JPH1117313A - スクリーン印刷用ソリッドメタルマスク - Google Patents
スクリーン印刷用ソリッドメタルマスクInfo
- Publication number
- JPH1117313A JPH1117313A JP16373597A JP16373597A JPH1117313A JP H1117313 A JPH1117313 A JP H1117313A JP 16373597 A JP16373597 A JP 16373597A JP 16373597 A JP16373597 A JP 16373597A JP H1117313 A JPH1117313 A JP H1117313A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mesh
- pattern
- metal mask
- angle
- printed
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- Pending
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- Screen Printers (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】スクリーン印刷用のメタルマスクでのペースト
の転写量の向上、機械的強度の向上を図る。 【解決手段】電鋳またはエッチング法により形成された
メッシュ（１６）を印刷パターンに対して３０〜６７．
５°の角度で交互に配置する。パターン形状によって
は、（１７）のごとくメッシュを互い違いに配置する。
これによりペーストの転写量の向上とスクリーの機械的
強度が向上しメッシュ破断を防止する。
の転写量の向上、機械的強度の向上を図る。 【解決手段】電鋳またはエッチング法により形成された
メッシュ（１６）を印刷パターンに対して３０〜６７．
５°の角度で交互に配置する。パターン形状によって
は、（１７）のごとくメッシュを互い違いに配置する。
これによりペーストの転写量の向上とスクリーの機械的
強度が向上しメッシュ破断を防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、厚膜、プリント配
線などのスクリーン印刷法でパターン形成に用いられる
スクリーン印刷用メタルマスクに関する。
線などのスクリーン印刷法でパターン形成に用いられる
スクリーン印刷用メタルマスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】スクリーン印刷用のメタルマスクは、既
製のステンレスメッシュに電鋳で形成したステンシル
（印刷パターン）を形成したサスペンドメタルマスク
と、メッシュとステンシルを電鋳あるいはエッチング法
で形成したソリッドメタルマスクが１９７０年代に開発
された。
製のステンレスメッシュに電鋳で形成したステンシル
（印刷パターン）を形成したサスペンドメタルマスク
と、メッシュとステンシルを電鋳あるいはエッチング法
で形成したソリッドメタルマスクが１９７０年代に開発
された。
【０００３】現在サスペンドメタルマスクは、電子材料
１９８９年５月号Ｐ２０，Ｐ７９に述べられているよう
に一部の高精度印刷に用いられている。しかし、配線幅
が５０μｍ以下で印刷膜厚の向上が要求され、さらに斜
め配線が必要な印刷パターンも要求されている現在、対
応できなくなっている。一方ソリッドメタルマスクは、
高価格でメッシュ破断が起こりやすいため、メッシュを
必要とせず、パターンが簡単なハンダペーストの印刷な
どで実用化されている。
１９８９年５月号Ｐ２０，Ｐ７９に述べられているよう
に一部の高精度印刷に用いられている。しかし、配線幅
が５０μｍ以下で印刷膜厚の向上が要求され、さらに斜
め配線が必要な印刷パターンも要求されている現在、対
応できなくなっている。一方ソリッドメタルマスクは、
高価格でメッシュ破断が起こりやすいため、メッシュを
必要とせず、パターンが簡単なハンダペーストの印刷な
どで実用化されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】スクリーン印刷では図
２に示すように印刷機の印刷台１に被印刷物２を固定
し、この被印刷物とスクリーン版３と１〜３ｍｍ隙間を
あけて固定する。このスクリーン版上にペースト４をお
いてスキージをａ方向に移動させ、ペーストをメッシュ
から押しだし所望のパターンを印刷する。
２に示すように印刷機の印刷台１に被印刷物２を固定
し、この被印刷物とスクリーン版３と１〜３ｍｍ隙間を
あけて固定する。このスクリーン版上にペースト４をお
いてスキージをａ方向に移動させ、ペーストをメッシュ
から押しだし所望のパターンを印刷する。
【０００５】このような印刷に用いるスクリーン版は、
図３に示すようなスクリーン版で５０μｍの配線パター
ンを印刷した場合、図４に示すようにメッシュの影響で
メッシュに対応して膜厚の薄いところ（１０）や欠け
（１１）断線（１２）が起こりやすく、印刷線幅が５０
μｍ以下では図３（７）に示すようにメッシュが印刷パ
ターン上を塞ぎペーストが通過しにくくなる。このよう
な場合、図５に示すような印刷パターン（７）に対応し
てメッシュ（６）を配置できるソリッドメタルマスクが
有利である。
図３に示すようなスクリーン版で５０μｍの配線パター
ンを印刷した場合、図４に示すようにメッシュの影響で
メッシュに対応して膜厚の薄いところ（１０）や欠け
（１１）断線（１２）が起こりやすく、印刷線幅が５０
μｍ以下では図３（７）に示すようにメッシュが印刷パ
ターン上を塞ぎペーストが通過しにくくなる。このよう
な場合、図５に示すような印刷パターン（７）に対応し
てメッシュ（６）を配置できるソリッドメタルマスクが
有利である。
【０００６】しかし、ソリッドメタルマスクは、メッシ
ュ径（１３）を細くしたり、メッシュピッチ（１４）を
大きくするなどメッシュの開孔径（１５）を大きくする
と印刷時にメッシュ破断が起こりやすい。また図５に示
すように印刷パターンがゆがまないよう印刷パターンに
対して９０°の角度でメッシュを配置しているためメッ
シュに対応して印刷膜厚が薄くなる。
ュ径（１３）を細くしたり、メッシュピッチ（１４）を
大きくするなどメッシュの開孔径（１５）を大きくする
と印刷時にメッシュ破断が起こりやすい。また図５に示
すように印刷パターンがゆがまないよう印刷パターンに
対して９０°の角度でメッシュを配置しているためメッ
シュに対応して印刷膜厚が薄くなる。
【０００７】本発明の目的は、ソリッドメタルマスクに
おいて、メッシュ径を細く、メッシュピッチを大きくし
てメッシュ開口部を大きくし、さらに印刷パターンに対
するメッシュの角度を変え、なおかつ隣のパターンのメ
ッシュ角度を逆方向に同角で配置することにより、ペー
ストの転写量の向上とスクリーンの機械的強度を向上し
たスクリーン印刷用メタルマスクを提供することにあ
る。
おいて、メッシュ径を細く、メッシュピッチを大きくし
てメッシュ開口部を大きくし、さらに印刷パターンに対
するメッシュの角度を変え、なおかつ隣のパターンのメ
ッシュ角度を逆方向に同角で配置することにより、ペー
ストの転写量の向上とスクリーンの機械的強度を向上し
たスクリーン印刷用メタルマスクを提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のソリッドメタル
マスクは、図５に示すように配線パターン（７）に対し
てメッシュ角度ｂをかえ、さらに径を小さくメッシュピ
ッチを大きくしてペーストの転写量を多くする。また図
１のメッシュ（１６，１７）のように隣の配線パターン
部と逆方向にメッシュ角度を変えると同時にメッシュ
（１７）のように隣のメッシュの中間の位置に交互にメ
ッシュを配置する
マスクは、図５に示すように配線パターン（７）に対し
てメッシュ角度ｂをかえ、さらに径を小さくメッシュピ
ッチを大きくしてペーストの転写量を多くする。また図
１のメッシュ（１６，１７）のように隣の配線パターン
部と逆方向にメッシュ角度を変えると同時にメッシュ
（１７）のように隣のメッシュの中間の位置に交互にメ
ッシュを配置する
【０００９】
〔実施例１〕ソリッドメタルマスクは、図５に示すよう
に、メッシュ（６）及び配線パターン（７）を電鋳やほ
とエッチング法で形成したマスクシートを、スクリーン
枠に４方向あるいは２方向に固定するか、あらかじめマ
スクシートの機材をスクリーン枠に固定した後メッシュ
及び配線パターンを形成した。
に、メッシュ（６）及び配線パターン（７）を電鋳やほ
とエッチング法で形成したマスクシートを、スクリーン
枠に４方向あるいは２方向に固定するか、あらかじめマ
スクシートの機材をスクリーン枠に固定した後メッシュ
及び配線パターンを形成した。
【００１０】このメタルマスクの配線パターン幅は５０
μｍでメッシュは配線パターンに対して４５°の角度で
配置しメッシュピッチは２００μｍである。このスクリ
ーン版を用いて市販の導体ペーストを印刷した結果、ゴ
ムスキージでも多少印刷位置ずれは起こるが５０μｍの
配線印刷は良好であった。
μｍでメッシュは配線パターンに対して４５°の角度で
配置しメッシュピッチは２００μｍである。このスクリ
ーン版を用いて市販の導体ペーストを印刷した結果、ゴ
ムスキージでも多少印刷位置ずれは起こるが５０μｍの
配線印刷は良好であった。
【００１１】〔実施例２〕実施例１と同様の製法で１２
０×１２０ｍｍのエリアに２５０μｍピッチで４０μｍ
幅の配線印刷パターンを形成し、メッシュは、メッシュ
径２０〜４０μｍ、メッシュピッチ２００〜１０００μ
ｍで形成し、メッシュパターンは図１（１６）に示すよ
うに、配線パターンに対応して配置した。メッシュ線
は、配線パターンに対して３０〜６７．５°の角度で配
置し、平行する隣の配線パターンには１１２．５〜１３
５°と平行する配線パターンに対して隣同士角度を交互
に変えて配置した。
０×１２０ｍｍのエリアに２５０μｍピッチで４０μｍ
幅の配線印刷パターンを形成し、メッシュは、メッシュ
径２０〜４０μｍ、メッシュピッチ２００〜１０００μ
ｍで形成し、メッシュパターンは図１（１６）に示すよ
うに、配線パターンに対応して配置した。メッシュ線
は、配線パターンに対して３０〜６７．５°の角度で配
置し、平行する隣の配線パターンには１１２．５〜１３
５°と平行する配線パターンに対して隣同士角度を交互
に変えて配置した。
【００１２】作製したメタルマスクシートを寸法変化し
ない程度の低い張力で２方向または４方向に取り付け、
市販の導体ペーストを用いて印刷を行った。
ない程度の低い張力で２方向または４方向に取り付け、
市販の導体ペーストを用いて印刷を行った。
【００１３】スキージは、ウレタンゴム（ゴム硬度８０
〜９０）とメタル製スキージを使用し、スキージ速度１
０〜４０ｍｍ、スキージ加重５０〜３００ｇ／１ｃｍ、
アタック角１０〜６０°で印刷した。その結果、メッシ
ュ破断がなく、印刷配線幅４０〜４５μｍの範囲で印刷
膜厚も約３５μｍと良好であった。なお、メッシュ線径
は、２０μｍ未満はメッシュ形成が不安定で印刷時メッ
シュ破断が発生した。またメッシュ径４０μｍを超える
と、メッシュに対応して印刷膜厚の薄いところが発生し
やすい。メッシュピッチは、２００μｍ未満では印刷膜
厚が薄く、１０００μｍを超えると、スキージゴムの場
合、メッシュ開孔部で印刷膜厚が薄くなり、メッシュ破
断も起こりやすい。メッシュ径とメッシュピッチの関係
を考慮しても、メッシュ径が太くピッチは小さい場合、
印刷膜厚のばらつきが大きく、断線も発生した。
〜９０）とメタル製スキージを使用し、スキージ速度１
０〜４０ｍｍ、スキージ加重５０〜３００ｇ／１ｃｍ、
アタック角１０〜６０°で印刷した。その結果、メッシ
ュ破断がなく、印刷配線幅４０〜４５μｍの範囲で印刷
膜厚も約３５μｍと良好であった。なお、メッシュ線径
は、２０μｍ未満はメッシュ形成が不安定で印刷時メッ
シュ破断が発生した。またメッシュ径４０μｍを超える
と、メッシュに対応して印刷膜厚の薄いところが発生し
やすい。メッシュピッチは、２００μｍ未満では印刷膜
厚が薄く、１０００μｍを超えると、スキージゴムの場
合、メッシュ開孔部で印刷膜厚が薄くなり、メッシュ破
断も起こりやすい。メッシュ径とメッシュピッチの関係
を考慮しても、メッシュ径が太くピッチは小さい場合、
印刷膜厚のばらつきが大きく、断線も発生した。
【００１４】〔実施例３〕配線幅３０，４０，６０，８
０μｍで実施例２と同様の方法でメタルマスクシートを
作製した。この場合、メッシュは、図１（１７）に示し
たように実施例２のメッシュと同様に、図５（１６）に
示すように隣の配線パターン部と逆方向の角度でメッシ
ュを配置し、さらに隣のメッシュとメッシュの中間の位
置にメッシュを互い違いに配置した。
０μｍで実施例２と同様の方法でメタルマスクシートを
作製した。この場合、メッシュは、図１（１７）に示し
たように実施例２のメッシュと同様に、図５（１６）に
示すように隣の配線パターン部と逆方向の角度でメッシ
ュを配置し、さらに隣のメッシュとメッシュの中間の位
置にメッシュを互い違いに配置した。
【００１５】このメタルシートを用いて実施例２と同様
の印刷条件で印刷し図６に示す良好な結果を得た。ｃは
メッシュのないメタルマスク。ｄ、ｅはメッシュピッチ
がそれぞれ１０００，２００μｍ。ｆは従来のサスペン
ドメタルマスクで印刷した結果である。
の印刷条件で印刷し図６に示す良好な結果を得た。ｃは
メッシュのないメタルマスク。ｄ、ｅはメッシュピッチ
がそれぞれ１０００，２００μｍ。ｆは従来のサスペン
ドメタルマスクで印刷した結果である。
【００１６】このようにして市販の銅ペーストを印刷し
た結果、断線がなく配線抵抗も配線パターン幅５０μｍ
幅で０．５Ω／ｃｍ以下、４０μｍ幅で０．６Ω／ｃ
ｍ、３０μｍ幅で０．９Ω／ｃｍと良好であった。
た結果、断線がなく配線抵抗も配線パターン幅５０μｍ
幅で０．５Ω／ｃｍ以下、４０μｍ幅で０．６Ω／ｃ
ｍ、３０μｍ幅で０．９Ω／ｃｍと良好であった。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、配線幅が５０μｍ以下
でも、印刷膜厚が厚く膜厚の均一な印刷が可能となり、
断線、欠けがなくメッシュ破断がなく微細配線を高精度
に印刷できる。
でも、印刷膜厚が厚く膜厚の均一な印刷が可能となり、
断線、欠けがなくメッシュ破断がなく微細配線を高精度
に印刷できる。
【図１】本発明を説明するためのソリッドメタルマスク
の一部分の平面模式図。
の一部分の平面模式図。
【図２】スクリーン印刷を説明する模式図。
【図３】スクリーン版の一部分の平面及び断面模式図。
【図４】印刷状態を説明する被印刷物の一部分の平面及
び断面模式図。
び断面模式図。
【図５】従来のソリッドメタルマスクの一部分の平面及
び断面模式図。
び断面模式図。
【図６】本発明を説明するための印刷膜厚を示すグラ
フ。
フ。
７…配線パターン、１６，１７…メッシュパターン、ｂ
…配線パターンに対するメッシュ角度。
…配線パターンに対するメッシュ角度。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桐ヶ谷 雅人 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所生産技術研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】メッシュ径２０〜４０μｍ メッシュピッ
チ２００〜１０００μｍ、配線パターンに対してメッシ
ュを斜方向に配置したことを特徴とするスクリーン印刷
用ソリッドメタルマスク。 - 【請求項２】配線パターンに対してメッシュの角度を３
０〜６７．５°で配置し、平行している隣の配線パター
ンのメッシュ角度を１１２．５〜１３５°と配線パター
ンに対してメッシュ角度を交互に変えたことを特徴とす
るスクリーン印刷用ソリッドメタルマスク。 - 【請求項３】平行している配線パターンに対してメッシ
ュ角度を交互に変えた前記ソリッドメタルマスクにおい
て、隣の配線パターンのメッシュ線と連続しないように
メッシュ線とメッシュ線の中間に互い違いにメッシュを
配置した請求項２に記載のスクリーン印刷用ソリッドメ
タルマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16373597A JPH1117313A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | スクリーン印刷用ソリッドメタルマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16373597A JPH1117313A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | スクリーン印刷用ソリッドメタルマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1117313A true JPH1117313A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15779685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16373597A Pending JPH1117313A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | スクリーン印刷用ソリッドメタルマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1117313A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100775846B1 (ko) | 2006-09-04 | 2007-11-13 | 엘지전자 주식회사 | 디스플레이 소자 제조용 마스크 |
| JP2018161448A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 日本絨氈株式会社 | タイルカーペット |
| CN114222663A (zh) * | 2019-08-16 | 2022-03-22 | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 | 用于在丝网印刷方法中使用的丝网印版、丝网印刷装置和丝网印刷方法 |
| CN115008883A (zh) * | 2021-03-05 | 2022-09-06 | 仓和精密制造(苏州)有限公司 | 配合图形的印刷网版和制作方法 |
-
1997
- 1997-06-20 JP JP16373597A patent/JPH1117313A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100775846B1 (ko) | 2006-09-04 | 2007-11-13 | 엘지전자 주식회사 | 디스플레이 소자 제조용 마스크 |
| JP2018161448A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 日本絨氈株式会社 | タイルカーペット |
| CN114222663A (zh) * | 2019-08-16 | 2022-03-22 | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 | 用于在丝网印刷方法中使用的丝网印版、丝网印刷装置和丝网印刷方法 |
| CN114222663B (zh) * | 2019-08-16 | 2023-04-04 | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 | 用于在丝网印刷方法中使用的丝网印版、丝网印刷装置和丝网印刷方法 |
| CN115008883A (zh) * | 2021-03-05 | 2022-09-06 | 仓和精密制造(苏州)有限公司 | 配合图形的印刷网版和制作方法 |
| CN115008883B (zh) * | 2021-03-05 | 2024-03-26 | 仓和精密制造(苏州)有限公司 | 配合图形的印刷网版和制作方法 |
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