴(112A-2)의 경사각(A2)은 그 내측의 제 3 그릴(112A-3)의 경사각(A3)보다 크다.
참고로, 도 5a는 도 4a와 동일한 도면으로서, 도면의 복잡함을 해소하기 위 하여 각 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3)의 경사 각도만을 별도로 도시하였다. 위에서 언급한 "경사각"은 도 5a에 도시된 바와 같이 각 그릴의 상단(도 5a 기준)에서 수직 연장된 가상선과 그릴 간의 각도를 의미한다.
위와 같은 조건에 의하여, 그릴들(112A-1, 112A-2, 112A-3, 112A-4 및 112A-5)의 상단 사이의 간격(a)는 동일하나, 하단 사이의 간격은 내측으로 갈수록 점차적으로 작아진다. 다시 말해, 제 1 그릴(112A-1) 하단과 제 2 그릴(112A-2) 하단 사이의 간격(a-1)은 제 2 그릴(112A-2) 하단과 제 3 그릴(112A-3) 하단 사이의 간격(a-2)의 보다 크며, 제 2 그릴(112A-2) 하단과 제 3 그릴(112A-3) 하단 사이의 간격(a-2)은 내측의 제 3 그릴(112A-3)과 제 4 그릴(112A-4) 하단 사이의 간격(a-3)보다 크다.
여기서, 당김력과 수직 상태로 형성된 다른 그릴(112A-4 및 112A-5)은 당김력의 크기에 따라 동일한 방향으로 경사진 상태로 형성될 수 있으며, 이때의 경사도는 제 3 그릴(112A-3)의 경사도보다 작아야 함은 물론이다.
한편, 위의 조건과 달리 최외측의 제 1 그릴(112A-1), 그 내측의 제 2 그릴(112A-2) 및 제 3 그릴(112A-3)의 경사각을 동일하게 구성할 수도 있다.
이러한 구조를 갖는 상단 코너부에 형성된 그릴부(112)에 마스크의 스트레칭을 위한 당김력(화살표로 표시됨)이 작용하면, 그릴부(112)의 그릴들 중 외측부에 위치한 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3)의 상부는 솔리드 영역(111-1)에 의하여 거의 변형되지 않으며, 또한 하부는 당김력에 의하여 외측을 향하여 이동된 상태로 변형(도 4a에서 점선으로 도시됨)된다.
이때, 각 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3)의 하부는 상부에 대하여 내측을 향하여 경사지게 형성되어 있는 구조이기 때문에 당김력에 의하여 변형이 이루어진 상태에서 외측의 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3)은 그 내측의 그릴(112A-4 및 112A-5) 또는 내측의 다른 그릴부(도시되지 않음)의 그릴과 평행을 이루게 된다.
따라서, 당김력에 의하여 각 그릴(112A-1 내지 112A-5)이 변형될지라도 변형된 그릴들은 당김력이 전달되지 않은, 다른 정상적인 그릴의 형상과 동일한 형상을 유지하게 된다.
한편, 위의 설명에서는 당김력이 집중적으로 작용하는 외측의 일부 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3; 전체 그릴의 약 절반의 그릴)만이 경사진 상태로 구성되어 있음을 설명하였으나, 그릴부의 모든 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3, 112A-4 및 112A-5)를 경사진 구조로 형성할 수 있다.
또한, 기본 부재(111)의 상단 코너부에 형성된 그릴부(112)에 이웃한 그릴부를 도 4a와 같은 구조로 형성함으로서 당김력이 작용할 때, 그릴부의 각 그릴 중에서 솔리드 영역과 멀리 떨어진 부분, 즉 하부의 변형을 보상할 수 있다.
이와 함께, 도 4b에 도시된 바와 같이, 마스크(100)를 구성하는 기본 부재(111)의 좌측부 하단 코너부 배치된 그릴부(113)의 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3, 113A-4 및 113A-5) 역시 당김력(화살표 방향)이 가해지는 외측의 그릴(예를 들어, 113A-1, 113A-2, 113A-3)은 당김력의 작용 방향과 반대 방향인 내측 방향으로 경사진 구조를 갖는다.
상단 코너부에 배치된 그릴부(112)와 마찬가지로, 각 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3, 113A-4 및 113A-5)의 영역 중에서 솔리드 영역(111-2)에서 멀리 이격된 부분(즉, 상부)을 당김력에 의한 변형 방향과 반대 방향으로 경사지게 구성하였으며, 따라서 각 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3, 113A-4 및 113A-5)에서의 변형량 차이를 보상할 수 있다.
여기서, 도 5b에 도시된 바와 같이, 각 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3) 중, 당김력이 가장 먼저 가해지는 최외측 제 1 그릴(113A-1)의 경사각(B1)은 그 내측의 제 2 그릴(113A-2)의 경사각(B2)보다 크며, 제 2 그릴(113A-2)의 경사각(B2)은 그 내측의 제 3 그릴(113A-3)의 경사각(B3)보다 크다.
참고로, 도 5b는 도 4b와 동일한 도면으로서, 도면의 복잡함을 해소하기 위하여 각 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3)의 경사 각도만을 별도로 표시하였다. 위에서 언급한 "경사각"은 도 5b에 도시된 바와 같이 각 그릴의 하단(도 5b 기준)에서 수직 연장된 가상선과 각 그릴 간의 각도를 의미한다.
이러한 조건에 의하여, 그릴들(113A-1, 113A-2, 113A-3, 113A-4 및 113A-5)의 하단 사이의 간격(b)은 동일하나, 상단 사이의 간격은 내측으로 갈수록 점차적으로 작아진다. 다시 말해, 제 1 그릴(113A-1) 상단과 제 2 그릴(113A-2) 상단 사이의 간격(b-1)은 제 2 그릴(113A-2) 상단과 제 3 그릴(113A-3) 상단 사이의 간격(b-2)의 보다 크며, 제 2 그릴(113A-2) 상단과 제 3 그릴(113A-3) 상단 사이의 간격(b-2)은 내측의 제 3 그릴(113A-3)과 제 4 그릴(113A-4) 하단 사이의 간격(b-3)보다 크다.
여기서, 당김력과 수직 상태로 형성된 다른 그릴(113A-4 및 113A-5)은 당김 력의 크기에 따라 동일한 방향으로 경사진 상태로 형성될 수 있으며, 이때의 경사도는 제 3 그릴(113A-3)의 경사도보다 작아야 함은 물론이다.
한편, 위의 조건과 달리 최외측의 제 1 그릴(113A-1), 그 내측의 제 2 그릴(113A-2) 및 제 3 그릴(113A-3)의 경사각을 동일하게 구성할 수도 있다.
이러한 구조를 갖는 하단 코너부에 형성된 그릴부(113)의 상단부에 마스크의 스트레칭을 위한 당김력(화살표로 표시됨)이 작용하면, 그릴부(113)의 그릴들 중 외측부에 위치한 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3)의 상부가 당김력에 의하여 외측을 향하여 이동된 상태로 변형(도 4b에서 점선으로 도시됨)된다.
이때, 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3)의 상부는 하부에 대하여 내측을 향하여 경사지게 형성되어 있는 구조이기 때문에 당김력에 의하여 변형이 이루어진 상태에서 외측 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3)은 그 내측의 그릴(113A-4 및 113A-5) 또는 내측의 다른 그릴부(도시되지 않음)의 그릴과 평행을 이루게 된다.
따라서, 당김력에 의하여 각 그릴(113A-1 내지 113A-3)이 변형될지라도 변형 후의 상태가 다른 정상적인(즉, 변형되지 않는) 그릴과 동일한 형상을 갖게 된다.
한편, 도 4b에서는 당김력이 집중적으로 작용하는 외측의 일부 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3; 전체 그릴의 약 절반의 그릴)만이 경사진 상태로 구성되어 있음을 나타내고 있으나, 그릴부의 모든 그릴(113A-1, 113A-2, 113A-3, 113A-4 및 113A-5)를 경사진 구조로 형성할 수 있다.
또한, 기본 부재(111)의 하단 코너부에 형성된 그릴부(113)에 이웃한 그릴부를 도 4b와 같은 구조로 형성함으로서 당김력이 작용할 때, 그릴부의 각 그릴 중에 서 솔리드 영역과 멀리 떨어진 부분, 즉 상부의 변형을 보상할 수 있다.
이와 같은 구조를 갖는 마스크(100)에 대한 스트레칭 공정이 진행되는 과정에서 각 코너부에 형성된 그릴부(112 및 113)의 각 그릴(112A-1, 112A-2, 112A-3, 112A-4, 112A-5 및 113A-1, 113A-2, 113A-3, 113A-4, 113A-5)에 변형이 발생할지라도 그 변형 후의 상태가 변형되지 않은 정상적인 그릴들과 평행한, 즉 정상적인 그릴과 동일한 형상을 갖게 된다.
따라서, 마스크(100)를 이용한 막 형성 공정시 기판의 정확한 위치에 변형되지 않은 그릴의 형상과 동일한 형상의 막을 형성할 수 있다.
한편, 위의 설명에서는 마스크의 좌측부(도 1 기준)의 상단 및 하단 코너부에 형성된 그릴부만을 설명하였으나, 당김력이 반대 방향으로 작용하는 마스크 우측부의 상단 및 하단 코너부에 형성된 그릴부의 각 그릴을 대칭적인 형상을 갖도록 구성해야 함은 물론이다.
위에 설명된 예시적인 실시예는 제한적이기보다는 본 발명의 모든 관점들 내에서 설명적인 것이 되도록 의도되었다. 따라서 본 발명은 본 기술 분야의 숙련된 자들에 의하여 본 명세서 내에 포함된 설명으로부터 얻어질 수 있는 많은 변형과 상세한 실행이 가능하다. 다음의 청구범위에 의하여 한정된 바와 같이 이러한 모든 변형과 변경은 본 발명의 범위 및 사상 내에 있는 것으로 고려되어야 한다.
이상과 같은 본 발명에 따른 디스플레이 소자 제조용 마스크는 스트레칭 공정시 그릴부들을 구성하는 그릴이 변형된 후에도 당김력이 가해지지 않은 그릴과 동일한 형상을 갖는 정상적인 그릴 상태를 유지함으로써 기판 상의 정확한 위치에 정확한 형상의 재료층을 형성할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (7)

  1. 기판에 재료층을 형성하기 위하여 사용되는 마스크에 있어서,
    부재를 관통하는 복수의 그릴로 이루어진 복수의 그릴부를 포함하되, 최외곽 그릴부 중 일부의 그릴부에서 일부의 그릴이 경사진 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서, 경사진 그릴이 포함된 그릴부는 부재의 코너부에 형성된 그릴부 중 하나인 것을 특징으로 하는 마스크.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 경사진 그릴은 해당 그릴부의 전체 그릴들 중 외측 방향쪽에 위치하는 절반 이하의 수의 그릴인 것을 특징으로 하는 마스크.
  4. 제 2 항에 있어서, 코너부 중 상단 코너부에 형성된 그릴부의 그릴은 그 하부가 마스크의 내측 방향을 향하여 경사진 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 마스크.
  5. 제 2 항에 있어서, 코너부 중 하단 코너부에 형성된 그릴부의 그릴은 그 상부가 마스크의 내측 방향을 향하여 경사진 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 마스크.
  6. 제 1 항에 있어서, 경사진 그릴을 포함하는 그릴부 내에서, 마스크 외측 방향의 경사진 그릴의 경사각이 마스크 내측 방향의 경사진 그릴의 경사각보다 큰 것을 특징으로 하는 마스크.
  7. 제 1 항에 있어서, 재료층은 유기층인 것을 특징으로 하는 마스크.
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