CN112323018B - 掩模版框架和掩模版组件 - Google Patents

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Abstract

本申请提供了一种掩模版框架和掩模版组件，所述掩模版框架包括第一侧和第二侧，所述第一侧与所述第二侧相对设置，所述第一侧用于与掩模版固定连接；所述掩模版框架包括至少一对相对设置的边框，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，所述掩模版框架的第二侧为平面。使得所述边框在受到来自于所述掩模版的拉伸回缩力后，所述边框的两端不容易向朝向所述掩模版的方向翘曲，也就使得固定连接在所述掩模版框架上的掩模版也不会因为所述掩模版框架的四角翘曲而产生变形和对位偏差，避免了由此产生的蒸镀混色和屏体不良的问题，提高了所述掩模版的蒸镀品质和蒸镀良率。

Description

掩模版框架和掩模版组件
技术领域
本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩模版框架和掩模版组件。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode)称为有机电致发光二极管。OLED显示技术具有全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、效应速度快、工作范围宽、易于实现柔性显示和3D显示等诸多优点，使它在目前在众多显示设备上得到应用，例如应用于电视机和移动设备上。
制造OLED显示面板的工艺过程包括多种工艺技术，其中，精细金属掩膜(FMM，FineMetal Mask)技术是主要技术之一，通常采用精细金属掩膜版并通过蒸镀工艺制作各子单元像素。精细金属掩膜版的蒸镀效果影响着OLED显示面板制造工艺的良率。
发明内容
根据本申请实施例的第一方面，提供了一种掩模版框架，
所述掩模版框架包括第一侧和第二侧，所述第一侧与所述第二侧相对设置，所述第一侧用于与掩模版固定连接；
所述掩模版框架包括至少一对相对设置的边框，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，所述掩模版框架的第二侧为平面。
在一个实施例中，所述掩模版框架包括两对相对设置的边框，所述两对相对设置的边框围成矩形。
在一个实施例中，仅所述两对相对设置的边框中的一对相对设置边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大。
在一个实施例中，所述两对相对设置的边框的全部边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大。
在一个实施例中，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，其中，所述边框在所述第一侧的表面为阶梯状。
在一个实施例中，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，其中，所述边框在所述第一侧的表面为弧形。
在一个实施例中，所述掩膜框架还包括搭接台阶，所述搭接台阶设置于所述掩膜框架的第一侧，所述搭接台阶的宽度小于所述边框的宽度，所述搭接台阶设置在各个边框上，且靠近其所处边框的相对的边框的一侧，其中，所述搭接台阶远离所述边框的一侧的表面为平面。
在一个实施例中，所述搭接台阶与所述边框为相同材料制成，且所述搭接台阶与所述边框一体成型。
根据本申请实施例的第二方面，提供了一种掩模版组件，包括：
包括如本申请实施例的第一方面所述的掩模版框架，还包括掩模版，所述掩模版与所述掩模版框架的第一侧焊接固定。
在一个实施例中，所述掩模版与所述搭接台阶远离所述边框的一侧的表面焊接固定。
本申请实施例提供的掩模版框架和掩模版组件，所述掩模版框架包括第一侧和第二侧，所述第一侧与所述第二侧相对设置，所述第一侧用于与掩模版固定连接；所述掩模版框架包括至少一对相对设置的边框，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，所述掩模版框架的第二侧为平面。通过将所述边框靠近与掩模版固定连接的一侧面设置为中间比两端更突出的形状，使得所述边框在受到来自于所述掩模版的拉伸回缩力后，所述边框的两端不容易向朝向所述掩模版的方向翘曲，这样掩模版框架保持了更好的平整，进一步的，也就使得固定连接在所述掩模版框架上的掩模版也不会因为所述掩模版框架的四角翘曲而产生变形和对位偏差，避免了由此产生的蒸镀混色和屏体不良的问题，提高了所述掩模版的蒸镀品质和蒸镀良率。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。
附图说明
图1为本申请现有技术的一种掩模版组件俯视示意图；
图2为如图1所示的一种掩模版组件的掩模版框架在未受到掩模版的拉伸回缩力时沿AA’线的剖视示意图；
图3为如图1所示的一种掩模版组件的掩模版框架在受到掩模版的拉伸回缩力时沿AA’线的剖视示意图；
图4为本申请一实施例提供的一种掩模版框架的俯视示意图；
图5为如图4所示的一种掩模版框架沿BB’线的剖视示意图；
图6为如图4所示的一种掩模版框架沿BB’线的剖视示意图；
图7为本申请又一实施例提供的一种掩模版框架的俯视示意图；
图8为如图7所示的一种掩模版框架沿CC’线的剖视示意图；
图9为如图7所示的一种掩模版框架沿CC’线的剖视示意图；
图10为本申请又一实施例提供的一种掩模版组件俯视示意图。
附图标记说明：
掩模版组件100；
掩模版框架10；第一侧11；第二侧12；边框13；搭接台阶14；
掩模版20；遮挡掩膜21；支撑掩膜22；掩膜条23；开口24；对位孔25。
具体实施方式
这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。
在本申请使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。除非另作定义，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请说明书以及权利要求书中使用的“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而且可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“多个”包括两个，相当于至少两个。在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
下面结合附图，对本申请实施例中的显示面板及显示装置进行详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施方式中的特征可以相互补充或相互组合。
在OLED显示面板的制作过程中，通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到背板上，利用精细金属掩膜(FMM Mask)上的图形，形成红绿蓝器件。其中，金属掩膜板框架为中间掏空的规则长方体。传统的金属掩膜版框架易发生不稳定变形，当所有掩膜条经过拉伸并全部焊接在掩膜板框架上时，会使掩膜版框架向内收缩，产生变形，进而带动焊接在掩膜版框架上的掩膜发生像素位置精度移位。
具体请参考图1，图1为现有技术的一种掩模版组件俯视示意图。在通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到背板上时，需要先对掩模版20施加拉力，进而掩膜版20产生相反方向的回缩力，当将掩膜版20放置在掩膜版框架10上进行焊接时，回缩力会使得掩膜版框架10产生变形。具体的，如图2所示，图2为掩模版框架的其中一条边框13，在掩模版20未焊接到掩膜版框架10上时，该边框13的表面为平面。如图3所示，当掩模版20焊接到掩膜版框架10上后，由于该边框13两端相邻的两条边框受到掩模版20的回缩力，使得该边框13的两端向该边框的中心产生挤压力，在挤压力达到一定阈值后，该边框的两端朝向固定掩膜版20的一侧翘曲，会进一步的带动焊接在掩模版框架10上的掩模版20发生一定的变形和位移。由于掩膜版20中包括多个与每一像素对应的像素单元，上述掩模版20的变形和位移会影响像素对位的精准度，由此产生的蒸镀混色和屏体不良的问题，使得所述掩模版的蒸镀品质和蒸镀良率降低。
为解决以上问题，本实施例提供了一种掩模版框架10。请参考图4和图5，图4为一种掩模版框架的俯视示意图，图5为图4所示的一种掩模版框架沿BB’线的剖视示意图。所述掩模版框架10包括第一侧11和第二侧12，所述第一侧11与所述第二侧12相对设置，所述第一侧11用于与掩模版固定连接；所述掩模版框架10包括至少一对相对设置的边框13，所述至少一对相对设置的边框13在朝向所述第一侧11的方向上，所述边框13的厚度沿着所述边框13长度的方向从两端到中间逐渐增大，所述掩模版框架10的第二侧12为平面。
本实施例通过将所述边框13靠近与掩模版固定连接的一侧面设置为中间比两端更突出的形状，使得所述边框13在受到来自于所述掩模版的拉伸回缩力后，所述边框13的两端不容易向朝向所述掩模版的方向翘曲，这样掩模版框架10保持了更好的平整，进一步的，也就使得固定连接在所述掩模版框架10上的掩模版也不会因为所述掩模版框架10的四角翘曲而产生变形和对位偏差，避免了由此产生的蒸镀混色和屏体不良的问题，提高了所述掩模版的蒸镀品质和蒸镀良率。
在另一实施例中，请参考图4至图6，所述掩模版框架10包括两对相对设置的边框13，所述两对相对设置的边框13围成矩形。具体的，所述掩膜版框架10的内边界为矩形，外边界也为矩形。当然，掩模版框架并不局限于矩形，可以为其他形状。进一步的所述掩模版框架10的内边界和外边界也不局限于矩形，可以根据掩模版的形状设置为其他形状，如在做异形屏时，所述掩模版框架10的形状就需要根据异形屏的形状做出调整。所述掩模版框架10的材质为金属。所述掩模版框架10用于在蒸镀的时候承载掩模版。
进一步的，请参考图4和图5，所述掩模版框架10的两对相对设置的边框13中，仅其中一对相对设置的边框13，在朝向所述第一侧的方向上，所述边框13的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大。
可选的，请参考图4和图5，所述两对相对设置的边框的全部边框13在朝向所述第一侧的方向上，所述边框13的厚度均沿着所述边框13长度的方向从两端到中间逐渐增大。将全部边框均设置为从两端到中间逐渐增大的形状，可以更好的防止所述掩模版框架的四角翘曲问题。
在另一实施例中，请参考图4和图5，所述至少一对相对设置的边框13在朝向所述第一侧的方向上，所述边框13的厚度沿着所述边框13长度的方向从两端到中间逐渐增大，其中，所述边框13在所述第一侧11的表面为弧形。
在另一实施例中，请参考图4和图6，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，其中，所述边框在所述第一侧的表面为阶梯状。
在将掩模版20焊接到所述掩模版框架10上后，每一条所述边框13两端的两条相邻的边框由于焊接了掩模版，所述掩模版对所述两条相邻的边框产生拉伸回弹力，使得所述两条相邻的边框对所述边框13的两端分别施加了从端部指向所述边框13中部的作用力，所述边框13同时还受到自身重力、焊接到边框13的掩模版的拉伸回弹力的作用，在这些力的综合作用下，所述边框13的两端有朝向固定所述掩模版一侧翘曲的趋势，但是由于该边框13的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，该结构可以对所述边框13两端翘曲趋势起到抵抗作用，使得所述边框13不易发生翘曲，也就使得所述掩模版框架10的四角不容易发生翘曲。
在另一实施例中，请参考图7，所述掩膜框架10还包括搭接台阶14，所述搭接台阶14设置于所述掩膜框架10的第一侧11，所述搭接台阶14的宽度小于所述边框13的宽度，所述搭接台阶设置在各个边框13上，且靠近其所处边框13的相对的边框的一侧，其中，所述搭接台阶14远离所述边框13的一侧的表面为平面。所述掩模版与所述掩膜框架10的焊接位置位于所述搭接台阶14上。所述搭接台阶14与所述边框13为相同材料制成，且所述搭接台阶14与所述边框13一体成型。请参考图8和图9，图8和图9为图7沿着CC’线的剖面示意图，所述边框13未被所述搭接台阶14覆盖的部分沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大。
在另一实施例中，提供一种掩模版组件100，如图10所示，包括如上述实施例所述的掩模版框架10，还包括掩模版20，所述掩模版20与所述掩模版框架10的第一侧11焊接固定。具体的，所述掩模版20为精细掩模版。所述掩膜组件100的制造过程包括，将遮挡掩膜(cover mask)21、支撑掩膜(hauling mask)22、对准掩膜(align mask)以及掩膜条(sheetmask)23焊接在掩模版框架(frame)10上，掩膜条23内具有贯穿掩模版20的开口24，所述开口24与像素单元对应。沿着所述DD’线进行剖面，其剖面示意图可参考图5和图6。本实施例通过将所述掩膜组件100的边框13在靠近与掩模版固定连接的一侧面设置为中间比两端更突出的形状，使得所述边框13在受到来自于上述遮挡掩膜21、支撑掩膜22、对准掩膜以及掩膜条23的拉伸回缩力后，所述边框13的两端不容易向朝向所述掩模版200的方向翘曲，这样掩模版框架10保持了更好的平整，进一步的，也就使得固定连接在所述掩模版框架10上的掩模版20也不会因为所述掩模版框架10的四角翘曲而产生变形和对位偏差，避免了由此产生的蒸镀混色和屏体不良的问题，提高了所述掩模版的蒸镀品质和蒸镀良率。
以上所述仅是本申请的较佳实施例而已，并非对本申请做任何形式上的限制，虽然本申请已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本申请，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本申请技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本申请技术方案的内容，依据本申请的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本申请技术方案的范围内。

Claims (5)

1.一种掩模版组件，其特征在于，所述掩模 版组件包括掩模版框架和掩模版，所述掩模版用于对OLED材料进行蒸镀；
所述掩模版框架包括第一侧和第二侧，所述第一侧与所述第二侧相对设置，所述第一侧用于与所述掩模版固定连接；
所述掩模版框架包括至少一对相对设置的边框，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，所述掩模版框架的第二侧为平面；
所述掩模版框架包括两对相对设置的边框，所述两对相对设置的边框围成矩形，所述两对相对设置的边框的全部边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大；
所述掩模版 框架还包括搭接台阶，所述搭接台阶设置于所述掩模版 框架的第一侧，所述搭接台阶的宽度小于所述边框的宽度，所述搭接台阶设置在各个边框上，且所述搭接台阶靠近其所处边框的相对的边框的一侧，其中，所述搭接台阶远离所述边框的一侧的表面为平面。
2.根据权利要求1所述的掩模版组件，其特征在于，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，其中，所述边框在所述第一侧的表面为阶梯状。
3.根据权利要求1所述的掩模版组件，其特征在于，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，其中，所述边框在所述第一侧的表面为弧形。
4.根据权利要求1所述的掩模版组件，其特征在于，所述搭接台阶与所述边框为相同材料制成，且所述搭接台阶与所述边框一体成型。
5.根据权利要求1所述的掩模版组件，其特征在于，所述掩模版与所述搭接台阶远离所述边框的一侧的表面焊接固定。
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