KR20140122067A

KR20140122067A - 증착 장치 및 그에 적용되는 마스크 조립체

Info

Publication number: KR20140122067A
Application number: KR20130038664A
Authority: KR
Inventors: 한정원
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2013-04-09
Filing date: 2013-04-09
Publication date: 2014-10-17
Also published as: TW201439345A; JP2014201832A; TWI628300B; KR102079170B1; CN104099561A; JP6403184B2; CN104099561B

Abstract

증착 장치 및 이에 적용되는 마스크 조립체가 제공된다.
일례로, 증착 장치는 프레임 개구부를 가지는 마스크 프레임; 상기 프레임 개구부를 덮도록 상기 마스크 프레임의 상면에 결합되는 마스크; 및 상기 프레임 개구부의 가장자리 중 적어도 일부에 배치되되 상기 마스크 프레임의 상면으로부터 돌출되게 배치되어, 상기 마스크 중 상기 프레임 개구부와 대응되는 제1 부분을 상기 마스크 프레임의 상면과 접촉하는 제2 부분보다 상기 마스크 프레임의 상면으로부터의 수직거리가 멀게 위치하게 하는 인장 부재를 포함한다.

Description

증착 장치 및 그에 적용되는 마스크 조립체{DEPOSITION DEVICE AND MASK ASSEMBLY APPLIED THERETO}

본 발명은 증착 장치 및 그에 적용되는 마스크 조립체에 관한 것이다.

표시 장치 중 유기 발광 표시 장치는 자체 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로서 주목을 받고 있다.

이러한 유기 발광 표시 장치는 서도 대향되는 전극들 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 포함한다. 상기 전극들 및 중간층은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 증착 방법이다.

증착 방법은 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서 기판에 형성될 막의 패턴과 동일한 개구의 패턴을 가지는 마스크를 통해 기판에 증착물질을 증착하여 원하는 패턴의 막을 형성하는 방법이다.

한편, 마스크는 통상적으로 마스크 프레임 상에 용접 등에 의해 결합되어 증착 공정에 이용되는데, 증착 공정에서 사용되는 기판이 점차적으로 대형화됨에 따라 이에 대응하는 마스크의 크기 또한 대형화되고 있다.

그런데, 마스크의 크기가 대형화됨에 따라 마스크가 증착 공정에서 하부로 쳐지는 문제가 발생되고 있다. 이로 인해, 증착 물질을 마스크를 통해 기판에 증착시 원하는 막의 패턴보다 작은 크기를 같거나 큰 크기를 가지는 막의 패턴이 형성되는 섀도우 효과가 발생되어 기판에 증착 불량이 발생되고 있다. 이는 유기 발광 표시 장치의 발광시 혼색 등의 문제를 발생시킬 수 있다.

이에, 본 발명이 해결하려는 과제는 마스크를 수평 방향으로 인장시켜 마스크의 쳐짐을 방지함으로써 마스크를 이용한 증착 공정에서 기판의 증착 불량을 줄일 수 있는 증착 장치 및 이에 적용되는 마스크 조립체를 제공하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 프레임 개구부를 가지는 마스크 프레임; 상기 프레임 개구부를 덮도록 상기 마스크 프레임의 상면에 결합되는 마스크; 및 상기 프레임 개구부의 가장자리 중 적어도 일부에 배치되되 상기 마스크 프레임의 상면으로부터 돌출되게 배치되어, 상기 마스크 중 상기 프레임 개구부와 대응되는 제1 부분을 상기 마스크 프레임의 상면과 접촉하는 제2 부분보다 상기 마스크 프레임의 상면으로부터의 수직거리가 멀게 위치하게 하는 인장 부재를 포함한다.

또한 상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치는 프레임 개구부를 가지는 마스크 프레임; 상기 프레임 개구부를 덮도록 상기 마스크 프레임의 상면에 결합되는 마스크; 및 상기 프레임 개구부의 가장자리 중 적어도 일부의 하부에 배치되며, 상부로 이동하여 상기 마스크 중 상기 프레임 개구부와 대응되는 마스크의 제1 부분을 상기 마스크 프레임의 상면과 접촉하는 제2 부분보다 상기 마스크 프레임의 상면으로부터의 수직거리가 멀게 위치하게 하는 인장 부재를 포함한다.

또한, 상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또다른 실시예에 따른 프레임 개구부를 가지는 마스크 프레임; 상기 프레임 개구부를 덮도록 상기 마스크 프레임의 상면에 결합되는 마스크; 및 상기 프레임 개구부의 가장자리 중 적어도 일부에 배치되되 상기 마스크의 하부 또는 상부에 배치되며, 하부로 이동하여 상기 마스크 중 상기 프레임 개구부와 대응되는 마스크의 제1 부분을 상기 마스크 프레임의 상면과 접촉하는 제2 부분보다 상기 마스크 프레임의 상면으로부터의 수직거리가 멀게 위치하게 하는 인장 부재를 포함한다.

또한, 상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체는 프레임 개구부를 가지는 마스크 프레임; 및 상기 프레임 개구부를 덮도록 상기 마스크 프레임의 상면에 결합되고, 상기 프레임 개구부와 대응되는 제1 부분, 상기 마스크 프레임의 상면과 접촉하는 제2 부분, 및 상기 제1 부분과 제2 부분 사이에 연결되며 상기 제1 부분 및 제2 부분 각각보다 얇은 두께를 가지는 제3 부분을 포함하는 마스크를 구비한다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 마스크 프레임의 프레임 개구부의 가장자리 중 적어도 일부에 인장 부재를 배치시 용접에 의해 결합된 마스크 프레임과 마스크 중 마스크의 하부를 압착하면서 마스크에 접촉시켜, 마스크의 제1 부분을 마스크의 제2 부분보다 마스크 프레임의 상면으로부터 멀게 위치하게 하면서 마스크를 수평 방향으로 인장시킬 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 대형화되는 기판 크기에 맞춰 대형화된 마스크가 증착 공정에서 쳐지는 것을 방지하여, 마스크의 쳐짐에 따라 기판에 증착 물질을 증착시 원하는 막의 패턴보다 작은 크기를 같거나 큰 크기를 가지는 막의 패턴이 형성되는 섀도우 효과를 방지할 수 있다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 마스크 쳐짐에 의해 기판에 증착 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우 유기 발광 표시 장치의 발광시 혼색 등의 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크의 일 예를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 마스크 프레임과 인장 부재의 배치를 도시한 평면도이다.
도 4는 도 1의 'A' 부분의 확대도이다.
도 5 내지 도 12는 도 1에 도시된 인장 부재의 다양한 실시예를 보여주는 단면도들이다.
도 13 내지 도 18은 도 3에 도시된 마스크 프레임과 인장 부재의 배치의 다양한 실시예를 보여주는 평면도들이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치에 적용되는 마스크 조립체의 단면도이다.
도 20은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 21은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 22는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 23은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치 적용되는 마스크 조립체의 단면도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 마스크의 일 예를 도시한 평면도이다.

도 1을 참조하면, 증착 장치(100)는 기판(S)의 원하는 위치에 증착 물질을 증착시켜 막의 패턴을 형성시키기 위한 장치이다.

기판(S)은 표시 장치용 기판일 수 있다. 예를 들어, 기판(S)은 유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치와 같은 표시 장치용 기판일 수 있다. 기판(S)은 베어 기판(bare substrate)이거나, 일부 박막이나 배선과 같은 구조물이 형성된 기판일 수 있다. 또한, 기판(S)은 단일 표시 장치용 기판이거나, 복수의 단위 셀을 포함하는 모기판으로서, 후에 커팅되어 각 셀 단위로 표시 기판으로 수확되는 모기판일 수 있다.

증착 장치(100)는 증착 공정을 위한 증착 챔버, 예를 들어 진공 증착 챔버의 내부에 설치될 수 있으며, 마스크 프레임(110), 프레임 지지대(120), 마스크(130), 이송부(140), 인장 부재(150) 및 증착 물질 공급원(160)을 포함할 수 있다.

마스크 프레임(110)은 마스크(130)를 지지하는 것으로, 용접에 의해 마스크(130)와 결합할 수 있다. 마스크 프레임(110)은 마스크(130)를 통해 기판(S)에 증착 물질을 증착시킬 때 증착에 방해가 되지 않는 구조로 형성될 수 있다. 예를 들어 마스크 프레임(110)은 내부에 프레임 개구부(FAP)를 가지는 띠 형상을 가질 수 있다.

프레임 지지대(120)는 용접에 의해 마스크(130)와 결합된 마스크 프레임(110)을 지지하며, 마스크 프레임(110)과 결합된 마스크(130)가 증착 챔버 내부의 공정 진행 공간에 배치되도록 설치된다. 프레임 지지대(120)는 마스크(130)를 통해 기판(S)에 증착 물질을 증착시킬 때 증착에 방해가 되지 않는 구조, 예를 들어 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP) 외측인 가장자리를 지지할 수 있는 구조로 형성될 수 있다.

마스크(130)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)를 덮도록 마스크 프레임(110)의 상면에 결합된다. 마스크(130)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)와 대응되는 제1 부분(130a), 마스크 프레임(110)의 상면에 접촉하며 제1 부분(130a)보다 마스크(130)에서 마스크 프레임(110) 방향으로 낮은 위치에 위치하는 제2 부분(130b), 및 제1 부분(130a)과 제2 부분(130b) 사이에 연결되는 제3 부분(130c)을 포함할 수 있다. 제1 부분(130a) 및 제2 부분(130b) 각각과 제3 부분(130c)이 연결되는 연결부는 굴곡된 형태를 가질 수 있다. 마스크(130)는 상부에 배치되는 기판(S)에 증착 물질을 증착시켜 원하는 막의 패턴을 형성시키는 것을 가능하게 하도록 도 2에 도시된 바와 같이 상기 원하는 막의 패턴과 대응하는 위치에 형성되는 복수의 마스크 개구(MAP)를 포함할 수 있다. 마스크(130) 중 복수의 마스크 개구(MAP)가 형성된 영역은 마스크 프레임(120)의 프레임 개구부(FAP)와 대응할 수 있다. 복수의 마스크 개구(MAP)는 예를 들어, 기판(S)에 유기 발광 표시 장치의 적색 유기 발광층, 녹색 유기 발광층 및 청색 유기 발광층 중 적색 유기 발광층을 형성시키는 경우 적색 유기 발광층의 패턴과 대응하는 위치에 형성될 수 있다. 마스크(130)는 니켈(Ni), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등의 금속 박막으로 형성될 수 있다. 도 2에서, 복수의 마스크 개구(MAP)는 슬릿 형상으로 형성된 것으로 도시되었으나, 도트 형상으로 형성될 수도 있으며 슬릿 형상과 도트 형상을 포함하여 형성될 수도 있다. 또한, 도 2에서 마스크(130)는 복수의 마스크 개구(MAP)가 마스크(130) 상에서 서로 분리되지 않은 것으로 구성되었으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 마스크(130)는 복수의 마스크 개구(MAP)가 일정 방향을 따라 분리될 수 있도록 복수개의 마스크 스트립트(또는 분리 마스크)로 구성될 수 있다.

이송부(140)는 마스크(130)의 상면으로부터 이격된 상부에 배치되며, 기판(S)이 마스크(130)의 상면에 인접하거나 접하게 배치되도록 기판(S)을 이송시킨다. 이러한 이송부(140)는 수직 이동을 할 수 있도록 구성될 수 있다.

인장 부재(150)는 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부에 배치되되, 마스크 프레임(110)의 상면으로부터 돌출된다. 예를 들어, 인장부재(150)는 도 3에 도시된 바와 같이 프레임 개구부(FAP) 내에서 프레임 개구부(FAP)의 가장자리를 따라 배치되되 마스크 프레임(110)의 상면으로 돌출되는 하나의 블럭을 포함할 수 있다.

인장 부재(150)는 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부에 배치시, 용접에 의해 결합된 마스크 프레임(110)과 마스크(130) 중 마스크(130)의 하부를 압착하면서 마스크(130)에 접촉한다. 이 경우, 인장 부재(150)는 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 마스크(130)의 제2 부분(130b)보다 마스크 프레임(110)의 상면으로부터 수직거리가 멀게, 즉 마스크 프레임(110)에서 마스크(130) 방향으로 높게 위치하게 하면서, 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시키는 역할을 한다. 이에 따라, 마스크(130)가 하부로 쳐지는 것이 방지될 수 있다. 도시되진 않았지만, 인장 부재(150)는 스크류 등에 의해 마스크 프레임(110)에 결합되거나 분리될 수 있다. 인장 부재(150)가 마스크 프레임(110)에 스크류 등에 의해 결합시에는, 마스크 프레임(110)에 접촉되거나 이격될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 인장 부재(150)는 긴 길이를 가져 스크류 등에 의해 증착 챔버의 내벽에 결합되거나 분리될 수 있다. 마스크(130)에 접촉하는 인장 부재(150)의 접촉부(C)에 대한 상세한 설명은 후술된다.

증착 물질 공급원(160)은 증착 챔버의 내부 공간 중 마스크(130)의 하면으로부터 이격된 하부에 위치한 공간에 배치된다. 증착 물질 공급원(160)은 마스크(130)의 마스크 개구(MAP)를 통해 기판(S)에 원하는 막의 패턴이 형성되도록 마스크(130)의 하측에서 마스크(130) 측으로 증착 물질을 공급한다. 예를 들면, 증착 물질 공급원(160)은 마스크(130)의 하부로부터 마스크(130) 측으로 유기 발광 물질이나 전극 물질 등 소정 증착 물질을 증발시킴으로써, 마스크(130) 측으로 증착 물질을 공급할 수 있다. 이 경우, 증착 물질 공급원(160)은 고온으로 증착 물질을 가열하여, 그 증착물질을 증발시키는 증발원으로 구현될 수 있다.

몇몇 실시예에서, 상기 증착 물질 공급원(160)은 증착 챔버의 내부에서 수평 방향으로 소정거리 이동 가능하게 설치될 수 있다. 즉, 증착 챔버의 내부에는 증착 물질 공급원(160)을 수평 방향으로 소정거리 이송시키기 위한 이송 유닛이 설치될 수 있다.

다음은 마스크(130)에 접촉하는 인장 부재(150)의 접촉부에 대해 더욱 상세히 설명하기로 한다. 인장 부재(150)의 접촉부의 단면은 다각형, 반구형, 반타원형 및 이들의 조합 형상 중 어느 하나의 형상을 가질 수 있다.

도 4는 도 1의 'A' 부분의 확대도이다

도 4를 참조하면, 인장 부재(150)의 접촉부(C)는 사각 형상의 단면을 가질 수 있다. 이러한 인장부재(150)는 수직 이동하여 넓은 접촉 면적으로 마스크(130)의 하부, 구체적으로 제1 부분(130a)을 압착하면서 제1 부분(130a)에 접촉하고 고정되어, 제1 부분(130a)을 수평 방향, 구체적으로 제2 부분(130b) 방향으로 인장시키는 인장력을 높일 수 있다. 이에 따라, 인장 부재(150)는 대형화되는 기판 크기에 맞춰 대형화되는 마스크(130)의 쳐짐을 방지하여, 마스크(130)의 쳐짐에 따라 기판(S)에 증착 물질을 증착시 원하는 막의 패턴보다 작은 크기를 같거나 큰 크기를 가지는 막의 패턴이 형성되는 섀도우 효과를 방지할 수 있다. 여기서, 인장부재(150)는 제1 부분(130a)을 수평 방향으로 인장시킬 때, 제1 부분(130a)을 제3 부분(130c)의 폭 만큼 인장시킬 수 있다.

이하, 상술한 증착 장치에 적용되는 다양한 형상의 접촉부를 가지는 인장 부재에 대해 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 5 내지 도 12는 도 1에 도시된 인장 부재의 다양한 실시예를 보여주는 단면도들이다.

도 5 내지 도 12의 인장 부재(150a~150h)는 접촉부(C1~C8)의 측면과, 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분 사이에 이격 공간이 형성되도록 형성된다. 이에 따라, 인장 부재(150a~150h)가 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 수평 방향으로 인장시킬 때, 인장력에 의해 얇아지는 두께를 가지는 마스크(130)의 제3 영역(130c)이 인장 부재(150a~150h)의 모서리에 의해 손상되는 것이 방지될 수 있다.

구체적으로, 도 5는 인장 부재(150a)가 삼각형 단면 형상의 접촉부(C1)를 포함하는 것을 예시한다. 이러한 인장 부재(150a)는 접촉부(C1)와 마스크(130)의 제1 영역(130c)의 접촉 면적이 작은 구조로, 마스크(130)의 크기가 작아 마스크(130)의 쳐짐 현상이 크게 발생하지 않는 경우에 적용될 수 있다.

도 6은 인장 부재(150b)가 육각 단면 형상의 접촉부(C2)를 포함하는 것을 예시한다. 즉, 인장 부재(150b)는 사각 단면 형상의 접촉부(C)에서 상부의 마주보는 양 모서리가 모따기되어 형성된 접촉부(C2)를 포함한다. 이러한 인장 부재(150b)는 접촉부(C2)의 측면이 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분에 닿지 않게 하는 구조로, 접촉부(C2)와 마스크(130)의 제1 부분(130a)의 접촉 면적을 크게 하면서 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 수평 방향으로 인장시키는 인장력을 높일 수 있다.

도 7은 인장 부재(150c)가 오각 단면 형상의 접촉부(C3)를 포함하는 것을 예시한다. 즉, 인장 부재(150c)는 사각 단면 형상의 접촉부(C)에서 상부의 마주보는 양 모서리 중 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분과 마주보는 모서리가 모따기되어 형성된 접촉부(C3)를 포함한다. 이러한 인장 부재(150c)도 도 6의 인장 부재(150b)와 같이 접촉부(C3)의 측면이 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분에 닿지 않게 하는 구조로, 접촉부(C3)와 마스크(130)의 제1 부분(130a)의 접촉 면적을 크게 하면서 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 수평 방향으로 인장시키는 인장력을 높일 수 있다.

도 8은 인장 부재(150d)가 사각 단면 형상의 접촉부(C)에서 상부의 마주보는 양 모서리 중 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분과 마주보는 모서리가 직선 형태로 모따기되고 나머지 모서리가 라운드 형태로 모따기 되어 형성된 접촉부(C4)를 포함한다. 이러한 인장 부재(150d)도 도 6의 인장 부재(150b)와 같이 접촉부(C4)의 측면이 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분에 닿지 않게 하는 구조로, 접촉부(C4)와 마스크(130)의 제1 부분(130a)의 접촉 면적을 크게 하면서 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 수평 방향으로 인장시키는 인장력을 높일 수 있다.

도 9는 인장 부재(150e)가 반구형 단면 형상의 접촉부(C5)를 포함하는 것을 예시한다. 이러한 인장 부재(150e)는 도 5의 인장 부재(150a)보다 접촉부(C5)와 마스크(130)의 제1 영역(130c)의 접촉 면적이 조금 더 크게 하는 구조로, 마스크(130)의 크기가 작아 마스크(130)의 쳐짐 현상이 크게 발생하지 않는 경우에 마스크(130)와 안정적인 접촉을 이루게 하면서 적용될 수 있다.

도 10은 인장 부재(150f)가 반타원형 단면 형상의 접촉부(C6)를 포함하는 것을 예시한다. 이러한 인장 부재(150f)도 도 6의 인장 부재(150b)와 같이 접촉부(C6)의 측면이 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분에 닿지 않게 하는 구조로, 접촉부(C6)와 마스크(130)의 제1 부분(130a)의 접촉 면적을 크게 하면서 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 수평 방향으로 인장시키는 인장력을 높일 수 있다.

도 11은 인장 부재(150g)가 사각 단면 형상의 접촉부(C)에서 상부의 마주보는 양 모서리 중 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분과 마주보는 모서리가 라운드 형태로 모따기되고 나머지 모서리가 직선 형태로 모따기 되어 형성된 접촉부(C7)를 포함한다. 이러한 인장 부재(150g)도 도 6의 인장 부재(150b)와 같이 접촉부의 측면이 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분에 닿지 않게 하는 구조로, 접촉부(C7)와 마스크(130)의 제1 부분(130a)의 접촉 면적을 크게 하면서 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 수평 방향으로 인장시키는 인장력을 높일 수 있다.

도 12는 인장 부재(150h)가 사각 단면 형상의 접촉부(C)에서 상부의 마주보는 양 모서리 중 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분과 마주보는 모서리가 라운드 형태로 모따기 되어 형성된 접촉부(C8)를 포함한다. 이러한 인장 부재(150h)도 도 6의 인장 부재(150b)와 같이 접촉부(C8)의 측면이 마스크(130)의 제1 부분(130a)과 제3 부분(130c)이 접하는 부분에 닿지 않게 하는 구조로, 접촉부(C8)와 마스크(130)의 제1 부분(130a)의 접촉 면적을 크게 하면서 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 수평 방향으로 인장시키는 인장력을 높일 수 있다.

이하 도 3에 도시된 마스크 프레임과 인장 부재의 배치의 다양한 실시예에 대해 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 13 내지 도 18은 도 3에 도시된 마스크 프레임과 인장 부재의 배치의 다양한 실시예를 보여주는 평면도들이다.

도 13 내지도 18은 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)가 예를 들어, 네 변을 가지는 사각 평면 형상을 가지는 경우에서 인장 부재가 상기 네 변 중 어느 하나의 변에 배치되는 블럭을 포함하여, 마스크 중 원하는 부분을 수평 방향으로 인장시키는 제어가 가능함을 예시한다.

구체적으로, 도 13은 인장 부재(250)가 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP) 내에서 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 X축 방향에서 일측에 배치되는 것을 예시한다. 이러한 인장 부재(250)는 마스크(130)의 크기가 작아 마스크(130)의 쳐짐 현상이 크게 발생하지 않는 경우에 마스크(130)의 일측에 접촉하여 마스크(130)의 일측을 수평 방향으로 미세하게 인장시키는데 적용될 수 있다.

도 14는 인장 부재(350)가 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP) 내에서 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 X축 방향에서 양측에 배치되는 제1 블럭(351)과 제2 블럭(352)을 포함하는 것을 예시한다. 이러한 인장 부재(350)는 마스크(130)가 X축 방향에서 쳐지는 경우 제1 블럭(351)과 제2 블럭(352)을 통해 마스크(130)를 X축 방향에서 수평 방향으로 균형적으로 인장시켜 마스크(130)가 쳐지는 것을 방지할 수 있다.

도 15는 인장 부재(450)가 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP) 내에서 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 Y축 방향에서 양측에 배치되는 제1 블럭(451)과 제2 블럭(452)을 포함하는 것을 예시한다. 이러한 인장 부재(450)는 마스크(130)가 Y축 방향에서 쳐지는 경우 제1 블럭(451)과 제2 블럭(452)을 통해 마스크(130)를 Y축 방향에서 수평 방향으로 균형적으로 인장시켜 마스크(130)가 쳐지는 것을 방지할 수 있다.

도 16은 인장 부재(550)가 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP) 내에서 프레임 개구부(FAP)의 네 변 각각에 배치되는 제1 블럭(551), 제2 블럭(552), 제3 블럭(553) 및 제4 블럭(554)을 포함하는 것을 예시한다. 이러한 인장 부재(550)는 제1 블럭(551), 제2 블럭(552), 제3 블럭(553) 및 제4 블럭(554) 각각이 마스크(130)의 하부를 압착하면서 마스크(130)에 접촉하는 것을 독립적으로 제어 가능하게 하여 마스크(130)가 쳐지는 위치에 따라 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시키는 위치를 다르게 할 수 있다.

도 17은 인장 부재(650)가 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)의 프레임 개구부(FAP) 내에서 네 변 각각에 배치되되 적어도 하나의 변에 서로 접하는 분할된 복수의 블럭을 배치하도록 제1 블럭(651), 제2 블럭(652), 제3 블럭(653), 제4 블럭(654), 제5 블럭(655), 제6 블럭(656), 제7 블럭(657) 및 제8 블럭(658)을 포함하는 것을 예시한다. 이러한 인장 부재(650)는 제1 블럭(651), 제2 블럭(652), 제3 블럭(653), 제4 블럭(654), 제5 블럭(655), 제6 블럭(656), 제7 블럭(657) 및 제8 블럭(658) 각각이 마스크(130)의 하부를 압착하면서 마스크(130)에 접촉하는 것을 독립적으로 제어 가능하게 하여 마스크(130)가 쳐지는 위치에 따라 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시키는 위치를 더욱 세분화하여 다르게 할 수 있다.

도 18은 인장 부재(750)가 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP) 내에서 프레임 개구부(FAP)의 네 변에 분할된 복수의 블럭을 배치하되 복수의 블럭이 서로 이격되게 배치하는 것을 예시한다. 이러한 인장 부재(750)는 복수의 블럭이 마스크(130)의 하부를 압착하면서 마스크(130)에 접촉하는 것을 독립적으로 제어 가능하게 할 때 복수의 블럭 간 간섭이 발생하지 않게 할 수 있다.

한편, 마스크(130)를 상술된 인장 부재(150, 150a~150h, 250, 350, 450, 550, 650, 750)를 이용하여 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시킬 때 복수의 마스크 개구(MAP)간 피치가 틀어질 수 있는데, 이러한 틀어짐을 고려하여 처음부터 마스크(130)에 복수의 마스크 개구(MAP) 간 피치가 조정되어 복수의 마스크 개구(MAP)가 형성될 수 있다. 또한, 상술된 인장 부재(150, 150a~150h, 250, 350, 450, 550, 650, 750)가 복수의 마스크 개구(MAP)간 피치의 틀어짐을 허용하는 범위에서 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시키도록 제어될 수도 있다.

상기와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(100)는 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부에 인장 부재(150)를 배치시 용접에 의해 결합된 마스크 프레임(110)과 마스크(130) 중 마스크(130)의 하부를 압착하면서 마스크(130)에 접촉시켜, 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 마스크(130)의 제2 부분(130b)보다 마스크 프레임(110)의 상면으로부터 수직거리가 멀게, 즉 마스크 프레임(110)에서 마스크(130) 방향으로 높게 위치하게 하면서 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시킬 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(100)는 대형화되는 기판(S)의 크기에 맞춰 대형화되는 마스크(130)가 증착 공정에서 쳐지는 것을 방지하여, 마스크(130)의 쳐짐에 따라 기판(S)에 증착 물질을 증착시 원하는 막의 패턴보다 작은 크기를 같거나 큰 크기를 가지는 막의 패턴이 형성되는 섀도우 효과를 방지할 수 있다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(100)는 마스크(130)의 쳐짐에 의해 기판(S)에 증착 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우 유기 발광 표시 장치의 발광시 혼색 등의 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(100)에 적용되는 마스크 조립체의 단면도이다.

도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치에 적용되는 마스크 조립체의 단면도이다.

도 19를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(100)에 적용되는 마스크 조립체(10)는 마스크 프레임(110)과 마스크(130)를 포함한다.

마스크 프레임(110)은 마스크(130)를 지지하는 것으로, 용접에 의해 마스크(130)와 결합한다. 마스크 프레임(110)은 마스크(130)를 통해 기판(S)에 증착 물질을 증착 시킬 때 증착에 방해가 되지 않는 구조로 형성될 수 있다. 예를 들어 마스크 프레임(110)은 내부에 프레임 개구부(FAP)를 가지는 띠 형상을 가질 수 있다.

마스크(130)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)를 덮도록 마스크 프레임(110)의 상면에 결합된다. 마스크(130)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)와 대응되는 제1 부분(130a), 마스크 프레임(110)의 상면에 접촉하는 제2 부분(130b), 및 제1 부분(130a)과 제2 부분(130b) 사이에 연결된 제3 부분(130c)을 포함할 수 있다. 여기서, 도 1의 인장 부재(150)가 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부에 배치시 마스크 프레임(110)의 상면으로부터 돌출되게 배치됨으로써, 제1 부분(130a)은 제2 부분(130b)보다 마스크 프레임(110)에서 마스크(130) 방향으로 높은 위치에 위치하며 제1 부분(130a) 및 제2 부분(130b) 각각과 제3 부분(130c)이 연결되는 연결부는 굴곡진 형태를 가질 수 있다. 그리고, 제3 부분(130c)은 인장 부재(150)에 의해 수평 방향으로 인장되어 제1 부분(130a) 및 제2 부분(130b) 각각보다 얇은 두께를 가질 수 있다.

다음은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(800)에 대해 설명하기로 한다.

도 20은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.

도 20을 참조하면, 본 발명의 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(800)는 증착 챔버, 예를 들어 진공 증착 챔버의 내부에 설치될 수 있으며, 마스크 프레임(110), 프레임 지지대(120), 마스크(130), 이송부(140), 인장 부재(850) 및 증착 물질 공급원(160)을 포함할 수 있다.

본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(800)는 도 1의 증착 장치(100)와 비교하여 인장 부재(850)만 다르며 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(800)에서는 인장 부재(850)에 대해 중점적으로 설명하기로 한다.

인장 부재(850)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부의 하부에 배치되며 수직 이동하게 형성된다. 이러한 인장 부재(850)는 이동 블럭(851)(또는 블럭이라 함), 스크류(852), 모터(853) 및 모터 지지부(854)를 포함할 수 있다.

이동 블럭(851)은 상부로 수직 이동하여 마스크(130)의 하부를 압착하면서 마스크(130)에 접촉하여 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시킬 수 있다. 이러한 이동 블럭(851)은 도 3의 인장 부재(150), 도 13의 인장 부재(250), 도 14의 인장 부재(350), 도 15의 인장 부재(450), 도 16의 인장 부재(550), 도 17의 인장 부재(650) 및 도 18의 인장 부재(750)와 같은 배치 형태로 배치될 수 있다. 또한, 이동 블럭(851)은 도 4 내지 도 12의 인장 부재(150, 150a, 150b, 150c, 150d, 150e, 150f, 150g, 150h)의 접촉부와 같은 형태로 접촉부를 가질 수 있다.

스크류(852)는 이동 블럭(851)에 연결되며, 모터(853)의 구동에 의해 회전되어 이동 블럭(851)을 상부로 수직 이동시키거나 하부로 수직 이동시킬 수 있다. 여기서 스크류(852)는 최소한으로 이동 블럭(851)의 개수와 동일한 개수를 가질 수 있으며, 정밀한 제어를 위해 이동 블럭(851)의 개수 이상의 개수를 가질 수 있다.

모터(853)은 스크류(852)에 연결되며, 동력을 발생시켜 스크류(852)를 회전시킨다. 모터(853)의 개수는 스크류(852)의 개수와 동일할 수 있다. 모터(853)의 구동은 별도의 제어부에 의해 제어될 수 있다.

모터 지지부(854)는 모터(853)의 하부에 형성되어 모터(853)를 지지한다.

한편, 도 20에서 인장 부재(850)는 이동 블럭(851), 스크류(852), 모터(853) 및 모터 지지부(854)를 포함하는 것으로 도시되었으나, 리프트 핀을 이용한 이동 부재 또는 리니어 가이드 및 스크류를 포함하는 이동 부재로 구성될 수도 있다.

한편, 마스크(130)를 상술된 인장 부재(850)를 이용하여 수평 방향으로 인장시킬 때 복수의 마스크 개구(MAP)간 피치가 틀어질 수 있는데, 이러한 틀어짐을 고려하여 처음부터 마스크(130)에 복수의 마스크 개구(MAP) 간 피치가 조정되어 복수의 마스크 개구(MAP)가 형성될 수 있다. 또한, 상술된 인장 부재(850)가 복수의 마스크 개구(MAP)간 피치의 틀어짐을 허용하는 범위에서 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시키도록 제어될 수도 있다.

상기와 같이 본 발명의 또다른 실시예에 따른 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부의 하부에 인장 부재(850)를 배치시키고 상부로 이동시키도록 형성하여, 마스크(130)의 하부를 압착하면서 마스크(130)에 접촉하여 마스크(130)의 제1 부분(130a)을 마스크(130)의 제2 부분(130b)보다 마스크 프레임(110)의 상면으로부터 수직거리가 멀게, 즉 마스크 프레임(110)에서 마스크(130) 방향으로 높게 위치하게 하면서 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시킬 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(800)는 대형화되는 기판(S)의 크기에 맞춰 대형화되는 마스크(130)가 증착 공정에서 쳐지는 것을 방지하여, 마스크(130)의 쳐짐에 따라 기판(S)에 증착 물질을 증착시 원하는 막의 패턴보다 작은 크기를 같거나 큰 크기를 가지는 막의 패턴이 형성되는 섀도우 효과를 방지할 수 있다.

따라서, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(800)는 마스크(130)의 쳐짐에 의해 기판(S)에 증착 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우 유기 발광 표시 장치의 발광시 혼색 등의 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

다음은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(900)에 대해 설명하기로 한다.

도 21은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.

도 21을 참조하면, 본 발명의 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(900)는 증착 챔버, 예를 들어 진공 증착 챔버의 내부에 설치될 수 있으며, 마스크 프레임(110), 프레임 지지대(120), 마스크(930), 이송부(140), 인장 부재(950) 및 증착 물질 공급원(160)을 포함할 수 있다.

본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(900)는 도 1의 증착 장치(100)와 비교하여 마스크(930)와 인장 부재(950)만 다르며 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(900)에서는 마스크(930)와 인장 부재(950)에 대해 중점적으로 설명하기로 한다.

마스크(930)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)를 덮도록 마스크 프레임(110)의 상면에 결합되며, 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)와 대응되는 제1 부분(930a), 마스크 프레임(110)의 상면에 접촉하는 제2 영역(930b), 및 제1 부분(930a)과 제2 부분(930b) 사이에 연결된 제3 부분(930c)을 포함하는 것으로, 도 1의 마스크(130)와 유사하다. 다만, 마스크(930)의 제1 부분(930a)이 제2 부분(930b)보다 마스크(130)에서 마스크 프레임(110) 방향으로 낮은 위치에 위치한다.

인장 부재(950)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부에 배치되되 마스크(130)의 하부에 고정되게 배치되며 수직 이동하게 형성된다. 인장 부재(950)는 이동 블럭(951)(또는 블럭이라 함), 스크류(952), 모터(953) 및 모터 지지부(954)를 포함할 수 있다.

이동 블럭(951)은 마스크(130)에 고정된 상태로 하부로 수직 이동하여 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시킬 수 있다. 이러한 이동 블럭(951)은 도 3의 인장 부재(150), 도 13의 인장 부재(250), 도 14의 인장 부재(350), 도 15의 인장 부재(450), 도 16의 인장 부재(550), 도 17의 인장 부재(650) 및 도 18의 인장 부재(750)와 같은 배치 형태로 배치될 수 있다. 또한, 이동 블럭(951)은 도 4 내지 도 12의 인장 부재(150, 150a, 150b, 150c, 150d, 150e, 150f, 150g, 150h)의 접촉부와 같은 형태로 접촉부를 가질 수 있다.

한편, 이동 블럭(951)은 마스크(130)의 하부에 고정되기 전에, 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부의 하부에 배치된 상태일 수 있다. 이러한 이동 블럭(951)은 마스크(130)의 하부에 고정되기 위해 상부로 수직 이동하여 스크류 등에 의해 마스크(130)에 고정될 수 있다.

스크류(952)는 이동 블럭(951)에 연결되며, 모터(953)의 구동에 의해 회전되어 이동 블럭(851)을 상부로 수직 이동시키거나 하부로 수직 이동시킬 수 있다. 여기서 스크류(952)는 최소한으로 이동 블럭(951)의 개수와 동일한 개수를 가질 수 있으며, 정밀한 제어를 위해 이동 블럭(951)의 개수 이상의 개수를 가질 수 있다.

모터(953)는 스크류(952)에 연결되며, 동력을 발생시켜 스크류(952)를 회전시킨다. 모터(953)의 개수는 스크류(952)의 개수와 동일할 수 있다. 모터(953)의 구동은 별도의 제어부에 의해 제어될 수 있다.

모터 지지부(954)는 모터(953)의 하부에 형성되어 모터(953)를 지지한다.

한편, 도 21에서 인장 부재(950)는 이동 블럭(951), 스크류(952), 모터(953) 및 모터 지지부(954)를 포함하는 것으로 도시되었으나, 리프트 핀을 이용한 이동 부재 또는 리니어 가이드 및 스크류를 포함하는 이동 부재로 구성될 수도 있다.

그리고, 마스크(930)를 상술된 인장 부재(950)를 이용하여 수평 방향으로 인장시킬 때 복수의 마스크 개구(도 2의 MAP 참조)간 피치가 틀어질 수 있는데, 이러한 틀어짐을 고려하여 처음부터 마스크(930)에 복수의 마스크 개구(MAP) 간 피치가 조정되어 복수의 마스크 개구(MAP)가 형성될 수 있다. 또한, 상술된 인장 부재(950)가 복수의 마스크 개구(MAP)간 피치의 틀어짐을 허용하는 범위에서 마스크(930)를 수평 방향으로 인장시키도록 제어될 수도 있다.

상기와 같이 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(900)는 인장 부재(950)를 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부에 배치시키되 마스크(930)의 하부에 고정되게 배치시키고 하부로 이동하게 형성하여, 마스크(930)의 제1 부분(930a)을 마스크(930)의 제2 부분(930b)보다 마스크 프레임(110)의 상면으로부터 수직거리가 멀게, 즉 마스크(130)에서 마스크 프레임(110) 방향으로 낮게 위치하게 하면서 마스크(930)를 수평 방향으로 인장시킬 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(900)는 대형화되는 기판(S)의 크기에 맞춰 대형화되는 마스크(930)가 증착 공정에서 쳐지는 것을 방지하여, 마스크(930)의 쳐짐에 따라 기판(S)에 증착 물질을 증착시 원하는 막의 패턴보다 작은 크기를 같거나 큰 크기를 가지는 막의 패턴이 형성되는 섀도우 효과를 방지할 수 있다.

따라서, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(900)는 마스크(930)의 쳐짐에 의해 기판(S)에 증착 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우 유기 발광 표시 장치의 발광시 혼색 등의 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

다음은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(1000)에 대해 설명하기로 한다.

도 22는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.

도 22를 참조하면, 본 발명의 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(1000)는 증착 챔버, 예를 들어 진공 증착 챔버의 내부에 설치될 수 있으며, 마스크 프레임(110), 프레임 지지대(120), 마스크(930), 이송부(140), 인장 부재(1050) 및 증착 물질 공급원(160)을 포함할 수 있다.

본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(1000)는 도 1의 증착 장치(100)와 비교하여 마스크(930)와 인장 부재(1050)만 다르며 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(1000)에서는 마스크(930)와 인장 부재(1050)에 대해 중점적으로 설명하기로 한다.

인장 부재(1050)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부에 배치되되 마스크(130)의 상부에 배치되며, 하부로 이동하게 형성된다. 인장 부재(1050)는 누름이 가능한 누름 블럭(또는 블럭이라 함)으로 구성될 수 있다.

인장 부재(1050)를 구성하는 누름 블럭은 하부로 수직 이동하여 마스크(130)의 상부를 압착하면서 마스크(130)에 접촉함으로써 마스크(130)를 수평 방향으로 인장시킬 수 있다. 이러한 인장 부재(1050)는 도 3의 인장 부재(150), 도 13의 인장 부재(250), 도 14의 인장 부재(350), 도 15의 인장 부재(450), 도 16의 인장 부재(550), 도 17의 인장 부재(650) 및 도 18의 인장 부재(750)와 같은 배치 형태로 배치될 수 있다. 또한, 인장 부재(1050)는 도 4 내지 도 12의 인장 부재(150, 150a, 150b, 150c, 150d, 150e, 150f, 150g, 150h)의 접촉부와 같은 형태로 접촉부를 가질 수 있다.

한편, 도시하진 않았지만 누름 블럭으로 구성되는 인장 부재(1050)는 하부로 이동하기 위해 스크류 및 모터 등과 같은 구성을 더 포함할 수 있다.

그리고, 마스크(930)를 상술된 인장 부재(1050)를 이용하여 수평 방향으로 인장시킬 때 복수의 마스크 개구(도 2의 MAP 참조)간 피치가 틀어질 수 있는데, 이러한 틀어짐을 고려하여 처음부터 마스크(930)에 복수의 마스크 개구(MAP) 간 피치가 조정되어 복수의 마스크 개구(MAP)가 형성될 수 있다. 또한, 상술된 인장 부재(1050)가 복수의 마스크 개구(MAP)간 피치의 틀어짐을 허용하는 범위에서 마스크(930)를 수평 방향으로 인장시키도록 제어될 수도 있다.

상기와 같이 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(1000)는 인장 부재(1050)를 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)의 가장자리 중 적어도 일부에 배치시키되 마스크(930)의 상부에 배치시키고 하부로 이동하게 형성하여, 마스크(930)의 상부를 압착하면서 마스크(930)에 접촉하여 마스크(930)의 제1 부분(930a)을 마스크(930)의 제2 부분(930b)보다 마스크 프레임(110)의 상면으로부터 수직거리가 멀게, 즉 마스크(130)에서 마스크 프레임(110) 방향으로 낮게 위치하게 하면서 마스크(930)를 수평 방향으로 인장시킬 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(1000)는 대형화되는 기판(S)의 크기에 맞춰 대형화되는 마스크(930)가 증착 공정에서 쳐지는 것을 방지하여, 마스크(930)의 쳐짐에 따라 기판(S)에 증착 물질을 증착시 원하는 막의 패턴보다 작은 크기를 같거나 큰 크기를 가지는 막의 패턴이 형성되는 섀도우 효과를 방지할 수 있다.

따라서, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(1000)는 마스크(930)의 쳐짐에 의해 기판(S)에 증착 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 마스크(930)의 쳐짐에 의해 기판(S)에 증착 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우 유기 발광 표시 장치의 발광시 혼색 등의 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

다음은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치(900, 1000)에 적용되는 마스크 조립체의 단면도이다.

도 23은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 장치에 적용되는 마스크 조립체의 단면도이다.

도 23을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(900, 1000)에 적용되는 마스크 조립체(20)는 마스크 프레임(110)과 마스크(930)를 포함한다.

마스크 프레임(110)은 마스크(930)를 지지하는 것으로, 용접에 의해 마스크(930)와 결합한다. 마스크 프레임(110)은 마스크(930)를 통해 기판(S)에 증착 물질을 증착 시킬 때 증착에 방해가 되지 않는 구조로 형성될 수 있다. 예를 들어 마스크 프레임(110)은 내부에 프레임 개구부(FAP)를 가지는 띠 형상을 가질 수 있다.

마스크(930)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)를 덮도록 마스크 프레임(110)의 상면에 결합된다. 마스크(930)는 마스크 프레임(110)의 프레임 개구부(FAP)와 대응되는 제1 부분(930a), 마스크 프레임(110)의 상면에 접촉하는 제2 부분(930b), 및 제1 부분(930a)과 제2 부분(930b) 사이에 연결된 제3 부분(930c)을 포함할 수 있다. 여기서, 도 21 및 도 22의 인장 부재(950, 1050)가 하부로 수직 이동하여 마스크(930)를 수평 방향으로 인장시킴으로써, 제1 부분(930a)은 제2 부분(930b)보다 마스크(130)에서 마스크 프레임(110) 방향으로 낮게 위치하며 제1 부분(930a) 및 제2 부분(930b) 각각과 제3 부분(930c)이 연결되는 연결부는 굴곡진 형태를 가질 수 있다. 그리고, 제3 부분(930c)은 인장 부재(950, 1050)에 의해 수평 방향으로 인장되어 제1 부분(930a) 및 제2 부분(930b) 각각보다 얇은 두께를 가질 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

100, 800, 900, 1000: 증착 장치 110: 마스크 프레임
120: 프레임 지지대 130, 930: 마스크
140: 이송부
150, 150a~150h, 250, 350, 440, 550, 650, 750, 850, 950, 1050: 인장 부재
160: 증착 물질 공급원

Claims

프레임 개구부를 가지는 마스크 프레임;
상기 프레임 개구부를 덮도록 상기 마스크 프레임의 상면에 결합되는 마스크; 및
상기 프레임 개구부의 가장자리 중 적어도 일부에 배치되되 상기 마스크 프레임의 상면으로부터 돌출되게 배치되어, 상기 마스크 중 상기 프레임 개구부와 대응되는 제1 부분을 상기 마스크 프레임의 상면과 접촉하는 제2 부분보다 상기 마스크 프레임의 상면으로부터의 수직거리가 멀게 위치하게 하는 인장 부재를 포함하는 증착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 인장 부재는 상기 프레임 개구부 내에서 상기 프레임 개구부의 가장자리를 따라 배치되는 하나의 블럭을 포함하는 증착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 인장 부재는 상기 마스크와 접촉하는 접촉부를 포함하며, 상기 접촉부의 단면은 다각형, 반구형, 반타원형 및 이들의 조합 형상 중 어느 하나를 가지는 증착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 마스크는 상기 제1 부분과 제2 부분 사이에 연결된 제3 부분을 포함하고,
상기 인장 부재는 상기 마스크의 제1 부분과 접촉하는 접촉부를 포함하며,
상기 제1 부분과 제3 부분이 접하는 부분과 상기 접촉부의 측면 사이에 이격 공간이 형성되는 증착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 프레임 개구부는 네 변을 가지는 사각 평면 형상을 가지며,
상기 인장 부재는 상기 네 변 중 적어도 어느 하나의 변에 배치되는 블럭을 포함하는 증착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 프레임 개구부는 네 변을 가지는 사각 평면 형상을 가지며,
상기 인장 부재는 상기 네 변 중 적어도 어느 하나의 변에 분할된 복수의 블럭을 포함하며,
상기 복수의 블럭은 서로 접하거나 이격되게 배치되는 증착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 마스크의 상면으로부터 이격된 상부에 배치되며, 상시 마스크의 상면에 기판을 배치시키는 이송부; 및
상기 마스크의 하면으로부터 이격된 하부에 배치되며, 상기 마스크를 통해 상기 기판에 증착물을 공급하는 증착물질 공급원을 더 포함하는 증착 장치.
프레임 개구부를 가지는 마스크 프레임;
상기 프레임 개구부를 덮도록 상기 마스크 프레임의 상면에 결합되는 마스크; 및
상기 프레임 개구부의 가장자리 중 적어도 일부의 하부에 배치되며, 상부로 이동하여 상기 마스크 중 상기 프레임 개구부와 대응되는 마스크의 제1 부분을 상기 마스크 프레임의 상면과 접촉하는 제2 부분보다 상기 마스크 프레임의 상면으로부터의 수직거리가 멀게 위치하게 하는 인장 부재를 포함하는 증착 장치.
제8 항에 있어서,
상기 인장 부재는 상기 프레임 개구부 내에서 상기 프레임 개구부의 가장자리를 따라 배치되는 하나의 블럭을 포함하는 증착 장치.
제8 항에 있어서,
상기 인장 부재는 상기 마스크와 접촉하는 접촉부를 포함하며, 상기 접촉부의 단면은 다각형, 반구형, 반타원형 및 이들의 조합 형상 중 어느 하나를 가지는 증착 장치.
제8 항에 있어서,
상기 마스크는 상기 제1 부분과 제2 부분 사이에 연결된 제3 부분을 포함하고,
상기 인장 부재는 상기 마스크의 제1 부분과 접촉하는 접촉부를 포함하며,
상기 제1 부분과 제3 부분이 접하는 부분과 상기 접촉부의 측면 사이에 이격 공간이 형성되는 증착 장치.
제8 항에 있어서,
상기 프레임 개구부는 네 변을 가지는 사각 평면 형상을 가지며,
상기 인장 부재는 상기 네 변 중 적어도 어느 하나의 변에 배치되는 블럭을 포함하는 증착 장치.
제8 항에 있어서,
상기 프레임 개구부는 네 변을 가지는 사각 평면 형상을 가지며,
상기 인장 부재는 상기 네 변 중 적어도 어느 하나의 변에 분할된 복수의 블럭을 포함하는 증착 장치.
제13 항에 있어서,
상기 복수의 블럭은 서로 접하거나 서로 이격되게 배치되는 증착 장치.
제8 항에 있어서,
상기 마스크의 상면으로부터 이격된 상부에 배치되며, 상기 마스크의 상면에 기판을 배치시키는 이송부; 및
상기 마스크의 하면으로부터 이격된 하부에 배치되며, 상기 마스크를 통해 상기 기판에 증착물을 공급하는 증착 물질 공급원을 더 포함하는 증착 장치.
프레임 개구부를 가지는 마스크 프레임;
상기 프레임 개구부를 덮도록 상기 마스크 프레임의 상면에 결합되는 마스크; 및
상기 프레임 개구부의 가장자리 중 적어도 일부에 배치되되 상기 마스크의 하부 또는 상부에 배치되며, 하부로 이동하여 상기 마스크 중 상기 프레임 개구부와 대응되는 마스크의 제1 부분을 상기 마스크 프레임의 상면과 접촉하는 제2 부분보다 상기 마스크 프레임의 상면으로부터의 수직거리가 멀게 위치하게 하는 인장 부재를 포함하는 증착 장치.
제16 항에 있어서,
상기 인장 부재는 상기 프레임 개구부 내에서 상기 프레임 개구부의 가장자리를 따라 배치되는 하나의 블럭을 포함하는 증착 장치.
제16 항에 있어서,
상기 인장 부재는 상기 마스크와 접촉하는 접촉부를 포함하며, 상기 접촉부의 단면은 다각형, 반구형, 반타원형 및 이들의 조합 형상 중 어느 하나를 가지는 증착 장치.
제16 항에 있어서,
상기 마스크는 상기 제1 부분과 제2 부분 사이에 연결된 제3 부분을 포함하고,
상기 인장 부재는 상기 마스크의 제1 부분과 접촉하는 접촉부를 포함하며,
상기 제1 부분과 제3 부분이 접하는 부분과 상기 접촉부의 측면 사이에 이격 공간이 형성되는 증착 장치.
제16 항에 있어서,
상기 프레임 개구부는 네 변을 가지는 사각 평면 형상을 가지며,
상기 인장 부재는 상기 네 변 중 적어도 어느 하나의 변에 배치되는 블럭을 포함하는 증착 장치.
제16 항에 있어서,
상기 개구는 네 변을 가지는 사각 평면 형상을 가지며,
상기 인장 부재는 상기 네 변 중 적어도 어느 하나의 변에 분할된 복수의 블럭을 포함하는 형태로 배치되는 증착 장치.
제21 항에 있어서,
상기 복수의 블럭은 서로 접하거나 이격되게 배치되는 증착 장치.
제16 항에 있어서,
상기 마스크의 상면으로부터 이격된 상부에 배치되며, 상시 마스크의 상면에 기판을 배치시키는 이송부; 및
상기 마스크의 하면으로부터 이격된 하부에 배치되며, 상기 마스크를 통해 상기 기판에 증착물을 증착시키는 증착물질 공급원을 더 포함하는 증착 장치.
프레임 개구부를 가지는 마스크 프레임; 및
상기 프레임 개구부를 덮도록 상기 마스크 프레임의 상면에 결합되고, 상기 프레임 개구부와 대응되는 제1 부분, 상기 마스크 프레임의 상면과 접촉하는 제2 부분, 및 상기 제1 부분과 제2 부분 사이에 연결되며 상기 제1 부분 및 제2 부분 각각보다 얇은 두께를 가지는 제3 부분을 포함하는 마스크를 구비하는 마스크 조립체.
제 24 항에 있어서,
상기 제1 부분이 상기 제2 부분보다 상기 마스크 프레임에서 상기 마스크 방향으로 높은 위치에 위치하는 마스크 조립체.
제 24 항에 있어서,
상기 제1 부분이 상기 제2 부분보다 상기 마스크에서 상기 마스크 프레임 방향으로 낮은 위치에 위치하는 마스크 조립체.